KR960009813A

KR960009813A - 필름박리방법 및 장치

Info

Publication number: KR960009813A
Application number: KR1019950012716A
Authority: KR
Inventors: 후미오 하마무라
Original assignee: 야마오까 다께오; 소말 가부시기가이샤
Priority date: 1994-08-03
Filing date: 1995-05-22
Publication date: 1996-03-22
Also published as: JPH0899769A; TW336782U; CN1044763C; GB2292113A; DE19519856A1; GB2292113B; MY114172A; JP2642317B2; US5676789A; GB9510534D0; HK1004600A1; KR100210962B1; CN1119404A

Abstract

목적 : 필름일단부가 기판으로부터 밀려나온 상태에서 붙여져 있는 이 필름을 기판으로부터 자동적으로 박리한다.

구성 : 이송장치(24)에 의해 이송되어져 온 기판(12)을 흡착장치(16)인 텐테이블(16R)에 의해 흡착하여 수평면내에서 회전시키고. 필름(14)의 일단부(14A)를 대기상태에 필핸드(18)에 대향시켜서 이 일단부(14A)를 필핸드(18)에 의해 협지하여, 그대로 수직면내에서 회전 또 기판이송라인(24A)을 사이에 끼고 반대쪽의 중첩장치(22)위까지 필핸드이송장치(20)에 의해 이동시적서 필름(14)을 기판(12)으로부터 벗겨내고. 이것을 중첩장치(22)에 의해 순차적으로 포개어 수용한다.

선택도 : 제 1도

Description

필름박리방법 및 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 동 실시예의 주요부를 확대하여 도시한 사시도,

제6도는 필핸드에 의해 필름을 박리하는 중도과정을 도시한 단면도,

제10도는 제2필름누름쇠를 상승시키는 과정을 도시한 단면도.

Claims

일단부(14)가 기판(12)의 일단(12A)으로부터 밀려나와 이 기판(12)에 붙여져 있는 필름(14)을 박리하는 방법에 있어서, 상기 기판(12)을 흡착하여 위치고정하는 공정과, 이 위치고정된 기판(12)으로부터 밀려나와 있는 필름(14)의 일단부(14A)를 이것과 평행인 필핸드(18)에 의해 협지하는 공정과, 이 필핸드(18)를 필름일 단부(14A)를 협지한 채 기판(12)과 직교하는 면내에서 기판면근방을 원호중심으로 하여, 필핸드(18)를 상기 원호중심을 향해서 자세를 조절하면서 기판면으로부터 이간하고 또한 기판(12)의 타단방향으로 필름일단부 (14A)를 말라올리는 원호운동을 시키는 공정과, 말라올린 필름(14)의 일단부(14A)를 필해드(18)에 의해 협지한 채, 기판(12)의 타단방향으로 이동하고, 다시 상기 타단(12B)을 넘어서 적어도 필름 (14)의 타단부가 기판(12)으로부터 박리하는 위치까지 기판 밖으로 반송하는 공정과, 기판밖위치에서 상기 필름(12)을 해방하는 공정을 갖고 이루어진 필름박리방법.
제1항에 있어서, 상기 필름일단부(14A)를 말아올리는 원호운동의 원호중심을 상기 기판(12)의 일단 (12A)과 평행하고 이 일단근방을 지나는 직선상에 배치한 것을 특징으로 하는 필름박리방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판(12)은, 상기 필름(14)의 일단부(14A)를 선단 또는 후단으로 하여 이송라인(24A)을 따라 일방향으로 반송되는 것으로, 상기 필핸드(18)에 의해 헙지하기 전에 기판(12)의 이송을 정지하며, 또한 이것을 흡착한 후에 기판(12)과 평행인 면내에서 90° 회전하여, 상기 필름(14)의 일단부 (14A)를 기관이송라인(24A)의 옆쪽에 배치된 상기 필핸드(18)에 대향하는 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 필름박리 방법.
제1,2 또는 제3항에 있어서, 상기 필핸드(18)에 의해 기판(12)밖으로 이동된 필름(14)을 해방시에 누르고 순차적으로 포개어 수용하는 것을 특징으로 하는 필름박리방법.
기판(12)에 붙여진 필름(14)의 일단부(14A)가. 이 기판의 일단(12A)으로부터 밀려나와 있는 필름의 박리장치에 있어서, 상기 기판(12)을 흡착하여 수평으로 위치고정하는 흡착장치(16)와 한 쌍의 개폐가 자유로운 협지편(18A,18B)을 구비하고, 상기 흡착장치 (16)에 의해 고정된 기관(12)으로부터 밀려나와 있는 상기 필림 일단부(14A)를 협지함과 동시에, 협지한 채 기판(12)과 직교하는 면내에서, 기판표면으로부터 박리방향으로 이간하면서 기판의 타단(12B)방향으로 거의 원호협상으로 이동하고, 이 때 상기 한 쌍의 협지편(18A, 18B)이 상기 원호의 거의 중심을 향해지는 필핸드(18)와 이 필핸드를 필름일단부(14A)를 협지한 채 상기 기판위쪽을 이 기판(12)의 타단(12B)을 넘어서 이 타단(12B)으로부터 적어도 기판길이보다도 이간한 위치까지 거의 수평으로 보내는 필핸드 이송장치(20)를 설치한 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제5항에 있어서, 상기 흡착장치(16)는, 기관(12)을 흡찬한 상태에서 수평면내에서 회전시키는 회전기구를 포함하여 구성되며, 상기 필핸드(18)의 한 쌍의 협지편(18A, l8B)은 열린상태에서 상기 회전기구에 의한 기판(12)의 회전시에 상기 필름일단부(14A)의 회전궤적의 상하의 높이에 위치되는 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제6항에 있어서, 상기 회전기구와 상기 필핸드(18)의 사이의 위치에, 이 회전기구에 의한 기판(12)의 회전시에 상기 필름일단부(14A)에 아래쪽으로부터 상대직으로 접동이 자유롭게 접촉하여 이 필름일단부(14A)의 수평면내회전궤적의 상하의 높이위치를 결정하는 필름단부지지대(40)를 설치한 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제7항에 있어서, 상기 필핸드(18)는, 상기 필름단부지지대(40)위의 필름일단부(14A)에 대해서, 이 필름 일단부(14A)를 협지하는 위치와 대기위치와의 사이에서 진퇴가 자유롭게 되고, 또한 상기 필름단부지지대(40)는 상기 필핸드(18)의 진퇴를 허용하는 진퇴홈(38)을 구비한 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제5항 내지 제8항중 어느 항에 있어서, 상기 필핸드(18)는, 수평이고 또한 상기 필름일단부(14A)와 평행한 회전중심축 둘레에 회전하는 회전부재와, 이 회점부재에 상기 회전중심축방향을 향해 부착된 상기 한 쌍의 협지편(18A, l8B)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제9항에 있어서, 상기 회전부재의 회전중심축은, 상기 기판(12)의 일단(12A) 근방을 지나도록 배치된 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제5항 내지 제10항의 어느 항에 있어서, 상기 흡착장치(16)에 대해서, 상기 필핸드(18)에 의한 필름박리 방향쪽에 배치되고, 필핸드(18)에 의해 박리되며, 거의 수평으로 반송되어 온 필름(14)을 순차적으로 포개어 누르는 중첩장치 (22)를 설치한 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제11항에 있어서, 상기 중첩장치 (22)는, 상기 필핸드(18)에 의한 박리필름의 거의 수평이동궤적의 아래쪽에, 상하방향위치조절이 자유롭도록 배치된 수평의 필름수취테이블(22A)과, 이 필름수취테이블의 위쪽에서 수평으로 또한 상기 박리필름의 이동방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있고, 상하방향이동이 자유로운 제1필름누름쇠 (22B)와, 상기 필름수취테이블(23A)의 위쪽에서 상기 제1필름 누름쇠 (225)의 양쪽으로 이간하여, 이것과 평행 그리고 수평으로 배치되며, 상하방향이동이 자유로운 한 쌍의 제3필름누름쇠(22C)와 상기 제1필름 누름쇠(22B) 및 제2필름누름쇠 (22C)를 각각 상하방향으로 구동하는 제1구동장치(22D) 및 제2구동장치 (22E)를 갖고 이루어진 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제12항에 있어서, 상기 제1구동장치(22D) 및 제2구동장치(22E)는, 상기 박리된 필름이 필핸드(18)에 의해 필름수취테이블(22A)위에 이동해 올 때, 재1필름누름쇠(22B)를 필름이동괴적보다도 위에, 재2필름누름쇠 (22C)를 필름이동괘적보다도 아래 각각 위치시켜, 이 필름이 해방된 필름수취테이블(22A) 및 제2필름누름쇠 (22C)의 위쪽에 낙하한 후에 제1필름누름쇠 (22B)가 강하되어 필름(14)을 누르고, 제2필름누름쇠가 낙하한 필름의 양단을 들어올려 필름의 위쪽으로 빠져나가며, 다음으로 제2필름누름쇠가 강하하여 필름을 누르고 제1필름누름쇠가 상승하여 필름과의 사이에 틈을 만들도록 된 것을 특징으로 하는 필름박리장치.
제5 내지 제13항중 어느 항에 있어서, 상기 기판(12)은, 필름(14)의 밀려나온 일단부(14A)를 선단 또는 후단으로 하여 이송장치(24)에 의해 반송되는 것으로, 상기 흡착장치(16)는 이 이송장치에 의한 이송라인 (24A) 아래쪽에 배치되어, 상기 기판을 흡착하고, 또한 이송라인(24A)으로부터 들어울려서 수편면내에서 90°회전시키는 턴테이블(16B)을 포함하여 구성되며, 상기 필핸드(18)는 90° 회전한 필름(14)의 일단부(14A)에 대향하는 위치에 배치되고, 상기 필핸드 이송장치(30)는 상기 필핸드를, 상기 기판(12)위목을 넘어서 상기 이송라인(24A)과 직교하는 방향에 안내하도록 배치된 가이드와, 이 가이드를 따라 상기 필핸드(18)를 왕복운동 시키는 필핸드구동장치를 구비한 것을 특징으로 하는 필름박리장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.