KR101844664B1 - 기판 부착 캐리어 분리 시스템 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 박판 형태의 기판을 지지하기 위해 상기 기판에 캐리어를 점착하여 구성된 기판 조립체에서 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템에 있어서, 상기 기판 조립체의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 컷팅부, 상기 컷팅부에 의해 컷팅라인이 형성된 상기 기판 조립체가 배치되어 고정되는 기판 고정부, 상기 기판 고정부에 안착된 상기 기판 조립체의 기판으로부터 상기 캐리어를 분리할 수 있도록 상기 기판의 모서리부 및 그 모서리부에 점착된 캐리어 부분을 클램핑하는 클램핑부와, 상기 클램핑부를 상기 기판 고정부에 대해 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 분리 작동부를 구비하는 클램핑 유닛 및 상기 기판 고정부와 상기 클램핑 유닛의 작동을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

기판 부착 캐리어 분리 시스템 및 그 방법{System and Method for Separating Carrier Attached to Substrate}

본 발명은 기판 부착 캐리어 분리 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 손상 없이 기판에 부착된 캐리어를 자동으로 제거할 수 있는 시스템과 방법에 관한 것이다.

인쇄회로기판의 회로패턴이 미세화됨에 따라 동박적층판(CCL) 등 베이스기판의 동박층의 두께가 감소하고 있고, 최근에는 새로운 형태의 초박판(5㎛ 이하) 구리(Cu)를 동박층으로 이용함으로써 미세 회로패턴을 구현하는 추세이다.

이와 같이 초박판의 구리(Cu)를 사용하는 경우 그 두께가 얇아서 제조과정 중 핸들링 하기가 어렵기 때문에, 통상 상대적으로 두꺼운 글라스 재질의 캐리어(Carrier)가 부착된 기판이 사용되고 있다.

캐리어가 부착된 기판은 최종적으로 기판으로부터 분리해야 한다. 종래에는 작업자가 수작업으로 캐리어를 제거하였다. 이와 같이 수작업으로 캐리어를 분리하는 경우, 분리 과정에서 균일한 힘이 가해지지 않아 기판의 휨, 파손, 오염 및 작업시간의 증가 등의 문제점이 발생하였다.

또한, 최근에는 기판으로부터 캐리어를 분리하기 위해 레이저 조사 장치를 사용하고 있다. 레이저 조사 장치에서는 캐리어 기판 상에 레이저를 조사하여 캐리어를 제거하게 된다. 레이저 조사 과정에서 기판에 불량이 발생할 수 있으며, 그 불량 여부에 관계없이 후속 공정이 진행되어 불필요한 공정비용 및 공정시간이 소요되는 문제점이 있어 왔다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판에 부착되어 있는 캐리어를 안정적으로 분리하고, 그 분리 과정 중 기판에 파손 등이 발생되지 않도록 자동으로 분리할 수 있는 시스템 및 그 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명인 기판 부착 캐리어 분리 시스템은 박판 형태의 기판을 지지하기 위해 상기 기판에 캐리어를 점착하여 구성된 기판 조립체에서 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템에 있어서, 상기 기판 조립체의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 컷팅부, 상기 컷팅부에 의해 컷팅라인이 형성된 상기 기판 조립체가 배치되어 고정되는 기판 고정부, 상기 기판 고정부에 안착된 상기 기판 조립체의 기판으로부터 상기 캐리어를 분리할 수 있도록 상기 기판의 모서리부 및 그 모서리부에 점착된 캐리어 부분을 클램핑하는 클램핑부와, 상기 클램핑부를 상기 기판 고정부에 대해 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 분리 작동부를 구비하는 클램핑 유닛 및 상기 기판 고정부와 상기 클램핑 유닛의 작동을 제어하는 제어부를 포함한다.

또한, 상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명인 기판 부착 캐리어 분리 방법은 박판 형태의 기판을 지지하기 위해 상기 기판에 캐리어를 점착하여 구성된 기판 조립체에서 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 기판 부착 캐리어 분리 방법에 있어서, (a) 기판 조립체의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 단계, (b) 상기 기판 조립체를 기판 고정부에 안착시키는 단계 및 (c) 상기 기판의 모서리부와 그 모서리부에 접착된 캐리어 부분을 클램핑한 뒤 상기 기판 고정부에 대해 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함한다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명인 기판 부착 캐리어 분리 시스템 및 그 방법에 의한다면 자동화 방식에 의해 기판 보호용 캐리어를 분리할 수 있어 종래 수작업 또는 레이저 방식에 의해 발생할 수 있는 기판 휨, 오염, 파손, 불량 유발 등의 문제점이 개선되어 공정의 신뢰성이 향상되는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 부착 캐리어 분리 시스템의 개략적인 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 각각 도 1에 도시된 기판 부착 캐리어 분리 시스템의 정면도, 측면도, 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 기판 부착 캐리어 분리 시스템의 컷팅부의 평면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 기판 부착 캐리어 분리 시스템의 컷팅부의 컷팅 정도를 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 기판 부착 캐리어 분리 시스템의 기판 고정부의 평면도와 측면도이다.
도 8은 모따기가 되어 있는 진공 흡착판을 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는 도 1에 도시된 기판 부착 캐리어 분리 시스템의 작동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 기판 부착 캐리어 분리 방법의 일 실시예에 대한 순서도이다.

이하, 본 발명에 따른 기판 부착 캐리어 분리 시스템 및 그 방법을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 부착 캐리어 분리 시스템의 개략적인 사시도이고, 도 2 내지 도 4는 도 1에 도시된 본 발명의 각각의 정면도, 측면도, 평면도이다.

본 실시예의 기판 부착 캐리어 분리 시스템은 기판에 부착된 캐리어를 최종 공정에서 기판으로부터 분리하는 시스템에 관한 것이다.

도 1의 개략적인 사시도를 참조하면, 본 실시예의 기판 부착 캐리어 분리 시스템은 컷팅부(200), 기판 고정부(300), 클램핑 유닛(400) 및 제어부(500)를 포함한다.

컷팅부(200), 기판 고정부(300), 클램핑 유닛(400) 및 제어부(500)를 설명하기에 앞서 베이스(100)를 설명한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 고정부(300)와 클램핑 유닛(400)의 작동이 구현되는 베이스(100)가 마련된다. 베이스(100)는 이하 후술할 컷팅부(200), 기판 고정부(300) 및 클램핑부(410)가 설치되어 기판(10)에 부착된 캐리어(C)를 제거하는 공정이 수행되는 일종의 작업 공간이다. 베이스(100)는 다양한 구조로 변경될 수 있으며, 기판(10)으로부터 분리된 캐리어(C)를 낙하시켜 적재할 수 있는 공간(V)이 마련될 수 있다면 더욱 바람직하다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이 베이스(100)의 일측에는 기판 조립체(12)의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성시키는 컷팅부(200)가 마련된다.

기판 조립체(12)는 기판(10)과 기판 상부에 접착된 캐리어(C)의 결합체를 지칭한다.

컷팅부(200)는 베이스(100)에 설치된다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 컷팅부(300)는 컷팅부본체(210)와 블레이드부(220)를 구비한다. 블레이드부(220) 내부에는 블레이드(11)와 다이(13)가 설치된다. 컷팅부본체(210)와 블레이드부(220)는 결합되어 있고, 컷팅부본체(210)는 블레이드(11)와 다이(13)를 승강시킬 수 있는 구동수단을 구비한다. 컷팅부본체(210)는 구동수단에 의해 다이(13)를 기판 조립체(12)의 상면에 접촉시킨 상태에서 블레이드(11)를 상승시켜 기판 조립체(12)의 기판(10)에만 컷팅라인(B)을 형성한다.

도 7은 기판 고정부(300)의 평면도와 측면도이고, 도 8은 모따기(A)가 되어 있는 진공 흡착판(310)을 설명하기 위한 평면도이다.

기판 고정부(300)는 베이스(100) 위에 배치된다. 기판 고정부(300)는 기판 조립체(12)가 안착되는 진공 흡착판(310)과 진공 흡착판(310) 하부에 결합되어 실린더(340)의 작동에 의해 진공 흡착판(310)을 회전시키는 회전 부재(320) 및 회전 부재(320)를 지지하는 본체(330)를 포함한다. 진공 흡착판(310)에는 진공석션라인(350)이 연결된다. 컷팅부(200)에 의해 컷팅라인(B)이 형성된 기판 조립체(12)는 기판 고정부(300)에 배치되어 고정된다. 진공석션라인(350)의 작용에 의해 진공 흡착판(310)이 기판(10)을 흡착하는 방법으로 고정한다.

도 7의 (a)와 도 8에 의하면 기판의 모서리(D)가 노출되도록 진공 흡착판(310)에 모따기(A)가 되어 있는 것을 확인할 수 있다.

모따기(A)의 정도는 한정되지 않았지만 에러 없이 클램핑할 수 있도록 기판(10)의 일변이 5mm 내지 25mm 정도 노출되도록 함이 바람직하다.

도 1 및 도 3을 참조하면, 클램핑 유닛(400)은 베이스(100)에 설치된다. 클램핑 유닛(400)은 클램핑부(410)와 분리 작동부(420)를 구비한다. 클램핑부(410)는 기판(10)의 모서리부 및 그 모서리부에 점착된 캐리어(C) 부분을 클램핑한다. 분리 작동부(420)는 클램핑부(410)를 기판 고정부(300)에 대해 회전시켜 캐리어(C)를 기판(10)으로부터 분리한다.

클램핑 유닛(400)의 분리 작동부(420)는 기판 고정부(300)에 대향하여 베이스(100) 일측에 설치되고, 분리 작동부(420)에는 클램핑부(410)가 설치된다.

분리 작동부(420)는 링크(423)와 피봇축(421)을 구비한다. 링크(423)는 베이스(100)에 대해 소정 길이 연장되도록 형성된다. 링크(423)의 일단은 클랭핑부(410)에 결합되고, 링크(423)의 타단은 피봇축(421)에 결합된다. 피봇축(421)은 링크(423)을 회전 가능하게 지지한다. 클랭핑부(410)가 기판 조립체(12)의 모서리부를 클랭핑한 상태에서, 링크(423)가 피봇축(421)을 중심으로 회전하면, 기판(10)으로부터 캐리어(C)가 분리된다.

도 1을 참조하면, 클램핑 유닛(400)의 클램핑부(410)는 하부 다이(411)와 상부 다이(412)를 포함한다. 하부 다이(411)는 링크(423)에 대해 제1회전핀(413)을 매개로 링크(423)에 대해 회전 가능하게 설치되고, 상부 다이(412)는 하부 다이(411)의 형상에 대응하여 제2회전핀(414)을 매개로 링크(423)에 대해 회전 가능하게 설치된다.

상부 다이(412)에는 소정 깊이의 홈(H)이 형성되어 있고, 이 홈(H) 내부에는 클램핑시 기판(10)의 모서리부에 점착된 캐리어(C)를 선택적으로 가압할 수 있는 펀치(P)가 그 내부에 설치되어 있어서 하부 다이(411)에 의해 기판 조립체(12)의 하면이 지지된 채 들어올려질 때 펀치(P) 역시 캐리어(C)를 가압하게 되어 기판(10)의 모서리 부분을 클램핑하게 된다.

도 9에는 클램핑 작동 상태와 캐리어(C)가 분리되는 상태를 나타내는 도면이 개시되어 있으며, 그 구체적인 작동 과정은 후술한다.

다시 도 1을 살펴보면, 제어부(500)는 기판 고정부(300)와 클램핑 유닛(400)의 작동을 제어한다. 제어부(500)는 기판 고정부의 이동 및 회전과 클램핑 유닛의 이동 및 피봇 작동을 컨트롤한다.

제어부(500)에 의한 작동 과정은 이하 구체적으로 후술한다.

클램핑 유닛(400)과 베이스(100) 사이에는 제1가이드 레일(110)이 설치된다. 제1가이드 레일(110)은 베이스(100)에 대해 클램핑 유닛(400)을 슬라이딩 가능하게 지지한다. 결과적으로 클램핑 유닛(400)은 제1가이드 레일(110)을 따라 기판 고정부(300)에 대해 수평 이동 가능하게 된다.

기판 고정부(300)와 베이스(100) 사이에는 제2가이드 레일(120)이 설치된다. 제2가이드 레일(120)은 베이스(100)에 대해 기판 고정부(300)를 슬라이딩 가능하게 지지한다. 결과적으로 기판 고정부(300)는 제2가이드 레일(120)을 따라 클랭핑 유닛(400)에 대해 수평 이동 가능하게 된다.

이하, 상술한 바와 같이 구성된 기판 부착 캐리어 분리 시스템을 참조하여 본 발명에 따른 기판 부착 캐리어 분리 방법의 일례를 설명하기로 한다.

도 10은 본 발명에 의해 구현되는 기판(10)에 부착된 캐리어(C)를 분리하는 전체 순서도이다.

먼저 기판 조립체(12)를 기판 고정부(300)에 안착시킨다((b)단계, S200).

별도로 마련된 픽업수단에 의해 기판 조립체(12)를 기판 고정부(300)에 안착시킨다. 기판 고정부(300)는 진공석션라인(350)이 연결되어 있어 있는 진공 흡착판(310)에 의해 기판(10)의 하면을 흡착하여 고정한다.

진공 흡착판(310)에 의해 기판(10)이 고정되는 경우 기판(10)의 특정부위에 과도한 힘이 가해지지 않고 전체적으로 균일한 힘으로 기판(10)을 고정할 수 있기 때문에 기판(10)에 손상이 가해질 염려가 없는 장점이 있다. 또한, 기판(10)으로부터 캐리어(C)를 제거한 뒤에는 진공 흡착판(310)에 부여된 진공상태를 해제함으로써 기판(10)의 픽업을 용이하게 할 수 있다.

기판 조립체(12)가 기판 고정부(300)에 안착되면 컷팅부(200)의 블레이드(11)를 이용하여 기판 조립체(12)의 모서리 부분에 컷팅라인(B)을 형성한다((a)단계, S100).

제어부(500)가 기판(10)의 모서리 방향으로 컷팅부본체(210)를 이동시키도록 구동수단을 작동시키면 기판(10)의 모서리 방향으로 이동한 블레이드부(220)의 블레이드(11)가 작동하여 기판(10)의 모서리 부분을 컷팅한다. 도 5 및 도 6을 참조하여 상술한 바와 같이, 다이가 기판 조립체(12)의 모서리부의 상면에 접촉한 상태에서 블레이드(11)가 상승하여 기판 조립체(12)의 기판(10)에 컷팅라인(B)을 형성한다. 블레이드(11)는 기판 조립체(12)에 대해 기판(10)의 두께까지만 진입하여 기판(10)만 커팅하고 캐리어(C)는 절단하지 않는다.

상기와 같이 기판 조립체(12)가 기판 고정부(300)에 안착되면, 기판(10)의 모서리부가 설정된 각도에 위치하여 클램핑 유닛(400)에 의해 클램핑될 수 있도록 기판 고정부(300)를 소정 각도로 회전시킨다((d)단계, S300).

그 구체적인 과정을 살펴보면 다음과 같다.

제어부(500)는 기판 고정부(300)의 회전 부재(320)를 작동시켜 기판 고정부(300)에 안착된 기판 조립체(12)의 기판 모서리가 클램핑 유닛(400)이 클램핑하기 용이한 방향이 되도록 기판 고정부(300)를 회전시킨다.

상술한바와 같이 클램핑 유닛(400)이 기판 조립체(12)를 클램핑하는 위치와 기판이 기판 고정부(300)에 최초 안착되는 위치를 서로 엇갈리게 배치하고 기판 고정부(300)가 회전 부재(320)에 의해 회전 가능하도록 구성함으로써, 본 발명의 기판에 부착된 캐리어 제거 시스템의 부피를 작고 컴팩트하게 구성할 수 있는 장점이 있다.

다만, 기판 고정부(300)를 반드시 클램핑 유닛(400)을 향해 소정 각도로 회전시키는 것이 필수적인 것은 아니며, 기판 고정부(300)의 설치시 기판 모서리가 클램핑 유닛(400)을 향하도록 함으로써 상기의 과정을 생략할 수 있다.

다음으로, 기판 조립체(12)가 기판 고정부(300)에 안착되고 기판 모서리가 클램핑 유닛(400)을 향하게 하면, 기판의 모서리부와 그 모서리부에 접착된 캐리어(C) 부분을 클램핑한 뒤 기판 고정부(300)에 대해 이동시켜 캐리어(C)를 기판(10)으로부터 분리한다((c)단계, S400).

본 실시예의 경우 클램핑부(410)가 기판(10)의 모서리부를 클램핑한 상태에서 분리 작동부(420)가 클램핑부(410)을 기판 고정부(300)에 대해 회전시키는 방법으로 캐리어(C)를 기판(10)으로부터 분리한다.

구체적인 과정은 제1,2가이드 레일(110,120), 제어부(500), 클램핑 유닛(400)에 의해 구현된다.

이하 도 1 및 도 9를 참조로 구체적인 작동 과정을 살펴보면 다음과 같다.

제어부(500)는 제1가이드 레일(110)을 따라 클램핑 유닛(400)이 기판 고정부(300) 측으로 이동하도록 클램핑 유닛(400)을 작동시킨다.

이때, 제어부(500)는 클램핑 유닛(400)의 클램핑부(410)를 이루는 상부 다이(412)와 하부 다이(411) 사이에 기판(10)의 모서리부가 위치하도록 제1가이드 레일(110)을 제어한다.

도 9(a)를 참조하면, 제어부(500)는 제1회전핀(413)을 매개로 소정각도로 회전시켜 기판(10)의 모서리부 하면을 접촉한 채 지지하도록 하부 다이(411)를 작동시킨다.

이와 동시에 제어부(500)는 기판(10)의 모서리부에 접착된 캐리어(C) 부분을 펀치(P)에 의해 상측에서 클램핑하도록 제2회전핀(414)을 매개로 소정각도로 회전시킴과 동시에 펀치(P)를 하방으로 이동시켜 캐리어(C) 부분을 클램핑 하도록 상부 다이(412)를 작동시킨다.

이때, 기판 고정부(300)를 구성하는 진공 흡착판(310)에는 모따기(A)가 되어 있고, 모따기(A)가 되어 있는 부분에서 기판(10)의 모서리(D)가 노출되며, 이 모서리(D) 부분을 클램핑 유닛(400)의 클램핑부(410)를 이루는 상부 다이(412)와 하부 다이(411)가 클램핑한다.

기판(10)의 모서리부가 하부 다이(411)와 펀치(P)에 의해 클램핑되면 제어부(500)는 분리 작동부(420)의 링크(423)가 피봇 회전하도록 피봇축(421)에 연결된 모터를 작동시킨다.

즉, 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 분리 작동부(420)의 링크(423)가 피봇회전하게 되면 기판(10)의 모서리부(D)와 이 모서리부(D)에 점착된 캐리어(C)는 기판(10)으로부터 분리되고, 캐리어(C)가 분리된 기판(10)은 기판 고정부(300)에 흡착된 채 남게 된다.

상기와 같은 피봇작동에 의해 기판(10)으로부터 캐리어(C)를 분리할 때 그 분리가 용이하도록 기판 고정부(300)를 제1가이드 레일(110)을 따라 이동시키는 작동이 동시에 수행된다.

즉, 기판(10)으로부터 분리되는 캐리어(C)의 분리 방향과 캐리어(C)가 분리된 기판(10)이 이동하는 방향이 상대적으로 구현되도록 하여 그 분리의 용이성을 제공하게 된다.

이를 위해 제어부(500)는 도 9(b)에 도시된 바와 같이 분리 작동부(420)의 링크(423)를 피봇 회전시킴과 동시에 기판 고정부(300)를 클램핑부(410)의 이동 방향과 반대되는 수평 방향(X축 방향)으로 제2가이드 레일(120)을 따라 이동시킨다. 이와 같이 기판(10)으로부터 분리되는 캐리어(C)와 기판(10)이 서로 반대 방향으로 상대 이동하도록 함으로써 기판(10)으로부터 캐리어(C)의 분리가 용이해지도록 유도한다.

한편, 캐리어(C)가 기판으로부터 분리되는 과정에서 캐리어(C)가 클램핑 유닛(400)으로부터 이탈되는 것을 방지할 필요가 있다. 또한, 클램핑 유닛(400)이 피봇 회전하는 경우 주변 기기에 의한 간섭이 방지될 수 있도록 충분한 공간이 필요하다. 이를 위해 본 발명의 일실시예는 2번의 클램핑 과정을 거친다. 그 구체적인 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 제어부(500)는 기판의 모서리부와 이 모서리부에 접착된 캐리어 부분을 클램핑한다((c-1) 단계). 즉, 하부 다이(411)와 상부 다이(412)의 펀치(P)를 이용하여 기판의 모서리부(D)와 이 모서리부(D)에 접착된 캐리어(C)를 클램핑한다. 그 다음으로 클램핑된 기판의 모서리부(D)와 그 모서리부(D)에 접착된 캐리어(C) 부분을 기판 조립체에 대해 들어올린다((c-2) 단계). 클램핑된 부분을 기판 고정부(300)에 대해 들어올려 기판으로부터 캐리어(C)의 일부를 분리하게 되는 것이다.

그 후, 기판 조립체의 클램핑을 해제한 후 기판의 모서리부(D)에 클램핑된 지점보다 기판의 중심 방향으로 안쪽에 위치한 지점에서 기판의 모서리부(D)와 기판에 접착된 캐리어(C)를 클램핑한다((c-3) 단계). 즉, 상부 다이(412)의 펀치(P)를 상승시켜 클램핑 상태를 해제한 뒤 클램핑 유닛(400)을 기판 고정부(300)에 대해 전진시킨다. 클램핑 유닛(400)을 이루는 클램핑부(410)의 상부 다이(412)와 하부 다이(411)가 기판 고정부(300)에 대해 전진하면 기판의 모서리부에 클램핑된 지점보다 기판의 중심방향으로 더욱 안쪽에 위치한 지점에서 클램핑할 수 있게 된다.

클램핑 유닛(400)을 전진시킨 뒤 상부 다이(412)의 펀치(P)를 하강시켜 이전의 클랭핌된 지점보다 더욱 안쪽에 위치한 지점에서 기판의 모서리부(D)와 기판에 접착된 캐리어(C)를 클램핑한다. 그 후 기판 조립체를 클램핑한 채 클램핑 유닛(400)을 기판 고정부(300)에 대해 피봇 회전시켜 캐리어(C)를 기판으로부터 분리한다((c-4)단계).

한편, 기판 조립체(12)의 기판(10) 모서리부에 컷팅라인을 형성시키는 (a) 단계를 수행하기 전에 기판 조립체(12)를 적재하고 그 위치를 정렬하는 단계((e) 단계, S10)를 먼저 수행할 수 있다. 이를 위해 가공대상이 되는 기판 조립체(12)를 적재(loading)하기 위한 적재부가 배치될 수 있다.

기판(10)으로부터 분리된 캐리어(C)는 도 1에 도시된 캐리어(C) 적재함(V)으로 낙하되고, 기판 고정부(300)와 클램핑 유닛(400)은 후속 공정이 진행될 수 있도록 다시 정렬된다.

또한, 앞서 설명한 기판(10)으로부터 캐리어(C)를 분리하는 (c) 단계 단계가 완료되면, 기판(10)을 언로더로 배출한다((f) 단계, S500). 진공 흡착판(310)에 부여된 진공상태를 해제하여 기판(10)의 픽업상태를 용이하게 하고, 기판(10)을 소정에 위치에 오도록 회전 또는 이동하여 기판(10)의 위치를 정렬(align)하며 기판(10)을 언로딩(unloading) 함으로써 기판(10)으로부터의 캐리어(C)의 분리 공정이 완료된다.

이상 본 발명에 대한 구체적인 작동 과정을 본 발명의 순서도와 함께 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명한 실시 예로 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 앞에서 컷팅부(200)는 다이에 대해 블레이드(11)를 승강시켜 컷팅라인(B)을 형성하는 것으로 설명하였으나, 블레이드를 기판에 대해 수평 이동시켜 컷팅라인을 형성하는 방법으로 작동하는 컷팅부를 사용하는 것도 가능하다.

또한, 앞에서 분리 작동부(420)는 피봇 회전하는 링크(423)를 포함하여 구성되는 것으로 설명하였으나, 링크는 도면에 도시된 바와 같은 형상 및 구조에 제한되지 않으며 기판 고정부(300)에 대해 피봇 회전할 수 있고 주변 기기와의 간섭이 없을 정도면 다양한 형상으로 구현될 수 있다.

또한, 앞에서 상부 다이(312), 하부 다이(411), 펀치(P)로 구성된 클램핑부(410)를 예로 들어 설명하였으나, 클램핑 수단으로는 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 집게구조 등의 다양한 수단이 사용될 수 있다.

또한, 앞에서 제1가이드 레일(110)과 제2가이드 레일(120)이 각각 베이스(100)의 양 측면과 베이스(100)의 상면에 설치된 것으로 도시하고 설명하였으나, 반드시 이 위치에 한정되는 것은 아니며, 클램핑 유닛(400)이 기판 고정부(300)에 대해 이동할 수 있고, 기판 고정부(300)가 베이스(100)상에서 이동할 수 있는 구조라면 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다른 형상 및 위치가 될 수 있다. 경우에 따라서는 제1가이드 레일(110)과 제2가이드 레일(120)을 구비하지 않는 구조의 클램핑 유닛(400)과 기판 고정부(300)의 이동 메커니즘을 구성하는 것도 가능하다.

또한, 기판 고정부(300)는 진공에 의해 기판을 고정하는 것으로 설명하였으나, 기판을 고정할 수 있는 다른 다양한 구성이 사용될 수 있다.

또한, 클램핑 유닛(400)은 기판의 모서리부를 클램핑하여 기판 고정부(300)에 대해 피봇 회전시키는 방법으로 캐리어를 기판으로부터 분리하는 것으로 설명하였으나, 기판 고정부에 고정된 기판에 대해 모서리부를 상대이동시킬 수 있는 다른 다양한 구성으로 클램핑 유닛을 구성하는 것도 가능하다.

또한, 앞에서 클램핑 유닛(400)은 피봇 운동과 동시에 가이드 레일을 따라 이동하면서 캐리어를 분리하는 것으로 설명하였으나, 가이드 레일을 따라 이동하지 않고 피봇 운동에 의해서만 캐리어를 분리하는 클램핑 유닛을 구성하는 것도 가능하다.

또한, 앞에서 기판 고정부(300)는 회전 가능하고 제2가이드 레일(120)을 따라 수평 이동 가능한 것으로 설명하였으나, 제2가이드 레일(120)을 구비하지 않는 기판 부착 캐리어 분리 시스템을 구성하는 것도 가능하고 회전 가능하지 않게 설치된 기판 고정부를 구비하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템을 구성하는 것도 가능하다.

예를 들어, 제1가이드 레일(110) 및 제2가이드 레일(120)은 그 위치 및 구조가 변경될 수 있으며, 기판 고정부(300)와 클램핑 유닛(400)을 베이스(100) 상에서 이동시킬 수 있는 구성이라면 본 발명에 사용될 수 있다.

또한, 기판(10)의 모서리부를 클램핑하는 구조가 상부 다이(412)와 하부 다이(411)로 한정되는 것은 아니며, 기판(10)의 모서리부를 클램핑할 수 있는 집게구조라면 통상의 기술자의 자명한 범위 내에서 본 발명에 사용될 수 있다.

또한, 이미 설명하였지만 기판(10)의 모서리부에 컷팅라인을 형성시키는 단계는 기판 고정부(300)에 안착된 채 수행될 수 있음은 물론이고, 기판 고정부(300)에 안착되기 전에 사전 공정으로 수행될 수도 있다.

또한, 분리 작동부(420)의 경우 절곡된 형상의 링크(423), 피봇축(421), 피봇하우징(422)으로 구성되나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 캐리어(C)를 피봇 회전시켜 분리할 수 있는 수단이라면 다양한 구성이 본 발명에 채용될 수 있다.

또한, 앞에서 본 발명의 일례에 따라 기판 부착 캐리어 분리 방법을 실시함에 있어서, 기판 조립체(12)를 기판 고정부(300)에 안착시키는 (b) 단계를 먼저 실시한 후에 기판 조립체(12)의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성시키는 (a) 단계를 수행하는 것으로 설명하였으나, 경우에 따라서는 별도의 장소에서 기판 조립체(12)의 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 (a) 단계를 먼저 실시하여 컷팅라인이 형성된 기판 조립체를 준비하고, 이 기판 조립체를 기판 고정부(300)에 안착시키는 (b) 단계를 실시하는 방법으로 본 발명의 기판 부착 캐리어 분리 방법을 실시하는 것도 가능하다.

100: 베이스 110: 제1가이드 레일
120: 제2가이드 레일 200: 컷팅부
300: 기판 고정부 310: 진공 흡착판
320: 회전 부재 400: 클램핑 유닛
410: 클램핑부 411: 하부 다이
412: 상부 다이 413: 제1회전핀
414: 제2회전핀 420: 분리 작동부
421: 피봇축 423: 링크
500: 제어부 P: 펀치
H: 홀

Claims (17)

1. 박판 형태의 기판을 지지하기 위해 상기 기판에 캐리어를 점착하여 구성된 기판 조립체에서 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템에 있어서,
   상기 기판 조립체의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 컷팅부;
   상기 컷팅부에 의해 컷팅라인이 형성된 상기 기판 조립체가 배치되어 고정되는 기판 고정부;
   상기 기판 고정부에 안착된 상기 기판 조립체의 기판으로부터 상기 캐리어를 분리할 수 있도록 상기 기판의 모서리부 및 그 모서리부에 점착된 캐리어 부분을 클램핑하는 클램핑부와, 상기 클램핑부를 상기 기판 고정부에 대해 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 분리 작동부를 구비하는 클램핑 유닛; 및
   상기 기판 고정부와 상기 클램핑 유닛의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하고,
   상기 분리 작동부는,
   상기 클램핑부에 연결되는 링크와, 상기 링크가 상기 기판 고정부에 대해 피봇 회전하도록 상기 링크를 회전 가능하게 지지하는 피봇축을 구비하고,
   상기 클램핑부는,
   제1회전핀을 매개로 상기 링크에 대해 회전 가능하게 설치되고 상기 기판 조립체를 들어올리는 하부 다이와,
   제2회전핀을 매개로 상기 링크에 대해 회전 가능하게 설치되고 상기 기판 조립체를 선택적으로 가압할 수 있는 펀치가 그 내부에 마련된 홈에 삽입된 상부 다이로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템.
2. 제1항에 있어서,
   상기 클램핑 유닛을 상기 기판 고정부에 대해 수평 이동 가능하게 지지하는 제1가이드 레일;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템.
3. 제1항에 있어서,
   상기 기판 고정부를 상기 클램핑 유닛에 대해 수평 이동 가능하게 지지하는 제2가이드 레일;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템.
4. 제1항에 있어서,
   상기 기판 고정부는,
   상기 기판 조립체의 기판의 모서리부가 노출되도록 모따기가 되어 있는 진공 흡착판과, 상기 진공 흡착판을 회전시키는 회전 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템.
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 기판 고정부에 상기 기판 조립체가 안착되면 상기 클램핑 유닛을 향해 기판의 모서리가 향하도록 상기 기판 고정부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템.
8. 제1항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 클램핑 유닛에 의해 상기 기판 조립체를 클램핑한 채 피봇 회전시킴과 동시에 상기 기판 조립체로부터 상기 캐리어가 분리되는 방향과 반대방향으로 상기 기판 조립체를 이동시키는 방법으로 상기 캐리어를 상기 기판 조립체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템.
9. 제1항에 있어서,
   상기 제어부는,
   클램핑된 기판의 모서리부와 캐리어를 들어올려 상기 기판으로부터 상기 캐리어의 일부를 분리시킨 뒤 클램핑 상태를 해제하고,
   상기 클램핑 유닛을 상기 기판 고정부에 대해 전진시킨 후 상기 상부 다이의 펀치를 하강시켜 클램핑 상태를 유지한 뒤,
   상기 클램핑 유닛을 상기 기판 고정부에 대해 피봇 회전시키는 방법으로 상기 캐리어를 상기 기판 조립체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 시스템.
10. 박판 형태의 기판을 지지하기 위해 상기 기판에 캐리어를 점착하여 구성된 기판 조립체에서 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 기판 부착 캐리어 분리 방법에 있어서,
    (a) 기판 조립체의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 단계;
    (b) 상기 기판 조립체를 기판 고정부에 안착시키는 단계; 및
    (c) 상기 기판의 모서리부와 그 모서리부에 접착된 캐리어 부분을 클램핑한 뒤 상기 기판 고정부에 대해 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 단계;를 포함하고,
    상기 (c) 단계 이전에
    (d) 상기 기판의 모서리부가 설정된 각도에 위치하여 클램핑될 수 있도록 상기 기판 고정부를 소정 각도로 회전시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 방법.
11. 박판 형태의 기판을 지지하기 위해 상기 기판에 캐리어를 점착하여 구성된 기판 조립체에서 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 기판 부착 캐리어 분리 방법에 있어서,
    (a) 기판 조립체의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 단계;
    (b) 상기 기판 조립체를 기판 고정부에 안착시키는 단계; 및
    (c) 상기 기판의 모서리부와 그 모서리부에 접착된 캐리어 부분을 클램핑한 뒤 상기 기판 고정부에 대해 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 단계;를 포함하고,
    상기 (c) 단계는,
    상기 기판 조립체를 클램핑한 채 상기 기판 고정부에 대해 피봇 회전시킴과 동시에 상기 기판 조립체로부터 상기 캐리어가 분리되는 방향과 반대 방향으로 상기 기판 조립체를 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 방법.
12. 박판 형태의 기판을 지지하기 위해 상기 기판에 캐리어를 점착하여 구성된 기판 조립체에서 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 기판 부착 캐리어 분리 방법에 있어서,
    (a) 기판 조립체의 기판 모서리부에 컷팅라인을 형성하는 단계;
    (b) 상기 기판 조립체를 기판 고정부에 안착시키는 단계; 및
    (c) 상기 기판의 모서리부와 그 모서리부에 접착된 캐리어 부분을 클램핑한 뒤 상기 기판 고정부에 대해 이동시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 단계;를 포함하고,
    상기 (c) 단계는,
    (c-1) 상기 기판의 모서리부와 그 모서리부에 접착된 캐리어 부분을 클램핑하는 단계,
    (c-2) 클램핑 된 상기 기판의 모서리부와 그 모서리부에 접착된 캐리어 부분을 상기 기판 조립체에 대해 들어올리는 단계,
    (c-3) 상기 기판 조립체의 클램핑을 해제한 후 상기 기판의 모서리부에 클램핑된 지점보다 상기 기판의 중심 방향으로 안쪽에 위치한 지점에서 상기 기판의 모서리부와 상기 기판에 접착된 캐리어를 클램핑하는 단계, 및
    (c-4) 상기 기판 조립체를 클램핑한 채 상기 기판 고정부에 대해 피봇회전시켜 상기 캐리어를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 방법.
13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 (b) 단계를 먼저 수행하고,
    상기 (b) 단계에 의해 상기 기판 조립체를 상기 기판 고정부에 안착시킨 상태에서 상기 (a) 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 방법.
14. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 (a) 단계는,
    상기 기판의 하측에서 상측 방향으로 컷팅라인을 소정 깊이로 형성시켜 상기 컷팅라인을 기준으로 상기 기판의 모서리부와 이 모서리부에 접착된 캐리어가 상기 기판 조립체로부터 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 방법.
15. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서,
    상기 기판 고정부의 크기는 상기 기판 조립체의 크기에 대응하고 상기 기판 조립체의 기판의 모서리부가 노출되도록 모따기가 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 방법.
16. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    (e) 상기 (a) 단계 이전에, 상기 기판 조립체를 적재하고 그 위치를 정렬하는 단계; 및
    (f) 상기 (c) 단계 이후에, 상기 캐리어가 분리된 상기 기판을 내려놓는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 부착 캐리어 분리 방법.
17. 삭제

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