CN1044763C - 薄膜剥离方法及所用装置 - Google Patents
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Abstract
本发明目的是从衬底上端开始，自动剥离衬底上露出的粘贴薄膜。其构成是由吸附装置16的转盘16B吸住由进给装置24送过来的衬底12，使其在水平面内旋转，并使薄膜11的一端部14A与待机状态的剥离手18相对，通过剥离手18夹住该一端部14A，就这样在垂直面内旋转，并且利用剥离手进给装置20隔着衬底进给路线24把薄膜14送至另一侧的堆积装置22上面，从衬底剥下薄膜14，通过堆积装置22依次推积上述薄膜。
Description
本发明涉及剥离贴在印刷电路板等上薄膜的方法及装置。
计算机等电子设备中所使用的印刷电路板，其构成是在绝缘性板的双面或单面上形成铜等的一定图形的连线。
这种印刷电路板根据下述工艺制作。
首先，用滚子将叠层体的各层热叠压在设置于绝缘衬底上的导电层上，上述叠层体是由感光性树脂(光刻胶)层和保护该层的透光性树脂薄膜(保护膜)组成。接着叠合连线图形薄膜，通过该连线图形薄膜以及前述透光性树脂薄膜，对前述光刻胶层作定时曝光。进而剥离透光性树脂薄膜之后，使曝了光的光刻胶层显象，形成蚀刻掩膜图形。然后通过腐蚀除去前述导电层的多余部分。通过上述工艺便形成具有一定连线图形的印刷电路板。
在前述印刷电路板的制造工艺中，自动剥离前述保护膜的薄膜剥离装置或方法被提出且实施。
作为其一，有如特开平5-338041号公报所展示(参见图13)的方法，即“相应于薄板衬底4的供给方向长度，切断将感光层2设置在带状支撑体1上的叠层体薄膜3，压到该薄板衬底4上之后，在支撑体1和感光层2的界面处剥离，在薄板衬底4上只复印感光层2时，露出大于薄板衬底的长度4，压着叠层体薄膜3”，用装置或人手夹着该露出部分3A可轻易地剥除带状支撑体1(薄膜)。
在这种情况下，虽然刀具刃进入达到感光层2及中间层的深度来切割它们，但不要使其切到带状支撑体1，感光层2以及中间层留在薄板衬底4上，仅剥离带状支撑体1。图13的标号5表示保护膜。
在如上所述衬底上，当要用装置剥离其一端露出地张贴着的薄膜时，该露出端部由于位于通常衬底送进方向后端侧，所以剥离装置虽然从衬底后端向前端方向沿衬底进给线路移动，但剥离装置移动到比衬底还要靠前地至少必须只剥离薄膜长的部分，而且，剥离装置必须设定路径，使返回工序中不与衬底相抵触。
为了充分满足这些重要条件，会产生下述问题，在衬底前方至少留有薄膜长的部分的间隔，由于必须防止与前方位置相碰，所以进给方向的距离加大了。
问题还在于在返回工序中剥离装置必须在衬底进给路线的上方或侧方错开路径，所以包括衬底进给装置的整个装置的高度、宽度变得很大。
进一步的问题是，近年来这种印刷电路板等的精确度提高了，在衬底上稍有一点尘埃附着就会产生次品，所以必须尽可能制止薄膜剥离时膜的运动。
最后的问题是，过去，从衬底上剥下的薄膜虽然是朝装置下面收容部分自由下落，但由于这种情况会使尘埃产生的机会增大，所以不可能采用自由下落方式。
针对上述问题，本发明目的在于提供一种薄膜剥离方法及装置，它能与衬底输送方向前后的装置无关地剥离薄膜。
本发明又一目的是提供一种薄膜剥离方法和装置，它能抑制剥离时薄膜的运动量，防止产生灰尘。
本发明进一步的目的在于提供这样的薄膜剥离方法以及装置，它能在尘埃难以产生的情况下收容剥离了的薄膜。
为达到本发明目的的一种薄膜剥离方法，剥离其一端部从衬底一端露出，且贴在该衬底上的薄膜，其特征在于具有以下工序：吸住前述衬底进行定位；利用与薄膜一端部平行的剥离手(ピ-ルハン ド)，夹持从已定位的衬底露出的薄膜的一个端部；在夹持着薄膜一个端部使该剥离手与衬底垂直的面内，以衬底面附近为圆弧中心，一边朝着前述圆弧中心调节剥离手位置，一边从衬底面离开，并且向衬底另一端方向作使薄膜一个端部向上卷起的圆弧运动；由剥离手夹持着卷起的薄膜的一个端部向衬底的另一端方向移动，进而超过前述另一端，薄膜的另一端部至少从衬底到剥离位置并向衬底外输送；在衬底外位置放开前述薄膜。
在上述方法中，可以与前衬底一端平行，在通过该一端附近的直线上，设置卷起前述薄膜一端部的圆弧运动的圆弧中心。
在上述方法中，把前述薄膜的一个端部作为前端或后端，沿进给路线在一个方向上输送前述衬底，在通过前述剥离手夹持以前，停止衬底的进给，并且在吸附衬底以后在与衬底平行的平面内旋转90°，在与配置在衬底进给路线侧面的剥离手相对的位置上使前述薄膜的一个端部移动。
在上述方法中，也可将用前述剥离手向衬底外移动的薄膜在放开时装入，依次堆积收容。
另一方面，为达到本发明目的的薄膜剥离装置，用于剥离一端部从衬底一端露出且贴在该衬底上的薄膜，其特征是它包括：吸附装置，吸附前述衬底，使其在水平位置固定；剥离手，设置有一对自由开闭的夹持片，夹持从用前述吸附装置固定的衬底露出的前述薄膜一端部，同时，就这样夹持着，在与衬底垂直的平面内，一边从衬底表面向剥离方向分离，一边朝衬底的另一端方向作大体为圆弧状运动，这时，前述一对夹持片大致朝着前述圆弧中心；剥离手进给装置，夹着薄膜一端部沿前述衬底上方越过该衬底的另一端水平地输送该剥离手，所到达的位置距另一端至少是大于衬底长度的距离。
在上述装置中，前述吸附装置包括以吸附衬底的状态在水平面内旋转的转动机构，前述剥离手的一对夹持片呈开启状态，在用前述转动机构使衬底旋转时，可位于前述薄膜一端部的旋转轨迹的上下高度处。
在上述装置中，在前述转动机构和前述剥离手之间位置，可设置决定该薄膜一端部水平面内旋转轨迹上下高度位置的薄膜端部支撑台，当通过前述转动机构使衬底旋转时，从下方相对自由滑动地接触到前述薄膜一端部。
在上述装置中，前述剥离手相对前述薄膜端部支撑台上的薄膜一端部，在夹持该薄膜一端部的位置和待机位置之间自由进出，并且前述薄膜端部支撑台可备置允许前述剥离手进退的进出槽。
在上述装置中，前述剥离手包括：旋转部件，在水平并且与前述薄膜一端部平行的旋转中心轴周围转动；前述一对夹持片，朝着前述旋转中心轴方向安装在该旋转部件上。
在上述装置中，前述旋转部件的旋转中心轴可通过前述衬底一端附近配置。
在上述装置中，也可设置堆积装置，它对着前述吸附装置，由前述剥离手配置在薄膜剥离方向一侧，依次堆垛压紧由剥离手剥离的大致水平输送过来的薄膜。
在上述装置中，前述堆积装置可由下述部分构成：水平薄膜接纳工作台，其上下位置可自由调节地配置在由前述剥离手剥离的薄膜的大体水平移动轨迹的下方；上下自由移动的第1薄膜压板，它处于该薄膜接纳工作台上方，水平并且向与前述剥离薄膜的移动方向垂直方向伸展；上下自由移动的一对第2薄膜压板，它们处于前述薄膜接纳工作台上方，分置在前述第1薄膜压板的两侧，与其平行且水平地配置；分别上下驱动前述第1薄膜压板和第2薄膜压板的第1驱动装置及第2驱动装置。
在上述装置中，前述第1驱动装置及第2驱动装置可使得前述剥离了的薄膜周剥离手逐步移动到薄膜接纳工作台上，这时，分别使第1薄膜压板定位在薄膜移动轨迹上面，第2薄膜压板定位在薄膜移动轨迹下面，放开该薄膜，并使其落在薄膜接纳工作台上及第2薄膜压板上方，然后使第1薄膜压板下降压住薄膜，第2薄膜压板举起落下的薄膜两端，在薄膜的上方抽出，接着第2薄膜压板下降压住薄膜，第1薄膜压板上升，形成与薄膜之间间隔。
在上述装置中，可形成下述结构：前述衬底，其薄膜露出一端部作为前端或后端，通过进给装置被输送；前述吸附装置配置在由该进给装置形成的进给路线下方，它包括用于吸附前述衬底，并且从进给路线举起，在水平面内旋转90°的转盘；前述剥离手配置在与旋转90°的薄膜一端部相对的位置上；前述剥离手进给装置备有：导向装置，其被配置成要能在与前述进给路线垂直的方向上引导前述剥离手越过前述衬底上方；沿该导向装置使前述剥离手作往复运动的剥离手驱动装置。
根据本发明，利用剥离手夹持从衬底一端露出贴着的薄膜一端部、并且由于一边使该剥离手作圆弧运动，一边向圆弧中心调节其位置，所以在由剥离手卷起薄膜一端部时，无多余的力作用在该薄膜一端部，从而薄膜的变形被压至最小限度。并且剥离手牵引着使卷起的薄膜端部移至衬底以外，因在衬底以外位置才放开，所以若在该处层合，可防止由于剥离了的薄膜的自由落下而引起的尘埃。
根据发明，从衬底一端露出的薄膜一端部由于以该衬底一端附近为中心卷起，所以在该卷起动作中薄膜一端部对于衬底无多余的牵引。因而衬底在其平面方向或上下方向受剥离手牵引，不承受多余负荷。
根据发明，贴着薄膜的衬底进给停止后旋转90°，自动地移动到与剥离手相对的位置，所以剥离手夹持薄膜一端部是容易可靠的。并且使薄膜剥离方向与衬底的进给方向垂直，可避免与衬底进给方向的装置相碰，同时可缩短进给距离。
根据发明，由剥离手剥离并移动到衬底外的薄膜被依次堆积收存，所以可抑制薄膜自由落下时产生的灰尘。
根据发明，利用剥离手夹持露出并贴着的薄膜一端部，并且由于在薄膜上不产生多余的力地那样卷起，就这样沿大致呈水平方向输送到衬底外，所以使薄膜的剥离变得容易可靠，而且这时对衬底一侧不会造成损伤等，剥离时出自薄膜的尘埃可限制在最小程度。
根据发明，由于吸附装置包括在吸附衬底的状态使其旋转的转动机构，所以相对衬底的进给方向使吸着的衬底转90°，由在进给路线一侧的剥离手夹持薄膜一端部是容易的；并且用剥离手使薄膜一端部剥离方向由于是与衬底的进给方向成90°直交，所以带剥离手的剥离装置与衬底进给方向的装置不会相碰。从而无须加大要防止相碰的薄膜输送距离或把剥离手设置在进给装置的上方。
根据发明，由于将从衬底露出并下垂的薄膜一端部通过薄膜端部支撑台支撑在一定高度上，所以剥离手夹持片容易夹持该薄膜一端部。
根据发明，可以用进入进出槽内的夹持片在一定高度位置可靠地夹持用薄膜端部支撑台支持的薄膜一端部；并且这时由于薄膜一端部借助进出槽两侧的薄膜端部支撑台确保其保持水平状态，所以夹持片工作不会失误。
根据发明，由剥离手包括在与薄膜一端部平行的旋转中心轴周围转动的转动部件及在其上面支撑的一对夹持片，所以由该夹持片夹住薄膜一端部后，在垂直面内作圆弧运动，在使薄膜一端部剥离时，夹持片朝着圆弧运动旋转中心，防止在薄膜上施加多余的力，通常，利用与人手剥离时的指头一样的运动可进行剥离。
根据发明，转动部件的旋转中心轴通过衬底的一端附近，周转动部件支撑的夹持片夹住薄膜一端部卷起时，由于以薄膜一端部露出基点为中心旋转举起该薄膜一端部，所以薄膜一端部对衬底无牵引，从而不会产生衬底位置偏斜和对薄膜的多余应力。
根据发明，因为用剥离手剥离并沿大致水平方向输送的薄膜通过堆积装置被依次压入，所以剥离的薄膜进给范围被限制在最小限度，从而堆积前的灰尘的产生也可受到最大程度的限制。
根据发明，利用上下交错驱动堆积装置的第1及第2薄膜压板进行剥离，并且可依次水平堆积压进由剥离手送过来的薄膜。
根据发明，第1薄膜压板压住中心部分，使位于压住的薄膜下侧的第2薄膜压板一边举起薄膜两端一边上升，再使薄膜置于第2压板的下侧，进而由第2压板压住薄膜，并且第1薄膜压板返回上方，这期间可送入剥离了的薄膜，然后又压住输入的薄膜的中心，使两端成为第2薄膜压板的上侧，以下顺序同样反复进行，可牢靠地压入堆积剥离了的薄膜。
根据发明，由于剥离手进给装置越过衬底上方地配置在与进给路线垂直的方向上，所以与衬底进给方向的各种装置不相碰，致使空间利用率增加许多，同时可使薄膜剥离时的衬底停止时间缩短。
图1是本发明实施例的薄膜剥离装置的平面图；
图2是图1所示实施例的侧视图；
图3是图1所示实施例的主要部分的放大透视图；
图4是用剥离手夹持薄膜一个端部的起始过程放大剖视图；
图5是用剥离手剥离薄膜一个端部的起始过程剖视图；
图6是用剥离手剥离薄膜的中途过程剖视图；
图7是用剥离手剥离薄膜的终止过程剖视图；
图8是把剥离了的薄膜输入薄膜堆积装置过程剖视图；
图9是塞进输入的剥离薄膜的最初过程的剖视图；
图10是使第2薄膜压板上升过程剖视图；
图11是第2薄膜压板从剥离了的薄膜下方抽出的中间过程剖视图；
图12是将剥离了的薄膜塞入的最终过程剖视图；
图13是要用本发明的方法和装置剥离的薄膜以及粘贴该薄膜的衬底的剖视图。
下面参照附图说明本发明的实施例。
如图1和2所示，有关该实施例的薄膜剥离装置10设置有：吸附装置16，吸附前述衬底12作水平定位，薄膜14的一个端部14A粘在衬底12上，是剥离从衬底12一端12A露出的该薄膜14的装置；剥离手18，它备有一对自由张合的夹持片18A、18B，夹持从衬底12露出的薄膜14一个端部14A，衬底12是由前述吸附装置16固定的，同时就这样夹持着，一边在与衬底12垂直面内从衬底12表面朝剥离方向分离，一边还向衬底12的另一端12B方向大致作圆弧形移动，这时使前述一对夹持片18A、18B大致朝向前述圆弧中心；剥离手进给装置20，它使该剥离手18夹着薄膜一个端部14A，沿前述衬底12上方越过该衬底12的另一端12B，大致水平地送进到距该另一端12B比衬底12还要长的间距的位置；堆积装置22，依次堆积压入由剥离手18剥离的薄膜14。
前述衬底12由进给装置24沿衬底进给路线24A，在图1从下侧向上，在图2从左向右地送进。
前述吸附装置16备有气缸16A；转盘16B，它利用气缸16A上下运动从下面接触、吸附在前述进经给装置24上的衬底12上，并且可使它在水平面内作90°转换那样旋转。前述转盘16B的上面呈平板状。在该面上分别设置了：直径不同的二个同心圆状的圆周槽34A、34B；在这些圆的中心位置形成的吸引口36；6条放射槽34C，它从该吸引口36呈放射状延伸到圆周槽34A、34B，使圆周槽34A、34B与吸引口36连通。前述吸引口36通过在中途备置开关阀的导管与真空源(图示皆从略)连通，通过开关阀的切换可作吸附的工作、非工作选择。转盘16B在衬底进给路线24A下侧位置待机，上升时，要把衬底1 2举得比衬底进给路线24A还要高。
图中标号24B是进给装置24的进给滚轮；24C是卷绕在该进给滚轮24B的链轮(图示从略)上，传递来自马达24D转矩的链条。
前述剥离手进给装置20包括：前述吸附装置16的在进给方向进入侧与衬底进给路线24A垂直配置的环带20A；支撑在该环带20A上同时支撑前述剥离手18基端的滑块20B；驱动环带20A的马达20C。
前述堆积装置22在侧面与前述进给装置24相邻配置。前述剥离手进给装置20的环带20A可往复驱动固定在滑块20B上的剥离手18，见图1，从进给装置24的右侧越过进给装置24上方，在与衬底进给路线24A垂直方向上，达到前述堆积装置22的与进给装置24相对一侧的端部。
包括前述剥离手18的剥离手装置19如图3所示由以下部分构成：由前述剥离手进给装置20的环带20A驱动的滑块20B；安装在该滑块20上端，环绕与前述衬底进给路线24A平行的旋转中心轴线，在90°范围内使输出轴往复摆动的旋转式气缸19A；固定在该旋转式气缸19A的输出轴上的L形臂19B；在该L形臂19B前端上固定的前述剥离手18。
前述剥离手18备有薄膜端检测传感器(未图示)，夹持片18A、18B接近薄膜一端部14A，当处于可夹持上述端部14A时，输出薄膜端检测信号，通过促动器18C使夹持片18A、18B闭合。
上述剥离手18安装在L形臂19B的长边前端，并且旋转式气缸19A安装在L形短边的前端，其输出轴与长边平行。
从而，前述剥离手18的夹持片18A、18B安装成与通过旋转式气缸19A的输出轴的中心轴线相对，以与中心轴线垂直方向相等距离的半径作旋转。
而且当前述剥离手装置19相对薄膜一端部14A处于分开待机状态时，如图3所示，L形臂19B位于同一水平面内。
在前述进给装置24的与前述堆积装置22相反侧相邻位置上，把进出槽38作为间隔地配置一对薄膜端部支撑台40。该薄膜端部支撑台40上面为水平面，其高度应当是高于前述进给装置24的进给滚轮24B，并处于比吸附在转盘16B上准备向上举起时的衬底12下面还要低的下侧位置上。
前述进出槽38是当前述剥离手18利用进给装置24向衬底12方向前进时，使该剥离手18不与薄膜端部支撑台40相碰，并且使从衬底12露出的薄膜14的一端部14A借助薄膜端部支撑台40保持在一定的高度时，就在这样状态用剥离手18的夹持片18A、18B从上下夹入。
在此，前述剥离手装置19的L形臂19B之长边下侧面成为比薄膜端部支撑台40上端面还要高的上侧位置。
当处于待机状态时，在剥离手18的向上下打开的夹持片18A、18B的中间高度成为衬底12的上面高度位置，下侧夹持片18B处于比薄膜端部支撑台40上面还要稍低的位置。
此外，前述剥离手装置19的旋转式气缸19A的输出轴，即L形臂19B的旋转中心轴，当用前述夹持片18A、18B夹住薄膜14一端部14A时，要位于通过衬底12一端12A附近的与该一端12A平行的直线上。
从而，夹持片18A、18B在从夹住薄膜一端部14A前的待机状态到夹住期间，如图3实线所示，与薄膜一端部14A相对，用旋转式气缸19A使L形臂19B在旋转式气缸19A旋转中心轴周围摆动时，要向下对着一端12A。
如图1及8所示，前述堆积装置22包括：在由前述剥离手18产生的剥离薄膜的水平移动轨迹15的下面，通过马达23可作上下方向位置自由调节地配置的水平薄膜接纳工作台22A；在该薄膜接纳工作台22A的上方，水平且朝与前述剥离薄膜移动方向垂直方向延伸，可上下自由移动的第1薄膜压板22B；在前述薄膜接纳工作台22A的上方，分开在前述第1薄膜压板22B的两侧，与第1薄膜压板22B平行且水平配置，上下可自由移动的一对第2薄膜压板22C；由分别驱动前述第1薄膜压板22B及第2薄膜压板22C作上下活动的汽缸组成的第1驱动装置22D、第2驱动装置22E。
前述第1驱动装置22D及第2驱动装置22E在剥离了的薄膜14用剥离手18移至薄膜接纳工作台22A上时，分别使第1薄膜压板22B定位在比薄膜移动轨迹15还要高的上方，第2薄膜压板22C定位在比薄膜移动轨迹15还要低的下方；该薄膜14通过剥离手18以一端被夹持状态落在薄膜接纳工作台22A及第2薄膜压板22C上面，然后第1薄膜压板22B下降压住薄膜14，进而在剥离手18放开薄膜后，第2薄膜压板22C举起落下的薄膜14两端，在薄膜14上方抽出，接着第2薄膜压板22C下降压住薄膜14，第1薄膜压板22B上升使之与薄膜14之间有间隔。
图1及图2中的标号26是交换部分，从前述进给装置24将剥离了薄膜14的衬底12送入与图2中右侧相邻的装置(未图示)上。
该交换部分26备有由马达26A通过链条26B驱动的前述进给装置24的进给滚轮24B和排成2列的进给滚轮26C。
如图1所示，在前述左右2列进给滚轮26C之间，在与该进给滚轮26C垂直方向配置多个随意转动的升降式自由滚轮28。这些升降式自由滚轮28通过气缸28A作上下运动。
在前述左右2列进给滚轮26C的两个外侧，配置由气缸30A马区动的对中装置30，把通过由气缸28A马区动的升降式自由滚轮28举起的衬底12，从衬底进给路线24A的宽度方向两侧挤压，实施中心对准。
图2中的标号32是防静电的聚氯乙烯保护层；33是不锈钢保护层。
下面说明与上述实施例有关的薄膜剥离装置10的功能。
使用进给装置24向后侧送进的一端部14A的粘着薄膜14的衬底12停止进给，同时，用气缸16A一边使吸附装置16的转盘16B上升，一边吸附衬底12的背面。吸附着向进给装置24的进给滚轮24B上方举起，然后使转盘16B沿图1中逆时针方向旋转90°，从衬底12一端12A露出的薄膜14的一端部14A与衬底进给路线24A平行，并且该一端部14A以衬底进给路线24A作为间隔定位在与前述堆积装置22的相反一侧上。
当薄膜14的一端部14A在水平面内旋转90°时，便下垂到前述薄膜端部支撑台40上。这时，薄膜端部支撑台40从下面支撑住以便维持薄膜14一端部14A为水平状态。在薄膜端部支撑台40中间的进出槽38的位置上，薄膜14的一端部14A横跨该进出槽38，也维持着水平状态。
如图3实线所示，前述剥离手18以L形臂19B在同一水平面状态预先操作剥离手进给装置20，在与旋转过来的薄膜14的一端部14A相对的位置上配置好。
如图4所示，剥离手18其夹持片18A、18B上下呈开启状态，在该状态下，通过剥离手进给装置20的马达20C驱动环带20A，使剥离手18沿与衬底进给路线24A垂直方向缓缓地朝薄膜14的一端部14A移动。
剥离手18以其夹持片18A、18B呈上下开启状态进入前述薄膜端部支撑台40的进出槽38内，这样向着一端部14A行进。剥离手18的夹持片18A、18B由于内装薄膜检测传感器，所以薄膜一端部14A一到达夹持片18A、18B之间位置，通过来自薄膜检测传感器的信号立刻使马达20C停止，然后夹持片18A、18B闭合，由此一端部14A被夹持片18A、18B夹住(参看图5)。
接着在该状态下，使剥离装置19的旋转式气缸19A工作，L形臂19B旋转90°，剥离手18的夹持片18A、18B如图5、图6所示那样将薄膜14一端部14A从衬底卷起作圆弧运动。该圆弧运动由于是以前述衬底12的一端12A为中心，所以夹持片18A、18B通常保持朝着该一端12A方向的状态。即夹持片18A、18B改变位置，变成朝着水平横向向下。并且由于从一端12A到夹持片18A、18B的距离无变化，所以对于衬底12来说，薄膜14的一端部不会受到多余的牵引。
在前述状态下，用剥离手进给装置20使剥离手18移动，通过衬底12的上方到达堆积装置22的相反侧端部，如图7所示，留下感光层13从衬底剥离薄膜14，还有如图8所示，进入堆积装置22的上下打开的第1薄膜压板22B和第2薄膜压板22C之间的位置。
因此，前述圆弧运动期间通常夹持片18A、18B朝向旋转中心，并且由于其旋转半径是不变化的，所以薄膜14的一端部14A不会受到牵引力之类影响。因而被前述吸附装置16的转盘16B吸附着的衬底12不会因受牵引力而移动。
在这种状态下，如图8所示，薄膜14大体水平地垂落在正从上方挤压着已经接纳的薄膜14的第2薄膜压板22C上面。
接着第1薄膜压板22B象图9所示那样下落，压进薄膜14，固定在薄膜接纳工作台22A上。薄膜14一旦被固定，夹持其一端的剥离手18之夹持片18A、18B放开该一端部14A。
然后，第2薄膜压板22C象图10所示那样上升，举起薄膜14的两端再上升，象图11所示那样在薄膜14两端上侧抽出。
这时，薄膜14的两端由于中央部分受第1薄膜压板22B挤压，借助弹性及重力而降落在薄膜接纳工作台22A上。
进而，上升了的第2薄膜压板22C下降，如图12所示，把薄膜14紧紧压在薄膜接纳工作台22A上。然后中央的第1薄膜压板22B上升，成为如图8所示的准备接纳下一个薄膜14的待机状态。
这期间，前述吸附装置16的转盘16B旋转90°复元，再下降打开真空，使衬底12返回进给装置24的进给滚轮24B上，进给装置24把衬底12沿交换部分26方向送出。
另一方面，放开薄膜14一端部14A后的剥离手如图12所示在处于第1及第2薄膜压板22B、22C两者挤压薄膜状态时，回到原位，等待夹持下一个薄膜端部14A。前述薄膜接纳台22A取得一定量的剥离的薄膜后，为了下一个薄膜，利用气缸使之下降，以形成一定的空间。
如上所述，沿着由进给装置24依次送过来的衬底12，从该进给装置24的一侧利用剥离手18剥去薄膜14，由于置于该进给装置24的另一侧的堆积装置22中收容上述剥下的薄膜14，所以通过与衬底进给路线24A垂直地移动剥离手18，没有必要留取大的衬底进给路线24A方向的空间，并且也无需大的装置高度方向的尺寸。而且由于剥离时薄膜14的变形及移动量小，所以灰尘也少。此外，堆积装置22由于将剥离了的薄膜14叠合堆垛压紧，所以薄膜收容部分的容积也小。
另外，在上述实施例中，剥离手18的夹持片18A、18B伴随着由旋转式气缸19A形成的L形臂19B的旋转，使其位置发生变化。但本发明不仅限于上述构成。比如可相对L形臂19B自由摆动地设置剥离手18，当L形臂19B旋转时，剥离手18通过夹持片18A、18B从薄膜14侧受力，可以在其牵引方向改变位置。
此外，分别利用第1驱动装置22D及第2驱动装置22E，向上下方向驱动堆积装置22的第1及第2薄膜压板22B、22C。但这在薄膜接纳工作台22A上不会使剥离了的薄膜14向侧方错位下落，而且依次有序地压紧，并且只要能允许剥离手18通过就行。因而，也可以使第2薄膜压板22C向侧方或前后方向移动、从薄膜14的下侧抽出。
Claims (15)
1．一种薄膜剥离方法，剥离其一端部从衬底一端露出且贴在该衬底上的薄膜，其特征在于具有以下工序：吸住前述衬底进行定位；利用与薄膜一端部平行的剥离手(ピ-ルハンド)，夹持从已定位的衬底露出的薄膜的一个端部；在夹持着薄膜一个端部使该剥离手与衬底垂直的面内，以衬底面附近为圆弧中心，一边朝着前述圆弧中心调节剥离手位置，一边从衬底面离开，并且向衬底另一端方向作使薄膜一个端部向上卷起的圆弧运动；由剥离手夹持着卷起的薄膜的一个端部向衬底的另一端方向移动，进而超过前述另一端，薄膜的另一端部至少从衬底到剥离位置并向衬底外输送；在衬底外位置放开前述薄膜。
2．如权利要求1的薄膜剥离方法，其特征是，在所述使薄膜一个端部向上卷起的工序中，与所述衬底一端平行，在通过该一端附近的直线上，设置卷起所述薄膜一端部的圆弧运动的圆弧中心。
3．如权利要求1或2的薄膜剥离方法，其特征是，包括在由所述剥离手夹持的工序之前，把所述薄膜的一个端部作为前端或后端，沿进给路线在一个方向上输送所述衬底的工序，以及停止衬底的进给，并且在吸附衬底以后在与衬底平行的平面内旋转90°，在与配置在衬底进给路线侧面的剥离手相对的位置上使所述薄膜的一个端部移动的工序。
4．如权利要求1或2的薄膜剥离方法，其特征是，在所述放开薄膜的工序中，将由所述剥离手向衬底外移动的薄膜在放开时装入，依次堆积收容。
5．如权利要求3的薄膜剥离方法，其特征是，在所述放开薄膜的工序中，将由所述剥离手向衬底外移动的薄膜在放开时装入，依次堆积收容。
6．一种薄膜剥离装置，用于剥离一端部从衬底一端露出且贴在该衬底上的薄膜，其特征是它包括：吸附装置，吸附前述衬底，使其在水平位置固定；剥离手，设置有一对自由开闭的夹持片，夹持从用前述吸附装置固定了的衬底露出的前述薄膜一端部，同时，就这样夹持着，在与衬底垂直的平面内，一边从衬底表面向剥离方向分离，一边朝衬底的另一端方向作大体为圆弧状运动，这时，前述一对夹持片大致朝着前述圆弧中心；剥离手进给装置，沿前述衬底上方越过该衬底的另一端水平地输送夹着薄膜一端部的剥离手，所到达的位置距另一端至少是大于衬底长度的距离。
7．如权利要求6的薄膜剥离装置，其特征是，前述吸附装置包括以吸附衬底的状态在水平面内旋转的转动机构，前述剥离手的一对夹持片呈开启状态，在用前述转动机构使衬底旋转时，位于前述薄膜一端部的旋转轨迹的上下高度处。
8．如权利要求7的薄膜剥离装置，其特征是，在前述转动机构和前述剥离手之间位置，设置决定该薄膜一端部水平面内旋转轨迹上下高度位置的薄膜端部支撑台，当通过前述转动机构使衬底旋转时，从下方相对自由滑动地接触到前述薄膜一端部。
9．如权利要求8的薄膜剥离装置，其特征是，前述剥离手相对前述薄膜端部支撑台上的薄膜一端部，在夹持该薄膜一端部的位置和待机位置之间自由进出，并且前述薄膜端部支撑台备置允许前述剥离手进退的进出槽。
10．如权利要求6至9中任一项的薄膜剥离装置，其特征是，前述剥离手包括：旋转部件，在水平并且与前述薄膜一端部平行的旋转中心轴周围转动；前述一对夹持片，朝着前述旋转中心轴方向安装在该旋转部件上。
11．如权利要求10的薄膜剥离装置，其特征是，前述旋转部件的旋转中心轴通过前述衬底一端附近配置。
12．如权利要求6至9中任一项的薄膜剥离装置，其特征是，设置堆积装置，它对着前述吸附装置，由前述剥离手配置在薄膜剥离方向一侧，依次压入堆垛由剥离手剥离的大致水平地输送过来的薄膜。
13．如权利要求12的薄膜剥离装置，其特征是，前述堆积装置由下述部分构成：水平薄膜接纳工作台，其上下位置可自由调节地配置在由前述剥离手剥离的薄膜的大体水平移动轨迹的下方；上下自由移动的第1薄膜压板，它处于该薄膜接纳工作台上方，水平并且向与前述剥离薄膜的移动方向垂直方向伸展；上下自由移动的一对第2薄膜压板，它们处于前述薄膜接纳工作台上方，分置在前述第1薄膜压板的两侧，与其平行且水平地配置；分别上下驱动前述第1薄膜压板和第2薄膜压板的第1驱动装置及第2驱动装置。
14．如权利要求13的薄膜剥离装置，其特征是，前述第1驱动装置及第2驱动装置使得前述剥离了的薄膜用剥离手逐步移动到薄膜接纳工作台上，这时，分别使第1薄膜压板定位在薄膜移动轨迹上面，第2薄膜压板定位在薄膜移动轨迹下面，放开该薄膜，并使其落在薄膜接纳工作台上及第2薄膜压板上方，然后使第1薄膜压板下降压住薄膜，第2薄膜压板举起落下的薄膜两端，在薄膜的上方抽出，接着第2薄膜压板下降压住薄膜，第1薄膜压板上升，形成与薄膜之间间隔。
15．如权利要求6至9中任一项的薄膜剥离装置，其特征是，它有如下结构：前述衬底，其薄膜露出一端部作为前端或后端，通过进给装置被输送；前述吸附装置配置在由该进给装置形成的进给路线下方，它包括用于吸附前述衬底，并且从进给路线举起，在水平面内旋转90°的转盘；前述剥离手配置在与已旋转90°的薄膜一端部相对的位置上；前述剥离手进给装置备有：导向装置，其被配置成要能在与前述进给路线垂直的方向上引导前述剥离手越过前述衬底上方；沿该导向装置使前述剥离手作往复运动的剥离手驱动装置。
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