JP2002329965A - 薄膜積層体の製造方法および製造装置 - Google Patents

薄膜積層体の製造方法および製造装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層するグリーンシートに印刷される導体パ
ターンが多種類存在する薄膜積層体であっても、導体パ
ターンの印刷作業が煩雑にならず、しかも高精度に導体
シートを積層できる薄膜積層体の製造方法および製造装
置を提供する。 【解決手段】 導電性パターンが形成された薄膜シート
を順次積層して薄膜積層体を製造するものであって、薄
膜シートＧを所定サイズに調整されたキャリアフィルム
Ｆに保持させて収納ケース１１に収納し、前記薄膜シー
トＧを前記キャリアフィルムに保持させた状態で収納ケ
ース１１から取り出して圧着・積層位置Ｄへ搬送する途
中において、同薄膜シートＧを搬送しながらキャリアフ
ィルムＦから剥離させるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜積層体の製造
方法および製造装置に関する。さらに詳しくは、表面に
導体パターンが印刷されたセラミック材料などからなる
薄膜シートを積層して多層配線基板などの薄膜積層体を
製造する薄膜積層体の製造方法および製造装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＬＳＩパッケージ用基板、多
層配線基板および積層コンデンサ（チップコンデンサ）
などの薄膜積層体を製造する薄膜積層体の製造方法とし
て、キャリアフィルム片と称される帯状の可撓性基体表
面にいわゆるテープ成形法によりグリーンシート（セラ
ミック生シート）を連続的に成形し、このグリーンシー
トを所定サイズに裁断するとともに、裁断された各シー
トにパターン印刷などにより導体パターンを形成しかつ
各シートを圧着積層して、薄膜積層体を製造する薄膜積
層体の製造方法が行われている。
【０００３】ところで、前記グリーンシートは、キャリ
アフィルム片から剥離すると短期間で伸縮変形してしま
うので、積層する直前までキャリアフィルム片と一体で
あることが望ましいため、従来、グリーンシートとキャ
リアフィルム片とを一体として所定サイズに裁断し、グ
リーンシートを圧着した後にキャリアフィルム片を剥離
するという作業を繰り返すことにより薄膜積層体が製造
されている。
【０００４】具体的には、図１７に示すように、積層台１
０１上にあらかじめ積層されている導体パターンの印刷
されていないグリーンシート（以下、ダミーシートとい
う）Ｄ´上に、導体パターンの印刷されているグリーン
シート（以下、導体シートという）Ｇ´およびキャリア
フィルム片Ｆ´が一体的に裁断されてなる所定寸法の二
層シート片Ｎ´をその導体シートＧ´が前記ダミーシー
トＤ´に接するように載置し圧着した後（図１７（ａ）
参照）、キャリアフィルム片Ｆ´に、例えば粘着テープ
を貼り付けて引き剥がす（図１７（ｂ）参照）ことによ
り１枚の導体シートＧ´の積層が完了する。そして、所
要数の導体シートＧ´を同様の方法で積層することによ
り薄膜積層体が製造されている。また、この製造方法に
おいては、二層シート片Ｎ´に形成されたピン孔１０
２、１０２を積層台１０１に前記ピン孔１０２、１０２
に対応させて設置されたピン１０３、１０３に嵌め込む
ことにより積層位置の位置決めがなされている。
【０００５】しかしながら、かかる薄膜積層体の製造方
法には次のような問題がある。
【０００６】（１）粘着テープでキャリアフィルム片Ｆ
´を剥離する作業に非常に時間がかかり、しかも粘着力
の低下した粘着テープを取り替える必要もあるため、生
産性が非常に低い。
【０００７】（２）キャリアフィルム片Ｆ´を剥離する
際に導体シートＧ´が一緒に剥がれるのを防止するため
にかなりの圧力を加えて導体シートＧ´を圧着させてい
るため、繰り返しの加圧によりすでに積層されている導
体シートＧ´に変形が生じる。
【０００８】（３）ピン孔１０２とピン１０３を利用し
た位置決めでは、ピン孔１０２とピン１０３との公差分
だけ積層位置にずれが生じてしまう。
【０００９】かかる従来技術の問題を解決すべく、例え
ば特開平１０−２８４３４６号公報には、図１８に示す
ような薄膜積層体の製造装置が提案されている。この製
造装置Ｊ´は、導体パターンが所定間隔で印刷された導
体シートＧ´が表面に連続的に成形されているキャリア
フィルム片Ｆ´を巻出装置１０１にセットし、このキャ
リアフィルム片Ｆ´を巻出装置１０１から巻き出し、ロ
ール群１０２により裁断台１０３上まで所定長さずつ送
って、この裁断台１０３上でシート裁断搬送ヘッド１０
４により導体シートＧ´を所定寸法に裁断し、裁断され
た各導体シートＧ´を裁断搬送ヘッド１０４により吸着
保持して積層台１０５上方まで搬送し、この積層台１０
５上で各導体シートＧ´を所定枚数圧着・積層して積層
体Ｓ´を形成していくものとされる。
【００１０】また、この製造装置Ｊ´においては、導体
シートＧ´に導体パターンと対応させて所定間隔で印刷
されている位置決め用マークをＣＣＤ撮像装置１０６で
撮像し、その撮像画像に基づいてシート裁断搬送ヘッド
１０４の移動量を補正することにより、積層位置の位置
決めがなされている。
【００１１】この製造装置Ｊ´によれば前述の問題点は
ほぼ解消されるが、この製造装置Ｊ´は、積層される各
導体シートＧ´に印刷される導体パターンが１種類であ
る薄膜積層体の製造には適しているが、例えば次世代携
帯電話などに組み込まれる多層配線基板のように積層さ
れる各導体シートＧ´に印刷される導体パターンが１０
〜２０種類にもなる薄膜積層体の製造には適さないとい
う問題がある。すなわち、導体パターンが１０〜２０種
類も存在する薄膜積層体を製造装置Ｊ´により製造する
ためには、１０〜２０種類にも及ぶ各導体パターンを積
層する順序通りにグリーンシートＧ´に印刷する必要が
あるため、印刷作業が著しく煩雑になるという問題があ
る。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、積層するグリー
ンシートに印刷される導体パターンが多種類存在する薄
膜積層体であっても、導体パターンの印刷作業が煩雑に
ならず、しかも高精度に導体シートを積層できる薄膜積
層体の製造方法および製造装置を提供することを目的と
している。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜積層体の製
造方法は、導電性パターンが形成された薄膜シートを順
次積層して薄膜積層体を製造する薄膜積層体の製造方法
であって、薄膜シートを所定サイズに調整されたキャリ
アフィルムに保持させて収納ケースに収納し、前記薄膜
シートを前記キャリアフィルムに保持させた状態で収納
ケースから取り出して圧着・積層位置へ搬送する途中に
おいて、同薄膜シートを搬送しながらキャリアフィルム
から剥離させることを特徴とする。
【００１４】本発明の薄膜積層体の製造方法において
は、例えば薄膜シートを搬送体に保持させ、前記薄膜シ
ートとキャリアフィルムとの境界に剥離部材を進入させ
ることにより、前記薄膜シートを前記キャリアフィルム
から剥離させるものとされる。
【００１５】また、本発明の薄膜積層体の製造方法にお
いては、キャリアフィルムの搬送方向長さが薄膜シート
よりも長くされ、その長くされた部分を搬送方向に突出
させ、前記突出させられた部分に剥離部材を沿わせなが
ら薄膜シートとキャリアフィルムとの境界に進入させる
のが好ましい。
【００１６】さらに、本発明の薄膜積層体の製造方法に
おいては、キャリアフィルムの搬送方向に突出させられ
た部分に不要部を薄膜シートと一体的に形成し、ついで
前記薄膜シートを所定位置に位置決めして前記不要部と
の境界に分離溝を形成し、剥離部材を該分離溝の底部に
沿わせながら薄膜シートとキャリアフィルムとの境界に
進入させるようにしてもよい。
【００１７】さらに、本発明の薄膜積層体の製造方法に
おいては、分離溝を薄膜シートの積層位置への搬送途中
において形成するようにしてもよい。
【００１８】さらに、本発明の薄膜積層体の製造方法に
おいては、分離溝を形成して収納ケースに収納するよう
にしてもよい。
【００１９】さらに、本発明の薄膜積層体の製造方法に
おいては、剥離部材の搬入側がナイフエッジ状とされて
なるのが好ましい。
【００２０】さらに、本発明の薄膜積層体の製造方法に
おいては、剥離部材により導体シートが剥離されたキャ
リアフィルムの排出側への案内がなされるのが好まし
い。
【００２１】一方、本発明の薄膜積層体の製造装置は、
導電性パターンが形成された薄膜シートを順次積層して
薄膜積層体を製造する薄膜積層体の製造装置であって、
薄膜シートが形成された所定サイズに調整されたキャリ
アフィルムを収納する収納手段と、前記収納手段に収納
されている薄膜シートをキャリアフィルムに保持させた
状態で取り出して所定位置まで移送する搬出手段と、前
記搬出手段により取り出された薄膜シートをキャリアフ
ィルムに保持させた状態で所定位置まで搬送する搬送手
段と、前記搬送手段により所定位置まで搬送された薄膜
シートを搬送しながらキャリアフィルムから剥離させる
剥離手段と、前記薄膜シートを圧着・積層する圧着・積
層手段とを備えてなることを特徴とする。
【００２２】本発明の薄膜積層体の製造装置において
は、位置決め手段が備えられてなるのが好ましい。
【００２３】また、本発明の薄膜積層体の製造装置にお
いては、分離溝形成手段が備えられていてもよい。
【００２４】さらに、本発明の薄膜積層体の製造装置に
おいては、剥離手段が薄膜フィルムを保持して搬送する
搬送体と、剥離・案内板とを備え、前記搬送体による薄
膜シートの搬送中に該剥離・案内板の搬入側を、薄膜シ
ートとキャリアフィルムとの境界に進入させることによ
り前記薄膜シートのキャリアフィルムからの剥離がなさ
れ、同剥離・案内板の排出側により前記キャリアフィル
ムの排出側への案内がなされてもよい。
【００２５】さらに、本発明の薄膜積層体の製造装置に
おいては、剥離・案内板の搬入側がナイフエッジ状とさ
れてなるのが好ましい。
【００２６】
【作用】本発明は前記のごとく構成されているので、圧
着・積層する薄膜シートに印刷される導体パターンが多
種類存在する薄膜積層体を製造する場合にも、導体パタ
ーンの印刷作業が煩雑になるということがない。また、
薄膜シートのキャリアフィルムからの剥離が圧着・積層
場所への搬送途中になされるので、薄膜シートの圧着・
積層が効率よくなし得る。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
【００２８】実施形態１ 本発明の実施形態１にかかる薄膜積層体の製造方法が適
用される薄膜積層体の製造装置（以下、単に製造装置と
いう）の概略構成を図１および図２に示し、この製造装
置Ｊは、表面に所定の導体パターンが形成されたセラミ
ック材料からなる厚さ１００μｍ程度の所定寸法のグリ
ーンシート（以下、導体シートという）を圧着・積層し
て薄膜積層体(以下、単に積層体という)Ｓを製造するも
のとされ、特にそれぞれ異なる導体パターンが形成され
た所要数の導体シートを所定の順序で圧着・積層する必
要のある積層体Ｓ、例えば次世代携帯電話に組み込まれ
る多層配線基板の製造に好適に用いられる。
【００２９】製造装置Ｊは、具体的には、所定サイズの
キャリアフィルムＦ表面に所定導体パターンを有する導
体シートＧが成形されてなる所定寸法の二層シート片Ｎ
を、形成されたパターン毎に収納している収納部（収納
手段）１０と、前記収納部１０に収納されている二層シ
ート片Ｎを取出位置Ａにおいて所定順序で取り出して受
渡位置Ｂまで移送する搬出部（搬出手段）２０と、前記
搬出部２０により搬出された二層シート片Ｎを裁断位置
Ｃまで搬送する搬送部（第１搬送手段）３０と、前記搬
送部３０により裁断位置Ｃまで搬送された二層シート片
Ｎから導体シートＧを所定寸法に裁断して圧着・積層位
置Ｄまで搬送する裁断・搬送部（裁断・搬送手段）４０
と、前記裁断・搬送部４０により所定寸法に裁断されて
圧着・積層位置Ｄまで搬送された導体シートＧを圧着・
積層する圧着・積層部（圧着・積層手段）５０と、裁断
位置Ｃおよび圧着・積層位置Ｄの位置決めをなす位置決
め部（位置決め手段）６０と、前記各部１０，２０，３
０，４０，５０，６０を制御する制御装置７０とを主要
構成要素として備えてなるものとされる。
【００３０】ここで、二層シート片Ｎは、二軸延伸ポリ
エチレンテレフタレートフィルム（ポリエステルフィル
ム）や二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどの適度の弾
力性を有する硬質合成樹脂材料からなる帯状のキャリア
フィルムＦ表面にグリーンシートを連続的に成形し、つ
いでそのグリーンシートに所定の導体パターンを所定間
隔で印刷してなる二層シートを、前記導体パターンに対
応させて所定寸法に裁断してなるものとされる。より具
体的には、二層シート片Ｎは、その搬送方向と直交する
方向（以下、幅方向という）の寸法が積層体Ｓの幅方向
寸法と同一で、かつ後述する導体シートＧの剥離を容易
化する観点から、その搬送方向寸法が積層体Ｓのそれよ
りも所定量大きくなるように裁断されている。また、導
体シートＧの剥離をさらに容易化する観点から、キャリ
アフィルムＦの前記グリーンシートが成形される面に
は、離型剤が塗布されているのが望ましい。
【００３１】導体シートＧは、各種セラミック誘電体粉
末、樹脂バインダーや可塑剤、界面活性剤（分散材）お
よび有機溶剤からなるスラリーをキャリアフィルムＦ表
面にドクターブレード法などを用いて薄く塗布して乾燥
させることにより得られるグリーンシートの表面に、パ
ラジウム、銀、ニッケルなどの金属粉を含む導電材が導
体パターンとして例えばスクリーン印刷法により印刷さ
れるとともに、位置決め部６０による位置決めにおける
ターゲットとなる位置決め用マーク（図示省略）が印刷
されてなるものとされる。
【００３２】収納部１０は、二層シート片Ｎが収納され
る所要数の収納ケース１１、１１、…と、収納ケース１
１、１１、…が放射状に載置・固定されている円盤状の
ターンテーブル１２と、駆動端１３ａがその回転中心を
ターンテーブル１２の回転中心に一致させてターンテー
ブル１２の裏面に接合され後端部１３ｂがベース１に固
定されているサーボモータ１３とからなる。ここで、収
納ケース１１は製造する積層体Ｓに必要な導体パターン
の種類数と同数とされ、それらが所定間隔を設けてター
ンテーブル１２上に放射状に載置・固定されている。
【００３３】搬出部２０は、水平駆動機構２１と、この
水平駆動機構２１に水平駆動される搬出具２２とを備え
てなるものとされる。水平駆動機構２１は、基端２１ａ
がターンテーブル１２の上方所定位置に固定され先端２
１ｂが搬送部３０の上方所定位置まで水平に延伸されて
なるものとされる。この水平駆動機構２１は、明瞭には
図示はされていないが、ボールねじ駆動機構とされその
ボールねじナット体に搬出具２２が装着されてなるもの
とされる。搬出具２２は、水平駆動機構２１に装着され
た搬出具本体２２ａ例えばエアシリンダと、この本体２
２ａの駆動部材例えばピストンロッドに昇降させられる
二層シート片Ｎを着脱自在に吸着保持する吸盤２２ｂと
を備えてなるものとされる。この吸盤２２ｂは吸着部の
負圧を調節することにより、二層シート片Ｎの着脱をな
す公知のものとされている。ここで、搬出具２２は、取
出位置Ａに位置する収納ケース１１ａから二層シート片
Ｎを取り出す取出位置Ａから搬送部３０への受渡位置Ｂ
まで往復動するものとされる。
【００３４】搬送部３０は、水平に配設されたベルトコ
ンベア３１から構成され、一端(搬入端)３１ａが取出位
置Ａに位置せしめられている収納ケース１１ａに隣接さ
せられ、他端(搬出端)３１ｂが圧着・積層部５０近傍に
位置せしめられ、その搬送面３１ｃは収納ケース１１ａ
の上端とほぼ面一とされている。ここで、コンベアベル
ト３２は、明瞭には図示はされていないが、細幅のベル
トがローラー３３，３４に数本掛け渡された構成とされ
ている(図４参照)。
【００３５】裁断・搬送部４０は、搬送部３０により裁
断位置Ｃまで搬送されてきた二層シート片Ｎの導体シー
トＧの不要部Ｇａを裁断する裁断機構（裁断手段）と、
キャリアフィルムＦから導体シートＧを剥離させる剥離
機構と、キャリアフィルムＦから剥離された導体シート
Ｇを圧着・積層部５０まで搬送する搬送機構（第２搬送
手段）とを備えてなるものとされる。
【００３６】裁断・搬送部４０は、具体的には図３に示
すように、昇降自在とされた箱型吸着体４２および昇降
自在とされたカット刃４３を有するヘッド（搬送体）４
１と、ヘッド４１を保持している保持部材４４と、保持
部材４４を搬送する搬送機構４５と、昇降自在とされた
水平部材４６と、キャリアフィルムＦから導体シートＧ
を剥離させるとともにキャリアフィルムＦを排出側に案
内する剥離・案内板４７と、導体シートＧが剥離された
キャリアフィルムＦをダストボックス２に落下させる排
出ローラー４８とを備えてなるものとされる。そして、
箱型吸着体４２とカット刃４３と水平部材４６とにより
裁断機構（裁断手段）が構成され、箱型吸着体４２と搬
送機構４５と水平部材４６と剥離・案内板４７とにより
剥離機構（剥離手段）が構成される。なお、図３中、符
号Ｇａは導体シートＧの不要部を示し、Ｇｂは分離溝を
示す。
【００３７】ヘッド４１は、上面が開放された箱体とさ
れ、このヘッド４１底面には、前部昇降シリンダ(エア
シリンダ)４１ａと後部昇降シリンダ(エアシリンダ)４
１ｂとが縦列状に配置されるとともに、その中央には排
気管４１ｃが配設されている。前部昇降シリンダ４１ａ
および後部昇降シリンダ４１ｂの各ロッドは、ヘッド４
１底面を貫通させてヘッド４１の下方に配設された箱型
吸着体４２上面に接合され、また排気管４１ｃの先端
(下端)は、ヘッド４１底面を貫通させて箱型吸着体４２
上面に形成された排気孔４２ａに接合されている。この
排気管４１ｃの上端には、図示はされていないが、排気
装置(図示省略)からの可撓性を有する配管が接続されて
いる。
【００３８】箱型吸着体４２は中空体とされ、その上面
には、前述したように、箱体とされたヘッド４１底面に
縦列状に配設された前部昇降シリンダ４１ａおよび後部
昇降シリンダ４１ｂの各ロッドがヘッド４１底面を貫通
させて接続されている。これにより、箱型吸着体４２が
昇降自在とされる。また、上面中央に形成されている排
気孔４２ａには、排気管４１ｃ先端がヘッド４１底面を
貫通させて接続され、箱型吸着体４２下面(吸着面)に
は、メッシュプレートＭが貼付されるとともに、明瞭に
は図示はされていないが、導体シートＧを吸着するため
の孔４２ｂが多数貫通形成されている一方、その側面に
は、明瞭には図示はされていないが、吸着面に導体シー
トＧが吸着された際の箱型吸着体４２内部の負圧を適度
な値に調整するための圧力調整孔４２ｃが適宜間隔で設
けられている。
【００３９】この箱型吸着体４２の前端部は、箱体とさ
れたヘッド４１の前面４１ｄに沿わせて上方に前面４２
ｄと面一に延伸させられて、箱型吸着体４２の昇降をガ
イドするガイド部４２ｅとされている。このガイド部４
２ｅには、カット刃４３が平板状とされた側面を当接さ
せ、かつ初期位置では刃が突出しないようにして上下方
向にスライド自在に装着されている。具体的には、エア
シリンダ４３ａがガイド部４２ｅの上部に固着され、そ
のロッド４３ｂ先端部がカット刃４３の背に接合されな
るものとされ、これによりカット刃４３がガイド部４２
ｅに上下方向にスライド自在に装着される。
【００４０】保持部材４４はその保持部４４ａがヘッド
４１の適宜位置に接合されるとともに、その基部４４ｂ
が搬送機構４５の駆動軸４５ａに係合されている。ま
た、保持部材４４は、図示はされていないがガイド機
構、例えばＬＭガイドによりガイドされながら駆動され
るものとされている。
【００４１】搬送機構４５は、保持部材４４を駆動可能
に装着する水平駆動軸４５ａと、この水平駆動軸４５ａ
を駆動するサーボモータ４５ｂとを備えてなるものとさ
れる。駆動軸４５ａは、ヘッド４１を裁断位置Ｃから圧
着・積層位置Ｄに搬送できる長さを有するものとされ、
この実施形態１では、図１に示すように、水平駆動軸４
５ａの基端４５ａｂはベルトコンベア３１の上方適宜位
置とされる一方、その先端４５ａｔは圧着・積層部５０
を超えた適宜位置で軸受４５ｃにより回動可能に支持さ
れている。この駆動方式としては、位置決め精度が高い
点からボールねじによる駆動方式とされるのが好まし
い。つまり、水平駆動軸４５ａがボールねじ軸とされ、
そのボールねじ軸に保持部材４４に設けられたボールね
じナット体が装着される構成とされてなるのが好まし
い。
【００４２】水平部材４６は、ヘッド４１が裁断位置Ｃ
にセットされた際にその先端部がカット刃４３の下方に
位置するようにされるとともに、ベルトコンベア３１に
よる二層シート片Ｎの搬送に支障のないよう、その上面
がベルトコンベア３１の上面３１ｃの下方所定位置とな
るようにされている(図４参照)。この水平部材４６の下
面中央にはその下方に配設されたエアシリンダ４６ａの
ロッド４６ｂ先端部が接続されて、水平部材４６が昇降
自在とされている。また、水平部材４６には、図４に示
すように、ベルトコンベア３１の細幅のベルト３２に対
応させた溝(図４に示す例においては４条の溝)４６ｃが
形成されている。この溝４６ｃの深さは、導体シートＧ
のキャリアフィルム片Ｆからの剥離作業に支障のない突
出高さを確保できるよう調整されている。
【００４３】剥離・案内板４７は、図３に示すように、
カット刃４３の前方所定距離においてベルトコンベア３
１の上面３１ｃの所定高さ位置に配設されている。具体
的には、水平部材４６との協働により、箱型吸着体４２
に吸着保持されている導体シートＧのキャリアフィルム
Ｆからの剥離がなし得るようその位置および高さが調整
されている。つまり、剥離・案内板４７は、ヘッド４１
が搬送機構４５により裁断位置Ｃにセットされた際に、
カット刃４３の所定距離前方において不要部Ｇａの上方
に位置するようその位置および高さが調整されている。
【００４４】また、剥離・案内板４７は、図３に示すよ
うに、搬入側４７ｉ端面の下側角部が面取りされてナイ
フエッジ状の剥離部とされ、導体シートＧをキャリアフ
ィルムＦから剥離させるようにされている一方、排出側
４７ｏ端部が斜め下方に折り曲げられてキャリアフィル
ムＦを排出ローラー４８に誘導する案内部とされてい
る。
【００４５】排出ローラー４８は、剥離・案内板４７に
ガイドされてくるキャリアフィルムＦを望ませてベルト
３２を介してローラー３４に当接されている。
【００４６】圧着・積層部５０は、具体的には、圧着積
層機構５１とされている。この圧着積層機構５１は、所
定寸法に裁断された導体シートＧが圧着・積層されてな
る積層体Ｓが形成されていくプレステーブル５２と、プ
レステーブル５２の鉛直上下方向および水平方向の位置
を調節するテーブル位置補正機構５３と、プレステーブ
ル５２を昇降させる油圧シリンダ５４とから構成され、
油圧シリンダ５４によりプレステーブル５２を上方に押
し上げるようにしてヘッド４１により吸着保持されてい
る導体シートＧを積層体Ｓに圧着・積層するものとされ
る。
【００４７】また、積層体Ｓは、図２に示すように、キ
ャリアプレート供給装置５５から供給され、コンベア５
６ａによりプレステーブル５２に搬送・載置されるキャ
リアプレートＰ上に形成されていくものとされる。キャ
リアプレートＰは、上面に低粘着性または熱剥離性の糊
が塗布されており、これによって積層体Ｓが表面に貼り
付けられるとともに、積層体ＳをキャリアプレートＰか
ら取り外す際にも導体シートＧを損傷することなく剥が
すことが可能となる。なお、キャリアプレートＰ上面に
直接糊を塗布するのではなく、例えば低粘着性または熱
剥離性の糊が塗布された両面接着シートをキャリアプレ
ートＰ上に貼付して、この上に導体シートＧを圧着積層
していく構成とされてもよい。
【００４８】プレステーブル上５２で積層体Ｓが形成さ
れたキャリアプレートＰは、コンベア５６ｂにより本圧
着プレス５７まで搬送され、必要に応じて本圧着された
後、コンベア５６ｃによりキャリアプレート収納装置５
８まで搬送され収納される。
【００４９】位置決め部６０は、導体シートＧ上に印刷
された前記位置決め用マークを撮像するＣＣＤ撮像装置
６１，６１と、このＣＣＤ撮像装置６１，６１により撮
像された画像データに強調処理やノイズ除去処理などの
所定の画像処理を行う画像処理部６２と、画像処理部６
２により処理された画像データに基づいて、ヘッド４８
を搬送機構４５により裁断位置Ｃまで移動させる際の移
動量を補正するとともに、ヘッド４５を裁断位置Ｃから
圧着・積層位置Ｄまで移動させる際の基準位置からのず
れを補正して移動量を算出する移動量補正部６３とから
構成される。画像処理部６２および移動量補正部６３
は、具体的には、制御装置７０により構成されるものと
される。
【００５０】ここで、ＣＣＤ撮像装置６１，６１は、ヘ
ッド４１と一体的に移動するようにヘッド４１に支持具
６１ａにより直接的に支持され、これによりボールねじ
軸４５ａの熱膨張に起因する位置決め誤差を解消して、
導体シートＧを精度よく圧着・積層していくことが可能
となる。また、支持具６１ａによるＣＣＤ撮像装置６
１、６１の支持位置は、ヘッド４１が圧着・積層位置Ｄ
に位置決めされた際に裁断位置Ｃが撮像できるように調
整されている。
【００５１】制御装置７０は、ＣＰＵと、製造装置Ｊを
制御するための各種プログラムを記憶するＲＯＭ、およ
びＣＰＵにより演算処理される各種データを記録するＲ
ＡＭからなる記憶装置とを備え、収納部１０、搬出部２
０、搬送部３０、裁断・搬送部４０、圧着・積層部５
０、位置決め部６０を制御する制御部７１を構成すると
ともに、画像処理部６２および移動量補正部６３を構成
するものとされる。制御部７１は、例えば、移動量補正
部６３の出力信号に応じてヘッド４１を移動させる際の
移動量を調整する他、以下の制御を行う。
【００５２】次に、図５〜図１１を参照しながら、かか
る構成とされている製造装置Ｊによる導体シートＧの積
層について説明する。なお、この積層は制御装置７０の
制御の下になされる。
【００５３】（１）ターンテーブル１２を所定量回転さ
せ、所定の導体パターンが印刷された二層シート片Ｎが
収納された収納ケース１１ａを取出位置Ａにセットす
る。
【００５４】（２）搬出具２２を取出位置Ａに位置決め
して吸盤２２ｂを降下させ、前記収納ケース１１ａ内の
二層シート片Ｎを吸着保持させる。
【００５５】（３）二層シート片Ｎを吸着保持した吸盤
２２ｂａを初期高さに復帰させた後、水平駆動機構２１
により搬出具２２を受渡位置Ｂまで移動させる。
【００５６】（４）吸盤２２ｂを降下させて二層シート
片Ｎをベルトコンベア３１に載置した後、吸盤２２ｂに
よる吸着を解除する。
【００５７】（５）吸盤２２ｂを初期位置に復帰させた
後、ベルトコンベア３１を駆動し二層シート片Ｎを裁断
位置Ｃまで搬送する。
【００５８】（６）ヘッド４１を圧着・積層位置Ｄに位
置決めしてＣＣＤ撮像装置６１，６１を裁断位置Ｃにセ
ットし、導体シートＧの位置決め用マークを撮像させる
(図５参照)。
【００５９】（７）画像処理部６２にＣＣＤ撮像装置６
１，６１により撮像された画像に所定の画像処理をさせ
た後、移動量補正部６３に画像処理された画像データに
基づいて、ヘッド４１を圧着・積層位置Ｄから裁断位置
Ｃまで移動させる際の移動量および裁断位置Ｃから圧着
・積層位置Ｄまで移動させる際の移動量を算出させる。
この算出は、例えば、撮像された位置決めマークの基準
位置からのずれ量に応じて、予め設定されている移動量
を補正することによりなされる。
【００６０】（８）搬送機構４５を駆動して保持部材４
４を算出された移動量にしたがって移動させ、ヘッド４
１を裁断位置Ｃに位置決めする（図６参照）。
【００６１】（９）前部および後部昇降シリンダ４１
ａ，４１ｂを駆動し、箱型吸着体４２を降下させて吸着
面を導体シートＧに当接させた後、箱型吸着体４２内を
所定の負圧として導体シートＧを吸着面に吸着保持させ
る。
【００６２】（１０）カット刃４３を降下させて導体シ
ートＧの不要部Ｇａを導体シートＧから分離する（図
７，８参照）。この場合、カット刃４３の降下圧力は、
不要部Ｇａの切断の際にキャリアフィルムＦが切断され
ないように調整されている。
【００６３】（１１）カット刃４３を上昇させて初期位
置に復帰させる。
【００６４】（１２）前部および後部昇降シリンダ４１
ａ，４１ｂを駆動し、箱型吸着体４２を上昇させて初期
位置に復帰させるとともに、水平部材４６を所定量上昇
させる(図９参照)。この所定量は、吸着面に吸着保持さ
れている二層シート片Ｎと水平部材４６との隙間が、１
０μｍ−１００μｍとなるように調整されている。これ
は、ヘッド４１を圧着・積層位置Ｄに向けて移動させた
際における、水平部材４６と剥離・案内板４７との協働
によるキャリアフィルムＦの剥離が円滑になされるよう
にするためである。
【００６５】（１３）搬送機構４５を再駆動して保持部
材４４を前記（７）で算出された移動量にしたがった移
動を開始させる。つまり、ヘッド４１を圧着・積層位置
Ｄに向けた水平移動を開始させる。また、ヘッド４１の
水平移動に併せてベルトコンベア３１を再駆動する。
【００６６】（１４）キャリアフィルムＦの不要部Ｇａ
の先端部が載置されている部分は、図９に示すように、
剥離・案内板４７の搬入側４７ｉのナイフエッジ状の面
に接触しているので、ヘッド４１の水平移動につれてキ
ャリアフィルムＦの不要部Ｇａが載置されている部分
は、不要部Ｇａを載置したまま剥離・案内板４７の下方
に潜り込む。この場合、キャリアフィルムＦは適度の弾
力性を有しているので、不要部Ｇａはキャリアフィルム
Ｆの復元力により前記ナイフエッジ状の面に付勢されな
がら剥離・案内板４７の下方に潜り込むことになる。
【００６７】（１５）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けられ、分離溝Ｇｂがナイフエッジ
状の面の先端に到達する。前述したように、キャリアフ
ィルムＦはその復元力により元の平板に復帰しようとし
ているので、分離溝Ｇｂがナイフエッジ状の面の先端に
到達すると、キャリアフィルムＦ、つまり分離溝Ｇｂ底
部はナイフエッジ状の面の先端に当接する。
【００６８】（１６）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けられ、剥離・案内板４７の搬入側
４７ｉがそのナイフエッジ状の面をキャリアフィルムＦ
つまり分離溝Ｇｂ底部に当接させながら、キャリアフィ
ルムＦと導体シートＧの境界に進入する(図１０参照)。
これにより、導体シートＧのキャリアフィルムＦからの
部分剥離がなされる。
【００６９】（１７）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けられ、キャリアフィルムＦの先端
は剥離・案内板４７の排出側４７ｏに案内されて排出ロ
ーラー４８に巻き込まれる。
【００７０】（１８）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けら、導体シートＧの後端がキャリ
アフィルムＦの後端から剥離する(図１１参照)。つま
り、導体シートＧのキャリアフィルムＦからの剥離が完
了する。これにともない、水平部材４６を初期位置に復
帰させる。
【００７１】（１９）キャリアフィルムＦから剥離され
た導体シートＧは、ヘッド４１に吸着保持されて圧着・
積層位置Ｄに搬送される。一方、導体シートＧが剥離さ
れたキャリアフィルムＦは、排出ローラー４８に巻き取
られてダストボックス２に回収される。
【００７２】（２０）導体シートＧを吸着保持したヘッ
ド４１が圧着・積層位置Ｄに位置決めされると、圧着積
層機構５１を駆動してプレステーブル５２を上昇させて
導体シートＧに当接させる。
【００７３】（２１）箱型吸着体４２による導体シート
Ｇの吸着保持を解除して導体シートＧをプレステーブル
５２に載置する。
【００７４】（２２）圧着積層機構５１を駆動してプレ
ステーブル５２を降下させて初期位置に復帰させる。
【００７５】（２３）(１)〜(２２)の手順を所定回繰り
返して導体シートＧが所要枚数積層された積層体Ｓの積
層が完了する。なお、前記(２０)では必要に応じてテー
ブル位置補正機構５３を駆動してプレステーブル５２の
位置調整がなされる。
【００７６】このように、この実施形態１によれば、あ
らかじめ所定寸法に裁断された二層シート片Ｎから導体
シートＧを剥離して圧着・積層することとされているの
で、積層される導体シートＧに印刷される導体パターン
が多種類存在するような積層体Ｓを製造する場合にも、
各導体パターンを積層する順序通りに印刷する必要がな
いため、導体パターンの印刷作業が著しく簡素化され
る。
【００７７】また、位置決め部６０のＣＣＤ撮像装置６
１，６１をヘッド４１に支持させて、ヘッド４１と一体
的に移動するようにしているので、ボールねじ軸４５ａ
の熱膨張に起因する位置決め誤差が解消されて、導体シ
ートＧを精度良く裁断・積層していくことができる。
【００７８】実施形態２ 本発明の実施形態２に係る積層体Ｓの製造方法が適用さ
れる製造装置Ｊ１の概略構成を図１２に示し、この製造
装置Ｊ１は実施形態１の製造装置Ｊにおいて、搬送部
（搬送手段）３０および裁断・搬送部（裁断・搬送手
段）４０を改変してなるものである。
【００７９】なお、実施形態２の製造装置Ｊ１のその余
の構成は、実施形態１の製造装置Ｊと同様とされてい
る。
【００８０】以下、実施形態２の実施形態１と異なる点
を中心に説明する。
【００８１】搬送部３０は、水平駆動機構３６と、この
水平駆動機構３６に水平駆動される移動テーブル３７と
を備えてなるものとされる。水平駆動機構３６は、移動
テーブル３７を受渡位置Ｂから裁断位置Ｃとの間で往復
させるようにされてなるものとされる。この水平駆動機
構３６は、例えばボールねじ駆動機構とされそのボール
ねじナット体に移動テーブル３７を昇降させるエアシリ
ンダ３８基部が装着される。移動テーブル３７は、その
表面は吸着面とされている。すなわち、移動テーブル３
７の天板は箱型吸着体とされている。
【００８２】裁断・搬送部４０は、搬送部３０により裁
断位置Ｃまで搬送されてきた二層シート片Ｎの導体シー
トＧの不要部Ｇａを裁断する裁断機構（裁断手段）と、
キャリアフィルムＦから導体シートＧを剥離させる剥離
機構（剥離手段）と、キャリアフィルムＦから剥離され
た導体シートＧを圧着・積層部５０まで搬送する搬送機
構（第２搬送手段）とを備えてなるものとされる。
【００８３】裁断・搬送部４０は、具体的には図１３に
示すように、箱型吸着体４２および昇降自在とされたカ
ット刃４３を有するヘッド４１と、ヘッド４１を保持し
ている保持部材４４と、保持部材４４を搬送する搬送機
構４５と、昇降自在とされた水平部材４６Ａ、キャリア
フィルムＦから導体シートＧを剥離させるとともにキャ
リアフィルムＦを排出側に案内する剥離・案内板４７
と、導体シートＧが剥離されたキャリアフィルムＦをダ
ストボックス２に落下させる排出ホッパ４９とを備えて
なるものとされる。そして、箱型吸着体４２とカット刃
４３と水平部材４６Ａとにより裁断機構が構成され、箱
型吸着体４２と搬送機構４５と水平部材４６Ａと剥離・
案内板４７により剥離機構が構成される。なお、ヘッド
４１を保持している保持部材４４、保持部材４４を搬送
する搬送機構４５、および剥離・案内板４７は実施形態
１と同様とされている。
【００８４】ヘッド４１は、上面が開放された箱体とさ
れ、このヘッド４１底面中央には排気管４１ｃが配設さ
れている。排気管４１ｃの先端(下端)は、ヘッド４１底
面を貫通させて箱型吸着体４２の上面に形成された排気
孔４２ａに接合されている。この排気管４１ｃの上端に
は、図示はされていないが、排気装置(図示省略)からの
可撓性を有する配管が接続されている。
【００８５】箱型吸着体４２は中空体とされ、その上面
はヘッド４１底面と一体化されている。その上面中央に
形成されている排気孔４２ａには、前述したように、排
気管４１ｃ先端がヘッド４１底面を貫通させて接続さ
れ、その下面にはメッシュプレートＭが貼付されるとと
もに、明瞭には図示はされていないが、導体シートＧを
吸着するための孔４２ｂが多数貫通形成されている一
方、その側面には、明瞭には図示はされていないが、吸
着面に導体シートＧが吸着された際の箱型吸着体４２内
部の負圧を適度な値に調整するための圧力調整孔４２ｃ
が適宜間隔で設けられている。
【００８６】ヘッド４１の前面４１ｄには、カット刃４
３が平板状とされた側面を当接させ、かつ初期位置で刃
が箱型吸着体４２下面から突出しないようにして上下方
向にスライド自在に装着されている。具体的には、エア
シリンダ４３ａが前面４１ｄの上部に固着され、そのロ
ッド４３ｂ先端部がカット刃４３の背に接合されなるも
のとされ、これによりカット刃４３が前面４１ｄに上下
方向にスライド自在に装着される。
【００８７】水平部材４６Ａはカット刃４３の下方適宜
位置に配設され、その下面中央にはこの水平部材４６Ａ
を昇降させるエアシリンダ４６ａのロッド４６ｂ先端部
が接合されている。このエアシリンダ４６ａによる水平
部材４６Ａの昇降はカット刃４３による導体シートＧの
不要部Ｇａの切断および導体シートＧのキャリアフィル
ムＦからの剥離に支障のないように調整されている。
【００８８】排出ホッパ４９は、適宜形状とされたもの
が剥離・案内板４７から排出されてくるキャリアフィル
ムＦを望ませて配設さている。
【００８９】次に、図１３〜図１６を参照しながら、か
かる構成とされている製造装置Ｊ１による導体シートＧ
の積層について説明する。なお、この積層は制御装置７
０の制御の下になされる。
【００９０】（１）ターンテーブル１２を所定量回転さ
せ、所定の導体パターンが印刷された二層シート片Ｎが
収納された収納ケース１１ａを取出位置Ａにセットす
る。
【００９１】（２）搬出具２２を取出位置Ａに位置決め
して吸盤２２ｂを降下させ、前記収納ケース１１ａ内の
二層シート片Ｎを吸着保持させる。
【００９２】（３）二層シート片Ｎを吸着保持した吸盤
２２ｂを初期高さに復帰させた後、水平駆動機構２１に
より搬出具２２を受渡位置Ｂまで移動させる。
【００９３】（４）吸盤２２ｂを降下させて二層シート
片Ｎを移動テーブル３７に載置した後、吸盤２２ｂによ
る吸着を解除する。
【００９４】（５）移動テーブル３７に二層シート片Ｎ
を吸着保持させた後、水平駆動機構３６を駆動して移動
テーブル３７を裁断位置Ｃまで搬送する。
【００９５】（６）ヘッド４１を圧着・積層位置Ｄに位
置決めしてＣＣＤ撮像装置６１，６１を裁断位置Ｃにセ
ットし、ＣＣＤ撮像装置６１，６１に導体シートＧの位
置決め用マークを撮像させる。
【００９６】（７）画像処理部６２にＣＣＤ撮像装置６
１，６１により撮像された画像に所定の画像処理をさせ
た後、移動量補正部６３に画像処理された画像データに
基づいて、ヘッド４１を圧着・積層位置Ｄから裁断位置
Ｃまで移動させる際の移動量および裁断位置Ｃから圧着
・積層位置Ｄまで移動させる際の移動量を算出させる。
【００９７】（８）搬送機構４５を駆動して保持部材４
４を算出された移動量にしたがって移動させ、ヘッド４
１を裁断位置Ｃに位置決めする（図１３参照）。
【００９８】（９）移動テーブル３７を上昇させ、箱型
吸着体４２の吸着面に導体シートＧに当接させた後、移
動テーブル３７による二層シート片Ｎの吸着固定を解除
する。
【００９９】（１０）箱型吸着体４２内を所定の負圧と
して導体シートＧを吸着面に吸着保持させる。
【０１００】（１１）それと同時に水平部材４６Ａを上
昇させる（図１４参照）。この上昇量は、箱型吸着体４
２の吸着面に吸着保持されている二層シート片Ｎと水平
部材４６Ａとの隙間が、１０μｍ−１００μｍとなるよ
うにされる。これは、ヘッド４１を圧着・積層位置Ｄに
向けて移動させた際における、水平部材４６Ａと剥離・
案内板４７との協働によるキャリアフィルムＦの剥離が
円滑になされるようにするためである。
【０１０１】（１２）カット刃４３を降下させて導体シ
ートＧの不要部Ｇａを導体シートＧから分離する（図１
４参照）。この場合、カット刃４３の降下圧力は、不要
部Ｇａの切断の際にキャリアフィルムＦが切断されない
ように調整されている。
【０１０２】（１３）カット刃４３を上昇させて初期位
置に復帰させる。
【０１０３】（１４）搬送機構４５を再駆動して保持部
材４４を前記（７）で算出された移動量にしたがって移
動させる。つまり、ヘッド４１を圧着・積層位置Ｄに向
けて水平移動させる。
【０１０４】（１５）キャリアフィルムＦの不要部Ｇａ
の先端部が載置されている部分は、図１４に示すよう
に、剥離・案内板４７の搬入側４７ｉのナイフエッジ状
の面に接触しているので、ヘッド４１の水平移動につれ
てキャリアフィルムＦの不要部Ｇａが載置されている部
分は、不要部Ｇａを載置したまま剥離・案内板４７の下
方に潜り込む。この場合、キャリアフィルムＦは適度の
弾力性を有しているので、不要部Ｇａはキャリアフィル
ムＦの復元力により前記ナイフエッジ状の面に付勢され
ながら剥離・案内板４７の下方に潜り込むことになる。
【０１０５】（１６）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けられ、分離溝Ｇｂがナイフエッジ
状の面の先端に到達する。前述したように、キャリアフ
ィルムＦはその復元力により元の平板に復帰しようとし
ているので、分離溝Ｇｂがナイフエッジ状の面の先端に
到達すると、キャリアフィルムＦはナイフエッジ状の面
の先端に当接する。
【０１０６】（１７）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けられ、剥離・案内板４７の搬入側
４７ｉがそのナイフエッジ状の面をキャリアフィルムＦ
に当接させながら、キャリアフィルムＦと導体シートＧ
の境界に進入する(図１５参照)。これにより、導体シー
トＧのキャリアフィルムＦからの部分剥離がなされる。
これに併せて、移動テーブル３７の初期位置への移動を
開始する。
【０１０７】（１８）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けられ、キャリアフィルム片Ｆの先
端は剥離・案内板４７の排出側４７ｏに案内されて排出
ホッパー４９に進入する。
【０１０８】（１９）ヘッド４１の圧着・積層位置Ｄに
向けた水平移動が続けられ、導体シートＧの後端がキャ
リアフィルムＦの後端から剥離する。つまり、導体シー
トＧのキャリアフィルム片Ｆからの剥離が完了する。こ
れにともない、水平部材４６Ａを初期位置に復帰させる
とともに、移動テーブル３７を降下させて初期高さに復
帰させる。
【０１０９】（２０）キャリアフィルムＦからの剥離さ
れた導体シートＧは、ヘッド４１に吸着保持されて圧着
・積層位置Ｄに搬送される。一方、導体シートＧが剥離
されたキャリアフィルムＦは、排出ホッパ４９からダス
トボックス２投入される。
【０１１０】（２１）導体シートＧを吸着保持したヘッ
ド４１が圧着・積層位置Ｄに位置決めされると、圧着積
層機構５１を駆動して導体シートＧをプレステーブル５
２に載置する。
【０１１１】（２２）(１)〜(２１)の手順を所定回繰り
返して導体シートＧが所要枚数積層された積層体Ｓの積
層が完了する。なお、前記(２１)では必要に応じてテー
ブル位置補正機構５３を駆動してプレステーブル５２の
位置調整がなされる。
【０１１２】このように、この実施形態２によれば、実
施形態１と同様にあらかじめ所定寸法に裁断された二層
シート片Ｎから導体シートＧを剥離して圧着・積層する
こととされているので、積層される導体シートＧに印刷
される導体パターンが多種類存在するような積層体Ｓを
製造する場合にも、各導体パターンを積層する順序通り
に印刷する必要がないため、導体パターンの印刷作業が
著しく簡素化される。
【０１１３】また、実施形態２では二層シートＮをボー
ルねじ駆動方式により移動させられる移動テーブル３７
により裁断位置まで搬送しているので、二層シートＮの
位置決め精度が向上して生産性が向上する。
【０１１４】以上、本発明を実施形態に基づいて説明し
てきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるも
のではなく種々改変が可能である。例えば各実施形態に
おいては、各収納ケースに所定の１種類の導体パターン
が印刷された導体シートを収納しているが、これに限定
されるものではなく各収納ケースに異なる導体パターン
が印刷された導体シートを積層する順に収納しておき、
１つの収納ケースから連続して導体シートを取出し搬送
するようにしてもよい。また、各実施形態においては、
ヘッドに設けられたカット刃により分離溝を形成するよ
うにされているが、予め分離溝を形成して各収納ケース
に収納するようにしてヘッドのカット刃を省略するよう
にしてもよい。
【０１１５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
圧着・積層する薄膜シートに印刷される導体パターンが
多種類存在する薄膜積層体を製造する場合にも、導体パ
ターンの印刷作業が煩雑になるということがないという
優れた効果が得られる。
【０１１６】また、薄膜シートのキャリアフィルムから
の剥離が圧着・積層場所への搬送途中になされるので、
薄膜シートの圧着・積層が効率よくなし得るという優れ
た効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１にかかる薄膜積層体の製造
方法が適用される薄膜積層体の製造装置の概略正面図で
ある。
【図２】同製造装置の要部概略平面図である。
【図３】同製造装置の要部拡大図である。
【図４】同製造装置の水平部材の拡大図である。
【図５】同製造装置の動作説明図であって、裁断位置に
セットされた二層シートを撮像している状態を示す。
【図６】同製造装置の動作説明図であって、ヘッドが裁
断位置にセットされた状態を示す。
【図７】同製造装置の動作説明図であって、カット刃に
より導体シートの不要部を切断している状態を示す。
【図８】図７の要部拡大図である。
【図９】同製造装置の動作説明図であって、箱型吸着体
を初期位置に復帰させた状態を示す。
【図１０】同製造装置の動作説明図であって、分離・案
内板により導体シートの剥離している状態を示す。
【図１１】同製造装置の動作説明図であって、分離・案
内板による導体シートの剥離が完了した状態を示す。
【図１２】本発明の実施形態２にかかる薄膜積層体の製
造方法が適用される薄膜積層体の製造装置の概略正面図
である。
【図１３】同製造装置の動作説明図であって、ヘッドが
裁断位置にセットされた状態を示す。
【図１４】同製造装置の動作説明図であって、カット刃
により導体シートを裁断している状態を示す。
【図１５】同製造装置の動作説明図であって、分離・案
内板により導体シートの剥離している状態を示す。
【図１６】同製造装置の動作説明図であって、分離・案
内板による導体シートの剥離が完了した状態を示す。
【図１７】従来の薄膜積層体の製造方法の説明図であっ
て、同(ａ)は導体シートの圧着作業の説明図を示し、同
（ｂ）はキャリアフィルムの剥離作業を示す。
【図１８】従来の薄膜積層体の製造装置の概略正面図で
ある。
【符号の説明】
１０ 収納部（収納手段） １１ 収納ケース １２ ターンテーブル ２０ 搬出部（搬出手段） ３０ 搬送部（搬送手段） ３１ ベルトコンベア ３７ 移動テーブル ４０ 裁断・搬送部（裁断・搬送手段） ４１ ヘッド（搬送体） ４２ 箱型吸着体 ４３ カット刃 ４５ 駆動機構 ４６ 水平部材 ４７ 剥離・案内板 ５０ 圧着・積層部（圧着・積層手段） ５１ 圧着積層機構 ６０ 位置決め部（位置決め手段） ６１ ＣＣＤ撮像装置 ６２ 画像処理部 ６３ 移動量補正部 ７０ 制御装置 ７１ 制御部 Ｊ 薄膜積層体の製造装置 Ｆ キャリアフィルム Ｇ 導体シート Ｓ 積層体
フロントページの続き Ｆターム(参考） 5E001 AB03 5E082 AA01 AB03 MM11 5E346 AA12 AA15 AA22 AA32 AA51 CC02 DD02 DD13 DD34 EE21 EE24 EE30 GG06 GG08 GG28 HH11 HH31

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 導電性パターンが形成された薄膜シート
    を順次積層して薄膜積層体を製造する薄膜積層体の製造
    方法であって、 薄膜シートを所定サイズに調整されたキャリアフィルム
    に保持させて収納ケースに収納し、 前記薄膜シートを前記キャリアフィルムに保持させた状
    態で収納ケースから取り出して圧着・積層位置へ搬送す
    る途中において、同薄膜シートを搬送しながらキャリア
    フィルムから剥離させることを特徴とする薄膜積層体の
    製造方法。
  2. 【請求項２】 薄膜シートを搬送体に保持させ、前記薄
    膜シートとキャリアフィルムとの境界に剥離部材を進入
    させることにより、前記薄膜シートを前記キャリアフィ
    ルムから剥離させることを特徴とする請求項１記載の薄
    膜積層体の製造方法。
  3. 【請求項３】 キャリアフィルムの搬送方向長さが薄膜
    シートよりも長くされ、その長くされた部分を搬送方向
    に突出させ、前記突出させられた部分に剥離部材を沿わ
    せながら薄膜シートとキャリアフィルムとの境界に進入
    させることを特徴とする請求項２記載の薄膜積層体の製
    造方法。
  4. 【請求項４】 キャリアフィルムの搬送方向に突出させ
    られた部分に不要部を薄膜シートと一体的に形成し、つ
    いで前記薄膜シートを所定位置に位置決めして前記不要
    部との境界に分離溝を形成し、剥離部材を該分離溝の底
    部に沿わせながら薄膜シートとキャリアフィルムとの境
    界に進入させることを特徴とする請求項３記載の薄膜積
    層体の製造方法。
  5. 【請求項５】 分離溝を薄膜シートの積層位置への搬送
    途中において形成することを特徴とする請求項３または
    ４記載の薄膜積層体の製造方法。
  6. 【請求項６】 分離溝を形成して収納ケースに収納する
    ことを特徴とする請求項３または４記載の薄膜積層体の
    製造方法。
  7. 【請求項７】 剥離部材の搬入側がナイフエッジ状とさ
    れてなることを特徴とする請求項２記載の薄膜積層体の
    製造方法。
  8. 【請求項８】 剥離部材により導体シートが剥離された
    キャリアフィルムの排出側への案内がなされることを特
    徴とする請求項２記載の薄膜積層体の製造方法。
  9. 【請求項９】 導電性パターンが形成された薄膜シート
    を順次積層して薄膜積層体を製造する薄膜積層体の製造
    装置であって、 薄膜シートが形成された所定サイズに調整されたキャリ
    アフィルムを収納する収納手段と、前記収納手段に収納
    されている薄膜シートをキャリアフィルムに保持された
    状態で取り出して所定位置まで移送する搬出手段と、前
    記搬出手段により取り出された薄膜シートをキャリアフ
    ィルムに保持させた状態で所定位置まで搬送する搬送手
    段と、前記搬送手段により所定位置まで搬送された薄膜
    シートを搬送しながらキャリアフィルムから剥離させる
    剥離手段と、前記薄膜シートを圧着・積層する圧着・積
    層手段とを備えてなることを特徴とする薄膜積層体の製
    造装置。
  10. 【請求項１０】 位置決め手段を備えてなることを特徴
    とする請求項９記載の薄膜積層体の製造装置。
  11. 【請求項１１】 分離溝形成手段を備えてなることを特
    徴とする請求項１０記載の薄膜積層体の製造装置。
  12. 【請求項１２】 剥離手段が薄膜フィルムを保持して搬
    送する搬送体と、剥離・案内板とを備え、 前記搬送体による薄膜シートの搬送中に該剥離・案内板
    の搬入側を、薄膜シートとキャリアフィルムとの境界に
    進入させることにより前記薄膜シートのキャリアフィル
    ムからの剥離がなされ、同剥離・案内板の排出側により
    前記キャリアフィルムの排出側への案内がなされること
    を特徴とする請求項９記載の薄膜積層体の製造装置。
  13. 【請求項１３】 剥離・案内板の搬入側がナイフエッジ
    状とされてなることを特徴とする請求項１２記載の薄膜
    積層体の製造装置。
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