KR20020085741A - 박막적층체의 제조방법 및 제조장치 - Google Patents

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Abstract

적층하는 그린시트에 인쇄되는 도체패턴이 다종류 존재하는 박막적층체에도, 도체패턴의 인쇄작업이 번잡하지 않으며, 고정밀도로 도체시트를 적층할 수 있는 박막적층체의 제조방법 및 제조장치를 제공한다.
도전성 패턴이 형성된 박막시트를 순서대로 적층하여 박막적층체를 제조하는 것으로, 박막시트(G)를 소정의 사이즈로 조정된 캐리어 필름(F)에 유지시켜 수납이스(11)에 수납하고, 상기 박막시트(G)를 상기 캐리어 필름에 유지시킨 상태로 수납케이스(11)에서 꺼내어 압착 ·적층위치(D)로 반송하는 도중에 있어서, 동박막시트(G)를 반송하면서 캐리어 필름(F)에서 박리시키는 것이다

Description

박막적층체의 제조방법 및 제조장치{MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING APPARATUS OF THIN FILM LAMINATED ARTICLE}
본 발명은 박막적층체의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 표면에 도체패턴이 인쇄된 세라믹재료 등으로 이루어지는 박막시트를 적층하여 다층배선 기판 등의 박막적층체를 제조하는 박막적층체의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.
종래에는, LSI패키지용 기판, 다층배선기판 및 적층콘덴서(칩콘덴서) 등의 박막적층체를 제조하는 박막적층체의 제조방법으로써, 캐리어 필름편이라고 불리는 스트립 형상의 휘어지는 성질의 기판표면에 말하자면 테이프 성형법에 의한 그린시트(세라믹성 시트)를 연속적으로 성형하고, 이 그린시트를 소정의 사이즈로 재단함과 동시에 재단된 각 시트에 패턴인쇄 등에 의한 도체패턴을 형성하고 또 각 시트를 압착적층하여 박막적층체를 제조하는 박막적층체의 제조방법이 이루어지고 있다.
그런데, 상기 그린시트는, 캐리어 필름편에서 분리하면 단기간에 신축변형하므로, 적층하기 직전까지 캐리어 필름편과 일체로 하는 것이 바람직하므로, 종래에는, 그린시트와 캐리어 필름편을 일체로 하여 소정의 사이즈로 재단하여 그린시트를 압착한 후에 캐리어 필름편을 박리하는 작업을 반복함으로써 박막적층체가 제조되고 있다.
구체적으로는 도 17에 나타낸 바와 같이, 적층대(101)상에 사전에 적층되어 있는 도체패턴이 인쇄되어 있지 않은 그린시트(이하, 더미시트라고 한다, D')상에, 도체패턴이 인쇄되어 있는 그린시트(이하, 도체시트라고 한다, G') 및 캐리어 필름편(F')이 일체로 재단되어 있는 소정의 칫수의 2층시트편(N')을 그 도체시트(G')가 상기 더미시트(D')에 맞닿도록 배치하여 압착한 후(도 17(a)참조), 캐리어 필름편(F')에 예를 들면 점착테이프을 부착하여 벗김(도 17(b)참조)으로써 한 장의 도체시트(G') 적층이 완료된다. 그리고, 필요한 만큼의 도체시트(G')를 동일한 방법으로 적층함으로써 박막적층체가 제조된다. 또, 이 제조방법에 있어서는, 2층시트편(N')에 형성된 핀구멍(102, 102)을 적층대(101)에 상기 핀구멍(102, 102)에 대응시켜 설치한 핀(103, 103)을 끼움으로써 적층위치의 위치결정이 이루어진다.
그러나, 이러한 박막적층체의 제조방법에는 다음과 같은 문제가 있다.
(1) 점착테이프로 캐리어 필름편(F')을 분리하는 작업에 상당한 시간이 소요되며, 점착력이 저하된 점착테이프를 교체할 필요도 있으므로, 생산성이 매우 낮다.
(2) 캐리어 필름편(F')을 분리할 때에 도체시트(G')가 함께 벗겨지는 것을 방지하기 위해 상당한 압력을 가하여 도체시트(G')를 압착하기 때문에, 반복된 압력에 의해 적층되어 있는 도체시트(G')에 변형이 생긴다.
(3) 핀구멍(102)과 핀(103)을 이용한 위치결정에서는, 핀구멍(102)과 핀(103) 사이의 여유공간만큼 적층위치에 차이가 발생한다.
이 종래의 기술문제를 해결하기 위해, 예를 들면 일본국 특허공개 평10-284346호 공보에는 도 18에서 나타내는 바와 같은 박막적층체의 제조장치가 제안되어 있다. 이 제조장치(J')는, 도체패턴이 소정의 간격으로 인쇄된 도체시트(G')가 표면에 연속적으로 형성되어 있는 캐리어 필름편(F')을 권출장치(101)에 세트하고, 이 캐리어 필름편(F')을 권출장치(101)에서 권출하여, 롤군(102)으로 재단대(103)상까지 소정의 길이만큼씩 보내고, 이 재단대(103)상에서 시트재단반송헤드(104)로 도체시트(G')를 소정의 칫수로 재단하고, 재단된 각 도체시트(G')를 재단반송헤드(104)로 흡착유지하여 적층대(105)상방까지 반송하여, 이 적층대(105)상에서 각 도체시트(G')를 소정의 매수 압착 ·적층하여 적층체(S')를 형성하도록 한다.
또, 이 제조장치(J')에 있어서는, 도체시트(G')에 도체패턴과 대응시켜 소정의 간격으로 인쇄되어 있는 위치결정용 마크를 CCD촬상장치(106)로 촬상하고, 이 촬상화상에 기초하여 시트재단반송헤드(104)의 이동량을 보정함으로써 적층위치가 결정된다.
이 제조장치(J')에 의하면 상기의 문제점은 거의 해소되지만, 이 제조장치(J')는 적층되는 각 도체시트(G')에 인쇄되는 도체패턴이 한종류인 박막적층체의 제조에는 적절하지만, 예를 들어 차세대 휴대전화 등에 장착되는 다층배선기판과 같이 적층되는 각 도체시트(G')에 인쇄되는 도체패턴이 10-20종류인 박막적층체의 제조에는 적절치 못한 문제가 있다. 즉, 도체패턴이 10-20종류 존재하는 박막적층체를 제조장치(J')로 제조하기 위해서는, 10-20종류에 달하는 각 도체패턴을 적층하는 순서대로 그린시트(G')에 인쇄할 필요가 있으므로, 인쇄작업이 현저히 번잡해지는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 종래기술의 과제를 감안한 것으로, 적층하는 그린시트에 인쇄되는 도체패턴이 다종류로 존재하는 박막적층체에 있어서도, 도체패턴의 인쇄작업이 번잡해지지 않고, 고정밀도로 도체시트를 적층할 수 있는 박막적층체의 제조방법 및 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
본 발명의 박막적층체 제조방법은, 도전성(導電性) 패턴이 형성된 박막시트를 순차적으로 적층하여 박막적층체를 제조하는 박막적층체의 제조방법으로,
박막시트를 소정의 사이즈로 조정된 캐리어 필름에 지지시켜 수납케이스에 수납하고, 상기 박막시트를 상기 캐리어 필름에 지지시킨 상태로 수납케이스에서 꺼내어 압착 ·적층위치로 반송하는 도중에 있어서, 동박막시트를 반송하면서 캐리어 필름에서 박리시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 박막적층체 제조방법에 있었서는, 예를 들면 박막시트를 반송체에 유지시켜 상기 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 박리부분을 진입시킴으로써, 상기 박막시트를 상기 캐리어 필름에서 박리시킨다.
또, 본 발명의 박막적층체 제조방법에 있어서는, 캐리어 필름의 반송방향의 길이가 박막시트보다 길어, 그 긴 부분을 반송방향으로 돌출시켜, 상기 돌출된 부분에 박리부재를 맞추면서 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 진입시키는 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명의 박막적층체 제조방법에 있어서는, 캐리어 필름의 반송방향으로 돌출된 부분에 불필요한 부분을 박막시트와 일체로 형성하고, 상기 박막시트를 소정의 위치에 두고, 상기 불필요한 부분과의 경계에 분리홈을 형성하여, 박리부재를 해당 분리홈의 저부에 맞추면서 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 진입시켜도 무관하다.
또, 본 발명의 박막적층체 제조방법에 있어서는, 분리홈을 박막시트의 적층위치로의 반송도중에 형성하여도 무관하다.
그리고, 본 발명의 박막적층체 제조방법에 있어서는, 분리홈을 형성하여 수납케이스에 수납하여도 무관하다.
그리고, 본 발명의 박막적층체 제조방법에 있어서는, 박리부재의 반입측이 나이프 에지(edge)상인 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 박막적층체 제조방법에 있어서는, 박리부재에 의해 도체시트가 박리된 캐리어 필름 배출측으로의 안내가 이루어지는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 박막적층체의 제조장치는, 전도성패턴이 형성된 박막시트를 순서대로 적층하여 박막적층체를 제조하는 박막적층체의 제조장치로, 박막시트가 형성된 소정의 사이즈로 조정된 캐리어 필름을 수납하는 수납수단과, 상기 수납수단에 수납되어 있는 박막시트를 캐리어 필름에 유지시킨 상태로 꺼내어 소정의 위치까지 이송하는 반출수단과, 상기 반출수단으로 꺼내어진 박막시트를 캐리어 필름에 유지시킨 상태로 소정의 위치까지 반송하는 반송수단과, 상기 반송수단으로 소정의 위치까지 반송된 박막시트를 반송하면서 캐리어 필름에서 박리시키는 박리수단과, 상기 박막시트를 압착 ·적층하는 압착 ·적층수단을 갖춘 것을 특징으로 한다.
본 발명의 박막적층체 제조장치에 있어서는 위치결정수단이 장착되는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 박막적층체의 제조장치에 있어서는, 분리홈 형성수단이 장착되어도 무관하다.
그리고, 본 발명의 박막적층체 제조장치에 있어서는, 박리수단이 박막필름을 유지하여 반송하는 반송체와, 박리 ·안내판을 갖추어, 상기 반송체에 의한 박막시트의 반송중에 해당 박리 ·안내판의 반입측을 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 진입시킴으로써 상기 박막시트의 캐리어 필름으로 부터의 박리가 이루어지고, 동박리 ·안내판의 배출측에 의한 상기 캐리어 필름의 배출측으로의 안내가 이루어져도 좋다.
그리고, 본 발명의 박막적층체의 제조장치에 있어서는, 박리 ·안내판의 반입측이 나이프 에지상이어도 좋다.
본 발명은 상기와 같이 구성되어 있어, 압착 ·적층하는 박막시트에 인쇄되는 도체패턴이 다종류 존재하는 박막적층체를 제조하는 경우에 있어서도, 도체패턴의 인쇄작업이 번잡해지지 않는다. 또, 박막시트의 캐리어 필름으로 부터의 박리가 압착 ·적층장소로의 반송도중에 이루어지므로, 박막시트의 압착 ·적층에 효과가 있다.
도 1은, 본 발명 실시예 1의 박막적층체 제조방법이 적용되는 박막적층체 제조장치의 개략정면도이다.
도 2는, 동 제조장치의 요부개략평면도이다.
도 3은, 동 제조장치의 요부확대도이다.
도 4는, 동 제조장치의 수평부재 확대도이다.
도 5는, 동 제조장치의 동작설명도이고, 재단위치에 세트된 2층시트를 촬상하는 상태를 나타낸다.
도 6은, 동 제조장치의 동작설명도이고, 헤드가 재단위치에 세트된 상태를 나타낸다.
도 7은, 동 제조장치의 동작설명도이고, 커트날에 의한 도체시트의 불필요한 부분을 절단하는 상태를 나타낸다.
도 8은, 도 7의 요부확대도이다.
도 9는, 동 제조장치의 동작설명도이고, 상자형 흡착체를 초기위치로 복귀시킨 상태를 나타낸다.
도 10은, 동 제조장치의 동작설명도이고, 분리·안내판에 의해 도체시트를박리하는 상태를 나타낸다.
도 11은, 동 제조장치의 동작설명도이고, 분리·안내판에 의한 도체시트의 박리가 완료된 상태를 나타낸다.
도 12는, 본 발명의 실시예 2에 있어서의 박막적층체 제조방법이 적용되는 박막적층체 제조장치의 개략정면도이다.
도 13은, 동 제조장치의 동작설명도이고, 헤드가 재단위치에 세트된 상태를 나타낸다.
도 14는, 동 제조장치의 동작설명도이고, 커트날에 의해 도체시트를 재단하는 상태를 나타낸다.
도 15는, 동 제조장치의 동작설명도이고, 분리 ·안내판에 의해 도체시트를 박리하는 상태를 나타낸다.
도 16은, 동 제조장치의 동작설명도이고, 분리 ·안내판에 의한 도체시트의 박리가 완료된 상태를 나타낸다.
도 17은, 종래의 박막적층체 제조방법의 설명도이고, 동(a)는 도체시트의 압착작업의 설명도를 나타내고, 동(b)는 캐리어 필름의 박리작업을 나타낸다.
도 18은, 종래의 박막적층체 제조장치의 개략정면도이다.
[부호의 설명]
10 수납부(수납수단)
11 수납케이스
12 턴테이블
20 반출부(반출수단)
30 반송부(반송수단)
31 벨트컨베이어
37 이동테이블
40 재단 ·반송부(재단 ·반송수단)
41 헤드(반송체)
42 상자형 흡착체
43 커트날
45 구동기구
46 수평부재
47 박리 ·안내판
50 압착 ·적층부(압착 ·적층수단)
51 압착적층기구
60 위치결정부(위치결정수단)
61 CCD촬상장치
62 화상처리부
63 이동량보정부
70 제어장치
71 제어부
J 박막적층체의 제조장치
F 캐리어 필름
G 도체시트
S 적층체
이하에 첨부의 도면을 참조하면서 본 발명을 실시형태에 근거하여 설명하는데, 본 발명은 하기의 실시형태만으로 한정되지 않는다.
[제 1 실시예]
본 발명의 실시예 1에 있어서의 박막적층체 제조방법이 적용되는 박막적층체의 제조장치(이하, 간단히 제조장치라고 한다.)의 개략구성을 도 1 및 도 2에 나타내고, 이 제조장치(J)는 표면에 소정의 도체패턴이 형성된 세라믹재료로 구성된 두께 100㎛정도의 소정의 칫수의 그린시트(이하, 도체시트라고 한다.)를 압착 ·적층하여 박막적층체(이하, 적층체라고 한다, S)를 제조하고, 특히 각각 상이한 도체패턴이 형성된 소요수의 도체시트를 소정의 순서대로 압착 ·적층해야 하는 적층체(S), 예를 들면 차세대 휴대전화에 장착되는 다층배선기판의 제조에 적절히 이용된다.
제조장치(J)는, 구체적으로 소정 사이즈 캐리어 필름(F)표면에 소정의 도체패턴이 있는 도체시트(G)가 성형되어 있는 소정의 칫수의 2층시트편(N)을, 형성된 패턴마다 수납되어 있는 수납부(수납수단, 10)와, 상기 수납부(10)에 수납되어 있는 2층시트편(N)을 꺼내는 위치A에 있어서 소정의 순서로 꺼내어서 수도위치(B)까지 이송하는 반출부(반출수단, 20)와, 상기 반출부(20)에서 반출된 2층시트편(N)을 재단위치(C)까지 반송하는 반송부(제 1 반송수단, 30)와, 상기 반송부(30)에서 재단위치C까지 반송된 2층시트편(N)에서 도체시트(G)를 소정의 칫수로 재단하여 압착 ·적층위치(D)까지 반송하는 재단 ·반송부(재단 ·반송수단, 40)와, 상기 재단 ·반송부(40)에서 소정의 칫수로 재단되어 압착 ·적층위치(D)까지 반송된 도체시트(G)를 압착 ·적층하는 압착 ·적층부(압착 ·적층수단, 50)와, 재단위치(C) 및 압착 ·적층위치(D)의 위치를 결정하는 위치결정부(위치결정 수단, 60)와, 상기 각부(10, 20, 30, 40, 50, 60)를 제어하는 제어장치(70)가 주요 구성요소로써 갖추어져 있다.
여기서 2층시트편(N)은, 이축연신 PET필름(폴리에스테르필름)과 이축연장 폴리프로필렌필름 등의 적당한 정도의 탄력성이 있는 경질합성수지재료로 이루어지는 가늘고 긴 형상의 캐리어 필름(F)표면에 그린시트를 연속적으로 성형하고, 그런 다음 그 그린시트에 소정의 도체패턴을 소정의 간격으로 인쇄한 2층시트를, 상기 도체패턴에 대응시켜 소정 칫수로 재단한다. 더욱 구체적으로는 2층시트편(N)은, 그 반송방향과 직교하는 방향(이하, 축방향이라고 칭한다.)의 칫수가 적층체(S)의 폭방향 칫수와 동일하고, 또 후술하는 도체시트(G)의 박리를 용이화하는 관점에서, 그 반송방향칫수가 적층체(S)의 그것보다도 소정량 크게 재단되어 있다. 또, 도체시트(G)의 박리를 더욱 용이화하는 관점에서 캐리어 필름(F)의 상기 그린시트가 성형되는 면에는 이형제(籬型劑)가 도포되는 것이 바람직하다.
도체시트(G)는 각종 세라믹 유도체 분말, 수지바인더나 가소제, 계면활성제(분산재) 및 유기용제로 이루어지는 슬러리(slurry)를 캐리어 필름(F)표면에 닥터블레이드법 등을 이용하여 엷게 도포하여 건조시킴으로써 얻어지는 그린시트의 표면에, 팔라듐, 은, 니켈 등의 금속분말을 포함하는 도전재가 도체패턴으로써 예를 들면 스크린 인쇄법으로 인쇄됨과 동시에, 위치결정부(60)에 의한 위치결정에 있어서타겟이 되는 위치결정용 마크(도시 생략)가 인쇄된다.
수납부(10)는, 2층시트편(N)이 수납되는 소요수의 수납케이스(11, 11, …)와, 수납케이스(11, 11, …)가 방사상으로 재치 ·고정되어 있는 원반형상의 턴테이블(12)과, 구동단(13a)이 그 회전중심을 턴테이블(12)의 회전중심과 일치시켜 턴테이블(12)의 안쪽면에 접합되고, 후단부(13b)가 베이스(1)에 고정되어 있는 사보모터(servomotor, 13)로 이루어진다. 여기서, 수납케이스(11)는 제조하는 적층체(S)에 필요한 도체패턴의 종류수와 동수이고, 이것들이 소정의 간격을 두고 턴테이블(12)상에 재치 ·고정된다.
반출부(20)는, 수평구동기구(21)와, 이 수평구동기구(21)에 수평구동되는 반출구(22)를 갖춘다. 수평구동기구(21)는 기단(21a)이 턴테이블(12)의 상방소정위치에 고정되고, 선단(21b)이 반송부(30)의 상방소정위치까지 수평 연장된다. 이 수평구동기구(21)는, 명료하게 도시되어 있지는 않지만 볼나사 구동기구로 그 볼나사 너트체에 반출구(22)가 장착된다. 반출구(22)는, 수평구동기구(21)에 장착된 반출구 본체(22a) 예를 들면 에어실린더와, 이 본체(22a)의 구동부재 예를 들면 피스톤로드에 승강되는 2층시트편(N)을 착탈이 자유롭게 흡착유지하는 흡반(22b)이 형성된다. 이 흡반(22b)은 흡착부의 부압을 조절함으로써, 2층시트편(N)의 착탈하는 것이 공지되어 있다. 여기서, 반출구(22)는 꺼내는 위치(A)에 위치하는 수납케이스(11a)에서 2층시트편(N)을 꺼내는 위치(A)에서 반송부(30)로 수도위치(B)까지 왕복으로 움직인다.
반송부(30)는 수평으로 배치된 벨트컨베이어(31)로 구성되고, 한쪽 단부(반입단, 31a)가 꺼내는 위치(A)에 위치한 수납케이스(11a)에 근접하고, 그 다른 단부(반출단, 31b)가 압착 ·적층부(50) 근방에 위치하고, 반송면(31c)은 수납케이스(11a)의 상단과 거의 동일면을 이룬다. 여기서, 컨베이어벨트(32)는, 명료하게 도시되어 있지는 않지만, 좁은 폭의 벨트가 롤러(33, 34)에 여러개 걸쳐진 구성이다.(도 4 참조)
재단 ·반송부(40)는, 반송부(30)에 의해 재단위치(C)까지 반송된 2층시트편(N) 도체시트(G)의 불필요한 부분(Ga)을 재단하는 재단기구(재단수단)와, 캐리어 필름(F)에서 도체시트(G)를 박리시키는 박리기구와, 캐리어 필름(F)에서 박리된 도체시트(G)를 압착 ·적층부(50)까지 반송하는 반송기구(제 2 반송수단)를 갖춘다.
재단 ·반송부(40)는 구체적으로는 도 3에 나타나듯이, 승강이 자유로운 상자형 흡착체(42) 및 승강이 자유로운 커트날(43)이 있는 헤드(반송체, 41)와, 헤드(41)를 유지하는 유지부재(44)와, 유지부재를 반송하는 반송기구(45)와, 승강이 자유로운 수평부재(46)와 , 캐리어 필름(F)에서 도체시트(G)를 박리시킴과 동시에 캐리어 필름(F)을 배출측으로 안내하는 박리 ·안내판(47)과, 도체시트(G)가 박리된 캐리어 필름(F)을 쓰레기통(2)로 떨어뜨리는 배출롤러(48)를 갖춘다. 그리고, 박스형 흡착체(42)와 커트날(43), 수평부재(46)로 이루어지는 재단기구(재단수단)가 구성되고, 박스형 흡착체(42)와 반송기구(45), 수평부재(46), 박리 ·안내판(47)으로 이루어지는 박리기구(박리수단)로 구성된다. 그리고, 도 3 중, 부호Ga는 도체시트(G)의 불필요한 부분을 나타내고, Gb는 분리홈을 나타낸다.
헤드(41)는, 상면이 개방된 상자체로 이루어지고, 이 헤드(41)저면에는, 전부승강실린더(에어실린더, 41a)와 후부승강실린더(에어실린더, 41b)가 종렬로 배치됨과 동시에, 그 중앙에는 배기관(41c)이 배치된다. 전부승강실린더(41a) 및 후부승강실린더(41b)의 각 로드는, 헤드(41)저면을 관통시켜 헤드(41)의 하방에 배치된 상자형 흡착체(42)상면에 접합되고, 또, 배기관(41c)의 선단(하단)은, 헤드(41)저면을 관통시켜 상자형 흡착체(42)상면에 형성된 배기공(42a)에 접합된다. 이 배기관(41c)의 상단에는 도시되어 있지 않지만, 배기장치(도시 생략)에서 가소성이 있는 배관이 접속된다.
상자형 흡착체(42)는 중공체로, 그 상면에는 상술한 바와 같이 상자체의 헤드(41)저면에 종렬상으로 배치된 전부승강실린더(41a) 및 후부승강실린더(41b)의 각 로드가 헤드(41)저면을 관통하여 접속된다. 이렇게 하여, 상자형 흡착체(42)가 승강이 자유로워진다. 또, 상면중앙에 형성된 배기공(42a)에는, 배기관(41c) 선단이 헤드(41)저면을 관통하여 접속되고, 상자형 흡착체(42)하면(흡착면)에는, 메시플레이트(M)가 점착됨과 동시에, 명료하게 도시되어 있지는 않지만, 도체시트(G)를 흡착하기 위한 개구(42b)가 다수관통형성되어 있는 한편, 그 측면에는 명료하게 도시되어 있지는 않지만, 흡착면에 도체시트(G)가 흡착되었을 때의 상자형 흡착체(42)내부의 부압을 적당한 수치로 조정하기 위한 압력조정개구(42c)가 적절한 간격으로 형성되어 있다.
이 상자형 흡착체(42)의 전단부는, 상자체의 헤드(41) 전면(41d)을 따라 상방에 전면(42d)과 일면으로 연장되고, 상자형 흡착체(42)의 승강을 안내하는 가이드부(42e)로 구성된다. 이 가이드부(42e)에는 커트날(43)이 평판상인 측면과 당접하며, 또 초기위치에서는 날이 돌출하지 않도록 하여 상하방향으로 슬라이드가 자유롭게 장착된다.
유지부재(44)는 그 유지부(44a)가 헤드(41)의 적정위치에 접합됨과 동시에, 그 기부(44b)가 반송기구(45)의 구동축(45a)에 계합된다. 또, 유지부재(44)는 도시되어 있지 않지만 가이드기구, 예를 들면 LM가이드로 안내되면서 구동된다.
반송기구(45)는, 유지부재(44)를 구동가능하도록 장착하는 수평구동축(45a)과, 이 수평구동축(45a)을 구동하는 사보모터(45b)를 갖춘다. 구동축(45a)은 헤드(41)를 재단위치(C)에서 압착 ·적층위치(D)로 반송가능한 길이이며, 이 실시예 1은, 도 1에 나타나듯이, 수평구동축(45a)의 기단(45ab)은 벨트컨베이어(31)의 상방적정위치에 있는 한편, 그 선단(45at)은 압착 ·적층부(50)를 넘는 적정위치로 베어링(45c)에 의해 회동가능하게 지지된다. 이 구동방식은, 위치결정 정밀도가 높은 점에서 볼나사에 의한 구동방식으로 이루어지는 것이 바람직하다. 결국, 수평구동축(45a)이 볼나사축이고, 그 볼나사축에 유지부재(44)에 장착된 볼나사너트체가 장착되는 구성이 바람직하다.
수평부재(46)는 헤드(41)가 재단위치(C)에 세트되었을 때에 그 선단부가 커트날(43)의 하방에 위치됨과 동시에, 벨트컨베이어(31)에 의한 2층시트편(N)의 반송에 지장이 없도록, 그 상면이 벨트컨베이어(31)의 상면(31c) 하방소정위치가 된다.(도 4 참조) 이 수평부재(46)의 하면중앙에는 그 하방에 배치된 에어실린더(46a)의 로드(46b)선단부가 접속되어, 수평부재(46)가 승강이 자유롭개된다. 또, 수평부재(46)에는, 도 4에 나타나듯이 벨트컨베이어(31)의 폭이 좁은 벨트(32)에 대응시킨 골(도 4에 나타나는 예에 있어서는 4조의 골, 46c)이 형성된다. 이 골(46c)의 깊이는, 도체시트(G)의 캐리어 필름편(F)으로 부터의 박리작업에 지장이 없는 돌출높이를 확보하도록 조정된다.
박리 ·안내판(47)은, 도 3에 나타나듯이 커트날(43)의 전방소정거리에 있어 벨트컨베이어(31)의 상면(31c) 소정높이위치에 배치된다. 구체적으로는, 수평부재(46)와의 요동에 의해, 상자형 흡착체(42)에 흡착유지되는 도체시트(G)의 캐리어 필름(F)으로 부터의 박리가 이루어지는 그 위치 및 높이가 조정된다. 결국, 박리 ·안내판(47)은, 헤드(41)가 반송기구(45)에 의해 재단위치에 세트될 때, 커트날(43)의 소정거리전방에 있어 불필요한 부분(Ga)의 상방에 위치하도록 그 위치 및 높이가 조정된다.
또, 박리 ·안내판(47)은 도 3에 나타나듯이, 반입측(47i) 단면의 하측각부가 깎여 나이프 에지상의 박리부로 도체시트(G)를 캐리어 필름(F)으로부터 박리하는 한편, 배출측(47o)단부가 사면 하방으로 휘어져 캐리어 필름(F)을 배출롤러(48)로 유도하는 안내부로 되어 있다.
배출롤러(48)는 박리 ·안내판(47)으로 안내된 캐리어 필름(F)을, 벨트(32)를 통해 롤러(34)에 당접된다.
압착 ·적층부(50)는, 구체적으로는 압착적층기구(51)이다. 이 압착적층기구(51)는, 소정의 칫수로 재단된 도체시트(G)가 압착 ·적층된 적층체(S)가 형성되는 프레스 테이블(52)과, 프레스 테이블(52)의 수직상하방향 및 수평방향의 위치를조절하는 테이블 위치보정기구(53)와, 프레스테이블(52)을 승강시키는 유압실린더(54)로 구성되고, 유압실린더(54)로 프레스 테이블(52)을 상하로 밀어올려 헤드(41)에 의해 흡착유지되는 도체시트(G)를 적층체(S)에 압착 ·적층한다.
또, 적층체(S)는, 도 2에 나타나듯이, 캐리어 플레이트 공급장치(55)에서 공급되고, 컨베이어(56a)에 의해 프레스 테이블(52)로 반송 ·적재되는 캐리어 플레이트(P)상에 형성된다. 캐리어 플레이트(P)는 상면에 저점착성 또는 열박리성 풀이 도표되고, 이렇게 함으로써 적층체(S)가 표면에 점착됨과 동시에, 적층체(S)를 캐리어 플레이트(P)에서 때어 낼 때에도 도체시트(G)를 손상입히지 않고 박리하는 것이 가능하다. 또, 캐리어 플레이트(P)상면에 직접 풀을 도포하지 않고 예를 들면 저점착성 또는 열박리성 풀이 도포된 양면접착 시트를 캐리어 플레이트(P)상에 점착하고, 이 위에 도체시트(G)를 압착적층하는 구성도 좋다.
프레스 테이블(52)상에서 적층체(S)가 형성된 캐리어 플레이트(P)는, 컨베이어(56b)에 의해 본압착프레스(57)까지 반송되고, 필요에 따라 본압착된 후, 컨베이어(56c)에 의해 캐리어 플레이트 수납장치(58)까지 반송되어 수납된다.
위치결정부(60)는 도체시트(G)상에 인쇄된 상기 위치결정용 마크를 촬상하는 CCD촬상장치(61, 61)와, 이 CCD촬상장치(61, 61)에 의해 촬상된 화상데이타에 강조처리나 노이즈 제거처리 등 소정의 화상처리를 이행하는 화상처리부(62)와, 화상처리부(62)에 의해 처리된 화상데이타에 기초하여 헤드(48)를 반송기구(45)로 재단위치(C)까지 이동시킬 때의 이동량을 보정함과 동시에, 헤드(45)를 재단위치(C)에서 압착 ·적층위치(D)까지 이동시킬때의 기준위치에서 이격된 것을 보정하여 이동량을 산출하는 이동량 보정부(63)로 구성된다. 화상처리부(62) 및 이동량보정부(63)는, 구체적으로는 제어장치(70)에 의해 구성된다.
여기서, CCD촬상장치(61, 61)는, 헤드(41)와 일체로 이동하도록 헤드(41)에 지지구(61a)에 의해 직접적으로 지지되고, 이렇게 함으로써 볼나사축(45a)의 열팽창에 기인하는 위치결정오차를 해소하고, 도체시트(G)를 정밀하게 압착 ·적층하는 것이 가능하다. 또, 지지구(61a)에 의한 CCD촬상장치(61, 61)의 지지위치는 헤드(41)가 압착 ·적층위치(D)에 위치결정될 때에 재단위치(C)가 촬상되도록 조정된다.
제어장치(70)는, CPU와 제조장치(J)를 제어하기 위한 각종 프로그램을 기억하는 ROM, 및 CPU에 의해 연산처리되는 각종 데이타를 기억하는 RAM으로 이루어지는 기억장치를 갖추고, 수납부(10), 반출부(20), 반송부(30), 재단 ·반송부(40), 압착 ·적층부(50), 위치결정부(60)를 제어하는 제어부(71)를 구성함과 동시에, 화상처리부(62) 및 이동량 보정부(63)를 구성한다. 제어부(71)는, 예를 들면 이동량 보정부(63)의 출력신호에 따라 헤드(41)를 이동시킬때의 이동량을 조정하는 외에, 이하의 제어를 이행한다.
다음으로, 도 5 ∼ 도 11를 참조하면서, 이러한 구성으로 이루어지는 제조장치(J)에 위한 도체시트(G)의 적층에 대해서 설명한다. 또, 이 적층은 제어장치(70)의 제어하에 이루어진다.
(1) 턴테이블(12)을 소정량 회전시켜, 소정의 도체패턴이 인쇄된 2층시트편이 수납된 수납케이스(11a)를 꺼내는 위치(A)에 세트한다.
(2) 반출구(22)를 꺼내는 위치(A)에 두고 흡반(22b)을 하강시켜 상기 수납케이스(11a)내의 2층시트편(N)을 흡착유지 시킨다.
(3) 2층시트편(N)을 흡착유지한 흡반(22ba)을 초기높이로 복귀시킨후, 수평구동기구(22)로 반출구(22)를 수도위치(B)까지 이동시킨다.
(4) 흡반(22b)을 하강시켜 2층시트편(N)을 벨트컨베이어(31)에 재치한 후, 흡반(22b)의 흡착을 해제한다.
(5) 흡반(22b)을 초기위치로 복귀시킨 후, 벨트컨베이어(31)를 구동하여 2층시트편(N)을 재단위치(C)까지 반송한다.
(6) 헤드(41)를 압착 ·적층위치(D)에 위치시키고, CCD 촬상장치(61, 61)를 재단위치(C)에 세트하여, 도체시트(G)의 위치결정용 마크를 촬상시킨다(도 5 참조).
(7) 화상처리부(62)에서 CCD촬상장치(61, 61)로 촬상된 화상에 소정의 화상처리를 한 후, 이동량 보정부(63)에서 화상처리된 화상데이타에 기초하여 헤드(41)를 압착 ·적층위치(D)에서 재단위치(C)까지 이동시킬 때의 이동량 및 재단위치(C)에서 압착 ·적층위치(D)까지 이동시킬 때의 이동량을 산출한다. 이 연산은 예를 들면, 촬상된 위치결정 마크의 기준위치에서의 이격량에 맞추어 사전에 설정되어 있는 이동량을 보정함으로써 이루어진다.
(8) 반송기구(45)를 구동하여 유지부재(44)를 산출된 이동량에 따라 이동시켜, 헤드(41)를 재단위치(C)에 위치시킨다(도 6 참조).
(9) 전부 및 후부승강 실린더(41a, 41b)를 구동하여, 상자형 흡착체(42)를하강시켜 흡착면을 도체시트(G)에 당접시킨 후, 상자형 흡착체(42)내를 소정의 부압으로써 도체시트(G)를 흡착면에 흡착유지시킨다.
(10) 커트날(43)을 하강시켜 도체시트(G)의 불필요한 부분(Ga)을 도체시트(G)에서 분리시킨다(도 7, 8 참조). 이 경우, 커트날(43)의 하강압력은, 불필요한 부분(Ga)의 절단시에 캐리어 필름(F)이 절단되지 않도록 조정된다.
(11) 커트날(43)을 상승시켜 초기위치로 복귀시킨다.
(12) 전부 및 후부승강 실린더(41a, 41b)를 구동하여 상자형 흡착체(42)를 상승시켜 초기위치로 복귀시킴과 동시에 수평부재(46)를 소정량 상승시킨다(도 9 참조). 이 소정량은 흡착면에 흡착유지되는 2층시트편(N)과 수평부재(46)의 간격이 10㎛-100㎛가 되도록 조정된다. 이것은, 헤드(41)를 압착 ·적층위치(D)로 이동시킬 때에, 수평부재(46)와 박리 ·안내판(47)의 협동에 의한 캐리어 필름(F)의 박리를 원할히 하기 위함이다.
(13) 반송기구(45)를 재구동하여 유지부재(44)를 상기(7)로 산출된 이동량에 따라 이동을 시작한다. 결국, 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동을 시작한다. 또, 헤드(41)의 수평이동과 더불어 벨트컨베이어(31)를 재구동한다.
(14) 캐리어 필름(F)의 불필요한 부분(Ga)의 선단부가 재치된 부분은, 도 9에 나타나듯이 박리 ·안내판(47)의 반입측(47i)이 나이프 에지상인 면에 당접하므로, 헤드(41)의 수평이동에 따라 캐리어 필름(F)의 불필요한 부분(Ga)이 재치되는 부분은, 불필요한 부분(Ga)을 재치한 채 박리 ·안내판(47)의 하방으로 들어간다. 이 경우, 캐리어 필름(F)은 적당한 탄력성이 있으므로, 불필요한 부분(Ga)은 캐리어 필름(F)의 복원력에 의해 상기 나이프 에지상의 면에 부세되면서 박리 ·안내판(47)의 하방으로 들어간다.
(15) 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 이루어져, 분리홈(Gb)이 나이프 에지상인 면의 선단에 도달한다. 상기와 같이 캐리어 필름(F)은 그 복원력에 의해 원래의 평판으로 복귀하려고 하므로, 분리홈(Gb)이 나이프 에지상인 면의 선단에 도달하면, 캐리어 필름(F) 결국 분리홈(Gb)저부는 나이프 에지상의 면의 선단에 당접한다.
(16) 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 이루어져, 박리 ·안내판(47)의 반입측(47i)이 그 나이프 에지상의 면을 캐리어 필름(F) 결국 분리홈(Gb)저부에 당접시켜면서, 캐리어 필름(F)과 도체시트(G)의 경계에 진입한다(도 10 참조). 이렇게 하여, 도체시트(G)의 캐리어 필름(F)으로부터의 박리가 이루어진다.
(17) 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 이루어져, 캐리어 필름(F)의 선단은 박리 ·안내판(47)의 배출측(47o)으로 안내되어 배출롤러(48)로 권취된다.
(18) 배드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 이루어져, 도체시트(G)의 후단이 캐리어 필름(F)의 후단에서 박리한다(도 11 참조). 결국, 도체시트(G)의 캐리어 필름(F)으로 부터의 박리가 완료된다. 여기에 동반하여, 수평부재(46)를 초기위치로 복귀시킨다.
(19) 캐리어 필름(F)에서 박리된 도체시트(G)는 헤드(41)에 흡착유지되어 압착 ·적층위치(D)로 반송된다. 한편, 도체시트(G)가 박리된 캐리어 필름(F)은, 배출롤러(48)에 권취되어 쓰레기통(2)으로 회수된다.
(20) 도체시트(G)를 흡착유지한 헤드(41)가 압착 ·적층위치(D)에 위치결정되면, 압착적층기구(51)를 구동하여 프레스 테이블(52)을 상승시켜 도체시트(G)에 당접시킨다.
(21) 상자형 흡착체(42)에 의한 도체시트(G)의 흡착유지를 해제하여 도체시트(G)를 프레스 테이블(52)에 재치한다.
(22) 압착적층기구(51)를 구동하여 프레스 테이블(52)을 하강시켜 초기위치로 복귀시킨다.
(23) (1)-(22)의 순서를 소정횟수 반복하여, 도체시트(G)가 소요매수적층된 적층체(S)의 적층이 완료된다. 또, 상기(20)에서는 필요에 따라 테이블 위치보정기구(53)를 구동하여 프레스 테이블(52)의 위치조정이 이루어진다.
이와 같이, 이 실시예1에 따르면, 사전에 소정칫수로 재단된 2층시트편(N)에서 도체시트(G)를 박리하여 압착 ·적층하는 것으므로, 적층된 도체시트(G)에 인쇄되는 도체패턴이 다종류존재하는 적층체(S)를 제조할 경우에도, 각 도체패턴을 적층하는 순서대로 인쇄할 필요가 없으므로, 도체패턴의 인쇄작업이 현저히 간소화된다.
또, 위치결정부(60)의 CCD촬상장치(61, 61)를 헤드(41)에 지지시켜, 헤드(41)와 일체적으로 이동하므로, 볼나사축(45a)의 열팽창에 기인하는 위치결정오차가 해소되고, 도체시트(G)를 고정밀도로 재단 ·적층하는 것이 가능하다.
[실시예 2]
본 발명 실시예 2의 적층체(S) 제조방법이 적용되는 제조장치(J1)의 개략구성을 도 12에 나타내고, 이 제조장치(J1)는 실시예 1의 제조장치J에 있어서, 반송부(반송수단, 30) 및 재단 ·반송부(재단 ·반송수단, 40)를 변형한 것이다.
또, 실시예 2의 제조장치J1의 그 외 구성은, 실시예 1의 제조장치J와 동일한다.
이하, 실시예 2의 실시예 1과 상이한 점을 중심으로 설명한다.
반송부(30)는, 수평구동기구(36)와 이 수평구동기구(36)에 수평구동되는 이동 테이블(37)을 갖춘다. 수평구동기구(36)는, 이동 테이블(37)을 수도위치(B)에서 재단위치(C)의 사이를 왕복한다. 이 수평구동기구(36)는, 예를 들면 볼나사구동기구로 그 볼나사너트체에 이동테이블(37)을 승강시키는 에어실린더(38)기부가 장착된다. 이동테이블(37)의 그 표면은 흡착면이다. 즉, 이동테이블(37)의 천정은 상자형 흡착체이다.
재단 ·반송부(40)는, 반송부(30)에 의해 재단위치(C)까지 반송된 2층시트편(N) 도체시트(G)의 불필요한 부분(Ga)을 재단하는 재단기구(재단수단)와, 캐리어 필름(F)에서 도체시트(G)를 박리하는 박리기구(박리수단)과, 캐리어 필름(F)에서 박리된 도체시트(G)를 압착 ·적층부(50)까지 반송하는 반송기구(제 2 반송수단)를 갖춘다.
재단 ·반송부(40)는, 구체적으로는 도 13에 나타나듯이 상자형 흡착체(42), 및 승강이 자유로운 커트날(43)이 장착된 헤드(41)와, 헤드(41)를 유지시키는 유지부재(44), 유지부재(44)를 반송하는 반송기구(45), 승강이 자유로운수평부재(46A), 캐리어 필름(F)에서 도체시트(G)를 박리시킴과 동시에 캐리어 필름(F)을 배출측으로 안내하는 박리 ·안내판(47), 도체시트(G)가 박리된 캐리어 필름(F)을 쓰레기통(2)에 떨어뜨리는 배출호퍼(49)를 갖춘다. 그리고, 상자형 흡착체(42)와 커트날(43)과 수평부재(46A)로 재단기구가 구성되고, 상장형 흡착체(42)와 반송기구(45)와 수평부재(46A)와 박리 ·안내판(47)으로 박리기구가 구성된다. 또, 헤드(41)를 유지하는 유지부재(44), 유지부재(44)를 반송하는 반송기구(45), 및 박리 ·안내판(47)은 실시예 1과 동일하다.
헤드(41)는 상면이 개방된 상자체이고, 이 헤드(41) 저면중앙에는 배기관(41c)이 장착된다. 배기관(41c)의 선단(하단)은, 헤드(41) 저면을 관통하여 상자형 흡착체(42)의 상면에 형성된 배기공(42a)에 접합된다.
이 배기관(41c)의 상단에는, 도시되어 있지 않지만, 배기장치(도시생략)에서 가소성이 있는 배관이 접속된다.
상자형 흡착체(42)는 중공체로, 그 상면은 헤드(41)저면과 일체화된다. 그 상면중앙에 형성된 배기구(42a)에는 상기와 같이 배기관(41c) 선단이 헤드(41) 저면을 관통하여 접속되고, 그 하면에는 메시플레이트(M)가 점착됨과 동시에, 명료하게 도시되어 있지는 않지만, 도체시트(G)를 흡착하기 위한 구멍(42b)이 다수관통형성되어 있는 한편, 그 측면에는 명료하게 도시되어 있지는 않지만 흡착면에 도체시트(G)가 흡착되었을 때의 상자형 흡착체(42)내부의 부압을 적당한 수치로 조정하기 위한 압력조정구(42c)가 적정 간격으로 형성되어 있다.
헤드(41)의 전면(41d)에는 커트날(43)이 평면상인 측면을 당접시키고, 또 초기위치에서 날이 상자형 흡착체(42)하면에서 돌출하지 않도록 상하방향으로 자유롭게 미끄러지도록 장착된다. 구체적으로는, 에어실린더(43a)가 전면(41d)의 상부에 고착되고, 그 로드(43b)선단부가 커트날(43)의 뒤측에 접합됨으로써 커트날(43)이 전면(41d)에 상하방향으로 자유롭게 미끄러지도록 장착된다.
수평부재(46A)는 커트날(43)의 하방적정위치에 배치되고, 그 하면중앙에는 이 수평부재(46A)를 승강시키는 에어실린더(46a)의 로드(46b)선단부가 접합된다. 이 에어실린더(46a)에 의한 수평부재(46A)의 승강은 커트날(43)에 의한 도체시트(G)의 불필요한 부분(Ga)의 절단 및 도체시트(G)의 캐리어 필름(F)으로 부터의 박리에 지장이 없도록 조정된다.
배출호퍼(49)는 적절한 형상으로, 박리 ·안내판(47)에서 배출되는 캐리어 필름(F)을 바람직하게 배치한다.
다음으로, 도 13 ∼ 도 16을 참조하면서, 이러한 구성으로 형성된 제조장치(J1)에 의한 도체시트(G)의 적층에 대해서 설명한다. 그리고, 이 적층은 제어장치(70)의 제어하에서 이루어진다.
(1) 턴테이블(12)을 소정량회전시켜, 소정의 도체패턴이 인쇄된 2층시트편(N)이 수납된 수납케이스(11a)를 꺼내는 위치(A)에 세트한다.
(2) 반출구(22)를 꺼내는 위치(A)두고, 흡반(22b)을 하강시켜 상기 수납케이스(11a)내의 2층시트편(N)을 흡착유지시킨다.
(3) 2층시트편(N)을 흡착유지시키는 흡반(22b)을 초기높이로 복귀시킨후, 수평구동기구(21)로 반출구(22)를 수도위치(B)까지 이동시킨다.
(4) 흡반(22b)을 하강시켜 2층시트편(N)을 이동테이블(37)에 재치시킨 후, 흡반(22b)에 의한 흡착을 해제한다.
(5) 이동테이블(37)에 2층시트편(N)을 흡착유지시킨 후, 수평구동기구(36)를 구동하여 이동테이블(37)을 재단위치(37)까지 반송한다.
(6) 헤드(41)를 압착 ·적층위치(D)에 위치시켜 CCD촬상장치(60, 61)를 재단위치(C)에 세트하고, CCD촬상장치(60, 61)에 도체시트(G)의 위치결정용 마크를 촬상시킨다.
(7) 화상처리부(62)에서 CCD촬상장치(60, 61)에 의해 촬상된 화상에 소정의 화상처리를 한 후, 이동량 보정부(63)에서 화상처리된 화상데이타에 기초하여 헤드(41)를 압착 ·적층위치(D)에서 재단위치(C)까지 이동시킬 때의 이동량 및 재단위치(C)에서 압착 ·적층위치(D)까지 이동시킬 때의 이동량을 산출시킨다.
(8) 반송기구(45)를 구동하여 유지부재(44)를 산출된 이동량에 따라 이동시키고, 헤드(41)를 재단위치(C)에 위치결정시킨다.(도 13 참조)
(9) 이동테이블(37)을 상승시켜 상자형 흡착체(42)의 흡착면에 도체시트(G)를 당접시킨 후, 이동테이블(37)에 의한 2층시트편(N)의 흡착고정을 해제한다.
(10) 상자형 흡착체(42)내를 소정의 부압으로 도체시트(G)를 흡착면에 흡착유지시킨다.
(11) 그것과 동시에 수평부재(46A)를 상승시킨다(도 14 참조). 이 상승량은, 상자형 흡착체(42)의 흡착면에 흡착유지되어 있는 2층시트편(N)과 수평부재(46A)의 간격이 10㎛-100㎛가 된다. 이것은 헤드(41)를 압착·적층위치(D)로 이동시킬 때에 수평부재(46A)와 박리 ·안내판(47)의 협동에 의한 캐리어 필름(F)의 박리를 원할하게 하기 위함이다.
(12) 커트날(43)을 하강시켜 도체시트(G)의 불필요한 부분(Ga)을 도체시트(G)에서 분리한다(도 14 참조). 이 경우, 커트날(43)의 하강압력은 불필요한 부분(Ga)의 절단시에 캐리어 필름(F)이 절단되지 않도록 조정된다.
(13) 커트날(43)을 상승시켜 초기위치로 복귀시킨다.
(14) 반송기구(45)를 재구동하여 유지부재(44)를 상기(7)로 산출된 이동량에 따라 이동시킨다. 결국, 헤드(41)를 압착 ·적층위치(D)로 수평이동시킨다.
(15) 캐리어 필름(F)의 불필요한 부분(Ga)의 선단부가 재치되는 부분은, 도 14에 나타나듯이 박리 ·안내판(47)의 반입측(47i)의 나이프 에지상의 면에 당접하므로, 헤드(41)의 수평이동에 따라 캐리어 필름(F)의 불필요한 부분(Ga)이 재치되어 있는 부분은, 불필요한 부분(Ga)을 재치한 채로 박리 ·안내판(47)의 하방으로 들어간다. 이 경우, 캐리어 필름(F)은 적당한 탄력성이 있으므로 불필요한 부분(Ga)은 캐리어 필름(F)의 복원력에 따라 상기 나이프 에지상의 면에 부세되면서 박리 ·안내판(47)의 하방으로 들어간다.
(16) 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 계속되어, 분리홈(Gb)이 나이프 에지상 면의 선단에 도달한다. 상기와 같이, 캐리어 필름(F)은 그 복원력에 의해 원래의 평면으로 복원하려고 하므로, 분리홈(Gb)이 나이프 에지상의 면의 선단에 도달하면, 캐리어 필름(F)은 나이프 에지상의 면의 선단에 당접한다.
(17) 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 계속되어, 박리 ·안내판(47)의 반입측(47i)이 그 나이프 에지상의 면을 캐리어 필름(F)에 당접시키면서, 캐리어 필름(F)과 도체시트(G)의 경계에 진입한다(도 15참조). 이렇게 됨으로써, 도체시트(G)의 캐리어 필름(F)으로 부터의 부분박리가 이루어진다. 이와 더불어, 이동테이블(37)의 초기위치로의 이동을 개시한다.
(18) 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 계속되어, 캐리어 필름편(F)의 선단은 박리 ·안내판(47)의 배출측(47o)으로 안내되어 배출호퍼로 진입한다.
(19) 헤드(41)의 압착 ·적층위치(D)로의 수평이동이 계속되어, 도체시트(G)의 후단이 캐리어 필름(F)의 후단에서 박리된다. 결국, 도체시트(G)의 캐리어 필름편(F)으로 부터의 박리가 완료된다. 이와 더불어, 수평부재(46A)를 초기위치로 복귀시킴과 동시에, 이동테이블(37)을 하강시켜 초기의 높이로 복귀시킨다.
(20) 캐리어 필름(F)으로 부터 박리된 도체시트(G)는, 헤드(41)에 흡착유지되어 압착 ·적층위치(D)에 반송된다. 한편, 도체시트(G)가 박리된 캐리어 필름(F)은 배출호퍼(49)에서 쓰레기통(2)으로 투입된다.
(21) 도체시트(G)를 흡착유지시킨 헤드(41)가 압착 ·적층위치(D)에 위치결정되면, 압착적층기구(51)를 구동하여 도체시트(G)를 프레스테이블(52)에 재치한다.
(22) (1)-(22)의 순서를 소정의 횟수 반복하여 도체시트(G)가 소정의 개수 적층된 적층체(S)의 적층이 완료된다. 그리고, 상기(21)에서는 필요에 따라 테이블위치 보정기구(53)를 구동하여 프레스 테이블(52)의 위치조정이 이루어진다.
이와 같이, 이 실시예 2에 따르면, 실시예 1과 마찬가지로 사전에 소정의 칫수로 재단된 2층시트편(N)에서 도체시트(G)를 박리하여 압착 ·적층하므로, 적층된 도체시트(G)에 인쇄되는 도체패턴이 다종류 존재하는 적층체(S)를 제조하는 경우에도, 각 도체패턴을 적층하는 순서대로 인쇄할 필요는 없으므로, 도체패턴의 인쇄작업이 현저하게 간략화된다.
또, 실시예 2에서는, 2층시트(N)를 볼나사구동방식으로 이동하는 이동테이블(37)로 재단위치까지 반송하므로, 2층시트(N)의 위치결정 정밀도가 향상되어 생산성이 향상된다.
이상, 본 발명을 실시예에 근거하여 설명했는데, 본 발명은 이러한 실시예에만 한정되지 않고, 각종 여러 가지 변형이 가능하다. 예를 들면, 각 실시예에 있어서는, 각 수납케이스에 소정의 한종류의 도체패턴이 인쇄된 도체시트를 수납하는데, 여기에 한정되지 않고 각 수납케이스에 다른 도체패턴이 인쇄된 도체시트를 적층하는 순서대로 수납하고, 하나의 수납케이스에서 연속하여 도체시트를 꺼내어 반송해도 무관하다. 또, 각 실시예에 있어서는 헤드에 장착된 커트날에 의해 분리홈을 형성하는데, 사전에 분리홈을 형성하여 각 수납케이스에 수납하여 헤드의 커트날을 생략해도 좋다.
이상 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 압착 ·적층하는 박막시트에 인쇄되는 도체패턴이 다종류 존재하는 박막적층체를 제조하는 경우에도, 도체패턴의 인쇄작업이 번잡해지지 않는 뛰어난 효과를 얻을 수 있다.
또, 박막시트의 캐리어 필름으로부터의 박리가 압착 ·적층장소로의 반송도중에 이루어지므로, 박막시트의 압착 ·적층효율의 뛰어난 효과도 얻을 수 있다.

Claims (13)

  1. 도전성 패턴이 형성된 박막시트를 순서대로 적층하여 박막적층체를 제조하는 박막적층체의 제조방법에 있어서,
    박막시트를 소정의 사이즈로 조정된 캐리어 필름에 유지시켜 수납케이스에 수납하고,
    상기 박막시트를 상기 캐리어 필름에 유지시킨 상태로 수납케이스에서 꺼내어 압착 ·적층위치로 반송하는 도중에, 동박막시트를 반송하면서 캐리어 필름에서 박리시키는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 박막시트를 반송체에 유지시켜 상기 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 박리부재를 진입시킴으로써, 상기 박막시트를 상기 캐리어 필름에서 박리시키는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 캐리어 필름 반송방향의 길이가 박막시트보다 길고, 그 긴 부분을 반송방향으로 돌출시켜, 상기 돌출된 부분에 박리부재를 맞추어 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 진입시키는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 캐리어 필름의 반송방향으로 돌출된 부분에 불필요한 부분을 박막시트와 일체적으로 형성하고, 상기 박막시트를 소정의 위치에 위치결정시켜 상기 불필요한 부분의 경계에 분리홈를 형성하고, 박리부분을 해당 분리홈의 저부에 맞추면서 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 진입시키는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 분리홈을 박막시트의 적층위치로 반송하는 도중에 형성하는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  6. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 분리홈을 형성하여 수납케이스에 수납하는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  7. 제 2 항에 있어서, 박리부재의 반입측이 나이프 에지상인 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  8. 제 2 항에 있어서, 박리부재에 의해 도체시트가 박리된 캐리어 필름의 배출측으로의 안내가 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조방법.
  9. 도전성 패턴이 형성된 박막시트를 순서대로 적층하여 박막적층체를 제조하는 박막적층체의 제조장치에 있어서,
    박막시트가 형성되고 소정의 사이즈로 조정된 캐리어 필름을 수납하는 수납수단과, 상기 수납수단에 수납된 박막시트를 캐리어 필름에 유지시킨 상태로 꺼내어 소정의 위치까지 이송하는 반출수단과, 상기 반출수단에 의해 꺼내어진 박막시트를 캐리어 필름에 유지시킨 상태로 소정의 위치까지 반송하는 반송수단과, 상기 반송수단으로 소정의 위치까지 반송된 박막시트를 반송하면서 캐리어 필름으로부터 박리시키는 박리수단과, 상기 박막시트를 압착 ·적층하는 압착 ·적층수단을 갖추는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 위치결정수단을 갖추는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 분리홈 형성수단을 갖추는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조장치.
  12. 제 9 항에 있어서, 박리수단이 박막필름을 유지하고 반송하는 반송체와 박리 ·안내판을 갖추고,
    상기 반송체에 의한 박막시트의 반송중에 해당 박리 ·안내판의 반입측을 박막시트와 캐리어 필름의 경계에 진입시킴으로써 상기 박막시트의 캐리어 필름으로부터의 박리가 이루어지고, 동 박리 ·안내판의 배출측에 의해 상기 캐리어 필름의 배출측으로의 안내가 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 박리 ·안내판의 반입측이 나이프 에지상인 것을 특징으로 하는 박막적층체의 제조장치.
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