KR100631135B1 - 세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법 - Google Patents

세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹 그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법에 관한 것으로, 박막의 세라믹 그린시트를 캐리어 필름(carrier film)에서 주름 등의 손상 없이 완벽하게 박리함으로써, 적층형 세라믹 콘덴서(multi layer ceramic condenser: MLCC)의 생산성을 향상시키고, 제조 비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
이를 위한 본 발명에 의한 세라믹 그린시트 절단용 기구는, 표면에 세라믹 그린시트가 형성된 캐리어 필름으로부터 상기 세라믹 그린시트를 박리하기 위해, 하면에 복수의 진공홀을 구비한 박리 헤드; 및 상기 박리 헤드로부터 수평방향으로 소정간격 이격된 상태에서 상기 세라믹 그린시트를 절단하기 위하여 수직방향으로 이동가능하며, 상기 절단된 세라믹 그린시트를 예비 박리하기 위하여 수평방향으로 이동가능하도록 장착된 절단기구를 포함한다.
그린시트, 절단, 박리, 적층

Description

세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹 그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법{Instrument for cutting ceramic green sheet and laminating apparatus of ceramic green sheet having the instrument and method for exfoliating ceramic green sheet}
도 1은 종래기술에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치를 나타내는 정면도.
도 2a 내지 도 2d는 종래기술에 따른 세라믹 그린시트 적층장치를 사용한 세라믹 그린시트의 박리방법을 설명하기 위한 정면도.
도 3은 종래기술에 따른 세라믹 그린시트 절단용 기구의 문제점을 설명하기 위한 부분확대도.
도 4는 종래기술에 따른 세라믹 그린시트 절단용 기구에 의해 절단 및 박리된 세라믹 그린시트를 나타내는 평면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치를 나타내는 정면도.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치를 사용한 세라믹 그린시트의 박리방법을 설명하기 위한 정면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 그린시트 절단용 기구에 의해 절단 및 박리된 세라믹 그린시트를 나타내는 평면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
50: 박리 테이블 51: 캐리어 필름
52: 세라믹 그린시트 52a: 박리된 세라믹 그린시트
53: 진공홀 54: 박리 헤드
55: 절단기구 56: 압착기
57: 유압 프레스 58: 압착 부재
59: 샤프트 60: 에어 실린더
61: 안착부 62: 전자석
본 발명은 세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹 그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법에 관한 것으로서, 특히 박막의 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 주름 등의 손상 없이 완벽하게 박리함으로써, MLCC의 생산성을 향상시키고 제조 비용을 감소시킬 수 있는 세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹 그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법에 관한 것이다.
일반적으로 MLCC는 이동통신 단말기, 노트북, 컴퓨터, 개인 휴대용 단말기(PDA) 등의 여러 전자 제품의 인쇄 회로 기판에 장착되어 전기를 충전 또는 방전시키는 중요한 역할을 하는 칩 형태의 캐패시터이며, 사용 용도 및 용량에 따라 다양 한 크기 및 적층 형태를 취하고 있다.
이러한 MLCC를 제조하기 위해서는, 캐리어 필름 상에 슬러리 형태의 세라믹을 수 내지 수십 마이크로미터의 얇은 두께로 연속적으로 도공하는 성형 공정과, 도공된 세라믹의 표면에 소정의 패턴을 인쇄하여 세라믹 그린시트를 제조하는 인쇄 공정과, 상기 캐리어 필름으로부터 소정의 형상으로 절단된 세라믹 그린시트를 분리시키는 박리 공정과, 캐리어 필름으로부터 분리된 세라믹 그린시트를 소정의 층수로 적층시키는 적층 공정과, 적층된 세라믹 그린시트를 소정의 압력으로 압착시키는 압착 공정 등을 거치게 된다.
여기서, 상기 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 분리시키는 박리 공정의 정밀도에 따라서 MLCC 적층 구조물의 정렬도(alignment)가 결정되므로 MLCC의 제조 공정에서 매우 중요한 공정으로 취급되고 있다.
도 1은 종래기술에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치를 나타내는 정면도로서, 이를 설명하면 다음과 같다.
종래기술에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치는, 도 1에 도시한 바와 같이, 표면에 세라믹 그린시트(12)가 형성된 캐리어 필름(11)을 지지 및 이송하기 위한 박리 테이블(10)과, 상기 세라믹 그린시트(12)를 상기 캐리어 필름(11)으로부터 박리하기 위해 상기 박리 테이블(10)의 상부에 승강 및 수평이동가능하도록 설치된 박리 헤드(14)와, 상기 박리 헤드(14)에 의해 박리된 세라믹 그린시트(12a)를 적층 및 압착하기 위해 상기 박리 테이블(10)의 일측으로 이격되어 설치된 압착기(16)를 구비한다.
상기 세라믹 그린시트(12)에는 니켈(Ni) 등과 같은 도전체로 이루어진 내부 전극(도시안됨)이 인쇄되어 있다. 상기 박리 헤드(14)는 캐리어 필름(11)으로부터 세라믹 그린시트(12)를 박리하여 상기 압착기(16) 상으로 이송시킬 수 있도록 승강 및 수평이동한다. 박리 헤드(14)의 하면에는 진공 발생기(도시안됨) 등과 연결되어 흡입력이 전달되는 복수의 진공홀(13)이 형성되어 있고, 상기 박리 헤드(14)의 양측면에는 상기 진공홀(13)에 의해 박리 헤드(14)의 하면에 흡착된 세라믹 그린시트(12)를 절단하기 위한 절단기구(15)가 장착되어 있다. 즉, 에어 실린더(20)가 박리 헤드(14)의 양측 상부에 형성되고, 그 샤프트(19) 선단부가 절단기구(15)의 뒤측에 접합됨으로써, 상기 절단기구(15)가 박리 헤드(14)의 양측면에서 수직 방향으로 자유롭게 미끄러지도록 장착된다.
그리고, 상기 압착기(16)는 유압 프레스(17)에 의해 승하강 가능한 압착 부재(18)를 구비하고 있으며, 상기 압착 부재(18)는 박리 헤드(14)에 의해 상기 캐리어 필름(11)으로부터 박리되어 이송되는 세라믹 그린시트(12a)가 안착되도록 그 상부가 판상으로 형성되어 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 종래기술에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치는, 상기 진공홀(13)을 통해 발생되는 흡입력에 의해 세라믹 그린시트(12)가 박리 헤드(14)의 하면에 흡착되면 상기 절단기구(15)가 박리 헤드(14)의 측면을 따라 하강하여 세라믹 그린시트(12)를 일정한 크기로 절단한다. 이와 같이, 상기 세라믹 그린시트(12)가 박리 헤드(14)의 하면에 흡착 및 절단된 상태에서 상기 박리 테이블(10)이 수평으로 슬라이딩 이동함으로써, 상기 세라믹 그린시트(12)가 캐리어 필름 (11)으로부터 박리된다.
다음으로, 박리된 세라믹 그린시트(12a)를 흡착한 박리 헤드(14)가 압착기(16) 상으로 이송되어 하강하면, 상기 압착기(16)는 박리 헤드(14)에 흡착되어 있는 세라믹 그린시트(12a)가 상기 박리 헤드(14)와 압착기(16) 사이에서 압착되도록 상승하며 가압시킨다. 이에 따라, 박리된 세라믹 그린시트(12a)가 순차적으로 적층되며 압착될 수 있다.
여기서, 도 2a 내지 도 2d는 종래기술에 따른 세라믹 그린시트 적층장치를 사용한 세라믹 그린시트의 박리방법을 설명하기 위한 정면도이다.
먼저, 도 2a에 도시한 바와 같이, 캐리어 필름(11) 표면에 위치하는 세라믹 그린시트(12)에 박리 헤드(14)가 접촉되고, 상기 박리 헤드(14)의 하면에 형성된 진공홀(13)에 진공이 가해짐으로써, 상기 세라믹 그린시트(12)가 박리 헤드(14)에 흡착된다.
그 다음에, 도 2b에 도시한 바와 같이, 절단기구(15)가 상기 박리 헤드(14)의 양측면을 타고 하강하여 상기 세라믹 그린시트(12)를 일정한 크기로 절단한다.
그런 다음, 도 2c에 도시한 바와 같이, 상기 세라믹 그린시트(12)의 절단을 완료한 상기 절단기구(14)가 상승하여 초기 위치로 복귀되고, 박리 헤드(14) 및 박리 테이블(10)이 수평으로 이동하게 된다. 이때 박리 테이블(10)과 박리 헤드(14)는 서로 반대 방향으로 수평 이동하게 되며, 캐리어 필름(11)은 하방으로 당겨지게 된다.
다음으로, 도 2d에 도시한 바와 같이, 박리 테이블(10)이 완전히 박리 헤드 (14)와 반대 방향으로 수평이동이 완료됨에 따라, 세라믹 그린시트(12)의 박리가 완료된다. 이때, 도 2d에서 미설명한 도면부호 12a는 박리된 세라믹 그린시트를 나타낸다.
도 3은 종래기술에 따른 세라믹 그린시트 절단용 기구의 문제점을 설명하기 위한 부분확대도이고, 도 4는 종래기술에 따른 세라믹 그린시트 절단용 기구에 의해 절단 및 박리된 세라믹 그린시트를 나타내는 평면도이다.
한편, 최근에 2 ㎛ 이하의 두께를 갖는 세라믹 그린시트(12)가 500층 이상으로 적층되는 MLCC가 양산되고 있는 실정을 감안한다면, MLCC의 소형화 및 대용량화에 따른 세라믹 그린시트(12)의 박막화 및 다층화가 불가피하게 되었다. 결국, 이러한 세라믹 그린시트(12)의 박막화로 인하여 그린시트(12)의 강도가 저하되고 있다.
상기 박리 헤드(14)의 하면에는 수십 내지 수백 ㎛ 크기의 미세한 진공홀(13)이 형성되어 있어 세라믹 그린시트(12)를 손상없이 진공으로 흡착할 수 있는데, 도 3에 도시한 바와 같이, 박리 헤드(14)의 가장자리 부분(도면부호 'A'참조)에는 상기 진공홀(13)을 가공할 수 없기 때문에, 이 부분(A)에서의 흡착력이 저하되어 상술한 바와 같은 강도가 저하된 세라믹 그린시트(12)의 가장자리 부분이 제대로 박리되지 않거나, 도 4에 도시한 바와 같이, 그 가장자리 부분에 주름 등의 손상이 발생하는 문제점이 있었다. 이에 따라, 생산성 저하 및 제조 비용 증가 등의 문제가 발생하고 있다. 상기 세라믹 그린시트(12)가 박막화되어 갈수록 시트(12)의 강도는 더욱더 저하되어, 상기와 같은 문제점은 더욱 심각해진다.
한편, 상기와 같이 세라믹 그린시트(12)의 박막화에 따른 강도 저하로 박리가 제대로 되지 않는 문제를 해결하기 위하여, 상기 박리 헤드(14)의 가장자리 부분(A)을 수백 ㎛ 수준까지 가능한 작게 가공하는 방법이 사용되고 있지만, 상기 부분(A)을 작게 가공하는 데에는 한계가 있기 때문에 상술한 바와 같은 박리 문제를 해결하기는 어려운 실정이다.
따라서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은, 세라믹 그린시트를 절단하기 위해 박리 헤드의 양측에 장착되는 절단기구가 수직 및 수평방향으로 작동하게 함으로써, 박막의 세라믹 그린시트를 주름 등의 손상 없이 박리하여 MLCC의 생산성을 향상시키고 제조 비용을 감소시킬 수 있는 세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹 그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 세라믹 그린시트 절단용 기구는,
표면에 세라믹 그린시트가 형성된 캐리어 필름으로부터 상기 세라믹 그린시트를 박리하기 위해, 하면에 복수의 진공홀을 구비한 박리 헤드; 및
상기 박리 헤드로부터 수평방향으로 소정간격 이격된 상태에서 상기 세라믹 그린시트를 절단하기 위하여 수직방향으로 이동가능하며, 상기 절단된 세라믹 그린시트를 예비 박리하기 위하여 수평방향으로 이동가능하도록 장착된 절단기구를 포함한다.
여기서, 상기 절단기구의 수직방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부에 형성된 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측에 형성된 안착부와 상기 안착부에 안착된 전자석에 의하여 수행되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부 내에 형성된 절단기구 수평이동용 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 세라믹 그린시트의 적층장치는,
표면에 세라믹 그린시트가 형성된 캐리어 필름을 지지 및 이송하기 위한 박리 테이블;
상기 세라믹 그린시트를 상기 캐리어 필름으로부터 박리하기 위해 상기 박리 테이블의 상부에 승강 및 수평이동가능하도록 설치되며, 상기 세라믹 그린시트를 흡착하기 위한 복수의 진공홀을 하면에 구비한 박리 헤드;
상기 박리 헤드로부터 수평방향으로 소정간격 이격된 상태에서 상기 세라믹 그린시트를 절단하기 위하여 수직방향으로 이동가능하며, 상기 절단된 세라믹 그린시트를 예비 박리하기 위하여 수평방향으로 이동가능하도록 장착된 절단기구; 및
상기 박리 테이블의 일측으로 이격되어 설치되며, 상기 박리 헤드에 의해 박 리된 세라믹 그린시트가 적층 및 압착되도록 승하강하는 압착기;를 포함한다.
여기서, 상기 상기 절단기구의 수직방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부에 형성된 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측에 형성된 안착부와 상기 안착부에 안착된 전자석에 의하여 수행되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부 내에 형성된 절단기구 수평이동용 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 세라믹 그린시트의 박리방법은,
하면에 복수의 진공홀을 구비한 박리 헤드가 하강하여 캐리어 필름의 표면에 형성된 세라믹 그린시트에 접촉 및 상기 세라믹 그린시트를 진공 흡착하는 단계;
상기 박리 헤드로부터 수평방향으로 소정간격 이격된 상태로 장착된 절단기구가 하강하여 상기 세라믹 그린시트를 일정한 크기로 절단하는 단계;
상기 절단기구가 수평방향으로 왕복이동하여 상기 절단된 세라믹 그린시트를 예비 박리하는 단계; 및
상기 박리 헤드가 수평이동하여 상기 예비 박리가 완료된 세라믹 그린시트가 상기 박리 헤드의 하면에 흡착된 상태로 상기 캐리어 필름으로부터 완전히 박리되 는 단계;를 포함한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치를 나타내는 정면도이다.
본 발명의 실시예에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치는, 도 5에 도시한 바와 같이, 표면에 세라믹 그린시트(52)가 형성된 캐리어 필름(51)을 지지 및 이송하기 위한 박리 테이블(50)과, 상기 세라믹 그린시트(52)를 상기 캐리어 필름(51)으로부터 박리하기 위해 상기 박리 테이블(50)의 상부에 승강 및 수평이동가능하도록 설치된 박리 헤드(54)와, 상기 박리 헤드(54)에 의해 박리된 세라믹 그린시트(52a)를 적층 및 압착하기 위해 상기 박리 테이블(50)의 일측으로 이격되어 설치된 압착기(56)를 구비한다.
상기 이송가능하도록 설치된 박리 테이블(50) 상에서 일방향으로 이송되는 캐리어 필름(51)은 상술한 바와 같이 그 표면에 세라믹 그린시트(52)가 형성되어 있는데, 이와 같은 세라믹 그린시트(52)의 표면에는 Ni 등과 같은 도전체로 이루어진 내부 전극(도시안됨)이 인쇄되어 있다.
상기 박리 테이블(50)의 상부에 설치된 상기 박리 헤드(54)는, 캐리어 필름(51)으로부터 세라믹 그린시트(52)를 박리하여 상기 압착기(56) 상으로 이송시키기 위하여 승강 및 수평이동하며, 상기 박리 헤드(54)의 하면에는 상기 세라믹 그린시 트(52)를 흡착하기 위한 복수의 진공홀(53)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 진공홀(53)에는 진공 발생기(도시안됨) 등이 연결되어 흡입력이 발생된다.
그리고, 상기 박리 헤드(54)의 양측에는 상기 진공홀(53)에 의해 그 하면에 흡착된 세라믹 그린시트(52)를 절단하기 위한 절단기구(55)가 장착되어 있다. 상기 절단기구(55)로서 절삭날이 사용될 수 있다. 상기 절단기구(55)는 수직방향은 물론, 수평방향으로도 움직일 수 있도록 상기 박리 헤드(54)로부터 수평방향으로 200 내지 300 ㎛의 간격만큼 이격되어 장착된다. 즉 에어 실린더(60)가 상기 박리 헤드(54)의 양측 상부에 형성되고, 그 샤프트(59) 선단부가 절단기구(55)의 뒤측에 접합되며, 이때 상기 절단기구(55)가 박리 헤드(54)의 양측으로부터 수평방향으로 소정간격 이격되도록 한다.
여기서, 상기 박리 헤드(54)의 양측 모서리부에는 안착부(61)가 형성되고, 상기 안착부(61)에는 전자석(electromagnet)(62)이 안착되어 전자력 발생시에 상기 절단기구(55)기 전자석(62)쪽으로 이동시키도록 구성된다. 즉, 상기 절단기구(55)는 에어 실린더(60)에 의해 수직방향으로 움직일 수 있을 뿐만 아니라, 박리 헤드(54)에 구비된 전자석(62)에 의해 수평방향으로도 움직일 수 있다.
이때 본 발명의 실시예에서 절단기구(55)를 좌우 방향으로도 움직이게 하기 위하여, 상기와 같이 박리 헤드(54)의 양측 모서리부에 안착부(61)를 형성하고, 이 부분에 전자석(62)을 형성하는 것만을 제시하고 있지만, 절단기구(55)를 수직 및 수평방향으로 움직이게 하기 위한 방법은 여기에 한정되지 않고, 에어 실린더 구조를 이중으로 변경하는 등의 방법이 이용될 수도 있다. 예를들어, 상기 박리 헤드 (54)의 양측 상부에 상기와 같은 에어 실린더(60)를 형성하고, 이 에어 실린더(60)의 일측과 연결되는 절단기구 수평이동용 에어 실린더(도시안됨)을 상기 박리 헤드(54)의 양측 상부 내에 형성할 수 있다. 이때, 상기 절단기구 수평이동용 에어 실린더의 샤프트(도시안됨) 선단부가 상기 박리 헤드(54)의 양측 상부에 형성된 상기 에어 실린더(60)의 일측에 접합되는 것이다. 이에 따라, 에어 실린더(60)에 의해 하강한 절단기구(55)가 상기 절단기구 수평이동용 에어 실린더에 의해 수평방향으로도 작동할 수 있게 된다.
그리고, 상기 압착기(56)는 유압 프레스(57)에 의해 승하강 가능한 압착 부재(58)를 구비하고 있으며, 상기 압착 부재(58)는 박리 헤드(54)에 의해 상기 캐리어 필름(51)으로부터 박리되어 이송되는 세라믹 그린시트(52a)가 안착되도록 그 상부가 판상으로 형성되어 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
우선, 박리 테이블(50)의 상부에 설치된 박리 헤드(54)는 캐리어 필름(51) 상으로 하강하여 세라믹 그린시트(52)와 접촉하게 된다. 그리고, 박리 헤드(54)의 하면에 형성된 진공홀(53)을 통해 흡입력이 발생되면 상기 세라믹 그린시트(52)가 박리 헤드(54)의 하면에 흡착하게 된다.
다음으로, 상기 박리 헤드(54)로부터 좌우측 방향으로 소정간격 이격된 상태로 장착된 절단기구(55)가 하강하여 세라믹 그린시트(52)를 일정한 크기로 절단한다.
그 다음에, 전자석(62)에 의한 전자력이 발생 및 소멸되는 과정이 반복됨으로써, 하강한 절단기구(55)가 상기 박리 헤드(54)와 이격된 거리만큼 좌우로 왕복하여 상기 세라믹 그린시트(52)의 가장자리 부분을 캐리어 필름(51)으로부터 예비적으로 박리시키고, 다시 상승하게 된다. 이와 같이 절단기구(55)의 좌우 이동에 의해 가장자리 부분이 예비적으로 박리된 세라믹 그린시트(52)가 상기 박리 헤드(54)의 하면에 흡착된 상태에서 박리 테이블(50)이 수평으로 슬라이딩 이동함으로써, 세라믹 그린시트(52)가 캐리어 필름(51)으로부터 완전히 박리된다.
그리고, 박리된 세라믹 그린시트(52a)를 흡착한 박리 헤드(54)가 상기 압착기(56) 상으로 이송되어 하강하면, 상기 압착기(56)의 압착 부재(58)는 유압 프레스(57)에 의해 상승하며 상기 박리 헤드(54)에 흡착되어 있는 세라믹 그린시트(52a)가 상기 압착 부재(58) 상에 미리 압착된 세라믹 그린시트(52a)에 가압착하게 된다. 이에 따라, 박리된 세라믹 그린시트(52a)가 순차적으로 적층되며 압착될 수 있다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 그린시트의 적층장치를 사용한 세라믹 그린시트의 박리방법을 설명하기 위한 정면도이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 그린시트 절단용 기구에 의해 절단 및 박리된 세라믹 그린시트를 나타내는 평면도로서, 이하 상기 도면을 참조하여 세라믹 그린시트의 적층장치를 사용한 세라믹 그린시트의 박리방법을 구체적으로 설명한다.
먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 박리 헤드(54)가 하강하여 캐리어 필름(51) 표면에 위치하는 세라믹 그린시트(52)에 접촉하게 된다. 그리고, 박리 헤드 (54)의 하면에 형성된 진공홀(53)에 진공 발생기 등에 의한 흡입력이 발생됨으로써, 상기 세라믹 그린시트(52)가 박리 헤드(54)에 흡착된다.
다음으로, 도 6b에 도시한 바와 같이, 박리 헤드(54)로부터 수평방향으로 200 내지 300 ㎛의 간격만큼 이격된 상태로 장착된 절단기구(54)가 에어 실린더(60)에 의해 하강하여 상기 세라믹 그린시트(52)를 일정한 크기로 절단한다.
그 다음에, 도 6c에 도시한 바와 같이, 박리 헤드(54)의 양측 상단에 형성된 안착부(61)에 안착된 전자석(62)에 전자력을 발생 및 소멸시키는 과정을 수회 반복하여, 상기 절단기구(55)가 박리 헤드(54)와 이격된 거리만큼 좌우로 왕복이동하도록 한다. 이와 같이 절단기구(55)가 좌우로 왕복이동함에 따라, 절단된 세라믹 그린시트(52)의 가장자리 부분이 절단기구(55)에 의해 밀려 올라감으로써, 캐리어 필름(51)으로부터 1 내지 수 ㎜ 까지 박리된다.
여기서, 상기 절단기구(55)의 좌우이동에 의한 세라믹 그린시트(52) 가장자리 부분의 박리 현상을 이하에서는 예비 박리라 칭하기로 한다. 즉, 상기 세라믹 그린시트(52)의 가장자리 부분이 예비 박리됨에 따라 박리 헤드(54) 가장자리에 형성된 진공홀(53)에 상기 세라믹 그린시트(52)가 효과적으로 흡착될 수 있다.
그런 다음, 도 6d에 도시한 바와 같이, 세라믹 그린시트(52)의 예비 박리를 완료한 상기 절단기구(55)가 에어 실린더(60)에 의해 다시 상승하여 초기 위치로 복귀되고, 박리 헤드(54) 및 박리 테이블(50)이 수평으로 이동하게 된다. 이때 박리 테이블(50)과 박리 헤드(54)는 서로 반대 방향으로 수평 이동하게 되며, 캐리어 필름(51)은 하방으로 당겨지게 된다.
다음으로, 도 6e에 도시한 바와 같이, 박리 테이블(50)이 완전히 박리 헤드(54)와 반대 방향으로 수평이동이 완료됨에 따라, 세라믹 그린시트(52)의 박리가 완료된다. 이때, 도 6d에서 미설명한 도면부호 52a는 박리된 세라믹 그린시트를 나타낸다. 여기서, 상술한 바와 같이 상기 절단기구(55)의 좌우 왕복동작에 의해 세라믹 그린시트(52)의 가장자리 부분을 예비 박리시키는 것으로 인해, 도 7에 도시한 바와 같이, 1 ㎛ 정도의 박막 세라믹 그린시트(52)까지도 주름 등의 손상없이 완벽하게 박리할 수가 있다.
이상의 본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 특허청구범위에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함되는 것으로 보아야 할 것이다.
앞에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 세라믹 그린시트 절단용 기구와 이 기구를 포함한 세라믹 그린시트의 적층장치 및 세라믹 그린시트의 박리방법에 의하면, 세라믹 그린시트를 절단하기 위해 박리 헤드의 양측에 장착되는 절단기구가 수직방향은 물론 수평방향으로도 작동하게 하여, 절단된 세라믹 그린시트의 가장자리 부분을 예비 박리시킴으로써, 박막의 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 주름 등의 손상 없이 완벽하게 박리할 수 있다.
따라서, 본 발명은 MLCC의 생산성을 향상시킬 수 있고, 제조 비용을 감소시킬 수 있다.

Claims (9)

  1. 표면에 세라믹 그린시트가 형성된 캐리어 필름으로부터 상기 세라믹 그린시트를 박리하기 위해, 하면에 복수의 진공홀을 구비한 박리 헤드; 및
    상기 박리 헤드로부터 수평방향으로 소정간격 이격된 상태에서 상기 세라믹 그린시트를 절단하기 위하여 수직방향으로 이동가능하며, 상기 절단된 세라믹 그린시트를 예비 박리하기 위하여 수평방향으로 이동가능하도록 장착된 절단기구를 포함하는 세라믹 그린시트 절단용 기구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 절단기구의 수직방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부에 형성된 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 절단용 기구.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측에 형성된 안착부와 상기 안착부에 안착된 전자석에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 절단용 기구.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부 내에 형성된 절단기구 수평이동용 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트 절단용 기구.
  5. 표면에 세라믹 그린시트가 형성된 캐리어 필름을 지지 및 이송하기 위한 박리 테이블;
    상기 세라믹 그린시트를 상기 캐리어 필름으로부터 박리하기 위해 상기 박리 테이블의 상부에 승강 및 수평이동가능하도록 설치되며, 상기 세라믹 그린시트를 흡착하기 위한 복수의 진공홀을 하면에 구비한 박리 헤드;
    상기 박리 헤드로부터 수평방향으로 소정간격 이격된 상태에서 상기 세라믹 그린시트를 절단하기 위하여 수직방향으로 이동가능하며, 상기 절단된 세라믹 그린시트를 예비 박리하기 위하여 수평방향으로 이동가능하도록 장착된 절단기구; 및
    상기 박리 테이블의 일측으로 이격되어 설치되며, 상기 박리 헤드에 의해 박리된 세라믹 그린시트가 적층 및 압착되도록 승하강하는 압착기;를 포함하는 세라믹 그린시트의 적층장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 상기 절단기구의 수직방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부 에 형성된 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 적층장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측에 형성된 안착부와 상기 안착부에 안착된 전자석에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 적층장치.
  8. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 절단기구의 수평방향으로의 작동은, 상기 박리 헤드의 양측 상부 내에 형성된 절단기구 수평이동용 에어 실린더에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린시트의 적층장치.
  9. 하면에 복수의 진공홀을 구비한 박리 헤드가 하강하여 캐리어 필름의 표면에 형성된 세라믹 그린시트에 접촉 및 상기 세라믹 그린시트를 진공 흡착하는 단계;
    상기 박리 헤드로부터 수평방향으로 소정간격 이격된 상태로 장착된 절단기구가 하강하여 상기 세라믹 그린시트를 일정한 크기로 절단하는 단계;
    상기 절단기구가 수평방향으로 왕복이동하여 상기 절단된 세라믹 그린시트를 예비 박리하는 단계; 및
    상기 박리 헤드가 수평이동하여 상기 예비 박리가 완료된 세라믹 그린시트가 상기 박리 헤드의 하면에 흡착된 상태로 상기 캐리어 필름으로부터 완전히 박리되는 단계;를 포함하는 세라믹 그린시트의 박리방법.
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