KR950003890A - 액정 표시장치 및 그의 제조방법 - Google Patents
액정 표시장치 및 그의 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR950003890A KR950003890A KR1019940019023A KR19940019023A KR950003890A KR 950003890 A KR950003890 A KR 950003890A KR 1019940019023 A KR1019940019023 A KR 1019940019023A KR 19940019023 A KR19940019023 A KR 19940019023A KR 950003890 A KR950003890 A KR 950003890A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- liquid crystal
- alignment
- crystal layer
- regions
- region
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
- G02F1/133788—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/133753—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers with different alignment orientations or pretilt angles on a same surface, e.g. for grey scale or improved viewing angle
- G02F1/133757—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers with different alignment orientations or pretilt angles on a same surface, e.g. for grey scale or improved viewing angle with different alignment orientations
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/133753—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers with different alignment orientations or pretilt angles on a same surface, e.g. for grey scale or improved viewing angle
- G02F1/133761—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers with different alignment orientations or pretilt angles on a same surface, e.g. for grey scale or improved viewing angle with different pretilt angles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
본 발명에 의한 액정표시장치는 한쌍의 기판 및 액정층과 각각의 기판사이의 경계에 배향막이 형성되도록 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함한다. 상기 배향막은 상기 액정층에 있어서의 액정 배향상태를 규제한다. 상기 액정층에 있어서, 액정층은 상이한 배향상태의 2이상의 액정영역들을 포함하며, 상기 배향막들중 적어도 하나는 상이한 배향상태의 각 액정영역들에 대응하는 그의 표면영역에서 서로 다른 표면장력들을 갖는다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1A도는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 액정표시장치를 보인 개략 단면도, 제1B도는 제1A도에 보인 LCD의 러빙방향과 기준배향방향간의 관계를 보인 도면, 제 2 도는 제 1 실시예에 의한 LCD의 시야 방향에 따른 전압-투과율 곡선도, 제 3 도는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 LCD의 평면도, 제 4 도는 제 3 도에 보인 LCD의 단면도, 제 5 도는 제 4 실시예에 의한 다른 LCD의 평면도, 제 6 도는 본 발명의 제 5 실시예에 의한 LCD의 평면도.
Claims (47)
- 한쌍의 기판 및 액정층과 각각의 기판사이의 경계에 배향막이 형성되도록 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함하고, 상기 배향막은 상기 액정층에 있어서의 액정의 배향상태를 규제하는 액정표시장치로서, 상기 액정층은 상이한 배향상태의 둘 이상의 액정영역들을 포함하며, 상기 배향막들중 적어도 하나는 상이한 배향상태의 각 액정영역들에 대응하는 그의 표면영역에서 서로 다른 표면장력들을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 배향막들중 적어도 하나의 상이한 표면장력들을 갖는 각각의 표면영역들은 매트릭스상태로 배열된 화소들중 대응하는 하나에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서, 큰 표면장력을 갖는 표면영역에 있어서의 액정의 프리틸트각은 작게 설정되고, 작은 표면장력을 갖는 표면영역에 있어서의 액정의 프리틸트각은 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 큰 표면장력을 갖는 표면영역과 작은 표면장력을 갖는 표면영역들은 양 배향막상에 교대로 배열되며, 상기 배향막중 한 배향막상의 큰 표면장력을 갖는 표면영역은 다른 배향막상의작은 장력을 갖는 표면영역과 면하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 한쌍의 기판 및 액정층과 각각의 기판사이의 경계에 배향막이 형성되도록 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함하고, 상기 배향막은 상기 액정층에 있어서의 액정의 배향상태를 규제하는 액정표시장치로서, 상기 액정층은 상이한 배향상태의 둘 이상의 액정영역들을 포함하며, 상기 배향막들중 적어도 하나는 상이한 배향상태의 각 액정영역들에 대응하는 그의 표면영역에서 서로 다른 산소원자 농도를 갖는 것을 특징으로하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 배향막들중 적어도 하나의 상이한 산소원자 농도를 갖는 각각의 표면영역들은 매트릭스상태로 배열된 화소들중 대응하는 하나에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 높은 산소원자 농도를 갖는 표면영역에 있어서의 액정의프리틸트각은 작게 설정되고, 낮은 산소원자 농도를 갖는 표면영역에 있어서의 액정의 프리틸트각은 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 높은 산소원자 농도를 갖는 표면영역과 낮은 산소원자 농도를 갖는 표면영역들은 양 배향막상에 교대로 배열되며, 상기 배향막중 한 배향막상의 높은 산소원자 농도를 갖는 표면영역은 다른 배향막상의 낮은 산소원자 농도를 갖는 표면영역과 면하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 한쌍의 기판 및 액정층과 각각의 기판사이의 경계에 배향막이 형성되도록 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함하고, 상기 배향막은 상기 액정층에 있어서의 액정의 배향상태를 규제하는 액정표시장치로서, 상기 액정층은 상이한 배향상태의 둘 이상의 액정영역들을 포함하며, 상기 배향막들중 적어도 하나는 상이한 배향상태의 각 액정영역들에 대응하는 그의 표면영역에서 서로 다른 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 배향막들중 적어도 하나의 상이한 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 각각의 표면영역들은 매트릭스상태로 배열된 화소들중 대응하는 하나에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 9 항에 있어서, 높은 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 표면영역에 있어서의 액정의 프리틸트각은 작게 설정되고, 낮은 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 표면영역에 있어서의 액정의 프리틸트각은 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제11항에 있어서, 상기 높은 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 표면영역과 낮은 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 표면영역들은 양 배향막상에 교대로 배열되며, 상기 배향막중 한 배향막상의 높은 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 표면영역은 다른 배향막상의 낮은 카르보닐 라디칼 농도를 갖는 표면영역과 면하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 각 배향막은 주성분으로 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리스티렌, 폴리아미드이미드, 에폭시아크릴레이트, 스피란아크릴레이트, 및 폴리우레탄중 적어도 하나를 함유하는 유기 고분자재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 각 배향막은 주성분으로 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리스티렌, 폴리아미드이미드, 에폭시아크릴레이트, 스피란아크릴레이트, 및 폴리우레탄중 적어도 하나를 함유하는 유기 고분자재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 각 배향막은 주성분으로 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리스티렌, 폴리아미드이미드, 에폭시아크릴레이트, 스피란아크릴레이트, 및 폴리우레탄중 적어도 하나를 함유하는 유기 고분자재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 한쌍의 기판 및 액정층과 각각의 기판사이의 경계에 배향막이 형성되도록 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함하고, 상기 배향막은 상기 액정층에 있어서의 액정의 배향상태를 규제하며, 상기 액정층은 상이한 배향상태의 2이상의 액정영역들을 포함하는 액정표시장치를 제조하기 위한 방법으로서, 상기 방법은 상이한 배향상태의 각 액정영역들에 대응하는 배향막들중 적어도 하나의 표면영역에 있어서 서로 다른 표면장력, 산소원자 농도, 또는 카르보닐 라디칼 농도를 갖도록, 상기 배향막들중 적어도 하나에 선택적으로 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제16항에 있어서, 상기 광은 자외선 범위의 파장을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제16항에 있어서, 상기 표면영역은 광으로 조사되는 제 1 영역 및 광으로 조사되지 않는 제 2 영역을 포함하고, 상기 제 1 표면영역과 제 2 표면영역은 양 배향막상에 교대로 배열되며, 상기 배향막들중 한 배향막상의 제 1 표면영역은 상기 배향막들중 다른 배향막상의 제 2 표면영역과 면하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층영역들은 밴드형 모양으로 각 화소에 형성되며, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역간의 경계는 둘 이상의 화소에 걸쳐 연속적으로 연장되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층영역들은 밴드형 모양으로 각 화소에 형성되며, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역간의 경계는 둘 이상의 화소에 걸쳐 연속적으로 연장되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층영역들은 밴드형 모양으로 각 화소에 형성되며, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역간의 경계는 둘 이상의 화소에 걸쳐 연속적으로 연장되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층영역들은 밴드형 모양으로 각 화소에 형성되며, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역간의 경계는 상기 한쌍의 기판중 하나와 접하는 액정분자들의 배향방향과 평행한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층 영역들은 밴드형 모양으로 각 화소에 형성되며, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역간의 경계는 상기 한쌍의 기판중 하나와 접하는 액정분자들의 배향방향과 평행한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층 영역들은 밴드형 모양으로 각 화소에 형성되며, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역간의 경계는 상기 한쌍의 기판중 하나와 접하는 액정분자들의 배향방향과 평행한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제22항에 있어서, 상기 각각의 화소들의 부근에 배열된 신호선 및 이 신호선들에 화소들을 접속시키기 위한 비선형소자들을 더 포함하며, 상이한 배향상태를 갖는 액정층영역에 있어서의 배향상태 또는 상기 비선형소자들의 위치는 상기 경계가 비선형소자로 부터 가장 멀리 떨어져 위치되도록 결정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제23항에 있어서, 상기 각각의 화소들의 부근에 배열된 신호선 및 이 신호선들에 화소들을 접속시키기 위한 비선형소자들을 더 포함하며, 상이한 배향상태를 갖는 액정층영역에 있어서의 배향상태 또는 상기 비선형소자들의 위치는 상기 경계가 비선형소자로 부터 가장 멀리 떨어져 위치되도록 결정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제24항에 있어서, 상기 각각의 화소들의 부근에 배열된 신호선 및 이 신호선들에 화소들을 접속시키기 위한 비선형소자들을 더 포함하며, 상이한 배향상태를 갖는 액정층영역에 있어서의 배향상태 또는 상기 비선형소자들의 위치는 상기 경계가 비선형소자로 부터 가장 멀리 떨어져 위치되도록 결정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층영역들은 각 화소에 형성되며, 인접한 액정층영역들간의 경계는 차광막으로 커버되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 2이상의 액정층영역들은 각 화소에 형성되며, 인접한 액정층영역들간의 경계는 차광막으로 커버되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 상이한 배향상태를 갖는 둘 이상의 액정층영역들은 각 화소에 형성되며, 인접한 액정층영역들간의 경계는 차광막으로 커버되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 1 항에 있어서, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역들간의 경계는 차광막으로 커버되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역들간의 경계는 차광막으로 커버되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 9 항에 있어서, 한 액정층영역과 그에 인접한 액정층영역들간의 경계는 차광막으로 커버되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 5 항에 있어서, 각각의 화소에 연결되는 비선형소자들 및 이 비선형소자들을 구성하는 불투명층과 동일한 재료로 형성되는 차광막을 더 포함하는 것을 특징으로하는 액정표시장치.
- 한쌍의 기판과 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함하는 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 방법은, 상기 한쌍의 기판의 액정층에 있어서 액정의 배향상태를 규제하기 위한 배향막들을 각각 형성하는 공정 ; 및 산소와 오존중 적어도 하나를 포함하는 가스가 상기 배향막들중 적어도 하나와 접촉하는 동안 광으로 상기 배향막들중 적어도 하나를 선택적으로 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제35항에 있어서, 상기 가스는 25용적% 이상의 농도를 갖는 산소를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제35항에 있어서, 상기 가스는 1×10-4용적% 이상의 농도를 갖는 오존을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제35항에 있어서, 광으로 상기 배향막들중 적어도 하나를 선택적으로 조사하는 단계는 상기 배향막들중 적어도 한 배향막상에 광으로 조사되는 제 1 영역 및 광으로 조사되지 않는 제 1 영역을 형성하는 단계, 및 다른 배향막상에 상기 제1 및 제 2 영역들을 형성시키는 단계를 포함하며, 상기 제1 및 제 2 영역들은 상기 양 배향막들상에 교대로 배열되고, 상기 배향막들중 하나의제 1 영역들은 배향막들중 다른 배향막상의 제 2 영역과 면하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 한쌍의 기판과 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함하는 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 방법은, 상기 한쌍의 기판의 액정층에 있어서 액정의 배향상태를 규제하기 위한 배향막들을 각각 형성하는 공정 ; 및 불활성 가스를 포함하는 분위기에서 광으로 상기 배향막들중 적어도 하나를 선택적으로 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제39항에 있어서, 상기 분위기는 85%~100%의용적비인 불활성가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제39항에 있어서, 상기 광은 자외선 또는 자외선 레이저광인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제39항에 있어서, 상기 불활성가스는 질소, 헬륨, 네온 및 아르곤에서 선택되는 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제39항에 있어서, 광으로 상기 배향막들중 적어도 하나를 선택적으로 조사하는 단계는 상기 배향막들중 적어도 한 배향막상에 광으로 조사되는 제 1 영역 및 광으로 조사되지 않는 제 1 영역을 형성하는 단계, 및 다른 배향막상에 상기 제1 및 제 2 영역들을 형성시키는 단계를 포함하며, 상기 제1 및 제 2 영역들 상기 양 배향막들상에 교대로 배열되고, 상기 배향막들중 하나의 제 1 영역들은 배향막들중 다른것의 제 2 영역과 면하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 한쌍의 기판과 상기 한쌍의 기판사이에 협지된 액정층을 포함하는 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 방법은, 상기 한쌍의 기판의 액정층에 있어서 액정의 배향상태를 규제하기 위한 배향막들을 각각 형성하는 공정 ; 및 감압 또는 진공상태의 분위기에서 광으로 상기 배향막들중 적어도 하나를 선택적으로 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제44항에 있어서, 상기 감압 분위기는 0.5atm~0atm범위에 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제44항에 있어서, 상기 광은 자외선, 가시광선, 적외선 또는 이들 광선과 동일한 파장범위의 레이저광인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제44항에 있어서, 광으로 상기 배향막들중 적어도 하나를 선택적으로 조사하는 단계는 상기 배향막들중 적어도 한 배향막상에 광으로 조사되는 제 1 영역 및 광으로 조사되지 않는 제 1 영역을 형성하는 단계, 및 다른 배향막상에 상기 제1 및 제 2 영역들을 형성시키는 단계를 포함하며, 상기 제1 및 제 2 영역들은 상기 양 배향막들상에 교대로 배열되고, 상기 배향막들중 하나의 제 1 영역들은 배향막들중 다른것의 제 2 영역과 면하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19049993A JP2983417B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 液晶表示装置 |
JP93-190499 | 1993-07-30 | ||
JP93-216697 | 1993-08-31 | ||
JP93-216698 | 1993-08-31 | ||
JP21669893A JP3021246B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP21669993A JP2959742B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP21669793A JP2965829B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 液晶表示装置 |
JP93-216699 | 1993-08-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR950003890A true KR950003890A (ko) | 1995-02-17 |
KR100216156B1 KR100216156B1 (ko) | 1999-08-16 |
Family
ID=27475485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940019023A KR100216156B1 (ko) | 1993-07-30 | 1994-07-30 | 액정표시장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5666178A (ko) |
EP (1) | EP0636919B1 (ko) |
KR (1) | KR100216156B1 (ko) |
CN (1) | CN1087434C (ko) |
DE (1) | DE69430781T2 (ko) |
TW (1) | TW259845B (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100412080B1 (ko) * | 1996-07-08 | 2004-05-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 액정표시소자의배향막형성용조성물 |
KR100767372B1 (ko) * | 2001-09-08 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | 반투과형 액정 표시 장치 |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5781262A (en) | 1994-04-19 | 1998-07-14 | Nec Corporation | Liquid crystal display cell |
KR100188314B1 (ko) * | 1994-08-26 | 1999-06-01 | 세끼사와 다다시 | 저전압구동용 액정 재료 및 이 액정재료를 사용한 액정표시판 |
US5818560A (en) * | 1994-11-29 | 1998-10-06 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Liquid crystal display and method of preparing the same |
JP3115509B2 (ja) * | 1995-06-22 | 2000-12-11 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
KR100379873B1 (ko) * | 1995-07-11 | 2003-08-21 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 막질개량방법 |
KR100208970B1 (ko) * | 1995-12-29 | 1999-07-15 | 구자홍 | 액정셀 및 그의 제조방법 |
KR970062767A (ko) * | 1996-02-28 | 1997-09-12 | 김광호 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
JP3399760B2 (ja) * | 1996-04-19 | 2003-04-21 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
JP3649818B2 (ja) * | 1996-09-19 | 2005-05-18 | 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 | 液晶表示装置 |
US6067140A (en) * | 1997-03-03 | 2000-05-23 | Lg Electronics Inc. | Liquid crystal display device and method of manufacturing same |
JP3399773B2 (ja) * | 1997-03-05 | 2003-04-21 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
JP3827806B2 (ja) * | 1997-04-30 | 2006-09-27 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネル |
KR100205260B1 (ko) | 1997-05-28 | 1999-07-01 | 구자홍 | 광배향을 이용한 액정셀의 제조방법 |
US6525794B1 (en) | 1998-10-19 | 2003-02-25 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Multi-domain liquid crystal display device having a dielectric frame controlling alignment of the liquid crystal molecules |
KR100313949B1 (ko) | 1998-11-11 | 2002-09-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 멀티도메인액정표시소자 |
EP1223604A1 (en) * | 1999-10-12 | 2002-07-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Liquid crystal display element, optically anisotropic film, and methods for manufacturing them |
JP3405972B2 (ja) | 2000-01-11 | 2003-05-12 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置 |
JP4172737B2 (ja) * | 2000-02-03 | 2008-10-29 | インフォビジョン オプトエレクトロニクス ホールデングズ リミティッド | 液晶素子及び該液晶素子の製造方法及び製造装置 |
US7893435B2 (en) * | 2000-04-18 | 2011-02-22 | E Ink Corporation | Flexible electronic circuits and displays including a backplane comprising a patterned metal foil having a plurality of apertures extending therethrough |
AU2001253575A1 (en) * | 2000-04-18 | 2001-10-30 | E-Ink Corporation | Process for fabricating thin film transistors |
US6660341B2 (en) * | 2001-06-07 | 2003-12-09 | International Business Machines Corporation | Tilted vertical alignment of liquid crystals employing inorganic thin film composition and ion beam treatment |
WO2003069400A1 (fr) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Couche d'alignement, procede de production de couche d'alignement, substrat comportant une couche d'alignement et affichage a cristaux liquides |
TW200305505A (en) * | 2002-02-19 | 2003-11-01 | Nitto Denko Corp | Stacked phase shift sheet, stacked polarizing plate including the same and image display |
JP2004212608A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
KR20050041697A (ko) * | 2003-10-31 | 2005-05-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시패널의 러빙장치 |
JP4993973B2 (ja) * | 2006-09-08 | 2012-08-08 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | 液晶表示装置 |
CN104238193B (zh) | 2008-09-17 | 2018-05-11 | 三星显示有限公司 | 定向材料、定向层、液晶显示装置及其制造方法 |
US20110261295A1 (en) * | 2008-09-17 | 2011-10-27 | Kim Jae-Hoon | Liquid crystal display and manufacturing method of the same |
US8107195B2 (en) * | 2009-05-01 | 2012-01-31 | ALPHANA Technology, Co., Ltd. | Fluid dynamic bearing unit and disk drive device including the same |
TW201141693A (en) * | 2010-03-25 | 2011-12-01 | Johnson & Johnson Vision Care | Ophthalmic lens mold treatment |
KR102014880B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2019-08-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 이의 제조방법 |
JP6347917B2 (ja) * | 2013-05-27 | 2018-06-27 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置およびその製造方法 |
US10330981B2 (en) * | 2014-11-11 | 2019-06-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device |
CN105481889B (zh) * | 2015-11-17 | 2018-08-14 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 反应型垂直取向有机硅材料及液晶显示面板的制作方法 |
CN116560142A (zh) * | 2023-03-13 | 2023-08-08 | 成都瑞波科材料科技有限公司 | 一种液晶配向膜、配向膜制备方法以及液晶显示面板 |
Family Cites Families (76)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3854793A (en) * | 1972-06-27 | 1974-12-17 | Bell Telephone Labor Inc | Liquid crystal cells |
JPS49123641A (ko) * | 1973-03-30 | 1974-11-26 | ||
US3967883A (en) * | 1975-05-22 | 1976-07-06 | Rca Corporation | Liquid crystal devices of the surface aligned type |
CH622358A5 (ko) * | 1977-09-06 | 1981-03-31 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
DE2824798A1 (de) * | 1978-06-06 | 1979-12-13 | Siemens Ag | Fluessigkristallzelle |
JPS56146119A (en) * | 1980-04-16 | 1981-11-13 | Hitachi Ltd | Liquid crystal display element |
JPS58139124A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-18 | Toshiba Corp | 液晶表示素子 |
JPS6095423A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-28 | Citizen Watch Co Ltd | 液晶表示装置 |
JPS60136716A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-20 | Nippon Seiki Co Ltd | 液晶表示装置 |
JPS60147722A (ja) * | 1984-01-12 | 1985-08-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子 |
JPS60211425A (ja) * | 1984-04-05 | 1985-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置 |
JPS60211424A (ja) * | 1984-04-05 | 1985-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶配向膜の形成方法 |
JPS60217341A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-30 | Citizen Watch Co Ltd | 液晶パネル |
JPS61141420A (ja) * | 1984-12-14 | 1986-06-28 | Toshiba Corp | 液晶表示素子の製造方法 |
JPS61249021A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | Citizen Watch Co Ltd | 液晶表示装置 |
JPS62212A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-06 | 井関農機株式会社 | 脱穀選別装置 |
JPS62144133A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
US4878742A (en) * | 1986-08-04 | 1989-11-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal optical modulator |
JP2692693B2 (ja) * | 1986-10-22 | 1997-12-17 | 富士通株式会社 | 液晶表示パネル |
JPS6479725A (en) * | 1987-09-21 | 1989-03-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of liquid crystal display device |
US4930876A (en) * | 1987-10-30 | 1990-06-05 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid crystal display device |
JPH01120531A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-12 | Alps Electric Co Ltd | 液晶素子およびその製造方法 |
JPH01120533A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-12 | Alps Electric Co Ltd | 液晶素子とその製造方法 |
US4840460A (en) * | 1987-11-13 | 1989-06-20 | Honeywell Inc. | Apparatus and method for providing a gray scale capability in a liquid crystal display unit |
JPH01169428A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-04 | Alps Electric Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法 |
JP2873822B2 (ja) * | 1988-02-10 | 1999-03-24 | コニカ株式会社 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH01210932A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-24 | Nec Corp | 液晶表示装置の配向処理方法 |
US5231039A (en) * | 1988-02-25 | 1993-07-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of fabricating a liquid crystal display device |
JPH01245223A (ja) * | 1988-03-26 | 1989-09-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 液晶パネル |
JP2696108B2 (ja) * | 1988-06-01 | 1998-01-14 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 液晶素子及びその製造方法 |
JPH0240627A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液晶表示素子 |
JPH0255330A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶用配向膜の製法 |
JPH0274924A (ja) * | 1988-09-12 | 1990-03-14 | Sanyo Chem Ind Ltd | 液晶の加工法 |
DE3843767A1 (de) * | 1988-12-24 | 1990-07-05 | Nokia Unterhaltungselektronik | Fluessigkristalldisplay fuer schwarz/weiss-darstellung |
JP2749624B2 (ja) * | 1989-04-07 | 1998-05-13 | シチズン時計株式会社 | アクティブマトリクス液晶表示素子の液晶分子配向処理方法 |
JP2695671B2 (ja) * | 1990-02-05 | 1998-01-14 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
DE3933422A1 (de) * | 1989-10-06 | 1991-04-11 | Nokia Unterhaltungselektronik | Verfahren zum herstellen einer fluessigkristallzelle |
US5172255A (en) * | 1989-10-06 | 1992-12-15 | Nokia Unterhaltungselektronik (Deutschland) Gmbh | Process for increasing pretilt angles in nematic liquid crystal cells |
JPH03134622A (ja) * | 1989-10-20 | 1991-06-07 | Seiko Epson Corp | 液晶電気光学素子 |
US5073294A (en) * | 1990-03-07 | 1991-12-17 | Hercules Incorporated | Process of preparing compositions having multiple oriented mesogens |
JPH0412314A (ja) * | 1990-04-28 | 1992-01-16 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示素子 |
JP2801102B2 (ja) * | 1991-02-01 | 1998-09-21 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置 |
JP2775527B2 (ja) * | 1991-02-01 | 1998-07-16 | キヤノン株式会社 | カイラルスメクチック液晶素子 |
JPH04258924A (ja) * | 1991-02-13 | 1992-09-14 | Canon Inc | カイラルスメクチック液晶素子およびその製造方法 |
JPH055886A (ja) * | 1991-06-27 | 1993-01-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造法 |
SG50586A1 (en) * | 1991-07-26 | 2000-05-23 | Rolic Ag | Liquid crystal display cell |
JPH05107544A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Nec Corp | 液晶表示素子とその製造方法 |
JPH05165061A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Sony Corp | 液晶表示装置 |
JP3159757B2 (ja) * | 1991-12-20 | 2001-04-23 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置 |
DE69221102T2 (de) * | 1991-12-20 | 1998-01-08 | Fujitsu Ltd | Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit verschiedenen aufgeteilten Orientierungsbereichen |
JP2828128B2 (ja) * | 1992-07-24 | 1998-11-25 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置 |
JPH05173135A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-13 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置 |
JP2748951B2 (ja) * | 1992-07-15 | 1998-05-13 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置 |
JP3077096B2 (ja) * | 1991-12-20 | 2000-08-14 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置 |
JP2619579B2 (ja) * | 1991-12-20 | 1997-06-11 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置 |
JP2877601B2 (ja) * | 1992-01-10 | 1999-03-31 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示装置とその製造法 |
JPH05203951A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-13 | Nec Corp | 液晶表示素子 |
JP2903833B2 (ja) * | 1992-02-18 | 1999-06-14 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置 |
DE69318865T2 (de) * | 1992-03-03 | 1998-12-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka | Verdrillt-nematische Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit aktiver Matrix |
JPH05297378A (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-12 | Hoechst Japan Ltd | 液晶表示素子 |
JPH05303099A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルおよび液晶表示装置 |
US5309264A (en) * | 1992-04-30 | 1994-05-03 | International Business Machines Corporation | Liquid crystal displays having multi-domain cells |
JPH0618887A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶電気光学装置 |
US5453862A (en) * | 1992-09-04 | 1995-09-26 | Stanley Electric Co., Ltd. | Rubbing-free (chiral) nematic liquid crystal display |
JP3131508B2 (ja) * | 1992-09-14 | 2001-02-05 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置 |
JP2565061B2 (ja) * | 1992-10-05 | 1996-12-18 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置 |
JPH06130396A (ja) * | 1992-10-22 | 1994-05-13 | Toshiba Corp | 液晶表示素子 |
JP3127626B2 (ja) * | 1992-11-06 | 2001-01-29 | 富士通株式会社 | 液晶表示パネル |
JP3130686B2 (ja) * | 1992-11-13 | 2001-01-31 | 株式会社東芝 | 液晶表示素子 |
EP0613037B1 (en) * | 1993-01-29 | 2001-05-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | A liquid crystal display apparatus,a method for producing the same,and a substrate |
JP3163887B2 (ja) * | 1993-04-23 | 2001-05-08 | 松下電器産業株式会社 | 投写型表示装置 |
JPH06308497A (ja) * | 1993-04-23 | 1994-11-04 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置 |
JP3086992B2 (ja) * | 1993-05-10 | 2000-09-11 | キヤノン株式会社 | 強誘電性液晶素子 |
JPH06324342A (ja) * | 1993-05-14 | 1994-11-25 | Toshiba Corp | 液晶表示素子およびその製造方法 |
JPH075467A (ja) * | 1993-06-14 | 1995-01-10 | Fujitsu Ltd | 液晶表示パネル |
EP0635748B1 (en) * | 1993-07-23 | 2001-12-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display apparatus and method for producing the same |
-
1993
- 1993-09-18 TW TW082107672A patent/TW259845B/zh not_active IP Right Cessation
-
1994
- 1994-07-22 US US08/278,950 patent/US5666178A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-28 DE DE69430781T patent/DE69430781T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-07-28 EP EP94305611A patent/EP0636919B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-30 KR KR1019940019023A patent/KR100216156B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-07-30 CN CN94108757A patent/CN1087434C/zh not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-11-10 US US08/963,637 patent/US6013335A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100412080B1 (ko) * | 1996-07-08 | 2004-05-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 액정표시소자의배향막형성용조성물 |
KR100767372B1 (ko) * | 2001-09-08 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | 반투과형 액정 표시 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5666178A (en) | 1997-09-09 |
DE69430781D1 (de) | 2002-07-18 |
CN1087434C (zh) | 2002-07-10 |
EP0636919A1 (en) | 1995-02-01 |
CN1117141A (zh) | 1996-02-21 |
TW259845B (ko) | 1995-10-11 |
EP0636919B1 (en) | 2002-06-12 |
KR100216156B1 (ko) | 1999-08-16 |
DE69430781T2 (de) | 2002-12-05 |
US6013335A (en) | 2000-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR950003890A (ko) | 액정 표시장치 및 그의 제조방법 | |
US6091471A (en) | Liquid crystal cell and a method for fabricating that | |
KR100285609B1 (ko) | 액정표시장치, 그의 제조방법 및 제조장치 | |
KR100825343B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
KR100742146B1 (ko) | 액정 표시 장치, 액정 표시 장치의 제조방법 및 휴대 전화기 | |
KR940018686A (ko) | 액정 표시 장치와 그 장치의 제조 방법 및 기판 | |
KR970022461A (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
KR950003889A (ko) | 액정 표시장치 및 그의 제조방법 | |
KR970062768A (ko) | 홈오트로픽 액정표시소자의 제조방법 및 액정표시소자 | |
KR950025473A (ko) | 다수의 도메인을 가진 액정 디스플레이 | |
KR950033620A (ko) | 액정표시소자 및 그의 제조방법 | |
CA2157914A1 (en) | Method of fabricating multi-domain, liquid crystal displays | |
CN201867584U (zh) | 掩膜版 | |
KR19990045029A (ko) | 액정표시장치와 편광조사방법 및 그 장치 | |
KR870008208A (ko) | 다른 정렬층을 가진 디스플레이장치 | |
CN108957887B (zh) | 显示面板和显示装置 | |
US5648829A (en) | Method for fabricating a liquid crystal display including irradiating an alignment film with UV light | |
KR20110101906A (ko) | 액정 표시 장치 | |
US20090225266A1 (en) | Multi-domain vertical alignment thin film transistor liquid crystal display | |
US20020054253A1 (en) | Liquid crystal display device having light leakage prevention | |
US6829022B2 (en) | Chuck for exposure apparatus | |
CN115145078A (zh) | 取向膜材料及液晶显示装置 | |
US20120285608A1 (en) | Method for producing liquid crystal panel | |
JP2008004588A (ja) | 非線形素子の製造方法、非線形素子および電気光学装置 | |
KR100743878B1 (ko) | 전기 광학 장치 및 그 제조방법, 그리고 전자 기기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
AMND | Amendment | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120507 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |