KR20080028290A - 도포막의 건조 방법 및 건조 장치 - Google Patents

도포막의 건조 방법 및 건조 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20080028290A
KR20080028290A KR1020070095803A KR20070095803A KR20080028290A KR 20080028290 A KR20080028290 A KR 20080028290A KR 1020070095803 A KR1020070095803 A KR 1020070095803A KR 20070095803 A KR20070095803 A KR 20070095803A KR 20080028290 A KR20080028290 A KR 20080028290A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coating
drying
temperature
coating film
film
Prior art date
Application number
KR1020070095803A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101486324B1 (ko
Inventor
노부오 하마모토
Original Assignee
후지필름 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 후지필름 가부시키가이샤 filed Critical 후지필름 가부시키가이샤
Publication of KR20080028290A publication Critical patent/KR20080028290A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101486324B1 publication Critical patent/KR101486324B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
    • B05D3/0254—After-treatment
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
    • G03F7/70866—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature of mask or workpiece
    • G03F7/70875—Temperature, e.g. temperature control of masks or workpieces via control of stage temperature
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B13/00—Machines and apparatus for drying fabrics, fibres, yarns, or other materials in long lengths, with progressive movement
    • F26B13/10—Arrangements for feeding, heating or supporting materials; Controlling movement, tension or position of materials
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/06—Controlling, e.g. regulating, parameters of gas supply
    • F26B21/12—Velocity of flow; Quantity of flow, e.g. by varying fan speed, by modifying cross flow area
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67248—Temperature monitoring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/04—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to gases
    • B05D3/0406—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to gases the gas being air
    • B05D3/0413—Heating with air

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Atmospheric Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 도포 직후의 도포막면의 건조에 있어서, 지지체의 온도를 도포막면의 온도보다 낮게 설정함으로써, 도포막의 초기 건조에 있어서 지지체의 영향을 배제해서 도포막을 균일하게 건조시킬 수 있는 건조 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 주행하는 긴 형상 지지체(12)에 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포해서 형성한 도포막의 건조 방법에 있어서, 도포전의 상기 긴 형상 지지체(12)의 온도(Tb)를 상기 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 하고, 또한, 도포후의 도포막 근방의 풍속을 0.5m/s이하로 한 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 방법이다.
Figure P1020070095803
건조 방법, 건조 장치

Description

도포막의 건조 방법 및 건조 장치{METHOD FOR DRYING APPLIED FILM AND DRYING APPARATUS}
본 발명은 도포막의 건조 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히, 광학 보상 시트 등의 제조에 있어서, 긴 형상 지지체에 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포해서 형성한 길고 광폭인 도포막면을 건조시키는 건조 방법 및 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치에 있어서 시야각 특성을 개선하기 위해서, 한쌍의 편광판과 액정셀 사이에 위상차판으로서 광학 보상 시트를 설치하고 있다. 긴 형상의 광학 보상 시트의 제조법은 특허문헌1에 개시되어 있고, 긴 형상의 투명 필름의 표면에 배향막 형성용 수지를 함유하는 도포액을 도포하고 나서 러빙(rubbing) 처리를 행하여 배향막을 형성하고, 그 배향막 상에 액정성 디스코틱(discotic) 화합물을 함유하는 도포액을 도포하고, 도포한 도포막을 건조시키는 방법이 개시되어 있다.
특허문헌1에 개시되어 있는 액정성 디스코틱 화합물을 함유하는 도포액의 건조 방법은 상기 배향막 상에 액정성 디스코틱 화합물을 함유하는 도포액을 도포하고 나서 정규의 건조 장치로 건조시킬 때까지 실내 공기 조절 조건하에서 초기 건조를 행해서 주로 도포액 중의 유기 용제를 증발시키도록 하고 있다.
이 방법으로 제조된 광학 보상 시트에는 도포막 한면 상에 건조 과정에 있어서, 도 4에 나타내는 바와 같은 브로드한 편차(A)(가는 선으로 나타냄)와 샤프한 편차(B)(굵은 선으로 나타냄)의 2종류의 편차(A, B)가 발생하고, 경우에 따라 제품의 득율을 떨어뜨린다는 문제가 있다.
이러한 2종류의 편차(A, B)에 대해서 해석을 행한 결과, 브로드한 편차(A)는 도 5에 나타내는 바와 같이 액정성 디스코틱 화합물을 함유하는 도포액막(2)의 층의 두께가 얇아져 있는 것을 알 수 있었다. 도 5의 부호 3은 긴 형상 지지체, 4는 배향막층이다. 한편, 샤프한 편차(B)가 발생하고 있는 배향부(5)(농색부)의 배향 방향(6)은 도 6에 나타내는 바와 같이, 다른 정상인 배향 방향(7)의 배향부(8)와 비교해서 어긋나 있는 것을 알 수 있었다.
이러한 초기 건조에서 발생하는 편차(A, B)에 대해서, 유효한 대책으로서 일반적으로 행해지고 있는 방법으로서는, 도포액을 고농도화하거나, 증점제를 첨가함으로써 도포액의 점도를 증가시키고, 이것에 의해, 도포 직후의 도포막면의 건조풍에 의한 유동을 억제함으로써 편차의 발생을 방지하는 방법이 있다. 다른 방법으로서는, 고비점 용매를 사용함으로써, 도포 직후의 도포막면의 건조풍에 의한 유동이 발생해도 레벨링 효과가 발생함으로써 편차의 발생을 방지하는 방법이 있다.
그러나, 도포액의 농도를 고농도화하거나, 증점제를 첨가함으로써 도포액의 점도를 증가시키는 방법은 고속 도포에 의해 초박층인 도포막을 형성하는 초박층 정밀 도포를 행할 수 없다는 결점이 있다. 또한, 도포액 점도가 증가할수록 한계 도포 속도(안정 도포할 수 있는 도포 속도의 한계)가 저하되므로, 점도의 증가와 함께 고속 도포가 불가능해지므로, 생산 효율이 극단적으로 악화된다는 결점이 있다.
한편, 고비점 용매를 사용하는 방법은 건조 시간의 증대, 및 도포막 중에 잔류하는 잔류 용제량의 증대를 초래하고, 그 만큼 건조 시간이 걸리므로 생산 효율이 악화된다는 결점이 있다.
이들 결점을 해소하는 방법으로서, 특허문헌2에는 도포 직후에 건조존을 형성하고, 상기 주행하는 긴 형상 지지체의 건조되는 도포막면을 둘러쌈과 아울러, 상기 건조존에 상기 긴 형상 지지체 폭방향의 한쪽 단측으로부터 다른쪽 단측으로 흐르는 한방향 흐름의 건조풍을 발생시킴으로써, 도포액의 점도 등의 물성이나 용매의 종류를 변경하지 않고 도포막을 균일하게 건조시킬 수 있는 건조 방법 및 장치를 제공하는 것이 제안되고 있다.
[특허문헌1] 일본 특허 공개 평9-73081호 공보
[특허문헌2] 일본 특허 공개 2001-170547호 공보
그러나, 특허문헌2에 개시된 방법에서는 바람 공급의 다른쪽 단의 회수측에서는 건조가 늦으므로, 건조 장치 내에서 건조를 완결시키기 위해서는, 건조풍의 풍속이나 온도를 크게 해서, 바람의 회수측에서의 건조를 빨리하지 않으면 안되지만, 이렇게 하면, 바람의 공급측에서의 건조가 빨라져, 도포막에 편차를 발생시킬 우려가 있었다.
특히, 도포막의 두께가 지지체의 두께에 비해서 충분히 얇은 경우에는, 도포 직후의 도포막이 지지체의 온도의 영향을 받기 쉬워져, 바람의 공급측에서 천천히 건조를 행할 수 없어, 도포막의 균일한 건조가 곤란해진다는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 사정을 감안해서 이루어진 것으로, 도포막의 초기 건조에 있어서, 도포막을 균일하게 건조시킬 수 있는 건조 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
청구항1의 발명은 주행하는 긴 형상 지지체에 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포해서 형성한 도포막의 건조 방법에 있어서, 도포전의 상기 긴 형상 지지체의 온도(Tb)를 상기 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 하고, 또한, 도포후의 도포막 근방의 풍속을 0.5m/s이하로 한 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 방법을 제공한다.
본 발명자는 주행하는 긴 형상 지지체에 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포해서 형성한 도포막을 건조시킴에 있어서, 도포막 중의 도포액의 건조 속도가 빨라지면 도포막에 건조 편차가 발생하는 것에 착안하여, 도포전의 지지체의 온도를 도포막의 온도보다 2℃이상 낮게 함과 아울러, 도포후의 도포막 근방의 풍속을 0.5m/s이하로 함으로써, 도포막의 건조시에 있어서의 건조 속도를 느리게 해서 건조 편차의 발현을 억제할 수 있다는 지견을 얻었다.
청구항1에 기재된 발명에 의하면, 도포되기 전의 긴 형상 지지체의 온도(Tb)가 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 설정되고, 또한, 도포후의 도포막 근방의 풍속이 0.5m/s이하로 설정되므로, 도포막을 느리게 건조시킬 수 있어, 도포막에 있어서의 건조 편차의 발생을 억제할 수 있다.
청구항1에 기재된 발명에 의하면, 도포후의 도포막 근방의 풍속이 0.5m/s이하이므로 도포막에 닿는 바람은 미풍이며, 강도나 방향이 불균일한 바람이 유기 용제를 많이 함유하고 도포액이 유동되기 쉬운 상태의 도포막면에 닿지 않도록 할 수 있다. 따라서, 도포막을 건조 편차 없이 균일하게 건조시킬 수 있다.
청구항2의 발명은 청구항1에 있어서, 상기 도포전의 긴 형상 지지체를 표면을 온도 제어한 롤로 지지함으로써 상기 온도(Tb)를 상기 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 하는 것을 특징으로 한다.
청구항2에 기재된 발명에 의하면, 지지체를 도포기(20)에 반송하기 전에 지지체를 도포막의 온도보다 낮은 온도의 롤과 접촉시켜, 지지체의 온도를 도포막의 온도보다 낮은 온도로 할 수 있으므로, 도포막을 느리게 건조시킬 수 있어, 도포막에 있어서의 건조 편차의 발생을 억제할 수 있다.
청구항3의 발명은 청구항1 또는 2 중 어느 하나에 있어서, 상기 도포 직후에 건조존을 형성해서 상기 주행하는 긴 형상 지지체의 건조되는 도포막면을 둘러쌈과 아울러, 상기 건조존에 상기 긴 형상 지지체 폭방향의 한쪽 단측으로부터 다른쪽 단측으로 흐르는 한방향 흐름의 건조풍을 상기 도포막 근방에서 0.5m/s이하로 되도록 발생시킨 것을 특징으로 한다.
청구항3에 기재된 발명에 의하면, 도포후, 바람직하게는 도포 직후에 건조존을 형성함으로써 건조존 바깥으로부터의 강도나 방향이 불균일한 바람이 유기 용제를 많이 함유하고 도포액이 유동되기 쉬운 상태의 도포막면에 닿지 않도록 할 수 있음과 아울러, 도포막면으로부터 증발한 유기 용제가 도포막면을 덮는 환경이 형성된다. 이 건조 환경하에서 긴 형상 지지체 폭방향의 한쪽 단으로부터 다른쪽 단으로 흐르는 한방향 흐름의 규칙적인 건조풍을 발생시키면, 도포막면 근방의 유기 용제 농도를 항상 일정하게 유지한 상태로 도포막의 건조를 행할 수 있으므로, 건조시에 있어서의 상기 2종류의 편차의 발생을 방지할 수 있어, 균일한 건조를 행할 수 있다.
청구항4의 발명은 청구항3에 있어서, 상기 긴 형상 지지체의 폭방향의 온도 분포를 상기 건조풍의 급기측에서 낮게 하는 것을 특징으로 한다.
청구항4에 기재된 발명에 의하면, 건조존에 있어서, 지지체의 폭방향의 한쪽 단측으로부터 다른쪽 단측으로 건조풍이 흘러 급기측의 온도가 상승해도, 미리 지지체의 폭방향의 온도 분포를 건조풍의 급기측에서 낮게 하고 있다는 점에서, 지지체의 온도가 상승해서 도포막에 열을 공급하는 상태로 되는 일은 없다.
청구항5의 발명은 청구항1~4중 어느 하나에 있어서, 상기 긴 형상 지지체는 미리 도포된 배향막 형성용 수지를 러빙 처리해서 배향막이 되는 층을 갖는 것임과 아울러, 상기 도포액은 액정성 디스코틱 화합물을 함유하는 것을 특징으로 한다.
청구항6의 발명은 주행하는 긴 형상 지지체에 도포기에 의해 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포해서 형성한 도포막의 건조 장치에 있어서, 상기 긴 형상 지지체의 온도(Tb)를 상기 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 하도록 표면의 온도가 제어된 롤과, 상기 도포기의 바로 뒤에 설치되고, 상기 주행하는 긴 형상 지지체의 건조되는 도포막면을 둘러싸는 건조존을 형성하는 건조 장치 본체와, 상기 건조존 내에 상기 긴 형상 지지체 폭방향의 한쪽 단측으로부터 다른쪽 단측으로 흐르는 한방향 흐름을 갖는 것과 아울러, 도포후의 도포막 근방에 있어서의 풍속이 0.5m/s이하인 건조풍을 발생시키는 한방향 기류 발생 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 장치를 제공한다.
본 발명의 도포막의 건조 방법 및 장치에 의하면, 도포 직후의 초기 건조 과정에서 발생하는 건조 편차를 억제할 수 있어, 균일한 건조를 행할 수 있다.
또한, 도포액의 점도 등의 물성이나 용매의 종류를 변경할 필요가 없으므로, 사용할 수 있는 도포액의 종류의 폭이나 용제의 종류의 폭을 넓힐 수 있다.
이하, 첨부 도면에 의해 본 발명의 도포막의 건조 방법 및 장치의 바람직한 실시형태에 대해서 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 도포막의 건조 장치의 측면도이며, 또한, 도 2는 도 1을 상방에서 본 평면도이다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 본 발명의 도포막의 건조 장치(10)는 주 로, 주행하는 긴 형상 지지체(12)(이하, 「웹(12)」이라고 함)를 통과시켜 도포막의 건조가 행해지는 건조존(14)을 형성하는 건조 장치 본체(16)와, 건조존(14) 내에 웹(12)의 폭방향의 한쪽 단측으로부터 다른쪽 단측으로 흐르는 한방향 흐름의 건조풍을 발생시키는 한방향 기류 발생 수단(18)으로 구성된다. 이 건조 장치(10)는 주행하는 웹(12)에 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포하는 도포기(20)의 바로 뒤에 설치된다.
도포기(20)로서는, 예를 들면 와이어바(20A)를 구비한 바 도포 장치를 사용할 수 있고, 복수의 백업롤(22, 24, 26)에 지지되어 주행하는 웹(12)의 하면에 도포액이 도포되어 도포막이 형성된다. 여기에서, 웹(12)에 형성되는 도포막의 두께는 7㎛이하인 것이 바람직하다. 그 이유로서는, 7㎛를 초과하면, 건조 장치 본체(16) 내에서 도포막의 건조를 끝낼 수 없어지기 때문이다. 또한, 보다 바람직하게는 5㎛이하이다.
백업롤(22)은 그 표면 온도를 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 예를 들면, 백업롤(22)의 내부는 물 등의 액상 매체를 순환시킴으로써, 표면 온도를 제어할 수 있게 되어 있다. 그리고, 이 백업롤(22)의 표면 온도를 제어함으로써, 도포기(20)에 진입할 때의 웹(12)의 온도(Tb)를 제어할 수 있게 되어 있다. 또한, 도포전의 웹(12)의 온도(Tb)의 제어를 백업롤(22) 또는 그것보다 상류측에 설치된 롤로 행해도 좋다. 이 경우, 각 롤의 온도는 재킷롤(jacket roll)의 액체에 의해 그 표면 온도를 제어해도 좋고, 각 롤에 온도 제어된 바람을 분사함으로써 그 표면 온도를 제어해도 좋다. 여기에서, 도포기(20)에 진입할 때의 웹(12)의 온도(Tb)는 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮아지도록 제어되어 있다. 즉 도포액의 온도(Tc)와 웹(12)의 온도(Tb)의 차{△T(=Tc-Tb)}가 2℃이상으로 되도록 제어되어 있다. 보다 바람직하게는, △T가 2℃이상 20℃이하로 되도록 제어한다. 여기에서, 웹(12)의 온도가 폭방향으로 편차가 있는 경우에는, 최대의 온도차를 △T로 하는 것이 바람직하다. 또한, 백업롤(24)의 표면 온도도 마찬가지로 온도 제어할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 백업롤(22)의 표면 온도는 웹(12)의 폭방향으로 온도 구배를 형성할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 웹(12)의 폭방향에 대해서 후술의 한방향 기류 발생 수단(18)의 흡기구측에서 배기구측을 향해서 온도가 높아지도록 온도 구배를 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 웹(12)의 온도는 상술한 바와 같이 온도 제어된 백업롤(22, 24)에 의해 행해도 좋지만, 웹(12)이 통과하는 실온을 원하는 값으로 제어함으로써 그 표면 온도를 제어하도록 해도 좋다. 이 결과, 건조 장치의 구성을 단순한 것으로 할 수 있다.
건조 장치 본체(16)는 도포기(20)의 바로 뒤에 설치되고, 주행하는 웹(12)의 도포막면측(웹의 하면측)을 따른 긴 사각의 상자체 형상으로 형성되고, 상자체의 각 변 중 도포막면측의 변(상자체의 상변)이 절제되어 있다. 이것에 의해, 주행하는 웹(12)의 건조되는 도포막면을 둘러싸는 건조존(14)이 형성된다. 건조존(14)은 건조 장치 본체(16)를 웹(12)의 주행 방향에 직교한 복수의 구획판(28, 28…)으로 구획함으로써, 복수의 분할존(14A, 14B, 14C, 14D, 14E, 14F, 14G)(본 실시예에서 는 7개의 분할존)으로 분할된다. 이 경우, 건조존(14)을 분할하는 구획판(28)의 상단과, 웹(12)에 형성된 도포막면의 거리는 0.5㎜이상 12㎜이하의 범위가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 1㎜이상 10㎜이하의 범위이다. 또한, 건조존(14)에는 한방향 기류 발생 수단(18)(도 2 참조)이 설치된다.
한방향 기류 발생 수단(18)은 주로, 건조 장치 본체(16)의 양 측변의 한쪽측에 형성된 흡입구(18A, 18B, 18C, 18D, 18E, 18F, 18G)와, 다른쪽측에 흡입구(18A~18G)에 대향해서 형성된 배기구(18H, 18I, 18J, 18K, 18L, 18M, 18N)와, 배기구(18H~18N)에 접속된 배기 수단(18P, 18Q, 18R, 18S, 18T, 18U, 18W)으로 구성된다. 이것에 의해, 배기 수단(18P~18W)을 구동시킴으로써, 흡입구(18A~18G)로부터 분할존(14A~14G)에 흡입된 에어가 배기구(18H~18N)로부터 배기되므로, 각 분할존(14A~14G)에는 웹(12)의 폭방향의 한쪽 단측(흡입구측)에서 다른쪽 단측(배기구측)을 향해 한방향으로 흐르는 건조풍이 발생한다. 이 한방향 기류 발생 수단(18)은 배기 수단(18P~18W)에 의해, 분할존(14A~14G)마다 각각 배기량을 제어할 수 있게 되어 있다. 흡입구(18A~18G)로부터 흡입되는 건조풍으로서는, 온도·습도가 공기 조절된 공기 조절풍이 바람직하다. 또한, 웹(12) 상에 형성된 도포막에 대해서 미풍 건조를 행하는 관점에서, 웹(12)의 폭방향의 한쪽 단측(흡입구측)에서 다른쪽 단측(배기구측)을 향해 한방향으로 흐르는 건조풍의 풍속이 0.5m/s이하로 되도록 배기 수단(18P~18W)의 구동 출력을 제어한다. 그 이유로서는, 건조풍의 풍속이 0.5m/s를 초과하면, 도포막면 근방에 있어서의 유기 용매 농도를 균등하게 할 수 없어지므로, 도포막면의 각 부분으로부터 유기 용제를 균등하게 증발시킬 수 없어 지기 때문이다.
또한, 건조풍으로서는 건조 장치(10)가 설치된 예를 들면 공기 조절실 등의 공기 조절풍을 사용할 수 있지만, 도포액에 함유되는 유기 용제와 같은 용제를 함유하는 바람을 건조 장치 본체(16)의 흡입구(18A~18G)로부터 흡입시키도록 해도 좋다. 혹은, 배기 수단(18P~18W)에 의해 배기되는 건조풍의 일부를 흡입구(18A~18G)로부터 흡입시켜도 좋다.
또한, 건조 장치 본체(16)의 폭은 웹(12)의 폭보다 커지도록 형성해서, 건조존(14)의 양측의 개방 부분을 정풍판(32)으로 덮은 정풍 부분을 형성하도록 했다. 이 정풍 부분은 흡입구(18A~18G)로부터 도포막단까지의 거리와, 도포막단으로부터 배기구(18H~18N)까지의 거리를 확보함과 아울러, 건조풍이 흡입구(18A~18G)로부터만 건조존(14) 내에 흡입되기 쉽게 하는 것이며, 건조존(14)에 급격한 건조풍의 흐름을 만들지 않도록 한 것이다. 이 정풍 부분, 즉 정풍판(32)의 길이로서는 흡입구측 및 배기구측 모두, 50㎜이상 150㎜이하의 범위가 바람직하다.
각 분할존(14A~14G) 중, 특히 도포기에 가장 가까운 분할존(14A)은 웹(12)에 도포액이 도포된 직후에 건조존(14) 밖의 신선한 공기, 예를 들면 상기한 공기 조절풍이 건조존(14)에 들어가기 어렵게 하는 것이 중요하다. 이를 위해서는, 도포기(20)에 인접하도록 분할존(14A)을 배치하는 것이나 상기한 정풍판(32) 외에, 도포기(20)의 와이어바(20A)의 위치와, 백업롤(24)의 위치를 조정해서, 웹(12)이 분할존(14A)의 부근을 주행하도록 해서, 웹(12)으로 분할존(14A)의 개방부를 마치 덮도록 구성하는 것이 바람직하다.
또한, 웹(12)을 사이에 두고, 건조 장치 본체(16)의 반대측 위치에는 상기 공기 조절풍 등의 바람에 의해, 웹(12)의 안정 주행이 저해되지 않도록 차폐판(34)이 설치된다.
다음에, 상기한 바와 같이 구성된 건조 장치(10)의 작용을 설명한다.
또한, 웹(12)은 미리 도포된 배향막 형성용 수지를 러빙 처리해서 배향막이 되는 층을 갖는 것임과 아울러, 도포액은 액정성 디스코틱 화합물을 함유하는 유기 용제성 도포액의 예로 설명한다.
백업롤(22, 24, 26)에 지지되어 주행하는 웹(12)에 도포기(20)의 와이어바(20A)로 도포액을 도포한 직후, 건조 장치(10)에 의해 도포막면의 초기 건조가 행해진다. 이 초기 건조는 도포 직후, 늦어도 5초 이내의 도포 직후에 건조풍에 의한 건조를 개시하는 것이 바람직하다.
이 초기 건조에 있어서, 도포 직후의 도포막면은 유기 용제가 충분히 함유된 상태이고, 특히 유기 용제를 용매로 하는 도포액을 도포한 직후의 초기 건조에서는 유기 용제의 증발의 분포(흔들림)에 의해 도포막면에 온도 분포가 발생한다. 이것이 원인으로 표면 장력의 분포가 발생하고, 도포막면 내에서 도포액의 유동이 일어나, 건조가 느린 부분의 도포막이 얇아지고, 브로드한 편차(A)로 된다.
또한, 액정성 디스코틱 화합물의 배향 방향은 배향막 형성용 수지의 표면을 러빙 처리해서 결정하고 있지만, 초기 건조에 있어서 러빙 방향과 다른 풍향의 풍속이 빠른 경우, 바람이 합류하는 경우, 바람의 소용돌이가 발생하고 있는 경우 등의 바람이 도포막면에 닿음으로써 도포막면의 일부에 배향 방향의 어긋남을 발생시 키고, 이것이 샤프한 편차(B)의 원인이 된다.
이것으로부터, 초기 건조시에 있어서의 도포막면의 편차(A, B)를 방지하기 위해서는, 도포하고 나서 도포막면에 있어서의 도포막액의 유동이 정지할 때까지의 초기 건조 동안, 외부로부터의 불균일한 바람이 도포막면에 닿는 것을 저지함과 아울러, 도포막면 근방의 유기 용제 농도를 항상 일정하게 유지하는 것이 중요해진다.
이것은 초기 건조가 약간 일찍 일어나는 급기측에서 보다 중요하다. 그래서, 본 발명에서는, 웹(12)에 도포액을 도포한 직후, 초기 건조를 너무 급건조로 하지 않도록 도포전의 지지체 온도를 제어한다.
여기에서, 본 실시형태에 있어서, 도포전의 웹(12)의 온도를 제어하는 의미에 대해서 상세하게 설명한다.
도포액이 지지체에 도포된 후에 증발에 의해 건조될 때, 도포막은 증발 잠열을 빼앗기므로, 도포막의 온도는 저하된다. 그러나, 웹(12)의 두께가 도포막의 두께에 비해서 충분히 두꺼운 경우에는 웹(12)으로부터 도포막에 대해서 열이 공급된다. 따라서, 웹(12)의 온도가 높을수록, 도포액의 증발이 급속하게 행해져 급격하게 건조되게 되어, 도포막에 건조 편차가 발생해 버리게 된다. 특히, 본 실시형태에서는 유기 용제의 박층 도포로 건조풍의 불규칙에 기인하는 편차를 방지하기 위해서, 건조풍의 풍속을 0.5m/s이하로 억제하고 있기 때문에, 웹(12)의 열의 영향이 크다.
그래서, 본 실시형태에서는, 웹(12)에 도포액을 도포한 직후, 초기 건조가 급속하게 행해지지 않도록 도포전의 웹(12)의 온도를 제어하고 있다. 즉, 도포전의 웹(12)의 온도를 미리 도포막의 온도보다 2℃이상 낮게 하고 있다. 이것에 의해, 도포액의 증발이 느리게 행해지므로 급격한 건조를 방지할 수 있다.
이상 설명한 본 실시형태에 의하면, 도포막의 두께(5㎛)가 웹(12)의 두께에 비해서 얇을 경우에 있어서도, 도포전의 웹(12)의 온도(Tb)가 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 설정되고, 또한, 도포후의 도포막 근방의 풍속이 0.5m/s이하로 설정되어 있으므로, 도포막으로부터의 도포액의 증발이 느리게 행해져, 건조후의 도포막에 건조 편차가 발생하는 일이 없어, 균일한 도포막을 얻을 수 있다.
본 발명에서 사용되는 웹(12)으로서는, 일반적으로 폭 0.3m이상 5m이하, 길이 45m이상 10000m이하, 두께 5㎛이상 200㎛이하의 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌-2,6나프탈레이트, 셀룰로오스다이아세테이트, 셀룰로오스트리아세테이트, 셀룰로오스아세테이트프로피오네이트, 폴리염화비닐, 폴리염화비닐리덴, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아미드 등의 플라스틱 필름, 종이, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 에틸렌부텐 공중합체 등의 탄소수가 2~10인 α-폴리올레핀류를 도포 또는 라미네이트한 종이, 알루미늄, 동, 주석 등의 금속박 등, 혹은 띠형상 기재의 표면에 예비적인 가공층을 형성시킨 것이 함유된다. 또한, 상기한 웹(12)에는 광학 보상 시트 도포액, 자성 도포액, 사진 감광성 도포액, 표면 보호, 대전 방지 혹은 활성용 도포액 등이 그 표면에 도포되어, 건조된 후, 원하는 길이 및 폭으로 재단되는 것도 함유되고, 이들의 대표예로서는, 광학 보상 시트, 각종 사진 필름, 인화지, 자기 테이프 등을 들 수 있다.
도포액의 도포 방법으로서, 상기한 바 코팅법 외, 커튼 코팅법, 익스트루전 코팅법, 롤 코팅법, 딥 코팅법, 스핀 코팅법, 인쇄 코팅법, 스프레이 코팅법 및 슬라이드 코팅법을 사용할 수 있다. 특히 바 코팅법, 익스트루전 코팅법, 슬라이드 코팅법을 바람직하게 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서 동시에 도포되는 도포액의 도포층의 수는 단층에 한정되는 것은 아니고, 필요에 따라서 동시 다층 도포 방법에도 적용할 수 있다.
(실시예)
도 3은 광학 보상 시트의 제조 공정에 본 발명의 건조 장치(10)를 도입한 것이며, 건조 장치(10)의 배기 수단(18P~18W)의 배기량을 조정한 경우의 효과를 제조된 광학 보상 시트의 편차의 발생 상황과의 관계에서 조사했다.
건조 장치(10)의 배기 수단(18P~18W)의 배기량에 대해서는 각 실시예 및 각비교예에 있어서 분할존(14A~14G)을 흐르는 건조풍의 풍속을 표 1에 나타냈다.
우선, 광학 보상 시트의 제조 공정에 대해서 설명하면 도 3과 같이 송출기(40)로 송출된 웹(12)은 복수의 가이드롤(42, 42…)에 의해 지지되면서 러빙 처리 장치(44), 도포기(20) 그리고, 초기 건조를 행하는 본 발명의 건조 장치(10), 본 건조를 행하는 건조존(46), 가열존(48), 자외선 램프(50)을 통과해서 권취기(52)로 풀린다.
웹(12)으로서는, 두께 100㎛의 트리아세틸셀룰로오스[후지타크, 후지샤신필름(주)제]를 사용했다. 그리고, 웹(12)의 표면에 장쇄 알킬 변성 포발[MP-203, 크라레(주)제]의 2중량 퍼센트 용액을 필름 1㎡당 25ml 도포한 후, 60℃에서 1분간 건조시켜 제조된 배향막용 수지층을 형성한 웹(12)을 18m/분으로 반송 주행시키면서, 수지층 표면에 러빙 처리를 행하여 배향막을 형성했다. 러빙 처리에 있어서의 러빙롤(54)의 밀착 압력은 배향막 수지층의 1㎠당 98Pa(10kgf/㎠)로 함과 아울러, 회전 주속을 5.0m/초로 했다.
그리고, 배향막용 수지층을 러빙 처리해서 얻어진 배향막 상에 도포액으로서는, 디스코틱 화합물TE-8의 (3)과 TE-8의 (5)의 중량비로 4:1의 혼합물에 광중합 개시제[이르가큐어907, 니혼치바가이기(주)제]를 상기 혼합물에 대해서 1중량 퍼센트 첨가한 혼합물의 40중량% 메틸에틸케톤 용액으로 하는 액정성 화합물을 함유하는 도포액을 사용했다. 웹(12)을 주행 속도 18m/분으로 주행시키면서, 이 도포액을 배향막 상에 도포액량이 웹 1㎡당 5ml로 되도록 와이어바(20A)로 도포했다.
웹(12) 상에 형성한 도포막의 두께는 표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예1 및 비교예1~3에 있어서는 5㎛이며, 실시예2~4에 있어서는 7㎛였다.
또한, 도포전의 웹(12)의 온도(Tb)와 도포액의 온도(Tc)는 표 1에 나타내는 바와 같은 값으로 설정하고, 각각의 경우에 있어서, 도포액의 온도(Tc)와 도포전의 웹(12)의 온도(Tb)의 온도의 차[△T(=Tc-Tb)]를 계산해서 그 결과를 표 1에 정리했다. 또한, 실시예4에 있어서는, 웹(12)의 폭방향의 온도 분포가 건조풍의 급기측이 23℃이며 중앙 및 배기측이 25℃로 되도록 온도 구배를 형성했으므로, △T값은 건조풍의 급기측에서 4.5℃, 중앙 및 배기측에서 2.5℃로 되었다.
그리고, 도포 직후에 본 발명의 건조 장치(10)에 있어서, 표 1에 나타내는 온도의 건조풍에 의해 초기 건조를 행했다.
또한, 건조존(14)을 7분할하는 구획판(28)의 상단과 도포막면의 간격은 5~9㎜의 범위로 설정해서 행했다. 또한, 본 발명의 건조 장치(10)로 초기 건조된 웹(12)은 100℃로 조정된 건조존(46) 및, 130℃로 조정된 가열존(48)을 통과시켜 네마틱상을 형성한 후, 이 배향막 및 액정성 화합물이 도포된 웹(12)을 연속 반송하면서, 액정층의 표면에 자외선 램프(50)에 의해 자외선을 조사했다.
또한, 표 1의 편차의 발생 상황에 있어서, ×는 편차가 발생한 것을 나타내고, ○는 편차가 발생하지 않은 것을 나타낸다.
Figure 112007068288148-PAT00001
표 1에 나타내는 바와 같이, 실시예1~3에 있어서는, 막두께가 5㎛나 7㎛라는 얇은 도포막을 웹(12) 상에 형성하는 경우에 있어서도, 웹(12)의 온도(Tb)가 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮으므로, 도포막에 브로드한 편차(A)나 샤프한 편차(B)가 나타나지 않아, 도포막을 균일하게 건조시킬 수 있는 것을 알 수 있다.
또한, 실시예4가 나타내는 바와 같이, 웹(12)의 폭방향의 온도 분포에 재킷롤을 이용해서 온도 구배를 형성한 경우에는, 도포막에 브로드한 편차(A)나 샤프한 편차(B)가 나타나지 않아, 도포막을 균일하게 건조시킬 수 있는 것을 알 수 있다.
한편, 비교예1~3이 나타내는 바와 같이, 웹(12)의 온도(Tb)와 도포액의 온도(Tc)의 온도차가 2℃미만인 경우에는, 도포막에 브로드한 편차(A)나 샤프한 편차(B)가 나타나, 도포막을 균일하게 건조시킬 수 없는 것을 알 수 있다.
이와 같이, 도포 직후에 건조 장치(10)를 설치해서 풍속 0.5m/s이하의 미풍건조를 행함과 아울러, 도포액의 온도(Tc)와 도포전의 웹(Tb)의 온도차(△T)가 2℃이상으로 되면, 건조후의 도포막에 브로드한 편차(A) 및 샤프한 편차(B)가 발현되지 않는다는 점에서, 초기 건조 과정에서 발생하는 편차를 억제하기 위해서 효과적인 것을 알 수 있었다.
도 1은 본 발명의 건조 장치의 측면도
도 2는 본 발명의 건조 장치의 평면도
도 3은 광학 보상 시트의 제조 공정에 본 발명의 건조 장치를 도입한 공정도
도 4는 종래의 건조 방식에서 발생한 편차 발생 상황도
도 5는 브로드한 편차를 설명하는 설명도
도 6은 샤프한 편차를 설명하는 설명도
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
10 … 건조 장치, 12 … 웹
14 … 건조존 14A~14G … 분할존
16 … 건조 장치 본체 18 … 한방향 기류 발생 수단
18A~18G … 흡입구 18H~18N … 배기구
18P~18W … 배기 수단 20 … 도포기
22, 24, 26 … 백업롤 28 … 구획판
32 … 정풍판 A … 브로드한 편차
B … 샤프한 편차

Claims (6)

  1. 주행하는 긴 형상 지지체에 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포해서 형성한 도포막의 건조 방법에 있어서: 도포전의 상기 긴 형상 지지체의 온도(Tb)를 상기 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 하고, 또한, 도포후의 도포막 근방의 풍속을 0.5m/s이하로 한 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 도포전의 긴 형상 지지체를 표면을 온도 제어한 롤로 지지함으로써 상기 온도(Tb)를 상기 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 하는 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 도포 직후에 건조존을 형성해서 상기 주행하는 긴 형상 지지체의 건조되는 도포막면을 둘러쌈과 아울러, 상기 건조존에 상기 긴 형상 지지체 폭방향의 한쪽 단측으로부터 다른쪽 단측으로 흐르는 한방향 흐름의 건조풍을 상기 도포막 근방에서 0.5m/s이하로 되도록 발생시킨 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 긴 형상 지지체의 폭방향의 온도 분포를 상기 건조풍의 급기측에서 낮게 하는 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 긴 형상 지지체는 미리 도포된 배향막 형성용 수지를 러빙 처리해서 배향막이 되는 층을 갖는 것임과 아울러, 상기 도포액은 액정성 디스코틱 화합물을 함유하는 것임을 특징으로 하는 도포막의 건조 방법.
  6. 주행하는 긴 형상 지지체에 도포기에 의해 유기 용제를 함유하는 도포액을 도포해서 형성한 도포막의 건조 장치에 있어서:
    상기 긴 형상 지지체의 온도(Tb)를 상기 도포액의 온도(Tc)보다 2℃이상 낮게 하도록 표면의 온도가 제어된 롤과,
    상기 도포기의 바로 뒤에 설치되고, 상기 주행하는 긴 형상 지지체의 건조되는 도포막면을 둘러싸는 건조존을 형성하는 건조 장치 본체와,
    상기 건조존 내에 상기 긴 형상 지지체 폭방향의 한쪽 단측으로부터 다른쪽 단측으로 흐르는 한방향 흐름을 갖는 것과 아울러, 도포후의 도포막 근방에 있어서의 풍속이 0.5m/s이하인 건조풍을 발생시키는 한방향 기류 발생 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 도포막의 건조 장치.
KR20070095803A 2006-09-26 2007-09-20 도포막의 건조 방법 및 건조 장치 KR101486324B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2006-00261389 2006-09-26
JP2006261389A JP4901395B2 (ja) 2006-09-26 2006-09-26 塗布膜の乾燥方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080028290A true KR20080028290A (ko) 2008-03-31
KR101486324B1 KR101486324B1 (ko) 2015-01-26

Family

ID=39225312

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20070095803A KR101486324B1 (ko) 2006-09-26 2007-09-20 도포막의 건조 방법 및 건조 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8109010B2 (ko)
JP (1) JP4901395B2 (ko)
KR (1) KR101486324B1 (ko)
CN (2) CN101153934B (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7722930B2 (en) * 2007-01-10 2010-05-25 Fujifilm Corporation Method and apparatus for drying coated film
CA2690763A1 (en) * 2010-01-21 2011-07-21 B3Cg Interconnect Inc. Shielding device for wires located in light-emitting apparatuses
CN102200372B (zh) * 2010-03-26 2013-05-01 中国农业机械化科学研究院 一种微波真空冷冻干燥设备
JP2012172960A (ja) * 2011-02-24 2012-09-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 乾燥装置および熱処理システム
JP2014527148A (ja) * 2011-08-01 2014-10-09 エフエムペー テヒノロギー ゲーエムベーハー フルイート メジャーメンツ アンド プロジェクツ 基材に形成した流動性フィルムを乾燥させる方法および装置
CN102513277A (zh) * 2011-11-25 2012-06-27 深圳市浩能科技有限公司 防止基体卷曲的涂布机烘道
US20130320605A1 (en) * 2012-05-31 2013-12-05 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co, Ltd. Device for Manufacturing Alignment Film
JP6115311B2 (ja) * 2013-05-24 2017-04-19 住友金属鉱山株式会社 表面処理方法およびそれを用いた金属化樹脂フィルムの製造方法
DE202015106039U1 (de) * 2015-11-10 2017-02-13 Autefa Solutions Germany Gmbh Behandlungseinrichtung
JP6665555B2 (ja) * 2016-01-28 2020-03-13 富士ゼロックス株式会社 乾燥装置
JP2018041535A (ja) * 2016-09-05 2018-03-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 乾燥方法および乾燥装置ならびに電極製造方法および電極製造装置
CN112044698B (zh) * 2020-09-29 2022-03-25 浙江荣晟环保纸业股份有限公司 用于瓦楞纸板的涂胶系统
CN114100962A (zh) * 2021-10-29 2022-03-01 南京秉昱科技有限公司 基于物联网的柔性排线成膜机构及成膜方法

Family Cites Families (130)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1724645A (en) * 1924-05-29 1929-08-13 Benjamin B Salvaty Method and means for treating sheet material
US2413735A (en) * 1942-04-02 1947-01-07 Houdry Process Corp Apparatus for preparation of contact masses
US2648089A (en) * 1950-06-17 1953-08-11 Gen Precision Lab Inc Air squeegee
US2714257A (en) * 1950-08-26 1955-08-02 Reading Walter Jesse Egg drying machine
US2924273A (en) * 1956-02-13 1960-02-09 Chain Belt Co Dehydrating apparatus
US2928329A (en) * 1956-11-09 1960-03-15 David R Limbach Photographic developing machine
US3078589A (en) * 1956-12-03 1963-02-26 Xerox Corp Xerographic fusing apparatus
US3147090A (en) * 1957-09-17 1964-09-01 Eastman Kodak Co Dryer for a film processing machine
US2932864A (en) * 1958-06-17 1960-04-19 Mellen Method of making and drying shell-type refractory molds
US3059345A (en) * 1958-07-07 1962-10-23 Kaufman Hiram Joseph Film drying cabinet
US3071869A (en) * 1958-10-16 1963-01-08 Time Inc Web drying apparatus
US3203111A (en) * 1959-06-04 1965-08-31 Gen Foods Corp Apparatus for producing dehydratable baby foods
US3065098A (en) * 1960-03-21 1962-11-20 Eastman Kodak Co Method for coating webs
NL261714A (ko) * 1960-06-14
US3213858A (en) * 1960-07-29 1965-10-26 American Mach & Foundry Drum drying process
US3330136A (en) * 1966-03-07 1967-07-11 Robert R Candor Laundry machine with suction means for washing and drying
US3216638A (en) * 1962-10-23 1965-11-09 Nat Distillers Chem Corp Air cushion method and apparatus for supporting moving film sheets
US3237314A (en) * 1963-03-04 1966-03-01 Hupp Corp Process of drying one or more materials impregnated in or on a traveling carrier
US3286369A (en) * 1963-03-04 1966-11-22 Hupp Corp Drying apparatus
US3358302A (en) * 1965-09-20 1967-12-19 Whirlpool Co Laundry machine and method
US3289315A (en) * 1965-10-29 1966-12-06 Hupp Corp Drying rolls utilizing belts transparent to infrared radiation
US3414982A (en) * 1966-05-02 1968-12-10 Beloit Corp Food dehydrator
US3393532A (en) * 1966-10-20 1968-07-23 Design Process Engineering Inc Refrigerated conveyor system
US3400465A (en) * 1967-01-26 1968-09-10 Ireland James D Permeable bed drying process
US3559301A (en) * 1968-07-29 1971-02-02 Egan Machinery Co Air flotation system for conveying web materials
US3590495A (en) * 1969-05-02 1971-07-06 Goodyear Tire & Rubber Dryer or heater with shielding means
US3643342A (en) * 1969-05-02 1972-02-22 Goodyear Tire & Rubber Dryer or heater with shielding means
US3757426A (en) * 1969-07-07 1973-09-11 R Candor Liquid removing method
US3698095A (en) * 1970-10-20 1972-10-17 Colgate Palmolive Co Fiber conditioning article
US3634947A (en) * 1970-10-20 1972-01-18 Colgate Palmolive Co Coating apparatus
US3686772A (en) * 1970-10-29 1972-08-29 Ppg Industries Inc Apparatus for drying textile material
US4146361A (en) * 1972-09-07 1979-03-27 Cirrito Anthony J Apparatus for hot gas heat transfer particularly for paper drying
US4063367A (en) * 1975-09-29 1977-12-20 Leon Talalay Method of and apparatus for drying liquid from a liquid-solid composite and sealing the remaining solid material
US4148575A (en) * 1977-07-22 1979-04-10 Rca Corporation Thermal processor
US4150992A (en) * 1977-12-27 1979-04-24 Quantor Corporation High speed, low temperature and pressure diazo processing method
US4255037A (en) * 1978-04-17 1981-03-10 Quantor Corporation High speed, low temperature and pressure diazo processing apparatus
US5090898A (en) * 1979-11-16 1992-02-25 Smith Thomas M Infra-red heating
FI61739C (fi) * 1980-07-01 1982-09-10 Valmet Oy Torkningsfoerfarande och anordning
DE3045485A1 (de) * 1980-12-03 1982-07-08 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren und vorrichtung zum thermischen fixieren von tonerbildern
JPS57143727A (en) * 1981-02-27 1982-09-06 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium
US4365423A (en) * 1981-03-27 1982-12-28 Eastman Kodak Company Method and apparatus for drying coated sheet material
US4462169A (en) * 1982-02-19 1984-07-31 W. R. Grace & Company Web dryer solvent vapor control means
JPS58145945A (ja) * 1982-02-25 1983-08-31 Fuji Photo Film Co Ltd フイルム乾燥装置
JPS58215651A (ja) * 1982-06-10 1983-12-15 Fuji Photo Film Co Ltd 感光材料乾燥方法
US4501072A (en) * 1983-07-11 1985-02-26 Amjo, Inc. Dryer and printed material and the like
JPS61293899A (ja) * 1985-06-21 1986-12-24 Asia Genshi Kk 感熱性孔版原紙
JPS62215956A (ja) * 1986-03-17 1987-09-22 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 乾燥効率を改善した自動現像処理装置
US4638571A (en) * 1986-04-02 1987-01-27 Cook William A Radio frequency nozzle bar dryer
JPS62242942A (ja) * 1986-04-15 1987-10-23 Fuji Photo Film Co Ltd 写真フイルム乾燥方法
JPS6349760A (ja) * 1986-08-20 1988-03-02 Fuji Photo Film Co Ltd 写真フイルム乾燥装置
JPS63143552A (ja) * 1986-12-06 1988-06-15 Konica Corp デイスクフイルムの乾燥方法及び装置
JPH0731391B2 (ja) * 1987-03-23 1995-04-10 富士写真フイルム株式会社 写真フィルム処理装置
JPS63236043A (ja) * 1987-03-25 1988-09-30 Fuji Photo Film Co Ltd 写真フイルム処理機の乾燥温度制御方法
US4872270A (en) * 1988-03-09 1989-10-10 Eastman Kodak Company Drying process
US4959976A (en) * 1988-12-07 1990-10-02 Fuji Photo Film Co., Ltd. Refrigerator, dry air generating device for the same, and method for operating the device
JPH02163637A (ja) * 1988-12-16 1990-06-22 Fuji Photo Film Co Ltd 液体化学分析装置
US5077570A (en) * 1989-03-13 1991-12-31 Schell Barry E Photo processing work station
US6090243A (en) * 1989-07-24 2000-07-18 Corbellini; Glauco Process for preparing a web of paper fibers
US5197202A (en) * 1990-09-26 1993-03-30 Ppg Industries, Inc. Method and apparatus for drying and curing a coated strand
US5052125A (en) * 1990-09-26 1991-10-01 Ppg Industries, Inc. Method and apparatus for supporting strand
US5201132A (en) * 1991-04-26 1993-04-13 Busch Co. Strip cooling, heating or drying apparatus and associated method
EP0540728B1 (en) * 1991-05-21 1998-07-29 Eastman Kodak Company Apparatus and method for coating a continuous web
DE4127602A1 (de) * 1991-08-21 1993-02-25 Hoechst Ag Verfahren und vorrichtung zum beruehrungsfreien fuehren eines beschichteten materialbandes
US5452524A (en) * 1992-03-09 1995-09-26 Fuji Photo Film Co., Ltd. Photosensitive material drying method and apparatus
ATE168324T1 (de) * 1993-04-30 1998-08-15 Heidelberger Druckmasch Ag Bahnkühlungsvorrichtung
US5536158A (en) * 1993-10-25 1996-07-16 Eastman Kodak Company Apparatus for drying solvent based film
US5598643A (en) * 1994-11-23 1997-02-04 Kimberly-Clark Tissue Company Capillary dewatering method and apparatus
US5689900A (en) * 1995-08-21 1997-11-25 Toshiba Battery Co., Ltd. Drying apparatus and drying method
US5853801A (en) 1995-09-04 1998-12-29 Fuji Photo Film Co., Ltd. Process for the preparation of continuous optical compensatory sheet
JP3554619B2 (ja) * 1995-09-06 2004-08-18 富士写真フイルム株式会社 長尺状光学補償シートの製造方法
US5659972A (en) * 1995-10-06 1997-08-26 Avery Dennison Corporation Apparatus and method for drying or curing web materials and coatings
US5619806A (en) * 1996-02-26 1997-04-15 Warren; David W. Drying of fiber webs
US5621983A (en) * 1996-03-29 1997-04-22 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for deckeling excess air when drying a coating on a substrate
EP0890068A1 (en) * 1996-03-29 1999-01-13 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for drying a coating on a substrate employing multiple drying subzones
US5713138A (en) * 1996-08-23 1998-02-03 Research, Incorporated Coating dryer system
USRE38412E1 (en) * 1996-09-04 2004-02-03 Imation Corp. Coated substrate drying system with magnetic particle orientation
US5813133A (en) * 1996-09-04 1998-09-29 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated substrate drying system with magnetic particle orientation
US5758237A (en) * 1997-01-21 1998-05-26 Xerox Corporation System for enhancing vacuum efficiency, particularly for conditioning liquid images in a liquid developing material-based electrostatographic system
US5906862A (en) * 1997-04-02 1999-05-25 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for drying a coating on a substrate
US5942322A (en) * 1997-09-11 1999-08-24 The Procter & Gamble Company Reduced surface energy limiting orifice drying medium process of making and process of making paper therewith
US6021583A (en) * 1997-09-18 2000-02-08 The Procter & Gamble Company Low wet pressure drop limiting orifice drying medium and process of making paper therewith
US5912072A (en) * 1997-09-18 1999-06-15 The Procter & Gamble Company Process of reducing wet pressure drop in a limiting orifice drying medium and a limiting orifice drying medium made thereby
US5873014A (en) * 1998-01-08 1999-02-16 Xerox Corporation System for purging contaminants from a vacuum assisted image conditioning roll
US5978630A (en) * 1998-01-08 1999-11-02 Xerox Corporation System for cleaning contaminants from a vacuum assisted image conditioning roll
JPH11293583A (ja) * 1998-04-10 1999-10-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 多孔質ウェブの連続乾燥装置
US6047151A (en) * 1998-05-06 2000-04-04 Imation Corp. Drying system and method for an electrophotographic imaging system
US6280573B1 (en) * 1998-08-12 2001-08-28 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Leakage control system for treatment of moving webs
US6298578B1 (en) * 1999-08-24 2001-10-09 Mark H. Frampton Apparatus and method for drying a ground surface
JP4191855B2 (ja) * 1999-08-24 2008-12-03 新日本石油株式会社 横延伸不織布の製造方法及び横延伸装置
US6735883B1 (en) * 1999-10-15 2004-05-18 Megtec Systems, Inc. Electrostatic assisted web cooling and remoistening device
US6223449B1 (en) * 1999-11-18 2001-05-01 Johnson Research & Development Company, Inc. Apparatus for extracting plasticizer
JP4147370B2 (ja) * 1999-12-17 2008-09-10 富士フイルム株式会社 塗布膜の乾燥方法及び装置
US6381870B1 (en) * 2000-01-07 2002-05-07 Milliken & Company Bag for home dry cleaning process
US6421932B2 (en) * 2000-02-14 2002-07-23 Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. Method and apparatus for drying substrate plates
JP2002036266A (ja) * 2000-07-21 2002-02-05 Konica Corp フィルム製造方法、フィルムおよび偏光板用フィルム
CN1194857C (zh) * 2000-07-24 2005-03-30 富士胶片株式会社 溶液制膜方法
JP3535457B2 (ja) * 2000-09-11 2004-06-07 東京エレクトロン株式会社 基板の熱処理装置
US6553689B2 (en) * 2000-09-24 2003-04-29 3M Innovative Properties Company Vapor collection method and apparatus
US7143528B2 (en) * 2000-09-24 2006-12-05 3M Innovative Properties Company Dry converting process and apparatus
US7032324B2 (en) * 2000-09-24 2006-04-25 3M Innovative Properties Company Coating process and apparatus
US20030230003A1 (en) * 2000-09-24 2003-12-18 3M Innovative Properties Company Vapor collection method and apparatus
EP1215330B1 (en) * 2000-12-14 2005-03-23 Whirlpool Corporation Appliance for cleaning and refreshing fabrics with a built-in working indicator
US20030017310A1 (en) * 2001-03-16 2003-01-23 Steve Young Apparatus and method for efficiently producing high quality laminating substrates using liquid laminates and a resulting laminated product thereof
US6533217B2 (en) * 2001-03-20 2003-03-18 Faustel, Inc. Web-processing apparatus
US6780470B2 (en) * 2001-07-18 2004-08-24 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of coating a web with a solution
JP4121324B2 (ja) * 2001-07-18 2008-07-23 富士フイルム株式会社 乾燥方法及び乾燥装置
US6564473B2 (en) * 2001-10-22 2003-05-20 The Procter & Gamble Company High efficiency heat transfer using asymmetric impinging jet
US7513062B2 (en) * 2001-11-02 2009-04-07 Applied Materials, Inc. Single wafer dryer and drying methods
CN101414548B (zh) * 2001-11-02 2011-10-19 应用材料股份有限公司 单个晶片的干燥装置和干燥方法
GB0130431D0 (en) * 2001-12-20 2002-02-06 Voith Fabrics Heidenheim Gmbh Permeable membrane
US7150110B2 (en) * 2002-01-24 2006-12-19 Voith Paper Patent Gmbh Method and an apparatus for manufacturing a fiber web provided with a three-dimensional surface structure
DK1488180T3 (da) * 2002-03-04 2014-11-03 Relco Llc Fremgangsmåde til tørring af vandige fluider med højt lactoseindhold
CN1214918C (zh) * 2002-05-17 2005-08-17 长春一塑汽车内饰材料有限公司 一种塑料复合片材及其制造方法
US20050026455A1 (en) * 2003-05-30 2005-02-03 Satomi Hamada Substrate processing apparatus and substrate processing method
CN1219185C (zh) * 2003-06-05 2005-09-14 上海工程技术大学 烘房风机回转供风系统
KR100725441B1 (ko) * 2003-07-10 2007-06-07 닛토덴코 가부시키가이샤 피막 시트의 제조방법, 광학 기능층, 광학 보상판, 광학소자 및 화상 표시 장치
US20050029708A1 (en) * 2003-08-05 2005-02-10 General Electric Company Process and apparatus for embossing a film surface
JP2005115357A (ja) * 2003-09-17 2005-04-28 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性平版印刷版及びその製造方法
JP4319532B2 (ja) * 2003-12-03 2009-08-26 富士フイルム株式会社 帯状体の加熱方法および帯状体加熱装置
JP2005199186A (ja) * 2004-01-16 2005-07-28 Fuji Photo Film Co Ltd 機能性フイルムの製造方法、および機能性フイルム
US7503998B2 (en) * 2004-06-18 2009-03-17 Georgia-Pacific Consumer Products Lp High solids fabric crepe process for producing absorbent sheet with in-fabric drying
US7828547B2 (en) * 2004-12-10 2010-11-09 Kodak Graphic Communications Method and apparatus for rapidly heating printing plates
US7638780B2 (en) * 2005-06-28 2009-12-29 Eastman Kodak Company UV cure equipment with combined light path
US20070119069A1 (en) * 2005-11-30 2007-05-31 Youngtack Shim Electromagnetically-shielded hair drying systems and methods
JP2007271137A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Fujifilm Corp 塗布膜の乾燥方法及び装置並びに光学フィルムの製造方法
JP4951301B2 (ja) * 2006-09-25 2012-06-13 富士フイルム株式会社 光学フィルムの乾燥方法及び装置並びに光学フィルムの製造方法
JP2008137002A (ja) * 2006-11-07 2008-06-19 Fujifilm Corp 塗布膜の乾燥方法及び装置、並びにそれを用いた光学フイルム
US7727594B2 (en) * 2007-01-19 2010-06-01 Fujifilm Corporation Method for drying coated film, and apparatus therefor
FI20075783L (fi) * 2007-11-05 2009-05-06 Metso Paper Inc Rainanmuodostuskone
JP2009236355A (ja) * 2008-03-26 2009-10-15 Fujifilm Corp 乾燥方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101486324B1 (ko) 2015-01-26
US8109010B2 (en) 2012-02-07
JP4901395B2 (ja) 2012-03-21
CN102009034A (zh) 2011-04-13
CN101153934B (zh) 2012-04-25
JP2008080213A (ja) 2008-04-10
CN101153934A (zh) 2008-04-02
CN102009034B (zh) 2014-06-18
US20080075867A1 (en) 2008-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20080028290A (ko) 도포막의 건조 방법 및 건조 장치
JP4147370B2 (ja) 塗布膜の乾燥方法及び装置
JP2008137002A (ja) 塗布膜の乾燥方法及び装置、並びにそれを用いた光学フイルム
TWI450767B (zh) 塗布裝置及塗布膜的製造方法
JP2003211052A (ja) 塗布装置及び塗布方法
KR101379784B1 (ko) 도포막의 건조 방법 및 장치
JP4764615B2 (ja) 塗布装置、塗布方法及び塗布膜付きウエブの製造方法
JP3941857B2 (ja) 塗布方法及び装置
JP4513293B2 (ja) 塗布膜の乾燥方法
JP2009243734A (ja) 塗布膜の乾燥装置および光学機能性フィルム
JP5147291B2 (ja) 乾燥装置及び光学フィルムの製造方法
JP2008302303A (ja) 塗布膜の乾燥装置および乾燥方法、それらを用いた塗布物の製造装置および製造方法
JP4716036B2 (ja) 光学補償フィルムの製造方法
JP2008253867A (ja) 塗布装置
JP5335319B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP2005081257A (ja) 塗布膜の乾燥方法及び装置
KR102210074B1 (ko) 용액 제막 장치 및 방법
JP2007245091A (ja) 塗布膜の乾燥方法及び装置
JP2010069443A (ja) 塗布膜の乾燥装置及びそれにより製造された光学フィルム
JP2005224658A (ja) 塗布膜の乾燥方法及び光学機能性フィルム
JP4891041B2 (ja) 乾燥方法及び装置
JP4881749B2 (ja) 塗布膜の乾燥方法及び乾燥装置
JP2012215325A (ja) 乾燥装置、機能性膜形成システム、乾燥方法および機能性膜形成方法
JP2007245090A (ja) 塗布膜の乾燥方法及び装置
JP2008173589A (ja) 塗布膜の形成方法及び形成装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180104

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200107

Year of fee payment: 6