KR20050067085A - 정전 척과 그 제조 방법 및 알루미나 소결 부재와 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
실온 | 100℃ | 200℃ | 300℃ | 400℃ | 500℃ | |
실시예 1 | >1×1017 | >1×1017 | >1×1017 | 2×1015 | 2×1014 | 2×1013 |
실시예 2 | >1×1017 | >1×1017 | >1×1017 | 1×1015 | 1×1014 | 1×1013 |
실시예 3 | >1×1017 | 2×1015 | 2×1015 | 7×1013 | 5×1012 | - |
비교예 | 5×1015 | 1×1014 | 5×1012 | - | - | - |
실시예 1 | 실시예 2 | 실시예 3 | 비교예 | |
순도(중량 %) | >99.5 | >99.5 | >99.5 | >99.5 |
밀도(g/cm3) | 3.95 | 3.94 | 3.93 | 3.90 |
개기공율(%) | 0.0 | 0.0 | 0.0 | 0.1 |
최대 기공직경(㎛) | 100 | 10 | 10 | 200 |
열전도율(W/mK) | 30 | 28 | 29 | 30 |
내전압(kV/mm) | 18 | 20 | 20 | 13 |
굽힘 강도(Mpa) | 370 | 380 | 368 | 310 |
Claims (46)
- 실온에서의 체적 고유 저항치가 1×1017 Ω·cm 이상이며, 300℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1014 Ω·cm 이상인 알루미나 소결체로 이루어지는 세라믹스 유전체층과,상기 세라믹스 유전체층의 한 쪽 면에 형성된 면형의 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제1항에 있어서, 상기 알루미나 소결체는 400℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1014 Ω·cm 이상인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 알루미나 소결체는 순도가 99.5 중량% 이상이며, 밀도가 3.80∼4.00 g/cm3인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 알루미나 소결체는 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성된 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제3항에 있어서, 상기 알루미나 소결체는 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성된 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세라믹스 유전체층은 두께가 0.05 mm∼0.50 mm인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제3항에 있어서, 상기 세라믹스 유전체층은 두께가 0.05 mm∼0.50 mm인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제4항에 있어서, 상기 세라믹스 유전체층은 두께가 0.05 mm∼0.50 mm인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제5항에 있어서, 상기 세라믹스 유전체층은 두께가 0.05 mm∼0.50 mm인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체(基體)를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제3항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제4항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제5항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제6항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제7항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제8항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제9항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제10항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제11항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제12항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제13항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제14항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제15항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제16항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제17항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 실온에서의 체적 고유 저항치가 1×1017 Ω·cm 이상이며, 200℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1015 Ω·cm 이상인 알루미나 소결체로 이루어지는 세라믹스 유전체층과,상기 세라믹스 유전체층의 한 쪽 면에 형성된 면형의 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제26항에 있어서, 상기 알루미나 소결체는 순도가 99.5 중량% 이상이며, 밀도가 3.80∼4.00 g/cm3인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제26항 또는 제27항에 있어서, 상기 알루미나 소결체는 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성된 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제26항 또는 제27항에 있어서, 상기 세라믹스 유전체층은 두께가 0.05 mm∼0.50 mm인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제28항에 있어서, 상기 세라믹스 유전체층은 두께가 0.05 mm∼0.50 mm인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제26항 또는 제27항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제28항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제29항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제30항에 있어서, 상기 전극을 통해 상기 세라믹스 유전체층과 접합된 세라믹스 기체를 지니고,상기 세라믹스 유전체층, 상기 전극 및 상기 세라믹스 기체는 핫프레스법에 의해 소성된 일체 소결품인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 제31항에 있어서, 상기 세라믹스 기체는 알루미나 소결체인 것을 특징으로 하는 정전 척.
- 알루미나를 99.5 중량% 이상 포함하는 세라믹스 원료 분말을 이용하여 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성함으로써 알루미나 소결체를 제작하는 공정과,면형의 전극을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척의 제조 방법.
- 실온에서의 체적 고유 저항치가 1×1017 Ω·cm 이상이며, 300℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1014 Ω·cm 이상인 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 제37항에 있어서, 400℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1014 Ω·cm 이상인 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 제37항 또는 제38항에 있어서, 순도가 99.5 중량% 이상이며, 밀도가 3.80∼4.00 g/cm3인 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 제37항 또는 제38항에 있어서, 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성된 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 제39항에 있어서, 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성된 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 실온에서의 체적 고유 저항치가 1×1017 Ω·cm 이상이며, 200℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1015 Ω·cm 이상인 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 제42항에 있어서, 순도가 99.5 중량% 이상이며, 밀도가 3.80∼4.00 g/cm3인 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 제42항 또는 제43항에 있어서, 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성된 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재.
- 알루미나를 99.5 중량% 이상 포함하는 세라믹스 원료 분말을 이용하여 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성함으로써, 실온에서의 체적 고유 저항치가 1×1017 Ω·cm 이상이며, 300℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1014 Ω·cm 이상인 알루미나 소결체를 제작하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재의 제조 방법.
- 알루미나를 99.5 중량% 이상 포함하는 세라믹스 원료 분말을 이용하여 불활성 가스 분위기 혹은 환원 분위기에서 핫프레스법에 의해 소성함으로써, 실온에서의 체적 고유 저항치가 1×1017 Ω·cm 이상이며, 200℃에서의 체적 고유 저항치가 1×1015 Ω·cm 이상인 알루미나 소결체를 제작하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미나 소결 부재의 제조 방법.
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