KR20010062126A - 반도체 발광소자, 그 제조방법 및 탑재기판 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 기체(基體)의 동일면측에 제1 전극막 및 제2 전극막을 형성하여 이루어지는 반도체 팁(tip)을 포함하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법으로서,상기 반도체 팁의 상기 제1 전극막 및 상기 제2 전극막을 각각 제1 땜납막 및 제2 땜납막을 사용하여 소정의 지지체에 접합하는 공정을 포함하는 동시에,상기 반도체 팁에서, 상기 제1 전극막의 표면이 상기 제2 전극막의 표면보다 돌출되도록 하고,상기 접합공정에서, 상기 제1 땜납막의 변형량보다 상기 제2 땜납막의 변형량 쪽이 커지도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 기체의 동일면측에 제1 전극막 및 제2 전극막을 형성하여 이루어지는 반도체 팁과, 지지체의 동일면측에 제1 땜납막 및 제2 땜납막을 형성하여 이루어지는 배치기판을 포함하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법으로서,상기 반도체 팁의 상기 제1 전극막 및 상기 제2 전극막을 상기 제1 땜납막 및 상기 제2 땜납막에 각각 접합하는 공정을 포함하는 동시에,상기 반도체 팁에서, 상기 제1 전극막의 표면과 상기 제2 전극막의 표면 사이에, 상기 제1 전극막의 표면이 상기 제2 전극막의 표면보다 돌출되는 단차(段差)를 형성하고,상기 배치기판에서, 상기 제1 땜납막의 표면과 상기 제2 땜납막의 표면 사이에, 상기 제1 땜납막의 표면이 상기 제2 땜납막의 표면보다 돌출되는 단차를 형성하고,상기 배치기판에서의 상기 제1 및 제2 땜납막의 상기 단차가 상기 반도체 팁에서의 상기 제1 및 제2 전극막의 상기 단차보다 커지도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서,상기 반도체 팁에서의 상기 단차를 A로 하고, 상기 배치기판에서의 상기 단차를 B로 하면,1.2 ≤B/A ≤3의 관계가 성립되도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서,상기 반도체 팁에서의 상기 단차를 A로 하고, 상기 배치기판에서의 상기 단차를 B로 하면,1.3 ≤B/A ≤2.5의 관계가 성립되도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서,상기 지지체는 평탄면을 가지고 있으며, 상기 제1 땜납막 및 제2 땜납막은 그 평탄면 상에 형성되어 있고,상기 제1 땜납막 및 제2 땜납막의 두께가 서로 상이하도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서,상기 제1 땜납막 및 제2 땜납막의 각각과 상기 지지체 사이에, 제1 리드 전극층 및 제2 리드 전극층을 각각 형성하도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서,상기 지지체에서, 상기 제1 땜납막의 근방에 홈부를 형성하도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서,상기 반도체 팁을 광 공진기를 가지는 레이저 팁으로서 구성하고,상기 제1 전극막과 상기 제1 땜납막과의 접촉면에서의 상기 제1 땜납막의 윤곽선이 최소한 상기 광 공진기의 공진 방향과 수직 방향에서, 상기 제1 전극막의 윤곽선보다 내측에 위치하도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 기체의 동일면측에 제1 전극막 및 제2 전극막이 형성되고, 상기 제1 전극막의 표면과 상기 제2 전극막의 표면 사이에, 상기 제1 전극막의 표면이 상기 제2 전극막의 표면보다 돌출되는 단차를 가지는 반도체 팁에 접합하여 사용되는 배치기판으로서,지지체의 상기 동일면측에 제1 땜납막 및 제2 땜납막을 형성하여 이루어지고,상기 제1 땜납막의 표면과 상기 제2 땜납막의 표면 사이에, 상기 제1 땜납막의 표면이 상기 제2 땜납막의 표면보다 돌출되는 단차가 형성되고,상기 제1 땜납막과 상기 제2 땜납막과의 상기 단차가 상기 반도체 팁에서의 상기 단차보다 큰 배치기판.
- 제9항에 있어서,상기 반도체 팁의 상기 소정의 단차를 A로 하고, 상기 기체의 상기 단차를 B로 하면,1.2 ≤B/A ≤3의 관계가 성립되는 배치기판.
- 제9항에 있어서,1.3 ≤B/A ≤2.5의 관계가 성립되는 배치기판.
- 제9항에 있어서,상기 지지체는 평탄면을 가지고 있으며, 상기 제1 땜납막 및 제2 땜납막은 그 평탄면 상에 형성되어 있고,상기 제1 땜납막 및 제2 땜납막은 서로 상이한 두께를 가지고 있는 배치기판.
- 기체의 동일면측에 제1 전극막 및 제2 전극막을 형성하여 이루어지는 반도체 팁과, 지지체의 동일면측에 제1 땜납막 및 제2 땜납막을 형성하여 이루어지는 배치기판을 포함하는 반도체 발광소자로서,상기 반도체 팁은 상기 제1 전극막의 표면과 상기 제2 전극막의 표면 사이에, 상기 제1 전극막의 표면이 상기 제2 전극막의 표면보다 돌출되는 단차를 가지고 있으며,상기 배치기판은 상기 제1 땜납막의 표면과 상기 제2 땜납막의 표면 사이에, 상기 제1 땜납막의 표면이 상기 제2 땜납막의 표면보다 돌출되는 단차를 가지고 있으며,상기 지지체에서, 상기 제1 땜납막을 사이에 두고 상기 제2 땜납막과는 반대측에 홈부가 형성되어 있는 반도체 발광소자.
- 제13항에 있어서,상기 제1 땜납막 및 제2 땜납막의 각각과 상기 지지체 사이에, 제1 리드 전극층 및 제2 리드 전극층이 각각 형성되어 있는 반도체 발광소자.
- 제14항에 있어서,상기 제1 리드 전극층이 상기 홈부의 내부까지 연속하여 형성되어 있는 반도체 발광소자.
- 지지체의 동일면측에 제1 땜납막 및 제2 땜납막을 형성하여 이루어지는 배치기판으로서,상기 제1 땜납막의 표면과 상기 제2 땜납막의 표면 사이에, 상기 제1 땜납막의 표면이 상기 제2 땜납막의 표면보다 돌출되는 단차를 가지고 있으며,상기 지지체에서, 상기 제1 땜납막을 사이에 두고 상기 제2 땜납막과는 반대측에 홈부가 형성되어 있는 배치기판.
- 기체의 동일면측에 제1 전극막 및 제2 전극막을 형성하여 이루어지는 반도체 팁과, 지지체의 동일면측에 제1 땜납막 및 제2 땜납막을 형성하여 이루어지는 배치기판을 구비한 반도체 발광소자의 제조방법으로서,상기 반도체 팁의 상기 제1 전극막 및 상기 제2 전극막을 상기 배치기판의 상기 제1 땜납막 및 상기 제2 땜납막에 각각 접합하는 공정을 포함하는 동시에,상기 반도체 팁에서는, 상기 제1 전극막의 표면과 상기 제2 전극막의 표면 사이에, 상기 제1 전극막의 표면이 상기 제2 전극막의 표면보다 돌출되는 단차를 형성하도록 하고,상기 배치기판에서는, 상기 제1 땜납막의 표면과 상기 제2 땜납막의 표면 사이에, 상기 제1 땜납막의 표면이 상기 제2 땜납막의 표면보다 돌출되는 단차를 형성하도록 하고,상기 제1 전극막과 상기 제1 땜납막과의 접촉면에서의 상기 제1 땜납막의 윤곽선이 상기 접촉면에서의 상기 제1 전극막의 윤곽선보다 최소한 한 방향에서 내측에 위치하도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
- 제17항에 있어서,상기 반도체 팁을 광 공진기를 가지는 레이저 팁으로서 구성하고, 상기 제1 전극막과 상기 제1 땜납막과의 접촉면에서의 상기 제1 땜납막의 윤곽선이 최소한 상기 광 공진기의 공진 방향과 수직 방향에서, 상기 제1 전극막의 윤곽선보다 내측에 위치하도록 하는 반도체 발광소자의 제조방법.
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