KR101681365B1 - 노즐 세정 장치, 도포 장치, 노즐 세정 방법, 및 도포 방법 - Google Patents

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마사후미 오모리
히로시 오카다
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6491816B2 (ja) * 2014-01-09 2019-03-27 タツモ株式会社 スリットノズル洗浄装置、及びワーク用塗布装置
CN106033211B (zh) * 2015-03-11 2018-09-28 北大方正集团有限公司 一种控制涂胶机台胶头清洗的方法及装置
KR101812707B1 (ko) * 2016-05-23 2017-12-27 (주)에스티아이 챔버 세정 시스템
JP6697324B2 (ja) * 2016-05-26 2020-05-20 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法
JP6824673B2 (ja) * 2016-09-13 2021-02-03 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置
PL3323740T3 (pl) * 2016-11-17 2020-05-18 Harro Höfliger Verpackungsmaschinen GmbH Urządzenie do szczelnego zamykania i sposób szczelnego zamykania opakowań
JP6869756B2 (ja) * 2017-03-10 2021-05-12 株式会社Screenホールディングス ノズルクリーニング装置およびノズルクリーニング方法
JP6845056B2 (ja) * 2017-03-21 2021-03-17 株式会社Screenホールディングス 塗布装置および塗布方法
JP6845077B2 (ja) * 2017-05-11 2021-03-17 株式会社Screenホールディングス 塗布装置、塗布方法およびノズル
JP6337184B2 (ja) * 2017-06-22 2018-06-06 株式会社Screenホールディングス ノズル洗浄装置、塗布装置、ノズル洗浄方法、および塗布方法
CN107450286B (zh) * 2017-08-07 2021-06-01 Tcl华星光电技术有限公司 涂布口金刮拭擦及光阻刮拭装置
CN108126868B (zh) * 2018-02-02 2024-04-26 苏州市晴空自动化设备有限公司 电池组的盖帽涂胶装置
KR102277991B1 (ko) * 2019-06-27 2021-07-15 세메스 주식회사 노즐 세정 유닛 및 기판 처리 장치
JP6975754B2 (ja) * 2019-09-10 2021-12-01 株式会社Screenホールディングス 塗布装置および塗布方法
JP7279096B2 (ja) * 2021-02-26 2023-05-22 株式会社Screenホールディングス ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置
CN114178072B (zh) * 2021-11-12 2023-03-21 标格达精密仪器(广州)有限公司 一种实验室用全自动喷板制样机
CN115802637B (zh) * 2023-02-08 2023-05-05 苏州康尼格电子科技股份有限公司 Pcba封装设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3180143B2 (ja) * 1992-04-03 2001-06-25 第一工業製薬株式会社 樹脂成形体の導電性改良方法
JP2006326848A (ja) * 2005-05-23 2006-12-07 Komori Corp 印刷機の洗浄装置
JP2011079185A (ja) 2009-10-06 2011-04-21 Seiko Epson Corp インクジェットプリンター

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6151044A (en) * 1997-10-29 2000-11-21 Hewlett-Packard Company Hide-away wiper cleaner for inkjet printheads
KR100344757B1 (ko) * 1999-09-03 2002-07-19 한호성 복강경 수술용 봉합기구
JP4686054B2 (ja) * 2001-05-11 2011-05-18 大日本印刷株式会社 インクジェット記録装置
KR100700180B1 (ko) * 2004-12-31 2007-03-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 예비토출부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법
JP2008136897A (ja) * 2006-11-30 2008-06-19 Toray Ind Inc 塗布用スリットノズルの清掃方法および清掃装置並びに、ディスプレイ用部材の製造方法および製造装置
DE102007016246B4 (de) * 2007-04-04 2019-02-21 Ecoclean Gmbh Verfahren zur Bereitstellung eines Reinigungsmediums und Verfahren und Reinigungsvorrichtung zur Reinigung eines Werkstücks
JP4857193B2 (ja) * 2007-05-28 2012-01-18 大日本スクリーン製造株式会社 ノズル洗浄装置
KR101520308B1 (ko) * 2008-11-07 2015-05-15 주식회사 디엠에스 롤 프린팅 장치
JP5121778B2 (ja) * 2009-06-26 2013-01-16 東京エレクトロン株式会社 プライミング処理方法及びプライミング処理装置
JP2011056374A (ja) * 2009-09-09 2011-03-24 Panasonic Corp 塗布装置
JP5258811B2 (ja) * 2010-02-17 2013-08-07 東京エレクトロン株式会社 スリットノズル洗浄装置及び塗布装置
JP5226046B2 (ja) * 2010-08-18 2013-07-03 東京エレクトロン株式会社 塗布装置及びノズルのメンテナンス方法
JP5766990B2 (ja) * 2011-03-23 2015-08-19 東レエンジニアリング株式会社 塗布装置
JP3180143U (ja) * 2012-09-21 2012-12-06 東京エレクトロン株式会社 塗布ノズル洗浄装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3180143B2 (ja) * 1992-04-03 2001-06-25 第一工業製薬株式会社 樹脂成形体の導電性改良方法
JP2006326848A (ja) * 2005-05-23 2006-12-07 Komori Corp 印刷機の洗浄装置
JP2011079185A (ja) 2009-10-06 2011-04-21 Seiko Epson Corp インクジェットプリンター

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