KR101681365B1 - 노즐 세정 장치, 도포 장치, 노즐 세정 방법, 및 도포 방법 - Google Patents
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013052619A JP2014176812A (ja) | 2013-03-15 | 2013-03-15 | ノズル洗浄装置、塗布装置、ノズル洗浄方法、および塗布方法 |
JPJP-P-2013-052619 | 2013-03-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140113345A KR20140113345A (ko) | 2014-09-24 |
KR101681365B1 true KR101681365B1 (ko) | 2016-11-30 |
Family
ID=51497232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140023369A KR101681365B1 (ko) | 2013-03-15 | 2014-02-27 | 노즐 세정 장치, 도포 장치, 노즐 세정 방법, 및 도포 방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014176812A (zh) |
KR (1) | KR101681365B1 (zh) |
CN (1) | CN104043553B (zh) |
TW (1) | TWI564085B (zh) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6491816B2 (ja) * | 2014-01-09 | 2019-03-27 | タツモ株式会社 | スリットノズル洗浄装置、及びワーク用塗布装置 |
CN106033211B (zh) * | 2015-03-11 | 2018-09-28 | 北大方正集团有限公司 | 一种控制涂胶机台胶头清洗的方法及装置 |
KR101812707B1 (ko) * | 2016-05-23 | 2017-12-27 | (주)에스티아이 | 챔버 세정 시스템 |
JP6697324B2 (ja) * | 2016-05-26 | 2020-05-20 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
JP6824673B2 (ja) * | 2016-09-13 | 2021-02-03 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置 |
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-
2013
- 2013-03-15 JP JP2013052619A patent/JP2014176812A/ja active Pending
-
2014
- 2014-02-20 CN CN201410058418.8A patent/CN104043553B/zh active Active
- 2014-02-27 KR KR1020140023369A patent/KR101681365B1/ko active IP Right Grant
- 2014-03-10 TW TW103108055A patent/TWI564085B/zh active
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JP2011079185A (ja) | 2009-10-06 | 2011-04-21 | Seiko Epson Corp | インクジェットプリンター |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104043553B (zh) | 2017-04-19 |
CN104043553A (zh) | 2014-09-17 |
KR20140113345A (ko) | 2014-09-24 |
JP2014176812A (ja) | 2014-09-25 |
TW201434536A (zh) | 2014-09-16 |
TWI564085B (zh) | 2017-01-01 |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
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GRNT | Written decision to grant | ||
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