KR101251141B1 - 인쇄 배선판용 유리 클로스 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 치수 변화의 이방성이 적고, 또한 휘어짐·비틀어짐이 없는 전자·전기 분야에서 사용되는 인쇄 배선판의 제조에 적합한 유리 클로스, 상기 유리 클로스를 사용한 프리프레그 및 상기 유리 클로스를 이용한 인쇄 배선판을 제공한다. 본 발명에 따른 유리 클로스는 날실 및 씨실이 1.8×10-6㎏/m 이상 14×10-6㎏/m 이하의 유리실로 구성되며, 상기 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 상기 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비가 1.01 이상 1.27 미만이고, 또한 두께가 10㎛ 이상 40㎛ 이하인 것을 특징으로 한다.

Description

인쇄 배선판용 유리 클로스{GLASS CLOTH FOR PRINTED WIRING BOARD}
본 발명은 전자·전기 분야에서 사용되는 인쇄 배선판에 이용되는 유리 클로스, 상기 유리 클로스를 사용한 프리프레그 및 상기 유리 클로스를 이용한 인쇄 배선판에 관한 것이다.
대부분의 인쇄 배선판은 통상, 유리 클로스 등의 기재에 에폭시 수지 등의 열경화성 수지를 함침·건조하여 프리프레그로 하고, 상기 프리프레그를 단수 또는 복수장 중첩하고, 또한 필요에 따라서 동박을 중첩한 후에 가열 가압 성형하여 적층판으로 하고, 이어서 상기 적층판에 포토리소그래피 및 에칭 또는 도금에 의해서 동박으로 이루어지는 회로 패턴을 형성하는 방법에 의해서 제조된다.
또한, 상술한 인쇄 배선판을 코어 기판으로 하여, 그 표층에 프리프레그를 중첩하고, 또한 그 외측에 동박을 중첩하고, 이것을 가열 가압 성형하여 다층판으로 하고, 이어서 다층판 표면에 회로 형성하는 축차 성형법에 의해 다층 인쇄 배선판이 제조된다.
한편, 최근 디지탈 기기의 고기능, 소형 경량화를 위해 사용되는 인쇄 배선판에도 한층 더 소형화 및 박형화와 고밀도화가 요구되고 있다. 그것을 위한 수법으로, 기재로서 이용되는 유리 클로스를 박지(薄紙)화하고, 또한 축차 성형법에 의한 빌드업 다층 인쇄 배선판의 층수를 증대시킴으로써, 고밀도화를 달성하려고 한다. 여기서, 유리 클로스의 두께로서는 인쇄 배선판으로의 다층화·박형화의 요구에 의해 40㎛에서 10㎛까지 얇게 만드는 것이 요구되고 있다.
일반적으로, 상술한 인쇄 배선판의 제조과정에서는 적층 공정의 열과 압력에 의해, 또한 회로 패턴 형성 공정에서 동박의 일부가 에칭아웃됨으로써, 동장적층판의 치수 변화 및 휘어짐·비틀어짐이 발생하는 것이 알려져 있다.
그러나 40㎛ 이하의 박지 유리 클로스는, 후지(厚紙) 유리 클로스에 비하여 X-Y면 방향의 기계적 강도가 약하고, 그의 이방성도 크다. 또한, 굴곡이나 정렬의 어긋남도 생기기 쉽다. 이 때문에, 40㎛ 이하의 유리 클로스를 이용한 동장적층판의 가공에서는 후지 유리 클로스에 비하여, 치수 변화의 이방성이나, 휘어짐·비틀림의 문제가 현저히 발생하기 쉽다는 문제를 안고 있었다.
유리 클로스의 X-Y면 방향의 기계적 강도의 향상 및 그의 이방성을 개선하는 방법으로서는, (1) 세로 방향, 가로 방향의 유리 충전량을 동등하게 하여 유리실의 강성에 의한 보강 효과를 동등하게 하는 방법, (2) 날실과 씨실의 직밀도(織密度), 직축률(織縮率) 등을 최적화하여 보강 효과의 균형을 개선하는 방법, (3) 개섬 가공에 의해 실간격을 좁게 하여 실끼리의 구속성을 높이는 방법 등이 제안되어 있다.
(1) 세로 방향, 가로 방향의 유리 충전량을 동등하게 하여 유리실의 강성에 의한 보강 효과를 동등하게 하는 방법으로서는, 이하의 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 날실 방향과 씨실 방향으로 동일 종류의 실을 같은 직밀도로 타입(打入)한 직물 구조로 하는 방법이 알려져 있다.
그러나 일반적으로 유리 클로스는 날실 방향으로 장력이 작용한 상태에서 길게 생산되기 때문에, 날실과 씨실로 동일 종류의 실이 동일한 실로, 같은 직밀도가 되도록 제직했다고 하더라도, 장력이 작용하는 날실에 비하여 장력이 작용하지 않은 씨실의 주름이 커지는 경향이 있다. 그 결과, 치수 변화에 이방성이 생기는 원인이 된다. 또한, 프리프레그를 제작할 때에도 날실 방향으로 장력이 작용한 상태에서 수지가 함침·건조되기 때문에, 장력의 크기에 따라서도 다르지만, 날실 방향의 주름은 어느 정도 해소되기 때문에, 씨실 방향과의 주름 상태의 차는 커져서 보강 효과의 차는 넓어지는 경향이 있다. 또한, 두께 40㎛ 이하의 박지의 유리 클로스에서는 구성하는 유리실이 가늘고 강성이 약하기 때문에, 제직시나 프리프레그 제작시에 날실 방향으로 걸리는 장력의 이방성에 대한 영향이 박형화에 수반하여 커져서, 치수 변화의 이방성의 문제는 보다 크게 나타난다는 문제가 있다. 따라서 날실 방향, 씨실 방향의 유리 충전량을 동등하게 하는 방법은, 특히 두께 40㎛ 이하의 박지의 유리 클로스에 있어서, 치수 변화의 이방성을 개선하기 위해서는 불충분하였다.
(2) 날실과 씨실의 직밀도, 직축률 등을 제어하여 보강 효과의 균형을 개선하는 방법으로서는, 이하의 특허문헌 2에 비교적 굵은 실을 많이 타입한 유리 클로스, 이하의 특허문헌 3 내지 5에 직밀도와 직축률의 균형을 최적화한 유리 클로스, 이하의 특허문헌 6에 날실과 씨실을 같은 정도로 개섬하여 단면 형상과 주름 상태를 동등하게 한 유리 클로스, 그리고 이하의 특허문헌 7 내지 9에 씨실이 날실보다 굵은 실로 구성된 유리 클로스가 개시되어 있다.
특허문헌 2에 기재된 유리 클로스는, 66tex(필라멘트 직경 9㎛, 필라멘트 수 400개) 이상의 굵은 실을 40개/25㎜으로 많이 타입한 높은 천 중량의 유리 클로스이고, 유리량을 많게 함으로써 전체의 보강 효과가 높아지는 것이 개시되어 있다.
그러나 특허문헌 2에 개시되어 있는 유리 클로스는 높은 천 중량으로 하기 위해서 굵은 실을 많이 타입하기 때문에, 유리 클로스의 두께는 특허문헌 2의 실시예 1 내지 6에 개시되어 있는 바와 같이 178 내지 183㎛로 비교적 두꺼운 것이다.
두께 40㎛ 이하의 박지의 유리 클로스에서는 유리실의 타입 밀도를 많게 하여 유리량을 많게 하더라도, 후지의 유리 클로스와 같은 수준으로 강성을 올릴 수 없고, 치수 안정성 및 그의 이방성을 개선하는 것은 곤란하다. 최근에 두께 40㎛ 이하의 박지의 유리 클로스의 강성 향상을 목적으로, 유리실의 타입량을 올리는 시도가 많이 이루어졌지만, 치수 안정성의 이방성을 개선하는 것에는 이르지 않고 있는 것이 현실이다.
특허문헌 3 내지 5에 기재된 유리 클로스는 필라멘트 직경 9㎛ 또는 7㎛의 실을 이용하여, 날실과 씨실의 간격이 좁고, 또한 날실 방향과 씨실 방향의 직밀도와 직축률이 최적화된 유리 클로스이고, 유리실 사이의 간극에 존재하는 수지량이 적어 수지의 경화 수축에 의한 변동이 감소되는 것, 날실 방향과 씨실 방향의 직축이 적당하기 때문에, 날실 방향과 씨실 방향의 보강 효과가 같아지는 것이 개시되어 있다.
그러나 특허문헌 3 내지 5의 유리 클로스는 필라멘트 직경 9㎛ 또는 7㎛의 굵은 실을 이용하고 있기 때문에, 유리 클로스의 두께가 이들 특허문헌의 실시예에 개시되어 있는 것과 같이 90㎛ 이상으로 비교적 두꺼운 것이다. 통상, 유리 클로스의 두께를 40㎛ 이하의 박지로 하기 위해서는, 필라멘트 직경 5㎛ 이하의 가는 실을 사용할 필요가 있다. 필라멘트 직경 5㎛ 이하의 가는 실은 강성이 작기 때문에 제직시에 날실 방향으로 걸리는 장력에 의해 날실의 직축률은 작고, 반대로 씨실의 직축률이 커지는 경향이 있고, 세로 방향과 가로 방향의 보강 효과가 동등하게 되도록 직축률을 최적화하는 것은 곤란하였다.
특허문헌 6에 기재된 유리 클로스는 날실 및 씨실이 동일 종류의 실로 구성된 두께 10㎛ 이상 50㎛ 이하의 유리 클로스이고, 무장력에 가까운 상태에서 개섬 처리되기 때문에 날실과 씨실의 단면 형상 및 주름 상태가 동등한 유리 클로스이다. 상기 유리 클로스는 폭 25㎜당 25 내지 100N의 범위 내의 하중을 씨실 방향으로 가했을 때의 가로 방향 신장률에 대한 상기 하중을 날실 방향으로 가했을 때의 날실 신장률의 비가 0.8 이상 1.2 이하이고, 일정 인장 응력 하에서의 신장량이 세로와 가로에서 동등하기 때문에, XY 방향의 이방성을 개선할 수 있는 것이 개시되어 있다.
그러나 무장력에 가까운 상태에서 개섬 처리를 시도했다고 하더라도 적지 않게 반송 방향(날실 방향)에는 장력이 걸리기 때문에, 날실과 씨실의 주름 상태를 동일하게 하는 것은 어렵다. 폭 25㎜당 25 내지 100N의 인장 장력 하에서의 신장량을 세로와 가로에서 동등하게 할 수 있었다고 하더라도, 더욱 작은 하중 영역(예를 들면 5N)에서의 신장률을 세로와 가로에서 동등하게 하는 것은 곤란하고, 치수 변화의 이방성의 개선에 대해서 만족할만한 것은 아니었다. 또한, 무장력에 가까운 상태, 즉 유리 클로스가 유지되지 않은 상태에서 물리적인 힘이 가해지기 때문에, 특히 박지의 유리 클로스에서는 굴곡이나 정렬의 어긋남 등이 발생하기 쉽고, 적층판의 휘어짐·비틀어짐의 원인이 된다는 문제도 있다.
특허문헌 7에 기재된 유리 클로스는 씨실의 모노필라멘트 직경이 날실의 모노필라멘트 직경보다 굵은 9.5㎛ 이상이고, 씨실/날실의 중량비가 0.8 이상 1.2 이하, 중량 200 내지 230g의 유리 클로스이다. 특허문헌 7에는 상기 유리 클로스는 모노필라멘트 직경이 굵은 실을 사용함으로써 좌표 어긋남을 극소화할 수 있고, 또한 씨실에 날실보다 필라멘트 직경이 큰 실을 이용함으로써 좌표 어긋남을 크게 하지 않고서 이방성을 없앨 수 있는 것이 개시되어 있다.
또한, 특허문헌 8에 기재된 유리 클로스는, 날실이 필라멘트 직경 9㎛, 필라멘트 수 400개, 씨실이 필라멘트 직경 9㎛를 초과하고 10.5㎛ 이하, 필라멘트 수 400개이고, 날실과 씨실의 25㎜당의 타입 갯수의 비율이 1.0 내지 1.4 이하, 중량 180 내지 250g/㎡의 유리 클로스이다. 상기 유리 클로스는 상술한 범위의 굵은 실을 이용하고, 또한 날실과 씨실의 굵기를 상술한 범위로 차이를 나게 함으로써, 휘어짐이나 비틀어짐의 발생이 억제되는 것이 나타나고 있다.
또한, 특허문헌 9에 기재된 유리 클로스는 씨실의 번수가 날실의 번수보다 크고, 날실 번수와 날실 직밀도의 곱을 씨실 번수와 씨실 직밀도의 곱으로 나눈 값이 0.8 이상 1.2 이하의 유리 클로스이다. 상기 유리 클로스는 씨실의 번수를 크게 함으로써 날실의 주름의 횟수가 감소하기 때문에, 날실 방향과 씨실 방향의 보강 효과가 거의 같게 되고, 인쇄 배선판의 휘어짐, 비틀어짐이 감소되는 것, 날실과 씨실 모두 60tex 이상의 굵은 실을 이용할 때에 그 효과가 큰 것이 개시되어 있다.
특허문헌 7 내지 9에 기재된 씨실이 날실보다 굵은 실로 구성된 유리 클로스는, 인쇄 배선판의 치수 안정성 또는 휘어짐·비틀어짐을 개선할 수 있는 것이 개시되어 있지만, 모두 보강 효과를 높이기 위해서 60tex 이상의 굵은 실이 이용되고 있다. 굵은 유리실로 구성된 유리 클로스는 그의 주름 구조가 크고, 인장 응력이 부가되었을 때의 신장량이 커지는 경향이 있기 때문에, 인쇄 배선판의 치수 변화는 크게 되고, 이 때문에 치수 변화의 변동이나 이방성이 커지기 쉽다는 점에서, 충분한 것이 아니었다.
또한, 특허문헌 7 내지 9에 기재된 유리 클로스에서는 상술한 바와 같이 60tex 이상의 굵은 실이 이용되고 있기 때문에, 유리 클로스의 두께는 비교적 두꺼워지게 되어(특허문헌 7의 실시예 1과 2에서는 188㎛, 특허문헌 8의 실시예 1 내지 3에서는 180㎛, 특허문헌 9의 실시예 1 내지 5에서는 180 내지 250㎛의 유리 클로스가 개시되어 있음), 본원 발명의 목적인 10 내지 40㎛의 박지 유리 클로스의 치수 안정성을 개선할 수 있는 것이 아니었다.
ICP 등록의 유리 클로스에도 날실보다 씨실 쪽이 굵은 유리 클로스로서, 1651(날실 G150, 씨실 G67, 두께 135㎛), 2125(날실 E225, 씨실 G150, 두께 91㎛), 2157(날실 E225, 씨실 G75, 두께 130㎛), 2165(날실 E225, 씨실 G150, 두께 101㎛), 2166(날실 E225, 씨실 G75, 두께 140㎛), 7635(날실 G75, 씨실 G50, 두께 201㎛), 7642(날실 G75, 씨실 G37, 두께 254㎛), 1657(날실 G150, 씨실 G67, 두께 150㎛), 3133(날실 E225, 씨실 G150, 두께 81㎛), 3323(날실 DE300, 씨실 E225, 두께 86㎛), 7640(날실 G75, 씨실 G50, 두께 249㎛), 7669(날실 G75, 씨실 G67, 두께 178㎛), 7688(날실 G75, 씨실 G67, 두께 190㎛), 1165(날실 D450, 씨실 G150, 두께 101㎛), 3132(날실 D450, 씨실 E225, 두께 71㎛)가 있는데, 모두 씨실에 필라멘트 직경 7㎛의 굵은 실을 이용한 두께 70㎛ 이상의 후지 유리 클로스뿐이다. 씨실에 날실보다 굵은 유리실을 이용하면, 두께를 얇게 하는 것이 곤란하고, 표면의 평활성도 부족하며, 또한 세로 방향과 가로 방향의 유리실의 강성이 다르기 때문에 치수 안정성이나 열팽창률 등의 보강 효과에 이방성이 발생하는 경향이 있는 것이 알려져 있고, 통상, 40㎛ 이하의 박지 유리 클로스에는 날실과 씨실에 동일한 유리실이 이용되고 있는 것이 현실이다.
날실과 씨실이 상이한 굵기의 실로 구성된 유리 클로스는 상기한 것 외에도 이하의 특허문헌 10 내지 15에 개시되어 있지만, 모두 인쇄 배선판의 치수 안정성과 그의 이방성이 개선된 것이 아니었다.
(3) 개섬 가공에 의해 실간격을 좁게 하여 실끼리의 구속성을 높인 유리 클로스는, 이하의 특허문헌 16 내지 19에 개시되어 있다. 이들 특허문헌에 개시되어 있는 유리 클로스는 유리실과 유리실의 간극이 작고, 그 변동도 작기 때문에 상기 간극에 존재하는 수지의 경화 수축의 변동이 감소되는 것, 및 날실과 씨실의 접촉 면적이 크고 서로의 실이 구속되어 있기 때문에 경화 수축에 대한 저항이 큼으로써 치수 안정성의 효과가 얻어지는 것이다.
그러나 날실 방향과 씨실 방향의 기계적 강도나 신장 특성은, 실의 강성이나 주름의 상태에도 영향을 받기 때문에, 개섬 처리에 의해 실간격을 좁게 하는 것만으로는 치수 변화율의 이방성 개선에 대하여 충분한 효과가 얻어지는 것이 아니었다.
이상과 같이 치수 변화의 이방성이 적고, 또한 휘어짐·비틀어짐이 없는 인쇄 배선판을 정밀도 높게 제조할 수 있는 40㎛ 이하의 유리 클로스는, 현재까지 얻을 수 없었던 것이 현실이고, 이러한 유리 클로스가 절실히 요구되고 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개소62-86029호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 공개평11-158752호 공보 특허문헌 3: 일본 특허 공개평9-316749호 공보 특허문헌 4: 일본 특허 공개평10-37038호 공보 특허문헌5: 일본 특허 공개평11-107112호 공보 특허문헌6: 일본 특허 제3897789호 공보 특허문헌7: 일본 특허 공개평5-64857호 공보 특허문헌8: 일본 특허 공개평5-5243호 공보 특허문헌9: 일본 특허 공개평7-292543호 공보 특허문헌10: 일본 특허 공개평10-245743호 공보 특허문헌11: 일본 특허 공개 제2005-126862호 공보 특허문헌12: 일본 특허 제3324916호 공보 특허문헌13 일본 특허 공개 제2003-171848호 공보 특허문헌14 일본 특허 공개 제2002-339191호 공보 특허문헌15 일본 특허 공개평9-143837호 공보 특허문헌16 일본 특허 제4200595호 공보 특허문헌17 일본 특허 공개 제2005-213656호 공보 특허문헌18 일본 특허 제3578466호 공보 특허문헌19 일본 특허 공개평11-107111호 공보
상기한 상황에서 본 발명이 해결하려고 하는 과제는, 인쇄 배선판의 치수 변화의 이방성 및 휘어짐·비틀어짐의 감소를 가능하게 하는 두께 40㎛ 이하의 유리 클로스, 상기 유리 클로스를 사용한 프리프레그 및 상기 프리프레그를 사용한 인쇄 배선판용 기판을 제공하는 것이다.
본 발명자들은 이러한 과제를 해결하기 위해 날실과 씨실로 구성되는 유리 클로스의 직물 구조가 인쇄 배선판의 치수 변화에 미치는 영향에 주목하여 예의 검토하고, 실험을 거듭한 결과, 씨실에 날실보다 필라멘트 직경이 굵은 유리실을 이용하고, 그 필라멘트 비를 특정 범위로 함으로써, 인장 하중이 걸렸을 때의 왜곡과, 그의 가로/세로 비가 특정 범위가 되고, 두께 40㎛ 이하의 박지의 유리 클로스에 있어서도 날실 방향 및 씨실 방향의 신장률의 이방성이 개선되는 것을 발견해, 이러한 지견에 기초하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
즉, 본 발명은 이하와 같은 것이다.
[1] 날실 및 씨실이 1.8×10-6㎏/m 이상 14×10-6㎏/m 이하의 유리실로 구성되며, 상기 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 상기 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비가 1.01 이상 1.27 미만이고, 두께가 10㎛ 이상 40㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 유리 클로스.
[2] 날실 및 씨실이 1.8×10-6㎏/m 이상 8×10-6㎏/m 이하의 유리실로 구성되는, 상기 [1]에 기재된 유리 클로스.
[3] 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비가 1.01 이상 1.20 미만인, 상기 [1] 또는 [2]에 기재된 유리 클로스.
[4] 날실의 필라멘트 수에 대한 씨실의 필라멘트 수의(가로/세로) 비가 0.8 이상 1.2 이하인, 상기 [1] 내지 [3] 중 어느 한 항에 기재된 유리 클로스.
[5] 날실의 부피에 대한 씨실의 부피의(가로/세로) 비가 0.75 이상 1.15 이하인, 상기 [1] 내지 [4] 중 어느 한 항에 기재된 유리 클로스.
[6] 유리 클로스의 폭 25㎜당 5N의 하중을 씨실 방향으로 걸었을 때에 생기는 씨실 방향의 신장률과, 상기 하중을 날실 방향으로 걸었을 때에 생기는 날실 방향의 신장률이 모두 0.25％ 이하이고, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의 비(가로/세로 비)가 0.5 이상 1.3이하인, 상기 [1] 내지 [5] 중 어느 한 항에 기재된 유리 클로스.
[7] 상기 [1] 내지 [6] 중 어느 한 항에 기재된 유리 클로스와 반경화 상태의 매트릭스 수지를 포함하는 인쇄 배선판용 프리프레그.
[8] 상기 [7]에 기재된 인쇄 배선판용 프리프레그를 이용하여 제작된 인쇄 배선판.
본 발명에 따르면, 날실 방향 및 씨실 방향의 신장률의 이방성이 개선된, 굴곡이나 정렬의 어긋남이 적은, 40㎛ 이하의 유리 클로스를 제공할 수 있다. 상기 유리 클로스를 사용함으로써 치수 변화의 이방성이 작고, 휘어짐·비틀어짐이 적은 박형의 인쇄 배선판을 제공할 수 있다.
[도1] 1000 타입의 신장 특성의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
[도2] 1017 타입의 신장 특성의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
[도3] 1027 타입의 신장 특성의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
[도4] 1037 타입의 신장 특성의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
[도5] 1067 타입의 신장 특성의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
[도6] 실시예 3(유리 클로스 C)의 신장 특성의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
[도7] 실시예 8(유리 클로스 H)의 신장 특성의 측정 결과를 나타내는 그래프이다.
이하, 본원 발명을 상세히 설명한다.
인쇄 배선판의 치수 변화를 작게 하여, 그의 세로·가로 이방성을 작게 하기 위해서는, 보강재인 유리 클로스의 인장 응력에 대한 내성을 강하게 하고, 동시에 그의 세로·가로 이방성을 작게 하는 방법이 유효하다. 유리 클로스는 직물 구조를 하고 있기 때문에, X-Y 면의 한 방향의 장력에 대하여 신장하는 특성을 갖고 있지만, 그 신장량은 구성하는 유리실의 강성에 유래되는 보강 효과와 더불어 유리실의 주름 상태에 의존하는 부분이 크다. 따라서 유리 클로스를 구성하는 유리실의 강성과 실의 주름의 균형을 조정하여, X-Y 면의 신장 특성을 최적화하는 것이, 인쇄 배선판의 치수 안정성을 개선하는 방법의 하나라고 말할 수 있다.
도 1 내지 5에 종래의 박지 유리 클로스로서 인쇄 배선판에 많이 이용되고 있는 1000(두께 12㎛), 1017(두께 14㎛), 1027(두께 19㎛), 및 1037(두께 27㎛), 1067(두께 35㎛) 타입의 유리 클로스에 대해서, 신장 특성의 측정 결과를 나타낸다. 또한, 이들로 대표되는 40㎛ 이하의 박지 유리 클로스는 필라멘트 직경 5㎛ 이하의 가는 실로 구성되고, 또한 날실과 씨실은 동일 필라멘트 직경의 유리실로 구성되어 있지만, 이것은 (1) 날실, 씨실 모두 가는 실을 이용하여 얇은 유리 클로스를 얻는다(날실과 씨실의 굵기가 상이하면, 유리 클로스의 두께는 굵은 쪽의 실로 잡아당겨져 두꺼워진다), (2) 표면 평활성을 올린다, (3) 날실과 씨실에 강성이 동일한 유리실을 이용하여, 치수 안정성이나 열팽창률 등의 보강 효과를 날실 방향과 씨실 방향에서 동일하게 한다는 등의 목적에 의한 것이다.
도 1 내지 5로부터 알 수 있는 바와 같이, 종래의 박지 유리 클로스는 동일 인장 하중을 걸었을 때에 씨실 방향이 날실 방향보다 크게 신장하는 특징을 갖고 있고, 그 비는 하중 5N일 때에 1000, 1017, 1027, 1037, 1067 타입에서 각각 1.31, 1.50, 1.44, 1.79, 1.50으로 컸다. 이것은 종래 유리 클로스가 날실과 씨실에 동일 유리실을 이용하고 있음에도 불구하고, 씨실이 날실보다도 주름 상태가 큰 것에서 유래되는 것이다. 이러한 주름 상태의 차는 상술된 바와 같이, 날실은 제직시에 장력으로 유지되고 있기 때문에 주름이 생기기 어렵고, 한편, 날실이 장력으로 유지되어 주름이 생기기 어려운 만큼, 씨실이 크게 주름이 생기기 때문에 발생하는 것이다. 즉, 종래 기술의 유리 클로스는 씨실 방향이 동일 인장 응력에서 신장하기 쉬운 특성을 갖고 있다. 이 때문에 인쇄 배선판 가공시의 치수 변화에 대한 보강 효과는 씨실 방향이 약해지는 경향이 있고, 치수 변화에 이방성이 생긴다는 문제가 있었다.
상술한 종래의 박지 유리 클로스에 대하여, 본 발명의 박지 유리 클로스는 씨실 방향의 신장률이 날실 방향의 신장률과 동등 이상으로 작은 것이 특징이고, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률이 바람직한(가로/세로) 비는 0.5 이상 1.3 이하이다. 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비가 바람직한 범위는 0.6 이상 1.2 이하이고, 보다 바람직한 범위는 0.7 이상 1.1 이하이다. 도 6과 7에 본원 발명의 유리 클로스의 일례로서 실시예 3(두께 19㎛), 실시예 8(두께 29㎛)의 신장 특성 측정 결과를 나타낸다. 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 각각 1.09와 1.06이고, 날실 방향과 씨실 방향의 신장 특성이 동등하다.
여기서, 신장률이란 이하와 같이하여 구한 값이다.
유리 클로스에 날실 방향 또는 씨실 방향으로 장력을 걸었을 때의 신장량을, JIS R3420의 유리 시험 일반 시험법, 7.4 인장 강도의 항에 기재된 방법을 준용하여 측정한다. 상기 JIS 규정의 방법에는 폭 약 30㎜, 길이 약 250㎜의 시험편을 직물의 날실 방향과 씨실 방향으로부터 채용하여, 상기 시험편의 양단부의 실을 풀어 폭 약 25㎜으로 하고, 약 150㎜의 시험편 처크 간격을 확보하여 처크부에 부착하고, 인장 속도 약 200㎜/분으로 인장하여, 파단 시의 하중을 구한다. 본 발명에서는 측정 정밀도를 향상시키기 위해서 인장 속도를 약 10㎜/분으로 하고, 채취하는 시험편의 폭을 약 35㎜, 길이를 약 175㎜, 시험편 처크 간격을 75㎜로 하는 것 이외에는, 상기 JIS 규정의 방법과 동일한 조건으로 인장 시험을 행하여, 유리 클로스의 폭 25㎜당 하중이 5N 작용했을 때의 변위량을 구하고, 하기 수학식 1을 이용하여 구한 값을 「신장률」이라고 정의한다.
<수학식 1>
신장률={(하중시의 간격-무하중시의 간격)/무하중시의 간격}×100
날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비가 상술한 범위에 있으면, 날실 방향과 씨실 방향의 보강 효과가 동등해지고, 적층판의 치수수축률의 등방성을 확보할 수 있기 때문에 바람직하다.
또한, 본 발명의 박지 유리 클로스는 씨실 방향의 신장률과 날실 방향의 신장률이 모두 작은 것도 특징이고, 씨실 방향과 날실 방향의 바람직한 신장률은 모두 0.25％ 이하이며, 보다 바람직한 신장률은 0.24％ 이하이고, 더욱 바람직한 신장률은 0.23％ 이하이다. 씨실 방향과 날실 방향의 신장률이 모두 0.25％ 이하이면, 씨실 방향, 날실 방향 모두 인쇄 배선판의 치수 변화를 작게 억제할 수 있기 때문에 바람직하다. 씨실 방향과 날실 방향의 신장률은 작은 쪽이 인쇄 배선판의 치수 변화를 작게 억제할 수 있어서 바람직한데, 유리 클로스가 직물 구조인 이상, 하한은 겨우 0.1％이다.
다음으로, 상술한 특성을 갖는 본 발명의 박지 유리 클로스에 대해서 설명한다. 우선, 본 발명의 유리 클로스는 두께가 10㎛ 이상 40㎛ 이하이다. 유리 클로스의 두께가 40㎛보다 얇으면, 목적으로 하는 두께의 인쇄 배선판을 얻을 수 있기 때문에 바람직하다. 강도의 관점에서 유리 클로스의 두께는 10㎛보다 두꺼운 것이 바람직하다. 두께 10㎛ 이상 40㎛ 이하의 범위에서, 실용상 문제가 없는 강도를 갖고, 또한 인쇄 배선판의 박형화의 요구에 부합하는 유리 클로스를 얻을 수 있으므로 바람직하다.
다음으로, 본 발명의 유리 클로스를 구성하는 날실 및 씨실은 1.8×10-6㎏/m 이상 14×10-6㎏/m 이하의 유리실이고, 바람직하게는 2.2×10-6㎏/m 이상 8.0×10-6㎏/m 이하이고, 더욱 바람직하게는 2.9×10-6㎏/m 이상 6.0×10-6㎏/m 이하이다. 구성하는 날실 및 씨실이 14×10-6㎏/m 보다 작으면, 두께 40㎛ 이하의 유리 클로스라도 실의 타입 갯수를 많이 할 수 있고, 그 결과 굴곡이나 정렬의 어긋남이 적은 유리 클로스가 얻어진다는 등의 점에서 바람직하다. 날실 및 씨실의 단위 길이 당의 무게는 작은 쪽이 실의 타입 갯수를 많게 할 수 있으므로 굴곡이나 정렬의 어긋남이 발생하기 어렵기 때문에 바람직한데, 유리 클로스의 강도의 관점에서, 1.8×10-6㎏/m 이상이 바람직하다. 구성하는 날실 및 씨실을 1.8×10-6㎏/m 이상 14×10-6㎏/m 이하의 유리실로 함으로써 굴곡이나 정렬의 어긋남이 적고, 실용적인 강도를 갖는 40㎛ 이하의 유리 클로스가 얻어지기 때문에 바람직하다.
또한, 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비가 1.01 이상 1.27 미만이고, 바람직하게는 1.05 이상 1.20 미만, 보다 바람직하게는 1.07 이상 1.17 미만이다. 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비가 1.01보다 크면, 씨실의 강성 쪽이 날실의 강성보다 강해지기 때문에, 제직 과정에서 장력이 걸려 유지되고 있는 날실과, 장력이 걸리지 않는 씨실의 주름이 동등하게 되고, 그 결과, 날실 방향과 씨실 방향의 기계적 강도가 동등하게 되어 등방성이 되기 때문에 바람직하다. 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비가 1.27 미만이면, 씨실의 강성과 날실의 강성의 비가 적절히 크기 때문에, 씨실의 기계적 강도가 날실의 기계적 강도와 동등하게 되어, 적층판으로 했을 때에 치수 안정성의 등방성이 우수하기 때문에 바람직하다. 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비가 1.01 이상 1.27 이하의 범위에 있을 때, 씨실의 강성 향상과 주름의 감소 및 날실의 주름의 증가가 적절해 져서, 적층판으로 했을 때에 치수 안정성의 등방성이 유지되는 범위에서 씨실의 기계적 강도가 날실과 동등 이상으로 되기 때문에 바람직하다.
또한, 본 발명의 유리 클로스를 구성하는 날실에 대한 씨실의 필라멘트 수의(가로/세로) 비는, 0.8 이상 1.2 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.85 이상 1.15 이하, 더욱 바람직하게는 0.9 이상 1.0 이하이다. 필라멘트 수의 비가 0.8 이상 1.2 이하에서, 날실 또는 씨실의 보강 효과가 너무 강해지지 않고서 인쇄 배선판의 치수 변화의 이방성을 개선할 수 있고, 또한 표면 평활성이 우수한 유리 클로스로 만들 수 있기 때문에 바람직하다.
또한, 유리 클로스의 두께는 실다발의 Z 방향의 필라멘트 분포가 적은 쪽이 얇게 되기 때문에 실다발은 충분히 확폭되어 있는 상태가 바람직하다. 그 때문에는 실다발의 필라멘트 수는 적은 쪽이 바람직한데, 유리실로서 취급하기 위해서는 적어도 50개는 필요하다. 따라서, 실다발이 충분히 확폭되어 두께가 얇은 유리 클로스를 구성하기 위해서는, 유리실의 필라멘트 수는 50개 이상 204개 이하가 바람직하고, 102개 정도가 보다 바람직하다.
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또한, 본 발명의 유리 클로스는 씨실의 타입 밀도에 대한 날실의 타입 밀도의(세로/가로) 비가 1.01 이상 1.65 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는1.08 이상 1.55 이하, 더욱 바람직하게는 1.1 이상 1.5 이하이다. 씨실의 타입 밀도에 대한 날실의 타입 밀도의(세로/가로) 비가 1.01 이상 1.65 이하의 범위이면, 씨실의 주름의 감소 및 날실의 주름의 증가가 적절하게 되어, 날실 방향과 씨실 방향의 보강 효과가 동등하게 되기 때문에 바람직하다.
또한, 본 발명의 유리 클로스는, 개섬 처리 등을 실시함으로써 구성하는 실의 편평화 가공을 행하는 것이 바람직하다. 편평화 가공을 행함으로써, 유리 클로스의 두께를 두껍게 하지 않고서 유리 충전량을 비교적 많게 할 수 있기 때문에, 유리 클로스 전체의 강성이 향상하고, 치수 수축의 이방성이 감소하는 방향으로 작용하기 때문에 바람직하다.
개섬 처리로서는 예를 들면, 수류 압력에 의한 개섬, 액체를 매체로 한 고주파의 진동에 의한 개섬, 면압을 갖는 유체의 압력에 의한 가공, 롤에 의한 가압에서의 가공 등을 들 수 있다. 이들 개섬 처리법 중에서는 수류 압력에 의한 개섬, 또는 액체를 매체로 한 고주파의 진동에 의한 개섬을 사용하는 것이, 균일성을 위해 보다 바람직하다. 또한, 편평화 가공의 효과를 높이기 위해서는, 반송을 위해 유리 클로스에 관한 장력을 작게 한 상태에서 개섬 처리 등을 실시하는 것이 바람직하다.
또한, 유리실에 윤활제의 특성을 나타내는 유기물이 부착된 상태의 유리 클로스, 또는 통상의 유리 클로스를 제직할 때에 사용되는 결합제, 호제(糊劑; sizing agent) 등이 부착된 상태의 유리 클로스(이하, 「생기(生機; gray fabric)」라고 함)에서의 편평화 가공, 또는 이들 수법을 조합한 편평화 가공을 행하는 것은, 유리 클로스의 두께를 감소하는 효과가 크고, 유리 클로스의 두께를 두껍게 하지 않고서 충전할 수 있는 유리량을 많게 할 수 있기 때문에 바람직하다. 또한, 개섬 처리를 행한 후에 다음으로 진술하는 실란 커플링제에 의한 표면 처리를 실시하고, 또한 개섬 처리를 실시함으로써, 집속한 필라멘트 사이의 간극을 더욱 넓힐 수 있다.
여기서, 개섬 처리에 의해 실다발이 확폭된 상태가 되면, 수지 바니시의 함침성이 개선되기 때문에, 유리와 매트릭스 수지가 보다 균일하게 되어, 내열성 등이 향상되는 이점도 얻을 수 있다. 또한, 유리실의 분포가 균일하게 되기 때문에, 레이저 가공성(구멍 직경 분포의 균일성, 가공 속도 등)이 향상되는 이점도 얻어지므로 바람직하다.
본 발명의 유리 클로스를 구성하는 유리실은 특별히 한정되는 것은 아니고, 일반적으로 인쇄 배선판 용도에 이용되고 있는 E 유리(무알칼리 유리)를 사용할 수도 있고, 또는 D 유리, L 유리, NE 유리 등의 저유전율 유리, S 유리, T 유리 등의 고강도 유리, H 유리 등의 고유전율 유리 등을 사용할 수도 있다.
또한, 인쇄 배선판 등에 사용되는 적층판의 유리 클로스에는, 통상 실란 커플링제를 포함한 처리액에 의한 표면 처리가 실시되지만, 상기 실란 커플링제로서는 일반적으로 이용되는 실란 커플링제를 사용할 수 있고, 필요에 따라서 산, 염료, 안료, 계면 활성제 등을 첨가할 수도 있다.
본 발명의 유리 클로스를 이용한 프리프레그는 통상법에 따라서 제조할 수 있다. 예를 들면, 본 발명의 유리 클로스에 에폭시 수지와 같은 매트릭스 수지를 유기 용제로 희석한 바니시를 함침시킨 후, 건조로에서 유기 용제를 휘발시켜, 열경화성 수지를 B 스테이지 상태(반경화 상태)로까지 경화시켜 수지 함침 프리프레그를 제작하면 좋다. 이 때에 최대한 유리 클로스에 장력을 부여하지 않도록 하면, 더욱 치수 안정성이 우수한 프리프레그를 얻을 수 있기 때문에 보다 바람직하다.
매트릭스 수지로서는, 상술한 에폭시 수지 외에, 불포화 폴리에스테르 수지, 폴리이미드 수지, BT 수지, 시아네이트 수지 등의 열경화성 수지나, PPO 수지, 폴리에테르이미드 수지, 불소 수지 등의 열가소성 수지 또는 이들의 혼합 수지 등을 들 수 있다. 또한, 수지 중에 수산화 알루미늄 등의 무기 충전제를 혼재시킨 수지를 사용하더라도 상관없다.
또한, 본 발명의 프리프레그를 이용한 인쇄 배선판은 통상법에 따라서 제조할 수 있다. 예를 들면, 본 발명의 프리프레그를 단수 또는 복수매 적층하여 얻어진 적층판의 양면에 동박을 붙여 가열 가압하고, 경화시킨 동장 적층판을 제작하는 공정, 상기 동장 적층판의 양면에 동박으로 이루어지는 회로 패턴을 제조하는 공정, 이어서 관통 구멍을 형성하고, 상기 양면의 회로 패턴 사이의 전기적 접속을 확보하는 공정을 거쳐, 양면 인쇄 배선판을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 프리프레그를 레이저로 구멍 가공하여 IVH를 형성한 후, 도전성 페이스트에 의해 IVH를 충전하고 IVH 접속용의 중간 접속 프리프레그를 제조하여, 양면 인쇄 배선판 또는 양면 도체 배선 시트와 교대로 중첩하여 가열 가압 성형함으로써, 다층 인쇄 배선판으로 만드는 방법 등도 알맞게 사용할 수 있다.
이 때의 성형 조건으로서는, 가열온도가 100℃ 내지 230℃, 압력이 1MPa 내지 5MPa의 조건으로 하는 것이 바람직하고, 이 조건 하에 0.5시간 내지 2.0시간 유지하는 것이 바람직하다.
본 발명의 프리프레그로의 레이저에 의한 IVH 가공의 방법에 대해서는, 탄산 가스 레이저, YAG 레이저, 또는 엑시머 레이저 등의 가공 방법을 적절하게 사용할 수 있다. 또한 가열 가압, 레이저에 의한 IVH 가공의 전후에서 프리프레그의 보호 또는 가공성 향상 등을 위해 유기 필름 등을 프리프레그에 접합시켜 이용할 수도 있다. 이때의 유기 필름으로서는 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리프로필렌 필름, 폴리에틸렌 필름, 폴리 불화 에틸렌 필름 등을 사용할 수 있다.
또한, 형성된 IVH에 도전성 페이스트를 충전하는 경우, 구리·은 등의 공지된 각종 소재의 도전성 페이스트를 사용할 수 있다.
[실시예]
이하, 실시예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명한다.
실시예 및 비교예 중의 유리 클로스의 물성을 JIS R3420에 따라서 측정하였다. 또한, 유리 클로스의 날실 방향의 신장률 및 씨실 방향의 신장률은 JIS3420을 준용한, 상술한 방법에 따라서 측정하였다.
<실시예 1>
날실에 평균 필라멘트 직경 4.0㎛, 필라멘트 수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 3.4×10-6㎏/m의 유리실, 씨실에 평균 필라멘트 직경 4.5㎛, 필라멘트 수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 4.2×10-6㎏/m의 유리실을 사용하고, 에어제트룸을 이용하여 날실 75개/25㎜, 씨실 40개/25㎜의 직밀도로 유리 클로스를 제직하였다. 얻어진 생기에 400℃에서 24시간 가열 처리하여 탈호(脫糊)하였다. 이어서, 실란 커플링제인 SZ6032(도레이·다우코닝사 제조)를 이용한 처리액에 유리 클로스를 침지하여 교액(絞液)한 후, 120℃에서 1분 건조하고, 이어서 주상(柱狀) 흐름에 의한 개섬 가공을 실시하여, 중량 15g/㎡, 두께 17㎛의 유리 클로스 A를 얻었다. 유리 클로스 A의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.21％, 0.25％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향 신장률의(가로/세로) 비는 1.30이고, 등방성이 우수한 것이었다.
매트릭스 수지로서, 저브롬화 비스페놀 A형 에폭시 수지(1121N-80M, DIC 가부시끼가이샤 제조) 80중량부, 크레졸노볼락형 에폭시 수지(N680-75M, DIC 가부시끼가이샤 제조) 20중량부, 디시안디아미드 2중량부, 2-에틸-4-메틸이미다졸 0.2중량부, 2-메톡시-에탄올 200중량부를 배합하여 에폭시 수지 바니시를 조합하였다. 상기 에폭시 수지 바니시에 유리 클로스 A를 침지하여, 슬릿으로 여분의 바니시를 긁어떨어뜨린 후, 125℃의 오븐 내에서 10분간 건조하여, 상기 에폭시 수지를 반경화(B 스테이지화)시켜 프리프레그 A를 얻었다. 상기 프리프레그 A를(340㎜×340㎜의 크기로 컷팅하고, 이어서 양 표면에 두께 12㎛의 동박을 배치한 후, 175℃, 40㎏f/㎠로 압축 성형하여 기판 A를 얻었다.
얻어진 기판 A에, 125㎜ 간격이 되도록 세로 방향 3개소×가로 방향 3개소의 합계 9개소에 표점을 붙였다. 그리고 세로 방향, 가로 방향의 각각에 대하여, 인접하는 2표점의 표점 간격 6개소를 측정하였다(측정치a). 다음으로 에칭 처리에 의해서 강철박을 제거하고, 170℃에서 30분 가열한 후, 상기 표점 간격을 재차 측정하였다(측정치b). 세로 방향, 가로 방향 각각에 대하여 측정치 a와 측정치 b의 차의 측정치 a에 대한 비율을 산출하여, 그 6개의 값의 평균치를 세로 방향, 가로 방향의 치수 변화율(％)로 하였다.
기판 A의 치수 변화율은 세로 방향 -0.021％, 가로 방향 -0.042％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 2>
씨실의 직밀도를 48개/25㎜로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 18g/㎡, 두께 18㎛의 유리 클로스 B를 얻었다. 유리 클로스 B의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.20％, 0.24％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.20이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 B의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 B의 치수 변화율은 세로 방향 -0.014％, 가로 방향 -0.035％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 3>
씨실의 직밀도를 60개/25㎜으로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 20g/㎡, 두께 19㎛의 유리 클로스 C를 얻었다. 유리 클로스 B의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.21％, 0.22％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.09이고, 등방성이 우수한 것이었다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 C의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 C의 치수 변화율은 세로 방향 -0.016％, 가로 방향 -0.031％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 4>
씨실의 직밀도를 67개/25㎜로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 21g/㎡, 두께 21㎛의 유리 클로스 D를 얻었다. 유리 클로스 B의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.21％, 0.20％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 0.95이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 D의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 D의 치수 변화율은 세로 방향 -0.018％, 가로 방향 -0.025％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 5>
씨실의 직밀도를 72개/25㎜로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하고, 중량 23g/㎡, 두께 25㎛의 유리 클로스 E를 얻었다. 유리 클로스 B의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.23％, 0.18％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 0.78이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 E의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 E의 치수 변화율은 세로 방향 -0.019％, 가로 방향 -0.029％이고, 치수 변화율 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 6>
씨실에 평균필라멘트 직경 4.5㎛, 필라멘트 수 50개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 2.1×10-6㎏/m의 유리실을 사용하여, 씨실의 직밀도를 135개/25㎜로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 19g/㎡, 두께 21㎛의 유리 클로스 F를 얻었다. 유리 클로스 F의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.20％, 0.25％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.25이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 F의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 F의 치수 변화율은 세로 방향 -0.024％, 가로 방향 -0.044％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 7>
씨실에 평균 필라멘트 직경 4.5㎛, 필라멘트 수 200개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 8.4×10-6㎏/m의 유리실을 사용하여, 씨실의 직밀도를 33개/25㎜로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 21g/㎡, 두께 38㎛의 유리 클로스 G를 얻었다. 유리 클로스 G의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.24％, 0.29％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 0.79이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 G의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 G의 치수 변화율은 세로 방향 -0.026％, 가로 방향 -0.033％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 8>
날실에 평균 필라멘트 직경 4.5㎛, 필라멘트 수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 4.2×10-6㎏/m의 유리실, 씨실에 평균 필라멘트 직경 5.0㎛, 필라멘트수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 5.6×10-6㎏/m의 유리실을 사용하여, 날실 70개/25㎜, 씨실 58개/25㎜의 직밀도로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 24g/㎡, 두께 27㎛의 유리 클로스 H를 얻었다. 유리 클로스 H의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.23％, 0.24％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.06이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 H의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 H의 치수 변화율은 세로 방향 -0.034％, 가로 방향 -0.039％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 9>
날실의 직밀도를 90개/25㎜, 씨실의 직밀도를 63개/25㎜로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 28g/㎡, 두께 28㎛의 유리 클로스 I를 얻었다. 유리 클로스 I의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.17％, 0.18％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.06이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 G의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 G의 치수 변화율은 세로 방향 -0.007％, 가로 방향 -0.009％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 10>
씨실의 직밀도를 73개/25㎜으로 하는 것 이외에는, 실시예 9와 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 30g/㎡, 두께 29㎛의 유리 클로스 J를 얻었다. 유리 클로스 J의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.19％, 0.16％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 0.84이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 9와 같은 방법으로 기판 J의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 J의 치수 변화율은 세로 방향 0.003％, 가로 방향 -0.012％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<실시예 11>
날실에 평균 필라멘트 직경 5㎛, 필라멘트 수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 5.6×10-6㎏/m의 유리실, 씨실에 평균 필라멘트 직경 6.0㎛, 필라멘트 수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 8.3×10-6㎏/m의 유리실을 사용하여, 날실 70개/25㎜, 씨실 51개/25㎜의 직밀도로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 32g/㎡, 두께 36㎛의 유리 클로스 K를 얻었다. 유리 클로스 K의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.23％, 0.25％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.09이고, 등방성이 우수하였다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 K의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 K의 치수 변화율은 세로 방향 -0.024％, 가로 방향 -0.029％이고, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 작았다.
<비교예 1>
날실, 씨실 모두 평균 필라멘트 직경 4㎛, 필라멘트 수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 3.4×10-6㎏/m의 유리실을 사용하여, 날실 75개/25㎜, 씨실 75개/25㎜의 직밀도로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 20g/㎡, 두께 20㎛의 유리 클로스 L을 얻었다(날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로)비=1.00). 유리 클로스 L의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.19％, 0.28％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.44이고, 씨실 방향의 신장률이 날실의 신장률에 비하여 현저하게 컸다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 L의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 L의 치수 변화율은 세로 방향 -0.024％, 가로 방향 -0.059％이고, 세로 방향과 가로 방향의 이방성이 컸다.
<비교예 2>
날실, 씨실 모두 평균 필라멘트 직경 4.5㎛, 필라멘트 수 100개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 4.2×10-6㎏/m의 유리실을 사용하여, 날실 70개/25㎜, 씨실 73개/25㎜의 직밀도로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 24g/㎡, 두께 26㎛의 유리 클로스 M을 얻었다(날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비= 1.00). 유리 클로스 M의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.16％, 0.29％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.82이고, 씨실 방향의 신장률이 날실의 신장률에 비하여 현저히 컸다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 M의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 M의 치수 변화율은 세로 방향 -0.075％, 가로 방향 -0.068％이고, 치수 변화율이 컸다.
<비교예3>
날실에 평균 필라멘트 직경 7.0㎛, 필라멘트 수 200개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 22×10-6㎏/m의 유리실, 씨실에 평균 필라멘트 직경 9.0㎛, 필라멘트 수 200개, 꼬임수 1.0Z, 단위 길이당 중량 33×10-6㎏/m의 유리실을 사용하여, 날실 60개/25㎜, 씨실 52개/25㎜의 직밀도로 하는 것 이외에는, 실시예 1과 같은 방법으로 유리 클로스의 제직과 그것에 이은 처리를 행하여, 중량 113g/㎡, 두께 96㎛의 유리 클로스 N을 얻었다(날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의(가로/세로) 비= 1.29, 날실, 씨실 모두 단위 길이 대해 중량 14×10-6㎏/m 초). 유리 클로스 N의 날실 방향의 신장률, 씨실 방향의 신장률은 5N 시점에서 각각 0.26％, 0.32％, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의(가로/세로) 비는 1.23이고, 씨실 방향의 신장률이 날실의 신장률에 비하여 현저히 컸다.
이어서, 실시예 1과 같은 방법으로 기판 N의 제작과 치수 변화율의 측정을 실시하였다. 기판 N의 치수 변화율은, 세로 방향 -0.085％, 가로 방향 -0.098％이고, 치수 변화율이 크며, 치수 변화율, 세로 방향과 가로 방향의 이방성 모두 컸다.
본 발명에 따른 유리 클로스를 이용함으로써 치수 변화의 이방성이 적고, 또한 휘어짐·비틀어짐이 없는 인쇄 배선판을 제조할 수 있다.

Claims (8)

  1. 날실 및 씨실이 1.8×10-6㎏/m 이상 14×10-6㎏/m 이하의 유리실로 구성되며, 상기 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 상기 씨실의 평균 필라멘트 직경의 비가 1.11 이상 1.27 미만이고, 두께가 10㎛ 이상 40㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 유리 클로스.
  2. 제1항에 있어서, 날실 및 씨실이 1.8×10-6㎏/m 이상 8×10-6㎏/m 이하의 유리실로 구성되는 유리 클로스.
  3. 제1항에 있어서, 날실의 평균 필라멘트 직경에 대한 씨실의 평균 필라멘트 직경의 비가 1.11 이상 1.20 미만인 유리 클로스.
  4. 제1항에 있어서, 날실의 필라멘트 수에 대한 씨실의 필라멘트 수의 비가 0.8 이상 1.2 이하인 유리 클로스.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 유리 클로스의 폭 25㎜당 5N의 하중을 씨실 방향으로 걸었을 때에 생기는 씨실 방향의 신장률과, 상기 하중을 날실 방향으로 걸었을 때에 생기는 날실 방향의 신장률이 모두 0.25％ 이하이고, 날실 방향의 신장률에 대한 씨실 방향의 신장률의 비가 0.5 이상 1.3 이하인 유리 클로스.
  7. 제1항 내지 제4항 및 제6항 중 어느 한 항에 기재된 유리 클로스와 반경화 상태의 매트릭스 수지를 포함하는 인쇄 배선판용 프리프레그.
  8. 제7항에 기재된 인쇄 배선판용 프리프레그를 이용하여 제작된 인쇄 배선판.
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