KR101098067B1 - 기판을 건조하는 방법 및 시스템 - Google Patents

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Abstract

액체 이머션 리소그래피에 후속하여 기판 상의 박막을 건조시키기 위한 방법 및 시스템이 개시되어 있다. 박막에서 침지 유체를 제거하기 위해 박막을 건조하는 단계가 박막을 베이킹하는 단계 전에 이루어짐으로써, 베이킹 공정과 이머션 유체 간의 상호작용의 발생 관계를 줄일 수 있다. 이 상호작용은 현상 공정 후에 박막에 형성된 패턴의 임계 치수를 불균일하게 하는 것으로 알려져 있다.

Description

기판을 건조하는 방법 및 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR DRYING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 건조시키기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 이머션 리소그래피(immersion lithography) 중에 노광 후 기판을 건조하는 방법 및 시스템에 관한 것이다.
재료 처리 방법론에 있어서, 패턴 에칭은 포토레지스트 등의 감방사선 재료의 패터닝된 마스크를 기판의 상면 상의 박막에 부착하는 단계와, 그 마스크 패턴을, 에칭함으로써 그 밑에 있는 박막에 전사하는 단계를 포함한다. 감방사선 재료의 패터닝은 일반적으로 기판의 상면을 박막의 감방사선 재료로 코팅한 후, 그 감방사선 재료의 박막을, 예컨대 포토리소그래피 시스템을 이용하여 레티클(및 관련된 옵틱스)을 통해 방사선 광원에 노광시키는 것을 필요로 한다. 이 때, 현상 공정이 이루어지고, 그 과정에서, 기본적인 현상액이나 용제를 이용하여, 감방사선 재료의 조사 영역이 제거(포지티브 레지스트의 경우)되거나, 비조사 영역이 제거(네거티브 레지스트의 경우)된다. 남아있는 감방사선 재료는 표면이 에칭되기로 된 패턴에서 그 밑에 있는 기판 표면을 노광시킨다. 전술한 재료 처리 방법론을 수행하기 위한 포토리소그래피 시스템은 최근 30년간 반도체 장치 패터닝의 주 흐름이 되고 있으며, 그 역할이 65 nm 이하의 해상도까지 계속될 것으로 예상되고 있다.
포토리소그래피 시스템의 해상도(r0)는 그 시스템을 이용해서 제조할 수 있는 디바이스의 최소 사이즈를 결정한다. 소정의 리소그래피 상수를 k1이라고 할 때, 해상도는 다음의 수학식 1에 의해 주어진다.
Figure 112011023772355-pat00001
여기서, λ는 사용 파장이고, NA는 다음의 수학식 2에 의해 주어지는 개구수이다.
Figure 112011023772355-pat00002
각도 θ0는 시스템의 반개구 각(angular semi-aperture)이고, n은 패터닝되는 기판과 시스템 간의 공간을 채우는 재료의 굴절율이다.
수학식 1에 이어서 설명하면, 종래의 해상도 향상 방법은 포토리소그래피 기술에서 3가지 경향을 이끌고 있는데, 이 경향은 (1) 수은 g라인(436 nm)으로부터 193 nm 엑시머 레이저까지, 더 나아가 157 nm까지의 파장(λ) 및 여전히 개발중인 극자외선(EUV) 파장의 감소; (2) 리소그래피 상수 k1를 약 0.6의 값에서 0.4에 가까운 값으로 감소시키는 오프축 조사의 구현, 및 상 변환 마스크와 같은 해상도 향상 기술(RET : Resolution Enhancement Technique)의 구현; 및 (3) 광학 설계, 제조 기술 및 계측학에서의 향상을 통한 개구수(NA)의 증가이다. 이들 후자의 향상은 NA를 약 0.35에서부터 0.75보다 큰 값으로 증가시키며, 몇년 지나지 않아 0.85로 증가할 것으로 예상된다. 그러나, 수학식 2에서 알 수 있는 바와 같이, 종래의 자유 공간(free-space) 광학 시스템(즉, n=1)에서는 NA를 1 이하의 값으로 한정하는 이론상의 제한이 있다.
이머션 리소그래피는 리소그래피 시스템 등의 광학 시스템의 NA를 증가시키키 위한 또다른 가능성을 제공한다. 이머션 리소그래피에서는 기판을 고굴절율의 유체(즉, 침지 매질이라고도 함)에 침지함으로써, 최종 광학 소자와 기판 사이에 있는 공간을 고굴절율의 유체(즉, n>1)로 채운다. 따라서, 침지 공정은 NA를 1이라는 자유 공간 이론상의 제한[수학식 1과 수학식 2를 참조]을 넘어 증가시킬 수 있는 가능성을 제공한다.
본래 저가의 비용, 현재의 노광 툴에 대한 상대적으로 용이한 구현, 및 합리적인 공정 관용도로 매우 높은 해상도를 달성할 수 있는 높은 가능성으로 인해, 액체 이머션 리소그래피는 65 nm, 45 nm, 및 그 이하로 작아지는 반도체 패터닝 기술에 대해 매우 유망한 후보로서 대두되고 있다. 그러나, 이머션 리소그래피 기술은 아직 광학적 단점(마이크로 버블 등)이 없는 현재 및 미래의 포토레지스트와 양립하며 충분히 투명한 침지 유체의 선택, 및 기존의 노광 시스템 및 트랙 시스템과의 통합을 용이하게 하는 침지 공정의 선택을 비롯한 다수의 난제에 여전히 직면해 있다. 더욱이, 액체를 포토리소그래피 공정에 도입하는 것과 관련된 문제를 확인해야 하며, 그러한 문제를 해결하거나 줄일 수 있는 새로운 시스템 구성요소 및 방법을 개발해야 한다.
본 발명의 일 목적은 전술한 이머션 리소그래피 기술의 난제의 일부 또는 전부를 해결하고자 함이다.
본 발명의 또 다른 목적은 액체를 포토리소그래피 공정에 도입하는 것과 관련된 문제를 확인하여 그러한 문제를 해결 또는 줄일 수 있는 시스템 구성요소 및/또는 공정 단계를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 이머션 리소그래피에 의해 박막에 형성된 패턴의 균일성을 향상시키는 것이다.
이머션 리소그래피에 후속하여 기판을 건조하는 방법 및 시스템을 개시한다.
본 발명의 이러한 목적 및 다른 목적은 액체 이머션 리소그래피에 후속하여 기판 상의 노광된 박막을 처리하는 방법 및 시스템에 의해 제공된다. 이 방법은 기판 상의 노광된 박막으로부터 침지 유체를 제거하기 위해 기판을 건조하는 단계를 포함한다.
다른 양태에 있어서, 포토리소그래피를 이용하여 패턴을 기판 상의 감방사선 재료의 박막에 전사하는 방법은 상기 박막을 액체 이머션 시스템에서 방사선 광원에 노광시키는 단계와, 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 노광에 후속하여 기판을 건조하는 단계를 포함한다.
다른 양태에 있어서, 기판을 패터닝하는 방법은 감방사선 재료의 박막을 기판 상에 형성하는 단계와, 상기 박막을 액체 이머션 리소그래피 시스템에서 패턴에 노광시키는 단계와, 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 노광 단계에 후속하여 기판을 건조하는 단계와, 건조 단계에 후속하여 기판을 베이킹하는 단계와, 기판을 현상액에 드러냄으로써 기판 상의 박막을 현상하여 박막에 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
다른 양태에 있어서, 반도체 제조용 기판 상에 감방사선 재료를 패터닝하는 시스템은, 박막을 패턴에 노광시키도록 구성되어 있는 액체 이머션 리소그래피 시스템과, 그 액체 이머션 리소그래피 시스템에 연결되어 있으며, 노광 전에 상기 기판을 상기 박막으로 코팅하고, 노광 후에 상기 박막에 패턴을 현상하도록 구성되어 있는 트랙 시스템, 및 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템과 트랙 시스템 중 적어도 하나에 연결되어 있고 박막으로부터 유체를 실질적으로 제거하도록 구성되어 있는 건조 시스템을 포함한다.
다른 양태에 있어서, 기판 상의 감방사선 재료의 박막 상에 패턴을 조사하는 시스템은, 기판 상의 박막을 패턴에 노광시키도록 구성되어 있는 액체 이머션 리소그래피 시스템과, 액체 이머션 리소그래피 시스템에 연결되어 있으며, 노광 후에 박막을 건조시키도록 구성된 건조 시스템을 포함한다.
본 발명에 따르면, 전술한 이머션 리소그래피 기술의 난제의 일부 또는 전부를 해결할 수 있다.
본 발명에 따르면, 액체를 포토리소그래피 공정에 도입하는 것과 관련된 문제를 확인하여 그러한 문제를 해결 또는 줄일 수 있는 시스템 구성요소 및/또는 공정 단계를 제공할 수 있다.
본 발명에 따르면, 이머션 리소그래피에 의해 박막에 형성된 패턴의 균일성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 패터닝 시스템의 개략도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 패터닝 시스템의 개략도를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 패터닝 시스템의 개략도를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건조 시스템을 도시하고 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따라 기판을 패터닝하는 방법을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 실시예가 구현될 수 있는 컴퓨터 시스템을 나타낸다.
본 발명의 실시예들을 첨부 도면을 참조하여 이하에서 상세하게 설명한다. 본 발명에 따른 실시예로서, 전자 디바이스 제조용 반도체 기판 등의, 기판 상의 박막에 패턴을 형성하는 패터닝 시스템을 이하에서 설명한다.
화학 증폭형(chemically amplified) 포토레지스트 등의 감방사선 재료의 박막을 패터닝하는데 이용되는 종래의 리소그래피 공정에서는 기판이 감방사선 재료의 박막으로 코팅되고, 그 박막은 도포 후 베이크(PAB: post-application bake) 시에 경화된다. 경화된 박막은 리소그래피 시스템에서 패턴에 대해 노광된 후, 예컨대 산의 확산을 증진시켜 해상도를 제어하고, 패턴 측벽의 수직 측면에 형성된 정재파를 제거하기 위하여 노광 후 베이크(PEB : post-exposure bake) 시에 경화된다. 이 후, 노광된 박막은 현상액에서 현상되고, 임의의 결함을 없애기 위해 린스된다. 이러한 종래의 리소그래피 공정을 이용하는 현재의 집적 회로(IC) 제조 방식에서는, 0.15 미크론에서의 패터닝 기술이 평방 센티미터당 약 2천만개의 트랜지스터를 달성할 것으로 기대된다. 트랜지스터를 마련하기 위한 실리콘 기판 상의 정사각형 부분의 실질 영역을 생각할 때, 상기 방식은 약 2200 nm의 측면 치수로 된다.
65 nm 미만의 임계 치수에 대한 고급 리소그래피 기술(액체 이머션 기술 등)의 출현으로, 종래의 포토리소그래피에 대한 상기 결과를 어림함으로써 트랜지스터의 측면 치수를 1000 nm 미만으로 달성하는 것이 가능하다. 그러나, 액체 이머션 리소그래피 공정을 평가할 때, 본 발명자들은 전술한 종래의 PEB 단계를 이용하여 액체 이머션 리소그래피를 수행하면 패터닝된 박막의 불균일 특성을 초래한다고 판단하였다. 구체적으로 설명해서, 본 발명자들은, 액체 이머션 리소그래피 시스템을 이용하는 경우에, 기판 상의 노광된 박막은 그 표면 상에 일부 침지 유체를 보유하고 있고, 그 유체는 대개 평평한 면 상에서의 유체의 불안정한 운동으로 인해 표면 상에 불균일하게 분포되어 있는 것을 발견하였다. 기판이 노광 시스템에서 배출되어 PEB 시스템으로 전달되면, 불균일하게 분포된 침지 유체와 베이크 공정 간의 후속의 상호작용에 의해, 박막에 형성된 패턴이 불균일하게 분포하게 된다.
보다 구체적으로 설명해서, 본 발명자들은 불균일하게 분포된 침지 유체가 베이크 공정 시에 불균일한 온도 분포에 영향을 끼쳐, 결국 박막에 형성된 패턴의 임계 치수(CD : critical dimension)가 불균일하게 분포된다는 것을 발견하였다. 예를 들어, 과잉 침지 유체가 유지되는 영역에서는 박막의 다른 영역에 비해, PEB 공정 시에 박막 온도의 저하가 예상된다. 이에, 산 확산의 증진이 다른 영역과 상이한 박막의 영역을 국소화함으로써 해상도 제어를 저하시키고 박막의 국소화된 영역에 수직 측면 정재파를 허용하게 된다. 또한 기판 상에 형성된 실제 디바이스의 특성을 불균일하게 한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 도 1은 전술한 확인된 문제들의 일부 또는 전부를, 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 노광 후 기판을 건조시킴으로써 줄이거나 없애는, 액체 이머션 리소그래피를 이용하여 기판을 패터닝하는 패터닝 시스템을 나타내고 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 패터닝 시스템(1)은 트랙 시스템(10)과, 그 트랙 시스템(10)에 연결되어 있는 액체 이머션 리소그래피 시스템(20), 및 트랙 시스템(10)과 액체 이머션 리소그래피 시스템(20) 중 적어도 하나에 연결되어 있는 건조 시스템(30)을 포함한다. 또한, 트랙 시스템(10), 액체 이머션 리소그래피 시스템(20) 및 건조 시스템(30)에 연결되어 있는 컨트롤러(40)는 예컨대 각 확인된 시스템을 공정 레시피에 따라 제어하도록 구성될 수 있다.
한편, 도 2에 도시하는 바와 같이, 패터닝 시스템(100)은 트랙 시스템(110)과, 이 트랙 시스템(110)에 연결되어 있는 액체 이머션 리소그래피 시스템(120), 및 트랙 시스템(110)과 액체 이머션 리소그래피 시스템(120) 중 적어도 하나에 연결되어 있는 건조 시스템(130)을 포함하고, 건조 시스템(130)은 트랙 시스템(110)의 부분에 배치된다. 또한, 트랙 시스템(110)과, 액체 이머션 리소그래피 시스템(120) 및 건조 시스템(130)에 연결되어 있는 컨트롤러(140)는 예컨대 각 확인된 시스템을 공정 레시피에 따라 구성될 수 있다.
한편, 도 3에 도시하는 바와 같이, 패터닝 시스템(200)은 트랙 시스템(210)과, 이 트랙 시스템(210)에 연결되어 있는 액체 이머션 리소그래피 시스템(220), 및 트랙 시스템(210)과 액체 이머션 리소그래피 시스템(220) 중 적어도 하나에 연결되어 있는 건조 시스템(230)을 포함하고, 이 건조 시스템(230)은 액체 이머션 리소그래피 시스템(220)의 부분에 배치된다. 또한, 트랙 시스템(210), 액체 이머션 리소그래피 시스템(220), 및 건조 시스템(230)에 연결될 수 있는 컨트롤러(240)는 예컨대 각 확인된 시스템을 공정 레시피에 따라 제어하도록 구성될 수 있다.
트랙 시스템(10, 110, 210)은 감방사선 재료의 박막에 패턴을 형성하는데 사용되는 복수의 유닛을 포함할 수 있다. 트랙 시스템(10, 110, 210)은 100 nm, 200 nm, 300 nm 및 그 이상의 기판 사이즈를 처리하도록 구성될 수 있다. 더욱이, 트랙 시스템(10)은 248 nm 레지스트, 193 nm 레지스트, 157 nm 레지스트, EUV 레지스트, (상면/하면) 비굴절 코팅(TARC/BARC), 및 상면 코팅을 처리하도록 구성될 수 있다. 트랙 시스템(10, 110, 210) 내에 있는 복수의 유닛은 막 코팅 유닛, 도포후 베이크(PAB) 유닛, 노광후 베이크(PEB) 유닛, 접착 코팅 유닛, 냉각 유닛, 세정(cleaning) 유닛, 린스(rinsing) 유닛, 현상 유닛, 및 기판을 유닛들과 기판 카세트에 대하여 운반하는 운반 시스템 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예컨대, 트랙 시스템(10)은 Tokyo Electron Limited(TEL)에서 시판하는 Clean Track ACT 8 또는 ACT 12 레지스트 코팅 및 현상 시스템을 포함할 수 있다. 기판 상에 포토레지스트막을 형성하기 위한 다른 시스템 및 방법은 스핀온(spin-on) 레지스트 기술 분야에 종사하는 당업자들에게 공지되어 있다.
계속 도 1 내지 도 3을 참조하게 되면, 액체 이머션 리소그래피 시스템(20, 120, 220)은 방사선 광원, 촬상 시스템, 스캐닝 시스템, 투사 렌즈 시스템, 및 기판 홀더 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예컨대, 액체 이머션 리소그래피 시스템은 Switkes 등이 출원한, 발명의 명칭이 "Methods and apparatus employing an index matching medium"인 미국 특허 출원 번호 2002/0163629A1에 개시되어 있는 시스템과 유사한 방법으로 구성될 수 있다. 부가해서, 예컨대 액체 이머션 리소그래피 시스템은, Straaijer 등(ASML Lithography B.V.에 양도)에게 허여된, 발명의 명칭이 "Lithographic scanning exposure projection apparatus"인 미국 특허 번호 5,986,752에 개시되어 있는 시스템과 유사한 방법으로 구성될 수 있으며, 또한 이 문헌에 개시된 리소그래피 시스템은 Hoffnagle이 Journal of Vacuum Science & Technology B 17(6), 3303-3309(1998)에 게재한 "Liquid immersion deep-ultraviolet interferometric lithography"와, Switkes & Rothschild이 Journal of Vacuum Science & Technology B 19(6), 2353-2356(2001)에 게재한 "Immersion lithography at 157 nm" 및 Owen 등이 Journal of Vacuum Science & Technology B 10(6), 3032-3036(1992)에 게재한 "1/8 mm optical lithography"에 보다 상세하게 기재되어 있는 바와 같이, 투사 렌즈 시스템과 기판 사이에 있는 공간에 침지 유체를 보유하도록 구성되어 있다. 또한, 예컨대 액체 이머션 리소그래피 시스템(20)은 임의의 적합한 종래의 스텝핑 리소그래피 시스템 또는 스캐닝 리소그래피 시스템으로부터 도출될 수 있다.
이전 설명은 반도체 제조에 있어서 패턴 전사를 위한 촬상 시스템을 참조하여 이루어진 것이지만, 액체 이머션 리소그래피 시스템(20)은 Hoffnagle 등(1999) 및 Switkes 등(2001)이 개시한 간섭 리소그래피 시스템을 포함할 수도 있다. 전술한 각 참조 문헌의 전체 내용은 여기에서의 인용에 의해 본 명세서에 포함되는 것으로 한다.
이제 도 4를 참조하면, 건조 시스템(30, 130, 230)은 건조 챔버(410)와 그 건조 챔버(410)에 연결되어 있으며 기판(430)을 지지하도록 구성되어 있는 기판 홀더(420)를 구비한 건조 유닛(400)을 포함한다. 또한, 기판 홀더(420)는 건조 공정 중에 기판(430)을 회전(또는 스핀)시키도록 구성되어 있다. 기판 홀더(420)에 연결되어 있는 드라이브 어셈블리(422)는 기판 홀더(420)를 회전하도록 구성되어 있다. 예컨대, 드라이브 어셈블리(422)는 기판 홀더 회전에 대해서 회전 속도 및 가속도를 설정하는 것을 허용한다. 또한, 건조 유닛(400)은 알코올(예컨대, 이소프로필 알코올) 등의 건조 유체를 기판 상에 분배하여 기판 상에서의 침지 유체의 배치를 돕는 유체 분배 시스템(440)을 더 포함할 수 있다. 더욱이, 건조 유닛(400)은 건조 유닛(410)과, 드라이브 어셈블리(422), 및 유체 분배 시스템(440)에 연결되어 있는 제어 시스템(450)을 포함할 수 있으며, 이 제어 시스템은 공정 레시피에 따라 건조 공정에 대한 하나 이상의 공정 단계를 실행하도록 구성될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 컨트롤러(40, 140, 240)는 마이크로프로세서와 메모리를 포함하고, 또한 트랙 시스템(10, 110, 210)과 액체 이머션 리소그래피 시스템(20, 120, 220)에 입력을 전달하고 활성화할 뿐만 아니라, 이들 시스템으로부터의 출력을 모니터하기에 충분한 제어 전압을 발생시킬 수 있는 디지털 I/O 포트(가능하다면, D/A 및/또는 A/D 컨버터를 포함)를 포함한다. 메모리에 저장된 프로그램은 저장된 공정 레시피에 따라 시스템(10, 20)과 상호 작용하는데 이용된다. 컨트롤러(40)의 일례는 미국 텍사스주 어스틴에 소재하는 Dell Corporation으로부터 입수 가능한 DELL PRECISION WORKSTATION 530(등록상표)이다. 또한, 컨트롤러(40)는 도 6에 대해서 설명하는 컴퓨터와 같은 범용 컴퓨터로서 구현될 수 있다.
컨트롤러(40)는 트랙 시스템(10)과 액체 이머션 리소그래피 시스템(20)에 대해 국부적으로 위치할 수 있으며, 즉 그것은 인터넷 또는 인트라넷을 통해, 트랙 시스템(10)과 액체 이머션 리소그래피 시스템(20)에 대해 원격으로 위치할 수 있다. 이에, 컨트롤러(40)은 직접 접속, 인트라넷 및 인터넷 중 적어도 하나를 이용해 트랙 시스템(10) 및 액체 이머션 리소그래피 시스템(20)과 데이터를 교환할 수 있다. 컨트롤러(40)는 고객 위치(즉, 디바이스 메이커 등)에 있는 인트라넷에, 또는 사업자 위치(즉, 기기 제조업자 등)에 있는 인트라넷에 연결될 수 있다. 더욱이, 다른 컴퓨터(즉, 컨트롤러, 서버 등)도 직접 접속, 인트라넷, 및 인터넷 중 적어도 하나를 통해 컨트롤러(40)에 액세스하여 데이터를 교환할 수 있다.
이제 도 5를 참조하면, 기판 상에서 박막을 패터닝하는 방법을 나타내고 있다. 도 5의 방법은 도 1 내지 도 4에 대하여 설명한 시스템 중 어느 하나에 의해 수행될 수 있다. 이 방법은 기판 상에 감방사선 재료의 박막을 형성하는 도면 부호 510에서 개시되는 흐름도(500)를 포함한다. 이 박막은 도 1 내지 도 3에 개시하는 것과 같은 트랙 시스템에 의해 채택된 스틴 코팅 기술을 이용해서 형성될 수 있다. 코팅 공정에 후속하여, 박막은, 예컨대 PAB 유닛에서 베이킹함으로써 경화될 수 있다.
도면 부호 520에서, 감방사선 재료의 박막은 전술한 시스템 중 어느 하나인 액체 이머션 리소그래피 시스템에서 패턴에 노광된다.
도면 부호 530에서, 방사선 노광에 후속하여, 기판 상의 박막은 도 4에 나타내는 것인 건조 시스템에서 건조된다. 건조 공정은 기판을 기판 홀더에 배치하는 단계와, 그 기판을 회전시키는 단계를 포함한다. 기판은 제1 회전 속도에서 가속될 수 있고, 침지 유체가 원심력에 의해서 박막의 표면에서 제거될 때까지 제1 시간 동안 스핀될 수 있다. 한편, 기판은 제1 회전 속도에서 가속될 수 있고, 제1 시간 동안 스핀된 후에, 제2 회전 속도로 가속 또는 감속되어 제2 시간 동안 스핀된다. 예컨대, 제1 회전 속도는 박막의 표면 전체에 걸쳐 침지 유체가 균일하게 덮이게 하기 위하여 저속의 회전 속도를 포함하고, 제2 회전 속도는 침지 유체를 스핀 오프하기 위하여 고속의 회전 속도일 수 있다. 한편, 건조 유체는 침지 유체를 배치하기 위하여 기판 회전시에 또는 기판을 회전시키지 않을 때에 박막의 표면 상에 분배될 수 있다. 건조 유체는 가스 상태이거나 액체 상태일 수 있다. 예컨대, 건조 유체는 이소프로필 알코올 등의 알코올을 포함할 수 있다. 그러나, 침지 유체보다 높은 기압을 가진 임의의 건조 유체를 이용하면 박막의 표면으로부터 침지 유체를 제거하는 것이 용이하다. 예컨대, 침지 유체는 193 nm 공정에서는 물을, 157 nm 공정에서는 PFPE(perfluoropolyether)을 포함할 수 있다.
도면 부호 540에서는, 예컨대 산 확산을 증진시켜 패턴 해상도를 제어하기 위하여 그리고 패턴 측벽의 수직 측면에 있는 정재파를 제거하기 위하여 박막을 PEB 유닛에서 열처리할 수 있다.
도면 부호 550에서는, 감방사선 재료의 조사 영역(포지티브 포토레지스트의 경우), 또는 비조사 영역(네거티브 포토레지스트의 경우)을 제거하기 위하여 기본 현상액 또는 용제에서 박막을 해상할 수 있다. 그런 후에, 박막의 현상된 패턴은 임의의 레지스트 결함, 오염 등을 제거하기 위하여 린스 또는 세정될 수 있다.
이에, 본 발명자들은 전술한 바와 같이 액체 이머션 리소그래피 중에 기판을 건조시키기 위한 시스템 및 공정을 개발하였다. 본 방법 또는 공정의 실시예에 의해 획득될 수 있는 한가지 장점은 이머션 리소그래피를 이용하여, 고밀도 집적 회로를 제공하면서, 그 집적 회로 전체에 걸쳐 소자의 균일성을 유지할 수 있는 점이다. 따라서, 본 발명은 반도체 집적 회로에 형성된 복수의 트랜지스터를 제공할 수 있고, 복수의 트랜지스터의 각각은 1000 nm 미만의 측면 치수를 갖고, 65 nm 미만의 임계 치수를 갖는 복수의 피쳐(feature)를 포함한다. 본 발명의 실시예에 의해 제공되는 그러한 집적 회로에 있어서, 복수의 피쳐 각각의 임계 치수는 실질적으로 전체 반도체 집적 회로를 걸쳐 거의 균일하다.
포토레지스트 기술에 관하여 건조 공정을 설명하지만, 이 공정은, 또한 MicroChemicals GmbH(독일 Ulm D-89077 Schillerstrasse 18에 소재)가 공급하는 Clariant AZ Aquatar ARC 등의 임의의 (상면) 반사 방지 코팅(TRAC), 콘트라스트 향상 재료, 또는 포토레지스트 층을 보호하기 위해, 즉 리소그래피 중에 박막 간섭을 제거하기 위해 사용되는 임의의 상면 코팅에 적용될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예가 구현될 수 있는 컴퓨터 시스템(1201)을 도시하고 있다. 전체적으로 또는 부분적으로 컴퓨터 시스템(1201)은 컨트롤러(40, 140, 240, 540)로서 이용되어 전술한 컨트롤러의 기능의 일부 또는 전부를 수행할 수 있다. 컴퓨터 시스템(1201)은 버스(1202)나 정보 통신용 기타 통신 메커니즘, 및 그 버스(1202)와 연결되어 있으며 정보를 처리하기 위한 프로세서(1203)를 포함한다. 또한, 컴퓨터 시스템(1201)은, 버스(1202)에 연결되어 있으며 프로세서(1203)가 실행할 정보 및 명령어를 기억하는 랜덤 액세스 메모리(RAM) 또는 기타 동적 기억 디바이스[예컨대, 동적 RAM(DRAM), 정적 RAM(SRAM), 및 동기 DRAM(SDRAM)] 등의 메인 메모리(1204)를 포함한다. 또한, 메인 메모리(1204)는 프로세서(1203)가 명령어를 실행하는 중에 임시 변수 또는 기타 중간 정보를 기억하는데 이용될 수 있다. 컴퓨터 시스템(1201)은, 버스(1202)에 연결되어 있으며 프로세서(1203)에 대한 정적 정보 및 명령어를 기억하는 판독 전용 메모리(ROM)(1205) 또는 기타 정적 기억 디바이스[예컨대, 프로그래머블 ROM(RPOM), 소거 가능한 PROM(EPROM), 및 전기적으로 소거 가능한 PROM(EEPROM)]를 더 포함한다. 또한, 컴퓨터 시스템은 Texas Instrumets사의 칩 TMS320 시리즈, Motorola사의 칩 DSP56000, DSP56100, DSP56300, DSP56600, DSP96000 시리즈, Lucent Technologies사의 DSP1600와 DSP3200 시리즈, 또는 Analog Devices사의 ADSP2100과 ADSP21000 시리즈와 같은 하나 이상의 디지털 신호 프로세서(DSP)를 포함할 수 있다. 디지털 도메인으로 변환되는 아날로그 신호를 처리하도록 특별하게 설계된 다른 프로세서를 이용할 수도 있다.
또한, 컴퓨터 시스템(1201)는 버스(1202)에 연결된 디스크 컨트롤러(1206)를 포함하여 자기 하드 디스크(1207) 등의 정보 및 명령어를 기억하는 하나 이상의 기억 디바이스, 및 착탈 가능한 매체 드라이브(1208)(예컨대, 플로피 디스크 드라이브, 판독 전용 컴팩트 디스크 드라이브, 판독/기록 컴팩트 디스크 드라이브, 컴팩트 디스크 쥬크박스, 테이프 드라이브, 및 착탈 가능한 광자기 드라이브)를 제어한다. 기억 디바이스는 적절한 디바이스 인터페이스[예컨대, SCSI(Small Computer System Interface), IDE(Integrated Device Electronics), E-IDE(Enhanced-IDE), DMA(Direct Memory Access), 또는 울트라-DMA]를 이용하여 컴퓨터 시스템(1201)에 추가될 수 있다.
또한, 컴퓨터 시스템(1201)은 전용 논리 디바이스[예컨대, ASIC(Application Specific Integrated Circuit)] 또는 구성 가능한 논리 디바이스[예컨대, SPLD(Simple Programmable Logic Device)], CPLD(Complex Programmable Logic Device), 및 필드 프로그램 가능 게이트 어레이(FPGA)를 포함할 수 있다.
또한, 컴퓨터 시스템(1201)은 정보를 컴퓨터 사용자에게 표시하기 위한 음극선관(CRT) 등의 디스플레이(1210)를 제어하기 위해, 버스(1202)에 연결된 디스플레이 컨트롤러(1209)를 포함할 수 있다. 컴퓨터 시스템은 컴퓨터 사용자와 상호 작용하여 프로세서(1203)에 정보를 제공하기 위한, 키보드(1211)와 지정 도구(1212) 등의 입력 장치를 포함한다. 예컨대, 지정 도구(1212)는 방향 정보 및 커맨드 선택을 프로세서(1203)에 전달하여 디스플레이(1210) 상에서 커서 움직임을 제어하기 위한 마우스, 트랙볼 또는 포인팅 스틱일 수 있다. 또한, 프린터는 컴퓨터 시스템(1210)이 기억 및/또는 생성한 데이터의 인쇄 목록을 제공할 수 있다.
컴퓨터 시스템(1201)은 프로세서(1203)가 메인 메모리(1204) 등의 메모리 내에 저장된 하나 이상의 명령어의 하나 이상의 시퀀스를 실행하는 것에 응답하여, 본 발명의 처리 단계의 일부 또는 전부를 실행한다. 그러한 명령어는 하드 디스크(1207) 또는 착탈 가능한 매체 드라이브(1208) 등의 다른 컴퓨터 판독 가능 매체에서부터 메인 메모리로 판독될 수 있다. 다중 처리 구성에서의 하나 이상의 프로세서는 메인 메모리(1204)에 저장된 명령어의 시퀀스를 실행하도록 채택될 수도 있다. 다른 실시예에서는, 소프트웨어 명령어 대신에 또는 그와 조합하여 고정 배선 회로를 이용할 수 있다. 따라서, 실시예들은 하드웨어 회로 및 소프트웨어의 어떤 특정 조합에 한정되지 않는다.
전술한 바와 같이, 컴퓨터 시스템(1201)은 본 발명의 지침에 따라 프로그래밍된 명령어를 홀드하여, 데이터 구조, 테이블, 레코드 또는 본 명세서에 기재한 기타 데이터를 포함하는 적어도 하나의 컴퓨터 판독 가능 매체 또는 메모리를 포함한다. 컴퓨터 판독 가능 매체의 예로는, 컴팩트 디스크, 하드 디스크, 플로피 디스크, 테이프, 광자기 디스크, PROM(EPROM, EEPROM, 플래시 EPROM), DRAM, SRAM, SDRAM이나 그 밖의 다른 자기 매체, 컴팩트 디스크(예컨대, CD-ROM)이나 그 밖의 다른 광학 매체, 펀치 카드, 페이퍼 테이프, 또는 홀 패턴을 가진 다른 물리적 매체, 반송파(후술), 또는 컴퓨터가 판독할 수 있는 그밖의 다른 매체이다.
임의의 하나의 컴퓨터 판독 가능 매체 또는 그 매체의 조합 상에 저장될 때, 본 발명은, 컴퓨터 시스템(1201)을 제어하고, 본 발명을 구현하기 위한 디바이스 또는 디바이스들을 구동하며, 컴퓨터 시스템(1201)으로 하여금 인간 사용자(예컨대, 프린트 제작자)와의 상호작용하게 하는 소프트웨어를 포함한다. 그러한 소프트웨어는 디바이스 드라이버, 운영체계, 개발 툴, 및 애플리케이션 소프트웨어를 포함할 수 있으나, 여기에 한정되지 않는다. 그러한 컴퓨터 판독 가능 매체는 본 발명을 구현하는데 수행되는 처리의 일부(처리가 분산되는 경우) 또는 전부를 수행하기 위해 본 발명의 컴퓨터 프로그램 제품을 더 포함한다.
본 발명의 컴퓨터 코드 디바이스는 임의의 해석 가능한 또는 실행 가능한 코드 메커니즘일 수 있으며, 스크립트, 해석 가능한 프로그램, 다이내믹 링크 라이브러리(DLL), 자바 클래스 및 완전한 실행 가능 프로그램을 포함하나, 여기에 한정되지 않는다. 더욱이, 본 발명의 처리의 부분은 더 나은 성능, 신뢰도 및/또는 비용을 위해 분산될 수 있다.
본 명세세에 사용되는 "컴퓨터 판독 가능 매체"란 용어는 명령어를, 실행을 위해 프로세서(1203)에 제공하는데 관여하는 임의의 매체를 나타내는 것이다. 컴퓨터 판독 가능 매체는 비휘발성 매체, 휘발성 매체, 전송 매체를 포함하나 여기에 한정되지 않은 다양한 형태를 취할 수 있다. 예컨대, 비휘발성 매체는 하드 디스크(1207) 또는 착탈 가능한 매체 드라이브(1208) 등의, 광, 자기 디스크, 및 광자기 디스크를 포함하나, 여기에 한정되지 않는다. 휘발성 매체는 메인 메모리(1204) 등의 동적 메모리를 포함한다. 전송 매체는 동축 케이블, 구리 배선 및 광섬유를 포함하며, 버스(1202)를 구성하는 배선을 포함한다. 또한, 전송 매체는 무선 전파(radio wave) 및 적외선 데이터 통신 중에 발생하는 것인, 음향 또는 광파의 형태를 취할 수 있다.
컴퓨터 판독 가능 매체의 다양한 형태는 실행을 위해 하나 이상의 명령어의 하나 이상의 시퀀스를 프로세서(1203)에 전달하는데 관련될 수 있다. 예컨대, 명령어는 처음에 원격 컴퓨터의 자기 디스크 상에 전달될 수 있다. 원격 컴퓨터는 본 발명의 일부 또는 전부를 구현하기 위한 명령어를 원격으로 동적 메모리에 로딩하고, 모뎀을 이용하여 전화선을 통해 그 명령어를 보낼 수 있다. 컴퓨터 시스템(1201)에 로컬 접속된 모뎀은 전화선을 통해 데이터를 수신하고, 그 데이터를 적외선 신호로 변환하기 위해 적외선 송신기를 이용한다. 버스(1202)에 연결된 적외선 검출기는 적외선 신호로 전달되는 데이터를 수신하고 그 데이터를 버스(1202) 상에 둔다. 버스(1202)는 데이터를, 프로세서(1203)가 명령어를 검색하여 실행하는 메인 메모리(1204)에 전달한다. 메인 메모리(1204)가 수신한 명령어는 프로세서(1203)에 의해 실행되기 전에 또는 실행된 후에 기억 디바이스(1207, 1208) 상에 선택적으로 저장될 수 있다.
또한, 컴퓨터 시스템(1201)은 버스(1202)에 연결된 통신 인터페이스(1213)를 포함한다. 통신 인터페이스(1213)는, 예컨대 랜(LAN)(1215)에 접속되거나, 인터넷 등의 다른 통신 네트워크(1216)에 접속된 네트워크 링크(1214)에 양방향 데이터 통신 커플링을 제공한다. 예컨대, 통신 인터페이스(1213)는 임의의 패킷 교환 LAN에 부착하기 위한 네트워크 인터페이스 카드일 수 있다. 또 다른 예로서, 통신 인터페이스(1213)는 데이터 통신 접속을 대응하는 통신 라인 타입에 제공하기 위한, 비동기 디지털 가입자 라인(ADSL) 카드, 또는 통합 서비스 디지털 네트워크(ISDN) 카드 또는 모뎀일 수 있다. 일부 그러한 구현에서, 통신 인터페이스(1213)는 다양한 정보 형태를 나타내는 디지털 데이터 스트림을 전달하는 전기, 전자기 또는 광신호를 송신 및 수신한다.
네트워크 링크(1214)는 통상, 하나 이상의 네트워크를 통해서 데이터 통신을 다른 데이터 장치에 제공한다. 예컨대, 네트워크 링크(1214)는 로컬 네트워크(1215)(예컨대, LAN)를 통해 또는 서비스 제공업자가 운영하는 장비를 통해 접속을 다른 컴퓨터에 제공하여 통신 네트워크(1216)를 통해 통신 서비스를 제공할 수 있다. 로컬 네트워크(1214)와 통신 네트워크(1216)는, 디지털 데이터 스트림을 전달하는 예컨대 전기, 광전기, 광 신호, 및 관련된 물리층(예컨대, CAT 5 케이블, 동축 케이블, 광 파이버 등)을 이용한다. 디지털 데이터를 컴퓨터 시스템(1201)에 대하여 전달하는, 다양한 네트워크를 통한 신호 및 네트워크 링크(1214) 상에 있는 그리고 통신 인터페이스(1213)을 통한 신호는 기저대역 신호 또는 반송파에 실린 신호로 구현될 수 있다. 기저대역 신호는 디지털 데이터 비트 스트림을 나타내는 비변조 전기 펄스로서 디지털 데이터를 전달하며, 본 명세서의 "비트"란 용어는 심볼을 의미하도록 넓게 해석되며, 각각의 심볼은 적어도 하나 이상의 정보 비트를 전달한다. 또한 디지털 데이터는 도전성 매체를 통해 전파되는, 즉 전파 매체를 통해 전자기파로서 전송되는, 진폭, 위상 및/또는 주파수 편이 변조된 신호 등의 반송파를 변조하는데 이용될 수도 있다. 이에, 디지털 데이터는 "유선" 통신 채널을 통해 비변조 기저대역 신호로서 보내지거나 및/또는 기저대역과 다른, 반송파를 변조하여 소정의 주파수 대역 내에서 보내질 수 있다. 컴퓨터 시스템(1201)은 프로그램 코드를 비롯한, 데이터를 네트워크(1215, 1216), 네트워크 링크(1214) 및 통신 인터페이스(1213)를 통해 송수신할 수 있다. 더욱이, 네트워크 링크(1214)는 LAN(1215)을 통해, 개인 휴대 정보 단말기(PDA), 랩탑 컴퓨터, 또는 휴대용 전화기 등의 이동 장치(1217)에 접속을 제공할 수 있다.
이상에서 본 발명의 소정의 예시적인 실시예들을 상세하게 설명하였지만, 당업자라면, 다양한 변형예들이 본 발명의 신규한 지침 및 장점에서 실질적으로 벗어나는 일없이 예시적인 실시예들에서 가능하다는 것을 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 변형들은 본 발명의 범주 내에 포함되는 것이다.

Claims (33)

  1. 포토리소그래피를 이용하여 패턴을 기판 상의 감방사선 재료(radiation-sensitive material)의 박막에 전사하는 방법으로서,
    상기 박막을 액체 이머션 리소그래피 시스템에서 방사선 광원에 노광시키는 단계와;
    상기 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 상기 노광 단계에 후속하여, 상기 기판으로부터 침지 유체를 제거하기 위해 상기 기판을 건조하는 단계를 포함하고,
    상기 건조 단계는 상기 기판을 회전시키는 단계를 포함하는 것인 방법.
  2. 포토리소그래피를 이용하여 패턴을 기판 상의 감방사선 재료의 박막에 전사하는 방법으로서,
    상기 박막을 액체 이머션 리소그래피 시스템에서 방사선 광원에 노광시키는 단계와;
    상기 기판으로부터 침지 유체를 제거하기 위해, 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 상기 노광 단계에 후속하여 상기 기판을 건조하는 단계를 포함하고,
    상기 건조 단계는 건조 유체를 상기 기판 상에 분배하는 단계를 포함하는 것인 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 건조 단계는 이소프로필 알코올을 상기 기판 상에 분배하는 단계를 포함하는 것인 방법.
  4. 반도체 제조용 기판 상에 감방사선 재료의 박막을 패터닝하는 시스템으로서,
    상기 박막을 패턴에 노광시키도록 구성된 액체 이머션 리소그래피 시스템과;
    상기 액체 이머션 리소그래피 시스템에 연결되어 있으며, 상기 박막에서 침지 유체를 제거하기 위하여, 상기 기판을 회전시킴으로써 노광 후에 상기 박막을 건조하도록 구성된 건조 시스템을 포함하는 것인 패터닝 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템에 연결되어 있으며, 상기 노광 전에 상기 기판을 상기 박막으로 코팅하고, 상기 노광 후에 상기 패턴을 상기 박막에 현상시키도록 구성되어 있는 트랙 시스템을 더 포함하고,
    상기 건조 시스템은 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템과 상기 트랙 시스템 중 적어도 하나에 연결되어 있는 것인 패터닝 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템은 방사선 광원, 촬상 시스템, 스캐닝 시스템, 투사 렌즈 시스템, 및 기판 홀더 중 적어도 하나를 포함하는 것인 패터닝 시스템.
  7. 제5항에 있어서, 상기 건조 시스템은 물과 PFPE(perfluoropolyether) 중 적어도 하나를 제거하도록 구성되어 있는 것인 패터닝 시스템.
  8. 제5항에 있어서, 상기 트랙 시스템은 코팅 시스템, 도포후 베이크(PAB) 유닛, 노광후 베이크(PEB) 유닛, 냉각 유닛, 현상 유닛, 린스 유닛 및 세정 유닛 중 적어도 하나를 포함하는 것인 패터닝 시스템.
  9. 제5항에 있어서, 상기 건조 시스템은, 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 상기 노광 후에 상기 기판으로부터 침지 유체를 제거하기 위해 상기 기판을 건조하는 것을 용이하게 하는 것인 패터닝 시스템.
  10. 제5항에 있어서, 상기 트랙 시스템은 248 nm 포토레지스트, 193 nm 포토레지스트, 157 nm 포토레지스트, 극자외선(EUV) 포토레지스트, 반사 방지 코팅, 콘트라스트 향상 재료, 포토레지스트를 보호하기 위한 상면 코팅, 및 노광시 박막 간섭을 제거하기 위한 상면 코팅 중 적어도 하나를 패터닝하도록 구성되어 있는 것인 패터닝 시스템.
  11. 제4항에 있어서, 상기 건조 시스템은 상기 기판을 제1 시간 동안 제1 회전 속도에서 회전시키고, 상기 기판을 제2 시간 동안 제2 회전 속도에서 회전시키도록 구성되어 있는 것인 패터닝 시스템.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1 회전 속도는 상기 침지 유체를 상기 박막 상에 분배하는 것을 용이하게 하고, 상기 제2 회전 속도는 상기 침지 유체를 상기 박막으로부터 제거하는 것을 용이하게 하는 것인 패터닝 시스템.
  13. 제5항 또는 제11항에 있어서, 상기 건조 시스템은 건조 유체를 상기 기판 상에 분배하도록 구성되어 있는 것인 패터닝 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 건조 시스템은 이소프로필 알코올을 분배하도록 구성되어 있는 것인 패터닝 시스템.
  15. 제4항에 있어서, 상기 건조 시스템은 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템과 분리되어 있는 건조 챔버를 포함하는 것인 패터닝 시스템.
  16. 포토리소그래피를 이용하여 패턴을 기판 상의 감방사선 재료의 박막에 전사하는 방법으로서,
    상기 박막을 액체 이머션 리소그래피 시스템에서 방사선 광원에 노광시키는 단계와;
    상기 기판으로부터 침지 유체를 제거하기 위해, 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 상기 노광 단계에 후속하여 상기 기판을 회전시키는 단계를 포함하는 것인 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 박막에서 산 확산을 증진시키기 위해, 상기 회전 단계에 후속하여 상기 기판을 베이킹하는 단계를 더 포함하는 것인 방법.
  18. 제16항에 있어서, 상기 노광 단계는 248 nm 포토레지스트, 193 nm 포토레지스트, 157 nm 포토레지스트, 극자외선(EUV) 포토레지스트, 반사 방지 코팅, 콘트라스트 향상 재료, 포토레지스트를 보호하기 위한 상면 코팅, 및 노광시 박막 간섭을 제거하기 위한 상면 코팅 중 적어도 하나를 포함하는 감방사선 재료를 노광시키는 단계를 포함하는 것인 방법.
  19. 제16항에 있어서, 상기 회전 단계는 상기 기판을 제1 시간 동안 제1 회전 속도에서 회전시키는 단계와, 상기 기판을 제2 시간 동안 제2 회전 속도에서 회전시키는 단계를 포함하는 것인 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제1 회전 속도는 상기 침지 유체를 상기 박막 상에 분배하는 것을 용이하게 하고, 상기 제2 회전 속도는 상기 침지 유체를 상기 박막으로부터 제거하는 것을 용이하게 하는 것인 방법.
  21. 포토리소그래피를 이용하여 패턴을 기판 상의 감방사선 재료의 박막에 전사하는 방법으로서,
    상기 박막을 액체 이머션 리소그래피 시스템에서 방사선 광원에 노광시키는 단계와;
    상기 기판을 회전시키는 단계와;
    상기 기판으로부터 침지 유체를 제거하기 위해, 상기 액체 이머션 리소그래피 시스템에서의 상기 노광 단계에 후속하여 액체 분배 시스템으로부터 건조 유체를 상기 기판의 표면 상에 분배하는 단계로서, 상기 건조 유체는 상기 침지 유체의 증기압보다 높은 증기압을 갖는 것인, 단계를 포함하는 것인 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 회전 단계는 상기 기판을 제1 시간 동안 제1 회전 속도에서 회전시키는 단계와, 상기 기판을 제2 시간 동안 제2 회전 속도에서 회전시키는 단계를 포함하는 것인 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 제1 회전 속도는 상기 침지 유체를 상기 박막 상에 분배하는 것을 용이하게 하고, 상기 제2 회전 속도는 상기 침지 유체를 상기 박막으로부터 제거하는 것을 용이하게 하는 것인 방법.
  24. 제21항에 있어서, 상기 분배 단계는 액체 건조 유체를 상기 기판 상에 분배하는 단계를 포함하는 것인 방법.
  25. 제24항에 있어서, 상기 분배 단계는 이소프로필 알코올을 상기 기판 상에 분배하는 단계를 포함하는 것인 방법.
  26. 제21항에 있어서, 상기 분배 단계는 가스 건조 유체를 상기 기판 상에 분배하는 단계를 포함하는 것인 방법.
  27. 제21항에 있어서, 상기 박막에서 산 확산을 증진시키기 위해, 상기 분배 단계에 후속하여 상기 기판을 베이킹하는 단계를 더 포함하는 것인 방법.
  28. 제21항에 있어서, 상기 노광 단계는 248 nm 포토레지스트, 193 nm 포토레지스트, 157 nm 포토레지스트, 극자외선(EUV) 포토레지스트, 반사 방지 코팅, 콘트라스트 향상 재료, 포토레지스트를 보호하기 위한 상면 코팅, 및 노광시 박막 간섭을 제거하기 위한 상면 코팅 중 적어도 하나를 포함하는 감방사선 재료를 노광시키는 단계를 포함하는 것인 방법.
  29. 액체 이머션 리소그래피에 후속하여 기판 상에 노광된 박막을 처리하는 방법으로서,
    상기 기판을 회전시키는 단계와;
    상기 기판 상에 노광된 박막으로부터 침지 유체를 제거하기 위해, 액체 분배 시스템으로부터 건조 유체를 상기 기판의 표면 상에 분배하는 단계로서, 상기 건조 유체는 상기 침지 유체의 증기압보다 높은 증기압을 갖는 것인, 단계를 포함하는 것인 방법.
  30. 제29항에 있어서, 상기 분배 단계는 액체 건조 유체를 상기 기판 상에 분배하는 단계를 포함하는 것인 방법.
  31. 제29항에 있어서, 상기 분배 단계는 가스 건조 유체를 상기 기판 상에 분배하는 단계를 포함하는 것인 방법.
  32. 제29항에 있어서, 상기 회전 단계는 상기 기판을 제1 시간 동안 제1 회전 속도에서 회전시키는 단계와, 상기 기판을 제2 시간 동안 제2 회전 속도에서 회전시키는 단계를 포함하는 것인 방법.
  33. 제29항에 있어서, 상기 박막에서 산 확산을 증진시키기 위해, 상기 분배 단계에 후속하여 상기 기판을 베이킹하는 단계를 더 포함하는 것인 방법.
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