KR101076833B1 - 인-시츄 흐름 검증 및 교정을 위한 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

흐름 제어 장치의 인-시츄 검증 및 교정을 위한 시스템 및 방법은, 흐름 제어 장치를 흐름 검증 장치에 접속시키는 제1 네트워크 물리 계층을 포함한다. 흐름 검증 장치의 제어기는, 제1 네트워크 물리 계층을 통해 각 흐름 제어 장치와 통신하도록, 각 흐름 제어 장치로부터 전송 기능 및 가스 특정 정보를 수신하도록, 또한 각 흐름 제어 장치의 흐름을 검증하도록 프로그램된다. 흐름 검증 장치의 제어기는 또한 제1 네트워크 물리 계층을 통해 각 흐름 제어 장치와 통신하도록, 또한 필요한 경우 흐름 제어 장치를 교정하도록 프로그램된다. 흐름 제어 장치의 검증 및 교정은 흐름 제어 장치에 접속되는 제2 네트워크 물리 계층에 접속된 툴 제어기를 통해 제공되는 단일 명령에 기초하여 수행되는 것이 바람직하다.
흐름 검증 장치, 흐름 제어 장치, 흐름 교정 장치, 네트워크 물리 계층, 통신 관리자, 반도체 처리 챔버, 툴 제어기, 진공 펌프, 가스 매니폴드

Description

인-시츄 흐름 검증 및 교정을 위한 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR IN-SITU FLOW VERIFICATION AND CALIBRATION}
본 발명은 일반적으로 반도체 처리 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 오염물질이 없는 정밀하게 계량된 양의 처리 및 퍼지 가스를 반도체 처리 챔버로 전달하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 흐름 제어 장치의 인-시츄(in-situ) 검증 및 교정을 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
단일 반도체 장치의 가공은 처리 챔버로 한 도즌의 가스(a dozen gases)만큼의 정밀하게 측정된 가스의 전달 및 철저한 동기화를 필요로 할 수 있다. 가공 처리에는 다양한 방법이 이용되고, 반도체 장치가 클리닝되고, 폴리싱되고, 산화되고, 마스킹되고, 에칭되고, 도핑되고, 금속화되는 것 등의 다수의 분리된 처리 단계가 요구될 수도 있다. 이용된 단계, 그 특정 순서 및 수반된 재료는 모두 특정 장치의 제조에 기여한다.
따라서, 웨이퍼 가공 설비는 일반적으로 화학 증착, 플라즈마 증착, 플라즈마 에칭, 스퍼터링 및 다른 유사한 가스 제조 처리가 수행되는 영역을 포함하도록 구성된다. 처리 툴(화학 증착 반응기(chemical vapor deposition reactors)), 진공 스퍼터링 머신, 플라즈마 에칭기 또는 플라즈마 강화 화학 증착에는 다양한 처리 가스가 공급되어야 한다. 퍼지 가스는 오염물질이 없는 정밀하게 계량된 양으로 툴에 공급되어야 한다.
통상적인 웨이퍼 가공 설비에 있어서, 가스는 탱크에 저장되는데, 이는 배관(piping) 또는 도관(conduit)을 통해 가스 박스에 접속된다. 가스 박스는 오염물질이 없는 정밀하게 계량된 양의 순수 비활성 또는 반응 가스를 가공 설비의 탱크로부터 처리 툴로 전달한다. 가스 박스 또는 가스 계량 시스템은 밸브, 압력 조절기 및 변환기와 같은 가스 계량 유닛을 갖는 복수의 가스 경로, 대용량 흐름 제어기(mass flow controllers) 및 필터/정화기를 포함한다. 각 가스 경로는 분리된 가스 소스로의 접속을 위해 자체 주입구를 갖지만, 모든 가스 경로는 처리 툴로의 접속을 위해 가스 매니폴드(gas manifold)와 같은 단일 배출구로 수렴한다.
측정된 양의 가스를 전달할 때, 예를 들어 대용량 흐름 제어기의 정확도를 테스트하거나, 대용량 흐름 제어기를 교정할 때와 같이, 이러한 가스를 전달하는데 사용된 가스 전달 시스템에서 가스 흐름 상태의 정확한 측정치를 획득할 수 있도록 하는 것이 바람직하고, 또한 종종 필수적이다. 이를 달성하기 위한 하나의 수단은, 공지된 부피의 챔버 내의 가스의 압력 및 온도의 변화율을 측정하고, 측정값으로부터 대용량 흐름을 계산함으로써 이루어진다. 이러한 소위 "압력 상승률" 또는 "상승률(rate-of-rise)"(ROR) 방법에 따르면, 가스 흐름은 대용량 흐름 계량기와 같은 피시험장치(device-under-test)(DUT)를 통해 측정된 시간 간격(△t) 동안 비워진 부피-교정된 챔버로 안내된다. 챔버 내의 가스의 압력 변화(△P) 및 온도 변화(△T)가 측정되어, 표준 온도(T0) 및 표준 압력(P0)으로 수정된다. 본 명세서에서 사용된 "표준"이라는 용어는 일반적으로 273.15K의 "절대" 온도 및 1 기압의 "절대" 압력과 같이 정의되는 "표준 조건"을 의미한다. 그런 다음, 공지된 부피에서 시간에 따른 압력 변화(△P/△t) 및 시간에 따른 온도 변화(△T/△t)로부터 가스 흐름율이 계산될 수 있다.
다수의 가스 전달 시스템은 실질적으로 이상 기체(ideal gases)와 같이 작용하는 가스를 채택한다. 다시 말하면, 이들의 작용은 PV = nRT (여기서, P는 압력, V는 부피, n은 기체 분자의 수, R은 일반적인 기체 상수, T는 절대 온도임)와 같이 표현된 이상 기체 법칙에 의해 정확하게 예측될 수 있고, 또한 이상 기체 법칙에 따라 모델링될 수 있다. 고정된 부피 내의 실질적으로 이상 기체의 시간에 따른 압력 변화와 온도 변화 사이의 관계는 기체에 관계없이 일정하다. 그러므로, 이상 기체 법칙 관계는 n의 크기, 즉 챔버 내의 가스 분자의 수를 결정하는데 이용될 수 있다. 가스가 이상 기체와 상이하게 작용하는 상태에 있어서, 수정 기능은 시간에 따른 압력 및 온도 변화의 측정을 보다 정확하게 하는데 이용될 수 있다.
몇몇 장치는 흐름을 검증하기 위해 ROR 방법을 이용한다. 예를 들어, 본 발명의 양수인에 의해 양도되는 Hinkle의 미국특허 제5,684,245호는 ROR 방법을 이용하여 가스 전달 시스템에서 가스의 대용량 흐름을 측정하기 위한 장치 및 방법을 개시하고, 청구한다. 본 발명의 양수인인 앤도버, MA의 MKS Instruments Inc.는 또 한 Tru-Flo™ 인-시츄 대용량 흐름 검증기 및 GBROR™ (가스 박스 상승률) 인-시츄 대용량 흐름 검증기와 같은 ROR 흐름 검증기 상품을 제공한다.
여전히, 가스 계량 시스템에서 흐름 제어 장치를 검증 및 교정하기 위한 새롭고 개선된 시스템 및 방법이 요구된다. 새롭고 개선된 시스템 및 방법은 ROR 흐름 검증기를 채택하는 것이 바람직하다. 또한, 새롭고 개선된 시스템 및 방법은 흐름 제어 장치의 인-시츄 검증 및 교정을 제공하여, 그 검증 및 교정이 가스 계량 시스템으로부터 흐름 제어 장치의 제거를 필요로 하지 않는 것이 바람직하다.
본 발명의 대표적인 실시예는, 흐름 제어 장치를 흐름 검증 장치에 접속시키는 제1 네트워크 물리 계층(network physical layer)을 포함하는 흐름 제어 장치의 인-시츄 검증 및 교정을 위한 시스템 및 방법을 제공한다. 흐름 검증 장치의 제어기는, 제1 네트워크 물리 계층을 통해 각 흐름 제어 장치와 통신하고, 각 흐름 제어 장치로부터 전송 기능 및 가스 특정 정보를 수신하며, 또한 각 흐름 제어 장치의 흐름을 검증하도록 프로그램된다. 흐름 검증 장치의 제어기는 또한 제1 네트워크 물리 계층을 통해 각 흐름 제어 장치와 통신하고, 또한 필요한 경우 흐름 제어 장치를 교정하도록 프로그램된다. 흐름 제어 장치의 검증 및 교정은 흐름 제어 장치에 접속되는 제2 네트워크 물리 계층에 접속된 툴 제어기를 통해 제공되는 단일 명령에 기초하여 수행되는 것이 바람직하다.
본 발명의 이러한 특징/장점 및 다른 특징/장점은 첨부된 도면에 예시되는 다음의 바람직한 실시예의 상세한 설명을 판독한 이후에 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백해질 것이다.
도1은 가스 매니폴드와 진공 펌프 사이에 접속된 대용량 흐름 검증기 및 가스 매니폴드에 접속된 대용량 흐름 제어기를 포함하는 종래 기술에 따른 가스 계량 시스템을 개략적으로 도시한 도면.
도2는 도1의 대용량 흐름 검증기의 대표적인 구성요소를 개략적으로 도시한 도면.
도3은 도1의 대용량 흐름 검증기에 의해 수행되는 바와 같이, 대용량 흐름 제어기 중 하나의 흐름율을 검증하는 종래 기술에 따른 방법을 도시한 압력 대 시간의 그래프.
도4는 대용량 흐름 제어기의 인-시츄 검증 및 교정을 위한 본 발명에 따른 시스템의 대표적인 실시예를 포함하는 가스 계량 시스템을 개략적으로 도시한 도면.
도4를 참조하면, 본 발명은 대용량 흐름 제어기(MFC)와 같이 피시험장치(DUT)를 통해 유체 흐름의 인-시츄 검증 및 교정을 위한 시스템(100) 및 방법을 제공한다. 시스템(100) 및 방법은 특히 오염물질이 없는 정밀하게 계량된 양의 처리 및 퍼지 가스를 반도체 처리 챔버로 전달하기 위한 가스 계량 시스템과 함께 사용하기 위한 것이다. 대표적인 일 실시예에 있어서, 새롭고 개선된 시스템(100) 및 방법은 상승률(ROR) 흐름 검증기를 채택한다. 새롭고 개선된 시스템(100) 및 방법은 MFC의 인-시츄 검증 및 교정을 제공하여, 그 검증 및 교정이 가스 계량 시스템으로부터 MFC의 제거를 필요로 하지 않게 된다.
먼저, 도1 및 도2를 참조하면, 종래 기술에 따른 흐름 검증 장치(10)가 도시되어 있다. 도1에 있어서, 흐름 검증 장치(10)는 가스 계량 시스템(50)의 진공 펌프(54)와 가스 매니폴드(52) 사이에 접속되는 것으로 도시되어 있다. 가스 계량 시스템(50)은 또한 가스 매니폴드(52)에 접속된 가스 통과 라인(58)의 흐름을 제어하는 복수의 대용량 흐름 제어기(MFC)(56)를 포함한다. 도1의 대표적인 실시예에 있어서, 시스템(50)은, MFC(56)를 갖고, 가스 매니폴드(52)에 접속되는 12개의 라인(58)을 포함한다. 그러나, 시스템(50)은 필요에 따라 12개의 라인(58) 보다 많은 라인 또는 보다 적은 라인을 포함할 수 있다.
각 MFC(56)가 앤도버, MA의 MKS Instruments(http://www.mksinst.com)로부터 입수가능한 압력 둔감형(Pressure Insensitive type) MFC(PiMFC)를 포함하는 것이 바람직하지만, 필수적이지는 않다. PiMFC는, 반도체 및 고순도 박막 애플리케이션에 있어서 사용자가 툴 스루풋을 증가시키고, 전반적인 시스템 비용을 감소시키는 것을 돕기 위한 기능성 및 성능에서의 기술 개선을 포함한다. 특히, PiMFC는, 개선된 물리적 모델링 및 디지털 제어 알고리즘을 통해 업스트림 및 다운스트림 압력 변동(disturbances)에 둔감한 정확한 실시간 흐름 제어를 제공한다. PiMFC는 처리 가스 흐름의 실시간 제어를 가능하게 하고, 정확성 및 반복가능성은 종래의 디지털 기반 MFC 이상으로 현저히 개선되어, 양호한 챔버 정합이 야기된다. 압력 둔감형 대용량 흐름 제어기는, 본 발명의 양수인에게 양도되었고, 본 명세서에 참조로 포함되어 있는 압력 변동 둔감 대용량 흐름 제어를 위한 장치 및 방법에 관한 함께 계류중인 미국특허출원 제10/178,721호(2002년 06월 04일 출원)(대리인 관리번호 제MKS-102호)에도 개시되어 있다.
흐름 검증 장치(10)는 MFC에 의해 생성된 흐름율을 검증하는데 사용된다. 도2에 도시된 바와 같이, 장치(10)는 소정의 부피를 갖는 용기(vessel)(20), 가스 매니폴드와 용기(20) 사이의 흐름을 제어하는 "업스트림" 또는 제1 밸브(22), 용기(20)로부터 진공 펌프(14)로의 흐름을 제어하는 "다운스트림" 또는 제2 밸브(24) 및 그 부피의 용기(20)와 통신하는 용기 압력 측정 장치(26)를 포함한다. 장치(10)는 또한 바이패스 밸브(28)도 포함할 수 있다.
흐름 검증 장치(10)의 제어기(30)는 상승률 흐름 검증 방법을 이용하는데, 이는 도3에 압력(P) 대 시간(t)의 그래프로 도시되어 있다. 일반적으로, 제어기(30)는 전자 메모리 및 클록을 포함하는 컴퓨터 프로세서이다. 제어기(30)는 일반적으로 동작 중에 제어기가 먼저 바이패스 밸브(28)를 차단하고, 제1 및 제2 밸브(22, 24)를 개방하여, 흐름이 MFC(12)로부터 용기(20)를 통해 바이패스되도록 프로그램된다. 제어기(30)는 또한, 바이패스된 흐름이 안정화되는 것을 허용하는 초기화 주기 후에, 제2 밸브(24)가 용기(20)로부터의 흐름을 정지시키기 위해 차단되도록 프로그램된다. 차단된 용기(20)는 MFC(12)로부터의 가스로 충전되고, 제어기 (30)는 압력 측정 장치(26)로부터 용기 압력의 측정치를 수신하고, 그 클록으로부터 시간 측정치를 수신하여, 가스 흐름으로 인한 용기 압력의 변화율을 결정한다. 그런 다음, 제어기(30)는 용기 압력의 변화율 및 공지된 용기(20) 부피를 이용하여 MFC(12)에 의해 제공되는 실제 흐름을 결정한다. 도3의 그래프는, 제어기(30)에 의해 어떻게 공지된 용기(20) 부피에서 시간에 따른 압력의 변화(△P/△t)로부터 가스 흐름율이 계산될 수 있는지를 나타낸다.
흐름 측정이 이루어진 후에, 도2에 도시된 제1 밸브(22)는 차단되고, 제2 밸브(24)는 진공 펌프(14)를 사용하여 용기(20)를 퍼지하기 위해 개방된다. 퍼지 이후에, 제2 밸브(24)는 차단되고, 바이패스 밸브(28)는 MFC(12)와 처리 챔버(18) 사이의 정상 흐름을 허용하기 위해 개방된다.
흐름 검증 장치(10)는 예를 들어 GBROR™ 인-시츄 흐름 검증기 또는 Tru-Flo™ 인-시츄 흐름 검증기를 포함할 수 있는데, 이들 모두는 앤도버, MA의 MKS Instruments(http://www.mksinst.com)에 의해 제공된다. GBROR™는 모듈 가스 경로 또는 스틱이고, 밸브, 압력 용기, 압력 변환기 및 매니폴드에 장착된 제어기를 포함한다. GBROR™ 및 Tru-Flo™ 흐름 검증기는 양쪽 모두 처리 투과성(process transparent)이다, 즉 가스 전달 시스템의 정상 처리 단계 사이에 동작하고, 그에 따라 처리 툴 고장 시간(down time)을 감소시킨다. 압력 측정 장치(26)는 예를 들어 또한 MKS Instruments로부터 입수가능한 Baratron™ 브랜드 압력 변환기를 포함할 수 있다.
도1을 다시 참조하면, MFC(12)의 컴퓨터 제어기(도시되지 않음) 및 흐름 검 증 장치(10)의 컴퓨터 제어기(30)는 네트워크 물리 계층(70)을 통해 툴 제어기(60)에 접속된다. 대표적인 일 실시예에 있어서, 네트워크 물리 계층은 DeviceNet™ 네트워크 물리 계층(70)을 포함한다. DeviceNet™은 산업용 장치의 배선 및 설치 시간 및 비용을 감소시키는 한편, 다수의 벤더에게 "동일" 구성요소의 상호교환가능성을 제공하는 단순한 네트워킹 솔루션이다. DeviceNet™은 개방형 규격 및 프로토콜을 갖는 개방형 네트워크 표준이다. 벤더는 DeviceNet™을 이용하는 시스템에 장치를 접속시키기 위해 하드웨어, 소프트웨어 또는 라이센스 권리를 구입하는 것을 필요로 하지 않는다. DeviceNet™ 규격은 ODVA(Open DeviceNet™ Vendor Association, Inc.)(www.odva.org)로부터 획득될 수 있다. DeviceNet™ 물리 계층(70)은 단순 장치의 상호교환가능성을 허용하는 한편, 보다 복잡한 장치의 상호접속성을 가능하게 한다. DeviceNet™ 물리 계층(70)은 브로드캐스트-지향 통신 프로토콜인 CAN(Controller Area Network)에 기초한다. 1996년에, 1,000만개 이상의 CAN 칩이 생산되었다. 인텔, 모토로라, 필립스 및 히타치를 포함하는 네 개의 주요 CAN 칩 공급자가 있다. DeviceNet™ 물리 계층(70)의 2개의 주요 목적은, 1) 저레벨 장치와 관련된 제어-지향 정보의 전달, 2) 구성과 같이, 제어되는 시스템에 간접적으로 관련된 다른 정보의 전달이다.
MFC(56) 중 하나를 통한 흐름을 검증하기 위해서, 툴 제어기(60)는 DeviceNet™ 물리 계층(70)을 통해 MFC(56) 중 선택된 하나 및 흐름 검증 장치(10)를 개별적으로 제어하여, 선택된 MFC(56)의 흐름율이 검증되게 된다.
도4를 참조하면, 본 발명의 새롭고 개선된 시스템(100)은 MFC(56)의 인-시츄 검증 및 교정을 제공하여, 그 검증 및 교정은 가스 계량 시스템(50)으로부터 MFC(56)의 제거를 필요로 하지 않게 된다. 시스템(100)은 각 MFC(56) 및 흐름 검증 장치(10)를 허브(104)에 접속시키는 제1 네트워크 물리 계층(104)을 포함하는데, 이는 접속성 툴(106)에 접속될 수 있다.
흐름 검증 장치(10)의 컴퓨터 제어기(30)는, 자동적으로 각 MFC(56)와 통신하고, 제1 네트워크 물리 계층(104)을 거쳐 각 MFC(56)의 흐름을 검증하며, 또한 필요한 경우 그 흐름을 교정하도록 프로그램된다. 특히, 각 MFC(56)로부터의 (압력 둔감성을 제공하는) 전송 기능과 함께 모든 가스 특정 정보가 흐름 검증 장치(10)의 컴퓨터 제어기(30)로부터 요구되고, 전술된 ROR 기술을 이용하여 각 MFC(56)의 흐름율의 정확도를 검증하기 위해 처리된다. 이 통신은 흐름 검증 장치(10)와 MFC(56) 사이에서 제1 네트워크 물리 계층(104)을 통해 이루어진다.
인-시츄 흐름 검증 및 교정은 "제2" 물리 계층(70)을 거쳐 툴 제어기(60)로부터의 단일 명령에 의해 개시된다. 도시된 대표적인 실시예에 있어서, 다른 프로토콜이 이용될 수 있음에도 불구하고, 제2 네트워크 물리 계층은 DeviceNet™ 네트워크 물리 계층(70)을 포함한다. 하나의 동작 모드에 있어서는, 흐름 검증 데이터는 수집되어, DeviceNet™ 네트워크 물리 계층(70)을 통해 툴 제어기(60)로 전송된다. 다른 동작 모드에 있어서는, 흐름 검증 장치(10)의 컴퓨터 제어기(30)는 툴 제어기(70)로부터 단일 명령을 수신하도록 프로그램되고, 피시험 MFC(56)를 질의하고, 흐름을 검증하고, MFC를 재교정하고, 또한 필요한 경우 MFC로 교정 파라미터를 업로드한다. 이 순서는 가스 계량 시스템(50) 내의 모든 MFC(56)에 대해, 또한 필 요한 만큼 빈번하게 계속될 수 있다. 모든 중대한 교정 데이터는 각 MFC(56)에 내재된다.
본 발명의 대표적인 일 실시예에 있어서, 제1 네트워크 물리 계층은 EtherNet/IP 네트워크 물리 계층(104)을 포함한다. EtherNet/IP는 상업적인 기성품(off-the-shelf)인 이더넷 통신 칩 및 물리 매체의 이점이 있는 산업용 네트워킹 표준이다. IP는 "산업용 프로토콜"을 의미하고, 이 네트워크를 구별하는 것이 무엇인지를 의미한다. 또한, 하나 이상의 벤더 또는 단체가 EtherNet/IP를 지지하고, EtherNet/IP는 CI(ControlNet International), IEA(Industrial Ethernet Association) 및 ODVA(Open DeviceNet™ Vendor Association)의 세 개의 네트워킹 단체에 의해 지지되는 유일한 표준이다.
EtherNet/IP는 자동화를 위해 개방형의 산업적으로 증명된 프로토콜을 갖는 상업적인 기성품인 이더넷을 확장하는 프로토콜 스택이다. 동시에, 이는 HTTP, FTP 및 SNMP와 같은 일반적인 오피스 프로토콜을 지원한다. TCI/IP에 기초하여, EtherNet/IP는 정보 메시징을 위해서는 TCP를, I/O 메시징을 위해서는 UDP를 이용한다. 데이터를 캡슐화하기 위해 TCP/IP 및 UDP/IP를 모두 이용하기 때문에, 이것은 실시간 I/O 제어를 제공하는 제1의 산업용 이더넷 네트워크이다.
DeviceNet™의 상대(companion) 네트워크인, EtherNet/IP는 DeviceNet™과 같이 동일한 개방형 로버스트 응용 계층 프로토콜인 CIP(Control and Information Protocol)를 이용한다. 그 결과, 이들 네트워크는 또한 장치 프로파일 및 객체 라이브러리를 공유한다. 이는, EtherNet/IP 개발자가 다수의 벤더로부터의 장치들 사 이의 플러그-앤-플레이 상호운용성을 위해 DeviceNet™ 객체 및 프로파일을 이용하는 것을 허용한다. DeviceNet™ 및 EtherNet/IP의 결합은 기업용 소프트웨어로 센서로부터의 투명성을 프로모션한다.
본 발명의 또다른 대표적인 실시예에 따르면, 허브는 또한 ToolWeb™에 접속된다. ToolWeb™은 Ethernet/IP 네트워크를 통해 처리 툴의 모든 프로그램으로의 접속을 허용하는 MKS Instruments로부터 입수가능한 소프트웨어 "접속성" 솔루션이다. BlueBox™은 데이터 수집 및 라우팅을 위해 ToolWeb™을 지원할 수 있는 MKS Instruments로부터 입수가능한 하드웨어 통신 관리자이다. 다수의 툴이 EtherNet/IP 네트워크 물리 계층(104)을 통해 ToolWeb™에 접속될 수 있고, 허브를 통해 접속된 제3 파티 데이터베이스를 거쳐 수집된 데이터를 EtherNet/IP 네트워크 물리 계층(104)으로 발행할 수 있다. 일반적으로, ToolWeb™은 BlueBox™ 통신 관리자와 같은 하드웨어 및 e-진단(diagnostics)을 위해 데이터 모니터링 및 수집을 가능하게 하는 소프트웨어를 포함하는 시스템이다.
본 발명의 특정 실시예가 예시 및 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다수의 변경 및 수정이 이루어질 수도 있다는 것을 인식할 것이다. 따라서, 첨부된 청구항은 본 발명의 사상 및 범위 내에서 모든 이러한 변경 및 수정을 포함한다고 이해된다.

Claims (20)

  1. 흐름 제어 장치의 인-시츄(in-situ) 검증 및 교정을 위한 시스템에 있어서,
    흐름 검증 장치;
    상기 흐름 제어 장치를 상기 흐름 검증 장치에 접속시키기 위한 제1 네트워크 물리 계층(network physical layer); 및
    상기 흐름 검증 장치에 접속된 제2 네트워크 물리 계층
    을 포함하고,
    여기서, 상기 흐름 검증 장치의 제어기는, 상기 제2 네트워크 물리 계층을 통해 제공되는 단일 명령에 기초하여, 상기 제1 네트워크 물리 계층을 거쳐 상기 흐름 제어 장치를 검증하고, 또한 필요한 경우 상기 흐름 제어 장치를 교정하도록 프로그램되는
    시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 네트워크 물리 계층은 EtherNet/IP 네트워크 물리 계층을 포함하는
    시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 네트워크 물리 계층은 브로드캐스트-지향 통신 프로토콜에 기초되는
    시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 흐름 검증 장치는 상승률(rate-of-rise)(ROR) 흐름 검증기인
    시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 흐름 검증기는 모듈식의 인-시츄 흐름 검증기인
    시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 흐름 검증기는 처리 투과성(process transparent) 인-시츄 흐름 검증기인
    시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 네트워크 물리 계층에 접속된 흐름 제어 장치
    를 더 포함하는 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 흐름 제어 장치는 압력 둔감형 대용량 흐름 제어기(pressure insensitive type mass flow controllers)를 포함하는
    시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 네트워크 물리 계층에 접속된 허브
    를 더 포함하는 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 허브는 데이터 수집 및 라우팅을 위한 연결 소프트웨어를 보조할 수 있는 통신 관리자를 포함하는
    시스템.
  11. 흐름 제어 장치의 인-시츄 검증 및 교정 방법에 있어서,
    제1 네트워크 물리 계층을 통해 흐름 검증 장치를 상기 흐름 제어 장치에 접속시키는 단계;
    제2 네트워크 물리 계층을 상기 흐름 검증 장치에 접속시키는 단계; 및
    상기 제2 네트워크 물리 계층을 통해 제공되는 단일 명령에 기초하여, 상기 제1 네트워크 물리 계층에 거쳐 상기 흐름 제어 장치를 검증하고, 또한 필요한 경우 상기 흐름 제어 장치를 교정하도록 상기 흐름 검증 장치의 제어기를 프로그래밍하는 단계
    를 포함하는 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 네트워크 물리 계층은 EtherNet/IP 네트워크 물리 계층을 포함하는
    방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제2 네트워크 물리 계층은 브로드캐스트-지향 통신 프로토콜에 기초되는
    방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 흐름 검증 장치는 상승률(ROR) 흐름 검증기인
    방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 흐름 검증기는 모듈식의 인-시츄 흐름 검증기인
    방법.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 흐름 검증기는 처리투과성 인-시츄 흐름 검증기인
    방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 흐름 제어 장치는 압력 둔감형 대용량 흐름 제어기를 포함하는
    방법.
  18. 제11항에 있어서,
    허브를 상기 제1 네트워크 물리 계층에 접속시키는 단계
    를 더 포함하는 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 허브는 데이터 수집 및 라우팅을 위한 연결 소프트웨어를 보조할 수 있는 통신 관리자를 포함하는
    방법.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 흐름 검증 장치는 가스 매니폴드(gas manifold)를 통해 상기 흐름 제어 장치와 유체 전달(fluid communication)하도록 배치되는
    방법.
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