KR100925392B1 - 음 전압 생성 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치 - Google Patents

음 전압 생성 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치 Download PDF

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허영도
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Abstract

본 발명은 제 1 음 전압 레벨을 감지하여 제 1 감지 신호를 생성하는 제 1 감지부, 상기 제 1 감지 신호에 응답하여 상기 제 1 음 전압을 생성하는 제 1 음 전압 생성부, 제 2 음 전압 레벨을 감지하여 제 2 감지 신호를 생성하는 제 2 감지부, 파워 업 신호가 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 감지 신호를 인에이블 신호로서 출력하고, 이후 상기 제 1 감지 신호와는 무관하게 상기 제 2 감지 신호를 상기 인에이블 신호로서 출력하는 타이밍 제어부, 및 상기 인에이블 신호에 응답하여 상기 제 2 음 전압을 생성하는 제 2 음 전압 생성부를 포함한다.
Figure R1020080073610
음 전압, 파워 업 신호

Description

음 전압 생성 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치{Circuit for Generating Negative Voltage and Semiconductor Memory Apparatus Using the Same}
본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로서, 특히 음(negative) 전압 생성 회로에 관한 것이다.
반도체 메모리 장치는 일반적으로 트랜지스터로 구성된다. 특히, 메모리 셀에 구성되는 트랜지스터는 누설 전류를 줄이기 위하여 트랜지스터의 벌크에 제 1 음 전압을 인가시킨다. 또한 트랜지스터의 벌크에 상기 제 1 음 전압을 인가시킴으로써 트랜지스터의 문턱 전압이 높아지는 것을 보상해 주기 위하여 트랜지스터의 소오스에 제 2 음 전압을 인가시킬 수 있다. 이때, 트랜지스터의 벌크에 인가되는 제 1 음 전압 레벨의 절대값은 소오스에 인가되는 제 2 음 전압 레벨의 절대값보다 항상 커야 한다. 이유는 트랜지스터의 벌크에 인가되는 전압 레벨이 소오스에 인가되는 전압 레벨보다 더 높으면 트랜지스터 소자의 파괴를 유발하는 래치 업 현상(latch-up)이 발생할 수 있기 때문이다.
레벨이 다른 두개의 음 전압을 생성하는 일반적인 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로는 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 음 전압 생성부(40), 및 제 2 음 전압 생성부(80)를 포함한다.
상기 제 1 음 전압 생성부(40)는 제 1 감지부(10), 제 1 오실레이터(20), 및 제 1 차지 펌프(30)를 포함한다.
상기 제 1 감지부(10)는 제 1 음 전압(VNN1)의 레벨을 감지하여 제 1 감지 신호(det1)를 생성한다.
상기 제 1 오실레이터(20)는 상기 제 1 감지 신호(det1)에 응답하여 제 1 오실레이터 신호(OSC1)를 생성한다.
상기 제 1 차지 펌프(30)는 상기 제 1 오실레이터 신호(OSC1)에 응답하여 펌핑 동작을 수행한다. 이때, 상기 펌핑 동작을 수행하는 상기 제 1 차지 펌프(30)는 상기 제 1 음 전압(VNN1)을 생성한다.
상기 제 2 음 전압 생성부(80)는 제 2 감지부(50), 제 2 오실레이터(60), 및 제 2 차지 펌프(70)를 포함한다.
상기 제 2 감지부(50)는 제 2 음 전압(VNN2)의 레벨을 감지하여 제 2 감지 신호(det2)를 생성한다.
상기 제 2 오실레이터(60)는 상기 제 2 감지 신호(det2)에 응답하여 제 2 오실레이터 신호(OSC2)를 생성한다.
상기 제 2 차지 펌프(70)는 상기 제 2 오실레이터 신호(OSC2)에 응답하여 펌핑 동작을 수행한다. 이때, 상기 펌핑 동작을 수행하는 제 2 차지 펌프(70)는 상기 제 2 음 전압(VNN2)을 생성한다. 이때, 상기 제 1 음 전압(VNN1)은 반도체 메모리 장치의 모든 회로의 구성에 사용되는 트랜지스터의 벌크에 인가되는 전압이며, 상기 제 2 음 전압(VNN2)은 반도체 메모리 장치의 특정 회로에 사용되는 트랜지스터의 소오스에 인가되는 전압이다. 따라서 상기 제 1 음 전압(VNN1)이 인가되는 노드의 커패시턴스(capacitance)는 상기 제 2 음 전압(VNN2)이 인가되는 노드의 커패시턴스보다 더 크다. 따라서 상기 제 2 음 전압(VNN2)은 상기 제 1 음 전압(VNN1)이 타겟 레벨에 도달하는 시간보다 빨리 타겟 레벨에 도달한다.
결국, 상기 제 1 음 전압 생성부(40)가 생성하는 상기 제 1 음 전압(VNN1)이 타겟 레벨에 도달하기 전에 상기 제 2 음 전압 생성부(80)가 상기 제 2 음 전압(VNN2)을 생성하기 시작하면 도 2에 도시된 A와 같이 역전 현상이 발생할 수 있다. 트랜지스터의 파괴를 유발시킬 수 있는 역전 현상으로 인해 반도체 메모리 장치의 동작 신뢰도가 떨어지는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 트랜지스터의 벌크에 인가되는 제 1 음 전압이 타겟 레벨에 도달한 이후 트랜지스터의 소오스에 인가되는 제 2 음 전압을 생성하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로는 제 1 음 전압 레벨을 감지하여 제 1 감지 신호를 생성하는 제 1 감지부, 상기 제 1 감지 신호에 응답하여 상기 제 1 음 전압을 생성하는 제 1 음 전압 생성부, 제 2 음 전압 레벨을 감지하여 제 2 감지 신호를 생성하는 제 2 감지부, 파워 업 신호가 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 감지 신호를 인에이블 신호로서 출력하고, 이후 상기 제 1 감지 신호와는 무관하게 상기 제 2 감지 신호를 상기 인에이블 신호로서 출력하는 타이밍 제어부, 및 상기 인에이블 신호에 응답하여 상기 제 2 음 전압을 생성하는 제 2 음 전압 생성부를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로는 제 1 내부 전압 레벨을 감지하여 제 1 감지 신호를 생성하는 제 1 감지부, 상기 제 1 감지 신호에 응답하여 상기 제 1 내부 전압을 생성하는 제 1 내부 전압 생성부, 제 2 내부 전압 레벨을 감지하여 제 2 감지 신호를 생성하는 제 2 감지부, 및 상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 감지 신호에 응답하여 상기 제 2 내부 전압을 생성하고, 이후 상기 제 1 감지 신호와는 무관하게 상기 제 2 감지 신호에 응답하여 상기 제 2 내부 전압을 생성하는 제 2 내부 전압 생성부를 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로는 트랜지스터의 벌크에 인가되는 제 1 음 전압이 타겟 레벨에 도달한 이후 트랜지스터의 소오스에 인가되는 제 2 음 전압을 생성함으로 트랜지스터의 래치 업 현상을 방지할 수 있어 반도체 메모리 장치의 동작 신뢰도를 향상시키는 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로는 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 감지부(100), 제 1 음 전압 생성부(200), 제 2 감지부(300), 타이밍 제어부(400), 및 제 2 음 전압 생성부(500)를 포함한다.
상기 제 1 감지부(100)는 제 1 음 전압(VNN1) 레벨을 감지하여 제 1 감지 신호(det1)를 생성한다. 예를 들어, 상기 제 1 감지부(100)는 상기 제 1 음 전압(VNN1) 레벨이 제 1 타겟 레벨보다 높으면 상기 제 1 감지 신호(det1)를 인에이블시킨다.
상기 제 1 음 전압 생성부(200)는 상기 제 1 감지 신호(det1)에 응답하여 상기 제 1 음 전압(VNN1)을 생성한다.
상기 제 1 음 전압 생성부(200)는 제 1 오실레이터(210), 및 제 1 차지 펌프(220)를 포함한다. 상기 제 1 오실레이터(210)는 상기 제 1 감지 신호(det1)가 인에이블되면 제 1 오실레이터 신호(osc1)를 생성한다. 상기 제 1 차지 펌프(220)는 상기 제 1 오실레이터 신호(osc1)에 응답하여 펌핑 동작을 수행한다. 상기 제 1 차지 펌프(220)는 펌핑 동작을 수행하여 상기 제 1 음 전압(VNN1)을 생성한다.
상기 제 2 감지부(300)는 제 2 음 전압(VNN2) 레벨을 감지하여 제 2 감지 신호(det2)를 생성한다. 예를 들어, 상기 제 2 감지부(300)는 상기 제 2 음 전압(VNN2) 레벨이 제 2 타겟 레벨보다 높으면 상기 제 2 감지 신호(det2)를 생성한다.
상기 타이밍 제어부(400)는 파워 업 신호(pwrup)가 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호(det1)가 디스에이블되면 상기 제 2 감지 신호(det2)를 인에이블 신 호(en)로서 출력한다.
상기 제 2 음 전압 생성부(500)는 상기 인에이블 신호(en)에 응답하여 상기 제 2 음 전압(VNN2)을 생성한다.
상기 제 2 음 전압 생성부(500)는 제 2 오실레이터(510), 및 제 2 차지 펌프(520)를 포함한다. 상기 제 2 오실레이터(510)는 상기 제 2 감지 신호(det2)가 인에이블되면 제 2 오실레이터 신호(osc2)를 생성한다. 상기 제 2 차지 펌프(520)는 상기 제 2 오실레이터 신호(osc2)에 응답하여 펌핑 동작을 수행한다. 상기 제 2 차지 펌프(520)는 펌핑 동작을 수행하여 상기 제 2 음 전압(VNN2)을 생성한다.이때, 상기 제 1 음 전압(VNN1)의 제 1 타겟 레벨은 상기 제 2 음 전압(VNN2)의 제 2 타겟 레벨보다 낮다.
상기 타이밍 제어부(400)는 도 4에 도시된 바와 같이, 신호 레벨 반전부(410), 제어 신호 생성부(420), 및 인에이블 신호 생성부(430)를 포함한다.
상기 신호 레벨 반전부(410)는 상기 파워 업 신호(pwrup)를 반전시켜 반전 신호(iv_s)를 생성한다.
상기 제어 신호 생성부(420)는 상기 반전 신호(iv_s)가 인에이블되고, 상기 제 1 감지 신호(det1)가 디스에이블되면 제어 신호(ctrl)를 인에이블시킨다. 또한, 상기 제어 신호 생성부(420)는 상기 제어 신호(ctrl)가 한번이라도 인에이블되면 상기 제 1 감지 신호(det1)와는 무관하게 상기 제어 신호(ctrl)를 인에이블 상태로 유지시킨다.
상기 인에이블 신호 생성부(430)는 상기 제어 신호(ctrl)가 인에이블되면 상 기 제 2 감지 신호(det2)를 상기 인에이블 신호(en)로서 출력한다.
상기 신호 레벨 반전부(410)는 도 5에 도시된 바와 같이, 하나의 인버터(IV11)로 구현될 수 있다.
또한, 상기 신호 레벨 반전부(410)는 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 인버터(IV21, IV22), 제 1 내지 제 3 낸드 게이트(ND21, ND22, ND23), 및 지연기(delay)를 포함한다. 상기 제 1 인버터(IV21)는 상기 파워 업 신호(pwrup)를 입력 받는다. 상기 지연기(delay)는 상기 제 1 인버터(IV21)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 2 인버터(IV22)는 상기 지연기(delay)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 1 낸드 게이트(ND21)는 상기 제 1 인버터(IV21)의 출력 신호, 및 상기 제 2 인버터(IV22)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 2 낸드 게이트(ND22)는 상기 제 1 낸드 게이트(ND21)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 3 낸드 게이트(ND23)는 상기 제 2 낸드 게이트(ND22)의 출력 신호, 및 상기 제 1 인버터(IV21)의 출력 신호를 입력 받아 출력 신호를 상기 제 2 낸드 게이트(ND22)에 출력한다. 이때, 상기 제 2 낸드 게이트(ND22)는 상기 반전 신호(iv_s)를 출력한다.
도 6에 도시된 신호 레벨 반전부(410)의 동작은 다음과 같다.
상기 제 1 낸드 게이트(ND21)는 상기 파워 업 신호(pwrup)가 로우 레벨로 인에이블되면 로우 레벨로 소정 시간 인에이블되는 펄스를 출력한다. 이때, 상기 제 2 낸드 게이트(ND22)와 상기 제 3 낸드 게이트(ND23)로 구성된 플립 플롭은 상기 펄스가 로우 레벨로 천이하기 전 하이 레벨로 디스에이블되었을 때 상기 반전 신호(iv_s)를 하이 레벨로 천이시키고 상기 파워 업 신호(pwrup)가 로우 레벨로 인에 이블 상태를 유지하는 동안 상기 반전 신호(iv_s)를 하이 레벨 상태로 유지시킨다. 즉, 상기 반전 신호(iv_s)는 상기 파워 업 신호(pwrup)가 하이 레벨로 디스에이블된 상태에서는 로우 레벨로 디스에이블되고, 상기 파워 업 신호(pwrup)가 로우 레벨로 인에이블되면 하이 레벨로 인에이블된 상태를 유지한다.
상기 제어 신호 생성부(420)는 도 7에 도시된 바와 같이, 신호 조합부(421), 플립 플롭(422)을 포함한다.
상기 신호 조합부(421)는 상기 반전 신호(iv_s)가 하이 레벨로 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호(det1)가 로우 레벨로 디스에이블되면 조합 신호(com)를 하이 레벨로 인에이블시킨다.
상기 신호 조합부(421)는 제 3 인버터(IV31), 및 제 4 낸드 게이트(ND31)를 포함한다. 상기 제 3 인버터(IV31)는 상기 제 1 감지 신호(det1)를 입력 받는다. 상기 제 4 낸드 게이트(ND31)는 상기 제 3 인버터(IV31)의 출력 신호와 상기 제 1 감지 신호(det1)를 입력 받아 상기 조합 신호(com)를 출력한다.
상기 플립 플롭(422)은 상기 반전 신호(iv_s)가 로우 레벨로 디스에이블되어 있는 동안 상기 조합 신호(com)의 레벨을 반전시켜 상기 제어 신호(ctrl)의 레벨로서 출력한다. 한편, 상기 플립 플롭(422)는 상기 반전 신호(iv_s)가 하이 레벨로 인에이블되면 상기 제어 신호(ctrl)를 하이 레벨로 인에이블시키고, 상기 반전 신호(iv_s)가 하이 레벨로 인에이블되면 하이 레벨로 인에이블된 상기 제어 신호(ctrl)를 유지시킨다. 즉, 상기 플립 플롭(422)은 상기 반전 신호(iv_s)가 하이 레벨로 인에이블된 상태에서 인에이블된 상기 제어 신호(ctrl)의 레벨을 유지시킨 다.
상기 플립 플롭(422)는 제 5 및 제 6 낸드 게이트(ND32, N33)를 포함한다. 상기 제 5 낸드 게이트(ND32)는 상기 조합 신호(com)와 상기 제 6 낸드 게이트(ND33)의 출력 신호를 입력 받아 상기 제어 신호(ctrl)를 출력한다. 상기 제 6 낸드 게이트(ND33)는 상기 제어 신호(ctrl)와 상기 반전 신호(iv_s)를 입력 받아 출력 신호를 상기 제 5 낸드 게이트(ND32)에 출력한다.
상기 인에이블 신호 생성부(430)는 도 8에 도시된 바와 같이, 제 7 낸드 게이트(ND41), 및 제 4 인버터(IV41)를 포함한다. 상기 제 7 낸드 게이트(ND41)는 상기 제 2 감지 신호(det2)와 상기 제어 신호(ctrl)를 입력 받는다. 상기 제 4 인버터(IV41)는 상기 제 7 낸드 게이트(ND41)의 출력 신호를 입력 받아 상기 인에이블 신호(en)를 출력한다.
이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로의 동작을 도 9를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
반도체 메모리 장치에 외부 전압이 인가되면 파워 업 신호(pwrup)의 전압 레벨은 상승하기 시작한다. 또한 제 1 감지 신호(det1)의 전압 레벨 또한 상기 파워 업 신호(pwrup)의 전압 레벨과 동일하게 상승하기 시작한다.
상기 파워 업 신호(pwrup)가 로우 레벨로 디스에이블되고 난 이후에도 제 1 음 전압(VNN1)은 제 1 타겟 레벨에 도달하지 못하였다. 따라서 상기 제 1 감지 신호(det1)는 하이 레벨로 인에이블된 상태를 유지한다.
상기 제 1 음 전압(VNN1)이 상기 제 1 타겟 레벨에 도달하면 상기 제 1 감 지 신호(det1)는 로우 레벨로 디스에이블된다.
상기 제 1 감지 신호(det1)가 하이 레벨로 인에이블된 상태에서는 제 2 감지 신호(det2)의 레벨과는 무관하게 인에이블 신호(en)는 로우 레벨로 디스에이블된다. 즉, 상기 제 1 감지 신호(det1)가 하이 레벨로 인에이블된 상태에서는 상기 제 2 감지 신호(det2)가 하이 레벨로 인에이블되어있어도, 상기 제어 신호(ctrl)가 로우 레벨로 디스에이블되어있기 때문에 상기 인에이블 신호(en)는 로우 레벨로 디스에이블된다. 하지만 상기 제 1 감지 신호(det1)가 로우 레벨로 디스에이블되면, 상기 제어 신호(ctrl)가 하이 레벨로 인에이블되기 때문에 상기 제 2 감지 신호(det2)가 상기 인에이블 신호(en)로서 출력된다.
따라서 상기 제 1 감지 신호(det1)가 하이 레벨에서 로우 레벨로 천이되면 상기 인에이블 신호(en)는 하이 레벨로 인에이블된다. 상기 인에이블 신호(en)가 하이 레벨로 인에이블되면 제 2 음 전압(VNN2)이 생성된다.
상기 제 2 음 전압(VNN2)이 제 2 타겟 레벨에 도달하면 상기 제 2 감지 신호(det2)가 로우 레벨로 디스에이블된다. 따라서 상기 인에이블 신호(en) 또한 상기 제 2 감지 신호(en)이 로우 레벨로 디스에이블될 때 로우 레벨로 디스에이블된다.
상기 제 1 음 전압(VNN1)의 레벨이 타겟 레벨에 도달한 이후 상기 제 2 음 전압(VNN2)이 생성됨으로 상기 제 2 음 전압(VNN2) 레벨이 상기 제 1 음 전압(VNN1) 레벨보다 더 낮아지는 역전 현상이 발생하지 않는다.
결국, 반도체 메모리 장치를 구성하는 트랜지스터는 래치 업 현상이 발생되 지 않으므로 트랜지스터가 파괴되는 현상이 발생하지 않는다. 따라서 반도체 메모리 장치는 동작 신뢰도가 높아진다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로의 구성도,
도 2는 종래 기술에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로의 타이밍도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로의 구성도,
도 4는 도 3의 타이밍 제어부의 구성도,
도 5는 도 4의 신호 레벨 반전부의 실시예에 따른 상세 구성도,
도 6은 도 4의 신호 레벨 반전부의 다른 실시예에 따른 상세 구성도,
도 7은 도 4의 제어 신호 생성부의 상세 구성도,
도 8은 도 4의 인에이블 신호 생성부의 상세 구성도,
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로의 타이밍도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 제 1 감지부 200: 제 1 음 전압 생성부
300: 제 2 감지부 400: 타이밍 제어부
500: 제 2 음 전압 생성부

Claims (15)

  1. 제 1 음 전압 레벨을 감지하여 제 1 감지 신호를 생성하는 제 1 감지부;
    상기 제 1 감지 신호에 응답하여 상기 제 1 음 전압을 생성하는 제 1 음 전압 생성부;
    제 2 음 전압 레벨을 감지하여 제 2 감지 신호를 생성하는 제 2 감지부;
    파워 업 신호가 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 감지 신호를 인에이블 신호로서 출력하고, 이후 상기 제 1 감지 신호와는 무관하게 상기 제 2 감지 신호를 상기 인에이블 신호로서 출력하는 타이밍 제어부; 및
    상기 인에이블 신호에 응답하여 상기 제 2 음 전압을 생성하는 제 2 음 전압 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 음 전압의 제 1 타겟 레벨은 상기 제 2 음 전압의 제 2 타겟 레벨보다 낮은 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 감지부는
    상기 제 1 음 전압 레벨이 상기 제 1 타겟 레벨보다 높으면 상기 제 1 감지 신호를 인에이블시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 음 전압 생성부는
    상기 제 1 감지 신호가 인에이블되면 오실레이터 신호를 생성하는 오실레이터, 및
    상기 오실레이터 신호에 응답하여 펌핑 동작을 수행함으로써 상기 제 1 음 전압을 생성하는 차지 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 감지부는
    상기 제 2 음 전압 레벨이 상기 제 2 타겟 레벨보다 높으면 상기 제 2 감지 신호를 인에이블시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 타이밍 제어부는
    상기 파워 업 신호가 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 제어 신호를 인에이블시키는 제어 신호 생성부, 및
    상기 제어 신호가 인에이블되면 상기 제 2 감지 신호를 상기 인에이블 신호 로서 출력하는 인에이블 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제어 신호 생성부는
    상기 제어 신호가 인에이블되면 상기 제 1 감지 신호와는 무관하게 상기 제어 신호를 인에이블 상태로 유지시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제어 신호 생성부는
    상기 파워 업 신호가 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 조합 신호를 인에이블시키는 신호 조합부, 및
    상기 파워 업 신호가 인에이블되고 상기 조합 신호가 인에이블되면 상기 제어 신호를 인에이블시키는 플립 플롭을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 신호 조합부는
    상기 파워 업 신호가 디스에이블되면 상기 조합 신호를 디스에이블시키는 것 을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 플립 플롭은
    상기 제어 신호가 인에이블되면 상기 파워 업 신호가 디스에이블될 때까지 상기 제어 신호의 인에이블 상태를 유지시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 인에이블 신호 생성부는
    상기 제어 신호가 디스에이블되면 상기 인에이블 신호를 디스에이블시키는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 음 전압 생성 회로.
  12. 제 1 내부 전압 레벨을 감지하여 제 1 감지 신호를 생성하는 제 1 감지부;
    상기 제 1 감지 신호에 응답하여 상기 제 1 내부 전압을 생성하는 제 1 내부 전압 생성부;
    제 2 내부 전압 레벨을 감지하여 제 2 감지 신호를 생성하는 제 2 감지부; 및
    상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 감지 신호에 응답하여 상기 제 2 내부 전압을 생성하고, 이후 상기 제 1 감지 신호와는 무관하게 상기 제 2 감지 신호에 응답하여 상기 제 2 내부 전압을 생성하는 제 2 내부 전압 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 전압 생성부는
    상기 제 1 감지 신호가 인에이블되면 상기 제 1 내부 전압을 생성하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 2 전압 생성부는
    제어 신호가 인에이블되면 상기 제 2 감지 신호에 응답하여 상기 제 2 전압을 생성하며,
    상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 상기 제어 신호를 인에이블시키는 제어 신호 생성부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.
  15. 제 14 항에 잇어서,
    상기 제어 신호 생성부는
    파워 업 신호가 디스에이블되면 상기 제 1 감지 신호에 응답하여 상기 제어 신호를 생성하고,
    상기 파워 업 신호가 인에이블되고 상기 제 1 감지 신호가 디스에이블되면 상기 제어 신호를 인에이블시켜 인에이블된 상기 제어 신호를 유지시키는 것을 특 징으로 하는 반도체 메모리 장치.
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