KR100822322B1 - 기판절단장치 및 기판절단방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 기판을 절단하는 기판절단장치는 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성수단과 상기 기판을 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 브레이크 수단을 구비하고, 상기 브레이크 수단은 상기 기판에 형성되는 스크라이브 라인에 상기 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 가열 유체를 분사함으로써 상기 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직크랙을 상기 기판의 두께 방향으로 확산시키는 수단을 포함한다.

Description

기판절단장치 및 기판절단방법{SUBSTRATE DIVIDING APPARATUS AND METHOD FOR DIVIDING SUBSTRATE}

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하고 기판을 스크라이브 라인을 따라 브레이크 함으로써 기판을 절단하는 기판절단장치 및 기판절단방법에 관한 것이다.

액정표시장치는, 서로 접합된 한 쌍의 글래스 기판의 사이에 액정이 주입된 표시패널을 구비하고 있다. 이러한 표시패널에 포함되는 글래스 기판은, 머더 글래스 기판을 소정의 크기로 절단하고, 절단된 글래스 기판을 접합시킴으로써 제조되고 있다.

또한 이러한 표시패널은, 대형의 머더 글래스 기판을 서로 접합시킴으로써 머더 접합 기판을 제조하고, 이 머더 접합 기판의 각 머더 글래스 기판을 각각 소정의 크기로 절단함으로써도 제조되고 있다.

도20은, 종래의 머더 글래스 기판, 특히 스크라이브 공정에 있어서 사용되는 머더 글래스 기판에 형성되어 있는 스크라이브 예정 라인을 나타낸다.

머더 글래스 기판1은 직사각형 형상으로서, 예를 들면 스크라이브 공정에서 단변(短邊) 방향인 세로방향을 따른 스크라이브 예정 라인L1∼L4을 따라 순서대로 스크라이브 라인을 형성한 후에, 장변(長邊) 방향인 가로방향을 따른 스크라이브 예정 라인L5∼L8을 따라 순서대로 스크라이브 라인을 형성한다. 그 후에, 브레이크 공정에서 형성된 스크라이브 라인을 따라 머더 글래스 기판1에 휨응력(휨 應力)을 작용시키면 머더 글래스 기판1이 브레이크 된다.

스크라이브 공정을 실시한 후에 브레이크 공정을 실시함으로써, 머더 글래스 기판1이 절단되어 4개의 절단기판1a가 제조된다.

머더 글래스 기판1의 스크라이브 공정은, 예를 들면 머더 글래스 기판1이 탑재되어서 수평방향으로 회전되는 회전 테이블과, 소정의 수평방향을 따라 왕복 이동하는 스크라이브 수단을 구비하는 스크라이브 장치에 의하여 머더 글래스 기판1을 스크라이브 하는 공정이다.

머더 글래스 기판1의 브레이크 공정은, 스크라이브 라인이 형성된 머더 글래스 기판1의 스크라이브 라인을 따라 휨 모멘트를 가함으로써 실시된다.

스크라이브 공정 및 브레이크 공정을 더 구체적으로 설명한다.

머더 글래스 기판1은, 수평방향으로 회전할 수 있는 회전 테이블 상에 고정된다. 예를 들면 커터 휠 팁은, 세로방향의 스크라이브 예정 라인L1∼L4를 따라 순서대로 4개의 스크라이브 라인을 형성한다. 그 후에 머더 글래스 기판1이 탑재된 회전 테이블은 90도 수평방향으로 회전되어져 가로방향의 스크라이브 예정 라인L5∼L8을 따라 순서대로 4개의 스크라이브 라인을 형성한다. 또 가로방향의 스크라이브 예정 라인L5∼L8의 각각을 따라 스크라이브 라인을 형성한 후에, 머더 글래스 기판1이 탑재된 테이블을 90도 회전시켜, 다음에 세로방향의 스크라이브 예정 라인L1∼L4의 각각을 따라 스크라이브 라인을 형성하더라도 좋다. 이와 같이 스크라이브 공정이 실시된다.

일반적으로 스크라이브 라인은, 머더 글래스 기판1의 표면에 커터 휠 팁을 압접(壓接)시킨 상태에서 커터 휠 팁을 전동(轉動)시킴으로써 형성된다. 머더 글래스 기판1의 두께 방향을 따라 수직 크랙이 스크라이브 라인으로부터 연장된다.

머더 글래스 기판1에 스크라이브 라인이 형성되면 머더 글래스 기판1을 구부리는 것 같이 변형시킴으로써 머더 글래스 기판1에 형성된 스크라이브 라인을 따라 휨 모멘트를 가한다. 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 머더 글래스 기판1의 스크라이브 라인이 형성되어 있는 측과 반대측의 표면에 도달하도록 확산시킴으로써 머더 글래스 기판1은 스크라이브 라인을 따라 브레이크 된다. 이렇게 브레이크 공정이 실시된다.

스크라이브 공정을 실시한 후에 연속하여 브레이크 공정을 실시함으로써 머더 글래스 기판1이 절단되어 4개의 절단기판1a가 제조된다.

일본국 특허제2785906호 공보(특허문헌1)에는, 자기 디스크, 광 디스크용의 원형모양의 글래스 기판을 글래스판으로부터 도려내는 방법으로서, 글래스판의 두께 방향에 대하여 경사진 커트 라인(cut line; 스크라이브 라인)을 폐곡선을 그리도록 형성(스크라이브 공정)한 후에, 글래스판을 가열(브레이크 공정)하는 방법이 개시되어 있다.

도20에 나타나 있는 바와 같은 머더 글래스 기판1에 서로 교차하는 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법(크로스 스크라이브 방법)에서는, 보통 머더 글래스 기판1을 소정의 테이블 상에 고정하고 테이블 상에 고정된 머더 글래스 기판1에 있어서 스크라이브 커터 등의 스크라이브 라인 형성수단을 머더 글래스 기판1에 대하여 직선적으로 이동시킴으로써 머더 글래스 기판1의 세로방향 또는 가로방향을 따르는 스크라이브 라인을 형성한 후에, 머더 글래스 기판1이 탑재된 테이블을 90도 회전시켜서 먼저 스크라이브 라인이 형성된 방향과는 직교하는 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하고 있다.

본 출원인은 일본 특허제3074143호에 개시된 머더 글래스 기판1 등의 취성재료 기판에 대하여, 그 두께 방향을 따르는 수직 크랙을 형성하는 능력이 매우 높은 커터 휠 팁을 개발하였지만, 이 커터 휠 팁에 의하여 크로스 스크라이브한 때에는 제1의 방향으로 스크라이브 하고 제2의 방향으로 스크라이브 하였을 때에 형성된 스크라이브 라인의 교점(交點)에서 머더 글래스 기판1에 흠집이 발생할 우려가 있다.

이러한 흠집은, 제1의 방향으로 스크라이브했을 때에 이미 머더 글래스 기판1에 대략 그 판의 두께에 도달하도록 수직 크랙이 형성되어 있기 때문에, 제2의 방향으로의 스크라이브 중에 커터 휠 팁이 제1의 방향의 스 크라이브 라인 부근에 도달하면, 머더 글래스 기판1이 가라앉아 제1의 방향의 스크라이브 라인과 제2의 방향의 스크라이브 라인의 교차부에서 제1의 방향의 스크라이브 라인을 따르는 글래스 기판에 올라탈 때에 발생한다.

머더 글래스 기판1의 표리면을 반전시켜서 브레이크 공정을 실시하는 브레이크 장치의 테이블에 재치시켜 형성된 스크라이브 라인을 따라 휨 모멘트를 가하는 방법에 의하여 수직 크랙을 확산시켜 머더 글래스 기판1을 절단하는 방법에서는, 절단된 기판 상호간이 서로 충돌함으로써 기판에 흠집이 발생하기 쉽다.

또한 특허문헌1에 개시된 바와 같이, 글래스판에 대하여 두께 방향으로 경사진 커트 라인(스크라이브 라인)을 형성하고 원형모양의 글래스 기판을 글래스판으로부터 도려내는 방법에서는, 글래스판의 두께 방향에 대하여 경사진 커트 라인(스크라이브 라인)을 형성하기 때문에 특수한 스크라이브 커터 등의 특수한 스크라이브 라인 형성수단이 필요하게 된다. 또한 글래스판으로부터 절단한 제품으로서의 원형의 글래스판의 절단면은 경사져 있고, 그 절단면을 원형의 글래스 기판의 표면에 대하여 수직인 단면(端面)으로 하기 위한 연삭공정이 필요하게 된다.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 절단된 기판끼리가 서로 충돌함으로써 발생하는 기판의 흠집을 없애도록 스크라이브 라인을 따라 용이하게 기판을 브레이크 하고, 기판 표면에 대하여 기판의 단면이 수직이 되도록 기판을 절단할 수 있는 기판절단장치 및 기판절단 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 기판절단장치는 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성수단과, 상기 기판을 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 브레이크 수단을 갖추고, 상기 브레이크 수단은 상기 기판에 형성된 상기 스크라이브 라인에 상기 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 가열유체를 분사함으로써 상기 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직크랙을 상기 기판의 두께 방향으로 확산시키는 수단을 구비하고 이에 따라 상기목적이 달성된다.

상기 스크라이브 라인은 적어도 제1선 부분(第1線部分)과 제2선 부분(第2線部分)을 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과는 서로 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 스크라이브 라인 형성수단이 상기 기판으로부터 이간(離間)하고, 상기 제1선 부분을 형성하고 상기 제2선 부분을 형성하더라도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 제1선 부분과 제2선 부분을 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과는 서로 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 스크라이브 라인 형성수단이 상기 기판으로부터 이간하지 않고 상기 제1선 부분을 형성하고, 상기 제2선 부분을 형성하더라도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 상기 제1선 부분의 일단(一端)과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 곡선부분은 상기 기판 상의 소정의 영역을 정의하는 경계선을 따라 형성되고, 상기 경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 적어도 일부는 상기 경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 제1선 부분을 형성하고, 상기 곡선부분을 형성하고, 상기 제2선 부분을 형성하더라도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과, 제1곡선부분과, 제2곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 제3선 부분은 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과는, 상기 기판 상의 다각형 모양인 제3영역의 적어도 일부를 정의하고, 상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제1곡선부분은, 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제1곡선부분은 상기 기판 상의 제1영역을 정의하는 제1경계선을 따라 형성되고, 상기 제1경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제1경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제1경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제2곡선부분은, 상기 제2직선 부분의 타단과 상기 제3직선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제2곡선부분은, 상기 기판 상의 제2영역을 정의하는 제2경계선을 따라 형성되고, 상기 제2경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제2경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제2경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제1영역과 상기 제2영역과 상기 제3영역은, 서로 겹치지 않는 다른 영역이며, 상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 제1선 부분을 형성하고, 상기 제1곡선부분을 형성하고, 상기 제2선 부분을 형성하고, 상기 제2곡선부분을 형성하고, 상기 제3선 부분을 형성하더라도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과, 제4선 부분과, 제1곡선부분과, 제2곡선부분과, 제3곡선부분과를 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 제3선 부분과 제4선 부분은 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과 상기 제4선 부분은 상기 기판 상의 직사각형 형상인 제5영역을 정의하고, 상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제3선 부분의 상기 타단은 상기 제4선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제4선 부분의 상기 타단은 상기 제1선 부분의 상기 타단에 이어지고 있어, 상기 제1곡선부분은, 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제1곡선부분은 상기 기판 상의 제1영역을 정의하는 제1경계선을 따라 형성되고, 상기 제1경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제1경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제1경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제2곡선부분은 상기 제2선 부분의 타단과 상기 제3선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제2곡선부분은 상기 기판 상의 제2영역을 정의하는 제2경계선을 따라 형성되고, 상기 제2경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제2경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제2경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제3곡선부분은 상기 제3선 부분의 타단과 상기 제4선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제3곡선부분은 상기 기판 상의 제3영역을 정의하는 제3경계선을 따라 형성되고, 상기 제3경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제3경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제3경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제1영역과 상기 제2영역과 상기 제3영역과 상기 제5영역은, 서로 겹치지 않는 다른 상기 기판 상의 영역이며, 상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 제1선 부분을 형성하고, 상기 제1곡선부분을 형성하고, 상기 제2선 부분을 형성하고, 상기 제2곡선부분을 형성하고, 상기 제3선 부분을 형성하고, 상기 제3곡선부분을 형성하고, 상기 제4선 부분을 형성하더라도 좋다.

상기 스크라이브 라인 형성수단은 디스크 모양의 스크라이브 커터이며, 상기 스크라이브 커터의 외주면에는 상기 기판의 표면을 전동하는 칼날이 형성되어도 좋다.

상기 칼날에는 소정의 피치로 복수의 돌기가 형성되어도 좋다.

상기 기판절단장치는 상기 스크라이브 라인을 가열하는 가열수단을 더 구비해도 좋다.

상기 곡선부분을 형성할 때에 상기 스크라이브 라인 형성수단에 의하여 상기 기판에 주어지는 압력은, 상기 제1선 부분 및 상기 제2선 부분 중 적어도 하나를 형성할 때에 상기 스크라이브 라인 형성수단에 의하여 상기 기판에 주어지는 압력보다 낮아도 좋다.

상기 기판절단장치는 상기 스크라이브 라인 형성수단을 연직축　중심으로 회전시키는 회전구동수단을 더 구비해도 좋다.

본 발명의 기판절단방법은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성공정과, 상기 기판을 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 브레이크 공정을 포함하고, 상기 브레이크 공정은, 상기 기판에 형성된 상기 스크라이브 라인에 상기 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 가열 유체를 분사함으로써 상기 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직크랙을 상기 기판의 두께 방향으로 확산시키는 공정을 포함하고, 이에 따라 상기목적이 달성된다.

상기 스크라이브 라인은 적어도 제1선 부분과 제2선 부분을 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분은 서로 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 스크라이브 라인 형성공정은, 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 수단에 의하여 실행되고, 상기 스크라이브 라인 형성공정은, 상기 제1선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제1선 부분을 형성한 후에 상기 수단이 상기 기판으로부터 이간하여 상기 제2선 부분을 형성하는 공정을 포함해도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 제1선 부분과 제2선 부분을 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과는 서로 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 스크라이브 라인 형성공정은 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 수단에 의하여 실행되고, 상기 스크라이브 라인 형성공정은, 상기 제1선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제1선 부분을 형성한 후에 상기 수단이 상기 기판으로부터 이간하지 않고 상기 제2선 부분을 형성하는 공정을 포함해도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있어, 상기 곡선부분은 상기 기판 상의 소정의 영역을 정의하는 경계선을 따라 형성되고, 상기 경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 적어도 일부는 상기 경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 스크라이브 라인 형성공정은, 상기 제1선 부분을 형성하는 공정과, 상기 곡선부분을 형성하는 공정과, 상기 제2선 부분을 형성하는 공정을 포함해도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과 제1곡선부분과 제2곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과는 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분은 상기 기판 상의 다각형 모양인 제3영역의 적어도 일부를 정의하고, 상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제1곡선부분은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제1곡선부분은 상기 기판 상의 제1영역을 정의하는 제1경계선을 따라 형성되고, 상기 제1경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제1경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제1경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제2곡선부분은 상기 제2선 부분의 타단과 상기 제3선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제2곡선부분은 상기 기판 상의 제2영역을 정의하는 제2경계선을 따라 형성되고, 상기 제2경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제2경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제2경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제1영역과 상기 제2영역과 상기 제3영역과는 서로 겹치지 않는 다른 영역이며, 상기 스크라이브 라인 형성공정은, 상기 제1선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제1선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제2선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제2곡선부분을 형성하는 공정과, 상기 제3선 부분을 형성하는 공정을 포함해도 좋다.

상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과 제4선 부분과 제1곡선부분과 제2곡선부분과 제3곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 제3선 부분과 제4선 부분과는 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과 상기 제4선 부분은 상기 기판 상의 직사각형 형상인 제5영역을 정의하고, 상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제3선 부분의 상기 타단은 상기 제4선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고, 상기 제4선 부분의 상기 타단은 상기 제1선 부분의 상기 타단에 이어지고 있고, 상기 제1곡선부분은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제1곡선부분은 상기 기판 상의 제1영역을 정의하는 제1경계선을 따라 형성되고, 상기 제1경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제1경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제1경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제2곡선부분은 상기 제2선 부분의 타단과 상기 제3선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제2곡선부분은 상기 기판 상의 제2영역을 정의하는 제2경계선을 따라 형성되고, 상기 제2경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제2경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제2경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제3곡선부분은 상기 제3선 부분의 타단과 상기 제4선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며, 상기 제3곡선부분은 상기 기판 상의 제3영역을 정의하는 제3경계선을 따라 형성되고, 상기 제3경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 상기 제3경계선의 상기 적어도 일부는 상기 제3경계선의 타부에 매끄럽게 이어지고, 상기 제1영역과 상기 제2영역과 상기 제3영역과 상기 제5영역과는 서로 겹치지 않는 다른 상기 기판 상의 영역이며, 상기 스크라이브 라인 형성공정은, 상기 제1선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제1곡선부분을 형성하는 공정과, 상기 제2선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제2곡선부분을 형성하는 공정과, 상기 제3선 부분을 형성하는 공정과, 상기 제3곡선부분을 형성하는 공정과, 상기 제4선 부분을 형성하는 공정을 포함하여도 좋다.

상기 기판절단방법은 상기 스크라이브 라인을 가열하는 가열공정을 더 포함 하더라도 좋다.

도1은, 본 발명의 실시예의 기판절단장치100의 구성을 나타내는 도면이다.

도2A는 스크라이브 헤드20의 정면도이다.

도2B는 스크라이브 헤드20의 저면도이다.

도3A는 커터 홀더27의 파단도(破斷圖)이다.

도3B는 커터 홀더27의 측면도이다.

도4A는 스크라이브 커터21의 정면도이다.

도4B는 스크라이브 커터21의 측면도이다.

도4C는 도4B에 나타내어진 스크라이브 커터21의 일부(A부분)를 확대한 도면이다.

도5A는 스크라이브 헤드65의 측면도이다.

도5B는 스크라이브 헤드65의 주요부의 정면도이다.

도6은 서보모터를 이용한 스크라이브 헤드의 다른 예인 스크라이브 헤드66의 정면도이다.

도7은 스크라이브 헤드20에 구비되는 수직 크랙 확산수단을 나타내는 도면이다.

도8은 수직 크랙 확산수단의 다른 예를 나타내는 도면이다.

도9는 본 발명의 실시예에 의한 기판을 절단하는 순서를 나타내는 플로우 차트이다.

도10은, 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 설정되어 있는 스크라이브 예정 라인의 일례를 나타내는 도면이다.

도11A는 스크라이브 커터21에 의하여 스크라이브 라인이 형성될 때에 발생하는 수직 크랙을 나타내는 도면이다.

도11B는 스크라이브 커터51에 의하여 스크라이브 라인이 형성될 때에 발생하는 수직 크랙 및 수평 크랙을 나타내는 도면이다.

도12는, 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 설정되어 있는 스크라이브 예정 라인의 다른 일례를 나타내는 도면이다.

도13은, 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 설정되어 있는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타내는 도면이다.

도14는, 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판에 설정되어 있는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타내는 도면이다.

도15는, 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 설정되어 있는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타내는 도면이다.

도16은, 머더 글래스 기판1에 배치되는 9장의 절단기판1a를 나타내는 도면이다.

도17은, 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 머더 글래스 기판1에 형성되는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타낸다.

도18은, 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 머더 글래스 기판1에 형성되는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타낸다.

도19는, 2장의 기판을 접합시킴으로써 제작된 접합기판을 절단할 수 있는 기판절단장치의 일부를 나타내는 도면이다.

도20은, 종래의 머더 글래스 기판에 대하여 스크라이브 공정에 있어서 사용되는 머더 글래스 기판에 설정되어 있는 스크라이브 예정 라인을 나타내 는 도면이다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 관하여 설명한다.

1. 기판절단장치

도1은 본 발명의 실시예의 기판절단장치100의 구성을 나타낸다.

기판절단장치100은 테이블31, 가이드 레일32, 가이드 레일33, 슬라이더34, 슬라이더35, 가이드 바36, 리니어 모터37과 리니어 모터38을 포함한다.

기판절단장치100은 액정표시장치용의 글래스 기판을 제작하기 위해서 머더 글래스 기판1을 절단한다.

테이블31에는 머더 글래스 기판1이 재치(載置)된다.

가이드 레일32와 가이드 레일33은 테이블31의 양측에 서로 평행하게 설치되어 있다.

슬라이더34는 가이드 레일32를 따라 슬라이드 가능하게 가이드 레일32에 설치되어 있다.

슬라이더35는 가이드 레일33을 따라 슬라이드 가능하게 가이드 레일33에 설치되어 있다.

리니어 모터37은 가이드 레일32를 따라 레일 모양으로 배치된 고정자(固定子)와 고정자를 따라 이동하는 이동자(移動子)를 포함한다. 리니어 모터37은 이동자가 부착된 슬라이더34를 가이드 레일32를 따라 슬라이드 시킨 다.

리니어 모터38은 가이드 레일33을 따라 배치된 고정자와 고정자를 따라 이동하는 이동자를 포함한다. 리니어 모터38은 슬라이더35를 가이드 레일33을 따라 움직이도록 슬라이드 시킨다.

가이드 바36은 슬라이더34의 상단부와 슬라이더35의 상단부의 사이에 수평으로 가설(架設)되어 있다.

스크라이브 헤드20은 가이드 바36을 따라 슬라이드 가능하게 가이드 바36에 부착되어 있다. 스크라이브 헤드20의 구성에 대한 상세한 설명은 후술한다.

기판절단장치100은 제어부를 더 포함한다. 제어부는 제1드라이버41과 제2드라이버42와 슬라이더 센서43과 컨트롤러44와 스크라이브 헤드 구동용 모터45와 제3드라이버47을 포함한다.

컨트롤러44는 제1드라이버41과 제2드라이버42와 제3드라이버47을 제어한다.

제1드라이버41은 컨트롤러44의 제어에 따라 리니어 모터37을 구동시킨다. 제2드라이버42는 컨트롤러44의 제어에 따라 리니어 모터38을 구동시킨다.

슬라이더 센서43은 가이드 레일32의 근방에 설치되어 있다. 슬라이더 센서43은 가이드 레일32 위를 슬라이드 하는 슬라이더34의 위치를 검출하고, 검출한 위치를 나타내는 데이터를 컨트롤러44로 출력한다.

제3드라이버47은 컨트롤러44의 제어에 따라 스크라이브 헤드 구동용 모터45를 구동시킨다.

스크라이브 헤드 구동용 모터45는 슬라이더34에 설치되어 있다. 스크라이브 헤드 구동용 모터45는 볼나사46을 회전시킨다. 볼나사46의 회전을 따라 스크라이브 헤드20은 가이드 바36을 따라 왕복 이동한다.

도2A는 스크라이브 헤드20의 정면을 나타낸다. 도2B는 스크라이브 헤드20의 저면을 나타낸다.

스크라이브 헤드20은 헤드 본체부22와 베어링 케이스26과 제지축25와 커터 홀더27과 스크라이브 커터21과 가압수단30과 수직 크랙 확산수단을 포함한다. 또 수직 크랙 확산수단에 대한 상세한 설명은 후술한다.

헤드 본체부22는, 헤드 본체부22에 수평으로 삽입되어 있는 지축(支軸)23과 베어링(bearing)24를 구비한다. 헤드 본체부22의 하부에는 절단부29가 형성되어 있고, 절단부29에는 베어링 케이스26이 수용되어 있다.

제지축(制止軸)25는 헤드 본체부22 내에 지축23과 평행하게 설치되어 있다.

베어링 케이스26은 제지축25에 의하여 제지되는 범위 내에서 지축23의 축심(軸心)을 중심으로 하여 회전한다. 베어링 케이스26의 일단부(一端部)는 지축23에 연결되어 있고 베어링 케이스26의 타단부(他端部)는 제지축25와 접촉한다. 베어링 케이스26은 커터 홀더27이 회전하도록 지지한다.

커터 홀더27은 커터 홀더 본체부27a와 회전축27c를 구비한다. 커터 홀더 27은 베어링28을 통하여 베어링 케이스26에 부착되어 있고, 회전축27c를 축심으로 하여 회전한다. 커터 홀더 본체부27a는 머더 글래스 기판1의 표면과 직교(直交)하는 축심을 구비하는 회전축27c와 일체로 형성되어 있다. 커터 홀더27에 대한 상세한 설명은 후술한다.

가압수단30은 회전축27c의 상방에 설치되어 있다. 가압수단30은 예를 들면 에어 실린더(air cylinder)이다. 가압수단30이 가압력을 베어링 케이스26에 부여함으로써, 회전축27c 및 커터 홀더27을 통하여 스크라이브 커터21에 소정의 하중(荷重)이 가하여진다.

스크라이브 커터21은 머더 글래스 기판1에 스크라이브 라인을 형성한다. 스크라이브 커터21은 예를 들면 다이아몬드 포인트 커터(diamond point cutter)나 커터 휠 팁(cutter wheel tip)이다. 스크라이브 커터21은 회전하도록 회전축19에 설치되어 있고, 커터 홀더27로 지지되어 있다.

도3A는 커터 홀더27의 파단도(破斷圖)이며, 도3B는 커터 홀더27의 측면도이다. 도3A 및 도3B에 있어서, 도2A 및 도2B에 나타내는 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 부호를 붙인다.

커터 홀더27은 커터 홀더 본체부27a와 회전축27c를 구비한다. 커터 홀더 본체부27a의 하부에는 하방으로 개구하는 홈부27b가 형성되어 있다. 커터 홀더 본체부27a의 상부에는 상방으로 연장되는 회전축27c가 형성되어 있고, 회전축27c는 회전하도록 베어링28을 통하여 베어링 케이스26에 의하여 지지된다. 스크라이브 커터21(예를 들면 디스크 모양의 커터 휠 팁)은 회전하도 록 홈부27b 내의 회전축19에 부착되고, 머더 글래스 기판1에 대하여 스크라이브 커터의 칼날 능선이 수직이 되도록 지지된다.

도4A는 스크라이브 커터21의 정면도이며, 도4B는 스크라이브 커터21의 측면도이며, 도4C는 도4B에 나타낸 스크라이브 커터21의 일부(A부분)를 확대한 도면이다.

스크라이브 커터21은 예를 들면 커터 휠 팁이다. 도4A∼도4C에 나타낸 스크라이브 커터21은 본원 출원인에 의한 일본 특허 제3074143호에 개시되어 있다.

스크라이브 커터21의 디스크 모양의 휠(지름Φ, 두께W)의 외주면(外周面)에 있어서, V자 형상으로 외측으로 돌출하는 칼날 능선21a에는 칼날21b가 형성되어 있다. 칼날21b는 둔각α를 구비한다.

칼날21b에는 칼날 능선부에 홈을 형성함으로써, 소정의 높이h로 외측 으로 돌출하는 복수의 돌기j가 소정의 피치p로 형성되어 있다. 복수의 돌기j의 사이즈는 실제로는 육안으로 식별할 수 없는 마이크로미터 단위이다.

스크라이브 커터21은 취성재료기판(예를 들면 머더 글래스 기판1)에, 취성재료기판의 두께 방향을 따라 수직 크랙을 형성하는 능력이 매우 높다. 따라서 깊은 수직 크랙을 형성하는 것이 가능하고, 또한 취성재료기판의 표면을 따르는 수평방향의 크랙의 발생을 억제할 수 있다.

이상에서 도2A, 도2B, 도3A, 도3B, 도4A, 도4B와 도4C를 참조하여 기판절단장치100에 구비되는 스크라이브 헤드20을 설명했다.

또 기판절단장치100에 구비되는 스크라이브 헤드의 구성은 스크라이브 헤드20에 한하지 않는다.

이하에서 스크라이브 헤드20과는 다른 구성을 구비하는 스크라이브 헤드65의 구성을 설명한다.

도5A는 스크라이브 헤드65의 측면도이며, 도5B는 스크라이브 헤드65의 주요부의 정면도이다.

스크라이브 헤드65는 한 쌍의 측벽65a와 서보모터(servo motor)65b와 홀더 지지구(holder 支持具)65c와 지축65d와 축65e와 스크라이브 커터62a와 커터 홀더62b와 한 쌍의 베벨기어(bevel gear)65f를 구비하고 있다.

한 쌍의 측벽65a의 사이에 서보모터65b가 도립(倒立) 상태로 지지되어 있다. 한 쌍의 측벽65a의 하부에는 옆쪽에서 보아서 L자 모양의 홀더 지지구65c가 지축65d를 중심으로 회전하도록 설치되어 있다.

커터 홀더62b는 축65e를 중심으로 스크라이브 커터62a가 회전하도록 지지한다. 커터 홀더62b는 홀더 지지구65c의 전방(도5B의 우측 방향)에 부착되어 있다.

서보모터65b는, 머더 글래스 기판1을 스크라이브할 때에 스크라이브 커터62a가 받는 저항력의 변동에 의한 스크라이브 압력의 변화에 순간적으로　대응하여, 서보모터65b의 회전 토크(回轉 torque)를 수정한다.

서보모터65b의 회전축에는 한 쌍의 베벨기어65f 중에 일방이, 지축 65d에는 한 쌍의 베벨기어65f 중에 타방이, 서로 맞물리도록 장착되어 있다. 따라서 서보모터65b가 정역회전(正逆回轉) 함으로써 홀더 지지구65c는 지축65d를 지점(支點)으로 하여 상하동작을 할 수 있다. 그 결과 스크라이브 커터62a가 머더 글래스 기판1의 표면에 대하여 상하로 이동한다.

도6은 서보모터를 이용한 스크라이브 헤드의 다른 예인 스크라이브 헤드66의 정면도이다.

도6에 있어서 도5A 및 도5B에 나타낸 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

도6에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 헤드66의 서보모터65b의 회전축은 홀더 지지구65c에 직접 연결되어 있다.

이하에서 도5A와 도5B와 도6을 참조하여 스크라이브 헤드65 및 스크라이브 헤드66의 동작을 상세하게 설명한다.

스크라이브 헤드65 및 스크라이브 헤드66은 서보모터65b를 위치제어 모드로 구동시킴으로써, 스크라이브 커터62a를 승강(昇降)시켜 위치를 결정한다.

스크라이브 헤드65 및 스크라이브 헤드66이 머더 글래스 기판1에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정 중에, 미리 서보모터65b에 설정된 스크라이브 커터62a의 위치가 어긋났을 경우에, 서보모터65b는 스크라이브 커터62a를 처음의 설정 위치로 되돌리려고 하는 회전토크를 발생시킨다. 이 회전토크는 서보모터65b의 구동제어부에 의하여 설정치를 넘지 않도록 제어 된다. 제어된 회전토크는 머더 글래스 기판1에 대한 스크라이브 압력으로서 커터 휠62a에 전달된다. 즉 서보모터65b는 커터 휠62a의 연직방향의 위치를 제어함과 아울러 머더 글래스 기판1을 가압하는 힘을 스크라이브 커터62a에 가한다.

스크라이브 헤드65 및 스크라이브 헤드66은 서보모터65b를 구비하고 있다. 따라서 머더 글래스 기판1을 스크라이브할 때에, 스크라이브 커터62a가 받는 저항력의 변동에 의한 스크라이브 압력의 변화에 순간적으로 대응할 수 있고, 서보모터의 회전토크가 수정된다. 그 결과, 안정된 스크라이브를 실시할 수 있고, 품질이 좋은 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

도7은 스크라이브 헤드20에 포함된 수직 크랙 확산수단을 나타낸다. 도7에 있어서, 도1 및 도2A에 나타낸 구성요소와 동일한 구성요소에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

스크라이브 헤드20은 가이드 바36에 설치되고, 머더 글래스 기판1을 브레이크하는 브레이크 기구로서도 기능한다.

증기발생 장치52는 수직 크랙 확산수단이다. 증기발생 장치52는 머더 글래스 기판1의 브레이크 수단으로서 증기를 발생한다.

증기발생 장치52는 머더 글래스 기판1에 형성된 스크라이브 라인에 머더 글래스 기판1을 팽창시키는 온도를 구비하는 증기를 분사함으로써 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 머더 글래스 기판1의 두께 방향으로 확산시킨다.

증기발생 장치52는 본체부52a와, 증기가 통과하는 플렉서블(flexible)한 호스52b와, 스크라이브 커터21을 지지하는 커터 홀더27에 일체로 부착된 노즐 헤드52c와, 증기를 하방을 향해서 분사하는 노즐부52d를 포함한다.

본체부52a는 헤드 본체부22에 부착되어 있다.

호스52b의 일방의 끝부분은 본체부52a에 부착되어 있고, 호스52b의 타방의 끝부분은 노즐 헤드52c에 접속되어 있다.

노즐 헤드52c는 커터 홀더27과 일체가 되어서 수직축을 중심으로 회전한다. 노즐 헤드52c에는 호스52b의 끝부분이 선회 가능하게 접속되어 있다. 노즐 헤드52c의 하측에는 노즐부52d가 설치되어 있다.

노즐부52d에는 예를 들면 원형모양, 타원형상, 사각형형상 또는 슬릿 모양의 증기분사구(蒸氣噴射口)가 형성되어 있다.

노즐부52d는 스크라이브 커터21에 의하여 형성되는 스크라이브 라인에 증기를 분무하고, 스크라이브 라인을 가열한다.

도8은 수직 크랙 확산수단의 다른 예를 나타낸다.

스크라이브 헤드20에 포함되는 증기발생 장치52가 1개의 노즐부52d를 구비하도록 하는 구성(도7 참조)을 바꿔서, 도8에 나타나 있는 바와 같이 증기발생 장치52가 스크라이브 헤드와 별개의 노즐 유닛53을 구비해도 좋다. 노즐 유닛53은 복수의 노즐부52d를 포함한다. 노즐 유닛53은 가이드 바36에 설치되고, 가이드 바36을 Y방향으로 이동시킴으로써 스크라이브 라인의 형성이 완료된 머더 글래스 기판1의 표면에 증기를 분사한다.

또 상기한 노즐 유닛을 바꿔, 도8의 Y방향으로 증기분출구에 슬릿이 형성된 부재를 부착해도 좋다.

본 발명의 기판절단장치에 의하면, 기판에 형성된 스크라이브 라인에 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 증기를 분사함으로써 스크라이브 공정에 있어서 형성된 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 기판의 두께 방향으로 확산시킨다.

마이크로미터 단위의 개구를 구비하는 수직 크랙에 분사된 증기가 모세현상(毛細現象)에 의하여 수직 크랙으로 침투하고, 침투한 액체가 팽창(부피팽창)함으로써 수직 크랙은 머더 글래스 기판1의 배면측으로 확산된다.

또한 보조 절단 수단으로서 증기 대신에 레이저 빔을 이용해 스크라이브 라인을 가열하도록 스크라이브 헤드에 레이저 발진기(laser 發振器)를 구비해도 좋고, 스크라이브 헤드20에 수분을 건조시키기 위한 레이저 발진기를 구비해도 좋다.

따라서 스크라이브 라인을 따라 기계적으로 휨 모멘트를 가하지 않고 수직 크랙을 기판의 두께 방향으로 확산시킬 수 있다.

그 결과, 절단된 기판끼리가 서로 충돌함으로 인한 흠집을 기판에 발생시키지 않고 스크라이브 라인을 따라 용이하게 기판을 브레이크하고 기판을 절단할 수 있다.

도1, 도2A, 도3B 및 도7에서 나타낸 예에서는 스크라이브 커터21이 「기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성수단」으로 기능 하고, 증기발생 장치52가 「기판을 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 브레이크 수단」으로 기능하고, 노즐부52d가 「기판에 형성된 스크라이브 라인에 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 가열 유체를 분사함으로써 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 기판의 두께 방향으로 확산시키는 수단」으로 기능한다. 그러나 본 발명의 기판절단장치에 포함되는 각 구성요소가 도1, 도2A, 도3B 및 도7에 나타내는 것에 한정되는 것은 아니다.

기판절단장치에 포함되는 각 구성요소가 상기한 「기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성수단」, 「기판을 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 브레이크 수단」 및 「기판에 형성된 스크라이브 라인에 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 가열 유체를 분사함으로써 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 기판의 두께 방향으로 확산시키는 수단」으로 기능하는 한, 임의의 구성을 구비할 수 있다.

또 상기한 수직 크랙 확산수단은 증기를 이용한 것에 한정되는 것은 아니다. 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 한, 가열 유체여도 좋다. 가열 유체로는 예를 들면 증기, 열탕(熱湯; hot water) 또는 증기와 열탕을 포함하는 유체이다.

2. 기판절단방법

도9는 본 발명의 실시예에 의한 기판을 절단하는 순서를 나타낸다.

이하에서, 기판절단장치100에 의하여 머더 글래스 기판1을 절단하는 순 서를 스텝별로 설명한다.

기판절단장치100에 의하여 머더 글래스 기판1을 절단하는 순서는 스크라이브 공정과 브레이크 공정을 포함한다. 또 필요에 따라 초기 설정 공정이 실시된다.

스텝501 : 초기 설정 공정이 실시된다. 초기 설정 공정은 스크라이브 공정을 시작하기 전에 기판절단장치100의 초기 상태를 설정하는 공정이다. 초기 설정 공정에 대한 상세한 설명은 후술한다.

초기 설정 공정이 종료하면 처리는 스텝502로 진행한다.

스텝502 : 스크라이브 공정이 실시된다. 스크라이브 공정은 머더 글래스 기판1에 스크라이브 라인을 형성하는 공정이다. 스크라이브 공정에 대한 상세한 설명은 후술한다.

스크라이브 공정이 종료하면, 처리는 스텝503으로 진행한다.

스텝503 : 브레이크 공정이 실시된다. 브레이크 공정은 스크라이브 라인이 형성된 머더 글래스 기판1을 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 공정이다. 브레이크 공정에 대한 상세한 설명은 후술한다.

브레이크 공정이 종료하면 처리는 종료한다.

2-1. 초기 설정 공정

이하에서, 스텝501의 초기 설정 공정을 상세하게 설명한다.

머더 글래스 기판1을 스크라이브하기 위한 준비작업으로서, 헤드 본체부22의 내부에 설치된 에어 실린더에 투입되는 압축 공기의 압력이, 머더 글래스 기판1을 스크라이브하기 위한 여러가지 조건(머더 글래스 기판의 판의 두께, 재질 등)에 의거하여 설정된다. 그 결과, 스크라이브 커터21은 소정의 하중으로 머더 글래스 기판1을 가압한다. 이 때에 베어링 케이스26은 에어 실린더로부터 힘을 받아서 지축23을 축심으로 하여 반시계 방향으로 회전하여 제지축25와 접촉한다.

다음에 0점 검출 공정이 실시된다. 0점 검출 공정에서는 스크라이브 헤드20이 머더 글래스 기판1의 수직방향을 따라 이동하기 위해서 필요하게 되는 머더 글래스 기판1의 표면의 위치가 검출된다.

0점 검출 공정에서는, 스크라이브 헤드20은 머더 글래스 기판1의 표면의 상방으로 이동된다. 다음에 스크라이브 헤드20은 스크라이브 헤드 승강수단(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여 머더 글래스 기판1의 표면의 수직방향을 따라, 머더 글래스 기판1의 표면으로 저속으로 하강된다. 그 결과, 스크라이브 커터21이 머더 글래스 기판1에 접촉하여 베어링 케이스26이 제지축25로부터 떨어졌을 때의 스크라이브 헤드의 위치가 스크라이브 헤드 승강수단의 위치 검출 기구에 의하여 검출된다. 다음에 검출된 데이터를 나타내는 0점 검출 데이터가 컨트롤러에 포함되는 기록 수단에 써 넣어진다. 이와 같이 0점 검출 공정이 실시된다.

0점 검출이 완료하면, 스크라이브 헤드 승강수단은 스크라이브 헤드20을 소정의 대기 위치(머더 글래스 기판1의 표면의 상방의 대기 위치)로 상승시킨다.

기판절단장치100에서는 머더 글래스 기판1은 테이블31 위로 위치가 결정되어 테이블31에 고정된다. 머더 글래스 기판1이 테이블31 위에 고정되면, 스크라이브 헤드20이 머더 글래스 기판1의 표면 상방의 대기 위치로 이동된 후에, 하강되어서 0점 검출(머더 글래스 기판1의 표면위치의 검출)이 이루어진다. 그리고 일단 스크라이브 헤드20은 대기 위치로 상승하여, 스크라이브 커터21이 스크라이브 예정 라인을 따라 머더 글래스 기판1의 단면의 외측근방의 위치에 배치되도록 이동시킬 수 있어, 그 위치에서 스크라이브 커터21의 칼날 선단이 머더 글래스 기판1의 상면으로부터 0.1mm ∼ 0.2mm의 위치로 하강한다.

또 머더 글래스 기판1이 테이블31 위에서 위치가 결정된 후부터 머더 글래스 기판1에 대한 스크라이브가 시작될 때까지의 사이에, 도면에 나타나 있지 않은 1한 쌍의 카메라에 의하여 얼라인먼트 마크(alignment mark)가 촬영된다. 이 얼라인먼트 마크는 머더 글래스 기판1에 적어도 2개 표시되어 있다.

촬영된 얼라인먼트 마크의 화상에 의거하여 화상처리장치(도면에는 나타내지 않는다)는, 예를 들면 머더 글래스 기판1에 관한 정보를 나타내는 수치 데이터를 생성한다.

컨트롤러44는 수치 데이터와 머더 글래스 기판1의 사이즈 및 패터닝(patterning)에 관한 데이터에 의거하여 가이드 레일36을 따라 스크라이브 방향에 대한 머더 글래스 기판1의 경사와, 스크라이브 커터21에 의하여 스크 라이브가 시작되는 Y방향의 머더 글래스 기판1의 단면의 위치를 연산한다.

2-2. 스크라이브 공정

이하에서, 스텝502의 스크라이브 공정을 설명한다.

스크라이브 헤드20은 머더 글래스 기판1에 미리 설정된 스크라이브 예정 라인을 따라 머더 글래스 기판1의 단면의 외측근방의 위치로 이동한다.

다음에 스크라이브 헤드20을 스크라이브 예정 라인을 따라 이동시키고, 머더 글래스 기판1에 커터 휠 팁21을 압접(壓接)하고 전동(轉動)시킴으로써 스크라이브 라인을 형성한다.

스크라이브 커터21의 칼날 선단이 머더 글래스 기판1의 상면으로부터 0.1mm ∼ 0.2mm의 위치로 하강하면, 컨트롤러44는 제3드라이버47이 스크라이브 헤드 구동용 모터45를 구동하도록 제3드라이버47에 명령을 보낸다. 스크라이브 헤드 구동용 모터45의 구동에 따라, 스크라이브 헤드20이 가이드 바36을 따라 이동하고, 머더 글래스 기판1에 대하여 스크라이브 공정이 시작된다.

다음에, 촬영된 얼라인먼트 마크의 화상 데이터를 상기한 화상처리장치로 처리하고, 그 처리된 결과를 기판절단장치의 제어부로 보낸다. 제어부가, 테이블31 위에 위치가 결정되어서 고정된 머더 글래스 기판1의 정규 고정 위치로부터의 위치의 어긋남을 해소하도록 슬라이더34가 가이드 레일32를 따라, 슬라이더35가 가이드 레일33을 따라 각각 이동하게 함과 아울러 가이드 바36을 따라 스크라이브 헤드20를 슬라이드 시킨다. 그 결과, 스크라이브 커터21이 소정의 Y방향의 직선 모양의 스크라이브 예정 라인을 따라 압접하여 전동한다. 이와 같이 가이드 바36을 X방향으로 이동시키면서 스크라이브 헤드20을 Y방향으로 이동시켜서 직선 모양의 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브 커터21이 압접하여 전동함으로써 이루어지는 스크라이브 방법을, 직선보간(直線補間; linear interpolation)에 의한 스크라이브라고 부르고 있다.

또한 가이드 레일32 및 가이드 레일33을 따라 X방향으로 스크라이브하는 때는 컨트롤러44에 의하여 스크라이브 방향과, 스크라이브 커터21에 의하여 스크라이브가 시작되는 X방향의 머더 글래스 기판1의 단면의 위치가 연산된다. 그리고 상기한 직선보간에 의하여 스크라이브 커터21이 소정의 X방향의 직선 모양의 스크라이브 예정 라인을 따라 압접하여 전동한다.

또 스크라이브 커터21은 회전축27c를 축심으로 하여 회전하도록 베어링28을 통하여 베어링 케이스26에 지지되어 있다. 따라서 머더 글래스 기판1위에서 스크라이브 커터21을 소정의 폐곡선을 따라 압접하여 전동시킴으로써 머더 글래스 기판1을 스크라이브 할 수 있다.

도10은 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 형성되어 있는 스크라이브 예정 라인의 일례를 나타낸다.

1장의 머더 글래스 기판1로부터 4장의 절단기판1a를 제작할 수 있도록, 스크라이브 예정 라인이 머더 글래스 기판1에 미리 설정되어 있다.

머더 글래스 기판1은 직사각형 형상이다. 4장의 절단기판1a 중에 2장 의 절단기판1a가 머더 글래스 기판1의 길이방향을 따라 2열로 배치되어 있다. 4장의 절단기판1a의 각각은 서로 적당한 간격을 두고 배치된다. 또한 4장의 절단기판1a의 각각은 머더 글래스 기판1의 길이 방향을 따라 두 테두리로부터 및 폭 방향을 따라 두 태두리로부터 적당한 간격을 두고 형성된다.

본 발명의 실시예에 의한 기판절단방법에서는, 4장의 절단기판1a에 대하여 1장씩 순서대로 절단기판1a의 전체 둘레에 스크라이브 라인을 형성하고, 스크라이브 공정 종료 후에 실시되는 브레이크 공정에 의하여 4장의 절단기판1a의 각각을 브레이크 함으로써, 머더 글래스 기판1로부터 4장의 절단기판1a를 절단한다.

예를 들면 최초에 도10에 나타낸 머더 글래스 기판1의 좌측 위의 절단기판1a의 전체 둘레에 걸쳐 머더 글래스 기판1을 스크라이브한다.

본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에서는, 우선 스크라이브의 대상이 되는 절단기판1a에 대하여 머더 글래스 기판1의 길이 방향으로 평행한 테두리를 따라 1개의 직선 모양의 스크라이브 예정 라인L9를 따라 스크라이브 라인을 형성한다. 즉 스크라이브 커터21은 스크라이브 예정 라인L9를 따라 머더 글래스 기판1의 표면을 압접하여 전동한다.

또 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에서는, 스크라이브 커터21이 스크라이브를 시작하는 점은 머더 글래스 기판1 위의 내측 절단 위치이지만, 스크라이브 예정 라인L9를 따라 머더 글래스 기판1의 단면의 외측근방 의 위치(외측 절단 위치)이더라도 좋다.

도4A 및 도4B에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 커터21(커터 휠 팁)의 칼날 능선부의 전체 둘레에는 복수의 돌기j가 소정의 피치P로 형성되어 있다. 따라서 스크라이브 커터21이 머더 글래스 기판1의 표면을 압접하여 전동함으로써, 머더 글래스 기판1의 두께 방향을 따라 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 발생시킬 수 있다. 수직 크랙은 머더 글래스 기판1의 두께의 대략 전체에 걸쳐 발생한다.

스크라이브 예정 라인L9를 따라 스크라이브 라인이 형성되면, 가이드 바36을 X방향으로 또 스크라이브 헤드20을 Y방향으로 이동시킴으로써, 스크라이브 커터21이 반경 1mm정도 연속적으로 곡선으로 이어지는 궤적을 구비하는 스크라이브 라인을 형성하도록, 수직축을　중심으로 270도에 걸쳐 스크라이브 커터21이 선회된다(도10의 코너부A). 도10의 코너부A와 같이 형성된 곡선부분을 나타내는 라인은 수직축을 중심으로 270도에 걸쳐 스크라이브 커터21이 선회됨으로써 형성된다. 곡선부분을 나타내는 라인은 스크라이브 예정 라인L9을 따라 형성된 스크라이브 라인의 일단(一端)과 스크라이브 예정 라인L10을 따라 형성된 스크라이브 라인의 일단에 매끄럽게 이어지도록 형성된다.

이와 같이 이 곡선부분은 기판 상의 제1영역을 정의하는 제1경계선(스크라이브 예정 라인 중 곡선 라인)을 따라 형성되고, 제1경계선의 적어도 일부는 곡선이며, 제1경계선의 적어도 일부는 제1경계선의 타부(他部)에 매 끄러운 모양으로 연결된다.

스크라이브 커터21이 선회 이동하는 중에는, 머더 글래스 기판1에 대한 스크라이브 커터21(커터 휠 팁)의 압접력(壓接力)이 감소하기 때문에, 머더 글래스 기판1에는 깊은 수직 크랙이 형성되지 않는다. 머더 글래스 기판1의 판의 두께가 0.7mm인 경우에는, 스크라이브 커터21이 선회 이동하는 중에 머더 글래스 기판1에 형성되는 수직 크랙의 깊이는 100㎛∼200㎛ 정도이다.

상기한 바와 같이 종래기술에 의하여 스크라이브 커터21에 의하여 크로스 스크라이브 하였을 경우에는, 제1방향을 따라 스크라이브 함으로써 형성된 스크라이브 라인과 제2의 방향을 따라 스크라이브 함으로써 형성된 스크라이브 라인과의 교점에서 머더 글래스 기판1의 흠집이 발생하기 쉽다.

제1의 방향을 따라 스크라이브 라인이 형성되었을 때에, 머더 글래스 기판1에 거의 그 판의 두께에 도달하도록 수직 크랙이 형성된다. 제2의 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 중에 스크라이브 커터21이 제1의 방향을 따라 스크라이브 라인 부근에 도달하면, 머더 글래스 기판1이 가라앉는다. 따라서 제1의 방향을 따르는 스크라이브 라인과 제2의 방향을 따르는 스크라이브 라인이 교차하는 부분에서, 스크라이브 커터21은 제1의 방향을 따르는 스크라이브 라인이 형성되어 있는 글래스 기판에 올라 탄다. 그 결과, 머더 글래스 기판1에 흠집이 발생한다.

본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에 있어서는, 곡선부분을 형성할 때에 스크라이브 커터21에 의하여 머더 글래스 기판1에 주어지는 압력은, 스 크라이브 예정 라인L9를 따라 형성된 스크라이브 라인 및 스크라이브 예정 라인L10을 따라 형성된 스크라이브 라인 중 적어도 1개를 형성할 때에 스크라이브 커터21에 의하여 머더 글래스 기판1에 주어지는 압력보다 낮다. 즉 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에 있어서는, 스크라이브 커터21이 선회 되기 때문에 머더 글래스 기판1에 대한 압접력이 감소한다. 따라서 제1의 방향을 따라 스크라이브 라인이 형성되었을 때에, 머더 글래스 기판1의 코너부A에는 거의 그 판의 두께에 도달하는 수직 크랙이 형성되지 않는다. 따라서 제2의 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 중에 스크라이브 커터21이 제1의 방향을 따르는 스크라이브 라인 부근에 도달해도, 머더 글래스 기판1이 가라앉는 일이 없다. 그 결과, 교차 부분의 머더 글래스 기판1의 흠집의 발생을 방지할 수 있다.

스크라이브 커터21의 진행 방향이 270도 선회되어, 스크라이브 커터21이 스크라이브 예정 라인L9와 직교하고 절단기판1a의 폭 방향을 따르는 직선 모양의 스크라이브 예정 라인L10을 따라 진행한다. 스크라이브 예정 라인L10을 따라 스크라이브 커터21이 압접하여 전동하고, 스크라이브 예정 라인L10을 따라 두께 방향의 전체에 걸쳐 수직 크랙이 연장되는 스크라이브 라인이 형성된다.

그 후에 마찬가지로 하여, 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1의 표면으로부터 이간(離間)하지 않고 절단기판1a의 코너부B에 있어서 반경1mm 정도의 연속적인 곡선으로 이어지는 궤적을 형성하면서, 스크라이브 예정 라 인L10과 직교하는 방향으로 270도에 걸쳐 스크라이브 커터21이 선회되어서, 스크라이브 예정 라인L11을 따라 압접하여 전동한다. 스크라이브 예정 라인L11을 따라 스크라이브 커터21(커터 휠 팁)이 압접하여 전동하고, 스크라이브 예정라인L11을 따라 두께 방향의 전체에 걸쳐 수직 크랙이 연장되는 스크라이브 라인이 형성된다.

그 후에 또한 마찬가지로 하여, 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1의 표면으로부터 이간하지 않고 절단기판1a의 코너부C에 있어서 반경1mm 정도의 연속적인 곡선으로 이어지는 궤적을 형성하면서, 스크라이브 예정 라인L11과 직교하는 방향으로 270도에 걸쳐 스크라이브 커터21이 선회되어서, 스크라이브 예정 라인L12를 따라 압접하여 전동한다. 스크라이브 예정 라인L12를 따라 스크라이브 커터21(커터 휠 팁)이 압접하여 전동하고, 스크라이브 예정 라인L12를 따라 두께 방향의 전체에 걸쳐 수직 크랙이 연장되는 스크라이브 라인이 형성된다.

이와 같이 스크라이브 예정 라인L9∼L12는 머더 글래스 기판1 위의 장방형 모양의 영역을 정의하고, 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정을 실시 함으로써 절단기판1a의 둘레에는 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인과 4개의 곡선 라인을 포함하는 폐곡선이 형성된다.

4장의 절단기판1a 중에 다른 3장의 각각에 대해서도 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정을 실시함으로써, 4장의 절단기판1a 중에 3장의 각각의 둘레에는 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인을 포함하는 폐곡선이 형성된다.

4장의 절단기판1a의 각각에 대하여 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정이 실시된 후에, 본 발명의 실시예의 브레이크 공정을 실시함으로써 머더 글래스 기판1로부터 4장의 절단기판1a의 각각을 절단할 수 있다.

본 발명의 실시예의 브레이크 공정에서는, 4장의 절단기판1a의 각각의 영역 또는 4장의 절단기판1a의 각각의 영역 이외의 영역을 가열 또는 냉각함으로써, 4장의 절단기판1a의 각각을 브레이크 할 수 있다. 영역의 가열은 예를 들면 히터나 레이저 발진기로부터 조사(照射)된 레이저 빔에 의하여 이루어진다. 영역의 냉각은 예를 들면 냉각 노즐을 이용해서 냉각매체(CO2, He, N2 등)를 영역에 분사함으로써 이루어진다.

머더 글래스 기판1로부터 4장의 절단기판1a의 각각을 절단한 후에, 예를 들면 진공흡착수단을 구비한 반송기에 의하여 4장의 절단기판1a를 머더 글래스 기판1로부터 반출한다. 그리고 4장의 절단기판1a를 꺼낸 머더 글래스 기판1의 나머지의 부분은 불필요한 부분으로서 폐기된다.

또 본 발명의 실시예의 브레이크 공정의 상세한 설명은 후술한다.

초기 설정 공정을 실시함으로써, 스크라이브 공정을 실시하기 위해서 필요한 정보(예를 들면 머더 글래스 기판1의 형상 및 치수에 관한 정보, 스크라이브 예정 라인에 관한 정보)가 스크라이브 공정의 실시 전에 컨트롤러44에 설정되어 있다. 테이블31과 테이블31에 재치되는 머더 글래스 기판1의 위치에 따라 리니어 모터37, 리니어 모터38이 제어됨과 아울러 스크라이 브 헤드 구동용 모터45가 제어된다. 그 결과, 스크라이브 커터21은 머더 글래스 기판1에 설정된 스크라이브 예정 라인을 따라 이동해 머더 글래스 기판1에 스크라이브 라인을 형성한다.

또한 도10을 참조하여 설명한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에 있어서는, 스크라이브 예정 라인L12가 머더 글래스 기판1 상에서 종료하고 있지만, 스크라이브 예정 라인L12를 따르는 스크라이브 종료 위치는 도10에 나타나 있는 바와 같이 머더 글래스 기판 상의 위치 혹은 머더 글래스 기판의 단면 부근의 위치의 어느 쪽이더라도 좋다.

또한 도10을 참조하여 설명한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에 있어서는, 스크라이브 예정 라인L9∼L12는 직선이었지만 스크라이브 예정 라인L9∼L12는 직선에 한정되지 않는다. 스크라이브 예정 라인L9∼L12 중에서 적어도 1개는 직선, 곡선 또는 직선과 곡선을 조합한 것이어도 좋다.

도11A는 스크라이브 커터21에 의하여 스크라이브 라인이 형성될 때에 발생하는 수직 크랙을 나타낸다.

예를 들면 두께 1.1mm의 글래스 기판10에 스크라이브 커터21을 압접하여 전동시킨 경우에는, 스크라이브 커터21의 칼날21b는 글래스 기판10의 표면으로부터 6㎛ 정도 파고 들어간다. 그 결과, 글래스 기판10으로부터의 반력이 작고, 깊이 0.8mm ∼ 1.0mm의 수직 크랙이 발생한다.

이와 같이 스크라이브 커터21의 칼날21b에 형성된 복수의 돌기j가 글래스 기판10에 타점충격(打點衝擊)을 주기 때문에, 스크라이브 공정 실시시에 글래스 기판10의 표면에 따른 반력에 의하여 수평 크랙이 발생할 우려가 없고, 형성되는 스크라이브 라인의 주변 부분에 흠집 등이 발생할 우려가 없다.

도11B는 스크라이브 커터51에 의하여 스크라이브 라인이 형성될 때에 발생하는 수직 크랙 및 수평 크랙을 나타낸다.

스크라이브 커터51의 구성은, 스크라이브 커터21의 칼날21b에 형성되어 있는 것 같은 복수의 돌기j가 스크라이브 커터51의 칼날에 형성되어 있지 않는 것을 제외하고, 스크라이브 커터21의 구성과 동일하다.

예를 들면 두께 1.1mm의 글래스 기판10에 스크라이브 커터51을 전동시킨 경우에는, 스크라이브 커터51의 칼날은 글래스 기판10의 표면으로부터 3㎛ 정도 밖에 파고 들어가지 않는다. 그 결과, 발생하는 수직 크랙은 깊이 0.1mm ∼ 0.15mm로 얕고, 또한 글래스 기판10의 표면에 따른 수평 응력이 발생한다. 이 때문에 글래스 기판10의 표면에 따른 수평방향의 반력에 의하여 수평 크랙이 발생하고, 형성되는 스크라이브 라인의 주변 부분에 흠집 등이 발생한다.

이와 같이 스크라이브 커터21에 의하여 스크라이브 라인을 형성하고 있기 때문에, 절단기판1a의 표면에 수평 응력의 발생에 의한 흠집 등이 발생할 우려가 없다.

또한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에 있어서는, 스크라이브 커터21이 선회되기 때문에 머더 글래스 기판1에 대한 압접력이 감소하고, 제1 의 방향을 따라 스크라이브 라인이 형성되었을 때에 머더 글래스 기판1의 코너부A에는 거의 그 판의 두께에 도달하는 수직 크랙이 형성되지 않는다. 따라서 제2의 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 중에 스크라이브 커터21이 제1의 방향을 따르는 스크라이브 라인 부근에 도달해도, 머더 글래스 기판1이 가라앉는 일이 없다. 그 결과, 교차 부분의 머더 글래스 기판1의 흠집의 발생을 방지할 수 있다.

또한 스크라이브 커터21이 머더 글래스 기판1을 스크라이브할 때에, 머더 글래스 기판1에 대한 스크라이브 커터21의 압력을 감소시키는 것이 가능하기 때문에 스크라이브 커터21 자체의 마모, 손상 등을 억제할 수 있고, 스크라이브 커터21을 장기에 걸쳐 안정적으로 사용할 수 있다.

도12는 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 형성되어 있는 스크라이브 예정 라인의 다른 일례를 나타낸다.

도12를 참조하여 설명하는 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에서는, 스크라이브 예정 라인L9 및 스크라이브 예정 라인L10에 따른 스크라이브 라인을, 도10을 참조하여 설명한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정과 동일한 방법에 의하여 형성한다.

스크라이브 예정 라인L9를 따라 스크라이브 라인을 형성하는 경우에는, 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1의 단면의 외측 부근에 위치시켜서 거기에서 연속적으로 스크라이브 예정 라인L9를 따라 스크라이브 라인을 형성한 다.

스크라이브 라인의 형성 시작시에 스크라이브 커터21이 머더 글래스 기판1의 표면에 올라 탈 때에 발생하는 머더 글래스 기판1의 흠집은, 제품이 되는 절단기판1a에는 영향을 주지 않는다.

절단기판1a의 코너부A에 있어서, 반경 1mm 정도의 연속적인 곡선으로 연결되는 궤적을 형성하면서 스크라이브 예정 라인L9와 직교하는 방향으로 270도에 걸쳐 스크라이브 커터21이 선회되어서, 스크라이브 커터21은 스크라이브 예정 라인L10을 따라 압접하여 전동한다. 스크라이브 예정 라인L10을 따라 스크라이브 커터21(커터 휠 팁)이 압접하여 전동하고, 스크라이브 예정 라인L10을 따라 기판의 두께 방향의 전체에 걸쳐 수직 크랙이 연장되는 스크라이브 라인이 형성된다.

그 후에 일단 스크라이브 커터21은 머더 글래스 기판1의 표면으로부터 이간한 후에, 스크라이브 예정 라인L9와 직교하는 방향의 스크라이브 예정 라인L12 및 L11에 따른 스크라이브 라인을 스크라이브 예정 라인L11, 스크라이브 예정 라인L12의 순서로 형성한다. 스크라이브 예정 라인L12 및 L11에 따른 스크라이브 라인을 형성하는 경우에도, 스크라이브 라인 형성 시작시에 스크라이브 커터21이 머더 글래스 기판1의 표면에 올라 탈 때에 발생하는 머더 글래스 기판1의 흠집은, 제품이 되는 절단기판1a에는 영향을 주지 않는다.

이와 같이 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정을 실시함으로써, 절 단기판1a의 둘레에는 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인을 포함하는 폐곡선이 형성된다.

4장의 절단기판1a 중에 다른 3장의 각각에 대해서도 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정을 실시함으로써, 4장의 절단기판1a 중에 3장의 각각의 둘레에는 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인을 포함하는 폐곡선이 형성된다.

4장의 절단기판1a의 각각에 대하여 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정이 실시된 후에, 본 발명의 실시예의 브레이크 공정을 실시함으로써 머더 글래스 기판1로부터 4장의 절단기판1a의 각각을 절단할 수 있다.

머더 글래스 기판1로부터 4장의 절단기판1a의 각각을 절단한 후에, 예를 들면 진공흡착수단을 구비한 반송기에 의하여 4장의 절단기판1a를 머더 글래스 기판1로부터 반출한다. 그리고 4장의 절단기판1a를 꺼낸 머더 글래스 기판1의 나머지의 부분은 불필요한 부분으로서 폐기된다.

본 발명의 실시예의 브레이크 공정에서는, 4장의 절단기판1a의 각각의 영역 또는 4장의 절단기판1a의 각각의 영역 이외의 영역을 가열 또는 냉각함으로써, 4장의 절단기판1a의 각각을 브레이크 할 수 있다. 영역의 가열은 예를 들면 히터나 레이저 발진기로부터 조사된 레이저 빔에 의하여 이루어진다. 영역의 냉각은 예를 들면 냉각 노즐을 이용해서 냉각매체(CO2, He, N2 등)를 영역에 분사시킴으로써 이루어진다.

또 본 발명의 실시예의 브레이크 공정의 상세한 설명은 후술한다.

도12를 참조하여 설명한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에 있어서는, 스크라이브 커터21이 선회되기 때문에 머더 글래스 기판1에 대한 압접력이 감소하여, 제1의 방향을 따라 스크라이브 라인이 형성되었을 때에 머더 글래스 기판1의 코너부A에는, 거의 그 판의 두께에 도달하는 수직 크랙이 형성되지 않는다. 따라서 제2의 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 중에 스크라이브 커터21이 제1의 방향을 따르는 스크라이브 라인 부근에 도달해도, 머더 글래스 기판1이 가라앉는 일이 없다. 그 결과, 교차 부분의 머더 글래스 기판1의 흠집의 발생을 방지할 수 있다.

또한 스크라이브 커터21이 머더 글래스 기판1을 스크라이브할 때에, 머더 글래스 기판1에 대한 스크라이브 커터21의 압력을 감소시키는 것이 가능하기 때문에 스크라이브 커터21자체의 마모, 손상 등을 억제할 수 있고, 스크라이브 커터21을 장기에 걸쳐 안정적으로 사용할 수 있다.

도13은 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 형성되어 있는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타낸다.

도13을 참조하여 설명하는 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에서는, 우선 스크라이브 예정 라인L9∼L12에 따른 4개의 스크라이브 라인(이하, 이 4개의 스크라이브 라인을 주 스크라이브 라인MS1이라 부른다)을 도10을 참조하여 설명한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정과 동일한 방법에 의하여 형성한다. 주 스크라이브 라인MS1을 형성한 후에, 절단기판1a의 외측 에 주 스크라이브 라인MS1과 0.5mm ∼ 1mm 정도의 간격을 두고, 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인을 포함하는 서브 스크라이브 라인SS1을 형성한다. 주 스크라이브 라인MS1에 포함되는 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인의 각각과 서브 스크라이브 라인SS1에 포함되는 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인의 각각은 평행하다.

도13을 참조하여 설명한 것 같이, 주 스크라이브 라인MS1로부터 0.5mm ∼ 1mm 정도의 간격을 두고 서브 스크라이브 라인SS1을 형성하는 경우에는, 서브 스크라이브 라인SS1의 형성시에 머더 글래스 기판1의 표면에 스크라이브 라인의 형성 방향과 직교하는 수평방향으로 응력이 증가하고, 이미 형성되어 있는 주 스크라이브 라인MS1을 형성하는 수직 크랙의 표면부분에 압축력이 작용한다. 주 스크라이브 라인MS1을 형성하는 수직 크랙의 표면부분에 압축력이 작용하면, 수직 크랙의 바닥에는 수직 크랙의 폭을 넓히는 방향으로 반력이 작용한다. 따라서 수직 크랙은 머더 글래스 기판1의 두께 방향으로 확산되고 또한 머더 글래스 기판의 배면(背面)에 도달한다.

도14는 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 형성되어 있는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타낸다.

도13을 참조하여 설명한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에서는, 주 스크라이브 라인MS1의 형성시와 서브 스크라이브 라인SS1의 형성시의 사이에 일단 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1로부터 이간한다. 그러나 도 14에 나타나 있는 바와 같이 주 스크라이브 라인MS1의 형성 후에 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1로부터 이간하지 않고, 주 스크라이브 라인MS1의 형성 후에 연속해서 서브 스크라이브 라인SS1을 형성하더라도 좋다.

도15는 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 사용되는 머더 글래스 기판1에 형성되어 있는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타낸다.

도12를 참조하여 설명한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정과 같이, 주 스크라이브 라인MS1이 구비하는 2개의 직선 모양의 스크라이브 라인을 스크라이브 예정 라인L9 및 스크라이브 예정 라인Ll0을 따라 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1로부터 이간하지 않고 형성한 후에, 일단 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1로부터 이간하고 주 스크라이브 라인MS1이 구비하는 나머지의 2개의 직선 모양의 스크라이브 라인을 스크라이브 예정 라인L11 및 스크라이브 예정 라인L12를 따라 스크라이브 커터21을 머더 글래스 기판1로부터 이간하지 않고 형성한다. 서브 스크라이브 라인SS1도 주 스크라이브 라인MS1과 동일한 공정으로 형성한다.

도16은 머더 글래스 기판1에 배치되는 9장의 절단기판1a를 나타낸다.

예를 들면 머더 글래스 기판1의 길이방향의 일방의 측부(側部)에 있어서, 머더 글래스 기판1의 폭방향을 따라 3장의 절단 글래스 기판1a를 형성하도록 3장의 절단기판1a의 각각에 스크라이브 라인을 순서대로 형성한다.

다음에 머더 글래스 기판1의 길이방향의 중앙부에 있어서, 머더 글래스 기판1의 폭방향을 따라 3장의 절단기판1a를 형성하도록 3장의 절단기판1a의 각각에 스크라이브 라인을 순서대로 형성한다.

마지막으로, 머더 글래스 기판1의 길이방향의 타방의 측부에 있어서, 머더 글래스 기판1의 폭방향을 따라 3장의 절단기판1a를 형성하도록 3장의 절단기판la의 각각에 스크라이브 라인을 순서대로 형성한다.

도17은 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 의하여 머더 글래스 기판1에 형성되는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타낸다.

도17은 머더 글래스 기판1로부터 이형 형상(異形 形狀)의 절단기판1b 및 절단기판1c를 절단하기 위한 스크라이브 예정 라인L13 및 스크라이브 예정 라인L14를 나타낸다.

스크라이브 커터21은 상기한 이형 형상의 스크라이브 예정 라인L13 및 스크라이브 예정 라인L14를 따라 머더 글래스 기판1로부터 이간하지 않고 압접하여 전동하여, 이형 형상의 스크라이브 라인을 머더 글래스 기판1에 형성한다.

또 상기한 이형 형상으로는, 직사각형 이외의 형상이며 직선 및 / 또는 곡선으로 이루어지는 형상이다.

도18은 본 발명의 실시예에 의한 스크라이브 공정에 사용되는 머더 글래스 기판1에 형성되는 스크라이브 예정 라인의 또 다른 일례를 나타낸다.

도18은 머더 글래스 기판1로부터 이형 형상의 절단기판1d를 절단하는 스크라이브 예정 라인L15∼L18을 나타낸다.

스크라이브 예정 라인L15∼L18의 각각은 절단되는 이형 형상의 절단 기판1d의 외형의 적어도 하나의 곡선에 대응하도록 형성된다.

스크라이브 예정 라인L15∼L18은 소정의 곡률을 구비하는 곡선이며, 기판의 일방의 단면으로부터 타방의 단면에 걸쳐 형성되고 있다.

스크라이브 커터21은 우선 스크라이브 예정 라인L15를 따라 머더 글래스 기판1의 표면을 압접하여 전동해서 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후에 스크라이브 예정 라인L16∼L18을 따라 머더 글래스 기판1의 표면을 압접하여 전동해서 스크라이브 라인을 형성한다.

또 상기한 이형 형상은 직사각형 이외의 형상이며, 직선 및 / 또는 곡선으로 이루어지는 형상이다.

2-3. 브레이크 공정

이하에서, 본 발명의 실시예의 브레이크 공정을 상세하게 설명한다.

브레이크 공정은, 예를 들면 스크라이브 공정에 의하여 스크라이브 라인이 형성된 머더 글래스 기판1에 대하여 실시된다.

스크라이브 예정 라인L9∼L12를 따라 스크라이브 라인이 형성된 후에, 형성된 스크라이브 라인에 머더 글래스 기판1을 팽창시키는 온도를 구비하는 증기가 분사된다. 증기는 도7에 나타낸 증기발생 장치52의 노즐부52d에서 분사된다. 증기를 분사함으로써 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙이 머더 글래스 기판1의 두께 방향으로 확산된다.

마이크로미터 단위의 개구를 구비하는 수직 크랙에 분사된 증기가 모 세현상에 의하여 수직 크랙에 침투하고, 침투한 액체가 팽창(부피팽창)함으로써 수직 크랙은 머더 글래스 기판1의 배면측으로 확산된다.

또 복수의 노즐부52d를 구비한 노즐 유닛53을 가이드 바36에 설치해 스크라이브 라인이 형성된 머더 글래스 기판1의 표면에 증기를 분사하여도 좋다(도8참조).

또 증기발생 장치52를 설치하지 않고, 스크라이브 라인이 형성된 머더 글래스 기판에 스크라이브 라인이 형성된 표면과는 반대측의 표면으로 압력을 가함으로써, 머더 글래스 기판에 형성된 스크라이브 라인을 따라 머더 글래스 기판1을 브레이크 하여도 좋다.

또한 보조 절단 수단으로서 증기 대신에 레이저 빔을 이용해 스크라이브 라인이 가열되도록 스크라이브 헤드에 레이저 발진기를 구비해도 좋고, 스크라이브 헤드20에 수분을 건조시키기 위한 레이저 발진기를 구비해도 좋다.

본 발명의 실시예에서는 스크라이브 공정의 실행이 종료한 후에 브레이크 공정이 실행되는 예를 설명했지만, 스크라이브 공정의 실행이 종료한 후에 브레이크 공정이 실행되는 것에 한하지 않는다. 기판에 형성된 스크라이브 라인에 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 가열 유체를 분사함으로써 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 기판의 두께 방향으로 확산시킬 수 있는 한, 스크라이브 공정과 브레이크 공정의 시작의 타이밍은 임의이다. 예를 들면 직선 모양의 스크라이브 라인을 형성하면서 스크라이브 라인에 증기를 분사하도록 브레이크 공정을 실시할 수 있다.

이상에서, 본 발명의 실시예의 기판절단장치 및 기판절단방법에 대하여 상세하게 설명하였다.

본 발명의 실시예에서는 1장의 머더 글래스 기판1을 절단하는 예를 설명했지만, 한 번에 절단되는 기판은 1장에 한하지 않는다. 제1의 기판과 제2의 기판을 접합시킴으로써 제작된 접합기판을 절단하는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 예를 들면 플랫 디스플레이 패널의 일종인 액정표시패널, 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판으로 절단되는 머더 접합 기판의 스크라이브에 본 발명의 실시예의 기판절단방법을 적용할 수도 있다.

도19는 2장의 기판을 접합시킴으로써 제작된 접합기판을 절단할 수 있는 기판절단장치의 일부를 나타낸다.

접합기판200은 위의 취성재료기판200A와 아래의 취성재료기판200B를 접합시킴으로써 제작된다. 접합기판200의 상하에서 스크라이브 수단201 및 스크라이브 수단202에 의하여 접합기판200을 스크라이브하고, 스크라이브된 접합기판200의 상하의 기판에 대하여 본 발명의 브레이크 공정을 실시함으로써 접합기판200을 절단한다.

본 발명의 실시예에 있어서는 머더 글래스 기판의 절단장치 및 절단방법에 대해서 설명했지만, 절단되는 기판은 머더 글래스 기판에 한정되지 않는다. 예를 들면 석영기판, 사파이어 기판, 반도체 웨이퍼, 세라믹 기판을 대상으로 하여 본 발명을 적용할 수 있다.

또한 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정에 있어서, 스크라이브 커터(예를 들면 커터 휠 팁21, 커터 휠 팁51, 다이아몬드 포인트 커터, 커터 휠 또는 그 이외의 스크라이브 형성수단)를 머더 글래스 기판1에 접촉한 후에, 스크라이브 커터를 진동(振動)시킴으로써 머더 글래스 기판1에 대한 압력을 주기적으로 변동하면서 스크라이브 라인을 형성하는 경우에도 본 발명의 실시예의 브레이크 공정을 효과적으로 실시할 수 있고, 스크라이브 커터21과 동일한 효과를 얻을 수 있다.

또한 머더 글래스 기판에 4개의 직선 모양의 스크라이브 라인을 형성하고 직사각형의 절단기판을 절단하는 예를 설명했지만, 형성되는 직선 모양의 스크라이브 라인은 4개에 한정되지 않는다. 3개 이상의 직선 모양의 스크라이브 라인을 형성해서 다각형 모양의 기판을 얻는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 예를 들면 3개 이상의 스크라이브 예정 라인은 머더 글래스 기판1 위의 다각형 모양의 영역을 정의하고, 본 발명의 실시예의 스크라이브 공정을 실시함으로써 절단기판의 둘레에는 3개 이상의 직선 모양의 스크라이브 라인과 2개 이상의 곡선 라인을 포함하는 폐곡선이 형성된다.

또한 3개 이상의 스크라이브 라인의 각각은 직선에 한하지 않는다. 3개 이상의 스크라이브 라인의 적어도 1개는 직선, 곡선 또는 직선과 곡선의 조합이어도 좋다.

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예를 이용해서 본 발명을 예시했지만, 본 발명은 이 실시예에 한정해서 해석되어야 하는 것은 아니다. 본 발명은 특허청구범위에 의하여만 그 범위가 해석되어야 할 것이다. 당업자는 본 발명의 구체적인 바람직한 실시예의 기재로부터 본 발명의 기재 및 기술상식에 의거하여 등가(等價)의 범위의 실시를 할 수 있다. 본 명세서에서 인용한 일본 특허, 일본 특허출원 및 문헌은 그 내용 자체가 구체적으로 본 명세서에 기재되어 있는 것처럼, 그 내용이 본 명세서에 대한 참고로서 원용되어야 할 것이다.

본 발명의 기판절단장치에 의하면, 기판에 형성된 스크라이브 라인에 기판을 팽창시키는 온도를 구비하는 가열 유체를 분사함으로써 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙을 기판의 두께 방향으로 확산시킬 수 있다.

따라서 스크라이브 라인을 따라 휨 모멘트를 가하지 않고 수직 크랙을 기판의 두께 방향으로 확산시킬 수 있다.

그 결과, 절단된 기판끼리가 서로 충돌함으로써 기판에 흠집을 발생시키는 일 없이 스크라이브 라인을 따라 용이하게 기판을 절단할 수 있다.

Claims (19)

1. 머더 기판으로부터 복수의 단위 기판(單位基板)을 절단하는 기판절단장치로서,

   상기 머더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성수단과,

   상기 머더 기판을 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 브레이크 수단을

   갖추고,

   상기 브레이크 수단은, 상기 머더 기판에 형성된 상기 스크라이브 라인에 증기를 분출함으로써 상기 증기가 상기 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙(垂直 crack)으로 침투하고, 상기 침투한 증기에 의하여 상기 머더 기판이 팽창함으로써 상기 머더 기판에 휨 모멘트를 가하지 않고 상기 수직 크랙을 상기 머더 기판의 두께 방향으로 확산시키는 수단을 구비하는 기판절단장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 스크라이브 라인은 적어도 제1선 부분과 제2선 부분을 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과는 서로 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

   상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 스크라이브 라인 형성수단이 상기 머더 기판으로부터 이간하고 있는 동안에 상기 제1선 부분을 형성하고 상기 제2선 부분을 형성하는 기판절단장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 스크라이브 라인은 제1선 부분과 제2선 부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과는 서로 교차하고 또한 각각 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

   상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 스크라이브 라인 형성수단이 상기 머더 기판으로부터 이간하지 않고 상기 제1선 부분을 형성하고 상기 제2선 부분을 형성하는 기판절단장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 스크라이브 라인은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분을 더 구비하고,

   상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

   상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 제1선 부분을 형성하고, 상기 곡선부분을 형성하고, 상기 제2선 부분을 형성하는 기판절단장치.
5. 제3항에 있어서,

   상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과 제1곡선부분과 제2곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과는 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

   상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분은 상기 머더 기판상의 다각형 모양인 영역의 적어도 일부를 정의하고,

   상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

   상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

   상기 제1곡선부분은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

   상기 제2곡선부분은 상기 제2선 부분의 타단과 상기 제3선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

   상기 스크라이브 라인 형성수단은 상기 제1선 부분을 형성하고, 상기 제1곡선부분을 형성하고, 상기 제2선 부분을 형성하고, 상기 제2곡선부분을 형성하고, 상기 제3선 부분을 형성하는 기판절단장치.
6. 제3항에 있어서,

   상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과 제4선 부분과 제1곡선부분과 제2곡선부분과 제3곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과 상기 제4선 부분과는 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

   상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과 상기 제4선 부분은 상기 머더 기판 상의 직사각형 모양인 영역을 정의하고,

   상기 제1선 부분의 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

   상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

   상기 제3선 부분의 상기 타단은 상기 제4선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

   상기 제4선 부분의 상기 타단은 상기 제1선 부분의 상기 타단에 이어지고 있고,

   상기 제1곡선부분은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

   상기 제2곡선부분은 상기 제2선 부분의 타단과 상기 제3선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

   상기 제3곡선부분은 상기 제3선 부분의 타단과 상기 제4선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

   상기 스크라이브 라인 형성수단은, 상기 제1선 부분을 형성하고, 상기 제1곡선부분을 형성하고, 상기 제2선 부분을 형성하고, 상기 제2곡선부분을 형성하고, 상기 제3선 부분을 형하고, 상기 제3곡선부분을 형성하고, 상기 제4선 부분을 형성하는 기판절단장치.
7. 제1항에 있어서,

   상기 스크라이브 라인 형성수단은 디스크 모양의 스크라이브 커터이고,

   상기 스크라이브 커터의 외주면에는 상기 머더 기판의 표면을 전동(轉動)하는 칼날이 형성된 기판절단장치.
8. 제7항에 있어서,

   상기 칼날에는 소정의 피치로 복수의 돌기가 형성되어 있는 기판절단장치.
9. 제1항에 있어서,

   상기 기판절단장치는 상기 스크라이브 라인을 가열하는 가열수단을 더 구비한 기판절단장치.
10. 제4항에 있어서,

    상기 곡선부분을 형성할 때에 상기 스크라이브 라인 형성수단에 의하여 상기 머더 기판에 주어지는 압력은, 상기 제1선 부분 및 상기 제2선 부분 중 적어도 하나를 형성할 때에 상기 스크라이브 라인 형성수단에 의하여 상기 머더 기판에 주어지는 압력보다 낮은 기판절단장치.
11. 제1항에 있어서,

    상기 기판절단장치는 상기 스크라이브 라인 형성수단을 연직축을 중심으로 회전시키는 회전구동수단을 더 구비한 기판절단장치.
12. 머더 기판으로부터 복수의 단위 기판을 절단하는 기판절단방법으로서,

    상기 머더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성공정과,

    상기 머더 기판을 상기 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 브레이크 공정을

    포함하고,

    상기 브레이크 공정은, 상기 머더 기판에 형성된 상기 스크라이브 라인에 증기를 분사함으로써 상기 증기가 상기 스크라이브 라인으로부터 연장된 수직 크랙에 침투하고, 상기 침투한 증기에 의하여 상기 머더 기판이 팽창함으로써 상기 머더 기판에 휨 모멘트를 가하지 않고 상기 수직 크랙을 상기 머더 기판의 두께 방향으로 확산시키는 공정을 포함하는 기판절단방법.
13. 제12항에 있어서,

    상기 스크라이브 라인은 적어도 제1선 부분과 제2선 부분을 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과는 서로 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

    상기 스크라이브 라인 형성공정은 상기 머더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 수단에 의하여 실행되고,

    상기 스크라이브 라인 형성공정은,

    상기 제1선 부분을 형성하는 공정과, .

    상기 제1선 부분을 형성한 후에 상기 수단이 상기 머더 기판으로부터 이간하여 상기 제2선 부분을 형성하는 공정을

    포함하는 기판절단방법.
14. 제12항에 있어서,

    상기 스크라이브 라인은 제1선 부분과 제2선 부분을 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과는 서로 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

    상기 스크라이브 라인 형성공정은 상기 머더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 수단에 의하여 실행되고,

    상기 스크라이브 라인 형성수단은,

    상기 제1선 부분을 형성하는 공정과,

    상기 제1선 부분을 형성한 후에 상기 수단이 상기 머더 기판으로부터 이간하지 않고 상기 제2선 부분을 형성하는 공정을

    포함하는 기판절단방법.
15. 제14항에 있어서,

    상기 스크라이브 라인은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분을 더 구비하고,

    상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

    상기 스크라이브 라인 형성공정은,

    상기 제1선 부분을 형성하는 공정과,

    상기 곡선부분을 형성하는 공정과,

    상기 제2선 부분을 형성하는 공정을

    포함하는 기판절단방법.
16. 제14항에 있어서,

    상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과 제1곡선부분과 제2곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과는 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

    상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분은 상기 머더 기판상의 다각형 모양인 영역의 적어도 일부를 정의하고,

    상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

    상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

    상기 제1곡선부분은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

    상기 제2곡선부분은 상기 제2선 부분의 타단과 상기 제3선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

    상기 스크라이브 라인 형성공정은,

    상기 제1선 부분을 형성하는 공정과,

    상기 제1곡선부분을 형성하는 공정과,

    상기 제2선 부분을 형성하는 공정과,

    상기 제2곡선부분을 형성하는 공정과,

    상기 제3선 부분을 형성하는 공정을

    포함하는 기판절단방법.
17. 제14항에 있어서,

    상기 스크라이브 라인은 제3선 부분과 제4선 부분과 제1곡선부분과 제2곡선부분과 제3곡선부분을 더 구비하고, 상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선 부분과 상기 제4선 부분과는 교차하고 또한 각각이 직선 또는 곡선 혹은 이들의 조합으로 이루어지고,

    상기 제1선 부분과 상기 제2선 부분과 상기 제3선부분과 상기 제4선 부분은 상기 머더 기판 상의 직사각형 모양인 영역을 정의하고,

    상기 제1선 부분의 상기 일단은 상기 제2선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

    상기 제2선 부분의 상기 타단은 상기 제3선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

    상기 제3선 부분의 상기 타단은 상기 제4선 부분의 상기 일단에 이어지고 있고,

    상기 제4선 부분의 상기 타단은 상기 제1선 부분의 상기 타단에 이어지고 있고,

    상기 제1곡선부분은 상기 제1선 부분의 일단과 상기 제2선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

    상기 제2곡선부분은 상기 제2선 부분의 타단과 상기 제3선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

    상기 제3곡선부분은 상기 제3선 부분의 타단과 상기 제4선 부분의 일단에 매끄럽게 이어지는 곡선부분이며,

    상기 스크라이브 라인 형성공정은,

    상기 제1선 부분을 형성하는 공정과,

    상기 제1곡선부분을 형성하는 공정과,

    상기 제2선 부분을 형성하는 공정과,

    상기 제2곡선부분을 형성하는 공정과,

    상기 제3선 부분을 형성하는 공정과,

    상기 제3곡선부분을 형성하는 공정과,

    상기 제4선 부분을 형성하는 공정을

    포함하는 기판절단방법.
18. 제12항에 있어서,

    상기 기판절단방법은 상기 스크라이브 라인을 가열하는 가열공정을 더 포함하는 기판절단방법.
19. 제15항에 있어서,

    상기 곡선부분을 형성할 때에 상기 수단에 의하여 상기 머더 기판에 주어지는 압력은, 상기 제1선 부분 및 상기 제2선 부분 중 적어도 하나를 형성할 때에 상기 수단에 의하여 상기 머더 기판에 주어지는 압력보다 낮은 기판절단방법.

Images