JP5826652B2 - ホルダユニット及びスクライブ装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス基板、セラミックス基板、シリコン基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのホルダユニット及びこのホルダユニットを有するスクライブ装置に関する。

従来、液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）パネル等のフラットディスプレイパネル、太陽電池等の製造工程では、マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断工程が設けられている。この分断工程では、通常特許文献１に記載されているようなスクライブ装置が用いられている。そして、分断工程では、このスクライブ装置に備えたスクライビングホイールに脆性材料基板の材質や厚み等の諸条件に見合った荷重を負荷しながら、スクライビングホイールを脆性材料基板の表面上を転動させてスクライブラインを形成し、脆性材料基板に所定の力を負荷することにより脆性材料基板をスクライブラインに沿って分断し、個々のパネルや各種基板を製造している。

このスクライブ装置は、例えば下記特許文献１に示されているように、ホルダーの回転軸部がベアリングに挿通され、スクライブヘッドの移動に伴いホルダーが回転可能となるように形成されている。

このホルダーの回転軸部が挿通されているベアリングについて、図６を用いて説明する。なお、図６に示したベアリングは市販のシールド型と称するベアリングであり、図６（ａ）はベアリング５０の正面図を、図６（ｂ）はベアリング５０のＡ−Ａ断面図を示す。ベアリング５０は、外側の大きな外輪５１と、内側の小さな内輪５２と、外輪５１と内輪５２の間に配置された複数の回転体５３と、外輪５１と内輪５２との間への異物の進入防止のため等の目的で上下それぞれに取り付けられたシール部材５４と、で形成されている。

この時、ベアリングには、シール部材５４の内輪５２側の端部が、図６（ｂ）の点線で囲った領域に示すように内輪５２の側面と隙間を設けているタイプと、内輪５２の側面と接しているタイプと、がある。
図６（ｂ）のようなシール部材５４の内輪５２側の側面が、内輪５２の側面と隙間を設けているタイプは、シール部材５４による摩擦が少なく、高速な回転が必要な際に適している。一方、シール部材５４の内輪５２側の側面が、内輪５２の側面と接しているタイプは、防塵性や防水性が高いため、その用途によってそれぞれ使い分けが行われている。

そして、脆性材料基板の大型化により分断工程の高速化がますます進む中、スクライブ装置においては、図６（ｂ）に示したシール部材５４の内輪５２側の側面が、内輪５２の側面と隙間を設けているタイプのベアリングが用いられることが多い。

特開２０１１−２２５００１号公報 国際公開ＷＯ２００４／００７１６４号公報

このような従来のスクライブ装置を用いて、ガラス等の脆性材料基板をスクライブしたり分断したりする際に、微小なカレット等の異物が、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間から進入してしまい、ベアリングの回転不良が発生し、ホルダーの動作不良が発生するという問題があった。

ここで、スクライブ装置には、貼り合せ基板の分断工程をより効率的に行うため、例えば上記特許文献２に示されているように、脆性材料基板の下側にもスクライブヘッドが備わっているものがある。そして、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間から異物が進入することによるベアリングの回転不良が生じる問題は、上下にスクライブヘッドが配置されたスクライブ装置における下側のスクライブヘッドで、特に見受けられた。

そこで、本発明者は、この問題を解消すべく種々検討を重ねた結果、上下にスクライブヘッドが配置されたスクライブ装置において、下側のスクライブヘッドには、ベアリングにある隙間を塞ぐ防塵部材をベアリングの上に配置することで、この問題を解消し得ることに想到し、本発明を完成するに至ったものである。

すなわち、本発明は上記問題を解消することを課題とし、特に上下にスクライブヘッドが配置されたスクライブ装置の下側のスクライブヘッドにおいて、ベアリングの内部に異物が進入することによる回転不良を防止できるスクライブ装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の第１の態様は、脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するためのホイール保持部と、回転軸部と、前記回転軸部に取り付けられたベアリングと、を備えるホルダユニットであって、前記ベアリングは、外輪と、内輪と、前記外輪及び前記内輪の間に配置された複数の回転体と、前記外輪と前記内輪との間に、前記回転体とは接触せず、前記外輪と内輪との間の隙間を覆いかつ前記外輪又は前記内輪と直接接触しないように配置されたシール部材と、で形成され、前記ベアリングは、前記ホイール保持部側の一端に前記内輪又は外輪と前記シール部材との間の隙間を塞ぐ防塵部材が配置されており、前記防塵部材は、前記ベアリングの前記内輪に固定されかつ外側の端部は前記外輪に達しないことを特徴とする。

本発明の第１の態様によれば、ホルダユニットには、ベアリングを構成する内輪又は外輪とシール部材との間に形成された隙間を塞ぐようにベアリングのホイール保持部側に防塵部材が配置されているので、簡単な構造で安価に脆性材料基板を分断する際に発生したカレット等の異物がベアリング内に進入し難くすることができる。

さらに、防塵部材がベアリングの内輪の上面に固定されているので、防塵部材とベアリングとの密着性をよりよくすることができ、さらにカレット等の異物がベアリング上に進入し難くなる。

また、本発明の第２の態様は、第１の態様にかかるホルダユニットであって、前記ホルダユニットは、前記ホイール保持部と前記回転軸部とを有するホルダーを備えることを特徴とする。

本発明の第２の態様によれば、ホイール保持部と回転軸部からなるホルダーを備えるホ
ルダユニットにおいて、異物がベアリング内に進入し難くすることができる。

また、本発明の第３の態様は、第２の態様にかかるホルダユニットであって、前記ホイール保持部は、端部が前記防塵部材に接触する状態に配置されていることを特徴とする。

本発明の第３の態様によれば、ホイール保持部は、端部が防塵部材に接触する状態に配置されているので、カレット等の異物がベアリング上に進入し難く、また、防塵部材とベアリングの密着性をよくすることができる。

また、本発明の第４の態様は、第１の態様にかかるホルダユニットであって、前記ホルダユニットは、前記ホイール保持部に前記スクライビングホイールを一体として保持するホルダーと、前記ホルダーを着脱自在に保持するためのチップホルダ保持部と前記回転軸部とを有するホルダジョイントと、を備えていることを特徴とする。

本発明の第４の態様によれば、スクライビングホイールを保持するホルダーが、ホルダジョイントのチップホルダ保持部を介して着脱自在に保持されるので、消耗品であるスクライビングホイールの交換はホルダーの着脱によって簡単に行うことができるとともに、
ホルダジョイントを備えるホルダユニットにおいて、ベアリング内へ異物が進入し難くすることができる。

また、本発明の第５の態様は、第４の態様にかかるホルダユニットであって、前記チップホルダ保持部は、端部が前記防塵部材に接触する状態に配置されていることを特徴とする。

本発明の第５の態様によれば、チップホルダ保持部は、端部が防塵部材に接触する状態に配置されているので、カレット等の異物がベアリング上に進入し難く、また、防塵部材とベアリングの密着性をよくすることができる。

また、本発明の第６の態様は、第１の態様にかかるホルダユニットであって、前記ホルダユニットは、前記ホイール保持部の外周に前記ベアリングの上面全体を覆う大きさのカバーが取り付けられていることを特徴とする。
本発明の第６の態様によれば、スクライブヘッドとホルダユニットとの間の隙間を小さくすることができる。したがって、落下してくる異物の大部分をカバーで止めてしまうことができるので、異物がベアリング側へ向かうのをより一層低減することができる。

また、本発明の第７の態様は、スクライビングホイールと、第１から６の態様にかかるホルダユニットと、を備えるスクライブヘッドが配置されたスクライブ装置である。

本発明の第７の態様によれば、スクライブ装置において、スクライブヘッドに備えられたホルダユニットのベアリング内にカレット等の異物が進入し難くなる。

また、本発明の第８の態様は、第７の態様にかかるスクライブ装置であって、前記スクライブヘッドが上下に配置されたことを特徴とする。

本発明の第８の態様によれば、スクライブヘッドが上下に配置されたスクライブ装置において、スクライブヘッドに備えられたホルダユニットのベアリング内にカレット等の異物が進入し難くなる。

実施形態１のスクライブ装置の概略図である。 実施形態１のホルダユニットの正面図である。 実施形態２のホルダユニットの正面図である。 実施形態３のホルダユニットの正面図である。 実施形態４のホルダユニットの正面図である。 ベアリングの正面図と断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するためのスクライブ装置の一例を示すものであって、本発明をこのスクライブ装置に特定することを意図するものではなく、本発明は特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものにも適応し得るものである。

［実施形態１］
本発明の実施形態に係るスクライブ装置１の概略図を図１に示す。スクライブ装置１は、液晶パネルのようなガラス貼り合せ基板等の脆性材料基板２を支持しておく図示しない支持部を備えている。そして、脆性材料基板２の下面側にスクライブヘッド１０ａを、上面側にスクライブヘッド１０ｂを移動可能に備えている。

スクライブヘッド１０ａは、本体１１と、本体１１に装着されたホルダユニット１２と、で構成されている。なお、ホルダユニット１２に関しては詳細を後述する。また、スクライブヘッド１０ｂは、スクライブヘッド１０ａと同様の構成となっているので、説明を省略する。

なお、特に図示していないが、スクライブ装置１は、分断工程において、スクライブヘッド１０ａ、１０ｂを脆性材料基板２に近づけたり離したりするための昇降機構や、スクライブヘッド１０ａ、１０ｂを移動させる移動機構を備えている。なお、この昇降機構や移動機構は、スクライブヘッド１０ａ、１０ｂと一体になって設けられていても、別々に設けられていてもよい。

そして、この他にスクライブ装置１は図示していないＣＣＤカメラ等の画像認識手段を備えており、この画像認識手段により脆性材料基板２に記されているアライメントマークを認識し、脆性材料基板２の位置調整等を行う。

次に、図２を用いてホルダユニット１２について説明する。ホルダユニット１２は、円柱状のホルダー２０と、スクライビングホイール３０と、二つのベアリング５０ａ、５０ｂと、円筒形のスペーサ４０と、で構成されている。なお、図２は、ホルダユニット１２の正面図を示すとともに、ベアリンク５０ａ、５０ｂ、スペーサ４０については断面図を示している。

ホルダー２０の先端には、スクライビングホイール３０が回転自在に保持されており、ホルダー２０の円柱状部分には、ホルダー２０を回動自在に保持するための第１、第２のベアリング５０ａ、５０ｂが、円筒形のスペーサ４０を介して設けられている。

より詳しくは、ホルダー２０は、ホイール保持部２１と、回転軸部２２で構成されている。そして、円柱状のホイール保持部２１は、先端側が三角形状になっており、この三角形状の先端にはスクライビングホイール３０を挿入するための溝２３が形成されている。この溝２３には、スクライビングホイール３０を固定するためのピン孔２４が形成されている。そして、このピン孔２４に図示しないピンが挿通されており、スクライビングホイール３０が回転自在に取り付けられている。

このスクライビングホイール３０は、例えば焼結ダイヤモンドで形成され、厚さが約０．６５ｍｍのディスク状の部材であって、中心に貫通孔を有している。また、スクライビングホイール３０は、外周部に沿って稜線を形成するＶ字形の刃を有している。稜線の両側の傾斜面は、通常、９０〜１６５°の角度で互いに交差しており、これらの傾斜面によって稜線が形成されている。そして、ホイール保持部２１には、ピン孔２４を外側から覆うためのピン押さえ２５がネジ２６によってネジ止めされている。

ホルダー２０の円柱状の回転軸部２２は、ベアリング５０ａ、５０ｂと、スペーサ４０の円筒の開口内に挿入されている。そして回転軸部２２の下端は、ボルト等によってベアリング５０ｂと固定されている。

ここで、スクライビングホイール３０の交換作業について説明する。なお、スクライビングホイール３０は消耗品であり、定期的な交換を必要とする。そして、スクライビングホイール３０は、非常に小さなものであるため、スクライブヘッド１０ａの本体１１にホルダユニット１２を装着したままでの交換作業は難しいので、通常、まず、本体１１からホルダユニット１２を取り外し、次に、ホルダー２０からスクライビングホイール３０を取り出して交換が行われる。

ベアリング５０ａ、５０ｂは、図６について説明した従来から知られているスクライブ装置で用いられるベアリングと同様であり、同様の符号を用いて説明する。ベアリング５０ａは、外側の大きな外輪５１と、内側の小さな内輪５２と、外輪５１と内輪５２の間に配置された複数の回転体５３と、この回転体５３の位置を保持しておく保持具（図示せず）とともに、外輪５１と内輪５２との間への異物の進入防止のため等の目的で上側と下側に取り付けられたシール部材５４と、で形成されている。

この時、ベアリング５０ａの外輪５１の内周面側には、断面Ｕ字状の係止溝５５が形成されており、シール部材５４の外輪５１側端部は、Ｕ字状に湾曲成形されている。そして、このシール部材５４の湾曲部の弾性力により、シール部材５４の湾曲部が係止溝５５と嵌合し、シール部材５４が固定されている。一方、この時ベアリング５０ａは、シール部材５４の内輪５２側の端部が、内輪５２の側面と隙間を設けているタイプとなっている。

このようなシール部材５４の内輪５２側の側面が、内輪５２の側面と隙間を設けているタイプは、シール部材５４による摩擦が少なく、高速な回転が必要な場合に適しており、スクライブ装置１でもこのタイプのベアリング５０ａを用いている。なお、ベアリング５０ｂも外輪５１の外形に多少の違いがあるが、ベアリング５０ａと略同様であり、その説明を省略する。

ホルダユニット１２に、ベアリング５０ａ、５０ｂを用いると、先にも述べたように、ガラス等の脆性材料基板２をスクライブしたり分断したりする際に、微小なカレット等の異物が、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間から進入してしまい、ベアリングの回転不良が発生することがある。この問題は、特に下側のスクライブヘッド１０ａのホルダユニット１２の、上側のベアリング５０ａの上面側で発生し易い。

そこで、本実施例においては、防塵部材６０が、ベアリング５０ａの上面側にある内輪５２とシール部材５４との隙間を塞ぐようにベアリング５０ａの上方に配置されている。したがって、脆性材料基板２の分断工程において、異物がベアリング５０ａに落下してきたとしても、防塵部材６０によって、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間へ進入し難くすることができる。

この防塵部材６０は、ベアリング５０ａのリング形状に倣って、リング形状となっている。そして、表面の摩擦抵抗ができるだけ低い方が好ましく、フッ素樹脂、シリコンゴムまたはアルミニウム、ステンレス等の金属等で形成されている。また、単層材料ではなく特性の異なる材料を用い複層で形成されていてもよい。また、ベアリング５０ａの回転にできるだけ影響を与えないように、防塵部材６０の外側の端部は、外輪５１にまで達しないように形成されている。

また、防塵部材６０は、ベアリング５０ａの上面とできるだけ密着していた方が異物の進入を防止する上では好ましいので、内輪５２の上面に接着、固定されていてもよい。或いは、図２に示すように、ホイール保持部２１の下側に、円周に沿って突出部２７を設けておき、この突出部２７の下端が防塵部材６０の表面と接触する状態となし、防塵部材６０とホイール保持部２１との間に隙間が生じないようにしてもよい。この時、突出部２７の下端が防塵部材６０の表面と接触する領域は、回転への影響を考えると、できるだけ小さい方が好ましい。従って、図２に示すように突出部２７の下端は、段部を備える構造になっている。そして、防塵部材６０と接触するこの突出部２７の段部は、ベアリング５０ａの内輪５２の上面と大体同じ領域に設けられている。また、突出部２７を設けておくことで、カレット等の異物がベアリング５０ａの上面へ更に進入し難くなる。なお、この突出部２７は、ホイール保持部２１の円周全てにおいて突出している必要はなく、円周の数箇所において突出する構成であっても構わない。また、突出部２７の先端が下方に折れ曲がり、防塵部材６０の横方向への動きを規制する構成となっていてもよい。

このように防塵部材６０を配置しておくことにより、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間への異物の進入を防ぐことができる。特に、従来のスクライブ装置１に対して、防塵部材６０を追加するだけで、異物の進入を防ぐことができるため、部品点数の増加も最小限で済む。また、特にスクライブ装置１の他の構成に大きな変更を必要としないので、装置の製造コストの増加を防ぐこともできる。

また、防塵部材６０は、下側のスクライブヘッド１０ａのホルダユニット１２の、上側のベアリング５０ａの上に配置するだけでなく、上側のスクライブヘッド１０ｂのホルダジョイントの下側のベアリングの下側に配置してもよい。なお、上側のスクライブヘッド１０ｂは、図２に示したスクライブヘッド１０ａの上下を逆にした形状となっており、この時の下側のベアリングとは、ベアリング５０ａということになる。また、上側のみ、または下側のみにスクライブヘッドが配置されたスクライブ装置のスクライブヘッドに用いられてもよい。

［実施形態２］
本発明の実施形態に係るスクライブ装置は、実施形態１のスクライブ装置１と同様に脆性材料基板の下面側と上面側にスクライブヘッドをそれぞれ備えている。そして、スクライブヘッドには、本体にホルダユニットがそれぞれ装着されている。図３に示すこのホルダユニット１２０の構成が、実施形態１のホルダユニット１２と異なっている。なお、実施形態１のホルダユニット１２と同様の構成については、同様の符号を用いて、適宜その説明は省略する。

ホルダユニット１２０は、スクライビングホイール３００と、スクライビングホイール３００を回転自在に保持するホルダー２３０と、２つのベアリング５０ａ、５０ｂと円筒形のスペーサ４０とを含む円柱状のホルダジョイント２００と、で構成されている。なお、図３は、ホルダユニット１２０の正面図を示すとともに、ベアリング５０ａ、５０ｂ、スペーサ４０については断面図を示している。

ホルダジョイント２００の先端には、ホルダー２３０が装着されており、ホルダー２３０の先端には、スクライビングホイール３００が回転自在に保持されており、ホルダジョイント２００の円柱状部分には、ホルダジョイント２００を回動自在に保持するための第１、第２のベアリング５０ａ、５０ｂが、円筒形のスペーサ４０を介して設けられている。

より詳しくは、ホルダジョイント２００は、チップホルダ保持部２１０と、回転軸部２２０で構成されている。そして、円柱状のチップホルダ保持部２１０は、円形の開口２４０が形成されており、この開口２４０の底部にマグネット２５０が埋設されている。

ホルダー２３０は略円筒形の部材であって、その先端側には平坦部２３１ａ、２３１ｂが設けられている。なお、図３でホルダー２３０の先端側を拡大している図は、横方向から観察した場合の拡大図を示している。そして、平坦部２３１ａと平坦部２３１ｂとの間にスクライビングホイール３００を保持するための溝２３２が形成されている。また、平坦部２３１ａ、２３１ｂには、スクライビングホイール３００を固定するための貫通孔２３３が形成されており、この貫通孔２３３にピン２３４を貫通し、スクライビングホイール３００を回転自在に取り付ける。また、ホルダー２３０の下端側には位置決め用の取付部２３５が設けられている。この取付部２３５は、傾斜部と平坦部で構成されている。

そして、チップホルダ保持部２１０には、開口２４０の内部を通る平行ピン２６０が取り付けられており、この平行ピン２６０は、ホルダー２３０の取付部２３５を構成する傾斜部に接して、ホルダー２３０の位置決めを行っている。

スクライビングホイール３００は、実施形態１と同様に、例えば焼結ダイヤモンドで形成された厚さが約０．６５ｍｍのディスク状の部材からなる。また、ホルダジョイント２００の円柱状の回転軸部２２０は、実施形態１と同様に、ベアリング５０ａ、５０ｂと、スペーサ４０の円筒の開口内に挿入されている。

ここで、ホルダー２３０のホルダジョイント２００への取り付け方についての説明を行う。図３に示すようにチップホルダ保持部２１０の開口２４０に、ホルダー２３０の取付部２３５側から挿入する。その際、ホルダー２３０の下端側がマグネット２５０によって引き寄せられ、取付部２３５の傾斜部が平行ピン２６０に接触し位置決めが行われる。そして、取付部２３５がマグネットに接触することによりホルダー２３０の固定が行われる。反対に、ホルダジョイント２００からホルダー２３０を取り外す際には、ホルダー２３０を引き抜くだけで、容易に取り外すことができる。

ベアリング５０ａ、５０ｂは、実施形態１と同様、シール部材５４の内輪５２側と、内輪５２の側面との間に隙間が設けてられている。そして、ホルダジョイント２００に、ベアリング５０ａ、５０ｂを用いているため、脆性材料基板２の分断工程において、微小なカレット等の異物が、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間から進入してしまい、ベアリングの回転不良が発生する。

そこで、実施形態２においても、防塵部材６００が、この隙間を塞ぐようにベアリング５０ａの上方に配置されている。したがって、脆性材料基板２の分断工程において、異物がベアリング５０ａに落下してきたとしても、防塵部材６００によって、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間へ進入し難くすることができる。

この防塵部材６００も、ベアリング５０ａのリング形状に倣って、リング形状となっている。そして、表面の摩擦抵抗ができるだけ低い方が好ましく、フッ素樹脂、シリコンゴムまたはアルミニウム、ステンレス等の金属等で形成されている。

また、防塵部材６００も、ベアリング５０ａの上面とできるだけ密着していた方が異物の進入を防止する上では好ましいので、内輪５２の上面に接着、固定されていてもよい。或いは、図２に示すように、ホイール保持部２１の下側に、円周に沿って突出部２７を設けておき、この突出部２７０の下端が防塵部材６００の表面と接触する状態となし、防塵部材６００とホイール保持部２１との間に隙間が生じないようにしてもよい。この時、突出部２７０の下端は、実施形態１と同様に段部を備える構造になっている。そして、突出部２７０の防塵部材６００と接触するこの段部は、ベアリング５０ａの内輪５２の上面と大体同じ領域に設けられている。

このように防塵部材６００を配置しておくことにより、内輪５２とシール部材５４との間に存在する隙間への異物の進入を防ぐことができ、また、防塵部材６００を追加するだけなので部品点数の増加も最小限で済む。また、特にスクライブ装置１の他の構成に大きな変更を必要としないので、装置の製造コストの増加を防ぐこともできる。

また、実施形態２のように、スクライビングホイール３００を交換する際に、スクライブヘッドからホルダユニット全体をわざわざ取り外す必要がなく、ホルダー２３０をチップホルダ保持部２１０から抜き出して、ホルダー２３０ごと交換できるようなスクライブ装置の場合、スクライビングホイール３００の交換が容易に行える反面、ホルダジョイント２００をスクライブヘッドから取り外す必要がないために、ベアリング５０ａの表面をクリーニングする機会も少なくなるので、防塵部材６００をベアリング５０ａの隙間を塞ぐ位置に配置しておくことによる効果は、より一層高くなる。

なお、防塵部材６００は、実施例１と同様に、下側のスクライブヘッドのホルダジョイント２００の、上側のベアリング５０ａの上に配置するだけでなく、上側のスクライブヘッドのホルダジョイントの下側のベアリングの下に配置してもよい。

［実施形態３］
次に、実施形態３について説明する。実施形態３は、実施体形態１で説明したホルダユニット１２の一部を改良したホルダユニット１２ａである。なお、ホルダユニット１２ａについては、ホルダユニット１２と同様な構成は同様の符号を用いて、その説明を省略する。図４には実施形態３に係るホルダユニット１２ａの正面図を示すとともに、ベアリング５０ａ、５０ｂ、スペーサ４０については断面図で示している。

ホルダユニット１２ａがホルダユニット１２と異なる点は、ホイール保持部２１の円柱部分の外周に円筒状のカバー２８が取り付けられている点である。このカバー２８は、アルミ等の金属や樹脂から形成された部材であり、ベアリング５０ａの上面全体を覆うような大きさをしている。このホルダユニット１２ａを用いることにより、本体１１とホルダユニット１２ａとの間の隙間を、カバー２８のないホルダユニット１２を用いた場合と比較して小さくすることができる。したがって、落下してくる異物の大部分をカバー２８で止めてしまうことができるので、異物がベアリング５０ａ側へ向かうのをより一層低減することができる。

このカバー２８は、スクライビングホイール３０が保持されているホルダー２０の先端側から挿入し、ホイール保持部２１に設けられている突出部２７等に、カバー２８の内周側を係合させることで、ホルダー２０に取り付けられている。したがって、カバー２８の取り外しも容易に行うことができる。

［実施形態４］
次に、実施形態４について説明する。実施形態４は、実施体形態２で説明したホルダユニット１２０の一部を改良したホルダユニット１２０ａである。なお、ホルダユニット１２０ａについては、ホルダユニット１２０と同様な構成は同様の符号を用いて、その説明を省略する。図５には実施形態４に係るホルダユニット１２０ａの正面図を示すとともに、ベアリング５０ａ、５０ｂ、スペーサ４０については断面図で示している。

ホルダユニット１２０ａがホルダユニット１２０と異なる点は、チップホルダ保持部２１０の円柱部分の外周に円筒状のカバー２８０が取り付けられている点である。このカバー２８０は、実施形態３のカバーと同様に、アルミ等の金属や樹脂から形成された部材であり、ベアリング５０ａの上面全体を覆い、スクライブヘッド本体１１との隙間をほぼふさぐような大きさをしている。

このカバー２８０は、ホルダジョイント２００の先端側から挿入し、チップホルダ保持部２１０に設けられている突出部２７０等に、カバー２８０の内周側を係合させることで、ホルダー２０に取り付けられている。更に、ネジ２９０がチップホルダ保持部２１０の側面にネジ孔を介して取り付けられるようになっており、ネジ２９０を取り付けることによってカバー２８０の上側への動きが規制されるようになっている。したがって、スクライブ装置の使用中においては、カバー２８０が確実に外れないようになっており、また、カバー２８０を取り外す際には、ネジ２９０を取り除くことにより簡単に取り外せるようになっている。

また、実施形態１、実施形態２、実施形態３、実施形態４において、ホルダユニットは二つのベアリング５０ａ、５０ｂを備えているが、一つからなるものでも構わないし、或いはより多くのベアリングを備えているものでも構わない。その際にも、下側のスクライブヘッドに装着されたホルダユニットの最上部のベアリングの上側に、防塵部材が配置されていればよい。

１・・・スクライブ装置
１０ａ、１０ｂ・・・スクライブヘッド
１２、１２０・・・ホルダユニット
２０、２３０・・・ホルダー
２００・・・ホルダジョイント
２１・・・ホイール保持部
２１０・・・チップホルダ保持部
２２、２２０・・・回転軸部
３０、３００・・・スクライビングホイール
５０ａ、５０ｂ・・・ベアリング
５１・・・外輪
５２・・・内輪
５４・・・シール部材
６０、６００・・・防塵部材

Claims (8)

1. 脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するためのホイール保持部と、回転軸部と、前記回転軸部に取り付けられたベアリングと、を備えるホルダユニットであって、
   前記ベアリングは、外輪と、内輪と、前記外輪及び前記内輪の間に配置された複数の回転体と、前記外輪と前記内輪との間に、前記回転体とは接触せず、前記外輪と内輪との間の隙間を覆いかつ前記外輪又は前記内輪と直接接触しないように配置されたシール部材と、で形成され、
   前記ベアリングは、前記ホイール保持部側の一端に前記内輪又は外輪と前記シール部材との間の隙間を塞ぐ防塵部材が配置されており、
   前記防塵部材は、前記ベアリングの前記内輪に固定されかつ外側の端部は前記外輪に達しないことを特徴とするホルダユニット。
2. 前記ホルダユニットは、前記ホイール保持部と前記回転軸部とを有するホルダーを備えることを特徴とする請求項１に記載のホルダユニット。
3. 前記ホイール保持部は、端部が前記防塵部材に接触する状態に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のホルダユニット。
4. 前記ホルダユニットは、
   前記ホイール保持部に前記スクライビングホイールを一体として保持するホルダーと、
   前記ホルダーを着脱自在に保持するためのチップホルダ保持部と前記回転軸部とを有するホルダジョイントと、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のホルダユニット。
5. 前記チップホルダ保持部は、端部が前記防塵部材に接触する状態に配置されていることを特徴とする請求項４に記載のホルダユニット。
6. 前記ホルダユニットは、前記ホイール保持部の外周に前記ベアリングの上面全体を覆う大きさのカバーが取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のホルダユニット。
7. スクライビングホイールと、請求項１〜６に記載のホルダユニットと、を備えるスクライブヘッドが配置されたスクライブ装置。
8. 前記スクライブヘッドが上下に配置された請求項７に記載のスクライブ装置。
   

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