JP5508847B2 - スクライブ装置及び方法 - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、回転軸を共有する二つの円錐の底部が交わって円周稜線が形成され、この円周稜線に沿って円周方向に交互に複数の切欠き及び突起が形成され、前記突起は前記円周稜線が切り欠かれて残った円周方向に長さを有する前記円周稜線の部分で構成され、前記切欠きの円周方向の長さは前記突起の円周方向の長さよりも短いスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールが前記回転軸の回りを回転できるように前記スクライビングホイールを保持すると共に、前記スクライビングホイールを脆性材料基板の表面に対して交差する方向に振動させる振動アクチュエータを有するスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドを前記脆性材料基板の表面に沿って移動させる移動機構と、を備えるスクライブ装置であって、前記振動アクチュエータは、前記スクライビングホイールが前記脆性材料基板の表面から離れた状態において、前記スクライビングホイールを5〜20μmの振幅、1〜3kHzの周波数で振動させ、前記スクライブ装置はさらに、前記スクライビングホイールを0.1〜0.3MPaの圧力で前記脆性材料基板に押し付ける加圧機構を備え、前記振動アクチュエータは、磁気ひずみの特性を利用して、電気振動を機械振動に変換する超磁歪素子を有するスクライブ装置である。
また、従来のN刃を振動させるときの条件よりも低い荷重、大きな振幅、低い周波数でA刃を振動させることで、脆性材料基板にダメージを与えることなく、垂直クラックを深く浸透させることができる。
さらに、振動アクチュエータが超磁歪素子を有するので、広い周波数帯域で比較的大きな変位を安定して得ることができる。周波数が変化しても安定した振幅が得られるので、スクライビングホイールの振動を安定させることができる。
また、従来のN刃を振動させるときの条件よりも低い荷重、大きな振幅、低い周波数でA刃を振動させるので、A刃がガラス基板上を滑ることなく転動するという元々の特性に加えて、脆性材料基板にダメージを与えることなく、垂直クラックを深く浸透させることができる。
13…Y軸移動機構(移動機構)
24,44…スクライブヘッド
25…X軸移動機構(移動機構)
32…荷重印加シリンダ(加圧機構)
34…スクライビングホイール
35…振動アクチュエータ
36…本体部
37…スプラインシャフト
37b…ボール転走溝(転動体転走溝)
38…ホルダ
39…スプライン外筒
46…超磁歪素子
52…ボール(転動体)
54a…ボール循環経路(転動体循環経路)
60…回転軸
61…円錐台
62…円周稜線
64…切欠き
65…突起
W…脆性材料基板
本発明において加工の対象となる脆性材料基板の形態、材質、用途、及び大きさについては特に限定されるものではない。例えば単板からなる基板又は二枚以上の基板を貼り合わせた貼合せ基板であってもよく、またこれらの内部に薄膜あるいは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。表面に薄膜等が付着していても、スクライブ装置によるスクライブの対象になる。
図15〜図20において、図中の記号はスクライブラインが以下の状態であることを意味する。
×:分離不可、又は破壊。
▲:リブマーク形成なし、又は形成不安定。
△:クラックは浅いがリブマークが飛ばずに形成。
○:P刃並ではないがクラックがしっかり形成。
◎:P刃並にクラックが形成。
☆:吸着解除後自然分離、又は触っただけで分離。
D:断面不良(疵,うねり)。
C:チッピング発生。
Claims (3)
- 回転軸を共有する二つの円錐の底部が交わって円周稜線が形成され、この円周稜線に沿って円周方向に交互に複数の切欠き及び突起が形成され、前記突起は前記円周稜線が切り欠かれて残った円周方向に長さを有する前記円周稜線の部分で構成され、前記切欠きの円周方向の長さは前記突起の円周方向の長さよりも短いスクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールが前記回転軸の回りを回転できるように前記スクライビングホイールを保持すると共に、前記スクライビングホイールを脆性材料基板の表面に対して交差する方向に振動させる振動アクチュエータを有するスクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドを前記脆性材料基板の表面に沿って移動させる移動機構と、
を備えるスクライブ装置であって、
前記振動アクチュエータは、前記スクライビングホイールが前記脆性材料基板の表面から離れた状態において、前記スクライビングホイールを5〜20μmの振幅、1〜3kHzの周波数で振動させ、
前記スクライブ装置はさらに、前記スクライビングホイールを0.1〜0.3MPaの圧力で前記脆性材料基板に押し付ける加圧機構を備え、
前記振動アクチュエータは、磁気ひずみの特性を利用して、電気振動を機械振動に変換する超磁歪素子を有するスクライブ装置。 - 前記スクライブヘッドは、
前記振動アクチュエータが取り付けられる本体部と、
前記スクライビングホイールが前記回転軸の回りを回転できるように保持するホルダと、
前記振動アクチュエータの振動を前記ホルダに伝達すると共に、外周面に軸線方向に伸びる転動体転走溝が形成されるスプラインシャフトと、
前記本体部に設けられ、前記スプラインシャフトの前記転動体転走溝に対向する軸線方向に伸びる負荷転動体転走溝を含む転動体循環経路を有し、前記スプラインシャフトが振動するのを案内するスプライン外筒と、
前記スプライン外筒の前記転動体循環経路に配列される複数の転動体と、を備えることを特徴とする請求項1に記載のスクライブ装置。 - 回転軸を共有する二つの円錐の底部が交わって円周稜線が形成され、この円周稜線に沿って円周方向に交互に複数の切欠き及び突起が形成され、前記突起は前記円周稜線が切り欠かれて残った円周方向に長さを有する前記円周稜線の部分で構成され、前記切欠きの円周方向の長さは前記突起の円周方向の長さよりも短いスクライビングホイールを、磁気ひずみの特性を利用して電気振動を機械振動に変換する超磁歪素子を用いて、脆性材料基板の表面に対して交差する方向に振動させながら、前記スクライビングホイールを前記脆性材料基板の表面上を転動させ、
前記スクライビングホイールを1〜3kHzの周波数で、かつ前記脆性材料基板の表面から離れた状態では5〜20μmの振幅となる条件で振動させながら、前記スクライビングホイールを0.1〜0.3MPaの圧力で前記脆性材料基板に押し付ける脆性材料基板のスクライブ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009510822A JP5508847B2 (ja) | 2007-04-12 | 2008-04-08 | スクライブ装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007105372 | 2007-04-12 | ||
JP2007105372 | 2007-04-12 | ||
JP2009510822A JP5508847B2 (ja) | 2007-04-12 | 2008-04-08 | スクライブ装置及び方法 |
PCT/JP2008/056940 WO2008129943A1 (ja) | 2007-04-12 | 2008-04-08 | スクライブ装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008129943A1 JPWO2008129943A1 (ja) | 2010-07-22 |
JP5508847B2 true JP5508847B2 (ja) | 2014-06-04 |
Family
ID=39875471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009510822A Active JP5508847B2 (ja) | 2007-04-12 | 2008-04-08 | スクライブ装置及び方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2147900B1 (ja) |
JP (1) | JP5508847B2 (ja) |
KR (1) | KR101442296B1 (ja) |
CN (1) | CN101657388B (ja) |
TW (1) | TWI436956B (ja) |
WO (1) | WO2008129943A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5311796B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2013-10-09 | セントラル硝子株式会社 | ガラス板への切筋線付与装置 |
JP5357511B2 (ja) * | 2008-11-04 | 2013-12-04 | テルモ株式会社 | 腹膜透析支援システム及び表示制御方法 |
JP5308892B2 (ja) * | 2009-04-01 | 2013-10-09 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 集積型薄膜太陽電池の製造装置 |
JP2011088382A (ja) | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | ブレイク装置およびブレイク方法 |
JP5369011B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2013-12-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 溝加工ツール及びこれを用いた薄膜太陽電池の溝加工方法 |
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JP3074143B2 (ja) | 1995-11-06 | 2000-08-07 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ガラスカッターホイール |
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TWI393682B (zh) | 2005-07-06 | 2013-04-21 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | A scribing method for brittle materials and a method of manufacturing the same, using the scribing method of the scribing wheel and the scribing device, and the scribing tool |
-
2008
- 2008-04-08 KR KR1020097023497A patent/KR101442296B1/ko active IP Right Grant
- 2008-04-08 CN CN2008800117338A patent/CN101657388B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-04-08 EP EP08740043.8A patent/EP2147900B1/en not_active Not-in-force
- 2008-04-08 WO PCT/JP2008/056940 patent/WO2008129943A1/ja active Application Filing
- 2008-04-08 JP JP2009510822A patent/JP5508847B2/ja active Active
- 2008-04-11 TW TW097113152A patent/TWI436956B/zh not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2008129943A1 (ja) | 2010-07-22 |
EP2147900A1 (en) | 2010-01-27 |
CN101657388A (zh) | 2010-02-24 |
TW200900366A (en) | 2009-01-01 |
EP2147900A4 (en) | 2010-05-05 |
EP2147900B1 (en) | 2014-07-23 |
WO2008129943A1 (ja) | 2008-10-30 |
CN101657388B (zh) | 2012-11-28 |
KR101442296B1 (ko) | 2014-09-19 |
KR20100019435A (ko) | 2010-02-18 |
TWI436956B (zh) | 2014-05-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101202 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130607 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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