KR100638694B1 - 검사용 동축 프로브 및 그것을 이용한 검사 유닛 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 제1 면과, 제2 면, 그리고 상기 제1 면 및 제2 면을 연결하는 관통 구멍이 형성되어 있는 전도성 블록과;콘택트 프로브로서,전도성 파이프와,상기 파이프의 제1 단부에 신축 가능하게 설치되며, 피검사 디바이스와 접촉하게 되는 전도성 플런저를 포함하는 콘택트 프로브; 그리고상기 파이프의 제1 단부를 상기 블록의 제1 면 부근에 유지하는 제1 절연 부재를 포함함으로써, 상기 파이프의 일부의 외주가 상기 관통 구멍의 내벽과 직접 마주대하여 그 사이에 공기 간극(air gap)을 형성하며, 상기 파이프가 상기 관통 구멍 내에 동축으로 유지되도록 하는 제1 리테이너;를 포함하는 것인 검사용 동축 프로브.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 절연성 부재는 상기 블록의 제1 면 상에 마련된 기판으로서, 오목부 및 이 오목부에 연통되어 있는 관통 구멍이 형성되어 있는 것이며,상기 파이프의 제1 단부는 플런저가 기판의 관통 구멍을 통해 동축으로 연장되도록 오목부에 끼워 맞춰지는 것인 검사용 동축 프로브.
- 제1항에 있어서, 상기 블록의 관통 구멍의 제1 단부가 협소하고,상기 제1 절연성 부재는 오목부 및 이 오목부에 연통되어 있는 관통 구멍이 형성된 스페이서이며,상기 제1 절연성 부재는 관통 구멍의 제1 단부에 삽입되고 파이프의 제1 단부는 오목부에 끼워 맞춰져, 상기 플런저는 상기 스페이서의 관통 구멍과 상기 기판의 관통 구멍을 통해 동축으로 연장되는 것인 검사용 동축 프로브.
- 제1항에 있어서, 제1 오목부 및 이 제1 오목부에 연통되어 있는 제1 관통 구멍이 형성된 전도성 판을 더 포함하고, 상기 전도상 판은 상기 블록의 제1 면 상에 마련되며,상기 제1 절연성 부재는 제2 오목부 및 이 제2 오목부에 연통되어 있는 제2 관통 구멍이 형성된 스페이서이고,상기 제1 절연성 부재는 제1 오목부에 삽입되며 상기 파이프의 제1 단부는 제2 오목부에 끼워 맞춰져, 상기 플런저는 상기 제1 관통 구멍, 상기 제2 관통 구멍 및 상기 블록의 관통 구멍을 통해 동축으로 연장되는 것인 검사용 동축 프로브.
- 제1항에 있어서, 제2 절연성 부재를 구비한 제2 리테이너를 더 포함하고, 상기 제2 절연성 부재를 통해 상기 파이프의 제2 단부가 상기 블록의 제2 면 부근에 유지되며,상기 콘택트 프로브는 상기 파이프의 제2 단부를 통해 검사 회로가 설치되어 있는 배선 기판에 전기적으로 접속되는 것인 검사용 동축 프로브.
- 제5항에 있어서, 상기 블록의 제2 면 상에는 제1 오목부가 형성되고,상기 제2 절연성 부재는 제2 오목부 및 이 제2 오목부에 연통되어 있는 관통 구멍이 형성된 스페이서이며,상기 스페이서는 제1 오목부에 끼워 맞춰지고 상기 파이프의 제2 단부는 제2 오목부에 끼워 맞춰져, 상기 파이프의 제2 단부는 상기 스페이서의 관통 구멍을 통해 배선 기판에 전기적으로 접속되고, 상기 스페이서는 상기 배선 기판에 의해 제1 오목부 내에 유지되는 것인 검사용 동축 프로브.
- 디바이스의 전기적 특성을 검사하는 장치로서,제1항에 있어서의 검사용 동축 프로브와;검사 회로가 설치되어 있고, 파이프의 제2 단부가 전기적으로 접속되어 있는 배선 기판을 포함하는 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 콘택트 프로브는, 상기 전도성 파이프 내에 삽입되어 상기 전도성 플런저를 외측으로 미는 스프링을 포함하는 것인 검사용 동축 프로브.
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