KR101954086B1 - 검사 프로브 조립체 및 검사 소켓 - Google Patents

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김근수
신정철
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리노공업주식회사
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Abstract

검사 프로브 조립체가 개시된다. 검사 프로브 조립체는 도전성 파이프와, 상기 파이프 내에 비접촉으로 삽입되고 길이방향을 따라 탄성적으로 신축 가능한 프로브와, 상기 파이프 내에서 상기 프로브를 지지하도록 상기 파이프 내벽과 상기 프로브 외면 사이에 개재되는 절연성 프로브지지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 검사 프로브 조립체는 프로브가 금속성 파이프 내에 비접촉 상태로 지지된 상태로 프로브 소켓에 장착됨으로써 노이즈 차폐 성능이 향상되고 프로브의 고장 시 수리 수선에 편리하다.

Description

검사 프로브 조립체 및 검사 소켓{A test probe assembly and test socket}
본 발명은 고주파 또는 고속 반도체와 같은 피검사체를 검사하기 위한 검사 프로브 조립체 및 검사 소켓에 관한 것이다.
고주파 또는 고속 반도체 테스트용 검사소켓은 인접 신호용 프로브와의 노이즈를 차폐하기 위해 신호용 프로브를 도전성 블록에 비접촉 상태로 장착한다. 이때 신호용 프로브는 도전성 블록에 비접촉 상태로 통과한 후 도전성 블록의 양면에 배치된 절연성 지지플레이트에 그 양단부가 지지된다. 그러나 이와 같은 종래의 방식은 절연성 지지플레이트를 충분히 두껍게 하지 않으면 프로브들을 지지하는 것이 용이하지 않다. 반면에, 절연성 지지플레이트를 두껍게 하면, 지지플레이트에서 인접하는 신호용 프로브 간에 노이즈 누설의 문제가 발생한다.
이러한 문제를 해결하기 위한 종래 기술로서 한국 공개특허공보 10-2010-0105622호에는 도전성 검사 소켓 내의 프로브공 양끝에 에폭시 절연체를 배치하여 신호용 프로브를 지지하는 기술이 개시되어 있다. 검사소켓에는 많은 수의 검사 프로브들이 장착된다. 이러한 종래의 방식은 검사소켓에 장착된 검사 프로브들 중 하나만 손상되어도 검사소켓 전체를 교체해야 하는 문제가 있다. 또한, 종래 방식은 에폭시 절연체를 검사소켓의 프로브공 내에 삽입하는 작업이 매우 불편하고 까다로운 문제가 있다. 특히, 종래방식은 검사소켓의 프로브공에 끼워진 에폭시 절연체를 지지하기가 어려워 외부로 인출되는 문제가 발생한다.
본 발명의 목적은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 노이즈 차폐 능력을 높이고 수리수선이 편리한 고주파 또는 고속 반도체 테스트용 검사 프로브 조립체 및 검사소켓을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 제조작업이 편리하고 내구성이 우수한 고주파 또는 고속 반도체 테스트용 검사 프로브 조립체 및 검사소켓을 제공함에 있다.
상기 과제들을 해결하기 위한 검사 프로브 조립체 및 검사소켓이 제공된다. 검사 프로브 조립체는 도전성 파이프와, 상기 파이프 내에 비접촉으로 삽입되고 길이방향을 따라 탄성적으로 신축 가능한 프로브와, 상기 파이프 내에서 상기 프로브를 지지하도록 상기 파이프 내벽과 상기 프로브 외면 사이에 개재되는 절연성 프로브지지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 검사 프로브 조립체는 금속파이프를 사용하여 프로브를 지지함으로써 확실한 노이즈 차폐와 수리수선 시에 쉽게 교체할 수 있다. 특히, 신호 프로브 사이의 노출을 최소화함으로써 노이즈 차폐 성능이 향상된다.
상기 프로브지지부재는 상기 파이프의 단부에 삽입되도록 사전 제작되며, 상기 파이프 내부에 삽입된 후에 상기 파이프를 내부로 가압 변형시킨 돌기를 수용하는 돌기수용부를 포함할 수 있다.
상기 프로브지지부재는 액상 에폭시를 상기 파이프 내에서 주입하여 경화시켜 형성할 수 있다.
상기 파이프는 길이방향으로 서로 연결하는 제1 및 제2파이프를 포함할 수 있다.
상기 프로브지지부재는 파이프삽입부, 상기 파이프삽입부로부터 반경방향으로 확장된 확장부, 및 상기 파이프삽입부의 외면에 형성된 제1나사를 포함하며, 상기 파이프는 양단부에 상기 제1나사에 상응하는 제2나사를 포함할 수 있다.
상기 프로브는 배럴과 상기 배럴 내에서 부분 돌출되게 삽입된 플런저를 포함하며, 상기 프로브지지부재는 상기 배럴을 수용하는 배럴공과 상기 플런저를 수용하는 플런저공을 포함할 수 있다.
상기 돌기수용부는 상기 플런저공의 외주면에 형성될 수 있다.
상기 파이프의 양단부 중 적어도 하나는 직경을 축소시킨 오므림부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 검사소켓은 상술한 검사 프로브 조립체와, 상기 프로브의 양단부가 상기 판면으로부터 부분 돌출하도록 상기 검사 프로브 조립체를 평행하게 지지하는 도전성블록을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 검사 프로브 조립체의 제조방법은, 파이프의 일단부에 롤링 또는 딤플 작업을 통해 내측으로 돌출하는 돌기를 형성하는 단계와, 상기 파이프를 트레이에 장착하는 단계와, 상기 트레이에 장착된 파이프에 삽입되는 프로브의 외면 형상과 유사한 형상의 금형을 상기 파이프의 일측에 삽입하는 단계와, 수지투입공을 가진 커버플레이트로 상기 파이프의 타측을 차단하는 단계와, 상기 수지 투입공을 통해 수지를 주입하여 경화하는 단계와, 상기 금형 및 상기 커버플레이트를 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명의 검사 프로브 조립체와 검사소켓은 다음과 같은 장점을 제공한다.
첫째, 금속성 파이프로 프로브공을 최대한 커버함으로써 신호용 프로들 상호 간 노출부분을 최소화하여 노이즈 차폐 성능을 향상시킬 수 있다.
둘째, 검사소켓에서 손상된 검사 프로브 조립체만을 교체할 수 있어 수리비용을 절감할 수 있다.
셋째, 금속파이프에 프로브지지부재가 견고하게 지지됨으로써 내구성이 향상된다.
넷째, 쉬운 방법으로 노이즈 차폐용 검사 프로브 조립체를 제조할 수 있다.
도 1 및 2는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 검사 프로브 조립체의 사시도 및 단면도,
도 3은 도 1의 검사 프로브 조립체를 장착한 검사소켓의 부분단면도,
도 4 및 5는 각각 본 발명의 제2 및 제3실시예에 따른 검사 프로브 조립체를 적용한 검사소켓을 나타낸 단면도,
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 검사 프로브 조립체의 분해사시도, 및
도 7 및 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사 프로브 조립체를 제조하는 과정을 나타내는 도,
도 9 및 10은 각각 본 발명의 제5, 및 6실시예에 따른 프로브지지부재를 나타내는 도,
도 11은 본 발명의 제7실시예에 따른 검사 프로브 조립체의 분해사시도, 및
도 12는 도 11의 검사 프로브 조립체를 적용한 검사소켓의 부분단면도이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 검사 프로브 조립체(100)를 상세히 설명한다.
도 1 및 2는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 검사 프로브 조립체(100)의 사시도 및 단면도이다, 도시한 바와 같이, 검사 프로브 조립체(100)는 도전성 파이프(110), 파이프(110) 내에 수용되는 프로브(120), 및 파이프(110) 내에서 프로브(120)를 지지하는 절연성 프로브지지부재(130)를 포함한다.
도전성 파이프(110)는 중공의 금속, 예를 들면 철, 구리, 알루미늄, 베릴륨동, 이들의 합금 파이프로 제작된다. 도전성 파이프(110)는 외주면 중앙에 반경방향으로 확장된 플랜지(112) 및 양단부 측에 롤링(rolling)에 의해 내측으로 돌출된 원주형 제1 및 제2제1 및 제2돌기(114-1,114-2)를 포함한다. 제1 및 제2돌기(114-1,114-2)는 후술하는 프로브지지부재(130)의 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2)에 각각 수용된다. 여기서, 롤링 작업은 파이프(110)의 양단부에 삽입한 상태에서 이루어진다. 결과적으로, 프로브지지부재(130)는 도전성 파이프(110) 내에 견고하게 고정될 수 있다. 플랜지(112)는 후술하는 검사소켓(1)에 검사 프로브 조립체(100)를 장착하였을 때 외부로 인출되는 것을 방지한다. 대안적으로 롤링 작업에 의한 원주형 돌기 대신에, 딤플(dimple) 작업에 의한 점 형상의 돌기를 형성하는 것도 가능하다.
프로브(120)는 길이방향으로 신축 가능한 포고핀으로 구현될 수 있다. 프로브(120)는 배럴(122), 길이방향으로 신축 이동 가능하게 상기 배럴(122)의 양단부에 삽입되는 제1 및 제2플런저(124,126), 및 상기 배럴(122) 내에서 상기 제1 및 제2플런저(124,126)를 탄성적으로 신축 가능하게 하는 탄성체, 예를 들면 스프링(128)을 포함한다. 제1 및 제2플런저(124,126) 중 하나는 선택적으로 배럴(122)에 고정될 수도 있다. 프로브(120)는 파이프(110)의 내벽에 비접촉상태로 프로브지지부재(130)에 의해 지지된다. 제1 및 제2플런저(124,126)는 기본적으로 파이프(110)의 단부를 벗어나 돌출되고, 검사 시에 스프링(128)을 압축하면서 배럴(122) 내로 이동한다. 상술한 구조의 프로브(120)는 설명을 위한 예로서 다양한 구조의 프로브들이 적용될 수 있다.
프로브지지부재(130)는 프로브(120)를 파이프(110) 내벽에 비접촉 상태로 지지한다. 프로브지지부재(130)는 파이프(110)의 일단에 위치하는 제1프로브지지부재(130-1)와 파이프(110)의 타단에 위치하는 제2프로브지지부재(130-2)를 포함한다. 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 프로브(120)의 배럴(122)의 양단부를 파이프(110) 내에 플로팅 상태로 지지한다. 프로브지지부재(130)는 예를 들면 에폭시 또는 엔지니어링 플라스틱과 같은 절연성 재질로 가공 또는 성형된다.
제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 각각 프로브(120)의 배럴(122) 외경에 대응하는 제1 및 제2배럴공(131-1,131-2) 및 제1 및 제2플런저(124,126) 외경에 대응하는 제1 및 제2플런저공(133-1,133-2)를 포함한다.
제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 각각 파이프(110) 내 양단부에 삽입되는 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2), 및 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)의 외주면에 형성된 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2)를 포함한다. 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2)는 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)를 파이프(110)에 삽입한 상태에서 파이프(110)를 내측으로 롤링 또는 딤플 작업으로 형성된 제1 및 제2돌기(114-1,114-2)를 수용하여 삽입된 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)가 파이프(110) 외부로 인출되지 않게 고정한다. 필요에 따라, 롤링 또는 딤플 작업으로 형성된 제1 및 제2돌기(114-1,114-2)가 직접 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)를 강제로 변형시킴으로써, 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2)의 사전 형성은 생략될 수 있다.
제1 및 제2프로브지지부재(132-1,132-2)는 사전에 제작하여 파이프(110)에 삽입하는 대신에, 도 7 및 8에 나타낸 바와 같이 액상 에폭시를 파이프(110) 내에 주입 및 경화하여 제작될 수도 있다.
도 3은 도 1 및 2의 검사 프로브 조립체(100)를 장착하는 검사소켓(1)을 나타낸다. 도시한 바와 같이, 검사소켓(1)은 도전성 블록(10) 및 적어도 하나의 검사 프로브 조립체(100)를 포함한다.
도전성 블록(10)은 철, 동 또는 황동 등으로 만들어진 금속블록이나 플라스틱, 세라믹 등에 예를 들면 금으로 도금된 도금블록으로 제작된다. 도전성 블록(10)은 신호용 프로브로서 검사 프로브 조립체(100)를 삽입 장착하는 프로브공(12)을 포함한다. 도전성 블록(10)은 제1블록(10-1) 및 제2블록(10-2)으로 구성된다. 제1블록(10-1)은 파이프(110)의 외경에 대응하는 제1파이프공(12-1) 및 파이프(110)의 플랜지(112) 절반에 대응하는 제1플랜지공(13-1)을 포함한다. 제2블록(10-2)은 파이프(110)의 외경에 대응하는 제2파이프공(12-2) 및 파이프(110)의 플랜지(112)의 나머지 절반에 대응하는 제2플랜지공(13-2)을 포함한다. 검사 프로브 조립체(100)는 플랜지(112)가 제1 및 제2블록(10-1,10-2)의 제1 및 제2 플랜지공(13-1,13-2)에 삽입 고정됨으로써 도전성 블록(10)으로부터 견고하게 고정지지될 수 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 검사 프로브 조립체(100)의 파이프(110)는 검사소켓(1)의 두께 전체에 걸쳐 채워지기 때문에 인접하는 검사 프로브 조립체(100) 간의 노이즈 간섭을 최대한 방지할 수 있다. 또한, 특정 검사 프로브 조립체(100)가 불량 또는 고장이 나면 해당 검사 프로브 조립체(100)만을 교체할 수 있다. 즉, 본 발명의 제1실시예는 프로브를 지지하기 위해 도전성블록의 양면에 장착되는 절연성 지지부재를 생략할 수 있다.
도 4 및 5는 각각 본 발명의 제2 및 제3실시예에 따른 검사 프로브 조립체(100)를 적용한 검사소켓(1)을 나타내는 단면도이다. 도 1 내지 3에 나타낸 제1실시예와 동일한 부분은 동일한 부호로 표시하였으며, 그 설명은 생략한다.
도 4에서, 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 각각 파이프(110) 내에 삽입되는 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2), 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)의 외주면에 형성된 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2) 및 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)로부터 반경방향으로 확장하여 파이프(110) 단부 외측으로 연장하는 제1 및 제2확장부(136-1,136-2)를 포함한다. 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2)는 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)를 파이프(110)에 삽입한 상태에서 파이프(110)를 내측으로 롤링 또는 딤플 작업에 의해 변형되어 형성된 제1 및 제2돌기(114-1,114-2)를 수용한다. 제1 및 제2확장부(136-1,136-2)는 프로브지지부재(130)를 사전에 제작하여 파이프(110) 내에 삽입할 때 적합하다. 특히, 프로브지지부재(130)는 그 직경이 1mm 내외로 매우 작기 때문에 파이프(110) 내에 삽입하는 작업이 매우 어렵기 때문에 그립을 위한 적절한 제1 및 제2확장부(136-1,136-2)가 요구된다.
도 5에서, 도전성 파이프(110)는 내측으로 롤링 또는 딤플 작업에 의해 변형되어 형성된 제1 및 제2돌기(114-1,114-2)를 포함한다. 여기서, 도전성 파이프(110)는 전술한 제1 및 제2실시예와 다르게 플랜지(112)가 생략되어 있다.
제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 각각 파이프(110) 내에 삽입되는 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2), 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)의 외주면에 형성된 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2), 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)로부터 반경방향으로 확장하여 파이프(110) 단부 외측으로 연장하는 제1 및 제2확장부(136-1,136-2), 및 상기 확장부(136-1,136-2)로부터 반경방향으로 축소되어 연장하는 제1 및 제2축경부(138-1,138-2)를 포함한다. 제1 및 제2돌기수용부(134-1,134-2)는 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)를 파이프(110)에 삽입한 상태에서 파이프(110)를 내측으로 롤링 또는 딤플 작업에 의해 변형되어 형성된 제1 및 제2돌기(114-1,114-2)를 수용한다. 제1 및 제2확장부(136-1,136-2)는 프로브지지부재(130)를 사전에 제작하여 파이프(110) 내에 삽입할 때 적합하다. 특히, 프로브지지부재(130)는 그 직경이 1mm 내외로 매우 작기 때문에 파이프(110) 내에 삽입하는 작업이 매우 어렵기 때문에 그립을 위한 적절한 제1 및 제2확장부(136-1,136-2)가 요구된다.
도전성블록(10)은 신호용 프로브로서 검사 프로브 조립체(100)를 삽입 장착하는 프로브공(12)을 포함한다. 도전성 블록(10)은 상부블록(10-1) 및 하부블록(10-2)으로 구성된다. 상부블록(10-1)은 파이프(110)의 외경에 대응하는 상부파이프공(12-1) 및 제1축경부(138-1)에 외경에 대응하는 제1축경부삽입공(16-1)을 포함한다. 하부블록(10-2)은 파이프(110)의 외경에 대응하는 하부파이프공(12-2) 및 제2축경부(138-2)에 외경에 대응하는 제2축경부삽입공(16-2)을 포함한다. 도전성블록(10)은 상부파이프공(12-1)과 제1축경부삽입공(16-1) 사이의 제1걸림턱(18-1) 및 하부파이프공(12-2)과 제2축경부삽입공(16-2) 사이의 제2걸림턱(18-2)을 포함한다. 여기서, 도전성블록(10)은 전술한 제1 및 제2실시예와 다르게 상부플랜지공(13-1) 및 하부플랜지공(13-2)이 생략되어 있다. 대신에, 검사 프로브 조립체(100)는 도전성블록(10)의 제1 및 제2걸림턱(18-1,18-2)에 의해 도전성 블록(10) 내에 고정지지된다.
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 검사 프로브 조립체(100)를 나타내는 분해단면도이다. 검사 프로브 조립체(100)는 도전성 제1파이프(110-1), 도전성 제2파이프(110-2), 제1 및 제2파이프(110-1,110-2) 내에 수용되는 상하 신축 가능한 프로브(120), 및 제1 및 제2파이프(110-1,110-2) 내에서 프로브(120)를 지지하는 절연성 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)를 포함한다. 검사 프로브 조립체(100)에서 제1 및 제2파이프(110-1,110-2)를 제외한 프로브(120)와 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 도 1 내지 3에 나타낸 제1실시예의 프로브(120) 및 제1 및 제2프로브지지부재와 동일한 구조이므로 그 설명을 생략한다.
제1파이프(110-1)는 일측 단부에 반경이 확장된 제1플랜지(112-1) 및 롤링 또는 딤플 작업 등으로 파이프 벽을 내측으로 돌출시킨 제1돌기(114-1)를 포함한다. 제1파이프(110-1)는 일단부 내측에 제1프로브지지부재(130-1)가 삽입된다. 제2파이프(110-2)는 일측 단부에 반경이 확장된 제2플랜지(112-2) 및 롤링 또는 딤플 작업 등으로 파이프 벽을 내측으로 돌출시킨 제2돌기(114-2)를 포함한다. 제2파이프(110-2)는 일단부 내측에 제2프로브지지부재(130-2)가 삽입된다. 제1파이프(210-1) 및 제2파이프(210-2)는 제1플랜지(212-1)와 제2플랜지(212-2)를 서로 맞닺게 연결하여 프로브(120)를 수용 및 지지한다.
도 7 및 8은 도 6의 제1파이프(110-1) 내에 제1프로브지지부재(130-1)를 형성하는 과정을 설명한다. 여기서, 제2파이프(110-2) 내에 제2프로브지지부재(130-1)를 형성하는 과정은 동일하므로 그 설명을 생략한다.
도 7에서, 제1파이프(110-1)는 다수의 트레이(310)에 제1플랜지(112-1)가 하방으로 놓이도록 금형(320)에 장착된다. 금형(320)은 제1파이프(110-1)에 삽입되는 프로브(120)의 외면 형상과 유사한 형태로서, 대략 제1파이프(110-1) 내경에 상응하는 베이스(322), 프로브(120)의 배럴(122) 외경에 대응하는 제1축경부(324) 및 프로브(120)의 제1플런저(124) 외경에 대응하는 제2축경부(326)를 포함한다. 이후, 트레이(310)의 상측에서 제1파이프(110-1)의 단부를 덮는 커버플레이트(330)가 하강한다. 커버플레이트(330)는 제2축경부(326)이 삽입되는 개공(332) 및 수지투입공(334)를 포함한다. 수지투입공(334)을 통해 유입되는 수지는 액상 에폭시를 포함한다.
도 8에서, 수지주입기(340)로 수지투입공(332)에 주입한 액상 에폭시는 경화되어 제1프로브지지부재(130-1)를 형성한다. 이후, 금형(320)을 빼내면 도 3에 나타낸 제1프로브지지부재(130-1)가 삽입된 제1파이프(110-1)가 형성된다. 제1프로브지지부재(130-1)는 제1돌기(214-1)에 의해 제1파이프(210-1) 내에 확실하게 고정될 수 있다. 이와 같은 방법은 매우 미세한 크기의 제1프로브지지부재(130-1)가 삽입된 제1파이프(110-1)를 대량으로 생산할 수 있다.
도 9는 본 발명의 제5실시예에 따른 검사 프로브 조립체(100)를 나타낸다. 도 1 내지 3에 나타낸 제1실시예와 동일한 부분은 동일한 부호로 표시하였으며, 그 설명은 생략한다.
도전성 파이프(110)는 중앙에 플랜지(112), 양단부 내측에 형성된 제1나사(118)를 포함한다. 여기서, 제1나사(118)는 파이프(110)의 크기가 매우 작을 뿐만 아니라 두께도 얇기 때문에 파이프(110) 벽 자체를 변형시켜 형성하는 것이 바람직하다.
제1프로브지지부재(130-1)는 도전성 파이프(110) 내에 삽입되는 제1파이프삽입부(132-1), 제1파이프삽입부(132-1)로부터 반경 방향으로 확장된 제1확장부(136-1) 및 제1파이프삽입부(132-1) 외주면에 형성된 제2나사(138-1)를 포함한다.
도 9에서, 파이프(110)의 제1나사(118)는 제1프로지지부재(130-1)의 제2나사(138)와 체결됨으로써 제1프로브지지부재(130-1)는 파이프(110)의 단부 내에 쉽게 고정될 수 있다.
도 10은 본 발명의 제6실시예에 따른 검사 프로브 조립체(100)의 프로브지지부재(130)를 나타낸다.
프로브지지부재(130)는 파이프(110) 양단부 내에 삽입되는 파이프삽입부(132), 파이프삽입부(132)의 외주면에 형성된 돌기수용부(134), 및 파이프삽입부(132)로부터 반경 방향으로 확장된 플랜지(136)를 포함한다.
프로브지지부재(130)는 프로브(120)의 배럴(122) 외경에 대응하는 배럴공(131) 및 플런저(124,126) 외경에 대응하는 플런저공(133)를 포함한다.
도 10에서, 플런저공(133)은 플랜지(136)를 지나 파이프삽입부(132) 까지 깊게 연장하여 형성되어 있다. 이때, 돌기수용부(134)는 플런저공(133)을 둘러싸는 위치의 파이프삽입부(132)에 형성된다. 플런저공(133)을 둘러싸는 파이프삽입부(132)의 두께는 배럴공(131)을 둘러싸는 파이프삽입부(132)보다 더 두껍기 때문에 돌기수용부(134)를 형성하기가 용이하다. 또한, 돌기수용부(134)를 배럴공(131) 주위의 파이프삽입부(132)에 형성하는 것보다 플런저공(133)을 둘러싸는 파이프삽입부(132)에 형성하는 것이 내구성이 더 좋다.
도 11은 본 발명의 제7실시예에 따른 검사 프로브 조립체의 분해사시도, 및 도 12는 도 11의 검사 프로브 조립체를 적용한 검사소켓의 부분단면도이다.
도시한 바와 같이, 검사 프로브 조립체(100)는 도전성 제1파이프(110-1), 도전성 제2파이프(110-2), 제1 및 제2파이프(110-1,110-2) 내에 수용되는 상하 신축 가능한 프로브(120), 및 제1 및 제2파이프(110-1,110-2) 내에서 프로브(120)를 지지하는 절연성 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)를 포함한다. 검사 프로브 조립체(100)에서 제1 및 제2파이프(110-1,110-2)를 제외한 프로브(120)와 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 도 1 내지 3에 나타낸 제1실시예의 프로브(120) 및 제1 및 제2프로브지지부재와 동일한 구조이므로 그 설명을 생략한다.
제1파이프(110-1)는 일측 단부에 반경이 확장된 제1플랜지(112-1) 및 타측 단부를 중심을 향해 오므린 제1오므림부(116-1)를 포함한다. 제1오므림부(116-1)는 실질적으로 소정으로 곡률로 가공되어 후술하는 제1프로브지지부재(130-1)의 제1축경부가 삽입되는 제1축경부삽입공(117-1)을 형성한다.
제2파이프(110-2)는 일측 단부에 반경이 확장된 제2플랜지(112-2) 및 타측 단부를 중심을 향해 오므린 제2오므림부(116-2)를 포함한다. 제2오므림부(116-2)는 실질적으로 소정으로 곡률로 가공되어 후술하는 제2프로브지지부재(130-2)의 제2축경부(117-2)가 삽입되는 제2축경부삽입공(117-2)을 형성한다. 제1플랜지(112-1)와 제2플랜지(112-2)는 생략하고 후술하는 제1 및 제2단차부
제1파이프(110-1) 및 제2파이프(110-2)는 제1플랜지(112-1)와 제2플랜지(112-2)를 서로 맞닺게 연결하여 프로브(120)를 수용 및 지지한다.
제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 프로브(120)의 배럴(122)의 양단부를 연결된 제1 및 제2파이프(110-1,110-2) 내에 플로팅 상태로 지지한다.
제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 각각 프로브(120)의 배럴(122) 외경에 대응하는 제1 및 제2배럴공(131-1,131-2) 및 제1 및 제2플런저(124,126) 외경에 대응하는 제1 및 제2플런저공(133-1,133-2)를 포함한다.
제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 각각 파이프(110) 내 양단부에 삽입되는 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2), 및 제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)로부터 반경이 축소되어 연장하는 제1 및 제2축경부(138-1,138-2)를 포함한다. 제1 및 제2축경부(138-1,138-2)는 제1 및 제2축경부삽입공(117-1,117-2)에 삽입된다.
제1 및 제2파이프삽입부(132-1,132-2)와 제1 및 제2축경부(138-1,138-2) 사이에는 제1 및 제2오므림부(116-1,116-2)의 곡률에 상응하는 제1 및 제2단차부(119-1,119-2)가 형성되어 있다.
제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 각각 제1 및 제2플랜지(112-1,112-2) 측 단부에서 제1 및 제2배럴공(131-1,131-2)에 삽입된다. 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)는 최종적으로 제1 및 제2단차부(119-1,119-2)가 제1 및 제2오므림부(116-1,116-2)에 걸려 더 이상 삽입되지 않는다.
도 12는 도 11의 검사 프로브 조립체(100)를 장착하는 검사소켓(1)을 나타낸다. 도시한 바와 같이, 검사소켓(1)은 도전성 블록(10) 및 적어도 하나의 검사 프로브 조립체(100)를 포함한다.
도전성 블록(10)은 제1블록(10-1) 및 제2블록(10-2)을 포함한다. 도전성 블록(10)은 필요에 따라 3개 이상으로 구성할 수 있다.
제1블록(10-1)은 제1파이프(110-1)의 외경에 대응하는 제1파이프공(12-1), 제1파이프(110-1)의 제1플랜지(112-1)에 대응하는 제1플랜지공(13-1), 및 제1플런저통과공을 포함한다. 제1블록(10-1)은 제1파이프공(12-1)와 제1플런저통과공 사이에 제1파이프(110-1)의 제1오므림부(116-1) 외면에 대응하는 제1단차부(16-1)를 포함한다.
제2블록(10-2)은 제2파이프(110-2)의 외경에 대응하는 제2파이프공(12-2), 제2파이프(110-2)의 제2플랜지(112-2)에 대응하는 제2플랜지공(13-2), 및 제2플런저통과공을 포함한다. 제2블록(10-2)은 제2파이프공(12-2)와 제2플런저통과공 사이에 제2파이프(110-2)의 제2오므림부(116-2) 외면에 대응하는 제2단차부(16-2)를 포함한다.
제1 및 제2파이프(110-1,110-2)의 제1 및 제2오므림부(116-1,116-2)는 제1 및 제2블록(10-1,10-2)의 제1 및 제2단차부(16-1,16-2)가 외측에서 지지하기 때문에 테스트 시에 제1 및 제2프로브지지부재(130-1,130-2)에 의해 변형되는 것을 효과적으로 방지할 수 있어 내구성을 향상시킬 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 한정된 예시적 실시예와 도면을 통해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 예시적 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 예시적 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1: 검사소켓
10: 도전성 블록
10-1: 제1블록
10-2: 제2블록
12: 프로브공
100: 검사 프로브 조립체
110: 파이프
110-1: 제1파이프
110-2: 제2파이프
120: 프로브
130: 프로브지지부재
130-1: 제1프로브지지부재
130-2: 제2프로브지지부재
310: 트레이
320: 금형
330: 커버플레이트

Claims (10)

  1. 검사 프로브 조립체에 있어서,
    도전성의 파이프와;
    상기 파이프 내에 비접촉으로 삽입되고 길이방향을 따라 탄성적으로 신축 가능한 프로브와;
    상기 파이프 내에서 상기 프로브를 비접촉 상태로 지지하도록 상기 파이프 내벽과 상기 프로브 외면 사이에 개재되는 절연성 프로브지지부재를 포함하며,
    상기 파이프는 길이방향으로 서로 연결하는 제1 및 제2파이프를 포함하며,
    상기 프로브지지부재는 제1 및 제2파이프 각각의 일단부 내에 개재되며,
    상기 제1 및 제2파이프 각각의 타단부는 반경방향으로 확장된 제1 및 제2플랜지를 포함하며,
    상기 프로브지지부재는 액상 수지를 상기 파이프 내에서 주입하여 경화시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 검사 프로브 조립체.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2파이프 각각의 일단부는 내측으로 가압 변형시킨 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 프로브 조립체.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브지지부재는 파이프삽입부, 상기 파이프삽입부로부터 반경방향으로 확장된 확장부, 및 상기 파이프삽입부의 외면에 형성된 제1나사를 포함하며,
    상기 파이프는 양단부에 상기 제1나사에 상응하는 제2나사를 포함하는 검사 프로브 조립체.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 프로브는 배럴과 상기 배럴 내에서 부분 돌출되게 삽입된 플런저를 포함하며,
    상기 프로브지지부재는 상기 배럴을 수용하는 배럴공과 상기 플런저를 수용하는 플런저공을 포함하는 검사 프로브 조립체.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 돌기는 상기 플런저공에 대응하는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 검사 프로브 조립체.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 파이프의 양단부 중 적어도 하나는 직경을 축소시킨 오므림부를 포함하는 검사 프로브 조립체.
  9. 검사소켓에 있어서,
    제 1항, 제2항, 및 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 검사 프로브 조립체와;
    상기 프로브의 양단부가 상면 및 하면으로부터 부분 돌출하도록 상기 검사 프로브 조립체를 평행하게 지지하는 도전성블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사소켓.
  10. 검사 프로브 조립체의 제조방법에 있어서,
    파이프 일단부에 롤링 또는 딤플 작업을 통해 내측으로 돌출하는 돌기를 형성하는 단계와;
    상기 파이프를 트레이에 장착하는 단계와;
    상기 파이프 내경에 대응하는 베이스, 프로브의 배럴 외경에 대응하는 제1축경부 및 상기 프로브의 플런저 외경에 대응하는 제2축경부를 가진 금형을 상기 트레이에 장착된 상기 파이프의 일측으로 삽입하는 단계와;
    수지투입공을 가진 커버플레이트로 상기 파이프의 타측을 차단하는 단계와;
    상기 수지 투입공을 통해 수지를 주입하여 경화하는 단계와;
    상기 금형 및 상기 커버플레이트를 제거하는 단계를 포함하는 검사 프로브 조립체의 제조방법.
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