JP2001033482A - 接触型プローブ装置 - Google Patents

接触型プローブ装置

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JP2001033482A
JP2001033482A JP11210710A JP21071099A JP2001033482A JP 2001033482 A JP2001033482 A JP 2001033482A JP 11210710 A JP11210710 A JP 11210710A JP 21071099 A JP21071099 A JP 21071099A JP 2001033482 A JP2001033482 A JP 2001033482A
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JP
Japan
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guide tube
needle
contactor
contact
conductor
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Pending
Application number
JP11210710A
Other languages
English (en)
Inventor
Masakazu Sugita
雅一 杉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品又はプリント基板等の被検査物の電
気的性能を、その端子電極に通電用のプローブ3を押圧
接触することによって検査する場合に、前記プローブに
デジタルノイズ等のノイズが入ることを回避する。 【解決手段】 導体製のガイド管5にて、ばね9にて突
出状態に付勢される針状接触体を摺動自在に保持して成
るプローブ3に、グランドに接続した導体製の筒体7を
被嵌する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種の電子部品、
或いは、この電子部品の複数個を搭載したハイブリット
集積回路又はプリント基板等において、その電気的性能
等を検査する場合に、その各種端子電極に対して弾性的
に押圧接触するようにしたプローブ装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】一般に、各種の電子部品、或いは、この
電子部品の複数個を搭載したハイブリット集積回路又は
プリント基板等の電気性能を検査するに際しては、これ
ら被検査物に設けた複数個の端子電極の各々に、検査装
置側に取付けたプローブを、被検査物への前進動によっ
て押圧接触し、このプローブを介して被検査物に通電す
ることによって行うようにしていることは周知の通りで
ある。
【0003】この場合、従来におけるプローブ装置は、
図1に示すように構成している。
【0004】すなわち、検査装置側における回路基板2
0等の保持部材に、導体製のガイド管21a内に摺動自
在に挿入した導体製の針状接触体21bをばね21cに
て前記ガイド管21aから突出するように付勢して成る
プローブ21を取付けて、このプローブ21を、前記回
路基板20に表面に形成されている各種の検査用配線回
路20aに電気的に接続し、そして、前記プローブ21
における針状接触体21bを、回路基板20等の保持部
材の前進動によって、被検査物の一例であるプリント基
板22における端子電極22a対してばね21cにて弾
性的に押圧接触するという構成にしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来にお
けるプローブ装置は、針状の接触体21b及びこれを支
持するガイド管21aの導体製にして、大気中に露出す
るという構成にしていることにより、前記検査装置側に
おける回路基板20及び被検査物の一例であるプリント
基板22のうちいずれか一方又は両方にアナログ回路と
デジタル回路とが共存する場合に、デジタルノイズが前
記針状の接触体21b及びガイド管21aを介してアナ
ログ回路に入って来て、検査に悪影響を及ぼすという問
題があった。
【0006】本発明は、この問題を解消することを技術
的課題とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「保持部材に移動不能に支持した導体
製のガイド管と、その内部に摺動自在に挿入した導体製
の針状接触体と、この針状接触体を前記ガイド管から突
出するように付勢するばね体とから成るプローブ装置に
おいて、前記ガイド管の外側に、グランドに接続した導
体製の筒体を、その間に絶縁体を挟んで被嵌する一方、
前記針状接触体の先端を前記筒体の先端から突出す
る。」という構成にした。
【0008】
【発明の作用・効果】このように、ガイド管の外側に、
グランドに接続した導体製の筒体を、その間に絶縁体を
挟んで被嵌することにより、この筒体が、前記ガイド管
及び針状接触体の周囲をシールドして、アナログ回路と
デジタル回路とが共存する場合にデジタルノイズ等のノ
イズが前記ガイド管及び針状接触体を介してアナログ回
路に作用することを確実に回避できるから、検査に際し
てのノイズによる悪影響を大幅に低減できるのである。
【0009】また、請求項2に記載したように、前記筒
体を摺動自在に構成し、この筒体を、ばね体にて前記針
状接触体における突出方向と同じ方向に突出するように
付勢することにより、相手側に対して針状接触体を接触
すると同時に、筒体をも接触することができ、筒体にて
針状接触体の全長にわたってシールドすることができる
から、前記の効果をより助長できる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
2〜図3の図面ついて説明する。
【0011】図2は、第1の実施の形態を示す。
【0012】この図2において、符号1は、検査装置側
における回路基板を示し、この回路基板1には、合成樹
脂等の絶縁体製の保持部材2が取付けられ、また、この
保持部材2には、詳しくは後述するプローブ3が取付け
られている。
【0013】このプローブ3は、金属パイプ製のガイド
管4と、このガイド管4内に摺動自在に挿入した針状の
接触体5と、前記ガイド管4の外側に、フッ素樹脂等の
絶縁体6を挟んで摺動自在に被嵌した金属製の筒体7と
から成っている。
【0014】前記接触体5のガイド管4は、その末端部
に固着したブラケット8にて前記回路基板1又は保持部
材2に連結することにより、回転及び摺動不能に保持さ
れる一方、前記接触体5は、そのガイド管4内に設けた
第1ばね9にてガイド管4の先端から突出するように付
勢され、且つ、この接触体5は、回路基板1における配
線パターン1aに、前記ブラケッ8等を介して電気的に
接続されている。
【0015】また、前記ガイド管4に被嵌した筒体7
は、前記保持部材2に回転及び摺動不能に固定され、こ
の筒体7は、前記回路基板1におけるグランド配線パタ
ーン1bに、電気的に接続され、且つ、前記針状接触体
5の先端は、この筒体7の先端より突出するように構成
に構成されている。
【0016】この構成において、回路基板1を、被検査
物の一例であるプリント基板Aに向かって前進動するこ
とにより、プローブ3における針状接触体5が、プリン
ト基板Aにおける端子電極A1に対して接触したのち、
そのばね9による弾性力にて押圧されるから、電気的に
接続される。
【0017】このとき、前記針状接触体5、及びこれを
保持するガイド管4には、グランドに接続された筒体7
が被嵌され、この筒体7が、前記ガイド管4及び針状接
触体5の周囲をシールドするから、ガイド管4及び針状
接触体5に付近のノイズが入ることを確実に回避できる
のである。
【0018】また、図3は第2の実施の形態を示す、こ
の第2の実施の形態は、前記筒体7を、前記保持部材2
に回転及び摺動不能に固定したガイド管10にて摺動自
在に保持し、この筒体7を、ガイド管10内に設けたば
ね1にて、前記針状接触体5における突出方向と同じ方
向に突出するように付勢するという構成にしたものであ
る。
【0019】この構成によると、プリント基板aに対し
て針状接触体5を接触すると同時に、筒体7をも接触す
ることができるから、筒体7にて針状接触体5をその全
長にわたってシールドすることができる。
【0020】なお、本発明は、図示のように、プローブ
3を、検査装置側の回路基板1に設けることに限らず、
被検査物であるプリント基板A側に取付けるように構成
しても良いことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来におけるプローブ装置を示す縦断正面図で
ある。
【図2】本発明の第1の実施の形態によるプローブ装置
を示す縦断正面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態によるプローブ装置
を示す縦断正面図である。
【符号の説明】
1 検査装置側の回路基板 1a 配線パターン 1b グランド配線パターン 2 保持部材 3 プローブ 4 ガイド管 5 針状接触体 6 絶縁体 7 筒体 9 ばね

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】保持部材に移動不能に支持した導体製のガ
    イド管と、その内部に摺動自在に挿入した導体製の針状
    接触体と、この針状接触体を前記ガイド管から突出する
    ように付勢するばね体とから成るプローブ装置におい
    て、 前記ガイド管の外側に、グランドに接続した導体製の筒
    体を、その間に絶縁体を挟んで被嵌する一方、前記針状
    接触体の先端を前記筒体の先端から突出したことを特徴
    とする接触型プローブ装置。
  2. 【請求項2】保持部材に移動不能に支持した導体製のガ
    イド管と、その内部に摺動自在に挿入した導体製の針状
    接触体と、この針状接触体を前記ガイド管から突出する
    ように付勢するばね体とから成るプローブ装置におい
    て、 前記ガイド管の外側に、グランドに接続した導体製の筒
    体を、その間に絶縁体を挟んで摺動自在に被嵌し、この
    筒体を、ばね体にて前記針状接触体における突出方向と
    同じ方向に突出するように付勢したことを特徴とする接
    触型プローブ装置。
JP11210710A 1999-07-26 1999-07-26 接触型プローブ装置 Pending JP2001033482A (ja)

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