KR102456469B1

KR102456469B1 - 검사 프로브의 제조 방법 및 장치

Info

Publication number: KR102456469B1
Application number: KR1020200100206A
Authority: KR
Inventors: 조성현
Original assignee: 리노공업주식회사
Priority date: 2020-08-11
Filing date: 2020-08-11
Publication date: 2022-10-21
Also published as: KR20220019918A; TW202206821A; TWI792422B; CN114076840A

Abstract

검사용 프로브의 제조방법이 개시된다. 제조방법은 MEMS공정에 의해 다수의 터미널이 타이바에 의해 지지프레임에 연결된 터미널세트를 마련하는 단계, 길이방향으로 관통하는 중공부를 가진 통형의 배럴을 마련하는 단계, 상기 터미널세트의 각 터미널에 상기 배럴의 일단부를 삽입하여 고정하는 단계 및 상기 타이바로부터 상기 배럴의 일단부에 고정된 터미널을 분리하는 단계를 포함한다.

Description

검사 프로브의 제조 방법 및 장치{Method and Device for fabricating the test probe}

본 발명은 예를 들면 카메라모듈과 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 프로브의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼와 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치는 피검사체의 단자와 검사회로의 단자를 전기적으로 연결하는 검사 프로브가 사용된다. 도 1은 검사장치에 사용되는 종래의 검사 프로브(1)를 나타내는 도면이다. 검사 프로브(1)는 원통형의 배럴(11), 배럴(1)의 일측에 고정되는 제1플런저(12), 배럴(11)의 타측에 부분 삽입되어 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 제2플런저(13) 및 배럴(11) 내에 제1플런저(12)와 제2플런저(13) 사이에 마련된 스프링(14)을 포함한다.

제1플런저(12)는 피검사체의 단자에 접촉하는 접촉팁 및 배럴(11)에 삽입되는 배럴삽입부를 포함한다. 배럴삽입부는 원주방향을 따라 파여진 홈을 포함한다. 배럴삽입부는 배럴(11)에 삽입된 후, 홈에 대응하는 배럴(11) 부분을 딤플 또는 롤링 작업에 의해 가압 변형시킴으로써 고정될 수 있다.

검사 프로브(1)가 접촉하는 피검사체의 단자의 피치는 제품의 소형화로 인해 점점 더 작아지고, 그 결과 검사 프로브(1)의 크기도 매우 작아지고 있다. 예를 들면, 많은 수의 검사 프로브(1)를 조립하기 위해 직경 1mm 이하 직경의 배럴(11)에 제1플런저(12)를 삽입한 후 딤플 또는 롤링 작업을 수행하는 것은 매우 까다롭고 어려운 작업이다.

특히, 카메라모듈과 같은 특정 피검사체의 피검사접점은 BGA 타입과 달리 곡면 형상을 가진 단자를 가질 수 있다. 따라서, 도 1에 나타낸 바와 같은 종래의 제1플런저(12)의 팁(121)은 검사에 적합한 형태의 접촉팁을 가진 판상의 터미널이 사용될 수 있다.

이러한 판재 형상의 터미널은 금형이나 MEMS(Microelectro mechanical systems) 공정에 의해 대량 생산이 가능한 장점이 있으나, 원통형상의 배럴(11)에 삽입한 후 딤플작업 또는 롤링작업에 의해 고정하기도 어렵고, 가능하더라도 그 작업성이 더 떨어지는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 제조비용이 저렴한 검사 프로브의 제조 방법 및 장치를 제공하는데에 있다.

본 발명의 다른 목적은 작업성이 우수한 검사 프로브의 제조 방법 및 장치를 제공하는데에 있다.

본 발명의 과제를 달성하기 위한 검사 프로브의 제조방법이 제공된다. 검사 프로브의 제조방법은, 다수의 터미널이 각각 타이바에 의해 지지프레임에 연결된 터미널세트를 마련하는 단계, 길이방향으로 관통하는 중공부를 가진 통형의 배럴을 마련하는 단계, 상기 터미널세트의 각 터미널에 상기 배럴의 일단부를 삽입하여 고정하는 단계 및 상기 타이바로부터 상기 배럴의 일단부에 고정된 터미널을 상기 지지프레임으로부터 분리하는 단계를 포함한다.

상기 배럴을 마련하는 단계는 상기 배럴의 내경 중심을 향해 돌출하는 내향돌기를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 터미널은 탄성변형부와 걸림부를 가진 배럴삽입부를 가질 수 있다.

상기 고정 단계는 상기 걸림부가 상기 내향돌기에 걸려서 고정되는 단계를 포함할 수 있다.

상기 터미널은 본체부, 상기 본체부의 일변으로부터 연장하여 피검사체에 접촉하는 접촉부, 및 상기 본체부의 일변에 대향하는 타변으로부터 연장하여 상기 배럴 내에 고정되는 배럴삽입부를 포함할 수 있다.

상기 타이바는 상기 본체부에 연결될 수 있다.

상기 타이바는 상기 배럴의 축방향에 나란하게 연장할 수 있다.

상기 본체부는 상기 배럴삽입부가 상기 배럴에 삽입되는 정도를 제한하는 걸림턱을 포함할 수 있다.

상기 배럴을 마련하는 단계는 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하게 플런저를 지지하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 고정 단계 이후에, 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하게 플런저를 지지하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 프로브의 제조장치가 제공된다. 제조장치는 다수의 터미널을 포함하는 터미널세트를 탑재하는 터미널탑재부와, 상기 터미널에 대응하는 위치에 배럴이 놓이는 배럴탑재부와, 상기 터미널 탑재부에 인접하게 마련된 밀림방지벽을 포함한다.

상기 터미널탑재부와 상기 배럴탑재부 사이에 마련된 함몰부를 더 포함할 수 있다.

상기 함몰부에는 상기 터미널의 본체부와 배럴삽입부가 플로팅 상태로 놓일 수 있다.

상기 배럴탑재부는 상기 터미널을 향하는 방향으로 연장하는 배럴수용부를 포함할 수 있다.

상기 터미널탑재부에 놓인 터미널의 배럴삽입부 연장선과 상기 배럴수용부의 연장선은 서로 일치할 수 있다.

본 발명의 검사 프로브는 금형(Mold) 또는 MEMS(Microelectro mechanical systems) 공정에 의해 대량으로 제조된 상태에서 배럴에 조립함으로써 조립이 용이하고 제조비용을 절감할 수 있다.

도 1은 종래의 프로브를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 터미널을 나타내는 도면이다.
도 4는 다수의 터미널들을 포함하는 터미널세트를 나타내는 도면이다.
도 5는 다수의 터미널세트의 패턴홈을 가진 희생기판을 나타내는 도면이다.
도 6a 내지 6f는 도 5의 A-A를 따라 절취한 단면을 기준으로 터미널세트를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 7 a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 프로브의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 제5실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제6실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 14는 도 13의 B-B부분을 절취하여 나타낸 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 제1 및 제2터미널을 나타내는 도면이다.
도 16은 도 15의 제1 및 제2터미널을 중첩한 터미널을 나타낸 도면이다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 검사 프로브(100)를 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 검사 프로브(100)를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 터미널(120)을 나타내는 도면이다.

도 2를 참조하면, 프로브(100)는 중공의 통형 배럴(110), 배럴(110)의 일단부에 고정되는 터미널(120), 배럴(110)의 타단부에 슬라이딩 이동 가능하게 부분 삽입되는 플런저(130) 및 배럴(110) 내의 터미널(120)과 플런저(130) 사이에 배치되는 스프링(140)을 포함할 수 있다.

배럴(110)은 파이프 형상으로 관통하는 중공을 가진다. 배럴(110)은 도전성 재질, 예를 들면 황동으로 이루지고, 전체적으로 동(CU), 금(Au), 또는 은(Ag)으로 도금될 수 있다.

배럴(110)은 터미널(120)이 삽입되는 단부에 내측으로 돌출하는 내향돌기(111)를 포함할 수 있다. 내향돌기(111)는 딤플 또는 롤링 작업으로 제조될 수 있다. 내향돌기(111)는 터미널(120)이 삽입되기 전에 사전 형성될 수 있다.

배럴(110)은 플런저(130)가 삽입되는 타측의 단부에 직경이 축소되는 축경부(112)를 포함할 수 있다. 축경부(112)는 내향돌기(111)와 달리 배럴(110)의 타측 단부에 플런저(130)를 삽입한 후에 오므림 작업으로 형성될 수 있다.

터미널(120)은 금형 또는 MEMS 공정에 의해 제조될 수 있다. 터미널(120)은 예를 들면 니켈(Ni), 니켈코발트(Ni-Co), 니켈철(NiF) 합금 등으로 이루어질 수 있다.

도 3을 참조하면, 터미널(120)은 본체부(121), 피검사체의 단자에 접촉하는 접촉부(122), 및 배럴(110)에 삽입되는 배럴삽입부(123)를 포함할 수 있다.

본체부(121)는 직사각형 형상으로 제1장변의 일측으로부터 접촉부(122)가 연장하고, 제1장변에 대향하는 제2장변으로부터 배럴삽입부(123)가 연장할 수 있다. 본체부(121)는 제1장변에 후술하는 타이바가 연결되는 타이바연결부(1211)를 포함할 수 있다. 제2장변은 배럴(110)의 외경(도2의 D1)보다 큰 길이로 이루어지며 걸림턱(1212)을 포함할 수 있다. 타이바연결부(1211)는 설계에 따라 양측 단변에 마련될 수도 있다.

접촉부(122)는 피검사접점에 접촉하는 팁(1221)을 포함할 수 있다. 팁(1221)은 단일 또는 다수 개로 이루어질 수 있다.

배럴삽입부(123)는 폭방향의 양측 단부에서 각각 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 폐쇄형 슬롯(1232), 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233) 및 폭방향의 양측 단부에 배럴(110)의 내향돌기(111)가 물림 결합되도록 마련된 한 쌍의 걸림홈(1239)를 포함할 수 있다.

한 쌍의 걸림부(1231) 간의 최대 거리(D2)는 적어도 배럴(110)의 내경과 같거나 배럴(110) 내에 억지끼움이 가능한 정도일 수 있다. 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 효과적으로 걸릴 수 있도록 미늘 형상으로 이루어질 수 있다.

슬롯(1232)은 길이방향의 양단부에 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 예를 들면 원형의 확장슬롯(1234)을 포함할 수 있다.

탄성변형부(1233)는 슬롯(1232)을 사이에 두고 형성된 한 쌍의 텐션바(1235,1236)를 포함할 수 있다.

상술한 바와 같이, 텐션바(1235,1236)는 배럴삽입부(123)를 배럴(110)의 일측 단부에 삽입할 때 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 의해 배럴(110)의 중심축 방향으로 탄성변형될 수 있다. 걸림부(1231)는 내향돌기(111)를 넘어간 후, 탄성 복원되는 텐션바(1235,1236)에 의해 배럴(110)의 내향돌기(111)에 걸림이 이루질 수 있다. 이때, 배럴삽입부(123)는 걸림턱(1212)이 배럴(110)의 단부에 접촉하면서 더 이상 삽입되지 않고 고정될 수 있다.

도 4는 다수의 터미널들(120)을 포함하는 터미널세트(150)를 나타내는 도면이다.

터미널세트(150)는 MEMS공정 또는 금형(mold)공정에 의해 제조될 수 있다. 터미널세트(150)는 지지프레임(151), 지지프레임(151)에 분리 가능하게 연결된 다수의 터미널(120) 및 지지프레임(151)에 다수의 터미널(120)를 연결하는 타이바(152)를 포함할 수 있다.

타이바(152)는 후술하는 검사 프로브(100)의 제조공정 중에 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입되는 과정에 방해가 되지 않는 위치라면 터미널(120)의 본체부(121) 어디에든 연결될 수 있다. 타이바(152)는 배럴삽입부(123)가 연결된 본체부(121)의 제1변의 반대측 제2변에 연결되는 것이 바람직하다. 그 이유는, 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입될 때에 가해지는 압력에 의해 타이바(152)가 본체부(121)로부터 분리되지 않도록 하기 위한 것이다. 특히, 타이바(152)는 배럴삽입부(123)의 연장방향에 평행하게 연장하도록 위치하는 것이 좋다.

도 5는 다수의 터미널세트(150)의 패턴홈(220)을 가진 희생기판(200)을 나타내는 도면이다.

희생기판(200)은 제한되지 않는, 실리콘 기판, 적층 세라믹 기판, 또는 실리콘 웨이퍼가 바람직하게 사용될 수 있다.

도 5를 참조하면, 터미널세트(150)는 희생기판(200)의 일면에 그 형상에 대응하는 패턴홈(220)을 형성하여 터미널(120)을 구성하는 재료, 예를 들면 니켈, 니켈코발트 합금, 또는 니켈철 합금을 도금 공정을 통해 채워 넣어 제조할 수 있다.

도 6a 내지 6f는 도 5의 A-A를 따라 절취한 단면을 기준으로 터미널세트(150)를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.

도 6a를 참조하면, 희생기판(200)의 상면에 감광성의 제1포토레지스트층(210)을 도포하고, 제1포토레지스트층(210)에 노광마스크를 이용하여 터미널세트(150)의 형상에 대응하는 패턴으로 노광하고, 솔벤트를 이용하여 노광된 터미널세트 패턴(212)에 해당하는 제1포토레지스트층(210)을 제거한다.

도 6b를 참조하면, 희생기판(200)의 노출된 터미널세트 패턴(212)을 식각하여 패턴홈(220)을 형성한다.

도 6c를 참조하면, 패턴홈(220)을 포함한 희생기판(200) 상에 전도성 물질층(230)을 스퍼터링 또는 화학 기상 성장법(chemical vapor deposition, CVD)에 의해 형성한다. 전도성 물질층(230)은 티탄층과 구리층이 순차적으로 형성되도록 스퍼터링될 수 있다. 전도성 물질층(230)은 후술하는 전기 도금 공정에서 전극으로 이용될 수 있다.

도 6d를 참조하면, 전도성 물질층(230)이 도포된 희생 기판(200)의 상면에 감광성의 제2포토레지스트층(240)을 도포하고, 제2포토레지스트층(240)에 노광마스크를 이용하여 터미널세트(150)의 형상에 대응하는 패턴으로 노광하고, 솔벤트를 이용하여 노광된 터미널세트 패턴에 해당하는 제2포토레지스트층(240)을 제거한다. 결과적으로, 희생기판(200)의 상면은 터미널세트(150)의 패턴에 해당하는 부분, 즉 패턴홈(220)의 바닥에 위치한 전도성 물질층(230)이 노출될 수 있다.

도 6e를 참조하면, 전기도금 공정에 의해 패턴홈(220) 내에 제한되지 않는, 니켈, 니켈 코발트 합금 또는 니켈 철 합금 등의 금속층(250)을 채울 수 있다.

도 6f를 참조하면, 패턴홈(220)의 외부로 돌출된 부분을 예를 들면 화학 기계 연마(CMP) 등으로 연마할 수 있다.

이후, 희생기판(200), 제1 및 제2포토레지스트층(210, 240) 및 전도성 물질층(230)을 선별 식각하면, 도 4에 나타낸 바와 같은 터미널세트(150)가 제조될 수 있다.

추가적으로, 터미널세트(150)는 전체적으로 제한되지 않는, 금(Au)으로 도금될 수 있다.

도 7 a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 검사 프로브(100)의 제조방법을 나타내는 도면이다.

도 7a는 검사 프로브(100)를 조립하기 위한 제조장치(300)를 나타내는 도면이다. 제조장치(300)는 바닥부(310) 및 바닥부(310)의 일변에 세워진 밀림방지벽(320)을 포함할 수 있다.

바닥부(310)는 밀림방지벽(320)에 접하고 밀림방지벽(320)을 따라 소정 폭으로 연장하는 세트탑재부(311), 세트탑재부(311)로부터 이격된 배럴탑재부(312), 및 세트탑재부(311)와 배럴탑재부(312) 사이에 파여진 함몰부(313)를 포함할 수 있다.

도 7b를 참조하면, 세트탑재부(311)는 연장방향을 따라 다수의 터미널(120)들이 나란히 배열되도록 터미널세트(150)가 탑재될 수 있다. 이때, 터미널세트(150)의 지지프레임(151)은 밀림방지벽(320)에 접촉하며, 그 결과, 후술하는 배럴(110) 삽입과정에서의 밀림이 방지될 수 있다.

배럴탑재부(312)는 세트탑재부(311)에 탑재된 터미널세트(150)의 다수 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 연장방향에 나란하게 연장하는 배럴수용홈(3121)을 포함할 수 있다.

함몰부(313)에는 세트탑재부(311)에 탑재된 터미널세트(150)의 다수 터미널(120)의 본체부(121)와 배럴삽입부(123)가 플로팅으로 위치할 수 있다. 여기서, 배럴삽입부(123)가 연결된 본체부(121)의 제1장변 반대측에 위치한 제2장변은 함몰부(313)의 제2벽(3132), 즉 세트탑재부(311)에 접한 제2벽(3132)에 접촉할 수 있다. 그 결과, 후술하는 배럴(110) 삽입과정에서의 터미널(120)의 밀림에 대항할 수 있다. 배럴삽입부(123)의 단부는 함몰부(313)를 지나 배럴수용홈(3121)에 놓일 수 있다.

도 7c는 세트탑재부(311)에 터미널세트(150)가 탑재된 상태에서 배럴탑재부(312)의 배럴수용홈(3121)에 배럴(110)이 탑재된 상태를 나타내는 도면이다. 여기서, 배럴(110)은 화살표 방향을 따라 탑재된 터미널세트(150)의 각 터미널(120)을 향해 슬라이딩 이동시킬 수 있다. 배럴(110)은 일단부에 외주면을 따라 내측으로 딤플 또는 롤링 작업에 의해 내향돌기(111)가 사전 형성되어 있다. 또한, 배럴(110)의 내부에는 스프링(140)과 플런저(130)가 삽입된 상태에서 플런저(130)가 빠지지 않도록 배럴(110)의 타단부가 오므림되어 있는 상태이다.

도 7d는 도 7c에서 배럴(110)을 슬라이딩 이동시켜 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 삽입시켜 고정한 상태를 나타내는 도면이다. 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입될 때, 배럴삽입부(123)의 걸림부(1231)가 내향돌기(111)에 지나면서 탄성변형부(1233)의 텐션바(1235, 1236)가 배럴(110)의 중심축 방향으로 탄성변형될 수 있다. 이후, 배럴삽입부(123)의 걸림부(1231)가 내향돌기(111)를 통과하면, 탄성변형부(1233)의 텐션바(1235, 1236)가 탄성 복원되고, 동시에 본체부(121)의 걸림턱(1212)이 배럴(110)의 단부에 걸리면서, 걸림홈(도 3의 1239)은 내향돌기(111)에 물림 체결되어 고정될 수 있다.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 프로브(100)의 제조방법을 나타내는 도면이다.

도 8a를 참조하면, 배럴(110)은 일단부 측에 내향돌기(111)가 형성되어 있으나, 도 7c에서와 다르게 내부에 스프링(140)과 플런저(130)가 삽입되어 있지 않다. 여기서, 제조장치(300)의 배럴탑재부(312)는 도 7a와 다르게 탑재되는 배럴(110)의 타단부가 빈 공간 상에 놓이도록 형성되어 있다. 이는 후술하는 배럴(110) 타단부의 오므림 처리를 용이하게 하기 위한 것이다.

도 8b는 도 8a에서 배럴(110)을 슬라이딩 이동시켜 터미널(120)의 배럴삽입부(123)를 배럴(110)에 삽입시켜 고정한 상태를 나타내는 도면이다.

도 8c는 도 8b에서 스프링(140)을 삽입하고 플런저(130)를 부분 삽입한 후에 배럴(110)의 타단부를 오므림 처리한 상태를 나타내고 있다. 결과적으로, 프로브(100)는 도 7d에 나타낸 바와 같은 형태와 동일하게 제조될 수 있다.

배럴(110)은 예를 들면 1mm이하의 직경으로 크기가 매우 작기 때문에, 터미널세트(150)의 터미널(120)에 삽입 고정하기 이전에, 개별적으로 스프링(140) 및 플런저(130)를 삽입한 후에 오므림 처리하는 것은 어려울 수도 있다. 따라서, 도 8b에 나타낸 바와 같이, 터미널세트(150)에 연결된 다수의 터미널(120)의 배럴삽입부(123)를 배럴(110)에 삽입시켜 고정한 상태에서 스프링(140)과 플런저(130)를 삽입하고 오므림 처리하는 것이 더 편리할 수 있다.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 터미널(1201)을 나타내는 도면이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.

배럴삽입부(123)는 폭방향의 양측면으로 각각 돌출하는 제1 및 제2걸림부(1231-1,1231-2), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다.

제1 및 제2걸림부(1231-1,1231-2) 사이의 최대 거리는 적어도 배럴의 내경과 같거나 배럴(110)에 억지끼움 가능하도록 설정될 수 있다. 제1걸림부(1231-1)는 오픈형 슬롯(1232)에 인접하고 제1텐션바(1235)의 자유단부에 형성될 수 있다.

슬롯(1232)은 선단부에서 길이방향을 따라 후방으로 연장하다가 폭방향의 외측으로 진행하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)은 내측 단부에 슬롯(1232)의 폭보다 큰 확장슬롯(1234)을 포함할 수 있다.

탄성변형부(1233)는 슬롯(1232)을 사이에 두고 형성된 제1 및 제2텐션바(1235,1236)를 포함할 수 있다. 제1텐션바(1235)는 오픈형 슬롯(1232)에 접하는 캔틸레버 형태로 이루어질 수 있다.

상술한 바와 같이, 배럴삽입부(123)를 배럴(110)의 일측 단부에 삽입할 때 제1 및 제2텐션바(1235,1236)는 제1 및 제2걸림부(1231-1,1231-2)가 배럴(110)의 내향돌기(111)를 지나면서 탄성변형될 수 있다. 이때, 캔틸레버 타입의 제1텐션바(1235)는 제2텐션바(1236)에 비해 더 크게 변형될 수 있다.

도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 터미널(1202)을 나타내는 도면이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.

배럴삽입부(123)는 폭방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다.

슬롯(1232)은 자유단부를 향해 길이방향을 따라 전방으로 연장하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)은 자유단부를 향해 점차 확장될 수 있다.

도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 터미널(1203)을 나타내는 도면이다. 도 9에 나타낸 제2실시예에 따른 터미널(1201)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.

한 쌍의 걸림부(1231) 사이의 최대 거리는 배럴의 내경과 같거나 배럴에 억지끼움 가능하도록 설정될 수 있다.

슬롯(1232)은 후단부에서 선단부를 향해 길이방향을 따라 전방으로 연장하다가 걸림부(1231)를 지나 길이방향의 단부를 향해 진행하여 폭방향 일측으로 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)의 후단부에는 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯을 포함할 수 있다.

도 12는 본 발명의 제5실시예에 따른 터미널(1204)을 나타내는 도면이다. 도 10에 나타낸 제3실시예에 따른 터미널(1202)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.

배럴삽입부(123)는 폭방향의 양측면으로 각각 돌출하는 제1 및 제2걸림부(1231-1,1231-2), 길이방향을 따라 연장하는 슬롯(1232), 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233) 및 슬롯(1232) 사이에 마련된 탄성지지부(1237)를 포함할 수 있다.

탄성지지부(1237)는 슬롯(1232) 내에서 제1텐션바(1235)로부터 제2텐션바(1236)를 연결할 수 있다. 탄성지지부(1237)는 소정을 곡률을 가진 아크형상으로 이루어질 수 있다.

탄성지지부(1237)는 도 9와 도 11에 나타낸 제2 및 제4실시예에 따른 터미널(1201,1203)에도 유사하게 적용될 수 있다.

도 13은 본 발명의 제6실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이고, 도 14는 도 13의 B-B부분을 절취하여 나타낸 단면도이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.

도13 및 도 14를 참조하면, 배럴삽입부(123)는 제1 및 제2걸림부(1231-1,1231-2)에서 두께방향으로 연장하는 제1 및 제2걸림연장부(1238-1,1238-2)를 포함할 수 있다.

이와 같은 제1 및 제2걸림연장부(1238-1,1238-2)는 판상의 터미널(120)이 더욱 견고하게 배럴(110)에 고정될 수 있게 한다.
변형 실시예로서, 제1 및 제2걸림연장부(1238-1,1238-2)는 배럴(110)의 내측을 향하는 측면이 배럴(110)의 내벽에 접촉하는 곡면일 수 있다.

도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 나타내는 도면이고, 도 16은 도 15의 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 중첩한 터미널(420)을 나타낸 도면이다.

도 15 및 16을 참조하면, 터미널(420)은 두께방향으로 서로 중첩될 수 있는 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 포함할 수 있다.

제1터미널(420-1)은 제1본체부(421-1), 제1본체부(421-1)의 일변으로부터 일체로 연장하는 제1접촉부(422-1), 및 제1본체부(421-1)의 일변에 대향하는 타변으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 제1배럴삽입부(423-1)를 포함할 수 있다.

제2터미널(420-2)은 제2본체부(421-2), 제2본체부(421-2)의 일변으로부터 일체로 연장하는 제2접촉부(422-2), 및 제2본체부(421-2)의 일변에 대향하는 타변으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 제2배럴삽입부(423-2)를 포함할 수 있다.

제1배럴삽입부(423-1) 및 제1본체부(421-1)는 제1접촉부(422-1)의 두께의 1/2로 형성될 수 있다.

마찬가지로, 제2배럴삽입부(423-2) 및 제2본체부(421-2)는 제2접촉부(422-2)의 두께의 1/2로 형성될 수 있다.

제1 및 제2배럴삽입부(423-1,423-2)는 각각 도 3에 나타낸 배럴삽입부(123)과 유사한 구조를 가진다. 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)가 두께방향으로 중첩된 상태에서 제1 및 제2배럴삽입부(423-1,423-2)는 배럴의 일단부에 삽입 고정될 수 있다.

터미널(420)은 동일한 구조로 제작된 제1 및 제2터미널(420-1,420-2) 중 어느 하나를 뒤집어 중첩함으로써 형성할 수 있다. 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)가 중첩된 상태에서 제1접촉부와 제2접촉부(422-1,422-2)는 서로 다른 위치에 배열될 수 있다. 도 16에 나타낸 바와 같이, 중첩된 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)은 포크 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1접촉부와 제2접촉부(422-1,422-2)는 동일 평면상에 위치될 수 있다.

지금까지 터미널(120)의 접촉부(121)는 판상으로 도시하고 설명하였지만, 원기둥 또는 4각기둥의 단면의 형상을 가질 수 있다.

앞서 설명한 명세서에서, 본 발명 및 그 장점들이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 아래의 청구항에서 설명하는 바와 같은 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변경이 가능함은 이 기술 분야에서 보통의 기술을 가진 자에게 명백할 것이다. 이에 따라, 명세서와 도면은 한정 보다는 본 발명의 예시로서 간주되어야 한다. 모든 이러한 가능한 수정들은 본 발명의 범위 내에서 이루어져야 한다.

100: 검사 프로브
110: 배럴
111: 내향돌기
120: 터미널
121: 본체부
122: 접촉부
123: 배럴삽입부
1231: 걸림부
1232: 슬롯
1233: 탄성변형부
1234: 확장슬롯
1235,1236: 텐션바
1237: 탄성지지부
1238: 걸림연장부
130: 플런저
140: 스프링
150: 터미널 세트
151: 지지프레임
152: 타이바
200: 희생기판
210: 제1포토레지스트층
212: 터미널 세트 패턴
220: 패턴홈
230: 전도성 물질층
240: 제2포토레지시트층
300: 제조장치
310: 바닥판
311: 터미널 탑재부
312: 배럴탑재부
313: 함몰부
320: 밀림방지벽

Claims

프로브의 제조방법에 있어서,
다수의 터미널이 타이바에 의해 지지프레임에 연결된 터미널세트를 마련하는 단계;
길이방향으로 관통하는 중공부를 가진 통형의 배럴을 마련하는 단계;
상기 터미널세트의 각 터미널을 상기 배럴의 일단부에 삽입하여 고정하는 단계; 및
상기 타이바로부터 상기 배럴의 일단부에 고정된 터미널을 분리하는 단계를 포함하며,
상기 배럴은 내향돌기를 포함하며,
상기 각 터미널은 상기 배럴 내에 삽입 고정되고, 상기 내향돌기에 걸리는 걸림부, 상기 배럴의 중심축을 향해 탄성 변형되게 하는 탄성변형부, 및 폭방향의 양측 단부에 마련된 한 쌍의 걸림홈을 가진 배럴삽입부를 포함하며,
상기 고정단계는 상기 배럴에 상기 배럴삽입부가 삽입될 때에 상기 내향돌기와 상기 걸림부가 접촉함에 따라 상기 탄성변형부가 상기 중심축을 향해 탄성 변형되고, 상기 걸림부가 상기 내향돌기를 지남에 따라 상기 탄성변형부가 탄성 복원되어 상기 걸림홈에 상기 배럴의 내향돌기가 물림 결합되는 프로브의 제조방법.
제 1항에 있어서,
상기 터미널은,
본체부;
상기 본체부의 일변으로부터 연장하여 피검사체에 접촉하는 접촉부; 및
상기 본체부의 일변에 대향하는 타변으로부터 연장하고 상기 배럴에 고정되는 배럴삽입부를 포함하는 검사 프로브의 제조방법.
제 2항에 있어서,
상기 타이바는 상기 본체부에 연결되고,
상기 타이바는 상기 배럴의 축방향에 나란하게 연장하는 검사 프로브의 제조방법.
제 1항에 있어서,
상기 배럴을 마련하는 단계는 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하도록 플런저를 지지하는 단계를 포함하는 검사 프로브의 제조방법.
제 1항에 있어서,
상기 고정 단계 이후에, 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하도록 플런저를 지지하는 단계를 더 포함하는 검사 프로브의 제조방법.
프로브의 제조장치에 있어서,
다수의 터미널을 포함하는 터미널세트를 탑재하는 터미널탑재부와;
상기 터미널에 대응하는 위치에 배럴이 놓이는 배럴탑재부와;
상기 터미널 탑재부에 인접하게 마련되고, 상기 터미널이 상기 배럴에 삽입되도록 상기 배럴을 상기 터미널을 향해 이동시킬 때에 상기 터미널세트가 후방으로 밀리는 것을 방지하는 밀림방지벽을 포함하는 프로브의 제조장치.
제 6항에 있어서,
상기 터미널탑재부와 상기 배럴탑재부 사이에 마련된 함몰부를 더 포함하는 검사 프로브의 제조장치.