JP2005326307A - 電子部品検査用プローブ及び該プローブを備えた電子部品検査用ソケット - Google Patents
電子部品検査用プローブ及び該プローブを備えた電子部品検査用ソケット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005326307A JP2005326307A JP2004145402A JP2004145402A JP2005326307A JP 2005326307 A JP2005326307 A JP 2005326307A JP 2004145402 A JP2004145402 A JP 2004145402A JP 2004145402 A JP2004145402 A JP 2004145402A JP 2005326307 A JP2005326307 A JP 2005326307A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- electronic component
- conductors
- insulating structure
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 161
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 113
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 14
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 7
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000009503 electrostatic coating Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
電子部品の電気的特性検査に用いられるケルビン接続可能なプローブであって、電極を成す導電体の間に配置される絶縁体の厚みを低減させた場合であっても該絶縁体の機械的強度を保つことができるプローブを提供する。
【解決手段】
検査対象とする電子部品の1つのリードに対して共に接続され、かつ、検査装置に接続された基板の配線部に接続される一対の導電体と、前記導電体間を絶縁する絶縁構造体から成り、該絶縁構造体は、少なくとも前記導電体との一方の接触面において絶縁層を有する金属体から成ることを特徴とする電子部品検査用プローブ。
【選択図】 図2(A)
Description
検査対象とする電子部品30のリード31にケルビン接続されると共に、検査装置の配線部41に接続される一対の導電体2,2と、前記導電体2,2間に配置され、該導電体2,2間を絶縁する絶縁構造体10とから成り、該絶縁構造体10は、少なくとも前記導電体2,2との一方の接触面において絶縁層12を有する金属体11から成ることを特徴とする(請求項1)。
2 導電体
5 リード接触部
6 基板接触部
8 バレル
9 プランジャ
10 絶縁構造体
11 金属体
12 絶縁物質
20 ソケット
21 スリット
22 隔壁
22a 切り欠き(隔壁の)
22’隔壁(絶縁構造体から成る)
23 支持部材
24 絶縁構造体(スリット21内配置の)
27 ハウジング
30 電子部品
31 リード
40 基板
41 配線部
50 プローブ(従来の)
51 接触子片
52 電気絶縁体
53 金属板
Claims (10)
- 検査対象とする電子部品のリードにケルビン接続されると共に、検査装置の配線部に接続される一対の導電体と、
前記導電体間に配置され、該導電体間を絶縁する絶縁構造体とから成り、
該絶縁構造体は、少なくとも前記導電体との一方の接触面において絶縁層を有する金属体から成ることを特徴とする電子部品検査用プローブ。 - 前記一対の導電体及び前記絶縁構造体を板状と成すと共に、これらを重合して配置したことを特徴とする請求項1記載の電子部品検査用プローブ。
- 前記一対の導電体と、該導電体間に配置される絶縁構造体によって全体が略四角柱状を成すことを特徴とする請求項1記載の電子部品検査用プローブ。
- 前記一対の導電体が、バレルと、前記バレル内に一端を収容し移動自在のプランジャとを備えると共に、
前記導電体の少なくとも一方の前記バレルの外周を前記絶縁構造体で包囲したことを特徴とする請求項1記載の電子部品検査用プローブ。 - 検査装置に接続された配線部を有する基板と、該基板上に設けられたハウジングを備え、
検査対象とする電子部品のリード形成位置に対応して、請求項1〜4いずれか1項記載の前記プローブを前記基板上の配線部に接続可能な状態で前記ハウジングに取り付けたことを特徴とする電子部品検査用ソケット。 - 前記プローブを板状と成すと共に、前記基板上の配線部の形成位置に対応して、前記ハウジングにスリットを形成し、該スリット内に前記プローブを挿入したことを特徴とする請求項5記載の電子部品検査用ソケット。
- 前記ハウジングに前記スリットを平行に複数形成し、前記スリット内に該スリットの長さ方向に対して直交方向に絶縁性の弾性体から成る支持部材を配置すると共に、
前記スリット内に挿入された各プローブを、揺動可能に前記支持部材に係止したことを特徴とする請求項6記載の電子部品検査用ソケット。 - 前記スリット内に挿入された前記プローブの前記絶縁構造体が、前記スリット内で固定されていることを特徴とする請求項6又は7記載の電子部品検査用ソケット。
- 前記ハウジングの前記スリット間の隔壁と前記プローブの導電体との間に、少なくとも前記導電体との接触面において絶縁層を有する金属体から成る板状の絶縁構造体を挿入したことを特徴とする請求項6〜8いずれか1項記載の電子部品検査用ソケット。
- 前記ハウジングの前記スリット間の隔壁を、絶縁層を有する金属体から成る絶縁構造体で形成したとすることを特徴とする請求項6〜9いずれか1項記載の電子部品検査用ソケット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145402A JP3904564B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 電子部品検査用プローブ及び該プローブを備えた電子部品検査用ソケット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145402A JP3904564B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 電子部品検査用プローブ及び該プローブを備えた電子部品検査用ソケット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005326307A true JP2005326307A (ja) | 2005-11-24 |
JP3904564B2 JP3904564B2 (ja) | 2007-04-11 |
Family
ID=35472770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004145402A Expired - Lifetime JP3904564B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 電子部品検査用プローブ及び該プローブを備えた電子部品検査用ソケット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3904564B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007072789A1 (ja) * | 2005-12-21 | 2007-06-28 | Jsr Corporation | 異方導電性コネクター、及びこの異方導電性コネクターを備える検査装置用変換アダプタ及び検査装置、並びにこの異方導電性コネクターの製造方法 |
EP1855117A1 (en) * | 2006-05-11 | 2007-11-14 | Jeffrey C. Sherry | Contact for use in testing integrated circuits |
WO2008044509A1 (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Electrical connection device |
JP2016061789A (ja) * | 2014-09-17 | 2016-04-25 | ジェイエフ マイクロテクノロジー センディリアン ベルハッド | 無線集積回路の試験装置に備えられる電気接触子 |
JP2016090306A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | 新電元工業株式会社 | 検査用プローブ、検査装置、及び検査方法 |
US11536743B2 (en) | 2020-09-08 | 2022-12-27 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Kelvin contact for inspection, kelvin socket for inspection, and method of manufacturing kelvin contact for inspection |
-
2004
- 2004-05-14 JP JP2004145402A patent/JP3904564B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007072789A1 (ja) * | 2005-12-21 | 2007-06-28 | Jsr Corporation | 異方導電性コネクター、及びこの異方導電性コネクターを備える検査装置用変換アダプタ及び検査装置、並びにこの異方導電性コネクターの製造方法 |
US7618266B2 (en) | 2005-12-21 | 2009-11-17 | Jsr Corporation | Anisotropic conductive connector, conversion adapter for inspection device having the anisotropic conductive connector, and method for manufacturing the anisotropic conductive connector |
CN101341415B (zh) * | 2005-12-21 | 2011-03-16 | Jsr株式会社 | 各向异性导电连接器的制造方法 |
TWI403723B (zh) * | 2005-12-21 | 2013-08-01 | Jsr Corp | Manufacturing method of foreign - shaped conductive connector |
EP1855117A1 (en) * | 2006-05-11 | 2007-11-14 | Jeffrey C. Sherry | Contact for use in testing integrated circuits |
JP2007309933A (ja) * | 2006-05-11 | 2007-11-29 | Johnstech Internatl Corp | 集積回路の試験で使用する接触子 |
KR101388450B1 (ko) | 2006-05-11 | 2014-04-23 | 죤스테크 인터내셔날 코오포레이션 | 집적회로 테스트시 사용되는 컨택트 |
WO2008044509A1 (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Electrical connection device |
US7819672B2 (en) | 2006-10-12 | 2010-10-26 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Electrical connecting apparatus with inclined probe recess surfaces |
JP2016061789A (ja) * | 2014-09-17 | 2016-04-25 | ジェイエフ マイクロテクノロジー センディリアン ベルハッド | 無線集積回路の試験装置に備えられる電気接触子 |
JP2016090306A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | 新電元工業株式会社 | 検査用プローブ、検査装置、及び検査方法 |
US11536743B2 (en) | 2020-09-08 | 2022-12-27 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Kelvin contact for inspection, kelvin socket for inspection, and method of manufacturing kelvin contact for inspection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3904564B2 (ja) | 2007-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10649004B2 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection apparatus | |
KR101321355B1 (ko) | 프로브 및 접속치구 | |
TWI434049B (zh) | 檢查用治具及檢查用接觸件 | |
TWI422831B (zh) | 檢查用治具 | |
US10649005B2 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection device | |
KR102240208B1 (ko) | 검사 지그, 및 검사 장치 | |
JP5751222B2 (ja) | 接続端子及び接続治具 | |
US11408915B2 (en) | Cylindrical body and method for producing same | |
US20130002281A1 (en) | Contact probe and probe unit | |
US20220026481A1 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection apparatus | |
JPWO2012067126A1 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
JP2015075370A (ja) | 検査用治具、電極部、プローブ、及び検査用治具の製造方法 | |
JP3904564B2 (ja) | 電子部品検査用プローブ及び該プローブを備えた電子部品検査用ソケット | |
JP7114866B2 (ja) | 接触端子、検査治具、及び検査装置 | |
WO2016043327A1 (ja) | プローブユニット | |
JP2019053002A (ja) | 接触端子、検査治具、及び検査装置 | |
US20210364553A1 (en) | Inspection jig, inspection device, and contact terminal | |
WO2010140184A1 (ja) | プローブ及びプローブ装置 | |
JP5062355B2 (ja) | 接続端子及び接続端子の製造方法 | |
JP2009014480A (ja) | 検査冶具 | |
KR101767240B1 (ko) | 인쇄 회로 기판에 설치되는 통전 검사용 장치 | |
JP2012154670A (ja) | 検査用治具、検査用治具の電極構造及びその製造方法 | |
US20220178968A1 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection device | |
US20220155346A1 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection device | |
US20220155345A1 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070109 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3904564 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110119 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120119 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130119 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140119 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |