KR100985500B1

KR100985500B1 - 검사용 소켓

Info

Publication number: KR100985500B1
Application number: KR1020090075512A
Authority: KR
Inventors: 이채윤
Original assignee: 리노공업주식회사
Priority date: 2009-08-17
Filing date: 2009-08-17
Publication date: 2010-10-26

Abstract

본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 체결공이 수직으로 관통 형성된 상부 전도성 몸체와; 상기 상부 전도성 몸체의 하부면에 이격 형성되고, 상기 체결공과 각각 연통된 체결공이 수직으로 형성된 하부 전도성 몸체와; 판상의 절연성 재질로 형성되어 상기 상하부 전도성 몸체 사이의 이격부에 형성되고, 수직으로 상기 체결공과 각각 연통되는 결합공이 형성된 절연필름과; 상기 체결공보다 작은 직경을 가진 원통형 배럴과, 상기 배럴의 상하부에 각각 결합되어 검사 대상물의 접속 단자 및 검사용 회로 기판의 접속 단자에 접속되는 상,하부플런저로 구성되어 신호를 전달시키는 프로브와; 상기 상부 전도성 몸체의 상부면에 결합되며 상기 상부 플런저가 돌출되도록 상기 체결공보다 작은 직경의 관통공이 형성된 절연성의 상부 커버; 그리고, 상기 하부 전도성 몸체의 하부면측에 결합되며 상기 하부 플런저가 돌출되도록 상기 체결공보다 작은 직경의 관통공이 형성된 절연성의 하부 커버;를 포함하여 구성되어, 상기 절연필름의 결합공이 프로브 배럴의 외주면을 감쌈과 동시에 상기 프로브의 중앙부를 상기 체결공의 중심축에 위치되도록 구성되는 검사용 소켓을 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 프로브가 상기 소켓의 체결공 내부에 동축으로 용이하게 위치됨에 따라 임피던스를 일정하게 유지하기가 용이하며, 검사 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있다는 효과가 있다.

동축 노이즈 임피던스 프로브 소켓 검사

Description

검사용 소켓{test socket}

본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 증폭기 회로, 믹서 회로, 필터 회로, 메모리, CPU 등과 같은 고주파/고속 회로의 모듈을 회로 기판에 조립하기 이전에 전기적 성능을 검사하는 검사용 소켓에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼, IC 또는 모듈 같은 RF 디바이스의 전기적 성능을 검사하는 경우 단자 사이의 접촉이 불충분하면 임피던스 또는 그 밖의 측정값의 변동이 야기될 수 있다.

이러한 이유 때문에 상기 검사는 특수한 기능을 갖춘 특수 검사 유닛에 의해 수행되었으며 다양한 종래기술이 존재하였다.

도 1은 종래의 검사 소켓의 개념도이다.

도 1에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스인 RF 회로는 증폭기 회로 및 믹서 회로를 포함하는 모듈(50)형태로 구성되며, 외부와의 간섭을 회피하기 위해서 금속 케이싱 내에 수용된다. 모듈(50)은 RF 신호용 입력 단자(51) 및 출력 단자(54)와, 전원의 전극 단자(52), 그리고 접지 단자(53)를 포함하는데, 이들 단자는 금속 케이싱의 하부면에 마련된다. 이후 이들 단자를 소정의 배선이 배치되어 있는 회로 기판(66)의 각 단자에 전기적으로 연결하여 검사가 수행된다.

또한, 원통형 배럴 배부에 내장되어 있는 탄성 스프링과 상하부가 각각 결합된 상하부 플런저를 구비하는 다수 개의 접촉 프로브가 설치되며, 각 프로브의 플런저는 탄성 스프링에 의해 외부로 돌출하게 되며, 외력이 가해지면 원통형 배럴 내부로 들어가게 된다.

각 전극 단자는 RF 신호용 접촉 프로브(63)와, 전력 공급용 접촉 프로브(64)와, 접지용 접촉 프로브(65)에 의해 연결되어 있는데, 각 프로브들은 노이즈에 의해 영향을 받지 않도록 금속 재질의 몸체(61)에 내장되어 있다.

특히, RF 신호용 접촉 프로브(63)는 동축 구조로 형성되어 있어서, 접촉 프로브를 코아 전도체로 사용하고, 몸체(61)에 형성된 체결공의 내벽을 노이즈의 침투를 방지하기 위한 외부 전도체로 사용한다.

그리고 도 1의 도면 부호 67은 동축 케이블이고, 68은 접촉 프로브를 구속하는 상부 커버에 해당된다.

도 1에는 2개의 RF 신호용(입력 및 출력용) 접촉 프로브와, 각각 하나의 전력 공급용 접촉 프로브(64) 및 접지용 접촉 프로브(65)만 도시되어 있지만, 실제적으로는 몸체(61)에는 다수 개의 접촉 프로브가 설치되며, 약 0.4mm의 좁은 피치로 설치된다.

이러한 좁은 간격을 가지는 디바이스에 있어서, 유전층을 포함하는 RF 신호용 접촉 프로브의 외경은 크기가 감소되어야 한다. 한편, 체결공의 내벽과 접촉 프로브에 의해 형성되는 동축 구조체의 임피던스를 아래의 식(1)을 만족시키는 소정 특성의 임피던스(예를 들어 50Ω)로 조정해야 한다.

수학식 (1)

여기서, d는 코아 전도체의 외경이고, D는 외부 전도체의 내경이며, ε_r은 그것들 사이의 유전 물질의 유전 상수이다.

식(1)을 만족하기 위해, 각 접촉 프로브와 체결공 사이에 작은 유전상수를 가진 유전 물질로 이루어진 관을 설치하여 외부 전도체의 내경(D)을 감소시킬 수 있다.

그러나, 현재 가장 작은 유전 상수를 가진 유전 물질(특히, 폴리테트라폴루오로에틸렌:polytetrafuluoroethylene)관을 채택하고, 가장 작은 직경을 갖는 접촉 프로브를 채택하더라도, 외부 전도체의 외경(배럴)은 동축 구조체의 임피던스 특성을 50Ω을 얻기 위해서는 약 0.5mm가 되어야 한다.

이러한 문제점을 해결하기 위해서 일본 특허 공개 공보 제2004-170182A에는 유전링(69)이 도 2에 도시된 바와 같이 각 접촉 프로브(63) 외주부에 고정되어 갭이 있는 상태로 접촉 프로브를 몸체의 체결공에 동심으로 유지시키고, 접촉 프로브와 체결공 사이에는 유전 상수1인 공기층을 형성시키는 방법을 제안한 바 있다.

이러한 방법은 유전링을 접촉 프로브에 결합하기 힘들고, 결합과정에서 접촉 프로브가 외력에 의해 기울어진다는 사용상의 문제점이 있었다.

또한, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 일본 특허 공개 공보 제2004-325306A는 작은 접촉 프로브를 몸체의 체결공에 유지시키는 구조체(32)를 이용하여, 체결공과 동심으로 유지되도록 하는 방법을 제안한 바 있다.

그러나, 이러한 방법은 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 미세한 직경의 프로브(1)가 다수 개 장착된 몸체(2)에 상부 커버(31)을 정확한 위치에 결합하기 힘들고, 상기 결합 과정에서 프로브가 파손되는 등 사용상의 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 프로브를 소켓의 중심축(동축)에 위치시키는 결합이 용이함과 동시에, RF 신호용 디바이스에 대한 검사를 수행하는 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 체결공이 수직으로 관통 형성된 상부 전도성 몸체와; 상기 상부 전도성 몸체의 하부면에 이격 형성되고, 상기 체결공과 각각 연통된 체결공이 수직으로 형성된 하부 전도성 몸체와; 판상의 절연성 재질로 형성되어 상기 상하부 전도성 몸체 사이의 이격부에 형성되고, 수직으로 상기 체결공과 각각 연통되는 결합공이 형성된 절연필름과; 상기 체결공보다 작은 직경을 가진 원통형 배럴과, 상기 배럴의 상하부에 각각 결합되어 검사 대상물의 접속 단자 및 검사용 회로 기판의 접속 단자에 접속되는 상,하부플런저로 구성되어 신호를 전달시키는 프로브와; 상기 상부 전도성 몸체의 상부면에 결합되며 상기 상부 플런저가 돌출되도록 상기 체결공보다 작은 직경의 관통공이 형성된 절연성의 상부 커버; 그리고, 상기 하부 전도성 몸체의 하부면측에 결합되며 상기 하부 플런저가 돌출되도록 상기 체결공보다 작은 직경의 관통공이 형성된 절연성의 하부 커버;를 포함하여 구성되어, 상기 절연필름의 결합공이 프로브 배럴의 외주면을 감쌈과 동시에 상기 프로브의 중앙부를 상기 체결공의 중심축에 위치되도록 구성되는 검사용 소켓을 기술적 요지로 한다. 이에 따라 프로브가 체결공에 동축구조로 용이하게 결합되며, 검사 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있다는 이점이 있다.

여기서, 상기 상부커버의 하부면 및 하부커버의 상부면에는 내측으로 함몰되도록 형성되고, 상기 관통공과 연통되어 상기 프로브의 상하측 단부를 수용시키는 함몰공이 형성되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 프로브는, RF 신호를 전달시키는 RF 신호전달용 제1프로브와;

전원을 인가시키는 파워전달용 제2프로브와; 그라운드용 제3프로브;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 체결공은, 상기 제1프로브가 수용되는 제1체결공과; 상기 제2프로브가 수용되는 제2체결공과; 상기 제3프로브가 수용되는 제3체결공;을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

한편, 제2체결공의 직경은 제1체결공의 직경과 같거나 상대적으로 작고, 상기 제3체결공의 직경은 상기 제2체결공의 직경보다 상대적으로 작고, 상기 제2프로브 배럴의 외경은 제3프로브 배럴의 외경보다 상대적으로 작고, 상기 제1프로브 배럴의 외경은 상기 제2프로브 배럴의 외경보다 상대적으로 작는 것이 바람직하다.

상기의 구성에 의한 본 발명은, 임피던스를 일정하게 유지하기 위해 프로브를 상기 소켓의 체결공 내부에 동축으로 용이하게 위치시킬 수 있으며, 검사 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있다는 효과가 있 다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 여기서 본 발명의 권리는 실시예에 국한되지 아니하며 본 발명의 기술적 사상의 변형 가능한 부분까지 확장됨은 자명하다 할 것이다.

도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓의 단면도이고, 도 5는 프로브가 설치된 검사용 소켓의 요부 종단면도이며, 도 6은 프로브가 없는 검사용 소켓의 요부 종단면도이며, 도 7은 본 발명에 따른 프로브의 단면도이다.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 검사용 소켓은 크게 전도성 몸체(100)와, 프로브(200)와, 상부커버(300)와, 하부커버(400)로 구성된다.

먼저 전도성 몸체(100)에 대해 설명한다.

상기 전도성 몸체(100)는 후술하는 프로브(200)가 수용되는 부분으로 크게 상부 전도성 몸체(110)와, 하부 전도성 몸체(130)와, 절연필름(140)으로 구성된다.

상기 상부 전도성 몸체(110)는 소정 두께를 가지는 판상으로 구성되고 상하로 관통된 체결공(120)이 다수개 형성된다. 상기 상부 전도성 몸체(110)는 금속재질로 구성되어 상기 체결공(120)에 후술하는 프로브(200)의 일부가 수용되는바, 상기 프로브(200)들은 노이즈에 의해 영향을 받지 않게 된다.

상기 하부 전도성 몸체(130)는 소정 두께를 가지는 판상으로 구성되어 상하로 관통된 체결공(120)이 다수개 형성된다. 여기서 상기 하부 전도성 몸체(130)에 형성된 체결공(120)은 상부 전도성 몸체(110)에 형성된 체결공(120)과 상호간에 연 통되게 형성된다.

상기 하부 전도성 몸체(130)는 상기 상부 전도성 몸체(110)의 하부에 소정 이격되게 형성되어 체결공(120)에 프로브(200)의 일부가 수용 결합된다.

상기 절연필름(140)은 절연성의 합성수지 재질이며 판상으로 구성되어 상기 상부 전도성 몸체(110)와 하부 전도성 몸체(130)의 이격 공간내에 결합된다. 그리고 상기 절연필름(140)에는 상하부로 관통된 결합공(141)이 형성되며 상기 결합공(141)은 상기 상하부 전도성 몸체(110)(130)에 형성된 체결공(120)과 연통되게 형성된다. 그리고 상기 절연필름(140)의 결합공(141)이 후술하는 프로브(200)의 배럴(201) 외주면을 감싸는 형태로 프로브(200)와 결합된다. 여기서 상기 결합공(141)의 직경은 상기 체결공(120)의 직경보다 상대적으로 작게 형성된다.

즉, 상기 상부 전도성 몸체(110)와 하부 전도성 몸체(130) 사이에 절연필름(140)이 수용되는 형태로 상하부 전도성 몸체(110)(130)가 결합됨에 의해 전도성 몸체(100)가 형성되며, 상기 전도성 몸체(100)의 체결공(120) 및 결합공(141)에 프로브(200)가 수용됨과 동시에 상기 절연필름(140)의 결합공(141)이 프로브 배럴(201)의 외주면을 감쌈에 의해 프로브(200)를 체결공(120)의 중심축에 위치시키게 된다.

상기와 같이 절연필름(140)이 결합공(141)을 중심으로 하여 프로브(200)를 감쌈에 의해, 전도성 몸체(100)의 체결공(120) 내부 중심축에 금속재질의 프로브(200)가 동축으로 수용되어 동축 구조체가 되며, 프로브(200) 외주면과 체결공(120)의 내부에는 일정한 공간부가 형성되고 공간부 내부에는 유전율이 1인 공기 가 수용되어 동축 구조체에 일정한 임피던스가 형성되게 한다.

상기 전도성 몸체(100)에 형성된 체결공(120)은 내경이 다른 크게 세가지 종류로 구성되는 바, 체결공(120)은 크게 제1, 제2, 제3체결공(121)(122)(123)으로 구성된다. 상기 체결공(120)들은 상기 종래기술에서도 설명한 바와 같이, 통상 프로브의 간격은 0.4mm 피치 간격으로 배치되는바, 체결공(120)의 내경은 0.35mm 이내로 설계되어야 한다.

그리고 상기 체결공(120)을 세가지 종류로 형성한 이유는 상기 체결공(120)에 수용되는 프로브(200)의 종류에 따라 나누어진 것이며, 상기 체결공(200)에는 RF 신호를 전달시키는 제1프로브(210)가 수용되는 제1체결공(121)과, 전원을 인가시키는 파워전달용 제2프로브(220)가 수용되는 제2체결공(122)과, 그라운드용 제3프로브(230)가 수용되는 제3체결공(123)으로 구성된다.

상기 제1체결공(121)에는 RF 신호를 전달시키는 제1프로브(210)가 수용되며, 상기 제1체결공(121)과 제1프로브(210) 배럴 사이에는 유전율1인 공기가 충전되게 되며 제1체결공(121)의 내경은 0.35mm 정도인 경우, 프로브의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.15mm 정도로 제한되는바, 이는 종래기술에서도 설명한 바와 같이 공기를 이용하여 수학식 (1)을 만족하는 일정한 임피던스를 조절하기 위함이다.

상기 제2체결공(122)에는 파워전달용 제2프로브(220)가 수용되는바, 상기 제2체결공(122)의 내경은 0.35mm이하로 설계되며, 상기 제2체결공(122)의 내경이 0.35mm인 경우, 상기 제2체결공(122)에 수용되는 제2프로브(220)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.2㎜로 구성된다.

상기 제3체결공(123)에는 그라운드용 제3프로브(230)가 수용되는바, 상기 제3체결공(123)의 내경이 0.28mm정도로 설계되며, 상기 제3체결공(123)에 수용되는 제3프로브(230)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.26㎜로 구성된다.

상기와 같이, 본원발명에는 체결공의 직경(내경)을 달리 구성하여 후술하는 프로브를 필요한 용도에 맞게 설치하였다.

다음은 프로브(200)에 관한 것으로, 프로브(200)는 원통형 배럴(201)과, 원통형 배럴(201) 내부에 내장되어 있는 탄성 스프링(202)과, 상기 원통형 배럴(201) 상부에 결합되어 외력에 의해 탄성유동되는 상부플런저(203)와, 상기 원통형 배럴(201) 하부에 결합되어 외력에 의해 탄성유동되는 하부플런저(204)로 구성되어 상기 전도성 몸체(100)의 체결공에(120) 다수개가 수용된다.

상기 프로브(200)는 용도에 따라 크게 3가지 종류로 구성되는 바, RF 신호를 전달시키는 RF 신호전달용 제1프로브(210)와, 전원을 인가시키는 파워전달용 제2프로브(220)와, 그라운드용 제3프로브(230)로 구성된다.

그리고 상기 제1프로브(210)는 제1체결공(121)에, 제2프로브(220)는 제2체결공(122)에, 제3프로브(230)는 제3체결공(123)에 수용되어, 상기 프로브 배럴(201)의 상하단 일부 및 상하부 플런저(203)(204)가 전도성 몸체(200)의 상하부로 돌출된 형태이며, 상부 플런저(203)는 후술하는 상부커버(300)의 관통공(310)으로 일부 돌출되고, 하부 플런저(204)는 후술하는 하부커버(400)의 관통공(310)으로 일부 돌출되게 구성된다.

여기서 본 발명에 따른 상기 프로브(200)는 제1프로브(210)의 외경(구체적으 로는 배럴의 외경)이 0.15㎜, 제2프로브(220)의 외경이 0.2㎜, 제3프로브(230)의 외경이 0.26㎜로 구성된다.

여기서 상기 제1프로브(210)는 상기 전도성 몸체(100)의 제1체결공(121)에 수용결합되고, 상기 제1체결공(121)의 직경(내경)이 0.35㎜이고, 상기 제1프로브(210)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.15㎜인바, 상기 제1프로브(210)는 코아 전도체로 사용되고, 전도성 몸체(100)에 형성된 제1체결공(121)의 내벽은 노이즈의 침투를 방지하기 위한 외부 전도체로 사용된다.

또한 상기 제1프로브(210)의 외경 외측과 상기 제1체결공(121)의 내경 내측에는 유전체인 공기(유전율 1)가 충전됨과 동시에 상기 절연필름(140)의 결합공(141)이 제1프로브(210) 배럴(201)의 외주면을 감쌈에 의해 제1프로브(210)를 체결공(121)의 중심축에 동축으로 위치시키게 되어 일정한 임피던스를 유지하게 된다.

외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.2㎜인 상기 제2프로브(220)는 직경(내경)이 0.35㎜인 상기 전도성 몸체(100)의 제2체결공(122)에 수용결합되고, 상기 절연필름(140)의 결합공(141)이 제2프로브 배럴(201)의 외주면을 감쌈에 의해 제2프로브(220)를 제2체결공(122)의 중심축에 동축으로 위치시키게 됨과 동시에, 상기 제2프로브(220)의 외경이 상기 제2체결공(122)의 내경 내측과 일정하게 이격되어 상기 제2프로브(220)와 상기 전도성 몸체(100)는 상호간에 전기적으로 절연되게 된다.

외경이 0.26㎜인 상기 제3프로브(230)는 직경(내경)이 0.28㎜인 상기 전도성 몸체(100)의 제3체결공(123)에 수용결합되어 제3프로브(230)가 제3체결공(123)의 중심축에 동축으로 위치시키게 됨과 동시에, 금속재질의 전도성몸체(100)와 접촉됨에 의해 그라운드 목적을 용이하게 달성할 수 있는 것이다. 여기서 상기 제3프로브(230)는 상기 제3체결공(123)에 꼭 끼이게 결합수용됨에 의해 상기 절연필름(140)의 결합공(141)이 제3프로브 배럴(201)의 외주면을 감싸지 않으면서도 제3체결공(123)의 중심축에 동축으로 위치되게 된다.

상기 상부커버(300)는 합성수지 재질의 판형상이며 상하부로 관통된 다수개의 관통공(310)이 형성된다. 상기 관통공(310)은 상기 전도성 몸체(100)에 형성된 체결공(120)의 위치에 대응되게 형성되며, 상기 프로브(200)의 상부 플런저(203) 상부가 상기 관통공(310)의 상부로 일부 돌출되게 결합된다.

그리고 상기 상부커버 관통공(310)의 하부에는 내측으로 일부 함몰되게 형성되며 상기 관통공(310)보다는 직경이 상대적으로 큰 함몰공(320)이 형성되어, 상기 함몰공(320)측으로 상기 프로브(200)의 배럴(201) 상단부측이 일부 수용되며 상기 상부플런저(203)가 상기 함몰공(320)과 연통된 관통공(310)측으로 돌출되게 된다.

상기 함몰공(320)과 관통공(310)의 연결부에는 자연스럽게 단턱(330)이 형성되며, 상기 단턱(330)이 상기 프로브 배럴(201)의 상단부를 받침에 의해 프로브(200)가 상기 전도성 몸체(100)의 체결공(120)에서 무단 이탈되는 것을 방지시킨다.

상기 하부커버(400)는 합성수지 재질이고, 중앙부가 하측으로 함몰된 대략 판형상이며, 상기 전도성 몸체(100)가 상기 함몰부에 결합되어 검사용 소켓의 외형 을 유지한다. 상기 하부커버(400)는 검사용 소켓의 외형 전체를 유지하는 하우징 역할을 하는 측면부(410)와, 상기 측면부(410)와 연결되고 상기 상부 전도성 몸체(100)의 하부에 결합되는 하부(420)로 구성되는바, 측면부(410)는 통상적인 검사용 소켓에서는 공통적으로 가지는 구성이며 본 발명에서는 상기 하부(420)를 하부커버(400)로 통칭하기로 하며 이에 대해 설명한다.

상기 하부커버(400)에는 상하부로 관통된 다수개의 관통공(310)이 형성된다. 상기 관통공(310)은 상기 전도성 몸체(100)에 형성된 체결공(120)의 위치에 대응되게 형성되며, 상기 프로브(200)의 하부 플런저(204) 하부가 상기 관통공(310)의 하부로 일부 돌출되게 결합된다.

그리고 상기 하부커버 관통공(310)의 상부에는 내측으로 일부 함몰되게 형성되며 상기 관통공(310)보다는 직경이 상대적으로 큰 함몰공(320)이 형성되어, 상기 함몰공(320)측으로 상기 프로브(200)의 배럴(201) 하단부측이 일부 수용되며 상기 하부플런저(204)가 상기 함몰공(320)과 연통된 관통공(310)측으로 돌출되게 된다.

상기 함몰공(320)과 관통공(310)의 연결부에는 자연스럽게 단턱(330)이 형성되며, 상기 단턱(330)이 상기 프로브 배럴(201)의 하단부를 받침에 의해 프로브(200)가 상기 전도성 몸체(100)의 체결공(120)에서 무단 이탈되는 것을 방지시킨다.

상기의 구성에 의한 작동효과는 후술하는 바와 같다.

먼저 사용자가 상기 상부 전도성몸체(110)와, 절연필름(140)과, 하부전도성몸체(130)를 상호간에 결합하여 전도성 몸체(100)를 완성한다. 다음은 상기 전도 성몸체(100)를 상기 하부커버(400)의 함몰부에 위치시킨다. 그런 다음 상기 전도성 몸체(100)에 형성된 각각의 체결공(120)에 각각의 프로브(200)를 수용시키는바, 제1체결공(121)에는 제1프로브(210)를 수용시키고, 제2체결공(122)에는 제2프로브(220)를 수용시키고, 제3체결공(123)에는 제3프로브(230)를 위치시킨다.

이때, 상기 프로브(200)는 프로브 배럴(201)의 하단부가 상기 하부커버(400)의 함몰공(320)에 수용됨과 동시에 하부 플런저(204)가 하부커버(400)의 관통공(310)을 통하여 하측으로 돌출되는 형태로 하부커버(400)에 결합된다. 이와 동시에 상기 각각의 프로브(200)가 상기 절연필름(140)의 결합공(141)에 수용되어, 결합공(141)이 프로브 배럴(201)의 외주면을 감쌈에 의해 각각의 프로브(200)를 체결공(120)의 중심축에 동축으로 위치시키게 된다.

상기의 상태에서 상기 전도성 몸체(100)의 상부에 상부커버(300)를 결합시키는바, 상기 각각의 프로브(200)가 체결공(120)의 중심축에 동축으로 직립된 형태로 결합되어 있으므로, 상기 프로브(200)의 상부플런저(203)가 상부커버(300)의 관통공(310)으로 용이하게 수용되며, 상기 상부커버(300)를 결합시키는 동작에 의해 상기 상부커버(300) 상측으로 프로브(200)의 상부플런저(203)가 쉽게 돌출되어 상기 상부커버가 용이하게 결합된다.

만약, 상기 프로브(200)가 중심축상에 직립되지 않은 상태에서 상부커버(300)를 결합한다고 가정하면, 상기 프로브(200)의 상부플런저(203)는 상기 상부커버(300)의 관통공(310)과 어긋난 위치에 위치되고, 상부플런저(203)가 관통공(310) 내부로 수용되지 못하게 되어 상부커버(300)의 결합이 어렵게 된다.

따라서 상부커버(300)를 용이하게 결합시키기 위해서는 프로브(200)를 체결공(120)의 중심축상에 동축으로 유지시키는 것이 중요하며 본 발명에서는 절연필름(140)을 이용하여 프로브(200)를 체결공(120)의 중심축에 동축으로 위치시키는 구성을 한 것이다.

상기와 같이 상부커버(300)가 결합되면, 상기 프로브(200)는 프로브 배럴의 상단부가 상기 상부커버(300)의 함몰공(320)에 수용됨과 동시에 상부 플런저(203)가 상부커버(300)의 관통공(310)을 통하여 상측으로 돌출되는 형태로 상부커버(300)에 결합된다.

상기의 검사용 소켓을 이용하여 모듈에 대한 전기적 검사가 이루어지는 바, 상기 소켓에 수용된 프로브를 통하여 모듈에 대한 전기적 신호 등이 하측으로 전달되어 모듈의 이상 유무를 검사하게 되는 것이다.

도 1은 종래의 검사 소켓의 개념도.

도 2는 도 1에 도시된 접촉 프로브의 평면도.

도 3은 또 다른 종래의 검사 소켓의 단면도.

도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓의 단면도.

도 5는 프로브가 설치된 검사용 소켓의 요부 종단면도.

도 6은 프로브가 없는 검사용 소켓의 요부 종단면도.

도 7은 본 발명에 따른 프로브의 단면도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 전도성몸체 110 : 상부전도성몸체

120 : 체결공 121 : 제1체결공

122 : 제2체결공 123 : 제3체결공

130 : 하부전도성몸체 140 : 절연필름

141 : 결합공 200 : 프로브

201 : 배럴 202 : 탄성스프링

203 : 상부플런저 204 : 하부플런저

210 : 제1프로브 220 : 제2프로브

230 : 제3프로브 300 : 상부커버

310 : 관통공 320 : 함몰공

330 : 단턱 400 : 하부커버

410 : 측면부 420 : 하부

Claims

체결공이 수직으로 관통 형성된 상부 전도성 몸체와;

상기 상부 전도성 몸체의 하부면에 이격 형성되고, 상기 체결공과 각각 연통된 체결공이 수직으로 형성된 하부 전도성 몸체와;

판상의 절연성 재질로 형성되어 상기 상하부 전도성 몸체 사이의 이격부에 형성되고, 수직으로 상기 체결공과 각각 연통되며 상기 체결공보다 작은 직경을 가지는 결합공이 형성된 절연필름과;

상기 체결공보다 작은 직경을 가진 원통형 배럴과, 상기 배럴의 상하부에 각각 결합되어 검사 대상물의 접속 단자 및 검사용 회로 기판의 접속 단자에 접속되는 상,하부플런저로 구성되어 신호를 전달시키는 프로브와;

상기 상부 전도성 몸체의 상부면에 결합되며 상기 상부 플런저가 돌출되도록 상기 체결공보다 작은 직경의 관통공이 형성된 절연성의 상부 커버; 그리고,

상기 하부 전도성 몸체의 하부면측에 결합되며 상기 하부 플런저가 돌출되도록 상기 체결공보다 작은 직경의 관통공이 형성된 절연성의 하부 커버;를 포함하여 구성되어,

상기 절연필름의 결합공이 프로브 배럴의 외주면을 감쌈과 동시에 상기 프로브의 중앙부를 상기 체결공의 중심축에 위치되도록 구성됨을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서, 상기 상부커버의 하부면 및 하부커버의 상부면에는 내측으 로 함몰되도록 형성되고, 상기 관통공과 연통되어 상기 프로브의 상하측 단부를 수용시키는 함몰공이 형성됨을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제2항에 있어서, 상기 프로브는,

RF 신호를 전달시키는 RF 신호전달용 제1프로브와;

전원을 인가시키는 파워전달용 제2프로브와;

그라운드용 제3프로브;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제3항에 있어서, 상기 체결공은,

상기 제1프로브가 수용되는 제1체결공과;

상기 제2프로브가 수용되는 제2체결공과;

상기 제3프로브가 수용되는 제3체결공;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제4항에 있어서, 제2체결공의 직경은 제1체결공의 직경과 같거나 상대적으로 작고, 상기 제3체결공의 직경은 상기 제2체결공의 직경보다 상대적으로 작음을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제5항에 있어서, 상기 제2프로브 배럴의 외경은 제3프로브 배럴의 외경보다 상대적으로 작고, 상기 제1프로브 배럴의 외경은 상기 제2프로브 배럴의 외경보다 상대적으로 작음을 특징으로 하는 검사용 소켓.