KR101715738B1

KR101715738B1 - 테스트 소켓

Info

Publication number: KR101715738B1
Application number: KR1020150029980A
Authority: KR
Inventors: 이채윤
Original assignee: 리노공업주식회사
Priority date: 2015-03-03
Filing date: 2015-03-03
Publication date: 2017-03-14
Also published as: KR20160107045A

Abstract

본 발명은 보다 미세한 피치를 제공하는 테스트 소켓이 제공된다. 본 발명의 테스트 소켓은, 관상의 배럴과, 상기 배럴의 단부에 삽입되어 슬라이딩이동 가능한 슬라이딩부와 상기 슬라이딩부보다 작은 직경을 가지고 상기 슬라이딩부와 일체로 연결되어 상기 배럴의 단부로부터 노출되는 전극부를 갖는 적어도 하나의 플런저, 및 상기 배럴 내에 수용되어 상기 플런저를 노출방향으로 탄성적으로 미는 스프링을 가지는 다수의 프로브유니트와; 상기 배럴이 삽입되는 상호 평행하게 관통형성된 다수의 배럴장착공을 갖는 판상의 소켓본체와, 상기 소켓본체의 적어도 일측 표면에 적층되며 상기 전극부는 통과하고 상기 슬라이딩부의 통과를 저지하는 직경을 갖는 전극통과공이 형성된 멈춤플레이트를 갖는 소켓유니트를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

테스트 소켓{A Test Socket}

본 발명은 반도체와 같은 피검사체를 검사하는 테스트 소켓에 관한 것이다.

반도체 등의 전기적 특성이나 적정성 여부를 검사하는데 사용되는 테스트 소켓은 피검사체의 각 접점에 접촉하는 다수의 프로브를 갖는다. 테스트 소켓의 소켓본체에 상호 전기적으로 절연되도록 이격되게 배치되는 프로브들은 공간효율성이나 제조효율적인 관점에서 가능한한 밀집 배치되는 것이 바람직하다.

그러나 소켓본체에 장착되는 프로브는 일반적으로, 관상의 배럴과, 이 배럴의 양단에 삽입되는 플런저 및 양 플런저 사이 개재되는 스프링으로 이루어져 있고, 플런저가 배럴의 길이방향을 따라 슬라이딩 이동하면서 배럴로부터 이탈되지 않도록 플런저 이탈방지구조가 마련되어 있다. 이탈방지구조가 반드시 구비되어야 하는 프로브의 구조적인 한계는 테스트 소켓의 전체적인 밀집도를 제한하고 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 프로브들을 미세한 피치로 배열하여 밀집도를 높인 테스트 소켓을 제공하는 것이다.

상기 목적은, 관상의 배럴과, 상기 배럴의 단부에 삽입되어 슬라이딩이동 가능한 슬라이딩부와 상기 슬라이딩부보다 작은 직경을 가지고 상기 슬라이딩부와 일체로 연결되어 상기 배럴의 단부로부터 노출되는 전극부를 갖는 적어도 하나의 플런저, 및 상기 배럴 내에 수용되어 상기 플런저를 노출방향으로 탄성적으로 미는 스프링을 가지는 다수의 프로브유니트와; 상기 배럴이 삽입되는 상호 평행하게 관통형성된 다수의 배럴장착공을 갖는 판상의 소켓본체와, 상기 소켓본체의 적어도 일측 표면에 적층되며 상기 전극부는 통과하고 상기 슬라이딩부의 통과를 저지하는 직경을 갖는 전극통과공이 형성된 멈춤플레이트를 갖는 소켓유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓에 의해 달성된다.

여기서, 상기 소켓본체는 상호 적층되는 복수의 본체플레이트들로 이루어지는 것이 바람직하다. 이에 의해 프로브의 다양한 길이에 대응하여 표준화된 본체플레이트의 수량을 적층하여 소켓본체를 구성할 수 있으며, 미세하고 길게 관통형성된 배럴장착공의 가공이 가능할 수 있다.

그리고, 상기 플런저는 상기 배럴의 양단부에 각각 장착되며, 상기 멈춤플레이트는 상기 소켓본체의 양 표면에 적층 결합될 수 있다.

본 발명에 따르면 배럴이 플런저의 이탈방지구조를 갖지 않고 멈춤플레이트로 플런저의 이탈을 방지함으로써 테스트 소켓에 프로브들을 미세한 피치로 배열하여 밀집도를 높일 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 소켓의 단면도이며,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 소켓의 단면도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 소켓(1)을 상세히 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 소켓(1)은, 도 1의 단면도에서 도시된 바와 같이, 프로브유니트(10)와 프로브유니트(10)들을 지지하는 소켓유니트(20)로 이루어진다. 소켓유니트(20)에는 프로브유니트(10)들이 미세한 피치로 상호 평행하게 다수가 배열되어 있으나, 도 1에서는 설명의 편리를 위해 하나의 프로브유니트(10)만이 예시적으로 표시되어 있다.

프로브유니트(10)는 관상의 배럴(100)과, 배럴(100)의 양 단부에 삽입되는 플런저(120, 140)를 갖는다. 양 플런저(120, 140) 사이에는 상호 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링(160)이 개재되어 있다. 관상의 배럴(100)의 양 단부 영역에는 플런저(120, 140)의 슬라이딩부(126, 146)가 배럴(100)의 길이방향을 따라 슬라이딩이동 가능하도록 삽입되어 있다. 플런저(120, 140)의 원기둥형상 슬라이딩부(126, 146)에는 그보다 작은 직경의 전극부(124, 144)가 일체로 형성되어 배럴(100)의 길이방향으로 연장되어 있다. 전극부(126, 146)의 말단은 피검사체의 검사접점과 검사장치의 테스터헤드와 접촉하여 통전하기 용이하게 날카로운 뿔형상으로 형성되어 있다. 슬라이딩부(126, 146) 내측단에는 압축코일 스프링(160)이 안정적으로 탄성을 제공할 수 있도록 접촉되는 원뿔형상의 돌기부(128, 148)가 형성되어 있다. 스프링(160)은 플런저(120, 140)의 전극부(126, 146)가 노출되는 방향으로 탄성력을 제공한다.

소켓유니트(20)는 다수의 배럴(100)이 삽입되어 지지되도록 상호 평행하게 관통형성된 배럴장착공(210)이 형성된 판상의 소켓본체(200)를 갖는다. 소켓본체(200)는 일체로 형성될 수도 있으나 바람직하게는 복수의 본체플레이트(202, 204, 206)들로 상호 적층되어 이루어진다. 이는 프로브의 다양한 길이에 대응하여 표준화된 본체플레이트의 수량을 적층하여 소켓본체를 구성할 수 있도록 하기도 하며, 미세하고 길게 관통형성된 배럴장착공의 가공의 편의를 위해서 이기도 하다. 판상의 소켓본체(200)의 표면에 판상의 멈춤플레이트(220, 240)가 적층된다. 멈춤플레이트(220, 240)는 배럴장착공(210)에 대응하는 전극통과공(222, 242)을 가지며, 이들 전극통과공(222, 242)은 전극부(126, 146)는 통과하고 슬라이딩부(126, 146)는 통과되지 않는 직경을 갖는다. 멈춤플레이트(220, 240)가 소켓본체(200)에 적층됨으로써 배럴(100)과 플런저(120, 140)의 슬라이딩부(126, 146)가 소켓본체(200)로부터 이탈되지 않도록 하며 기존 배럴의 양 단부에 형성되었던 슬라이딩부의 이탈방지구조를 없앨 수 있게 된다.

도 1의 실시예의 테스트 소켓(1)의 조립과정은 도 1에 도시된 바와 같이, 제2전극통과공(242)이 형성된 판상의 제2멈춤플레이트(240)와 배럴장착공(210)이 형성된 판상의 소켓본체(200)가 적층되어 접착된다. 이어 배럴(100)을 배럴장착공(210)에 삽입하고 배럴(100)의 내측면(102)으로 제2플런저(140)의 제2전극부(124)를 먼저 삽입하여 제2전극통과공(242)을 통과하여 노출되게 한다. 압축코일형상의 스프링(160)을 배럴(100) 내에 삽입한다. 그리고 제1플런저(120)의 제1슬라이딩부(126)를 배럴(100)의 제1단부에 삽입하여 내측면(102)과 접촉되게 한다. 이에 의해 제1돌기부(128)와 스프링(160)가 접하게 된다. 이렇게 되면 제1플런저(120)는 스프링(160)에 의해 노출방향으로 탄성을 가지며 제1슬라이딩부(126)의 적어도 일부가 배럴(100)의 내측면(102)과 접해 있게 된다. 제1멈춤플레이트(220)의 제1전극통과공(222)을 통과하여 제1멈춤플레이트(220)로부터 노출되는 제1플런저(120)의 제1전극부(124)는 피검사체의 검사접점과 접촉하게 된다. 테스터헤드와 접촉되어 연결된 제2전극부(144)를 통해 검사전류를 피검사체의 검사접점과 접촉하여 연결된 제1전극부(124)로 보내어 전기적 특성이나 적정성 여부를 검사하는 것이다.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 소켓(1)의 단면도이다. 도 2의 테스트 소켓(1)은 프로브유니트(10)와 프로브유니트(10)들을 지지하는 소켓유니트(20)로 이루어진다. 소켓유니트(20)에는 프로브유니트(10)들이 미세한 피치로 상호 평행하게 배열되어 있으나, 도 2에서는 설명의 편리를 위해 하나의 프로브유니트(10)만이 예시적으로 표시되어 있다.

프로브유니트(10)는 관상의 배럴(100), 배럴(100)의 일 단부에 삽입되는 플런저(120), 타 단부에 삽입되어 배럴(300)에 고정되는 고정전극부(150)를 갖는다. 플런저(120)와 고정전극부(150) 사이에는 상호 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링(160)이 개재되어 있다. 배럴(300)은 측면의 타측 영역에 배럴(300)의 길이방향을 따른 축선측으로 외부의 압력에 의해 안으로 들어간 홈부(304)가 형성되어 있다. 이는 배럴(300)의 타측 단부로 고정전극부(150)가 삽입된 후 배럴(300)의 측면으로 외부의 압력을 가하여 배럴(300)의 홈부(304)와 고정전극부(150)의 고정홈(158)이 대응되게 생기게 함으로써 고정지지되게 한 것이다. 이에 의해 고정전극부(150)는 배럴(300)의 타측에서 검사장치의 테스터헤드에 고정접촉된다. 고정전극부(150)는 제1플런저(120)의 제1슬라이딩부(126)와 제1전극부(124)의 형상과는 다르게 동일한 직경으로 형성될 수 있으며 가공의 편의를 위하여 제1플런저(120)의 제1전극부(124)처럼 제1슬라이딩부(126)와는 다른 직경으로 형성될 수도 있다. 배럴(300)의 타측의 단부영역에는 제1플런저(120)의 제1슬라이딩부(126)가 배럴(100)의 길이방향을 따라 슬라이딩이동 가능하도록 삽입되어 있다. 제1플런저(120)의 원기둥형상 제1슬라이딩부(126)에는 그보다 작은 직경의 제1전극부(124)가 일체로 형성되어 배럴(100)의 길이방향으로 연장되어 있다. 제1전극부(124)가 형성된 제1플런저(120)의 반대측 제1슬라이딩부(126) 말단과 고정전극부(150)의 반대측에는 압축코일 스프링(160)이 안정적으로 탄성을 제공할 수 있도록 접촉되는 원뿔형상의 고정전극돌기부(156)가 형성되어 있다. 스프링(160)은 고정전극부(150)의 고정전극돌기부(156)에 지지되어 제1플런저(120)의 제1전극부(124)가 노출되는 방향으로 탄성력을 제공한다.

소켓유니트(20)는 고정전극부(150)가 고정지지된 다수의 배럴(300)이 삽입되어 지지되도록 상호 평행하게 관통형성된 배럴장착공(210)이 형성된 판상의 소켓본체(208)를 갖는다. 도 1의 실시예와 같이 소켓본체(208)는 복수의 본체플레이트(202, 204, 206)로 형성되는 것이 바람직하지만 일체로 형성될 수도 있다. 판상의 소켓본체(208)의 일측의 표면에 판상의 멈춤플레이트(220)가 적층된다. 멈춤플레이트(220)는 배럴장착공(210)에 대응하는 제1전극통과공(222)을 가지며, 이들 제1전극통과공(222)은 제1전극부(124)는 통과하고 제1슬라이딩부(126)는 통과되지 않고 저지되는 직경을 갖는다. 소켓본체(208)의 타측의 표면에는 고정전극부(150)는 통과하고 배럴(300)은 통과되지 않고 저지되는 직경을 갖는 고정전극통과공(402)이 형성된 판상의 제3멈춤플레이트(400)가 적층되어 접착된다. 이렇게 멈춤플레이트(220)가 소켓본체(208)에 적층됨으로써 배럴(100)과 플런저(120)의 슬라이딩부(126)가 소켓본체(208)로부터 이탈되지 않도록 하며 기존 배럴의 단부에 형성되었던 슬라이딩부의 이탈방지구조를 없앨 수 있게 된다.

도 2의 실시예의 테스트 소켓(1)은 고정전극부(150)를 배럴(300)에 고정시킨 후 배럴장착공(210)에 삽입하여 고정하며 이 후의 조립과정은 도 1의 실시예의 조립과정과 동일하므로 생략한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 소켓(1)은 프로브유니트(10)의 배럴(100)과 플런저(120, 140)를 멈춤플레이트(220, 240)로 이탈되지 않도록 하여 배럴(100)이 기존과 같이 플런저의 이탈방지구조를 갖지 않도록 함으로써 프로브유니트들을 미세한 피치로 배열하여 밀집도를 높일 수 있다.

1: 테스트 소켓 10 : 프로브유니트
20 : 소켓유니트 100, 300 : 배럴
102 : 배럴내측면 120 : 제1플런저
122 : 제1컨택트 124 : 제1전극부
126 : 제1슬라이딩부 128 : 제1돌기부
140 : 제2플런저 142 : 제2컨택트
144 : 제2전극부 146 : 제2슬라이딩부
148 : 제2돌기부 150 : 고정전극부
152 : 제3컨택트 154 : 고정전극본체
156 : 고정전극돌기부 158 : 고정홈
200 : 소켓본체 202 : 제1본체플레이트
204 : 제2본체플레이트 206 : 제3본체플레이트
210 : 배럴장착공 220 : 제1멈춤플레이트
222 : 제1전극통과공 240 : 제2멈춤플레이트
242 : 제2전극통과공 304 : 배럴의 홈부
400 : 제3멈춤플레이트 402 : 고정전극통과공

Claims

테스트 소켓에 있어서,
일정한 외경의 관상의 배럴과, 상기 배럴의 단부에 삽입되어 슬라이딩이동 가능한 슬라이딩부와 상기 슬라이딩부보다 작은 직경을 가지고 상기 슬라이딩부와 일체로 연결되어 상기 배럴의 단부로부터 노출되는 전극부를 갖는 적어도 하나의 플런저, 및 상기 배럴 내에 수용되어 상기 플런저를 노출방향으로 탄성적으로 미는 스프링을 가지는 다수의 프로브유니트와;
상기 일정한 외경의 배럴이 삽입되는 상호 평행하게 관통 형성된 일정한 직경의 다수의 배럴장착공을 갖는 판상의 소켓본체와, 상기 소켓본체의 적어도 일측 표면에 적층되며 상기 전극부는 통과하고 상기 슬라이딩부의 통과를 저지하는 일정한 직경을 갖는 전극통과공이 형성된 멈춤플레이트를 갖는 소켓유니트를 포함하며,
상기 프로브유니트는 상기 관상 배럴, 상기 적어도 하나의 플런저, 및 상기 스프링이 각각 분리된 상태에서 상기 소켓유니트에 조립되는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,
상기 소켓본체는 상호 적층되는 복수의 본체플레이트들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,
상기 플런저는 상기 배럴의 양단부에 각각 장착되며, 상기 멈춤플레이트는 상기 소켓본체의 양 표면에 적층 결합되는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.