JPWO2007142033A1 - 多層セラミック電子部品およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
多層セラミック素体の第1主面に表面実装型電子部品を搭載してなる多層セラミック電子部品の製造方法であって、
(a)未焼結セラミック基材層が積層され、所定の第1導体パターンが配設された、未焼成の多層セラミック素体と、
前記多層セラミック素体の前記第1主面の少なくとも一部領域に配設され、非金属無機粉末を主成分とし、前記表面実装型電子部品が接続される第2導体パターンを有するとともに、前記表面実装型電子部品の垂直投影領域よりも外側に位置する樹脂導入部を有する、前記表面実装型電子部品を搭載するための台座部と
を備えた台座部付きの未焼成多層セラミック素体を作製する工程と、
(b)前記台座部付きの未焼成多層セラミック素体を焼成する工程と、
(c)焼成後の台座部付きの多層セラミック素体の前記台座部に、前記第2導体パターンを介して前記表面実装型電子部品を搭載する工程と、
(d)前記非金属無機粉末を主成分とする前記台座部、ならびに、前記台座部と前記表面実装型電子部品との間に、前記樹脂導入部から樹脂を充填し、硬化させる工程と
を具備することを特徴としている。
多層セラミック素体の第1主面に表面実装型電子部品を搭載してなる多層セラミック電子部品であって、
セラミック基材層が積層され、かつ、所定の第1導体パターンを有する多層セラミック素体と、
前記多層セラミック素体の前記第1主面の一部領域に配設され、非金属無機粉末を主成分とし、前記表面実装型電子部品が接続される第2導体パターンを有するとともに、前記表面実装型電子部品の垂直投影領域よりも外側に位置する樹脂導入部を有する、前記表面実装型電子部品を搭載するための台座部と、
前記台座部に前記第2導体パターンを介して搭載された前記表面実装型電子部品と
を具備し、
少なくとも前記非金属無機粉末を主成分とする前記台座部には樹脂が充填されていることを特徴としている。
また、台座部は非金属無機粉末の集合体であり、樹脂導入部を経て充填された樹脂は台座部、および、台座部と表面実装型電子部品の隙間に確実に保持されるため、樹脂が台座部から周囲に流出することがなく、樹脂の流出による周囲領域への悪影響を抑制することができる。
したがって、本願請求項1の発明によれば、表面実装型電子部品を固定するためのアンダーフィル樹脂の流出がなく、表面実装型電子部品の高密度でしかも高精度の実装が行われた信頼性の高い多層セラミック電子部品を効率よく製造することができる。
また、表面実装型電子部品の垂直投影領域よりも外側に位置する樹脂導入部が配設されているため、上方から樹脂を充填するだけで、樹脂が台座部の周囲に流出することを防止しつつ、台座部を構成する非金属無機粉末の間に樹脂を容易かつ確実に充填することが可能になる。
また、樹脂の流出がなく、台座部の周囲にも高密度に表面実装型電子部品を実装することが可能になるため、高精度な実装形態を実現することが可能になる。
したがって、耐衝撃性や、小型化対応性に優れた、信頼性の高い多層セラミック電子部品を提供することが可能になる。
2 第2のセラミック層(収縮抑制層)
3 内部面内導体
4 多層セラミック素体
4a グリーンシート成形体(未焼成多層セラミック素体)
5 外部導体
6 端子電極
7 ビアホール導体
10 多層セラミック基板
11 台座部
11A 樹脂導入部
13 半導体素子(表面実装型電子部品)
14 多層セラミック素体の上面(第1主面)
15 はんだ
15a はんだペースト
16 樹脂層
17 台座部用ビアホール導体
17a 一方側端面(上側端面)
17b 他方側端面
21 非金属無機粉末
22 樹脂
23 表面実装型電子部品
24 樹脂供給ノズル
25 はんだボール
31 キャリアフィルム
32 グリーンシート
33 貫通孔
34 導電性ペースト
35 研磨ロール
40 プリント配線基板
41 樹脂製筐体
A、A1、A2 多層セラミック電子部品
R 垂直投影領域
また、図2(a)は図1の多層セラミック電子部品の要部(多層セラミック素体上への台座部の配設態様)を示す分解斜視図、(b)は台座部上に半導体素子を搭載した状態を示す斜視図である。なお、図2(a),(b)においては、多層セラミック素体、台座部、半導体素子のみを示しており、他の部品は省略している。
なお、この実施例1では、多層セラミック素体4に配設された内部面内導体3、外部導体5、ビアホール導体7などが、本願発明における第1導体パターンを構成しており、また、台座部に配設された台座部用ビアホール導体17が本願発明における第2導体パターンを構成している。
なお、台座部11に配設される台座部用ビアホール導体17は、径を30〜120μmの範囲とすることが望ましい。
さらに、台座部11と半導体素子13の隙間には、台座部11に用いられている樹脂22と同組成の樹脂22が充填されてなる樹脂層16が配設されている。
そして、台座部11に充填された樹脂22は、この樹脂導入部11Aを経て台座部11に充填されており、また、台座部11と半導体素子13の間に配設された樹脂層16も、この樹脂導入部11Aから樹脂22を充填することにより形成されている。
なお、台座部11の厚みは、焼成後において、15〜150μmの範囲になるような厚みとすることが好ましく、30〜100μmの範囲がより好ましい。
なお、第1のセラミック材料が、低温焼結セラミック原料粉末を主成分とするものである場合には、ビアホール導体7,台座用ビアホール導体17および内部面内導体3などの主構成材料を、高周波特性に優れたAg、Au、Cuからなる群より選ばれる少なくとも1種を主成分として含む金属または合金から選択することができる。この合金は、Pd、W、Niなどを含んでいてもよい。
次に、この実施例1の多層セラミック電子部品Aの製造方法について説明する。
台座部11は、図1,図2(a),(b)に示すように、その上に搭載される半導体素子(表面実装型電子部品)13の垂直投影領域Rよりも外側に位置する樹脂導入部11Aを備えている。
この実施例1では、1つの辺から半導体素子13の垂直投影領域Rよりも外側に突出するように形成された突起部を、台座部11の樹脂導入部11Aとしている。
また、台座部11の厚みは、焼成後において、15〜150μmの範囲になるようにする。
まず、図9(a)に示すように、キャリアフィルム31上に、台座部形成用のグリーンシート、例えば、第1のセラミック材料の焼成温度では焼結しない非金属無機粉末(例えば、アルミナ、ジルコニア、GaNのようなセラミック粉末)を主成分とするグリーンシート32を形成した後、図9(b)に示すように、例えば、グリーンシート32の所定の位置にレーザ加工法によりビアホール導体配設用の貫通孔33を形成する。なお、この実施例1では、台座部形成用のグリーンシートとしてアルミナを主成分とするグリーンシートを用いた。
なお、図9(c)の状態のままでは、各貫通孔33に充填された導電性ペースト34どうしが短絡するおそれがあるので、図9(d)に示すように、研磨ロール35によりグリーンシート32の表面を研削し、表面を覆う導電性ペースト34とグリーンシート32の上面側の一部を除去するとともに、上面の平坦化を行う。これにより、図9(e)に示すような、上面が平坦で、短絡のおそれのない、狭ピッチのビアホール導体(台座部用ビアホール導体17)を有する台座部(未焼成の台座部)11が形成される。
なお、未焼成の台座部11の下面(キャリアフィルム31面側)が多層セラミック素体4の第1主面14に接合するようにしてもよい。例えば、特に図示しないが、未焼成の台座部11を、キャリアフィルム31が配設されていない方の面から保持テーブル上に保持させ、キャリアフィルム31を除去した後、キャリアフィルム31が除去された面上に、未焼成の多層セラミック素体4を形成するように構成することも可能である。
また、第2のセラミック層を構成するセラミック材料とは組成の異なる種々のセラミックグリーンシートを用いることも可能である。
また、このとき、多層セラミック素体4は、多層セラミック素体4を構成する第1のセラミック材料が焼結し、かつ、多層セラミック素体4を構成する第2のセラミック材料が焼結しない温度で焼成される。これにより、第1のセラミック材料からなる第1のセラミック層1が収縮しようとする際に、第2のセラミック材料からなる収縮抑制層である第2のセラミック層2は、第1のセラミック層1の収縮を抑制するように作用する。これにより、寸法精度の高い多層セラミック基板10を作製することが可能になる。この実施例1の場合のような方法で焼成を行うことにより、多層セラミック素体4を、厚み方向には収縮する(未焼成時の厚みの45〜65%程度にまで収縮する)が、厚み方向と直交する平面方向にはほとんど収縮しないように焼成することができる。
なお、焼成雰囲気は、第1のセラミック材料の種類や導電性ペースト膜に含まれる導電性粉末の種類などに応じて、適宜調整される。本実施例においては、最高焼成温度が950〜1000℃の概略還元雰囲気にて焼成を行った。
表面実装型電子部品としては、形成される回路に応じて、種々のものを実装することができる。具体的には、トランジスタ、IC、LSIなどの能動素子や、チップコンデンサ、チップ抵抗、チップサーミスタ、チップインダクタなどの受動素子が例示される。
この実施例1では、特にIC、LSIなどの半導体素子を実装する場合を例にとって説明する。
なお、このとき、多層セラミック素体4の第1主面14の台座部11が配設されていない領域に配設された、他の表面実装型電子部品(積層セラミックコンデンサなど)23を実装するための外部導体5にもはんだペースト15aを塗布する。
樹脂22の注入は、樹脂供給ノズル24から樹脂22を、台座部11の樹脂導入部11Aに供給することにより行う。このとき、樹脂導入部11Aが、台座部11に搭載される半導体素子13の垂直投影領域Rよりも外側に位置しているので、樹脂22を上方から樹脂導入部11Aに供給するだけで、台座部11を構成するポーラスなセラミック成形体の全体に、かつ、下面側に達するまで樹脂22を浸透させるとともに、半導体素子13と台座部11との間に樹脂22を充填して、樹脂層16を形成することができる。
なお、樹脂22は、毛管現象によりポーラスな台座部11、半導体素子13と台座部11との間に選択的に浸透、浸入するため、充填後に他の領域に流れ出すことは実質的にはない。
そして、樹脂22を加熱硬化させることにより、台座部11を樹脂22により多層セラミック素体4の第1主面14に固着させる。なお、この実施例1では、樹脂として、シリカフィラー65重量%を含有し、残部をエポキシ樹脂と溶剤の混合物とするものを用いた。
なお、台座部の厚さに応じて、エポキシ樹脂と溶剤の量を変更してもかまわない。
また、台座部11は、セラミック粒子の集合体と、シリカフィラーと、これらの無機成分を互いに固着している樹脂とからなっており、台座部11と半導体素子13との間には、シリカフィラーが分散した状態の樹脂層16が形成されている。
上記実施例1のように、台座部11が樹脂導入部11Aを備えている多層セラミック電子部品について、台座部11および台座部11と半導体素子13の間に充填された樹脂22(樹脂層16)の流出の状態を調べた。
また、実施例1の多層セラミック電子部品A、および、比較例2の多層セラミック電子部品A2においては、半導体素子13の垂直投影領域R内にある台座部11は、その外周端部が、半導体素子13の外周端部から約100μm内側に位置するようにした。
また、比較例1においては、半導体素子13の側面から0.5mm離れた位置から、多層セラミック素体4と、半導体素子13の隙間に樹脂22の注入を行い、多層セラミック素体4と半導体素子13の間に樹脂層16を形成した。
また、比較例2においては、半導体素子13の側面から0.5mm離れた位置から、台座部11の側面に樹脂22を供給して、台座部11に樹脂22を充填した。
その結果、比較例1の多層セラミック電子部品A1においては約400μm、比較例2の多層セラミック電子部品A2においては、約500μmの樹脂の流出長さが確認された。また、その流出状態はばらつきが大きく、統計的な予測は可能であるが、多くの設計マージンが必要であることが確認された。
また、樹脂導入部11A自体が半導体素子13の垂直投影領域Rからはみ出しているものの、樹脂導入部11Aより外側には樹脂の流出がないため、樹脂導入部11Aの設計マージンのみを考慮すればよく、樹脂塗布範囲の予測が容易であることが確認された。
なお、本願発明においては、樹脂の種類や組成に特別の制約はなく、他の種類の樹脂やフィラーを用いることが可能であり、それらの配合割合に関しても、製造条件などを考慮して任意に決定することが可能である。
上述のようにして作製した実施例1の多層セラミック電子部品Aを、図12に示すように、厚み1.0mmのプリント配線基板40上に、はんだペーストを用いてリフロー実装した後、多層セラミック電子部品Aが下面側になるように、概略直方体の樹脂製筐体41に、プリント配線基板40上に実装された多層セラミック電子部品Aを収納することにより、多層セラミック電子部品Aが樹脂製筐体41中に収納された構造を有する試料を作製した。
また、多層セラミック基板10を構成する台座部用ビアホール導体17の直径は100μmとなるようにした。
なお、落下高さは0.50mから、0.10mずつ段階的に高くし、破断が発生した落下高さを破断発生高さとして、耐衝撃性を評価した。その結果を表1に示す。
その結果、台座部を備えた本願発明の多層セラミック電子部品Aと、比較例2の多層セラミック電子部品A2を用いた試料の場合には、落下高さが1.5mになるまで破断が発生せず、良好な耐衝撃性が確保されることが確認された。
なお、本願発明においては、台座部の樹脂導入部の形状や構成に特別の制約はなく、本願発明の作用を損なうことがない範囲において、種々の形状や配設態様を採用することが可能である。
したがって、本願発明は、多層セラミック基板に半導体素子その他の表面実装型電子部品を搭載した多層セラミック電子部品やその製造分野に広く適用することが可能である。
Claims (16)
- 多層セラミック素体の第1主面に表面実装型電子部品を搭載してなる多層セラミック電子部品の製造方法であって、
(a)未焼結セラミック基材層が積層され、所定の第1導体パターンが配設された、未焼成の多層セラミック素体と、
前記多層セラミック素体の前記第1主面の少なくとも一部領域に配設され、非金属無機粉末を主成分とし、前記表面実装型電子部品が接続される第2導体パターンを有するとともに、前記表面実装型電子部品の垂直投影領域よりも外側に位置する樹脂導入部を有する、前記表面実装型電子部品を搭載するための台座部と
を備えた台座部付きの未焼成多層セラミック素体を作製する工程と、
(b)前記台座部付きの未焼成多層セラミック素体を焼成する工程と、
(c)焼成後の台座部付きの多層セラミック素体の前記台座部に、前記第2導体パターンを介して前記表面実装型電子部品を搭載する工程と、
(d)前記非金属無機粉末を主成分とする前記台座部、ならびに、前記台座部と前記表面実装型電子部品との間に、前記樹脂導入部から樹脂を充填し、硬化させる工程と
を具備することを特徴とする、多層セラミック電子部品の製造方法。 - 前記非金属粉末を主成分とする前記台座部が、ポーラスなセラミック成形体により形成されることを特徴とする、請求項1記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記未焼結セラミック基材層と、前記未焼結セラミック基材層の平面方向の収縮を抑制するための収縮抑制層とを積層することにより、前記未焼成の多層セラミック素体を形成することを特徴とする、請求項1または2記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記台座部が、前記第2導体パターンとして、一方側端面が前記台座部の表面に露出するビアホール導体を備えており、前記表面実装型電子部品が、前記表面に露出した前記ビアホール導体の一方側端面に、導電性接合材を介して搭載されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記台座部の前記第2導体パターンが、前記台座部上に搭載された前記表面実装型電子部品と、前記多層セラミック素体の前記第1導体パターンとを接続するものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記表面実装型電子部品が半導体素子であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記台座部に複数の前記表面実装型電子部品を搭載する場合において、前記台座部に、前記各表面実装型電子部品に共通の樹脂導入部を設け、前記共通の樹脂導入部から樹脂を充填することにより、前記台座部、ならびに、前記台座部と複数の前記表面実装型電子部品との間に樹脂を充填することを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記多層セラミック素体の前記第1主面の、前記台座部が設けられていない領域にも、前記台座部に搭載される前記表面実装型電子部品以外の表面実装型電子部品を搭載することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記未焼成の多層セラミック素体として、前記第1主面側に前記収縮抑制層が配設された構造を有する未焼成の多層セラミック素体を形成することを特徴とする、請求項3〜8のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記台座部のうち、前記樹脂導入部を除く領域が、前記台座部に搭載される前記表面実装型電子部品の垂直投影領域よりも内側に位置することを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記台座部の厚みが15〜150μmであることを特徴とする、請求項1〜10のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記未焼結セラミック基材層が、低温焼結セラミックを主成分とする未焼結セラミック基材層であり、前記収縮抑制層が、前記低温焼結セラミックの焼結温度では実質的に焼結しない難焼結性セラミックを主成分とする収縮抑制層であることを特徴とする、請求項3〜11のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記台座部を構成する前記非金属無機粉末が、前記未焼結セラミック基材層を構成するセラミックの焼結温度では実質的に焼結しないセラミック粉末であることを特徴とする、請求項1〜12のいずれかに記載の多層セラミック電子部品の製造方法。
- 多層セラミック素体の第1主面に表面実装型電子部品を搭載してなる多層セラミック電子部品であって、
セラミック基材層が積層され、かつ、所定の第1導体パターンを有する多層セラミック素体と、
前記多層セラミック素体の前記第1主面の一部領域に配設され、非金属無機粉末を主成分とし、前記表面実装型電子部品が接続される第2導体パターンを有するとともに、前記表面実装型電子部品の垂直投影領域よりも外側に位置する樹脂導入部を有する、前記表面実装型電子部品を搭載するための台座部と、
前記台座部に前記第2導体パターンを介して搭載された前記表面実装型電子部品と
を具備し、
少なくとも前記非金属無機粉末を主成分とする前記台座部には樹脂が充填されていることを特徴とする、多層セラミック電子部品。 - 前記非金属無機粉末を主成分とする前記台座部、ならびに、前記台座部と前記表面実装型電子部品との間には、前記樹脂導入部を経て充填された、同一組成の樹脂が充填されていることを特徴とする、請求項14記載の多層セラミック電子部品。
- 前記表面実装型電子部品が、前記台座部の前記第2導体パターンを介して前記多層セラミック素体の前記第1導体パターンに電気的に接続されていることを特徴とする、請求項14または15に記載の多層セラミック電子部品。
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JP5400116B2 (ja) * | 2011-09-15 | 2014-01-29 | 力成科技股▲分▼有限公司 | フリップチップキャリア、及びこれを用いた半導体実装方法 |
KR101749386B1 (ko) * | 2011-12-08 | 2017-06-20 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 대용량 모듈용 기판 및 그 기판의 제조방법 |
WO2013130918A1 (en) | 2012-02-29 | 2013-09-06 | Harris, Jonathan, H. | Transient liquid phase, pressureless joining of aluminum nitride components |
US9226396B2 (en) * | 2013-03-12 | 2015-12-29 | Invensas Corporation | Porous alumina templates for electronic packages |
JP6162458B2 (ja) * | 2013-04-05 | 2017-07-12 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板、半導体装置及び配線基板の製造方法 |
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US9748227B2 (en) * | 2015-07-15 | 2017-08-29 | Apple Inc. | Dual-sided silicon integrated passive devices |
CN108369832B (zh) * | 2015-07-15 | 2020-02-21 | 印刷电路板公司 | 制造印刷电路板的方法 |
CN105244324B (zh) * | 2015-11-10 | 2017-09-29 | 河北中瓷电子科技有限公司 | 电子封装用陶瓷绝缘子及其制作方法 |
US10283496B2 (en) * | 2016-06-30 | 2019-05-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Integrated circuit filler and method thereof |
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Family Cites Families (44)
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---|---|---|---|---|
JPS61287190A (ja) * | 1985-06-13 | 1986-12-17 | イビデン株式会社 | 電子回路用基板 |
JPS62136865A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-19 | Hitachi Ltd | モジユ−ル実装構造 |
US4943468A (en) * | 1988-10-31 | 1990-07-24 | Texas Instruments Incorporated | Ceramic based substrate for electronic circuit system modules |
JP2787953B2 (ja) * | 1989-08-03 | 1998-08-20 | イビデン株式会社 | 電子回路基板 |
JP2803755B2 (ja) * | 1989-09-22 | 1998-09-24 | イビデン株式会社 | 多層電子回路基板 |
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US5483421A (en) * | 1992-03-09 | 1996-01-09 | International Business Machines Corporation | IC chip attachment |
JP2962385B2 (ja) | 1993-01-07 | 1999-10-12 | 松下電子工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5574630A (en) * | 1995-05-11 | 1996-11-12 | International Business Machines Corporation | Laminated electronic package including a power/ground assembly |
US6002177A (en) * | 1995-12-27 | 1999-12-14 | International Business Machines Corporation | High density integrated circuit packaging with chip stacking and via interconnections |
US5952709A (en) * | 1995-12-28 | 1999-09-14 | Kyocera Corporation | High-frequency semiconductor device and mounted structure thereof |
JP3116273B2 (ja) * | 1996-04-26 | 2000-12-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 中継基板、その製造方法、基板と中継基板と取付基板とからなる構造体、基板と中継基板の接続体 |
JP2891184B2 (ja) * | 1996-06-13 | 1999-05-17 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH10163386A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Toshiba Corp | 半導体装置、半導体パッケージおよび実装回路装置 |
JP2924957B2 (ja) | 1996-12-27 | 1999-07-26 | 日本電気株式会社 | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH1126631A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JPH11145195A (ja) | 1997-11-04 | 1999-05-28 | Kyocera Corp | 半導体素子の実装構造 |
US6201307B1 (en) * | 1998-06-23 | 2001-03-13 | Kyocera Corporation | Ceramics for wiring boards and method of producing the same |
US6317331B1 (en) * | 1998-08-19 | 2001-11-13 | Kulicke & Soffa Holdings, Inc. | Wiring substrate with thermal insert |
US6232251B1 (en) * | 1998-09-29 | 2001-05-15 | Kyocera Corporation | Dielectric ceramics |
JP3656484B2 (ja) * | 1999-03-03 | 2005-06-08 | 株式会社村田製作所 | セラミック多層基板の製造方法 |
JP2001007473A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-01-12 | Nec Corp | 集積回路素子の実装構造および方法 |
US6413620B1 (en) * | 1999-06-30 | 2002-07-02 | Kyocera Corporation | Ceramic wiring substrate and method of producing the same |
US6351393B1 (en) * | 1999-07-02 | 2002-02-26 | International Business Machines Corporation | Electronic package for electronic components and method of making same |
US6373717B1 (en) * | 1999-07-02 | 2002-04-16 | International Business Machines Corporation | Electronic package with high density interconnect layer |
US6528145B1 (en) * | 2000-06-29 | 2003-03-04 | International Business Machines Corporation | Polymer and ceramic composite electronic substrates |
US6734540B2 (en) * | 2000-10-11 | 2004-05-11 | Altera Corporation | Semiconductor package with stress inhibiting intermediate mounting substrate |
US20020086142A1 (en) * | 2001-01-03 | 2002-07-04 | Paul Ewings | Glass particles as detackifying agent in adhesive/sealant material and process for packaging the same |
US6486415B2 (en) * | 2001-01-16 | 2002-11-26 | International Business Machines Corporation | Compliant layer for encapsulated columns |
JP4029163B2 (ja) * | 2002-07-18 | 2008-01-09 | 株式会社村田製作所 | 積層型セラミック電子部品およびその製造方法 |
US6953756B2 (en) * | 2002-10-25 | 2005-10-11 | Kyocera Corporation | Glass ceramic sintered body and wiring board using the sintered body |
JP2004327951A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-11-18 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004356618A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-12-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 中継基板、半導体素子付き中継基板、中継基板付き基板、半導体素子と中継基板と基板とからなる構造体、中継基板の製造方法 |
US7317165B2 (en) * | 2003-06-24 | 2008-01-08 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Intermediate substrate, intermediate substrate with semiconductor element, substrate with intermediate substrate, and structure having semiconductor element, intermediate substrate and substrate |
JP2005039239A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-02-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 半導体素子付き中継基板、中継基板付き基板、半導体素子と中継基板と基板とからなる構造体 |
US7226654B2 (en) * | 2003-07-29 | 2007-06-05 | Kyocera Corporation | Laminated wiring board and its mounting structure |
JP4383113B2 (ja) * | 2003-07-29 | 2009-12-16 | 京セラ株式会社 | 積層型配線基板の製造方法 |
KR20060111449A (ko) * | 2003-09-24 | 2006-10-27 | 이비덴 가부시키가이샤 | 인터포저, 다층프린트배선판 |
US7094975B2 (en) * | 2003-11-20 | 2006-08-22 | Delphi Technologies, Inc. | Circuit board with localized stiffener for enhanced circuit component reliability |
US7258549B2 (en) * | 2004-02-20 | 2007-08-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Connection member and mount assembly and production method of the same |
KR101048638B1 (ko) * | 2004-02-24 | 2011-07-12 | 이비덴 가부시키가이샤 | 반도체 탑재용 기판 |
US20050218528A1 (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-06 | Beatty John J | Capillary underfill channel |
US20060046321A1 (en) * | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Underfill injection mold |
CN101371352B (zh) * | 2006-02-14 | 2010-11-10 | 株式会社村田制作所 | 多层陶瓷电子部件和多层陶瓷基片以及多层陶瓷电子部件的制造方法 |
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