JPWO2007060807A1 - ダイヤモンド電極、その製造方法、および電解槽 - Google Patents
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Abstract
Description
大きさが50mm角、厚み3mmの導電性シリコン基板(P型シリコン単結晶基板)に、フッ硝酸溶液を用いて、片面から複数個の孔を開ける加工を施し、千鳥の配置となるように穿孔した孔あき基板を作製した(加工面側での開口径2mmの孔を3mmピッチで千鳥の配置に形成)。なお、この加工の際、孔が形成される部分(開口部)以外は、半導体製造プロセスで一般的に用いられているレジスト処理により樹脂マスクした。また、フッ硝酸処理を施す加工面側をA面、加工により孔が基板内部から外面へ抜けた面側をB面とした。
実験例1で作製した各試料No.1〜10を、陽極および陰極として用いて図5に示した電解槽を作製した。各電解槽を用いて純水を電解し、オゾンの発生実験を行った。イオン交換膜としては、スルフォン酸系イオン交換膜を使用し、電流密度は1A/cm2の条件で行った。集電体としては、多孔質のグラファイト板を用いた。オゾン発生効率はKI法で測定した。結果を表2に示す。
熱フィラメントCVD法を用いた導電性ダイヤモンドの被覆を、該基板のB面側だけでなくA面側からも行い、A面側およびB面側の基板面ならびに孔の内壁面の全表面を導電性ダイヤモンドで被覆したこと以外は、実験例1と同様にして、種々の孔の径、テーパ角度、アスペクト比、開口率を有するダイヤモンド電極を作製した(試料No.11〜22)。それぞれの、孔の径(A面側)、テーパ角度、アスペクト比、開口率を表3に示す。また、それぞれの試料の内壁の導電性ダイヤモンドの平均厚みを、SEMで断面を観察することにより測定した。その結果も表3に示す。
実験例3で作製した試料No.11〜18を陽極および陰極として用いて、図5に示す電解槽を作製した。各電解槽を用いて純水を電解し、オゾンの発生実験を行った。陽イオン交換膜、非金属集電体、電流密度、オゾン発生効率の測定方法については、実験例2の場合と同様である。
大きさが50mm角、厚み3mmの導電性シリコン基板(P型シリコン単結晶基板)に、フッ硝酸溶液を用いて、片面から複数個の孔を開ける加工を施し、千鳥の配置となるように穿孔した孔あき基板を作製した(加工面側での開口径2mmの孔を3mmピッチで千鳥の配置に形成)。なお、この加工の際、孔が形成される部分(開口部)以外は、半導体製造プロセスで一般的に用いられているレジスト処理により樹脂マスクした。
Claims (11)
- 複数の孔(4)を有する導電性シリコン基板(2)と、当該導電性シリコン基板(2)を被覆する導電性ダイヤモンド(3,12)とを備えるダイヤモンド電極(1,11)。
- 前記導電性ダイヤモンド(3)が、前記導電性シリコン基板(2)の表面の90%以上を被覆することを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド電極(1)。
- 前記導電性ダイヤモンド(12)が、前記導電性シリコン基板(2)の一表面のみを被覆することを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド電極(11)。
- 前記複数の孔(4)は、その内壁面が前記導電性シリコン基板(2)の基板面に対して60°〜85°の角度を成していることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド電極(1,11)。
- 前記複数の孔(4)が、テーパ状の内壁を有し、一方の基板面側での孔の開口面積が、他方の基板面側での孔の開口面積より小さいことを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド電極(1,11)。
- 前記複数の孔(4)の開口率が、それぞれの基板面側において、3〜80%であることを特徴とする請求項5に記載のダイヤモンド電極(1,11)。
- 各基板面側における前記複数の孔(4)の開口の60%以上が、互いに10%以下の差異の開口面積を有することを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド電極(1,11)。
- 前記複数の孔(4)のアスペクト比が0.2〜3であることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド電極(1,11)。
- 請求項1に記載のダイヤモンド電極(1,11)の製造方法であって、
前記導電性シリコン基板(2)を、化学気相合成法によって導電性ダイヤモンド(3,12)で被覆する工程を含む、ダイヤモンド電極(1)の製造方法。 - 陽イオン交換膜(32)と、
前記陽イオン交換膜(32)の両面にそれぞれ密着して設けられた陽極(33)および陰極(34)と、
前記陽極(33)および陰極(34)に給電可能に接触して設けられた集電体(35,36)とを備え、
少なくとも前記陽極(33)が、請求項1に記載のダイヤモンド電極(1,11)であり、かつ、前記集電体(35,36)は、電解液が透過可能な導電性の非金属からなることを特徴とする電解槽(31)。 - 槽内を2つの室に分離する隔膜と、当該隔膜により分離された一方の室に設けられた陽極および他方の室に設けられた陰極とを備え、
前記陽極が請求項1に記載のダイヤモンド電極であることを特徴とする電解槽。
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