JP2008063607A - ダイヤモンド被覆基板、電気化学的処理用電極、電気化学的処理方法及びダイヤモンド被覆基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板および該基板に被覆した導電性ダイヤモンド層からなり、該ダイヤモンド層を構成するダイヤモンド膜の連続している部分の最大面積が1μm2以上100mm2以下であるダイヤモンド被覆基板である。特にダイヤモンド層厚は3〜100μmが好ましく、基板表面の粗さはRa0.1μm以上であることが好ましい。特に前記導電性ダイヤモンド層によって被覆される基板の材質は、Nb、Ta、Zr、Wのいずれかであることが好ましい。
【選択図】図1
Description
近年、産業面において物質の廃棄、排水、リサイクル技術が急速に発展してきている。廃液中の望ましくない有機化合物を低減するために、電極を用いて電気化学的酸化処理(以下、電解とも記す)を行う技法がある。従来、使用されている電極としては、白金、二酸化鉛及び二酸化スズなどが挙げられる。しかし、これらは電気化学的酸化処理において厳しい化学的環境下におかれるため腐食し易いことが知られている。また、陽極として使用された場合には、作用面上へ吸着物が付着し、電解効率が著しく低下するという欠点がある。
実際には、有機媒体中でダイヤモンド電極を電流密度が高い条件で使用する場合に、発生するガスや電解液により、膜と基板との界面で剥離が発生することが多い。剥離してしまうと下地基板が露出してしまい、溶液により腐食が進行してしまう。または、電解効率が著しく悪くなるという問題が起こる。
即ち、本発明は以下の構成を採用する。
(2)前記導電性ダイヤモンド層によって被覆される基板の材質が、Nb、Ta、Zr、Wのいずれかであることを特徴とする上記(1)に記載のダイヤモンド被覆基板である。(3)前記導電性ダイヤモンドの連続している部分における最大面積が100μm2以上100mm2以下であることを特徴とする上記(1)又は(2)に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(4)前記導電性ダイヤモンドの連続している部分における最大面積が0.1mm2以上100mm2以下であることを特徴とする上記(1)又は(2)に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(6)前記導電性ダイヤモンド層の厚みが15μm〜100μmであることを特徴とする上記(1)〜(4)のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(7)前記導電性ダイヤモンド層の被覆される側の基板表面の面積が、10cm2以上10000cm2以下であることを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(8)前記導電性ダイヤモンド層が千鳥格子の島状に配列形成されて形成されていることを特徴とする上記(1)〜(7)のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(10)前記物理的な粗面化が、サンドブラスト、フライス加工、研削加工、ラッピング加工の中から少なくとも1つ以上の方法によって処理されたものであることを特徴とする上記(9)に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(11)前記化学的な粗面化が、ウェットエッチング、電解エッチング、プラズマエッチングの中から少なくとも1つ以上の方法によって処理されたものであることを特徴とする上記(9)に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(13)前記ダイヤモンド被覆基板に導電性ダイヤモンド層が被覆されていない領域における基板表面の抵抗率が、104Ω・cm以上であることを特徴とする前記(1)〜(12)のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(14)前記ダイヤモンド被覆基板上に導電性ダイヤモンド層が被覆されていない領域における基板表面が、該基板材料の酸化物を含むものであることを特徴とする上記(1)〜(13)のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(15)前記基板表面の抵抗率が104Ω・cm以上である部分及び\又は前記基板表面における酸化物を含む部分が、予め大気中または酸素を含む雰囲気中で熱処理を行うことによって高抵抗化及び\又は基板表面における酸化物を含むものとなったことを特徴とする上記(13)又は(14)に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(16)前記熱処理が、大気中で500℃〜650℃で10分以上2時間以下行うことを特徴とする上記(15)に記載のダイヤモンド被覆基板である。
(18)上記(17)に記載の電極を用いた電気化学的処理装置である。
(19)上記(17)に記載の電極又は上記(18)に記載の電気化学的処理装置を用いることを特徴とする電気化学的処理方法である。
(20)少なくとも、基板に導電性ダイヤモンド層を不連続に被覆する工程と、大気中又は酸素を含む雰囲気中で熱処理を行うことによって該導電性ダイヤモンド層の被覆されていない部分の基板表面を高抵抗化及び\又は酸化物を含むものとする工程とを有することにより、上記(1)〜(16)のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板の製造方法である。
(21)前記熱処理が、大気中で500℃〜650℃で10分以上2時間以下行われることを特徴とする上記(20)に記載のダイヤモンド被覆基板の製造方法である。
有機物を含んだ溶液の電気化学的酸化処理を行う際に、導電性ダイヤモンドを被覆した基板と導電性ダイヤモンド層との界面で剥離を起すことがある。電気化学的酸化処理において発生する水素、酸素、塩素ガス等による導電性ダイヤモンド層への負荷が発生していると思われる。
ここで言う連続膜とは、導電性ダイヤモンド層自体が電気的に繋がっている部分を指している。
図1は本発明によって得られたダイヤモンド被覆基板の概略図である。基板上にダイヤモンドが選択的に形成されており、ダイヤモンドが形成されていない領域は高抵抗となっている。ダイヤモンドを選択的に形成する方法は、後述のようにマスクを用いた成膜によって得られ、高抵抗部の形成方法は後述のように熱処理を行うことによって得ることができる。
硼素を添加することによって十分に抵抗の低いダイヤモンド膜を容易に得ることができる。硼素を添加する方法としては、特に限定されないが、成膜雰囲気中の基板近傍に硼酸を置く方法、ジボラン、トリメチルボロンを導入する方法、アセトンとメタノールの混合液に酸化硼素(B2O3)を溶解したものとH2ガスをキャリアガスとして導入する方法、硼酸トリメチル液にArガスをキャリアガスとして導入する方法、などがあるがどの方法を採っても良い。
ダイヤモンドを選択的に形成する方法としては、特に限定されないが、ダイヤモンド成膜時に基板上にマスクを置き、マスクの開口部のみにダイヤモンドが形成される、という方法でもよい。マスクの材料としては、特に限定されないが、W,Mo,Nb等の金属、Si、あるいは各種セラミック材料であっても良い。
他にも選択的に種付け処理を行う方法、選択的に粗面化を行う方法、選択的にプラズマエッチングを行う方法などによって選択的にダイヤモンドを形成する方法があるが、いずれの方法を採っても良い。
しかし、ダイヤモンド膜の連続している部分の最大面積が100μm2未満であると、結晶の大きさが小さくなる、若しくは膜厚が薄くなる。前者の場合は、ダイヤモンドの結晶性が悪くなり、後者の場合は膜の抵抗が高くなり電解効率が悪くなる。また、特に腐食性の強い溶液の電解用途などの電極として用いる場合は、連続している部分の面積が100μm2以上であることが好ましい。この場合は100μm2未満であるとダイヤモンド膜と基板の界面から腐食液のエッチング作用により、ダイヤモンドの基板からの剥離が発生する。
硼素の含有率は1〜100000ppmの間で制御可能であり、望ましい抵抗値を得ることができる。1ppm未満ではダイヤモンド層の抵抗率が高く、電気化学的酸化処理を行う際の電解効率が悪くなる。100000ppmを超えると、ダイヤモンドの品質が悪くなり、基板と導電性ダイヤモンド層との間で剥離を起しやすくなる。
0.1μmよりも小さいとダイヤモンド膜と基板との十分な密着性が得られない。また、Raが100μmより大きいと出っ張った部分近傍の窪んだ部分へのダイヤモンド膜の形
成がされにくくなり、結果的に被覆されないところが増えてしまう。
基板表面を粗面化させる方法としては、特に限定されないが、研磨布で擦る方法、固定砥粒の砥石や有利砥粒を用いたラッピングによる方法、研削加工による方法、フライス加工等によって表面上に凹凸を付ける方法、サンドブラスト又はサンドブラストとマスクを用いたパターンブラストによる方法、などの機械的、物理的な方法と、腐食性溶液を用いたウェットエッチングによる方法、電解エッチングによる方法、プラズマによるドライエッチングによる方法など化学的な方法、さらにはこれら化学的な手法を用い、マスクを用いてパターンエッチングによって周期的な凹凸をつけても良い。これらのうちのいずれかの方法を用いても良いし、これらの中から1種類以上のものを組み合わせて用いても良い。
ていない領域の基板表面の電気抵抗(抵抗率)が104Ω・cm以上であることが好ましい。電気抵抗が104Ω・cmより小さいとダイヤモンド層以外の部分でも電流が流れてしまい、ダイヤモンド電極としての性能が発揮できない。
このダイヤモンド層以外部分は、基板材料を酸化することによって高抵抗化させることができる。この結果、電解時に陽極として本発明の電極を用いる場合、ダイヤモンドが被覆されていない高抵抗部分は、不動態として振る舞い、溶液によって消耗することがない。
大気中の熱処理による方法としては、大気雰囲気の炉に本発明の基板を入れ、500℃〜650℃にて10分以上2時間以下の熱処理を行うことによって得ることができる。
図4に示すように本発明に係る電気化学的処理装置は、プレス板による装置外板8の内面に接合した絶縁板7上に給電板6を形成し、かかる給電板6上に電極5が形成されている。かかる電極5は、基板1上に導電性ダイヤモンド層2と熱処理により高抵抗化された高抵抗部分3が設けられ、前記導電性ダイヤモンド層2が形成されている側の表面と給電板6と接する側の表面とが電気的に導通している。本発明に係るダイヤモンド被覆基板を両極に用いても良いし、片側(陰極)をステンレス基板としてもよい。
本発明に係る電気化学的処理装置は、さらにガスケット9を介してスペーサー兼通水路10及び隔膜11が設けられていて、流水が図中下部から上部に向かって流れるように設置される。また、隔膜はフッ素系高分子膜等のイオン交換膜よりなるため選択透過性を有し、更にイオン交換膜内に固定されているイオンの放出効果により電解に伴うpH変化を
抑制し電流効率の低下を抑えることができる。
直径100mmφ、厚さ1mmの円形のNb板を基板として用い、導電性ダイヤモンド層を成膜した。前処理としてNb基板表面に対して、サンドブラスト、研削、マイクロフライス、ラッピング、ウェットエッチング、プラズマエッチング、電解エッチングのいずれかの方法であらかじめ粗面化させた後、ダイヤモンド粉末を用いてスクラッチ処理を行い、さらにダイヤモンド粉末を分散させた溶液中での超音波処理を施し、種付け処理を行った。
ダイヤモンドを基板上に選択的に形成させるために、Nb基板上にMoのマスクを置いて、成膜を行った。マスクパターンとしては、1個の開口部が3mmφで、各開口部の中心の距離が5mmとし、これが千鳥格子の島状に配置されたものを用いた。
また、マスクを用いずに基板全面にダイヤモンドを形成し、マスクを用いた場合との基板の反り、基板とダイヤモンド膜との密着性、電解時の耐剥離性を比較した。
表1に示すように、ダイヤモンド膜厚、連続部分の面積などを変えてダイヤモンド被覆基板を作製した。それぞれの成膜直後のダイヤモンド膜の剥離の様子、反りを測定した。その後、熱処理を行った。熱処理としては、大気雰囲気の管状炉を用い、450〜650℃にて、15分から150分の処理を行った。
電解試験では電流密度を1.0A/cm2とした。電気化学的酸化処理は1mol/リットルの硫酸水溶液を満たした容器の中に、ダイヤモンド電極を陽極、陰極の両方に使用した。電極同士は10mm離して固定し、給電を行った。電解試験時間は試験1は2時間、試験2は20時間行った。
試料3,4では、ダイヤモンド膜厚が13.1μmの試料3では、電解試験2において一部剥離が発生しているが、15.8μmの試料4では剥離は発生していない。
試料4〜11では、いずれもダイヤモンド膜厚は15μmより大きく100μmよりも小さい。この範囲内のものは、いずれも電解試験1では剥離はみられない。電解試験2においては、ものによっては部分的な剥離が発生しているが、ブラスト処理のものでは剥離は発生していない。
試料14〜17では、ダイヤモンド層が基板を全面に被覆しており、完全な連続膜となっている。これらの試料において膜厚が比較的薄い試料14,15では、成膜後には剥離が見られないが、電解試験1において全面に剥離が発生した。膜厚が13.1μmの試料16では、成膜後には基板の一部において剥離が発生したが、電解試験2によって全面に剥離が発生した。
試料17では、膜厚が16.9μmであるが、成膜後の状態でほぼ全面に渡って剥離が発生し、その後の工程に進めることができなかった。
試料20〜23では、選択部分面積が0.51から95mm2までのものであるが、いずれのものも、電解試験1,2の両方において剥離は発生していない。
試料25では、ダイヤモンド層が被覆されていない領域における基板表面を高抵抗化させるための熱処理として、処理温度を650℃で行っているが、ダイヤモンド膜そのものが大気中の酸素によってエッチングされ、大部分が剥離してしまった。
試料26では、同様の処理において、600℃にて処理時間を150分としたが、この時は、ダイヤモンド成膜部以外の高抵抗化した部分、すなわちNbが酸化されている部分が、ダイヤモンド成膜部下にまで横に広がり、ダイヤモンドとNb基板界面までもが酸化されてしまうことによって、ダイヤモンド膜が剥離してしまっている部分が多く見られた。
試料27では、500℃で120分の処理を行っているが、前述のような熱処理に伴う剥離はなく、また、電解時にダイヤモンド成膜部以外の領域での泡が発生は認められず、電解後、ダイヤモンド成膜部以外の抵抗率は少なくとも1×104Ω・cm以上であることが確認され、不動態となっていることが確認できた。また、マスクを使用して選択的にダイヤモンド膜を成膜した試料で、電解試験にて剥離が発生せず、熱処理を行った他の試料についても、試料27と同様に抵抗率を測定し、好ましいものであることを確認した。
解後、この部分は高抵抗化しておらず、不動態となっていないことが確認された。
試料30〜33は、Nbの平板ではない基板を用いたものである。試料30、試料31は、Nbのメッシュ状体基板、試料32はNbの多孔体基板、試料33はNbの不織布基板である。
試料30と試料31では、試料30は、ダイヤモンド膜をマスクを使用してセグメント状に成膜し、前述のように不成膜部は、熱処理によって高抵抗化させている。
2 導電性ダイヤモンド層
3 高抵抗部
5 電極
6 給電板
7 絶縁板
8 装置外板
9 ガスケット
10 スペーサー兼通水路
11 隔膜
Claims (21)
- 基板および該基板に被覆した導電性ダイヤモンド層からなり、該導電性ダイヤモンド層を構成する導電性ダイヤモンドの連続している部分における最大面積が1μm2以上100mm2以下であり、かつ該基板の表面の粗さが、Ra0.1μm以上Ra100μm以下であることを特徴とするダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンド層によって被覆される基板の材質が、Nb、Ta、Zr、Wのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンドの連続している部分における最大面積が100μm2以上100mm2以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンドの連続している部分における最大面積が0.1mm2以上100mm2以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンド層の厚みが3μm〜100μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンド層の厚みが15μm〜100μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンド層の被覆される側の基板表面の面積が、10cm2以上10000cm2以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンド層が千鳥格子の島状に配列されて形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記基板の表面が、物理的または化学的な処理を行うことで粗面化されたものであることを特徴とする請求項8に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記物理的な粗面化が、サンドブラスト、フライス加工、研削加工、ラッピング加工の中から少なくとも1つ以上の方法によって処理されたものであることを特徴とする請求項9に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記化学的な粗面化が、ウェットエッチング、電解エッチング、プラズマエッチングの中から少なくとも1つ以上の方法によって処理されたものであることを特徴とする請求項9に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記導電性ダイヤモンド層によって被覆される基板が、メッシュ状に配列された貫通孔を有するメッシュ状体、多孔体、不織布のいずれかの構造であることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記ダイヤモンド被覆基板上に導電性ダイヤモンド層が被覆されていない領域における基板表面の抵抗率が、104Ω・cm以上であることを特徴とする請求項1〜12のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記ダイヤモンド被覆基板上に導電性ダイヤモンド層が被覆されていない領域における基板表面が、該基板材料の酸化物を含むものであることを特徴とする請求項1〜13のいず
れか一に記載のダイヤモンド被覆基板。 - 前記基板表面における抵抗率が104Ω・cm以上である部分及び\又は前記基板表面における酸化物を含む部分が、予め大気中または酸素を含む雰囲気中で熱処理を行うことによって高抵抗化及び\又は基板表面における酸化物を含むものとなったことを特徴とする請求項13又は14に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 前記熱処理が、大気中で500℃〜650℃で10分以上2時間以下行われたことを特徴とする請求項15に記載のダイヤモンド被覆基板。
- 請求項1〜16のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板を用いた電気化学的処理用電極。
- 請求項17に記載の電極を用いた電気化学的処理装置。
- 請求項17に記載の電極又は18に記載の電気化学的処理装置を用いることを特徴とする電気化学的処理方法。
- 少なくとも、基板に導電性ダイヤモンド層を不連続に被覆する工程と、大気中又は酸素を含む雰囲気中で熱処理を行うことによって該導電性ダイヤモンド層の被覆されていない部分の基板表面を高抵抗化及び\又は酸化物を含むものとする工程とを有することにより、請求項1〜16のいずれか一に記載のダイヤモンド被覆基板の製造方法。
- 前記熱処理が、大気中で500℃〜650℃で10分以上2時間以下行われることを特徴とする請求項20に記載のダイヤモンド被覆基板の製造方法。
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