JP2006010357A - マイクロダイヤモンド電極製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
シリコン等の基板411上にダイヤモンド薄膜42を成膜する成膜工程と、前記ダイヤモンド薄膜42をエッチングすることで所定の箇所を除去しマイクロ電極42pを設けるエッチング工程とを備えるようにする。
【選択図】図5
Description
A:電極面積、F:ファラデー定数
以下に各部を詳細に説明する。
411…基板
42p…マイクロ電極
7…レジスト
Sa2,Sb2…成膜工程
Sa3,Sb3…平坦化工程
Sa4〜Sa9,Sb4〜Sb6…エッチング工程
Sa10,Sb8…絶縁工程
Claims (11)
- 基板上にダイヤモンド薄膜を成膜する成膜工程と、
前記ダイヤモンド薄膜をエッチングすることで所定の箇所を除去しマイクロ電極を設けるエッチング工程とを備えたことを特徴とするマイクロダイヤモンド電極製造方法。 - 前記ダイヤモンド薄膜を、スパッタリングすることにより、平坦化する平坦化工程を備え、前記平坦化工程の後に前記エッチング工程を行うようにしたことを特徴とする請求項1記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記平坦化工程において用いるスパッタリングが、アルゴンによるものであることを特徴とする請求項2記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程が、前記ダイヤモンド薄膜の表面にレジストを施した後、スパッタエッチングすることを特徴とする請求項1、2又は3記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程が、前記ダイヤモンド薄膜の表面にレジストを施した後、プラズマエッチングすることを特徴とする請求項2又は3記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程が、前記ダイヤモンド薄膜の表面にレジストを施した後、反応性イオンエッチングをすることを特徴とする請求項1、2又は3記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程において用いるスパッタエッチングが、アルゴンによるものであることを特徴とする請求項4記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程において用いるプラズマエッチングおよび反応性イオンエッチングが、酸素プラズマによるものであることを特徴とする請求項5又は6記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程において用いるレジストが、アルミ薄膜であることを特徴とする請求項5、6又は8記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程に置いて前記マイクロ電極を複数設けてアレイ電極とすることを特徴とする請求項1乃至9いずれか記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
- 前記エッチング工程より得られるマイクロ電極の周囲の凹部に絶縁膜を形成する絶縁工程を備えるようにしたことを特徴とする請求項1乃至10いずれか記載のマイクロダイヤモンド電極製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004184243A JP4547548B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | マイクロダイヤモンド電極製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004184243A JP4547548B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | マイクロダイヤモンド電極製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006010357A true JP2006010357A (ja) | 2006-01-12 |
JP4547548B2 JP4547548B2 (ja) | 2010-09-22 |
Family
ID=35777794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004184243A Expired - Fee Related JP4547548B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | マイクロダイヤモンド電極製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4547548B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007114252A1 (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Horiba, Ltd. | 蛋白質の測定方法 |
JP2008063607A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ダイヤモンド被覆基板、電気化学的処理用電極、電気化学的処理方法及びダイヤモンド被覆基板の製造方法 |
JP2009128041A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ダイヤモンド微小電極およびその製造方法 |
JP2011174822A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Keio Gijuku | ホウ素ドープダイヤモンド電極を用いたpHの測定方法及び装置 |
JP2012513675A (ja) * | 2008-12-22 | 2012-06-14 | レイセオン カンパニー | ダイアモンド層を有する窒化ガリウム・デバイスの製造 |
CN103221811A (zh) * | 2010-04-16 | 2013-07-24 | 第六元素有限公司 | 金刚石微电极 |
KR20180011241A (ko) * | 2015-05-26 | 2018-01-31 | 콘디아스 게엠베하 | 다이아몬드 전극 및 다이아몬드 전극의 제조 방법 |
WO2018108883A1 (en) | 2016-12-12 | 2018-06-21 | Mead Johnson Nutrition Company | Protein hydrolysates and methods of making same |
WO2019135084A1 (en) | 2018-01-05 | 2019-07-11 | Mead Johnson Nutrition Company | Nutritional compositions containing milk-derived peptides and uses thereof |
JPWO2018230660A1 (ja) * | 2017-06-16 | 2020-03-26 | 学校法人慶應義塾 | 残留塩素測定方法及び残留塩素測定装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08240555A (ja) * | 1995-03-01 | 1996-09-17 | Kobe Steel Ltd | ダイヤモンド薄膜バイオセンサ |
JPH09265892A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子放出素子及びその製造方法 |
JPH1183799A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-03-26 | Imura Japan Kk | ダイヤモンド電極を用いた複数被測定物質の濃度測定方法および濃度センサ |
JP2001509839A (ja) * | 1994-06-28 | 2001-07-24 | アメリカ合衆国 | ダイヤモンド表面の研磨 |
JP2001272372A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Japan Science & Technology Corp | 電界効果トランジスタ |
JP2001348296A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-12-18 | Kobe Steel Ltd | 針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス |
JP2001349867A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Nippon Soken Inc | 酸性、塩基性度検出用センサ |
JP2002226290A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-08-14 | Japan Fine Ceramics Center | ダイヤモンド加工体の製造方法、及び、ダイヤモンド加工体 |
JP2003077884A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Shibaura Mechatronics Corp | ケミカルドライエッチング方法 |
JP2004101437A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Japan Science & Technology Corp | 導電性ダイヤモンド電極を用いた被検物質濃度の測定方法およびそのための装置 |
WO2005116306A1 (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Toppan Printing Co., Ltd. | ナノクリスタルダイヤモンド膜、その製造方法、及びナノクリスタルダイヤモンド膜を用いた装置 |
-
2004
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001509839A (ja) * | 1994-06-28 | 2001-07-24 | アメリカ合衆国 | ダイヤモンド表面の研磨 |
JPH08240555A (ja) * | 1995-03-01 | 1996-09-17 | Kobe Steel Ltd | ダイヤモンド薄膜バイオセンサ |
JPH09265892A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子放出素子及びその製造方法 |
JPH1183799A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-03-26 | Imura Japan Kk | ダイヤモンド電極を用いた複数被測定物質の濃度測定方法および濃度センサ |
JP2001272372A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Japan Science & Technology Corp | 電界効果トランジスタ |
JP2001348296A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-12-18 | Kobe Steel Ltd | 針状表面を有するダイヤモンド、繊毛状表面を有する炭素系材料、その製造方法、それを使用した電極及び電子デバイス |
JP2001349867A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Nippon Soken Inc | 酸性、塩基性度検出用センサ |
JP2002226290A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-08-14 | Japan Fine Ceramics Center | ダイヤモンド加工体の製造方法、及び、ダイヤモンド加工体 |
JP2003077884A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Shibaura Mechatronics Corp | ケミカルドライエッチング方法 |
JP2004101437A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Japan Science & Technology Corp | 導電性ダイヤモンド電極を用いた被検物質濃度の測定方法およびそのための装置 |
WO2005116306A1 (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Toppan Printing Co., Ltd. | ナノクリスタルダイヤモンド膜、その製造方法、及びナノクリスタルダイヤモンド膜を用いた装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007114252A1 (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Horiba, Ltd. | 蛋白質の測定方法 |
JP2008063607A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ダイヤモンド被覆基板、電気化学的処理用電極、電気化学的処理方法及びダイヤモンド被覆基板の製造方法 |
JP2009128041A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ダイヤモンド微小電極およびその製造方法 |
JP2012513675A (ja) * | 2008-12-22 | 2012-06-14 | レイセオン カンパニー | ダイアモンド層を有する窒化ガリウム・デバイスの製造 |
JP2011174822A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Keio Gijuku | ホウ素ドープダイヤモンド電極を用いたpHの測定方法及び装置 |
CN103221811A (zh) * | 2010-04-16 | 2013-07-24 | 第六元素有限公司 | 金刚石微电极 |
CN107949661B (zh) * | 2015-05-26 | 2021-02-23 | 康迪亚斯有限责任公司 | 用于制造金刚石电极的方法和金刚石电极 |
CN107949661A (zh) * | 2015-05-26 | 2018-04-20 | 康迪亚斯有限责任公司 | 用于制造金刚石电极的方法和金刚石电极 |
US10662538B2 (en) | 2015-05-26 | 2020-05-26 | Condias Gmbh | Method for producing a diamond electrode and diamond electrode |
KR20180011241A (ko) * | 2015-05-26 | 2018-01-31 | 콘디아스 게엠베하 | 다이아몬드 전극 및 다이아몬드 전극의 제조 방법 |
KR102577324B1 (ko) * | 2015-05-26 | 2023-09-11 | 콘디아스 게엠베하 | 다이아몬드 전극 및 다이아몬드 전극의 제조 방법 |
WO2018108883A1 (en) | 2016-12-12 | 2018-06-21 | Mead Johnson Nutrition Company | Protein hydrolysates and methods of making same |
US10980269B2 (en) | 2016-12-12 | 2021-04-20 | Mead Johnson Nutrition Company | Protein hydrolysates and methods of making same |
US11785976B2 (en) | 2016-12-12 | 2023-10-17 | Mead Johnson Nutrition Company | Protein hydrolysates and methods of making same |
JPWO2018230660A1 (ja) * | 2017-06-16 | 2020-03-26 | 学校法人慶應義塾 | 残留塩素測定方法及び残留塩素測定装置 |
WO2019135084A1 (en) | 2018-01-05 | 2019-07-11 | Mead Johnson Nutrition Company | Nutritional compositions containing milk-derived peptides and uses thereof |
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Publication number | Publication date |
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JP4547548B2 (ja) | 2010-09-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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