JPS63273341A - 半導体装置 - Google Patents
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- JPS63273341A JPS63273341A JP62109327A JP10932787A JPS63273341A JP S63273341 A JPS63273341 A JP S63273341A JP 62109327 A JP62109327 A JP 62109327A JP 10932787 A JP10932787 A JP 10932787A JP S63273341 A JPS63273341 A JP S63273341A
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- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
-
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、テープキャリア上に接合する半導体チップを
備えた半導体装置に関する。
備えた半導体装置に関する。
従来、この種の半導体装置(樹脂封止前)は第14図(
alおよび(b)に示すように構成されている。
alおよび(b)に示すように構成されている。
これを同図、第15図および第16図に基づいて説明す
ると、同図において、符号1で示すものは半導体チップ
2が臨む開口部(通称センターデバイス孔)3およびこ
の開口部3内の半導体チップ2の表面に接続するリード
パターン4を有し例えばポリイミド系の合成樹脂からな
る帯状のフィルム(テープキャリア)である。このフィ
ルム1のリードパターン4は、インナーリード4a、ア
ウターリード4bおよびテストパッド4cからなり、こ
のうちインナーリード4aはサポート5によって支持さ
れている。また、6は架橋部、7はアウターリード孔、
8はパーフォレーション孔、9はパッケージである。な
お、10は前記半導体チップ2に設けられ前記リードパ
ターン4のインナーリード4aに接続するハンプである
。
ると、同図において、符号1で示すものは半導体チップ
2が臨む開口部(通称センターデバイス孔)3およびこ
の開口部3内の半導体チップ2の表面に接続するリード
パターン4を有し例えばポリイミド系の合成樹脂からな
る帯状のフィルム(テープキャリア)である。このフィ
ルム1のリードパターン4は、インナーリード4a、ア
ウターリード4bおよびテストパッド4cからなり、こ
のうちインナーリード4aはサポート5によって支持さ
れている。また、6は架橋部、7はアウターリード孔、
8はパーフォレーション孔、9はパッケージである。な
お、10は前記半導体チップ2に設けられ前記リードパ
ターン4のインナーリード4aに接続するハンプである
。
次に、このように構成された半導体装置の組立方法につ
いて説明する。
いて説明する。
先ず、第15図(a)、 (blおよび第16図(a)
、 (bH::示すように半導体チップ2をフィルム1
の開口部3内に臨ませて電極2aとインナーリード4a
とを接続する。次に、アウターリード4bとテストバッ
ド4c問および架橋部6を切断する。しかる後、第14
図(alおよび(blに示すように半導体チップ2をパ
ッケージ9によって樹脂封止する。
、 (bH::示すように半導体チップ2をフィルム1
の開口部3内に臨ませて電極2aとインナーリード4a
とを接続する。次に、アウターリード4bとテストバッ
ド4c問および架橋部6を切断する。しかる後、第14
図(alおよび(blに示すように半導体チップ2をパ
ッケージ9によって樹脂封止する。
このようにして、半導体装置を組み立てることができる
。
。
ところで、従来の半導体装置においては、パッケージ9
によって半導体チップ2の全体を樹脂封止するものであ
るため、動作時に半導体チフブ2から外部への放熱性が
悪く、半導体装置の特性のみならず動作上の信頼性が低
下するという問題があった。
によって半導体チップ2の全体を樹脂封止するものであ
るため、動作時に半導体チフブ2から外部への放熱性が
悪く、半導体装置の特性のみならず動作上の信頼性が低
下するという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、動作時
における半導体チップから外部への放熱性を良好に行う
ことができ、もって半導体装置の特性ならびに動作上の
信頼性を向上させることができる半導体装置を提供する
ものである。
における半導体チップから外部への放熱性を良好に行う
ことができ、もって半導体装置の特性ならびに動作上の
信頼性を向上させることができる半導体装置を提供する
ものである。
本発明に係る半導体装置は、半導体チップが臨む開口部
および半導体チップの表面側に接続するリードを有する
第1フィルムと、この第1フィルムに設けられ半導体チ
ップの裏面に接合する放熱体を有する第2フィルムとを
備え、この第2フィルムの放熱体上でリードの一部およ
び半導体チップのリード側部をパンケージによって樹脂
封止したものである。
および半導体チップの表面側に接続するリードを有する
第1フィルムと、この第1フィルムに設けられ半導体チ
ップの裏面に接合する放熱体を有する第2フィルムとを
備え、この第2フィルムの放熱体上でリードの一部およ
び半導体チップのリード側部をパンケージによって樹脂
封止したものである。
本発明においては、半導体チップに接合する放熱体を外
部に露呈させることができる。
部に露呈させることができる。
第1図は本発明に係る半導体装置の全体を示す断面図、
第2図(a)、 (b)および第3図は同じく半導体装
置の要部を示す平面図と分解斜視図である。
第2図(a)、 (b)および第3図は同じく半導体装
置の要部を示す平面図と分解斜視図である。
同図において、符号11で示すものは帯状の第1フィル
ムで、全体が例えばポリイミド系の合成樹脂材料によっ
て形成されている。この第1フィルム11には、半導体
チップ12が臨む開口部13およびこの開口部13内の
半導体チップ12の表面側(電極)に接続するリードパ
ターン14が設けられている。このリードパターン14
はインナーリード14a、アウターリード14bおよび
テストパッド14cからなり、このうちインナーリード
14aは前記第1フィルム11のサポート部15によっ
て支持されている。16は帯状の第2フィルムで、前記
第1フィルム11に設けられており、全体が熱伝導性を
有する金属材料によって形成されている。この第2フィ
ルム16には前記第1フィルム11と同様に前記半導体
チップ12が臨む開口部17が設けられており、この開
口部17の周縁には前記半導体チップ12の裏面に例え
ばエポキシ樹脂系の接着剤18によって接合する放熱体
19が設けられている。この放熱体19は全体が前記第
2フィルム16と同一の金属材料によって形成されてい
る。20は例えばエポキシ。
ムで、全体が例えばポリイミド系の合成樹脂材料によっ
て形成されている。この第1フィルム11には、半導体
チップ12が臨む開口部13およびこの開口部13内の
半導体チップ12の表面側(電極)に接続するリードパ
ターン14が設けられている。このリードパターン14
はインナーリード14a、アウターリード14bおよび
テストパッド14cからなり、このうちインナーリード
14aは前記第1フィルム11のサポート部15によっ
て支持されている。16は帯状の第2フィルムで、前記
第1フィルム11に設けられており、全体が熱伝導性を
有する金属材料によって形成されている。この第2フィ
ルム16には前記第1フィルム11と同様に前記半導体
チップ12が臨む開口部17が設けられており、この開
口部17の周縁には前記半導体チップ12の裏面に例え
ばエポキシ樹脂系の接着剤18によって接合する放熱体
19が設けられている。この放熱体19は全体が前記第
2フィルム16と同一の金属材料によって形成されてい
る。20は例えばエポキシ。
シリコーン系の合成樹脂材料からなるパッケージで、前
記第2フィルム16の放熱体19上で前記リードパター
ン14の一部および前記半導体チップ12のリード側部
を樹脂封止している。なお、21は前記半導体チップ1
2の表面側に設けられ前記リードパターン14のインナ
ーリード14aに接続するバンプである。また、22お
よび23は架橋部、24および25はアウターリード孔
、25および26はパーフォレーション孔、27は前記
第2フィルム16に設けられたサポート部である。
記第2フィルム16の放熱体19上で前記リードパター
ン14の一部および前記半導体チップ12のリード側部
を樹脂封止している。なお、21は前記半導体チップ1
2の表面側に設けられ前記リードパターン14のインナ
ーリード14aに接続するバンプである。また、22お
よび23は架橋部、24および25はアウターリード孔
、25および26はパーフォレーション孔、27は前記
第2フィルム16に設けられたサポート部である。
このように構成された半導体装置においては、半導体チ
ップ12に接合する放熱体19の非接合面を外部に露呈
させることができるから、動作時に半導体チップ12か
ら生じる熱を外部に放散して温度上昇を抑制することが
できる。
ップ12に接合する放熱体19の非接合面を外部に露呈
させることができるから、動作時に半導体チップ12か
ら生じる熱を外部に放散して温度上昇を抑制することが
できる。
次に、前記した構成による半導体装置の組立方法につい
て説明する。
て説明する。
先ず、半導体チップ12を第1フィルム11の開口部1
3内に臨ませてインナーリード14aに接続する。次に
、第1フィルム11に第2フィルム16を接合する。こ
のとき、放熱体19は半導体チップ12の裏面に接合さ
れている。そして、アウターリード14bとテストパッ
ド14c問および架橋部22.23を切断した後、パッ
ケージ20によって放熱体19上でリードパターン14
の一部および半導体チップ12のリード側部を樹脂封止
する。
3内に臨ませてインナーリード14aに接続する。次に
、第1フィルム11に第2フィルム16を接合する。こ
のとき、放熱体19は半導体チップ12の裏面に接合さ
れている。そして、アウターリード14bとテストパッ
ド14c問および架橋部22.23を切断した後、パッ
ケージ20によって放熱体19上でリードパターン14
の一部および半導体チップ12のリード側部を樹脂封止
する。
このようにして、半導体装置を組み立てることができる
。
。
なお、本実施例においては、放熱体19が第2フィルム
16の裏面側に設ける場合を示したが、本発明はこれに
限定されるものではなく、第4図に示すように第2フィ
ルム16の表面側に放熱体28を設けるものでも実施例
と同様の効果を奏する。
16の裏面側に設ける場合を示したが、本発明はこれに
限定されるものではなく、第4図に示すように第2フィ
ルム16の表面側に放熱体28を設けるものでも実施例
と同様の効果を奏する。
このように構成された半導体装置を組み立てるには、実
施例と同様に第5図(a)、 (b)および第6図に示
す第1フィルム11と第2フィルム16とを接合するこ
とにより行うことができる。
施例と同様に第5図(a)、 (b)および第6図に示
す第1フィルム11と第2フィルム16とを接合するこ
とにより行うことができる。
また、本実施例においては、第2フィルム16と放熱体
19とが別体である場合を示したが、本発明は第7図に
示すように第2フィルム29と放熱体30が一体である
ものでも勿論よ(、この場合第8図(al、 (b)お
よび第9図に示す第1フィルム11と第2フィルム29
とを接合することにより半導体装置を組み立てることが
できる。この他、第10図および第11図に示すように
放熱体30(第2フィルム29)に多数のフィン31を
設けることにより、第12図および第13図に示すよう
に放熱体19にフィン32を設けることにより、放熱効
果を一層高めることができる。
19とが別体である場合を示したが、本発明は第7図に
示すように第2フィルム29と放熱体30が一体である
ものでも勿論よ(、この場合第8図(al、 (b)お
よび第9図に示す第1フィルム11と第2フィルム29
とを接合することにより半導体装置を組み立てることが
できる。この他、第10図および第11図に示すように
放熱体30(第2フィルム29)に多数のフィン31を
設けることにより、第12図および第13図に示すよう
に放熱体19にフィン32を設けることにより、放熱効
果を一層高めることができる。
さらに、実施例においては、第2フィルム16として金
属材料からなる例を示したが、本発明は第1フィルム1
1と同様にポリイミド系の合成樹脂材料からなるもので
も何等差し支えない。
属材料からなる例を示したが、本発明は第1フィルム1
1と同様にポリイミド系の合成樹脂材料からなるもので
も何等差し支えない。
さらにまた、本発明における接着剤は前述した実施例に
限定されず、例えば半田等によって接合してもよく、そ
の接着剤は適宜変更することが自由である。
限定されず、例えば半田等によって接合してもよく、そ
の接着剤は適宜変更することが自由である。
以上説明したように本発明によれば、開口部内の半導体
チップの表面側に接続するリードを有する第1フィルム
と、この第1フィルムに設けられ半導体チップの裏面に
接合する放熱体を有する第2フィルムとを備え、この第
2フィルムの放熱体上でリードの一部および半導体チッ
プのリード側部をパッケージによって樹脂封止したので
、半導体チップに接合する放熱体を外部に露呈させるこ
とができる。したがって、動作時における半導体チップ
から外部への放熱性を良好に行うことができるから、半
導体装置の特性ならびに動作上の信頼性を向上させるこ
とができる。
チップの表面側に接続するリードを有する第1フィルム
と、この第1フィルムに設けられ半導体チップの裏面に
接合する放熱体を有する第2フィルムとを備え、この第
2フィルムの放熱体上でリードの一部および半導体チッ
プのリード側部をパッケージによって樹脂封止したので
、半導体チップに接合する放熱体を外部に露呈させるこ
とができる。したがって、動作時における半導体チップ
から外部への放熱性を良好に行うことができるから、半
導体装置の特性ならびに動作上の信頼性を向上させるこ
とができる。
第1図は本発明に係る半導体装置の全体を示す断面図、
第2図(a)、 (blおよび第3図は同じく半導体装
置の要部を示す平面図と分解斜視図、第4図は他の第2
実施例を示す断面図、第5図(a)、 (blおよび第
6図はその要部を示す平面図と分解斜視図、第7図は他
の第3実施例を示す断面図、第8図(a)。 (blおよび第9図はその要部を示す平面図と分解斜視
図、第10図は他の第4実施例を示す断面図、第11図
はその要部を示す断面図、第12図は他の第5実施例を
示す断面図、第13図はその要部を示す断面図、第14
図(alおよび(b)は従来の半導体装置の全体を示す
断面図、第15図(a)、 fb)および第16図[8
1,(b)はその半導体装置の組立方法を説明するため
の斜視図、平面図および断面図である。 11・・・・第1フィルム、12・・・・半導体チップ
、13・・・・開口部、14・・・・リードパターン、
16・・・・第2フィルム、19・・・・放熱体、20
・・・・パッケージ。 代 理 人 大岩増雄 第1図 11゛才1フィルム 12、キ再イ本ナッフ。 13・ 因 口 部 +4= ’)−)’バクーン 16:オ2フイ1しム 19・ 万丈こ巷 イA( 20: バツブージ゛ 第2図 ロロロロロ 第3図 第4図 第5図 1b−′ ロロロロロ 第6図 第7図 第8図 0ロロロロ ロロロロロ 第9図 第10図 n 第11図 14o 14b 第12図 第13図 第14図 7、 (b) 第16図 (b) 手続補正書(す々) 6212’1 昭和 年 月 日
第2図(a)、 (blおよび第3図は同じく半導体装
置の要部を示す平面図と分解斜視図、第4図は他の第2
実施例を示す断面図、第5図(a)、 (blおよび第
6図はその要部を示す平面図と分解斜視図、第7図は他
の第3実施例を示す断面図、第8図(a)。 (blおよび第9図はその要部を示す平面図と分解斜視
図、第10図は他の第4実施例を示す断面図、第11図
はその要部を示す断面図、第12図は他の第5実施例を
示す断面図、第13図はその要部を示す断面図、第14
図(alおよび(b)は従来の半導体装置の全体を示す
断面図、第15図(a)、 fb)および第16図[8
1,(b)はその半導体装置の組立方法を説明するため
の斜視図、平面図および断面図である。 11・・・・第1フィルム、12・・・・半導体チップ
、13・・・・開口部、14・・・・リードパターン、
16・・・・第2フィルム、19・・・・放熱体、20
・・・・パッケージ。 代 理 人 大岩増雄 第1図 11゛才1フィルム 12、キ再イ本ナッフ。 13・ 因 口 部 +4= ’)−)’バクーン 16:オ2フイ1しム 19・ 万丈こ巷 イA( 20: バツブージ゛ 第2図 ロロロロロ 第3図 第4図 第5図 1b−′ ロロロロロ 第6図 第7図 第8図 0ロロロロ ロロロロロ 第9図 第10図 n 第11図 14o 14b 第12図 第13図 第14図 7、 (b) 第16図 (b) 手続補正書(す々) 6212’1 昭和 年 月 日
Claims (4)
- (1)半導体チップが臨む開口部およびこの開口部内の
半導体チップの表面側に接続するリードを有する第1フ
ィルムと、この第1フィルムに設けられ前記半導体チッ
プの裏面に接合する放熱体を有する第2フィルムとを備
え、この第2フィルムの放熱体上で前記リードの一部お
よび前記半導体チップのリード側部をパッケージによっ
て樹脂封止したことを特徴とする半導体装置。 - (2)第2フィルムと放熱体とが別体である特許請求の
範囲第1項記載の半導体装置。 - (3)第2フィルムは熱伝導性材料によって形成されて
いる特許請求の範囲第1項、または第2項記載の半導体
装置。 - (4)第2フィルムと放熱体とが一体である特許請求の
範囲第1項記載の半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62109327A JPH0740600B2 (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | 半導体装置 |
DE3814469A DE3814469A1 (de) | 1987-04-30 | 1988-04-28 | Halbleiteranordnung und verfahren zu ihrer herstellung |
US07/598,788 US5073817A (en) | 1987-04-30 | 1990-10-17 | Resin encapsulated semiconductor device with heat radiator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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