JPH10261946A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPH10261946A
JPH10261946A JP9066973A JP6697397A JPH10261946A JP H10261946 A JPH10261946 A JP H10261946A JP 9066973 A JP9066973 A JP 9066973A JP 6697397 A JP6697397 A JP 6697397A JP H10261946 A JPH10261946 A JP H10261946A
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JP
Japan
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circuit
integrated circuit
semiconductor integrated
effect transistor
field
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JP9066973A
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Hiroyuki Makino
博之 牧野
Hiroaki Suzuki
弘明 鈴木
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K3/00Circuits for generating electric pulses; Monostable, bistable or multistable circuits
    • H03K3/01Details
    • H03K3/012Modifications of generator to improve response time or to decrease power consumption
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/41Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger
    • G11C11/412Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger using field-effect transistors only
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/06Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
    • G11C7/065Differential amplifiers of latching type

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体集積回路において組み合わせ回路は正
常に動作するが、順序回路は保持データの消失により誤
動作するという課題があった。 【解決手段】 順序回路に含まれる電界効果トランジス
タは制御手段がそのしきい値電圧を可変とすることがで
きるように構成したので、動作時にはトランジスタのし
きい値電圧を低くして記憶保持ノードへのデータの書き
込み・読み出しを高速化し、不動作時にはトランジスタ
のしきい値電圧を高めてリーク電流を減少させ、これに
より記憶保持ノードのデータを破壊・消失しないように
するとともに低消費電力化を実現したものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、携帯用電子機器
などの電池寿命を引き延ばすために低消費電力化した半
導体集積回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、携帯機器の進歩・発展にともない
内蔵電池をさらに長時間使用できるように半導体集積回
路(LSI)を低消費電力化することが求められてい
る。低消費電力化を実現するための有効な手法として、
例えば動作電圧を下げることなどが挙げられる。すなわ
ち、消費電力は電圧と電流の積で与えられるので、動作
電圧を低下させることによって電圧と電流の両方を低減
することができ、これにより一般に二乗の効果があると
いわれている。
【0003】しかしながら、LSIを構成するMOSF
ETは、電源電圧を下げると動作が劣化してスピードが
遅くなるという性質を有する。この性質は、電源電圧を
低下させても、しきい値電圧を不用意に下げることがで
きないことに起因する。なぜならば、しきい値を低下さ
せるとMOSFETのオフ時のリーク電流が増大してし
まい、かえって消費電力を増加させてしまうからであ
る。この課題を解決するために、従来は次のような方法
が用いられていた。
【0004】図7は、例えば特開平7−212218号
公報に示された従来のいわゆるMT−CMOS(Mul
ti−threshold CMOS)による低電圧動
作回路である。図において、1,2および5はpチャネ
ルMOSFETであり、3,4および6はnチャネルM
OSFETである。pチャネルMOSFET1,2のし
きい値電圧の絶対値は、pチャネルMOSFET5のし
きい値の絶対値よりも低く設定されているとともに、n
チャネルMOSFET3,4のしきい値電圧の絶対値が
nチャネルMOSFET6のしきい値の絶対値よりも低
く設定されている(以下、「しきい値電圧」はその絶対
値をいうものとする)。そして、これらのMOSFET
1〜4が2入力NANDゲートの組み合わせ回路11を
構成する。また、pチャネルMOSFET5は電源電圧
12と仮想的な電源線9との間に接続され、そのゲート
には制御信号CSB1が入力し、nチャネルMOSFE
T6は仮想的なアース線10とアース13との間に接続
され、そのゲートには制御信号CS1が入力する。
【0005】次に動作について説明する。この2入力N
ANDゲートの組み合わせ回路11を動作させる場合に
は、制御信号CS1をハイレベルにするとともに、その
反転信号である制御信号CSB1をローレベルにする。
したがってpチャネルMOSFET5およびnチャネル
MOSFET6はいずれもオンの状態になり、仮想的な
電源線9は電源電圧12の電圧VDDレベルまで引き上げ
られ、一方仮想的なアース線10はアース13のVGND
レベルまで引き下げられる。この結果、この組み合わせ
回路11は通常のNAND動作をすることになる。この
際、MOSFET1〜4はしきい値電圧(絶対値)が低
く設定されているので、電源電圧12の電圧VDDが低電
圧の際にも高速の動作が可能となる。
【0006】組み合わせ回路11が動作しない場合に
は、制御信号CS1をローレベルとし、その反転信号で
ある制御信号CSB1をハイレベルとする。このときp
チャネルMOSFET5およびnチャネルMOSFET
6はいずれもオフとなって、仮想的な電源線9および仮
想的なアース線10は電源電圧12およびアース13か
らそれぞれ切り離される。この時、pチャネルMOSF
ET5およびnチャネルMOSFET6はいずれもしき
い値電圧(絶対値)がMOSFET1〜4よりも高く設
定されているため、リーク電流を小さく抑えることがで
きる。
【0007】一般に、MOSFETのゲート・ソース間
の電圧がしきい値電圧以下の領域では、ソース・ドレイ
ン間のリーク電流はゲート電圧に対して指数関数的に増
加する。このため、組み合わせ回路11が動作していな
い場合、MOSFET1〜4とMOSFET5,6のし
きい値電圧に差を持たせることによってリーク電流を大
幅に削減することができる。なお、一例として、図7は
組み合わせ回路11が2入力NANDゲートである場合
を示しているが、これはLSIを構成するいかなる種類
および規模の回路でも同様の議論が成立する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来の低電圧動作型の
半導体集積回路は以上のように構成されているので、2
入力NANDゲートのように、出力が入力の組合わせに
よって決定される組み合わせ回路の場合には正常に動作
するが、以前の状態を記憶保持する機能を有する順序回
路の場合には誤動作を起こしてしまうなどの課題があっ
た。
【0009】この順序回路の一例として、図8に2つの
インバータの入力と出力とが互いに交差して接続したい
わゆるラッチ回路の図を示す。図において、14,15
はpチャネルMOSFET、16,17はnチャネルM
OSFETであり、いずれも低いしきい値電圧(絶対
値)を有するものである。5はpチャネルMOSFE
T、6はnチャネルMOSFETであり、双方共にしき
い値電圧(絶対値)は高いものから成る。これらのMO
SFET14〜17により順序回路20が構成され、ノ
ード18,19が一対の記憶保持ノードを形成し、その
一方がハイレベルの時はもう一方がローレベルとなり入
力した値を保持することができる。
【0010】次に動作について説明する。CS1がハイ
レベルであるとともにCSB1がローレベルとなった状
態で順序回路20が動作する場合は、書き込まれたデー
タの値が正常に保持され、しかもpチャネルMOSFE
T14,15とnチャネルMOSFET16,17のし
きい値電圧が共に低いために、ノード18,19への書
き込み・読み出しを高速に行うことができる。
【0011】しかしながら、動作していない時に、CS
1がローレベルでしかもCSB1がハイレベルとなって
リーク電流が低減してしまうと、MOSFET14〜1
7におけるオフ時のリーク電流の方がMOSFET5,
6のオフ時のリーク電流よりも大きくなるために、ノー
ド18,19のデータを保持できなくなる。なぜなら
ば、例えばノード18がハイレベルでノード19がロー
レベルであるとすると、MOSFET14〜17のう
ち、pチャネルMOSFET15およびnチャネルMO
SFET16がオフとなり他の2つはオンとなるが、p
チャネルMOSFET15およびnチャネルMOSFE
T16を流れるリーク電流のおかげでハイレベルのノー
ド18が低下し、ローレベルのノード19が上昇してし
まうからである。これはノード18,19のレベルが等
しくなるまで続き、その結果保持されていたデータは失
われてしまう。このように、従来の低電圧動作型の半導
体集積回路では、順序回路のデータが消失してしまうと
いう課題があった。
【0012】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、順序回路の保持データを破壊する
ことなく、動作していない回路のリーク電流の低減によ
り低消費電力化を図ることができる半導体集積回路を得
ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明に係
る半導体集積回路は、スイッチング手段と、該スイッチ
ング手段に接続された組み合わせ回路と、第1の電界効
果トランジスタを含む順序回路と、第1の電界効果トラ
ンジスタのしきい値電圧を可変とする制御手段とを備え
たものである。
【0014】請求項2記載の発明に係る半導体集積回路
は、順序回路に含まれる第1の電界効果トランジスタは
バックゲートを有しており、制御手段はこのバックゲー
トを介して前記第1の電界効果トランジスタのしきい値
電圧を可変とするものである。
【0015】請求項3記載の発明に係る半導体集積回路
は、制御手段は正電圧発生器と負電圧発生器とを含むも
のである。
【0016】請求項4記載の発明に係る半導体集積回路
は、組み合わせ回路には第2の電界効果トランジスタが
含まれているとともに、スイッチング手段には第3の電
界効果トランジスタが含まれており、第2の電界効果ト
ランジスタのしきい値電圧の絶対値よりも第3の電界効
果トランジスタのしきい値電圧の絶対値が高いものであ
る。
【0017】請求項5記載の発明に係る半導体集積回路
は、組み合わせ回路には第2の電界効果トランジスタが
含まれており、スイッチング手段には少なくとも二つの
第3の電界効果トランジスタが含まれており、その一方
のトランジスタのソースが電源電圧に接続されていると
ともに他方のトランジスタのソースがアース電位に接続
されている半導体集積回路において、第2の電界効果ト
ランジスタのしきい値電圧の絶対値が第3の電界効果ト
ランジスタのしきい値電圧の絶対値が略等しく、しかも
上記第3の電界効果トランジスタがオフ状態にある場合
には電源電圧側のトランジスタとアース側のトランジス
タとでゲート・ソース間電位を逆バイアスとするもので
ある。
【0018】請求項6記載の発明に係る半導体集積回路
は、組み合わせ回路は複数の第1の回路ブロックから成
り、それぞれの第1の回路ブロックに対してスイッチン
グ手段が個別に接続されており、順序回路もまた複数の
第2の回路ブロックから成り、それぞれの第2の回路ブ
ロックに含まれる第1の電界効果トランジスタのしきい
値電圧を可変とする制御手段が個別に接続されているも
のである。
【0019】請求項7記載の発明に係る半導体集積回路
は、スイッチング手段は、電源電圧よりも高い電圧を発
生させる第1の昇圧器と、アース電位よりも低い電圧を
発生させる第1の降圧器と、第1の昇圧器と接続された
反転手段と、第1の降圧器と接続された非反転手段とを
備えるものである。
【0020】請求項8記載の発明に係る半導体集積回路
は、制御手段は正電圧発生器と接続される第2の昇圧器
と、負電圧発生器と接続される第2の降圧器とを備えて
おり、正電圧発生器と負電圧発生器がマルチプレクサ回
路から成るものである。
【0021】請求項9記載の発明に係る半導体集積回路
は、制御手段に含まれる第2の昇圧器および第2の降圧
器が、スイッチング手段に含まれる第1の昇圧器および
第1の降圧器と異なるものである。
【0022】請求項10記載の発明に係る半導体集積回
路は、組み合わせ回路と順序回路とを含む論理回路と、
昇圧器と降圧器とを有する集積回路とを備えた半導体集
積回路において、集積回路の昇圧器および降圧器を用い
て、組み合わせ回路のスイッチング手段を駆動するとと
もに、順序回路に含まれるバックゲートを有する電界効
果トランジスタのバックゲートを介してコントロールす
る制御手段を駆動するものである。
【0023】請求項11記載の発明に係る半導体集積回
路は、昇圧器と降圧器とを有する集積回路がダイナミッ
クランダムアクセスメモリ(DRAM)からなるもので
ある。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1による低
電圧動作型の半導体集積回路を示す図であり、図におい
て、1,2はpチャネルMOSFET、5はpチャネル
MOSFET、3,4はnチャネルMOSFET、6は
nチャネルMOSFET23,24はバックゲート用ノ
ードである。ここで、pチャネルMOSFET1,2の
しきい値電圧の絶対値はpチャネルMOSFET5のし
きい値電圧の絶対値よりも低く設定されるとともに、n
チャネルMOSFET3,4のしきい値電圧の絶対値は
nチャネルMOSFET6のしきい値電圧の絶対値より
も低く設定されている(以下、「しきい値電圧」はその
絶対値をいうものとする)。そして、これらのMOSF
ET1〜4が、例えば2入力NANDゲートのような組
み合わせ回路11を構成し、MOSFET5,6がスイ
ッチング手段を構成する。この場合、pチャネルMOS
FET5は電源電圧12と仮想的な電源線9との間に接
続され、そのゲートには制御信号CSB1が入力する。
また、nチャネルMOSFET6は仮想的なアース線1
0とアース13との間に接続され、そのゲートには制御
信号CS1が入力する。
【0025】一方、14,15はpチャネルMOSFE
T、16,17はnチャネルMOSFETであり、これ
らが順序回路20を構成している。また、正電圧発生器
21と、負電圧発生器22と、MOSFET14〜17
のバックゲート用ノード23,24が制御手段を構成し
ている。これらのMOSFET14〜17はしきい値電
圧の絶対値が低いものからなり、ノード18,19が一
対の記憶保持ノードを形成している。この場合、pチャ
ネルMOSFET14,15のバックゲート電位VC1
を正電圧発生器21の出力に接続し、nチャネルMOS
FET16,17のバックゲート電位VD1を負電圧発
生器22の出力に接続した構成となっている。
【0026】次に動作について説明する。組み合わせ回
路11を動作させる場合には、制御信号CS1をハイレ
ベルにするとともに、その反転信号である制御信号CS
B1をローレベルにする。これにより、pチャネルMO
SFET5およびnチャネルMOSFET6はいずれも
オンの状態になり、仮想的な電源線9は電源電圧12の
電位VDDレベルまで引き上げられ、一方仮想的なアース
線10はアース13のVGND レベルまで引き下げられ
る。この結果、このような2入力NANDゲートの組み
合わせ回路11は通常のNAND動作をすることにな
る。この際、MOSFET1〜4のしきい値電圧(絶対
値)は低く設定されているので、電源電圧12の電圧が
低電圧の際にも低消費電力で高速の動作が可能となる。
【0027】組み合わせ回路11を動作しない場合に
は、制御信号CS1をローレベルとし、その反転信号で
ある制御信号CSB1をハイレベルとする。このときp
チャネルMOSFET5およびnチャネルMOSFET
6はいずれもオフとなって、仮想的な電源線9および仮
想的なアース線10は、それぞれ電源電圧12およびア
ース13から切り離される。ここで、pチャネルMOS
FET5およびnチャネルMOSFET6はいずれもし
きい値電圧(絶対値)をMOSFET1〜4よりも高く
設定されているため、リーク電流を小さく抑えることが
できる。
【0028】一方、順序回路20に関しては、動作時に
は、制御手段に入力する制御信号CS2がハイレベルと
なり、正電圧発生器21によりpチャネルMOSFET
14,15のバックゲート電位VC1が電源電圧VDD
ベルとなるとともに、負電圧発生器22によってnチャ
ネルMOSFET16,17のバックゲート電位VD1
がアース電位VGND レベルとなる。したがって、このと
き順序回路20は通常の記憶保持動作を行うことができ
る。この場合、順序回路20のpチャネルMOSFET
14,15とnチャネルMOSFET16,17はいず
れもしきい値電圧の絶対値が低いもので構成しているた
め、ノード18,19へのデータの書き込み・読み出し
を高速に行うことができる。また、順序回路20が動作
しない時には、CS2がローレベルになり、正電圧発生
器21の出力VC1は電源電圧VDDよりも高くなり、負
電圧発生器22の出力VD1はアース電位VGND よりも
低い値となる。その結果、pチャネルMOSFET1
4,15のバックゲート電位VC1は電源電圧12より
も高くなるためにそのしきい値電圧が高くなり、またn
チャネルMOSFET16,17のバックゲートにかか
るバックゲート電位VD1が電源電圧12よりも電位が
低くなるためにやはりしきい値電圧が高くなる。このた
め、順序回路20の電源電圧12からアース13へ流れ
るリーク電流を低減することができる。
【0029】以上のように、この実施の形態1によれ
ば、順序回路20を動作しない時には低しきい値MOS
FETのバックゲート電位を変化させてそのしきい値電
圧を上昇させることにより、リーク電流を低減して記憶
保持ノードのデータを破壊することなく消費電力を減少
する効果がある。さらに、組み合わせ回路11および順
序回路20に使われているMOSFETのしきい値は低
いので動作時にも高速かつ低消費電力で書き込み・読み
出しを行うことができる効果がある。なお、この実施の
形態1では制御信号CS1とCS2を別信号として説明
したが、両者が同一信号であっても同様の動作を実現す
ることができ、同様の効果を奏する。
【0030】実施の形態2.図2はこの発明の実施の形
態2による低電圧動作型の半導体集積回路を示す図であ
り、図において、順序回路20の構成および動作は実施
の形態1と同一であるから同一部分には同一符号を付し
て重複説明を省略する。この実施の形態2においては、
組み合わせ回路11が動作しない時のリーク電流低減用
のMOSFET5,6のしきい値電圧を他のMOSFE
T1〜4と同様の低しきい値電圧に設定している。
【0031】次に動作について説明する。この実施の形
態2では、組み合わせ回路11を動作しない時には、制
御信号CS1をアースVGND よりも低い電位とするとと
もに、CSB1を電源電圧VDDよりも高い電位とするこ
とによりリーク電流の低減を図るものである。さもなけ
れば、スイッチング手段を構成するMOSFETのしき
い値が組み合わせ回路を構成するものと同程度なので、
このままでは電源・アース間で電流のリークが発生して
回路全体の消費電力量が増大してしまうからである。し
たがって、上述のように構成すれば、複数種類のしきい
値電圧を有するMOSFETを使用することなく実施の
形態1と同様の効果が得られるだけでなく、スイッチン
グ手段に用いるMOSFET5,6を含めて全てしきい
値が低いものにすることができる。したがって、半導体
集積回路装置の製作時において、マスク数を減少させる
ことができ、製作工程数を減らすことができるので製造
コスト低減の効果もある。
【0032】実施の形態3.図3はこの発明の実施の形
態3によるそれぞれ複数の組み合わせ回路と順序回路か
らなる回路ブロックを大規模集積回路(LSI)に適用
した場合を示すブロック図であり、図において、111
〜11m は組み合わせ回路のブロックであり、それぞれ
が制御信号CSB11 〜CSB1m を入力するpチャネ
ルMOSFET51 〜5m と制御信号CS11 〜CS1
m を入力するnチャネルMOSFET61 〜6m とを具
備している。一方201 〜20n は順序回路のブロック
であり、それぞれがCS21 〜CS2n を入力する正電
圧発生器211 〜21n ,負電圧発生器221 〜22n
と、バックゲート用ノード(制御手段)231 〜2
n,241 〜24n とを具備している。その他の構成
は前記図2に示される実施の形態2と同じであるから、
同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
【0033】組み合わせ回路のブロック111 〜11m
において、pチャネルMOSFET51 〜5m は低しき
い値を有しており、制御信号CSB11 〜CSB1m
より実施の形態2のpチャネルMOSFET5と同様の
働きをし、またnチャネルMOSFET61 〜6m も低
しきい値で制御信号CS11 〜CS1m により実施の形
態2のnチャネルMOSFETと同様の働きをする。ま
た、正電圧発生器211 〜21n は実施の形態1の正電
圧発生器21と同様の働きをし、それぞれが制御信号C
S21 〜CS2n によって順序回路201 〜20n のp
チャネルMOSFETのバックゲート用ノード231
23n を制御する。一方、順序回路のブロック201
20n においては、負電圧発生器221 〜22n も実施
の形態1の負電圧発生器22と同様の働きをし、それぞ
れが制御信号CS21 〜CS2nによって順序回路201
〜20n のnチャネルMOSFETのバックゲート用
ノード231 〜23n を制御する。なお、制御信号CS
B11 〜CSB1m ,CS11 〜CS1m ,および制御
信号CS21 〜CS2n はいずれも独立に動作できるも
のとする。
【0034】次に動作について説明する。組み合わせ回
路のブロック111 〜11m に対して制御信号CSB1
1 〜CSB1m ,CS11 〜CS1m をそれぞれ独立に
入力させることにより、組み合わせ回路のブロック11
1 〜11m はそれぞれ独立に動作し、一方順序回路のブ
ロック201 〜20n に対しても同様に制御信号CS2
1 〜CS2n をそれぞれ独立に入力することにより、順
序回路のブロック201 〜20n をそれぞれ独立に動作
する。
【0035】以上のように、この実施の形態3によれ
ば、動作していない時の順序回路の動作を順序回路のブ
ロック毎に独立に制御することができるので、それぞれ
の記憶保持ノードで保持しているデータを破壊しないよ
うに個別にリーク電流を制御して低減することができ、
しかも複数種類のしきい値を有するMOSFETを使用
していないので、マスク数の減少等による製造工程数の
減少に寄与することができる。したがって、製造コスト
の削減と、製品化した半導体集積回路がスタンバイ時な
どで動作していない部分のリーク電流の低減による電力
消費量を抑制する効果が得られる。なお、ここでは、図
2の半導体集積回路を基礎にして説明をしたが、図1の
半導体集積回路を基礎にしてもよい。
【0036】実施の形態4.図4はこの発明の実施の形
態4による半導体集積回路の回路構成を示す図であり、
制御信号CSB11 〜CSB1m およびCS11 〜CS
m を昇圧器と降圧器を用いて発生させる場合を示すも
のである。図において、48は電源電圧よりも高い電圧
を発生させる昇圧器(第1の昇圧器)、49はアース電
位よりも低い電圧を発生させる降圧器(第1の降圧
器)、501 〜50m は制御信号BE1 〜BEm の反転
機能を有するバッファ回路、511 〜51m は制御信号
BE1 〜BEm の非反転機能を有するバッファ回路であ
り、バッファ回路501 〜50m と非バッファ回路51
1 〜51m がそれぞれ反転手段と非反転手段を構成す
る。VH ,VL はそれぞれ電源電圧VDDよりも高い電位
を有する昇圧器48の出力、およびアース電位VGND
りも低い電位を有する降圧器49の出力である。また、
反転バッファ回路501 〜50m は、それぞれ電源・ア
ースをノードND11 ・ノードND21 ,…,ノードN
D1m ・ノードND2m に接続され、非反転バッファ回
路511 〜51m は、それぞれ電源・アースをノードN
D31 ・ノードND41 ,…,ノードND3m ・ノード
ND4m に接続される。制御信号BE1 〜BEm は組み
合わせ回路へ入力する制御信号であるCSB11 ・CS
1 ,…,CSB1m ・CS1m を制御するための信号
である。その他の構成は前記図3に示される実施の形態
3と同じであるから、同一部分には同一符号を付して重
複説明を省略する。
【0037】次に動作について説明する。図3に示され
るm個の組み合わせ回路ブロックのうちの一つの組み合
わせ回路111 を例にとると、動作する場合は、制御信
号BE1 がハイレベルとなる。このときバッファ回路5
1 および511 において、CSB11 およびCS11
はそれぞれアースVGND および電源電圧VDDのレベルと
なり、実施の形態3で説明した動作を行う。動作しない
場合は、制御信号BE1 がローレベルとなり、このとき
CSB11 は反転バッファ回路501 を通じて反転され
電源電圧VDDよりも高い電位を有するノードND11
電位VH となり、またCS11 は非反転バッファ回路5
1 を通じて非反転されアースよりも低い電位を有する
ノードND41 の電位VL となる。これにより、実施の
形態3で説明したものと同様に組み合わせ回路ブロック
111 のリーク電流を低減することができる。同様に、
バッファ回路50m ,51m 等に関しても制御信号BE
m により上述の動作をする。
【0038】以上のように、この実施の形態4によれ
ば、反転バッファ回路と非反転バッファ回路に昇圧器、
降圧器等の単純な回路を付加するだけで、組み合わせ回
路を動作していない時のリーク電流をさらに低減するこ
とができるので、半導体集積回路で動作していない部分
のリーク電流による電力消費量をさらに低減することが
できる効果がある。なお、この実施の形態4は、実施の
形態3に示された組み合わせ回路・順序回路からなる回
路と同一チップ内に上述の昇圧・降圧回路を設けてもよ
く、これにより半導体集積回路を積載したチップのサイ
ズを縮小することができる効果がある。
【0039】実施の形態5.図5はこの発明の実施の形
態5による半導体集積回路の回路構成を示す図であり、
図において、581 〜58n はそれぞれ正電圧発生器2
1 〜21n を構成するマルチプレクサ回路(MU
X)、591 〜59n はそれぞれ負電圧発生器221
22n を構成するマルチプレクサ回路(MUX)であ
る。他の構成は、実施の形態4と同じであるから、同一
部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
【0040】次に動作について説明する。例えば、図3
における順序回路201 は、動作する時は、制御信号C
S21 がハイレベルとなり、マルチプレクサ回路581
において電源電圧VDDが選択されてバックゲート用ノー
ド231 に出力され、マルチプレクサ回路591 におい
てはアース電位VGND がバックゲート用ノード241
出力される。動作しない時は、制御信号CS21 がロー
レベルとなり、マルチプレクサ回路581 においては電
源電圧よりも高い電位VH が選択されてバックゲート用
ノード231 に出力され、マルチプレクサ回路591
おいては、アース電位よりも低い電位VL が選択されて
バックゲート用ノード241 に出力される。これにより
実施の形態3と同じ動作が実現される。
【0041】以上のように、この実施の形態5によれ
ば、単純で安価なマルチプレクサ回路を正・負電圧発生
器に適用するように構成したので、順序回路を動作して
いない時でもリーク電流を低減でき、順序回路の保持デ
ータを破壊することがない。したがって、低い製造コス
トで半導体集積回路で動作していない部分の電力消費量
を削減する効果がある。なお、この実施の形態5では、
昇圧器(第2の昇圧器)48および降圧器(第2の降圧
器)49を実施の形態4のものと同じものとして説明し
たが、これらを別のものとして、独自に出力電圧を設定
できるようにすれば、よりきめ細かいリーク電流の低減
を実現することができる。さらに、実施の形態3に示さ
れた組み合わせ回路・順序回路からなる回路と同一チッ
プ内にこの実施の形態5に示された正・負電圧発生器か
ら成る回路を設けてもよく、これにより半導体集積回路
を積載したチップのサイズを縮小することができる効果
がある。
【0042】実施の形態6.図6はこの発明の実施の形
態6による半導体集積回路の回路構成を示す図であり、
図において、62は例えばフラッシュメモリ、ダイナミ
ックランダムアクセスメモリ(DRAM)に代表され
る、記憶情報のリフレッシュが必要な高集積MOSRA
Mであり、63はロジック回路であり、メモリ部とロジ
ック部が混載したタイプのいわゆるハイブリッド型半導
体集積回路である。ロジック回路は実施の形態3におけ
る組み合わせ回路・順序回路からなる論理回路と同様の
構成とする。高集積MOSRAMには、リフレッシュ動
作のように回路を良好に動作させる必要があるから、通
常内部に昇圧器48および降圧器49が設けられてお
り、これらの出力VH ,VL をロジック回路63に応用
すれば、実施の形態3のように動作させることができ
る。
【0043】以上のように、この実施の形態6によれ
ば、DRAMの内部に配置されている昇圧器と降圧器を
有効に利用することができるので付加的な回路の占有面
積を縮小することができ、したがってハードウエアの部
品数の増加を抑制することができる。その結果、半導体
集積回路で動作していない部分のリーク電流を低減する
ことに基づく電力消費量の削減に寄与するだけでなく、
でき上がった半導体集積回路装置のチップサイズを小さ
くすることもできるので製造コストを低減するという効
果もある。
【0044】
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明によ
れば、順序回路に使用されている第1の電界効果トラン
ジスタは制御手段がそのしきい値電圧を可変とすること
ができるように構成したので、順序回路が動作する時は
第1の電界効果トランジスタのしきい値電圧を低くして
この順序回路に形成された記憶保持ノードへのデータの
書き込み・読み出しを低消費電力で高速に行うことがで
き、加えて順序回路が動作しない時は第1の電界効果ト
ランジスタのしきい値電圧を高めることによりリーク電
流を減少させることができ、これにより記憶保持ノード
に保持されているデータを破壊・消失しない効果があ
る。また、スイッチング手段は組み合わせ回路が動作し
ない時にその他の回路部分と切り離すことができるよう
に構成したので、組み合わせ回路のリーク電流を低減で
きる効果がある。
【0045】請求項2記載の発明によれば、順序回路を
構成する第1の電界効果トランジスタはバックゲートを
有するように構成したので、順序回路を動作しない時
は、制御手段がバックゲートを介してその電位をコント
ロールすることにより第1の電界効果トランジスタのし
きい値を高めリーク電流を減少させることができ、これ
により記憶保持ノードに保持されているデータを破壊・
消失の防止と低消費電力化をもたらす効果がある。
【0046】請求項3記載の発明によれば、順序回路と
接続した制御手段が正電圧発生器と負電圧発生器とを含
むように構成したので、バックゲートと接続した正電圧
発生器および負電圧発生器に入力する制御信号がハイレ
ベルかローレベルかで順序回路を構成するpチャネル部
とnチャネル部の第1の電界効果トランジスタのしきい
値を可変とすることができる。したがって、順序回路を
動作する時は、低いしきい値でトランジスタを動作させ
るので高速アクセスでしかもその電力消費量は少なくて
済み、一方動作しない時には、pチャネル部のトランジ
スタのしきい値を電源電圧よりも高くなるようにすると
ともに、nチャネル部のトランジスタのしきい値をアー
ス電位よりも低くするようにすることができるので、順
序回路の電源からアースへ流れるリーク電流を低減する
ことができ、これにより記憶保持ノードにある保持デー
タを消失しない効果がある。さらに、上記バックゲート
を有するトランジスタを使用して順序回路を構成すれ
ば、しきい値が小さいトランジスタでこれを構成するこ
とが可能なので、マスク数の減少に伴う工程数の減少に
より製造コストの低減をもたらし、しかもでき上がりの
半導体集積回路装置のチップサイズを減少させることが
できるので製品歩留まりを向上する効果がある。
【0047】請求項4記載の発明によれば、組み合わせ
回路に用いられている第2の電界効果トランジスタのし
きい値電圧は、スイッチング手段に用いられている第3
の電界効果トランジスタのしきい値電圧よりも小さいよ
うに構成されているので、組み合わせ回路のゲートに送
られる制御信号のレベルを抑えるだけで論理動作を低消
費電力で高速に行うことができる効果がある。
【0048】請求項5記載の発明によれば、組み合わせ
回路に用いられている第2の電界効果トランジスタのし
きい値電圧は、スイッチング手段に用いられている第3
の電界効果トランジスタのしきい値電圧と略等しく、第
3の電界効果トランジスタはオフ状態にある場合には電
源電圧側のトランジスタとアース側のトランジスタとで
そのゲート・ソース間電圧を逆バイアスとするように構
成したので、上記スイッチング手段に用いられたトラン
ジスタもまた組み合わせ回路に用いられるもの並みにし
きい値の小さいトランジスタを適用できる。したがっ
て、一つの半導体集積回路に多種類のしきい値を有する
トランジスタを混在させないので、マスク数を減少して
製作工程を簡易にし製造コストを低減するという効果が
ある。
【0049】請求項6記載の発明によれば、組み合わせ
回路は複数の回路ブロックから成り、それぞれの回路ブ
ロックに対してスイッチング手段が個別に接続されてお
り、順序回路もまた複数の回路ブロックから成り、それ
ぞれの回路ブロックに含まれる第1の電界効果トランジ
スタのしきい値電圧を可変とする制御手段が個別に接続
されているように構成したので、半導体集積回路の消費
電力・アクセス速度などの諸条件を考慮しながら細かく
リーク電流を抑制でき順序回路の記憶保持データを消失
しないようにすることができる効果がある。
【0050】請求項7記載の発明によれば、制御信号が
反転手段と非反転手段を経由する際に、スイッチング手
段が有する第3の電界効果トランジスタのゲート・ソー
ス間にかかる電位を電源側とアース側とで、第1の昇圧
器と降圧器はそれぞれ別々に制御できるので、互いに逆
バイアスとすることができる。これにより単純な回路の
付加で組み合わせ回路のリーク電流を低減できるので低
消費電力化に寄与する効果がある。
【0051】請求項8記載の発明によれば、順序回路と
接続した制御手段は正電圧発生器と接続される第2の昇
圧器と負電圧発生器と接続される第2の降圧器とを備え
ており、正電圧発生器と負電圧発生器を簡易なマルチプ
レクサ回路から成るように構成したので、順序回路が動
作しない時には、マルチプレクサ回路を経由した制御信
号はバックゲートを介して昇圧器側と降圧器側とで順序
回路のリーク電流をより低減するように設定できる。し
たがって、単純で安価な回路の付加をするだけで記憶保
持データを消失せずに回路の消費電力をさらに低減でき
る効果がある。
【0052】請求項9記載の発明によれば、制御手段に
含まれる昇圧器・降圧器が、スイッチング手段に含まれ
るものと独立に構成するようにしたので、個別に出力電
圧を設定することができ、よりきめ細かいリーク電流の
低減を実現することができ、でき上がった半導体集積回
路装置全体の省電力化に寄与する効果がある。
【0053】請求項10記載の発明によれば、昇圧器お
よび降圧器を含む回路と、組み合わせ回路と順序回路と
を含む論理回路とが結合したように構成したので、集積
回路の昇圧器と降圧器とをこの論理回路に流用すれば、
付加的な回路の設定を省略することができるので半導体
集積回路装置全体のチップサイズを縮小化できる。しか
も、チップサイズの減少により1枚ウエーハ当たりの製
作コストの減少にも寄与できる効果がある。
【0054】請求項11記載の発明によれば、昇圧器と
降圧器とを有する集積回路がダイナミックランダムアク
セスメモリ(DRAM)からなるように構成したので、
論理回路とDRAMとの混成回路を作成することがで
き、通常DRAMはリフレッシュ動作等のために昇圧器
と降圧器とを具備するものであるので、これらを論理回
路動作用に使用するように設計することができる。した
がって、部品数の増大を招くことがなく混成回路全体の
占有面積の縮小化に寄与することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による半導体集積回
路の回路構成図である。
【図2】 この発明の実施の形態2による半導体集積回
路の回路構成図である。
【図3】 この発明の実施の形態3による半導体集積回
路の回路構成図である。
【図4】 この発明の実施の形態4による半導体集積回
路の回路構成図である。
【図5】 この発明の実施の形態5による半導体集積回
路の回路構成図である。
【図6】 この発明の実施の形態6による半導体集積回
路の回路構成図である。
【図7】 従来のMT−CMOSによる低電圧動作回路
の回路構成図である。
【図8】 従来のラッチ回路の回路構成図である。
【符号の説明】
5 pチャネルMOSFET(スイッチング手段)、6
nチャネルMOSFET(スイッチング手段)、11
組み合わせ回路、12 電源電圧、14,15 pチ
ャネルMOSFET(制御手段)、16,17 nチャ
ネルMOSFET(制御手段)、20 順序回路、2
1,211 〜21n 正電圧発生器(制御手段)、2
2,221 〜22n 負電圧発生器(制御手段)、2
3,24,231 〜23n ,241 〜24n バックゲ
ート用ノード(制御手段)、48 昇圧器(第1の昇圧
器,第2の昇圧器)、49 降圧器(第1の降圧器,第
2の降圧器)、581 〜58n ,591 〜59n マル
チプレクサ回路。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スイッチング手段と、該スイッチング手
    段に接続された組み合わせ回路と、第1の電界効果トラ
    ンジスタを含む順序回路と、上記第1の電界効果トラン
    ジスタのしきい値電圧を可変とする制御手段とを備えた
    半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 順序回路に含まれる第1の電界効果トラ
    ンジスタはバックゲートを有しており、制御手段はこの
    バックゲートを介して上記第1の電界効果トランジスタ
    のしきい値電圧を可変とすることを特徴とする請求項1
    記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 制御手段は正電圧発生器と負電圧発生器
    とを含むことを特徴とする請求項2記載の半導体集積回
    路。
  4. 【請求項4】 組み合わせ回路には第2の電界効果トラ
    ンジスタが含まれているとともに、スイッチング手段に
    は第3の電界効果トランジスタが含まれており、上記第
    2の電界効果トランジスタのしきい値電圧の絶対値より
    も上記第3の電界効果トランジスタのしきい値電圧の絶
    対値が高いことを特徴とする請求項1から請求項3のう
    ちのいずれか1項記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 組み合わせ回路には第2の電界効果トラ
    ンジスタが含まれており、スイッチング手段には少なく
    とも二つの第3の電界効果トランジスタが含まれてお
    り、その一方のトランジスタのソースが電源電圧に接続
    されているとともに他方のトランジスタのソースがアー
    ス電位に接続されている半導体集積回路において、上記
    第2の電界効果トランジスタのしきい値電圧の絶対値が
    上記第3の電界効果トランジスタのしきい値電圧の絶対
    値が略等しく、しかも上記第3の電界効果トランジスタ
    がオフ状態にある場合には電源電圧側のトランジスタと
    アース側のトランジスタとでゲート・ソース間電位を逆
    バイアスとすることを特徴とする請求項1から請求項3
    のうちのいずれか1項記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 組み合わせ回路は複数の第1の回路ブロ
    ックから成り、それぞれの第1の回路ブロックに対して
    スイッチング手段が個別に接続されており、順序回路も
    また複数の第2の回路ブロックから成り、それぞれの第
    2の回路ブロックに含まれる第1の電界効果トランジス
    タのしきい値電圧を可変とする制御手段が個別に接続さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回
    路。
  7. 【請求項7】 スイッチング手段は、電源電圧よりも高
    い電圧を発生させる第1の昇圧器と、アース電位よりも
    低い電圧を発生させる第1の降圧器と、上記第1の昇圧
    器と接続された反転手段と、上記第1の降圧器と接続さ
    れた非反転手段とを備えることを特徴とする請求項6記
    載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 制御手段は正電圧発生器と接続される第
    2の昇圧器と、負電圧発生器と接続される第2の降圧器
    とを備えており、上記正電圧発生器と負電圧発生器がマ
    ルチプレクサ回路から成ることを特徴とする請求項3記
    載の半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 制御手段に含まれる第2の昇圧器および
    第2の降圧器が、スイッチング手段に含まれる第1の昇
    圧器および第1の降圧器と異なることを特徴とする請求
    項8記載の半導体集積回路。
  10. 【請求項10】 組み合わせ回路と順序回路とを含む論
    理回路と、昇圧器と降圧器とを有する集積回路とを備え
    た半導体集積回路において、上記集積回路の昇圧器およ
    び降圧器を用いて、組み合わせ回路のスイッチング手段
    を駆動するとともに、順序回路に含まれるバックゲート
    を有する電界効果トランジスタのバックゲートを介して
    コントロールする制御手段を駆動することを特徴とする
    半導体集積回路。
  11. 【請求項11】 上記昇圧器と降圧器とを有する集積回
    路がダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)
    からなることを特徴とする請求項10記載の半導体集積
    回路。
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