JP7196165B2 - 金属不純物含有量の分析方法及び金属不純物含有量の分析キット - Google Patents
金属不純物含有量の分析方法及び金属不純物含有量の分析キット Download PDFInfo
- Publication number
- JP7196165B2 JP7196165B2 JP2020519895A JP2020519895A JP7196165B2 JP 7196165 B2 JP7196165 B2 JP 7196165B2 JP 2020519895 A JP2020519895 A JP 2020519895A JP 2020519895 A JP2020519895 A JP 2020519895A JP 7196165 B2 JP7196165 B2 JP 7196165B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- organic porous
- monolithic organic
- monolithic
- analyzed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012535 impurity Substances 0.000 title claims description 420
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 275
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 274
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title description 63
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 303
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 claims description 263
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims description 195
- 239000003480 eluent Substances 0.000 claims description 155
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 146
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 72
- 238000010828 elution Methods 0.000 claims description 52
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 51
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 45
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical group O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims description 4
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 87
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 78
- 238000005349 anion exchange Methods 0.000 description 73
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 69
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 64
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 64
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 62
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 56
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 51
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 33
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 31
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 30
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 29
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 26
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 26
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 25
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 23
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 22
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 22
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 description 22
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 20
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 18
- -1 poly(α-methylstyrene) Polymers 0.000 description 18
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 17
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 17
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 16
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 15
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 15
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 15
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 15
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 15
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 15
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 14
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 14
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 14
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 14
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 13
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 12
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 12
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 12
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 12
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 12
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 12
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 12
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 12
- 239000007762 w/o emulsion Substances 0.000 description 12
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 10
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 10
- XTHPWXDJESJLNJ-UHFFFAOYSA-N sulfurochloridic acid Chemical compound OS(Cl)(=O)=O XTHPWXDJESJLNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000003809 water extraction Methods 0.000 description 9
- 238000002459 porosimetry Methods 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical group CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N decan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCO MWKFXSUHUHTGQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 6
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 6
- SLBOQBILGNEPEB-UHFFFAOYSA-N 1-chloroprop-2-enylbenzene Chemical compound C=CC(Cl)C1=CC=CC=C1 SLBOQBILGNEPEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound CC(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)C WYGWHHGCAGTUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 5
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 5
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 5
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 5
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 4
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 description 4
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 4
- 125000002843 carboxylic acid group Chemical group 0.000 description 4
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 4
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 4
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 4
- USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L potassium persulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZORQXIQZAOLNGE-UHFFFAOYSA-N 1,1-difluorocyclohexane Chemical compound FC1(F)CCCCC1 ZORQXIQZAOLNGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HOBGCONPBCCQHM-UHFFFAOYSA-N 2-(methylamino)ethane-1,1-diol Chemical group CNCC(O)O HOBGCONPBCCQHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PYSGFFTXMUWEOT-UHFFFAOYSA-N 3-(dimethylamino)propan-1-ol Chemical group CN(C)CCCO PYSGFFTXMUWEOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 3
- YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N Lauroyl peroxide Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OOC(=O)CCCCCCCCCCC YIVJZNGAASQVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylaminoethanol Chemical group CN(C)CCO UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical group CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N abcn Chemical compound C1CCCCC1(C#N)N=NC1(C#N)CCCCC1 KYIKRXIYLAGAKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 125000004218 chloromethyl group Chemical group [H]C([H])(Cl)* 0.000 description 3
- 229920006037 cross link polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229960002089 ferrous chloride Drugs 0.000 description 3
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 3
- NBZBKCUXIYYUSX-UHFFFAOYSA-N iminodiacetic acid Chemical group OC(=O)CNCC(O)=O NBZBKCUXIYYUSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004255 ion exchange chromatography Methods 0.000 description 3
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 description 3
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 3
- 150000002891 organic anions Chemical class 0.000 description 3
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 3
- 125000005496 phosphonium group Chemical group 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000001593 sorbitan monooleate Substances 0.000 description 3
- 235000011069 sorbitan monooleate Nutrition 0.000 description 3
- 229940035049 sorbitan monooleate Drugs 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O sulfonium group Chemical group [SH3+] RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 3
- KUAZQDVKQLNFPE-UHFFFAOYSA-N thiram Chemical compound CN(C)C(=S)SSC(=S)N(C)C KUAZQDVKQLNFPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229960002447 thiram Drugs 0.000 description 3
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical group CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CHRJZRDFSQHIFI-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.C=CC1=CC=CC=C1C=C CHRJZRDFSQHIFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QLLUAUADIMPKIH-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=C(C=C)C(C=C)=CC=C21 QLLUAUADIMPKIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005968 1-Decanol Substances 0.000 description 2
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XIRPMPKSZHNMST-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2-phenylbenzene Chemical group C=CC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 XIRPMPKSZHNMST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IYSVFZBXZVPIFA-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-(4-ethenylphenyl)benzene Chemical group C1=CC(C=C)=CC=C1C1=CC=C(C=C)C=C1 IYSVFZBXZVPIFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 1-vinylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C=C)=CC=CC2=C1 IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AVTLBBWTUPQRAY-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanobutan-2-yldiazenyl)-2-methylbutanenitrile Chemical compound CCC(C)(C#N)N=NC(C)(CC)C#N AVTLBBWTUPQRAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PFHOSZAOXCYAGJ-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-cyano-4-methoxy-4-methylpentan-2-yl)diazenyl]-4-methoxy-2,4-dimethylpentanenitrile Chemical compound COC(C)(C)CC(C)(C#N)N=NC(C)(C#N)CC(C)(C)OC PFHOSZAOXCYAGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexan-1-ol Chemical compound CCCCC(CC)CO YIWUKEYIRIRTPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C(C)=C WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDOUZKKFHVEKRI-UHFFFAOYSA-N 3-bromo-n-[(prop-2-enoylamino)methyl]propanamide Chemical compound BrCCC(=O)NCNC(=O)C=C CDOUZKKFHVEKRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VFXXTYGQYWRHJP-UHFFFAOYSA-N 4,4'-azobis(4-cyanopentanoic acid) Chemical compound OC(=O)CCC(C)(C#N)N=NC(C)(CCC(O)=O)C#N VFXXTYGQYWRHJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 4-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCOC(=O)C=C JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XZIIFPSPUDAGJM-UHFFFAOYSA-N 6-chloro-2-n,2-n-diethylpyrimidine-2,4-diamine Chemical compound CCN(CC)C1=NC(N)=CC(Cl)=N1 XZIIFPSPUDAGJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XJUZRXYOEPSWMB-UHFFFAOYSA-N Chloromethyl methyl ether Chemical compound COCCl XJUZRXYOEPSWMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical compound CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N Methylacrylonitrile Chemical compound CC(=C)C#N GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- IYFATESGLOUGBX-YVNJGZBMSA-N Sorbitan monopalmitate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O IYFATESGLOUGBX-YVNJGZBMSA-N 0.000 description 2
- HVUMOYIDDBPOLL-XWVZOOPGSA-N Sorbitan monostearate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O HVUMOYIDDBPOLL-XWVZOOPGSA-N 0.000 description 2
- 239000004147 Sorbitan trioleate Substances 0.000 description 2
- PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N Sorbitan trioleate Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OC[C@@H](OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N 0.000 description 2
- 238000000944 Soxhlet extraction Methods 0.000 description 2
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- INLLPKCGLOXCIV-UHFFFAOYSA-N bromoethene Chemical compound BrC=C INLLPKCGLOXCIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 239000012295 chemical reaction liquid Substances 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 229940061627 chloromethyl methyl ether Drugs 0.000 description 2
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCC1 OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- REZZEXDLIUJMMS-UHFFFAOYSA-M dimethyldioctadecylammonium chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CCCCCCCCCCCCCCCCCC REZZEXDLIUJMMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 235000019329 dioctyl sodium sulphosuccinate Nutrition 0.000 description 2
- 239000004664 distearyldimethylammonium chloride (DHTDMAC) Substances 0.000 description 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 2
- LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N dodecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCO LQZZUXJYWNFBMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N dodecyl benzenesulfonate;sodium Chemical compound [Na].CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009881 electrostatic interaction Effects 0.000 description 2
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N ethyl propionate Chemical compound CCOC(=O)CC FKRCODPIKNYEAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 2
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 2
- DVEKCXOJTLDBFE-UHFFFAOYSA-N n-dodecyl-n,n-dimethylglycinate Chemical compound CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CC([O-])=O DVEKCXOJTLDBFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLDOVTGHNKAZLK-UHFFFAOYSA-N octadecan-1-ol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCO GLDOVTGHNKAZLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OXUCOTSGWGNWGC-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCC[CH2-] OXUCOTSGWGNWGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 2
- 229920003251 poly(α-methylstyrene) Polymers 0.000 description 2
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920002102 polyvinyl toluene Polymers 0.000 description 2
- 229940096992 potassium oleate Drugs 0.000 description 2
- MLICVSDCCDDWMD-KVVVOXFISA-M potassium;(z)-octadec-9-enoate Chemical compound [K+].CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC([O-])=O MLICVSDCCDDWMD-KVVVOXFISA-M 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=C NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229940035044 sorbitan monolaurate Drugs 0.000 description 2
- 235000011071 sorbitan monopalmitate Nutrition 0.000 description 2
- 239000001570 sorbitan monopalmitate Substances 0.000 description 2
- 229940031953 sorbitan monopalmitate Drugs 0.000 description 2
- 239000001587 sorbitan monostearate Substances 0.000 description 2
- 235000011076 sorbitan monostearate Nutrition 0.000 description 2
- 229940035048 sorbitan monostearate Drugs 0.000 description 2
- 235000019337 sorbitan trioleate Nutrition 0.000 description 2
- 229960000391 sorbitan trioleate Drugs 0.000 description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QENRKQYUEGJNNZ-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(prop-2-enoylamino)propane-1-sulfonic acid Chemical compound CC(C)C(S(O)(=O)=O)NC(=O)C=C QENRKQYUEGJNNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YICILWNDMQTUIY-UHFFFAOYSA-N 2-methylidenepentanamide Chemical compound CCCC(=C)C(N)=O YICILWNDMQTUIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWTYTFSSTWXZFU-UHFFFAOYSA-N 3-chloroprop-1-enylbenzene Chemical compound ClCC=CC1=CC=CC=C1 IWTYTFSSTWXZFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108091006522 Anion exchangers Proteins 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical group OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical group CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N Isooctane Chemical compound CC(C)CC(C)(C)C NHTMVDHEPJAVLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-O Methylammonium ion Chemical compound [NH3+]C BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229920001214 Polysorbate 60 Polymers 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910021627 Tin(IV) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O ammonium group Chemical group [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052789 astatine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000004292 cyclic ethers Chemical class 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- NKDDWNXOKDWJAK-UHFFFAOYSA-N dimethoxymethane Chemical compound COCOC NKDDWNXOKDWJAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N dimethyl-hexane Natural products CCCCCC(C)C JVSWJIKNEAIKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- HXOGLFGRVSRSOZ-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate;methyl prop-2-enoate Chemical compound COC(=O)C=C.CCC(=O)OC=C HXOGLFGRVSRSOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- 238000010559 graft polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQNPFQTWMSNSAP-UHFFFAOYSA-N isobutyric acid Chemical compound CC(C)C(O)=O KQNPFQTWMSNSAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N isopropanol acetate Natural products CC(C)OC(C)=O JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940011051 isopropyl acetate Drugs 0.000 description 1
- GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-M isovalerate Chemical compound CC(C)CC([O-])=O GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012452 mother liquor Substances 0.000 description 1
- QYZFTMMPKCOTAN-UHFFFAOYSA-N n-[2-(2-hydroxyethylamino)ethyl]-2-[[1-[2-(2-hydroxyethylamino)ethylamino]-2-methyl-1-oxopropan-2-yl]diazenyl]-2-methylpropanamide Chemical compound OCCNCCNC(=O)C(C)(C)N=NC(C)(C)C(=O)NCCNCCO QYZFTMMPKCOTAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOQYKNQRPGWPLP-UHFFFAOYSA-N n-heptadecyl alcohol Natural products CCCCCCCCCCCCCCCCCO GOQYKNQRPGWPLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002892 organic cations Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L peroxydisulfate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O JRKICGRDRMAZLK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920002454 poly(glycidyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000120 polyethyl acrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 239000000244 polyoxyethylene sorbitan monooleate Substances 0.000 description 1
- 235000010482 polyoxyethylene sorbitan monooleate Nutrition 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000053 polysorbate 80 Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 229930195734 saturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L sodium sulphite Substances [Na+].[Na+].[O-]S([O-])=O GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MNCGMVDMOKPCSQ-UHFFFAOYSA-M sodium;2-phenylethenesulfonate Chemical compound [Na+].[O-]S(=O)(=O)C=CC1=CC=CC=C1 MNCGMVDMOKPCSQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid;sulfur trioxide Chemical compound O=S(=O)=O.OS(O)(=O)=O HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001302 tertiary amino group Chemical group 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 1
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/96—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation using ion-exchange
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/18—Water
- G01N33/1813—Specific cations in water, e.g. heavy metals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/281—Sorbents specially adapted for preparative, analytical or investigative chromatography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/04—Processes using organic exchangers
- B01J39/05—Processes using organic exchangers in the strongly acidic form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/08—Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
- B01J39/16—Organic material
- B01J39/18—Macromolecular compounds
- B01J39/20—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving unsaturated carbon-to-carbon bonds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J41/00—Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/04—Processes using organic exchangers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J41/00—Anion exchange; Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/08—Use of material as anion exchangers; Treatment of material for improving the anion exchange properties
- B01J41/12—Macromolecular compounds
- B01J41/14—Macromolecular compounds obtained by reactions only involving unsaturated carbon-to-carbon bonds
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/18—Water
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
すなわち、本発明(1)は、分析対象水を、モノリス状有機多孔質アニオン交換体に通液することにより、該分析対象水中の金属不純物を、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体に捕捉させる不純物捕捉工程(1)と、
溶離液を、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質アニオン交換体に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(1)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(1)と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法を提供するものである。
溶離液を、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質カチオン交換体に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(2)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(2)と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法を提供するものである。
溶離液を、先に、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質カチオン交換体、次いで、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体の順、又は先に、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質アニオン交換体、次いで、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体の順に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体及び該モノリス状有機多孔質アニオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(3)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(3)と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法を提供するものである。
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析キットを提供するものである。
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析キットを提供するものである。
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析キットを提供するものである。
溶離液を、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質アニオン交換体に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(1)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(1)と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法である。
溶離液を、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質カチオン交換体に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(2)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(2)と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法である。
溶離液を、先に、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質カチオン交換体、次いで、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体の順、又は先に、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質アニオン交換体、次いで、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体の順に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体及び該モノリス状有機多孔質アニオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(3)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(3)と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法である。
モノリスアニオン交換体の形態例としては、以下に示す第1のモノリスアニオン交換体や第2のモノリスアニオン交換体が挙げられる。また、アニオン交換基が導入されるモノリスの形態例としては、以下に示す第1のモノリスや第2のモノリスが挙げられる。
第1のモノリスアニオン交換体は、互いにつながっているマクロポアとマクロポアの壁内に平均直径が乾燥状態で1~1000μmの共通の開口(メソポア)を有する連続気泡構造を有し、乾燥状態での全細孔容積が1~50mL/gであり、アニオン交換基を有しており、アニオン交換基が均一に分布しており、水湿潤状態での体積当りのアニオン交換容量は、0.1~1.0mg当量/mL(水湿潤状態)であるモノリスアニオン交換体である。また、第1のモノリスは、アニオン交換基が導入される前のモノリスであり、互いにつながっているマクロポアとマクロポアの壁内に平均直径が乾燥状態で1~1000μmの共通の開口(メソポア)を有する連続気泡構造を有し、乾燥状態での全細孔容積が1~50mL/gである有機多孔質体である。
第1のモノリスの製造方法としては、特に制限されないが、特開2002-306976号公報記載の方法に準じた、製造方法の一例を以下示す。すなわち、第1のモノリスは、イオン交換基を含まない油溶性モノマー、界面活性剤、水及び必要に応じて重合開始剤とを混合し、油中水滴型エマルジョンを得、これを重合させてモノリスを形成することにより得られる。このような、第1のモノリスの製造方法は、モノリスの多孔構造の制御が容易である点で、好ましい。
第2のモノリスアニオン交換体は、全構成単位中、架橋構造単位を0.1~5.0モル%含有する芳香族ビニルポリマーからなる平均太さが乾燥状態で1~60μmの三次元的に連続した骨格と、その骨格間に平均直径が乾燥状態で10~200μmの三次元的に連続した空孔とからなる共連続構造体であって、乾燥状態での全細孔容積が0.5~10mL/gであり、アニオン交換基を有しており、水湿潤状態での体積当りのアニオン交換容量が、0.2~1.0mg当量/mL(水湿潤状態)であり、アニオン交換基が有機多孔質アニオン交換体中に均一に分布しているモノリスアニオン交換体である。また、第2のモノリスは、アニオン交換基が導入される前のモノリスであり、全構成単位中、架橋構造単位を0.1~5.0モル%含有する芳香族ビニルポリマーからなる平均太さが乾燥状態で1~60μmの三次元的に連続した骨格と、その骨格間に平均直径が乾燥状態で10~200μmの三次元的に連続した空孔とからなる共連続構造体であって、乾燥状態での全細孔容積が0.5~10mL/gである有機多孔質体である。
第2のモノリスは、イオン交換基を含まない油溶性モノマー、界面活性剤及び水の混合物を撹拌することにより油中水滴型エマルジョンを調製し、次いで油中水滴型エマルジョンを重合させて全細孔容積が16mL/gを超え、30mL/g以下の連続マクロポア構造のモノリス状の有機多孔質中間体(以下、モノリス中間体(2)とも記載する。)を得るI工程、芳香族ビニルモノマー、一分子中に少なくとも2個以上のビニル基を有する全油溶性モノマー中、0.3~5モル%の架橋剤、芳香族ビニルモノマーや架橋剤は溶解するが芳香族ビニルモノマーが重合して生成するポリマーは溶解しない有機溶媒及び重合開始剤からなる混合物を調製するII工程、II工程で得られた混合物を静置下、且つI工程で得られたモノリス中間体(2)の存在下に重合を行い、共連続構造体である有機多孔質体である第2のモノリスを得るIII工程、を行うことにより得られる。
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析キット(分析装置)である。
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析キット(分析装置)である。
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析キット(分析装置)である。
(参考例1)
<第2のモノリスアニオン交換体及び第2のモノリスカチオン交換体の製造>
(I工程;モノリス中間体の製造)
スチレン5.4g、ジビニルベンゼン0.17g、ソルビタンモノオレエート(以下SMOと略す)1.4gおよび2,2’-アゾビス(イソブチロニトリル)0.26gを混合し、均一に溶解させた。次に、当該スチレン/ジビニルベンゼン/SMO/2,2’-アゾビス(イソブチロニトリル)混合物を180gの純水に添加し、遊星式撹拌装置である真空撹拌脱泡ミキサー(イーエムイー社製)を用いて5~20℃の温度範囲において減圧下撹拌して、油中水滴型エマルションを得た。このエマルションを速やかに反応容器に移し、密封後静置下で60℃、24時間重合させた。重合終了後、内容物を取り出し、メタノールで抽出した後、減圧乾燥して、連続マクロポア構造を有するモノリス中間体を製造した。このようにして得られたモノリス中間体(乾燥体)の内部構造をSEM画像により観察したところ、隣接する2つのマクロポアを区画する壁部は極めて細く棒状であるものの、連続気泡構造を有しており、水銀圧入法により測定したマクロポアとマクロポアが重なる部分の開口(メソポア)の平均直径は70μm、全細孔容積は21.0ml/gであった。
次いで、スチレン76.0g、ジビニルベンゼン4.0g、1-デカノール120g、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)0.8gを混合し、均一に溶解させた(II工程)。次に上記モノリス中間体を直径70mm、厚さ約40mmの円盤状に切断して4.1gを分取した。分取したモノリス中間体を内径110mmの反応容器に入れ、当該スチレン/ジビニルベンゼン/1-デカノール/2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)混合物に浸漬させ、減圧チャンバー中で脱泡した後、反応容器を密封し、静置下60℃で24時間重合させた。重合終了後、厚さ約60mmのモノリス状の内容物を取り出し、アセトンでソックスレー抽出した後、85℃で一夜減圧乾燥した(III工程)。
上上記の方法で製造したモノリスを、直径70mm、厚み約50mmの円盤状に切断した。これにジメトキシメタン4700ml、四塩化スズ67mlを加え、氷冷下クロロ硫酸1870mlを滴下した。滴下終了後、昇温して35℃で5時間反応させ、クロロメチル基を導入した。反応終了後、母液をサイフォンで抜き出し、THF/水=2/1の混合溶媒で洗浄した後、更にTHFで洗浄した。このクロロメチル化モノリス状有機多孔質体にTHF3400mlとトリメチルアミン30%水溶液2000mlを加え、60℃、6時間反応させた。反応終了後、生成物をメタノール/水混合溶媒で洗浄し、次いで純水で洗浄して単離した。して共連続構造を有するモノリスアニオン交換体Aを得た。
上記の方法で製造したモノリスを、直径75mm、厚み約15mmの円盤状に切断した。モノリスの重量は18gであった。これにジクロロメタン1500mlを加え、35℃で1時間加熱した後、10℃以下まで冷却し、クロロ硫酸99gを徐々に加え、昇温して35℃で24時間反応させた。その後、メタノールを加え、残存するクロロ硫酸をクエンチした後、メタノールで洗浄してジクロロメタンを除き、更に純水で洗浄して共連続構造を有するモノリスカチオン交換体Bを得た。
得られたモノリスアニオン交換体Aを一部切り出し、乾燥させた後、その内部構造をSEMにより観察したところ、当該モノリスアニオン交換体は共連続構造を維持していることを確認した。また、該モノリスアニオン交換体Aの反応前後の膨潤率は1.4倍であり、体積当りのアニオン交換容量は水湿潤状態で0.72mg当量/mlであった。水湿潤状態でのモノリスの連続空孔の大きさを、モノリスの値と水湿潤状態のカチオン交換体の膨潤率から見積もったところ70μmであり、骨格の直径は23μm、全細孔容積は2.9ml/gであった。
また、得られたモノリスカチオン交換体Bを一部切り出し、乾燥させた後、その内部構造をSEMにより観察したところ、当該モノリスカチオン交換体は共連続構造を維持していることを確認した。また、該モノリスカチオン交換体Bの反応前後の膨潤率は1.4倍であり、体積当りのカチオン交換容量は水湿潤状態で0.72mg当量/mlであった。水湿潤状態でのモノリスの連続空孔の大きさを、モノリスの値と水湿潤状態のカチオン交換体の膨潤率から見積もったところ70μmであり、骨格の直径は23μm、全細孔容積は2.9ml/gであった。
モノリスアニオン交換体Aを、直径10mm×高さ20mmの形状に切り出し、PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)製の充填容器に充填した。次いで、充填容器内に、後述する試験水1を、表1に示す条件で、33mL/min.(SV=1274h-1)で、通液し、モノリスアニオン交換体Aへの試験水1の通液を行った。このときの試験水1の総通液量は100mLである。
次いで、回収液を、ICP-MSで測定し、各イオン性不純物元素の濃度を測定した。
次いで、試験水中の各イオン性不純物元素の濃度及び総通液量から算出される通液した試験水中の各イオン性不純物元素の総量と、回収液中の各イオン性不純物元素の濃度及び液の通液量から算出される回収液中の各イオン性不純物元素の総回収量とから、モノリスアニオン交換体Aに吸着された各イオン性不純物元素の吸着量を求めた。そして、通液した試験水中の各イオン性不純物元素の総量に対するモノリスアニオン交換体Aに吸着された各イオン性不純物元素の総回収量の百分率を求めた。その結果を表2に示す。
Li、B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Cd、Sn、Ba、Pbが、それぞれ2000ng/Lとなるように調整された試験水。
試験水及び処理水中の各元素の含有量を、ICP-MS(アジレントテクノロジー社製、7500cs)にて測定した。
なお、ICP-MSでの含有量の分析においては、予め、複数の含有量の標準試料を用いてカウント値(CPS)と金属含有量の検量線を作製しておき、試験サンプル(試験水又は処理水)を測定し、検量線に基づいて、そのカウント値に対応する金属含有量を、試験水又は処理水の金属含有量とした。
モノリスカチオン交換体Bを、表1に示す形状に切り出し、表1に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表2に示す。
モノリスアニオン交換体A及びモノリスカチオン交換体Bを、いずれも表1に示す形状に切り出し、充填容器に、前段にモノリスカチオン交換体Bを、後段にモノリスアニオン交換体Aを充填し、表1に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表2に示す。
モノリスアニオン交換体A及びモノリスカチオン交換体Bを、いずれも表1に示す形状に切り出し、充填容器に、前段にモノリスアニオン交換体Aを、後段にモノリスカチオン交換体Bを充填し、表1に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表2に示す。
粒状のアニオン交換樹脂(ダウケミカル社製、AMBERJET ESG 4002(OH)、平均粒径0.5~0.65μm、湿潤状態のイオン交換容量1.25mg当量/g、アニオン交換基:四級アンモニウム)を、表1に示す形状の充填層が形成されるように充填容器に充填し、表1に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表2に示す。
粒状のカチオン交換樹脂(ダウケミカル社製、型番AMBERJET 1024(H)、平均粒径 0.60~0.70mm、湿潤状態のイオン交換容量2.1mg当量/g以上、カチオン交換基:スルホン酸基)を、表1に示す形状の充填層が形成されるように充填容器に充填し、表1に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表2に示す。
比較例2で用いた粒状のアニオン交換樹脂と比較例3で用いた粒状のカチオン交換樹脂とを、体積比で1:1で混合し、表1に示す形状の充填層が形成されるように充填容器に充填し、表1に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表2に示す。
T.Hori et al., J.Membr.Sci., 132(1997)203-211に記載の方法により膜モジュールを作製した(膜1g当たりのイオン交換基:1.6ミリ当量、平均孔径;0.1μm、交換基;スルホン酸基)。次いで、膜モジュール内に、試験水を、76mL/min.(SV=1274h-1)で供給し、カチオン吸着膜への試験水の通液を行った。このときの試験水の総通液量は100mLである。
次いで、回収液を、ICP-MSで測定し、各イオン性不純物元素の濃度を測定した。
次いで、実施例1と同様にして、通液した試験水中の各イオン性不純物元素の総量に対する回収液中の各イオン性不純物元素の総回収量の百分率を求めた。その結果を表2に示す。
実施例2のモノリス状有機多孔質カチオン交換体は、B、As、Cd以外については、優れた吸着性能を示した。
実施例3及び4からは、モノリス状有機多孔質カチオン交換体とモノリス状有機多孔質アニオン交換体を、組み合わせることにより、上記元素の全てを完全に吸着することができた。特に、Cdついては、単独では、モノリス状有機多孔質カチオン交換体及びモノリス状有機多孔質アニオン交換体のいずれも、吸着性能が不十分であるのに対し、モノリス状有機多孔質カチオン交換体とモノリス状有機多孔質アニオン交換体を、組み合わせることにより、完全に吸着することができた。
一方、イオン交換樹脂を用いる比較例1~3では、いずれも、モノリス状有機多孔質カチオン交換体又はモノリス状有機多孔質アニオン交換体に比べ、吸着性能が大きく劣っていた。
また、比較例4のカチオン交換膜を用いる場合は、B、As、Cd以外については、優れた吸着性能を示し、モノリス状有機多孔質カチオン交換体と同程度の吸着性能を示した。
モノリスアニオン交換体Aを、直径10mm×高さ20mmの形状に切り出し、PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)製の充填容器に充填した。次いで、充填容器内に、試験水を、表3に示す条件で、33mL/min.(SV=1274h-1)で、通液し、モノリスアニオン交換体Aへの試験水1の通液を行った。このときの試験水1の総通液量は100mLである。
次いで、モノリスアニオン交換体Aへ、溶離液として1N硝酸水溶液(多摩化学工業株式会社製 TAMAPURE-AA-10、表2及び表4中の金属元素の含有量がいずれも10ppt以下)を200mL通液を行い、回収溶離液を得た。なお、1N硝酸水溶液の通液については、総通液量として200mLを通液し、0~100mLでは20mLずつ分取し、100~200mLでは100mLを回収した。
次いで、回収溶離液を、ICP-MSで測定し、各イオン性不純物元素の濃度を測定した。
次いで、試験水中の各イオン性不純物元素の濃度及び総通液量から算出される通液した試験水中の各イオン性不純物元素の総量と、回収溶離液中の各イオン性不純物元素の濃度及び溶離液の通液量から算出される回収溶離液中の各イオン性不純物元素の総溶離回収量とを求めた。そして、通液した試験水中の各イオン性不純物元素の総量に対する回収溶離液中の各イオン性不純物元素の総溶離回収量の百分率を求めた。その結果を表4に示す。なお、表2中の回収量欄については、回収欄の「20ml」とは「回収液の積算0~20mlまでの回収液」を指し、回収欄の「40ml」とは「回収液の積算0~40mlまでの回収液」を指し、回収欄の「60ml」とは「回収液の積算0~60mlまでの回収液」を指し、回収欄の「80ml」とは「回収液の積算0~80mlまでの回収液」を指し、回収欄の「100ml」とは「回収液の積算0~100mlまでの回収液」を指し、回収欄の「200ml」とは「回収液の積算0~200mlまでの回収液」を指す。以下の表5~表8についても同じ。
モノリスカチオン交換体Bを、表3に示す形状に切り出し、表3に示す条件で通液すること以外は、実施例5と同様に行った。その結果を表5に示す。
モノリスアニオン交換体A及びモノリスカチオン交換体Bを、いずれも表3に示す形状に切り出し、充填容器に、前段にモノリスカチオン交換体Bを、後段にモノリスアニオン交換体Aを充填し、表3に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表6に示す。
モノリスアニオン交換体A及びモノリスカチオン交換体Bを、いずれも表3に示す形状に切り出し、充填容器に、前段にモノリスアニオン交換体Aを、後段にモノリスカチオン交換体Bを充填し、表3に示す条件で通液すること以外は、実施例1と同様に行った。その結果を表7に示す。
比較例4で用いた膜モジュールを作製した。次いで、膜モジュール内に、試験水を、表3に示す条件で、供給し、カチオン吸着膜への試験水の通液を行った。
次いで、カチオン吸着膜に、溶離液として1N硝酸水溶液を200mL通液を行い、回収溶離液を得た。なお、1N硝酸水溶液の通液については、総通液量として200mLを通液し、0~100mLでは20mLずつ分取し、100~200mLでは100mLを回収した。
次いで、回収溶離液を、ICP-MSで測定し、各イオン性不純物元素の濃度を測定した。
次いで、試験水中の各イオン性不純物元素の濃度及び総通液量から算出される通液した試験水中の各イオン性不純物元素の総量と、回収溶離液中の各イオン性不純物元素の濃度及び溶離液の通液量から算出される回収溶離液中の各イオン性不純物元素の総溶離回収量とを求めた。そして、通液した試験水中の各イオン性不純物元素の総量に対する回収溶離液中の各イオン性不純物元素の総溶離回収量の百分率を求めた。その結果を表8に示す。
実施例6のモノリス状有機多孔質カチオン交換体は、B、As以外については、優れた吸着性能を示した。
実施例7及び8からは、モノリス状有機多孔質カチオン交換体とモノリス状有機多孔質アニオン交換体を、組み合わせることにより、上記元素の全てを完全に回収することができた。
また、比較例5のカチオン交換膜を用いる場合は、B、Ti、V、Cr、MnFe、As、Ba以外については、優れた回収性能を示した。
試験水2として、平均粒径5nm(粒径4nm以上6nm未満)のFe3O4微粒子、平均粒径10nm(粒径9nm以上11nm未満)のFe3O4微粒子、平均粒径30nm(粒径29nm以上31nm未満)のFe3O4微粒子の含有量が1000ng/Lとなるように調整された試験水を用意した。
なお、試験水2のFe3O4微粒子は、SHIGMA-ALDRICH社製の「酸化鉄溶液」より調整した。また、粒径については、透過型電子顕微鏡(TEM)にて測定した。
(分析)
試験水及び回収溶離液中の各微粒子の濃度を、ICP-MSで測定することにより求めた。
なお、ICP-MSでの含有量の分析においては、予め、複数の含有量の標準試料を用いてカウント値(CPS)と金属粒子含有量の検量線を作製しておき、試験サンプル(試験水又は処理水)を測定し、検量線に基づいて、そのカウント値に対応する金属粒子含有量を、試験水又は処理水の金属粒子含有量とした。
実施例7及び8からは、モノリス状有機多孔質カチオン交換体とモノリス状有機多孔質アニオン交換体を、組み合わせることにより、粒径の異なるFe粒子を完全に吸着することができた。
また、比較例5のカチオン交換膜を用いる場合は、モノリス状有機多孔質カチオン交換体と同程度の吸着性能を示した。
次いで、回収溶離液を(ICP-MS)で測定し、各微粒子の含有量を測定した。なお、モノリス状有機多孔質イオン交換体に吸着した金属不純物微粒子は、硝酸等の酸での溶離により、回収溶離液中ではイオンの状態で存在する。また、ICP-MSでは高温でイオン化を行う。そのため、金属不純物微粒子等の固体であってもイオン化して分析が可能である。
次いで、試験水2中の各微粒子の含有量及び総通液量から算出される通液した試験水2中の各微粒子の総量と、回収溶離液中の各微粒子の含有量及び溶離液の通液量から算出される回収溶離液中の各微粒子の総溶離回収量とを求めた。そして、通液した試験水2中の各微粒子の総量に対する回収溶離液中の各微粒子の総溶離回収量の百分率を求めた。その結果を表10に示す。
実施例7及び8からは、モノリス状有機多孔質カチオン交換体とモノリス状有機多孔質アニオン交換体を、組み合わせることにより、各粒径のFe粒子を完全に回収することができた。
また、実施例6のモノリス状有機多孔質カチオン交換体、および比較例5のカチオン交換膜は同等の回収性能を示した。
モノリスカチオン交換体Bを、直径10mm×高さ20mmの形状に切り出し、PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)製の充填容器に充填した。次いで、充填容器内に、後述する試験水3を、表11に示す条件で、通液し、モノリスカチオン交換体Bへの試験水3の通液を行った。
次いで、充填容器内に、溶離液として1N硝酸水溶液を表11に示す量供給し、イオン交換体への1N硝酸水溶液の通液を行い、回収溶離液を得た。
次いで、回収溶離液を(ICP-MS)で測定し、各イオン性不純物元素の含有量を測定した。
次いで、試験水3の総通液量と、回収溶離液中の各イオン性不純物元素の含有量及び溶離液の通液量から、試験水3中の各イオン性不純物元素の含有量を求めた。その結果を表12に示す。
なお、本実施例におけるブランク値は10ng/L未満である。本実施例において、ブランク値とは、ICP-MSの定量下限値又はモノリスからの金属溶出量のうち高い数値のほうを指す。例えば、ブランク値が10ng/L未満であるのに対し、試験水に要求される定量下限値0.001ng/Lの場合、濃縮倍率として10000倍が必要であるので、溶離液の通水量の10000倍の通水量が必要となる。
試験水3として、超純水製造設備から採取した超純水を用意した。
比較例4と同じ方法で膜モジュールを作製した(膜1g当たりのイオン交換基:1.6ミリ当量、平均孔径:0.1μm、交換基:スルホン酸基)。次いで、膜モジュールに後述する試験水3を表11に示す条件で通液し、膜モジュールへの試験水3の通液を行った。
以後は、実施例9と同様の手順で行った。そして、試験水3の総通液量と、回収溶離液中の各イオン性不純物元素の含有量及び溶離液の通液量から、試験水3中の各イオン性不純物元素の含有量を求めた。その結果を表12に示す。
モノリスアニオン交換体Aを、直径10mm×高さ20mmの形状に切り出し、PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)製の充填容器に充填した。次いで、充填容器内に、後述する試験水3を、表13に示す条件で、通液し、モノリスアニオン交換体Aへの試験水3の通液を行った。
以後は、実施例9と同様の手順で行った。そして、試験水3の総通液量と、回収溶離液中の各イオン性不純物元素(B)の含有量及び溶離液の通液量から、試験水3中の各イオン性不純物元素(B)の含有量を求めた。その結果、回収溶離液中のBの含有量は30pptであった。この値は、ICP-MSの定量下限値である10pptを超えていた。回収溶離液中のBの含有量から算出される試験水3中のB含有量は、0.3pptである。
11 超純水製造装置
12 ユースポイント
13 超純水移送管
14 分析対象水抜出管
15 第一分岐管
16、19、27 フローセル
17、20、28 積算流量計
18 第二分岐管
21 超純水
22 溶離液
23 溶離液の導入管
24、25 回収溶離液
26 分析キット
Claims (8)
- 分析対象水を、モノリス状有機多孔質アニオン交換体に通液することにより、該分析対象水中の金属不純物を、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体に捕捉させる不純物捕捉工程(1)と、
溶離液を、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質アニオン交換体に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(1)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(1)と、
を有すること、
該溶離液が、0.1~2.0Nの硝酸又は塩酸であり、且つ、各金属不純物の含有量が100ppt以下の硝酸又は塩酸であること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法。 - 分析対象水を、モノリス状有機多孔質カチオン交換体に通液することにより、該分析対象水中の金属不純物を、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体に捕捉させる不純物捕捉工程(2)と、
溶離液を、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質カチオン交換体に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(2)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(2)と、
を有すること、
該溶離液が、0.1~2.0Nの硝酸又は塩酸であり、且つ、各金属不純物の含有量が100ppt以下の硝酸又は塩酸であること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法。 - 分析対象水を、先に、モノリス状有機多孔質カチオン交換体、次いで、モノリス状有機多孔質アニオン交換体の順、又は先に、モノリス状有機多孔質アニオン交換体、次いで、モノリス状有機多孔質カチオン交換体の順に通液し、該分析対象水中の金属不純物を、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体及び該モノリス状有機多孔質アニオン交換体に捕捉させる不純物捕捉工程(3)と、
溶離液を、先に、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質カチオン交換体、次いで、該モノリス状有機多孔質アニオン交換体の順、又は先に、該分析対象水中の金属不純物を捕捉させた該モノリス状有機多孔質アニオン交換体、次いで、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体の順に通液し、排出液を回収することにより、該モノリス状有機多孔質カチオン交換体及び該モノリス状有機多孔質アニオン交換体から溶離した該分析対象水中の金属不純物を含有する回収溶離液を得る溶離工程(3)と、
該回収溶離液中の各金属不純物の含有量を測定する測定工程(3)と、
を有すること、
該溶離液が、0.1~2.0Nの硝酸又は塩酸であり、且つ、各金属不純物の含有量が100ppt以下の硝酸又は塩酸であること、
を特徴とする金属不純物含有量の分析方法。 - 前記分析対象水が、金属不純物として、少なくとも、イオン性不純物元素及び金属不純物微粒子を含有することを特徴とする請求項1~3いずれか1項記載の金属不純物含有量の分析方法。
- 前記分析対象水中の各金属不純物の含有量が1.000ppt以下であることを特徴とする請求項1~4いずれか1項記載の金属不純物含有量の分析方法。
- 少なくともモノリス状有機多孔質アニオン交換体を備え、分析対象水を、モノリス状有機多孔質アニオン交換体に、通過させるためのフローセル(1)と、
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする請求項1記載の金属不純物含有量の分析方法の実施に用いられる金属不純物含有量の分析キット。 - 少なくともモノリス状有機多孔質カチオン交換体を備え、分析対象水を、モノリス状有機多孔質カチオン交換体に、通過させるためのフローセル(2)と、
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする請求項2記載の金属不純物含有量の分析方法の実施に用いられる金属不純物含有量の分析キット。 - 少なくとも前段にモノリス状有機多孔質カチオン交換体を、後段にモノリス状有機多孔質アニオン交換体を備え、分析対象水を、先に、モノリス状有機多孔質カチオン交換体、次いで、モノリス状有機多孔質アニオン交換体の順に、通過させるため、又は前段にモノリス状有機多孔質アニオン交換体を、後段にモノリス状有機多孔質カチオン交換体を備え、分析対象水を、先に、モノリス状有機多孔質アニオン交換体、次いで、モノリス状有機多孔質カチオン交換体の順に、通過させるためのフローセル(3)と、
該フローセルを通過した分析対象水の量を計測するための積算流量計と、
を有すること、
を特徴とする請求項3記載の金属不純物含有量の分析方法の実施に用いられる金属不純物含有量の分析キット。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018095622 | 2018-05-17 | ||
JP2018095622 | 2018-05-17 | ||
PCT/JP2019/019347 WO2019221186A1 (ja) | 2018-05-17 | 2019-05-15 | 金属不純物含有量の分析方法及び金属不純物含有量の分析キット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019221186A1 JPWO2019221186A1 (ja) | 2021-05-27 |
JP7196165B2 true JP7196165B2 (ja) | 2022-12-26 |
Family
ID=68539905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020519895A Active JP7196165B2 (ja) | 2018-05-17 | 2019-05-15 | 金属不純物含有量の分析方法及び金属不純物含有量の分析キット |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210247373A1 (ja) |
JP (1) | JP7196165B2 (ja) |
KR (1) | KR102483138B1 (ja) |
CN (1) | CN111868516A (ja) |
TW (1) | TWI794494B (ja) |
WO (1) | WO2019221186A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021084045A (ja) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | オルガノ株式会社 | 超純水製造装置とその水質管理方法 |
JPWO2022102326A1 (ja) * | 2020-11-12 | 2022-05-19 | ||
JP2022120536A (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-18 | オルガノ株式会社 | 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム |
CN113702585A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-11-26 | 山东非金属材料研究所 | 高纯气体中痕量金属元素自动捕获消解器 |
CN114199667A (zh) * | 2021-12-13 | 2022-03-18 | 山西钢科碳材料有限公司 | 偶氮二异丁腈的前处理方法及微量元素含量的测定方法 |
JP2024027294A (ja) * | 2022-08-17 | 2024-03-01 | オルガノ株式会社 | 不純物取得システム、品質検査システムおよび液体製造供給システム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001153854A (ja) | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Japan Organo Co Ltd | 不純物濃度モニター方法およびシステム |
JP2010243476A (ja) | 2009-03-18 | 2010-10-28 | Japan Organo Co Ltd | イオンクロマトグラフィー装置用カラム、サプレッサー及びイオンクロマトグラフィー装置 |
JP2012506799A (ja) | 2008-10-31 | 2012-03-22 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | イオン交換体成形物とその製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56151351A (en) * | 1980-04-25 | 1981-11-24 | Hitachi Ltd | Detecting method for concentration of ion |
JP3175846B2 (ja) | 1991-08-13 | 2001-06-11 | 旭化成株式会社 | 希薄イオン溶液の濃度測定方法 |
JP3312425B2 (ja) * | 1993-06-25 | 2002-08-05 | 東ソー株式会社 | 高純度金属材料中の金属不純物元素の分析法及びその装置 |
CN101193823A (zh) * | 2005-06-09 | 2008-06-04 | 株式会社荏原制作所 | 电透析装置、排水处理方法及氟处理系统 |
CN102348505B (zh) * | 2009-03-10 | 2014-07-02 | 奥加诺株式会社 | 离子吸附模块及水处理方法 |
JP5116724B2 (ja) * | 2009-05-12 | 2013-01-09 | オルガノ株式会社 | 超純水製造装置 |
JP5729062B2 (ja) * | 2011-03-22 | 2015-06-03 | 三浦工業株式会社 | 水処理方法及び水処理システム |
JP5757130B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2015-07-29 | 栗田工業株式会社 | イオン交換装置の運転方法及びイオン交換システム |
US20150192556A1 (en) * | 2012-07-27 | 2015-07-09 | Hach Company | Continuous turbidimetric total iron monitoring |
JP2017119233A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | オルガノ株式会社 | 有機溶剤の精製方法 |
TWI622769B (zh) * | 2017-05-23 | 2018-05-01 | National Pingtung University Of Science & Technology | 水中汙染物檢測裝置及水中汙染物檢測方法 |
-
2019
- 2019-05-15 WO PCT/JP2019/019347 patent/WO2019221186A1/ja active Application Filing
- 2019-05-15 JP JP2020519895A patent/JP7196165B2/ja active Active
- 2019-05-15 US US17/053,254 patent/US20210247373A1/en active Pending
- 2019-05-15 CN CN201980020110.5A patent/CN111868516A/zh active Pending
- 2019-05-15 KR KR1020207026054A patent/KR102483138B1/ko active IP Right Grant
- 2019-05-17 TW TW108117006A patent/TWI794494B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001153854A (ja) | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Japan Organo Co Ltd | 不純物濃度モニター方法およびシステム |
JP2012506799A (ja) | 2008-10-31 | 2012-03-22 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | イオン交換体成形物とその製造方法 |
JP2010243476A (ja) | 2009-03-18 | 2010-10-28 | Japan Organo Co Ltd | イオンクロマトグラフィー装置用カラム、サプレッサー及びイオンクロマトグラフィー装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
梅村知也 ほか,有機ポリマーモノリスを用いる高速・高性能分離分析法の開発,Bunseki Kagaku,2008年,Vol.57, No.7,p.517-529 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2019221186A1 (ja) | 2021-05-27 |
TWI794494B (zh) | 2023-03-01 |
US20210247373A1 (en) | 2021-08-12 |
KR20200119297A (ko) | 2020-10-19 |
KR102483138B1 (ko) | 2022-12-30 |
TW202006331A (zh) | 2020-02-01 |
WO2019221186A1 (ja) | 2019-11-21 |
CN111868516A (zh) | 2020-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7196165B2 (ja) | 金属不純物含有量の分析方法及び金属不純物含有量の分析キット | |
KR101668132B1 (ko) | 백금족 금속 담지 촉매, 과산화수소의 분해 처리수의 제조 방법, 용존 산소의 제거 처리수의 제조 방법 및 전자 부품의 세정 방법 | |
US9346895B2 (en) | Monolithic organic porous body, monolithic organic porous ion exchanger, and process for producing the monolithic organic porous body and the monolithic organic porous ion exchanger | |
TWI758266B (zh) | 有機溶劑之精製方法 | |
JP4333919B2 (ja) | 有機多孔質イオン交換体、その製造方法、イオン濃縮カラム及びイオンクロマトグラフィー装置 | |
JP2004264045A (ja) | イオンクロマトグラフィー装置用カラム、サプレッサー及びイオンクロマトグラフィー装置 | |
TW200301156A (en) | Organic porous material, process for manufacturing the same, and organic porous ion exchanger | |
JP4034163B2 (ja) | 有機多孔質体、その製造方法および有機多孔質イオン交換体 | |
JP2009221426A (ja) | モノリス状有機多孔質体、その製造方法及びモノリス状有機多孔質イオン交換体 | |
JP5525754B2 (ja) | 白金族金属担持触媒、過酸化水素の分解処理水の製造方法、溶存酸素の除去処理水の製造方法及び電子部品の洗浄方法 | |
JP2006297244A (ja) | イオンクロマトグラフィー装置用前処理カラム、その回生方法及びイオンクロマトグラフィー装置 | |
JP7266029B2 (ja) | 超純水の製造方法、超純水製造システム及びイオン交換体充填モジュール | |
JP7081974B2 (ja) | 液体精製カートリッジ及び液体の精製方法 | |
JP5718435B2 (ja) | イオンクロマトグラフィー装置用カラム、サプレッサー及びイオンクロマトグラフィー装置 | |
WO2022102326A1 (ja) | 金属不純物含有量の分析方法 | |
JP7289248B2 (ja) | 不純物検知装置及び不純物検知方法 | |
JP5567958B2 (ja) | 白金族金属担持触媒の製造方法 | |
JP2021084045A (ja) | 超純水製造装置とその水質管理方法 | |
JP7477373B2 (ja) | モノリス状有機多孔質アニオン交換体のイオン形変更方法およびモノリス状有機多孔質アニオン交換体の製造方法 | |
WO2021246198A1 (ja) | アニオン交換体のイオン形変更方法およびアニオン交換体の製造方法 | |
JP2005257459A (ja) | イオンクロマトグラフィー試料の濃縮方法及びイオンクロマトグラフィー用濃縮装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7196165 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |