JP2022120536A - 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム - Google Patents
不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022120536A JP2022120536A JP2021017488A JP2021017488A JP2022120536A JP 2022120536 A JP2022120536 A JP 2022120536A JP 2021017488 A JP2021017488 A JP 2021017488A JP 2021017488 A JP2021017488 A JP 2021017488A JP 2022120536 A JP2022120536 A JP 2022120536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- control device
- impurity
- water
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012535 impurity Substances 0.000 title claims abstract description 196
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 123
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 60
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 217
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 55
- 238000000605 extraction Methods 0.000 title abstract 2
- 239000003480 eluent Substances 0.000 claims abstract description 85
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 106
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 78
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 claims description 45
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 claims description 45
- 238000010828 elution Methods 0.000 claims description 44
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 42
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 21
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims description 6
- 238000005349 anion exchange Methods 0.000 claims description 5
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 5
- 239000013522 chelant Substances 0.000 claims description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 151
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 73
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 73
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 50
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 2
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002189 poly(glycerol 1-O-monomethacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000223 polyglycerol Polymers 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- UYPYRKYUKCHHIB-UHFFFAOYSA-N trimethylamine N-oxide Chemical compound C[N+](C)(C)[O-] UYPYRKYUKCHHIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/86—Signal analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/96—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation using ion-exchange
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/18—Water
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
- C02F2209/005—Processes using a programmable logic controller [PLC]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2303/00—Specific treatment goals
- C02F2303/16—Regeneration of sorbents, filters
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
【課題】液体の水質の効率的な検査を行う。【解決手段】検査対象液中の不純物を吸着するイオン交換体ユニット200と、検査対象液のイオン交換体ユニット200への通液と、イオン交換体ユニット200に吸着された不純物を溶離させる溶離液のイオン交換体ユニット200への通液とを切り替える制御装置700とを有する。【選択図】図1
Description
本発明は、不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システムに関する。
一般的に、超純水製造設備からユースポイント(例えば、半導体洗浄装置内の使用箇所)へ供給される超純水の水質の検査方法の1つとして、イオン交換体を用いた濃縮法による分析を用いるものが挙げられる。このような濃縮法による分析として、所定の期間、イオン交換体に超純水を通水させて、そのイオン交換体を取り外して回収し、回収したイオン交換体から不純物を溶離させてその濃度を測定することで、超純水の水質を検査する方法が考えられている(例えば、特許文献1参照。)。
上述したような技術においては、超純水の水質検査を行うにはイオン交換体を取り外さなければならなく、その手間がかかってしまい、効率的な検査を行うことができないという問題点がある。
本発明の目的は、液体の水質の効率的な検査を行うことができる不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システムを提供することにある。
本発明の不純物取得システムは、
検査対象液中の不純物を取得する不純物取得システムであって、
前記検査対象液中の不純物を吸着する吸着体と、
前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記吸着体に吸着された不純物を溶離させる溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える第1の制御装置と、
を有する。
検査対象液中の不純物を取得する不純物取得システムであって、
前記検査対象液中の不純物を吸着する吸着体と、
前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記吸着体に吸着された不純物を溶離させる溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える第1の制御装置と、
を有する。
また、本発明の不純物取得システムは、
検査対象液中の不純物を取得する不純物取得システムであって、
互いに並列に配置され、前記検査対象液中の不純物を吸着する複数の吸着体と、
前記検査対象液の前記複数の吸着体への通液を切り替える制御装置と、
を有する。
検査対象液中の不純物を取得する不純物取得システムであって、
互いに並列に配置され、前記検査対象液中の不純物を吸着する複数の吸着体と、
前記検査対象液の前記複数の吸着体への通液を切り替える制御装置と、
を有する。
また、本発明の水質検査システムは、
検査対象液中の不純物を吸着する吸着体と、
前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記吸着体に吸着された不純物を溶離させる溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える第1の制御装置と、
を有する不純物取得システムと、
前記吸着体に通液された溶離液中の不純物濃度を分析し、該不純物濃度に基づいて、前記検査対象液中の不純物濃度を算出する情報処理装置と、を備える。
検査対象液中の不純物を吸着する吸着体と、
前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記吸着体に吸着された不純物を溶離させる溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える第1の制御装置と、
を有する不純物取得システムと、
前記吸着体に通液された溶離液中の不純物濃度を分析し、該不純物濃度に基づいて、前記検査対象液中の不純物濃度を算出する情報処理装置と、を備える。
また、本発明の液体製造供給システムは、
検査対象液中の不純物を吸着する吸着体と、
前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記吸着体に吸着された不純物を溶離させる溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える第1の制御装置と、
を有する不純物取得システムと、
前記吸着体に通液された溶離液中の不純物濃度を分析し、該不純物濃度に基づいて、前記検査対象液中の不純物濃度を算出する情報処理装置と、
を備える水質検査システムと、
前記検査対象液の製造と供給との少なくとも一方を行う液体製造供給設備から前記検査対象液を使用するユースポイントへの前記検査対象液の供給を制御する弁部と、
前記情報処理装置が算出した前記不純物濃度に基づいて、前記弁部を制御する第2の制御装置と、を備える。
検査対象液中の不純物を吸着する吸着体と、
前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記吸着体に吸着された不純物を溶離させる溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える第1の制御装置と、
を有する不純物取得システムと、
前記吸着体に通液された溶離液中の不純物濃度を分析し、該不純物濃度に基づいて、前記検査対象液中の不純物濃度を算出する情報処理装置と、
を備える水質検査システムと、
前記検査対象液の製造と供給との少なくとも一方を行う液体製造供給設備から前記検査対象液を使用するユースポイントへの前記検査対象液の供給を制御する弁部と、
前記情報処理装置が算出した前記不純物濃度に基づいて、前記弁部を制御する第2の制御装置と、を備える。
本発明においては、液体の水質の効率的な検査を行うことができる。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の不純物取得システムの第1の実施の形態を示す図である。本形態における不純物取得システムは図1に示すように、吸着体であるイオン交換体ユニット(イオン交換体)200と、開閉弁310,320,330と、溶離液400と、ポンプ410と、回収容器500と、流量計600と、制御装置700とを有する。
イオン交換体ユニット200は、超純水製造設備からの検査対象水から不純物を吸着するユニットである。ここで、超純水製造設備は、例えば、ユースポイントである半導体洗浄装置へ供給する超純水を製造し、半導体洗浄装置へ供給する。以下の説明において、この超純水が検査の対象の液体(検査対象水)となり、検査対象水は超純水製造設備から供給される超純水を示す。イオン交換体ユニット200は、イオン除去またはイオン吸着機能(例えば、イオン吸着膜またはモノリス状有機多孔質、イオン交換樹脂)を有する。イオン交換体ユニット200が除去または吸着する対象物は不純物である。この不純物には、イオン(イオン性金属不純物)や微粒子形態のものが含まれる。本形態において、イオン交換体ユニット200の官能基は、カチオン、アニオン交換基またはキレート化合物である。
開閉弁310は、超純水製造設備から半導体洗浄装置へ供給される検査対象水のイオン交換体ユニット200への通液を制御する。具体的には、開閉弁310は、超純水製造設備から半導体洗浄装置へ供給される検査対象水を、制御装置700からの制御信号に従って、排水に流す流路と、開閉弁320を介したイオン交換体ユニット200への流路である第1の配管とのいずれか一方へ通液する。ここで、超純水製造設備から開閉弁310までの流路も第1の配管に含まれるものであっても良い。開閉弁320は、開閉弁310を介した検査対象水と、イオン交換体ユニット200に吸着された不純物を溶離するための液体である溶離液とのいずれかのイオン交換体ユニット200への通液を切り替えて制御する第1の弁部である。具体的には、開閉弁320は、制御装置700からの制御信号に従って、開閉弁310からの検査対象水と、ポンプ410が汲み上げて第2の配管を流れてきた溶離液400とのいずれか一方を、イオン交換体ユニット200へ通液する。ここで、第2の配管は、所定の容器等に貯留されている溶離液400をポンプ410が汲み上げて開閉弁320へ流すための流路である。開閉弁330は、イオン交換体ユニット200を通水して流出された水の取得を制御する第2の弁部である。具体的には、開閉弁330は、イオン交換体ユニット200を通水して流出された検査対象水および溶離液を、制御装置700からの制御信号に従って、検査対象水を流量計600を介して排水に流す流路である第3の配管へ、溶離液を回収容器500への流路である第4の配管へ通液する。
溶離液400は、イオン交換体ユニット200に濃縮された不純物を溶離する酸性またはアルカリ性の水溶液である。溶離液400として、例えば、硝酸や、塩酸、硫酸等の酸性の水溶液またはトリメチルヒドロキシアンモニウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)等の有機性アルカリのアルカリ性の水溶液が挙げられる。溶離液400は、金属不純物濃度が100ppt未満である。溶離液400の希釈度は特に限定しない。溶離液400は、測定対象の検査対象水を用いて希釈されたものでも良い。溶離液400は、ボトル等の容器に入れられている。ポンプ410は、溶離液400を容器から汲み上げて開閉弁320へ送る。溶離液400からの送液には、ポンプ410の代わりにガス圧送を用いるものであっても良い。
回収容器500は、溶離回収工程においてイオン交換体ユニット200から溶離された不純物が含まれる溶離液が開閉弁330を介して流入する容器である。回収容器500としては、例えば、回収ボトルが挙げられるが、溶離液を回収できるものであれば特に限定しない。流量計600は、開閉弁330から排水のための流路に流れる検査対象水の流量を測定する流量取得部である。流量計600が測定した値は、制御装置700へ通知される。この通知には、所定の信号が用いられ、この信号を流量計600が送信し、制御装置700が受信するものであっても良い。なお、流量計600は、開閉弁330から回収容器500へ通液される水(溶離液)の流量も測定するものであっても良い。つまり、流量計600は、イオン交換体ユニット200と開閉弁330との間に設けられ、イオン交換体ユニット200からの液体の流量を測定するものであっても良い。
制御装置700は、所定の期間の経過に基づいて、開閉弁310,320,330それぞれの開閉を制御する第1の制御装置である。この所定の期間の経過は、あらかじめ設定された時間が経過したかどうかに基づいて判定されるものであっても良いし、流量計600が測定する水(検査対象水、溶離液)の量があらかじめ設定された値(閾値)に達したかどうかに基づいて判定されるものであっても良い。
以下に、制御装置700の具体的な動作について説明する。まず、濃縮工程を実施するために、制御装置700は、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁320へ通液されるように制御する。また、制御装置700は、開閉弁320を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する。また、制御装置700は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された検査対象水が第3の配管へ排水されるように制御する。このような状態である濃縮工程にて、検査対象水の流入が開始され、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第1の閾値に達したかどうかを制御装置700が判定する。制御装置700は、流量計600が測定した通水流量が第1の閾値に達したと判定すると、開閉弁310を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ通液される検査対象水が排水されるように制御する。また、制御装置700は、開閉弁320を、ポンプ410を用いて汲み上げられた溶離液400がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する。また、制御装置700は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された溶離液を第1の液体として取得する(回収容器500へ通液される)ように、つまり第4の配管へ流れるように制御する。このような溶離回収工程にて、取得した(回収容器500が回収した)液量があらかじめ設定された第2の閾値に達したかどうかを制御装置700が判定する。制御装置700は、取得した(回収容器500が回収した)水量があらかじめ設定された第2の閾値に達したと判定すると、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁320へ通液されるように制御する。また、制御装置700は、開閉弁320を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する。また、制御装置700は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された検査対象水が第3の配管へ排水されるように制御する。このような状態である洗浄工程にて流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第3の閾値に達したかどうかを制御装置700が判定する。制御装置700は、流量計600が測定した液水流量が第3の閾値に達したとき、流量計600をリセットする。なお、洗浄工程で流れる検査対象水は、洗浄液として用いられる。以下の説明においても同じである。
以下に、図1に示した不純物取得システムにおける水質検査方法について説明する。図2は、図1に示した不純物取得システムにおける水質検査方法の一例を説明するためのフローチャートである。
まず、不純物取得システムは濃縮工程を実行する(ステップS1)。図3は、図2に示したフローチャートにおけるステップS1の濃縮工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。制御装置700は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された検査対象水を流量計600への流路へ排水されるように制御する(ステップS111)。制御装置700は、開閉弁320を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する(ステップS112)。制御装置700は、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁320へ通液されるように制御する(ステップS113)。続いて、制御装置700は、流量計600をリセットする(ステップS114)。その後、検査対象水の流入が開始され、制御装置700は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第1の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS115)。制御装置700は、流量計600が測定した通水流量が第1の閾値に達したと判定すると、ステップS2の処理を行う。なお、ステップS111~S113の処理を行う順序は特に限定しない。また、ステップS111~S113の処理を互いに同時に行うようにしても良い。
続いて、不純物取得システムは溶離回収工程を実行する(ステップS2)。図4は、図2に示したフローチャートにおけるステップS2の溶離回収工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置700は、開閉弁310を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ通液される検査対象水が排水されるように制御する(ステップS121)。制御装置700は、開閉弁320を、ポンプ410を用いて汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する(ステップS122)。制御装置700は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された溶離液が回収容器500へ通液されるように、つまり第4の配管へ流れるように制御する(ステップS123)。その後、制御装置700は、回収容器500が回収した水量があらかじめ設定された第2の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS124)。この判定は、例えば、回収した溶離液が回収容器500に満水となったかどうかを判定するものや、溶離液が回収された回収容器500全体の重量に基づいて判定するもの、回収容器500にレーザ光を照射して判定するものであっても良い。また、流量計600がイオン交換体ユニット200と開閉弁330との間に設けられている場合、流量計600測定した流量があらかじめ設定された閾値に達したかどうかに基づいて判定するものであっても良い。制御装置700は、回収容器500が回収した水量が第2の閾値に達したと判定すると、ステップS3の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは洗浄工程を実行する(ステップS3)。図5は、図2に示したフローチャートにおけるステップS3の洗浄工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置700は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された検査対象水を第3の配管へ排水されるように制御する(ステップS131)。制御装置700は、開閉弁320を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する(ステップS132)。制御装置700は、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁320へ通液されるように制御する(ステップS133)。続いて、制御装置700は、流量計600をリセットする(ステップS134)。制御装置700は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第3の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS135)。制御装置700は、流量計600が測定した通水流量が第3の閾値に達したと判定すると、再度ステップS1の処理を行う。なお、ステップS135の処理の後、ステップS1の処理を行う前に、制御装置700が流量計600をリセットしても良い。ステップS131~S133の処理は、それぞれの処理を行う前に、開閉弁310,320,330それぞれがすでに上述したような通液を行うことが可能な開閉状態になっている場合、必ずしも行う必要が無い処理である。
このように本形態においては、イオン交換体ユニット200を用いて検査対象水中の不純物を捕捉する濃縮工程と、捕捉した不純物をイオン交換体ユニット200から溶離して回収する溶離回収工程と、不純物が溶離されたイオン交換体ユニット200を検査対象水で洗浄する洗浄工程とを、流路の要所に設けた開閉弁を所定の期間の経過ごとに制御することで遷移させる。これにより、イオン交換体ユニット200をシステムから取り外すことなく、検査対象水の水質を検査するための試料を得ることができ、検査対象水の水質の効率的な検査を行うことができる。また、イオン交換体ユニット200をシステムから取り外してから溶離回収工程を実施する場合、イオン交換体ユニット200を取り外した際や溶離するための装置に取り付ける際にイオン交換体ユニット200が汚染するおそれがあり、検査精度が低下し得る。本形態では、イオン交換体ユニット200をシステムから取り外すことなく溶離回収工程を実施することができるため、イオン交換体ユニット200が汚染することがなく検査精度の低下を抑制することができる。
(第2の実施の形態)
(第2の実施の形態)
図6は、本発明の不純物取得システムの第2の実施の形態を示す図である。本形態における不純物取得システムは図6に示すように、イオン交換体ユニット200~202と、開閉弁310~312,320~322,330~332と、溶離液400~402と、ポンプ410~412と、回収容器500~502と、流量計600~602と、制御装置701とを有する。
イオン交換体ユニット200、開閉弁310,320,330、溶離液400、ポンプ410、回収容器500および流量計600それぞれは、第1の実施の形態におけるものと同じものである。第2の実施の形態では、これらの構成要素を並列に3系統設けたものである。イオン交換体ユニット201,202それぞれは、イオン交換体ユニット200に相当する。開閉弁311,312それぞれは、開閉弁310に相当する。開閉弁321,322それぞれは、開閉弁320に相当する。開閉弁331,332それぞれは、開閉弁330に相当する。溶離液401,402それぞれは、溶離液400に相当する。ポンプ411,412それぞれは、ポンプ410に相当する。回収容器501,502それぞれは、回収容器500に相当する。流量計601,602それぞれは、流量計600に相当する。なお、溶離液400~402は、1つの容器から汲み上げられるものであっても良い。
制御装置701は、第1の実施の形態における制御装置700と同様に、開閉弁310~312,320~322,330~332を制御する。各系統内における濃縮工程、溶離回収工程および洗浄工程の処理については、第1の実施の形態と同じである。第2の実施の形態においては、各系統間における濃縮工程、溶離回収工程および洗浄工程の処理のタイミングを制御装置701が制御する。
図7は、図6に示した制御装置701が行う系統間のタイミング制御の一例を説明するためのタイムチャートである。イオン交換体ユニット200を具備する系統(以下、系統Aと称する)と、イオン交換体ユニット201を具備する系統(以下、系統Bと称する)と、イオン交換体ユニット202を具備する系統(以下、系統Cと称する)とのそれぞれにおいて、濃縮工程、溶離回収工程および洗浄工程が順次繰り返して行われる。このとき、制御装置701は、系統Aと系統Bと系統Cとで、各系統における溶離回収工程が行われるタイミングが、系統間で重ならないように制御する。また、制御装置701は、系統Aと系統Bと系統Cとの少なくとも1つの系統の吸着体に検査対象液が通液されるように開閉弁310~312,320~322を制御する。つまり、制御装置701は、超純水製造設備から供給された検査対象水のイオン交換体ユニット200~202への通液を切り替える制御を行う。本形態においては、3つの系統を並列に設けた例を挙げて説明したが、系統の数はこれに限らない。
このように本形態においては、複数の系統を並列に設け、各系統間における溶離回収工程が行われるタイミングを系統間で重ならないように制御する。こうすることで、濃縮工程を連続的に実行することができるため、検査結果を連続的に得ることができる。
(第3の実施の形態)
(第3の実施の形態)
図8は、本発明の不純物取得システムの第3の実施の形態を示す図である。本形態における不純物取得システムは図8に示すように、イオン交換体ユニット200と、不純物除去ユニット210と、開閉弁310,320,330,340と、溶離液400と、ポンプ410と、回収容器500と、流量計600と、制御装置702とを有する。
イオン交換体ユニット200、開閉弁310,320,330、溶離液400、ポンプ410、回収容器500および流量計600それぞれは、第1の実施の形態におけるものと同じものである。
不純物除去ユニット210は、洗浄工程において用いられるフィルタ(不純物除去部)である。不純物除去ユニット210は、不純物除去機能(例えば、イオン交換、吸着、濾過)を有する。不純物除去ユニット210は、超純水製造設備から供給される検査対象水に含まれる不純物をフィルタに吸着させて、検査対象水から不純物を除去する。開閉弁340は、超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水の不純物除去ユニット210への通液を制御する第3の弁部である。具体的には、開閉弁340は、超純水製造設備から半導体洗浄装置へ供給される検査対象水を、制御装置702からの制御信号に従って、開閉弁310に流す流路と、不純物除去ユニット210への流路である第7の配管とのいずれか一方へ通液する。不純物除去ユニット210は、開閉弁340からの検査対象水から不純物を除去し、不純物を除去した水を開閉弁320への流路へ流出する。制御装置702は、洗浄工程にて、開閉弁340を、超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が不純物除去ユニット210へ通液される状態とする。
以下に、図8に示した不純物取得システムにおける水質検査方法について説明する。図9は、図8に示した不純物取得システムにおける水質検査方法の一例を説明するためのフローチャートである。
まず、不純物取得システムは濃縮工程を実行する(ステップS4)。図10は、図9に示したフローチャートにおけるステップS4の濃縮工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。制御装置702は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された検査対象水を第3の配管へ排水されるように制御する(ステップS141)。制御装置702は、開閉弁320を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する(ステップS142)。制御装置702は、開閉弁310を開閉弁340からの検査対象水が開閉弁320へ通液されるように制御する(ステップS143)。制御装置702は、開閉弁340を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁310へ通液されるように制御する(ステップS144)。続いて、制御装置702は、流量計600をリセットする(ステップS145)。その後、検査対象水の流入が開始され、制御装置702は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第1の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS146)。制御装置702は、流量計600が測定した通水流量が第1の閾値に達したと判定すると、ステップS5の処理を行う。なお、ステップS141~S144の処理を行う順序は特に限定しない。
続いて、不純物取得システムは溶離回収工程を実行する(ステップS5)。図11は、図9に示したフローチャートにおけるステップS5の溶離回収工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置702は、開閉弁310を開閉弁340からの検査対象水が排水されるように制御する(ステップS151)。制御装置702は、開閉弁320を、ポンプ410を用いて汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する(ステップS152)。制御装置702は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された溶離液が回収容器500へ通液されるように、つまり第4の配管へ流れるように制御する(ステップS153)。その後、制御装置702は、回収容器500が回収した水量があらかじめ設定された第2の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS154)。この判定は、第1の実施の形態におけるステップS124の判定処理と同じで良い。制御装置702は、回収容器500が回収した水量が第2の閾値に達したと判定すると、ステップS6の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは洗浄工程を実行する(ステップS6)。図12は、図9に示したフローチャートにおけるステップS6の洗浄工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置702は、開閉弁330を、イオン交換体ユニット200を通水して流出された検査対象水を第3の配管へ排水されるように制御する(ステップS161)。制御装置702は、開閉弁320を、不純物除去ユニット210を通水して流出された検査対象水がイオン交換体ユニット200へ通液されるように制御する(ステップS162)。制御装置702は、開閉弁340を超純水製造設備からの検査対象水が不純物除去ユニット210へ通液されるように制御する(ステップS163)。続いて、制御装置702は、流量計600をリセットする(ステップS164)。制御装置702は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第3の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS165)。制御装置702は、流量計600が測定した通水流量が第3の閾値に達したと判定すると、再度ステップS4の処理を行う。なお、ステップS165の処理の後、ステップS4の処理を行う前に、制御装置702が流量計600をリセットしても良い。ステップS161~S163の処理は、それぞれの処理を行う前に、開閉弁320,330,340それぞれがすでに上述したような通液を行うことが可能な開閉状態になっている場合、必ずしも行う必要が無い処理である。
このように本形態においては、イオン交換体ユニット200を用いて検査対象中の不純物を捕捉する濃縮工程と、捕捉した不純物をイオン交換体ユニット200から溶離して回収する溶離回収工程と、不純物が溶離されたイオン交換体ユニット200を検査対象水で洗浄する洗浄工程とを、流路の要所に設けた開閉弁を所定の期間の経過ごとに制御することで遷移させる。これにより、イオン交換体ユニット200をシステムから取り外すことなく、検査対象水の水質を検査するための試料を得ることができ、検査対象水の水質の効率的な検査を行うことができる。さらに、不純物除去ユニット210を設け、洗浄工程において洗浄に使用する検査対象水から、不純物除去ユニット210を通して不純物を取り除くことで、洗浄に用いる検査対象水の不純物の濃度を下げることができる。
(第4の実施の形態)
(第4の実施の形態)
図13は、本発明の不純物取得システムの第4の実施の形態を示す図である。本形態における不純物取得システムは図13に示すように、イオン交換体ユニット220と、開閉弁310,323,333と、溶離液400と、再生液403と、ポンプ410,413と、回収容器500,510と、流量計600と、制御装置703とを有する。
開閉弁310、溶離液400、ポンプ410、回収容器500および流量計600それぞれは、第1の実施の形態におけるものと同じものである。
イオン交換体ユニット220は、超純水製造設備からの検査対象水から不純物を除去するユニットである。イオン交換体ユニット220は、イオン除去またはイオン吸着機能(例えば、イオン吸着膜またはモノリス状有機多孔質、イオン交換樹脂)を有する。イオン交換体ユニット220が除去または吸着する対象物は金属不純物である。また、イオン交換体ユニット220は、静電的な効果で微粒子も吸着する。本形態において、イオン交換体ユニット220の官能基は、カチオン、アニオン交換基またはキレート化合物である。
再生液403は、イオン交換体ユニット220に濃縮された不純物を溶離して洗浄した後に、再生工程においてイオン交換体ユニット220を再生させるための酸性またはアルカリ性の液体である。再生液403は、ボトル等の容器に入れられている。ポンプ413は、再生液403を容器から汲み上げて第5の配管を介して開閉弁323へ送る。ここで、第5の配管は、所定の容器等に貯留されている再生液403をポンプ413が汲み上げて開閉弁323へ流すための流路である。再生液403からの送液には、ポンプ413の代わりにガス圧送を用いるものであっても良い。再生液403は、金属不純物濃度が100ppt未満である。
回収容器510は、再生工程においてイオン交換体ユニット220を通水して流出された水(再生廃液)が開閉弁333を介して流入する容器である。開閉弁333と回収容器510とは、第6の配管を介して配置されている。なお、流量計600は、開閉弁333から回収容器510へ通液される水の流量も測定するものであっても良い。
開閉弁323は、開閉弁310を介した検査対象水と、ポンプ410で汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400と、ポンプ413で汲み上げられて第5の配管を流れてきた再生液403とのいずれかのイオン交換体ユニット220への通液を制御する第1の弁部である。具体的には、開閉弁323は、制御装置703からの制御信号に従って、開閉弁310を介した検査対象水と、ポンプ410で汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400と、ポンプ413で汲み上げられて第5の配管を流れてきた再生液403とのいずれかを、イオン交換体ユニット220へ通液する。開閉弁333は、イオン交換体ユニット220を通水して流出された水の取得を制御する第2の弁部である。具体的には、開閉弁333は、イオン交換体ユニット220を通水して流出された水(検査対象水または溶離液または再生廃液)を、制御装置703からの制御信号に従って、検査対象水を第3の配管へ、溶離水を第4の配管へ、再生廃液を第6の配管へ通液する。
制御装置703は、所定の期間の経過に基づいて、開閉弁310,323,333それぞれの開閉を制御する第1の制御装置である。この所定の期間の経過は、あらかじめ設定された時間が経過したかどうかに基づいて判定されるものであっても良いし、流量計600が測定する水(検査対象水、溶離液、再生廃液)の量があらかじめ設定された値(閾値)を達したかどうかに基づいて判定されるものであっても良い。
以下に、制御装置703の具体的な動作について説明する。まず、濃縮工程をするために、制御装置703は、開閉弁310を超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する。制御装置703は、開閉弁323を、開閉弁310を介した検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する。制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水が第3の配管を介して排水されるように制御する。このような状態である濃縮工程にて、検査対象水の流入が開始され、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第1の閾値に達したかどうかを制御装置703が判定する。制御装置703は、流量計600が測定した通水流量が第1の閾値に達したと判定すると、開閉弁310を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が排水されるように制御する。また、制御装置703は、開閉弁323を、ポンプ410を用いて汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する。また、制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された溶離液を第1の液体として取得する(回収容器500へ通液される)ように、つまり第4の配管へ流れるように制御する。このような溶離回収工程にて、取得した(回収容器500が回収した)水量があらかじめ設定された第2の閾値に達したかどうかを制御装置703が判定する。制御装置703は、取得した(回収容器500が回収した)水量があらかじめ設定された第2の閾値に達したと判定すると、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁323へ通液されるように制御する。また、制御装置703は、開閉弁323を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する。また、制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水が第3の配管を介して排水されるように制御する。このような状態である第1の洗浄工程にて流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第3の閾値に達したかどうかを制御装置703が判定する。制御装置703は、第1の洗浄工程にて流量計600が測定した通水流量が第3の閾値に達したと判定すると、開閉弁310を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が排水されるように制御する。また、制御装置703は、開閉弁323を、ポンプ413を用いて汲み上げられて第5の配管を流れてきた再生液403がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する。また、制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された再生廃液を第2の液体として取得する(回収容器510へ通液される)ように、つまり第6の配管へ流れるように制御する。このような状態である再生工程にて取得した(回収容器510が回収した)水量が第4の閾値に達したかどうかを制御装置703が判定する。制御装置703は、再生工程にて取得した(回収容器510が回収した)水量が第4の閾値に達したと判定すると、開閉弁310を超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する。制御装置703は、開閉弁323を、開閉弁310を介した検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する。制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水が第3の配管を介して排水されるように制御する。このような状態である第2の洗浄工程にて流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第5の閾値に達したかどうかを制御装置703が判定する。制御装置703は、第2の洗浄工程にて流量計600が測定した通水流量が第5の閾値に達したと判定すると、制御装置703は、流量計600をリセットする。
以下に、図13に示した不純物取得システムにおける水質検査方法について説明する。図14は、図13に示した不純物取得システムにおける水質検査方法の一例を説明するためのフローチャートである。
まず、不純物取得システムは濃縮工程を実行する(ステップS7)。図15は、図14に示したフローチャートにおけるステップS7の濃縮工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水を第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS171)。制御装置703は、開閉弁323を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS172)。制御装置703は、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁323へ通液されるように制御する(ステップS173)。続いて、制御装置703は、流量計600をリセットする(ステップS174)。その後、検査対象水の流入が開始され、制御装置703は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第1の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS175)。制御装置703は、流量計600が測定した通水流量が第1の閾値に達したと判定すると、ステップS8の処理を行う。なお、ステップS171~S173の処理を行う順序は特に限定しない。
続いて、不純物取得システムは溶離回収工程を実行する(ステップS8)。図16は、図14に示したフローチャートにおけるステップS8の溶離回収工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置703は、開閉弁310を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS181)。制御装置703は、開閉弁323を、ポンプ410を用いて汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS182)。制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された溶離液が回収容器500へ通液されるように、つまり第4の配管へ流れるように制御する(ステップS183)。その後、制御装置703は、回収容器500が回収した水量があらかじめ設定された第2の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS184)。この判定は、第1の実施の形態におけるステップS124の判定処理と同じで良い。制御装置703は、回収容器500が回収した水量が第2の閾値に達したと判定すると、ステップS9の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは洗浄工程(第1の洗浄工程)を実行する(ステップS9)。図17は、図14に示したフローチャートにおけるステップS9の第1の洗浄工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水を第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS191)。制御装置703は、開閉弁323を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS192)。制御装置703は、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁323へ通液されるように制御する(ステップS193)。続いて、制御装置703は、流量計600をリセットする(ステップS194)。制御装置703は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第3の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS195)。制御装置703は、流量計600が測定した通水流量が第3の閾値に達したと判定すると、ステップS10の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは再生工程を実行する(ステップS10)。本形態においては、イオン交換体ユニット220の官能基のイオン形を基準形に再生するためイオン交換体ユニット220の再生処理を行う必要がある。図18は、図14に示したフローチャートにおけるステップS10の再生工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
まず、制御装置703は、開閉弁310を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS201)。制御装置703は、開閉弁323を、ポンプ413を用いて汲み上げられて第5の配管を流れてきた再生液403がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS202)。制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出されたアルカリ廃液が回収容器510へ通液されるように、つまり第6の配管へ流れるように制御する(ステップS203)。その後、制御装置703は、回収容器510が回収した水量があらかじめ設定された第4の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS204)。この判定は、例えば、回収した再生液が回収容器510に満水となったかどうかを判定するものや、アルカリ廃液が回収された回収容器510全体の重量に基づいて判定するもの、回収容器510にレーザ光を照射して判定するものであっても良い。制御装置703は、回収容器510が回収した水量が第4の閾値に達したと判定すると、ステップS11の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは洗浄工程(第2の洗浄工程)を実行する(ステップS11)。図19は、図14に示したフローチャートにおけるステップS11の第2の洗浄工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置703は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水を第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS211)。制御装置703は、開閉弁323を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS212)。制御装置703は、開閉弁310を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁323へ通液されるように制御する(ステップS213)。続いて、制御装置703は、流量計600をリセットする(ステップS214)。制御装置703は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第5の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS215)。制御装置703は、流量計600が測定した通水流量が第5の閾値に達したと判定すると、再度ステップS7の処理を行う。なお、ステップS215の処理の後、ステップS7の処理を行う前に、制御装置703が流量計600をリセットしても良い。ステップS211~S213の処理は、それぞれの処理を行う前に、開閉弁310,323,333それぞれがすでに上述したような通液を行うことが可能な開閉状態になっている場合、必ずしも行う必要が無い処理である。
このように本形態においては、イオン交換体ユニット220を用いて検査対象中の不純物を捕捉する濃縮工程と、捕捉した不純物をイオン交換体ユニット220から溶離して回収する溶離回収工程と、不純物が溶離されたイオン交換体ユニット220を検査対象水で洗浄する第1の洗浄工程と、イオン交換体ユニット220を酸性またはアルカリ性の液体で再生する再生工程と、イオン交換体ユニット220をさらに洗浄する第2の洗浄工程とを、流路の要所に設けた開閉弁を所定の期間の経過ごとに制御することで、遷移させる。これにより、イオン交換体ユニット220をシステムから取り外すことなく、検査対象水の水質を検査するための試料を得ることができ、検査対象水の水質の効率的な検査を行うことができる。なお、本形態に用いたアニオン交換基においても、第2の実施の形態のように複数の系統を設けるものであっても良い。
(第5の実施の形態)
(第5の実施の形態)
図20は、本発明の不純物取得システムの第5の実施の形態を示す図である。本形態における不純物取得システムは図20に示すように、不純物除去ユニット210と、イオン交換体ユニット220と、開閉弁310,323,333,340と、溶離液400と、再生液403と、ポンプ410,413と、回収容器500,510と、流量計600と、制御装置704とを有する。
開閉弁310、溶離液400、ポンプ410、回収容器500および流量計600それぞれは、第1の実施の形態におけるものと同じものである。また、不純物除去ユニット210および開閉弁340それぞれは、第3の実施の形態におけるものと同じものである。また、イオン交換体ユニット220、開閉弁323,333、再生液403、ポンプ413および回収容器510それぞれは、第4の実施の形態におけるものと同じものである。ここで、開閉弁323は、不純物除去ユニット210を経由してきた検査対象水と、不純物除去ユニット210を経由していない検査対象水と、ポンプ410で汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400と、ポンプ413で汲み上げられて第5の配管を流れてきた再生液403とのいずれかのイオン交換体ユニット220への通液を切り替えて制御することができる。
制御装置704は、所定の期間の経過に基づいて、開閉弁310,323,333,340それぞれの開閉を制御する第1の制御装置である。この所定の期間の経過は、あらかじめ設定された時間が経過したかどうかに基づいて判定されるものであっても良いし、流量計600が測定する水(検査対象水、溶離液、再生廃液)の量があらかじめ設定された値(閾値)を達したかどうかに基づいて判定されるものであっても良い。制御装置704は、第3の実施の形態における制御装置702の機能と第4の実施の形態における制御装置703の機能とを具備する。
以下に、図20に示した不純物取得システムにおける水質検査方法について説明する。図21は、図20に示した不純物取得システムにおける水質検査方法の一例を説明するためのフローチャートである。
まず、不純物取得システムは濃縮工程を実行する(ステップS12)。図22は、図21に示したフローチャートにおけるステップS12の濃縮工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。制御装置704は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水を第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS221)。制御装置704は、開閉弁323を開閉弁310からの検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS222)。制御装置704は、開閉弁310を開閉弁340からの検査対象水が開閉弁323へ通液されるように制御する(ステップS223)。制御装置704は、開閉弁340を超純水製造設備からの検査対象水が開閉弁310へ通液されるように制御する(ステップS224)。続いて、制御装置704は、流量計600をリセットする(ステップS225)。その後、検査対象水の流入が開始され、制御装置704は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第1の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS226)。制御装置704は、流量計600が測定した通水流量が第1の閾値に達したと判定すると、ステップS13の処理を行う。なお、ステップS2211~S224の処理を行う順序は特に限定しない。
続いて、不純物取得システムは溶離回収工程を実行する(ステップS13)。図23は、図21に示したフローチャートにおけるステップS13の溶離回収工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置704は、開閉弁340を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が開閉弁310へ通液されるように制御する(ステップS231)。制御装置704は、開閉弁340を超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が開閉弁310へ通液されるように制御した場合、開閉弁340からの検査対象水が排水されるように開閉弁310を制御する(ステップS232)。制御装置704は、開閉弁323を、ポンプ410を用いて汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS233)。制御装置704は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された溶離液が回収容器500へ通液されるように、つまり第4の配管へ流れるように制御する(ステップS234)。その後、制御装置704は、回収容器500が回収した水量があらかじめ設定された第2の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS235)。この判定は、第1の実施の形態におけるステップS124の判定処理と同じで良い。制御装置704は、回収容器500が回収した水量が第2の閾値に達したと判定すると、ステップS14の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは洗浄工程(第1の洗浄工程)を実行する(ステップS14)。図24は、図21に示したフローチャートにおけるステップS14の第1の洗浄工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置704は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水を第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS241)。制御装置704は、開閉弁323を、不純物除去ユニット210を通水して流出された検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS242)。制御装置704は、開閉弁340を超純水製造設備からの検査対象水が不純物除去ユニット210へ通液されるように制御する(ステップS243)。続いて、制御装置704は、流量計600をリセットする(ステップS244)。制御装置704は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第3の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS245)。制御装置704は、流量計600が測定した通水流量が第3の閾値に達したと判定すると、ステップS15の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは再生工程を実行する(ステップS15)。本形態においては、イオン交換体ユニット220の官能基がアニオン交換基であるため、アルカリ性の液体を用いてイオン交換体ユニット220の再生処理を行う必要がある。図25は、図21に示したフローチャートにおけるステップS15の再生工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
まず、制御装置704は、開閉弁340を閉状態または超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が開閉弁310へ通液されるように制御する(ステップS251)。制御装置704は、開閉弁340を超純水製造設備から洗浄装置へ供給される検査対象水が開閉弁310へ通液されるように制御した場合、開閉弁340からの検査対象水が排水されるように開閉弁310を制御する(ステップS252)。制御装置704は、開閉弁323を、ポンプ413を用いて汲み上げられて第5の配管を流れてきた再生液403がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS253)。制御装置704は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出されたアルカリ廃液が回収容器510へ通液されるように、つまり第6の配管へ流れるように制御する(ステップS254)。その後、制御装置704は、回収容器510が回収した水量があらかじめ設定された第4の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS255)。この判定は、第4の実施の形態におけるステップS124の判定処理と同じで良い。制御装置704は、回収容器510が回収した水量が第4の閾値に達したと判定すると、ステップS16の処理を行う。
続いて、不純物取得システムは洗浄工程(第2の洗浄工程)を実行する(ステップS16)。図26は、図21に示したフローチャートにおけるステップS16の第2の洗浄工程の処理の一例を説明するためのフローチャートである。
制御装置704は、開閉弁333を、イオン交換体ユニット220を通水して流出された検査対象水を第3の配管を介して排水されるように制御する(ステップS261)。制御装置704は、開閉弁323を、不純物除去ユニット210を通水して流出された検査対象水がイオン交換体ユニット220へ通液されるように制御する(ステップS262)。制御装置704は、開閉弁340を超純水製造設備からの検査対象水が不純物除去ユニット210へ通液されるように制御する(ステップS263)。続いて、制御装置704は、流量計600をリセットする(ステップS264)。制御装置704は、流量計600が測定した通水流量があらかじめ設定された第5の閾値に達したかどうかを判定する(ステップS265)。制御装置704は、流量計600が測定した通水流量が第5の閾値に達したと判定すると、再度ステップS12の処理を行う。なお、ステップS265の処理の後、ステップS12の処理を行う前に、制御装置704が流量計600をリセットしても良い。ステップS261~S263の処理は、それぞれの処理を行う前に、開閉弁323,333,340それぞれがすでに上述したような通液を行うことが可能な開閉状態になっている場合、必ずしも行う必要が無い処理である。
このように本形態においては、イオン交換体ユニット220を用いて検査対象水中の不純物を捕捉する濃縮工程と、捕捉した不純物をイオン交換体ユニット220から溶離して回収する溶離回収工程と、不純物が溶離されたイオン交換体ユニット220を検査対象水で洗浄する第1の洗浄工程と、イオン交換体ユニット220をアルカリ性の液体で再生する再生工程と、イオン交換体ユニット220をさらに洗浄する第2の洗浄工程とを、流路の要所に設けた開閉弁を所定の期間の経過ごとに制御することで遷移させる。これにより、イオン交換体ユニット220をシステムから取り外すことなく、検査対象水の水質を検査するための試料を得ることができ、検査対象水の水質の効率的な検査を行うことができる。さらに、不純物除去ユニット210を設け、第1および第2の洗浄工程において洗浄に使用する検査対象水から、不純物除去ユニット210を通して不純物を取り除くことで、洗浄に用いる検査対象水の不純物の濃度を下げることができる。
(第6の実施の形態)
(第6の実施の形態)
図27は、本発明の不純物取得システムの第6の実施の形態を示す図である。本形態における不純物取得システムは図27に示すように、溶離液400、ポンプ410および回収容器500それぞれの配置が第1の実施の形態におけるそれぞれの配置とは異なる。
回収容器500は、第1の実施の形態における第2の配管を介して開閉弁320から通液される溶離液を回収する。溶離液400はポンプ410を用いて第1の実施の形態における第4の配管を介して開閉弁330へ通液される。開閉弁330は、第1の実施の形態における機能に加えて、イオン交換体ユニット200に通液された検査対象液の第3の配管への通液と、第4の配管を用いて通液された溶離液400のイオン交換体ユニット200への通液とを切り替える構成を有する。開閉弁320は、第1の実施の形態における機能に加えて開閉弁310からの検査対象液のイオン交換体ユニット200への通液と、イオン交換体ユニット200に通液された溶離液400の第2の配管への通液とを切り替える構成を有する。
このような構成において、制御装置700は、上述した溶離工程にて、開閉弁320を、イオン交換体ユニット200に通液された溶離液400の第2の配管への通液へ切り替え、開閉弁330を、第4の配管を用いて通液された溶離液400のイオン交換体ユニット200への通液へ切り替える。なお、制御装置700が溶離工程から洗浄工程へ移行するトリガとして用いる処理は、回収した溶離液が回収容器500に満水となったかどうかを判定するものや、溶離液が回収された回収容器500全体の重量に基づいて判定するもの、回収容器500にレーザ光を照射して判定するものであっても良い。また、流量計600をイオン交換体ユニット200と回収容器500との間にも設け、流量計600が測定した流量があらかじめ設定された閾値に達したかどうかに基づいて判定するものであっても良い。
このように、本形態においては第1の実施の形態における溶離工程に用いる溶離液の流れとは対向する方向への流れで溶離液を流す構成を有する。これにより、第1の実施の形態におけるもの以外でも溶離工程を実現することができる。
(第7の実施の形態)
(第7の実施の形態)
図28は、本発明の不純物取得システムの第7の実施の形態を示す図である。本形態における不純物取得システムは図28に示すように、再生液403、ポンプ413および回収容器510それぞれの配置が第4の実施の形態におけるそれぞれの配置とは異なる。
回収容器510は、第4の実施の形態における第5の配管を介して開閉弁323から通液される再生液を回収する。再生液403はポンプ413を用いて第4の実施の形態における第6の配管を介して開閉弁333へ通液される。開閉弁333は、第4の実施の形態における機能に加えて、イオン交換体ユニット220に通液された検査対象液の第3の配管への通液と、イオン交換体ユニット220に通液された溶離液の第4の配管への通液と、第6の配管を用いて通液された再生液のイオン交換体ユニット220への通液とを切り替える構成を有する。開閉弁323は、第4の実施の形態における機能に加えて、開閉弁310からの検査対象液のイオン交換体ユニット220への通液と、ポンプ410で汲み上げられて第2の配管を流れてきた溶離液400のイオン交換体ユニット220への通液と、イオン交換体ユニット220に通液された再生液403の第5の配管への通液とを切り替える構成を有する。
このような構成において、制御装置703は、上述した再生工程にて、開閉弁323を、イオン交換体ユニット220に通液された再生液403の第5の配管への通液へ切り替え、開閉弁333を、第6の配管を用いて通液された再生液403のイオン交換体ユニット220への通液へ切り替える。なお、制御装置703が再生工程から第2の洗浄工程へ移行するトリガとして用いる処理は、回収した再生液が回収容器510に満水となったかどうかを判定するものや、アルカリ廃液が回収された回収容器510全体の重量に基づいて判定するもの、回収容器510にレーザ光を照射して判定するものであっても良い。また、流量計600をイオン交換体ユニット220と回収容器510との間にも設け、流量計600が測定した流量があらかじめ設定された閾値に達したかどうかに基づいて判定するものであっても良い。
このように、本形態においては第4の実施の形態における再生工程に用いる再生液の流れとは対向する方向への流れで再生液を流す構成を有する。これにより、第4の実施の形態におけるもの以外でも再生工程を実現することができる。なお、本形態において、第6の実施の形態で説明した溶離工程を組み合わせても良い。
以下に、上述した不純物取得システムが用いられる形態について説明する。図29は、本発明の不純物取得システムを適用した液体製造供給システムの一例を示す図である。図29に示す形態は、超純水製造設備内の非再生型イオン交換装置であるCP1000と、限外ろ過装置であるUF1100とを経由して半導体洗浄装置(ユースポイント)へ超純水が供給されるシステムである。CP1000へ供給される超純水(検査対象水)は、上流に設けられた液体製造供給設備から供給される。液体製造供給設備は、超純水を製造する設備でもある。図29に示した破線は、検査対象水となる超純水の水質を検査するための水の流路または制御信号の経路を示す。
超純水が半導体洗浄装置へ供給される流路は2つの系統があり、そのうち一方の流路には不純物除去ユニット1200が設けられ、不純物除去ユニット1200を介して超純水が半導体洗浄装置へ供給されるようになっている。また、CP1000とUF1100との間に開閉弁2000が設けられている。また、CP1000からの超純水の超純水回収タンクへの回収を制御する開閉弁2300が設けられている。また、UF1100からの超純水の超純水回収タンクへの回収を制御する開閉弁2400が設けられている。また、超純水を半導体洗浄装置へ供給するための2つ流路それぞれに開閉弁2100,2200が設けられている。
濃縮/溶離/回収装置1300は、図1,6,8,13,20に示した不純物取得システムに相当し、検査対象水となるCP1000からの超純水またはUF1100からの超純水について、第1~5の実施の形態で説明した処理を行う。ICP-MS1400は、取得された溶離液中の不純物濃度を分析し、分析した不純物濃度に基づいて、検査対象水中の不純物濃度を算出する装置(情報処理装置)であって、濃度を算出する情報処理機能を具備している。濃縮/溶離/回収装置1300とICP-MS1400とから水質検査システムを構成する。制御装置1500は、ICP-MS1400が算出した不純物濃度に基づいて、開閉弁2000,2100,2200,2300,2400の開閉を制御する第2の制御装置である。
制御装置1500は、CP1000の出口水についてICP-MS1400が算出した不純物濃度があらかじめ設定された濃度閾値を超えている場合、第5の開閉弁である開閉弁2000を閉状態に制御する。このとき、制御装置1500は、開閉弁2300を開状態に制御する。また、制御装置1500は、CP1000の出口水についてICP-MS1400が算出した不純物濃度が濃度閾値以下である場合、開閉弁2000を開状態とする。このとき、制御装置1500は、開閉弁2300を閉状態にする。また、制御装置1500は、UF1100の出口水についてICP-MS1400が算出した不純物濃度があらかじめ設定された濃度閾値を超えている場合、第4の弁部である開閉弁2100,2200を閉状態に制御する。このとき、制御装置1500は、開閉弁2400を開状態に制御する。また、制御装置1500は、UF1100の出口水についてICP-MS1400が算出した不純物濃度が濃度閾値以下である場合、開閉弁2100,2200を開状態とする。このとき、制御装置1500は、開閉弁2400を閉状態に制御する。なお、制御装置1500は、UF1100の出口水についてICP-MS1400が算出した不純物濃度が第1の濃度閾値以下である場合、開閉弁2100を開状態に制御し、ICP-MS1400が算出した不純物濃度が第1の濃度閾値を超えており第2の濃度閾値以下である場合、開閉弁2200を開状態に制御し、開閉弁2100を閉状態に制御し、ICP-MS1400が算出した不純物濃度が第2の濃度閾値を超えている場合、開閉弁2100,2200を閉状態に制御するものであっても良い。これは、不純物除去ユニット1200が設けられている流路は、不純物濃度がある程度高くても、その超純水に含まれる不純物が不純物除去ユニット1200によって除去されるため、半導体洗浄装置へ供給される超純水の不純物濃度が下がることを利用している。
図30は、図29に示したICP-MS1400へ供給される溶離液を回収する回収容器の配置の一形態を示す図である。第1~5の実施の形態で説明した回収容器500は図30に示すように、オートサンプラー520上に複数本配置されている。上述した1回の溶離回収工程にて回収容器500に溶離液が回収されると、次の溶離回収工程にて他の回収容器(例えば、隣接する回収容器)に溶離液が回収される位置にオートサンプラー520が回転する。また、溶離液が回収された回収容器500からは、溶離液が自動で吸引されてICP-MS1400へ供給されるように制御される。例えば、回収容器500に溶離液が回収され、溶離回収工程が終了したことを、回収容器500から溶離液を吸引する吸引装置が検知し、その吸引装置が回収容器500から溶離液の吸引を開始してICP-MS1400へ溶離液を供給するものであっても良い。
以下に、図29に示したシステムにおける処理について説明する。図31は、図29に示したシステムにおける処理の一例を説明するためのフローチャートである。ここでは、図29に示したUF1100の出口水についてICP-MS1400が不純物濃度を算出する場合を例に挙げて説明する。まず、回収容器500に回収された、UF1100の出口水の溶離液をICP-MS1400が取得する(ステップS51)。この取得は上述した吸引装置を用いるもので良い。すると、ICP-MS1400が取得した溶離液に含まれる不純物の濃度を測定する(ステップS52)。測定された濃度を示す濃度情報がICP-MS1400から制御装置1500へ送信される。制御装置1500は送信されてきた濃度情報が示す濃度があらかじめ設定された濃度閾値を超えているかどうかを判定する(ステップS53)。送信されてきた濃度情報が示す濃度が濃度閾値を超えている場合、制御装置1500は、所定の開閉弁を閉じる(ステップS54)。この所定の開閉弁は、超純水製造設備からの超純水が半導体洗浄装置へ供給されることを阻止する開閉弁であって、例えば、開閉弁2100,2200である。このとき、制御装置1500は、開閉弁2400を開状態として、超純水を超純水回収タンクへ供給しても良い。続いて、制御装置1500は、送信されてきた濃度情報が示す濃度が濃度閾値を超えている旨を通知する(ステップS55)。この通知は、システムの管理者や運用者、超純水製造設備の管理者等に対する通知であって、その旨を示す情報の送信や画面の表示等の出力である。その後、次の回収容器についてステップS51の処理が行われる。ここで、上述したように、濃度と比較する閾値を2つ有し、濃度を2つの閾値それぞれと比較した結果に基づいて開閉弁2100,2200の開閉を制御装置1500が制御しても良い。この制御の具体的な方法は、上述した通りである。また、図29に示したCP1000の出口水についてICP-MS1400が不純物濃度を算出する場合も、上述した処理と同様の処理が行われる。
図32は、本発明の不純物取得システムを適用した液体製造供給システムの他の例を示す図である。図32に示した適用例において、CP1000,UF1100、濃縮/溶離/回収装置1300、ICP-MS1400、制御装置1500および開閉弁2400それぞれは、図29に示したCP1000,UF1100、濃縮/溶離/回収装置1300、ICP-MS1400、制御装置1500および開閉弁2400それぞれと同じものである。UF1100から出口水である超純水が複数の流路に分配されて、それぞれの流路に接続された複数の半導体洗浄装置へ供給される。複数の流路それぞれは、濃縮/溶離/回収装置1300への流路が分岐されており、それぞれの流路に流れる超純水について、それぞれの超純水を検査対象水として濃縮/溶離/回収装置1300において第1~5の実施の形態で説明した処理が行われる。どの流路に流れる超純水について処理を行うかは、制御装置1500がそれぞれの分岐流路に設けられた開閉弁2500-1~2500-4の開閉を制御することで選択される。また、制御装置1500は、上述した処理と同様に、ICP-MS1400が算出した不純物濃度に基づいて、それぞれの流路に設けられた第5の開閉弁である開閉弁2100-1~2100-4の開閉を制御する。なお、制御装置1500は、複数の半導体洗浄装置それぞれに応じた閾値を有し、ICP-MS1400が算出した不純物濃度と、それぞれの半導体洗浄装置に応じた閾値との比較に基づいて、開閉弁2100-1~2100-4の開閉を制御するものであっても良い。
このように、超純水に含まれる不純物の濃度が所定の濃度閾値を超えている場合、開閉弁を制御して超純水の半導体洗浄装置への供給を阻止することで、半導体装置や超純水設備内の部材の汚染を防ぐことができる。なお、測定対象となる液体(水)は超純水に限らず、IPA(イソプロピルアルコール)、PGMA(ポリグリセロールメタクリレート)、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)等の薬液であっても良い。また、溶離液の回収にボトルを用いた形態を説明したが、回収する溶離液を分析装置へ直接噴霧し、定量分析を行うものであっても良い。また、本不純物取得システムにおいて測定する金属不純物の濃度は特に限定されないが、100ng/L以下、好ましくは1ng/L以下、更に好ましくは0.1ng/L以下であることが望ましい。
以上、各構成要素に各機能(処理)それぞれを分担させて説明したが、この割り当ては上述したものに限定しない。また、構成要素の構成についても、上述した形態はあくまでも例であって、これに限定しない。また、各実施の形態を組み合わせたものであっても良い。
200~202,220 イオン交換体ユニット
210,1200 不純物除去ユニット
310~312,320~323,330~333,340,2000,2100,2100-1~2100-4,2200,2300,2400,2500-1~2500-4 開閉弁
400~402 溶離液
403 再生液
410~413 ポンプ
500~502,510 回収容器
520 オートサンプラー
600~602 流量計
700~704,1500 制御装置
1000 CP
1100 UF
1300 濃縮/溶離/回収装置
1400 ICP-MS
210,1200 不純物除去ユニット
310~312,320~323,330~333,340,2000,2100,2100-1~2100-4,2200,2300,2400,2500-1~2500-4 開閉弁
400~402 溶離液
403 再生液
410~413 ポンプ
500~502,510 回収容器
520 オートサンプラー
600~602 流量計
700~704,1500 制御装置
1000 CP
1100 UF
1300 濃縮/溶離/回収装置
1400 ICP-MS
Claims (10)
- 検査対象液中の不純物を取得する不純物取得システムであって、
前記検査対象液中の不純物を吸着する吸着体と、
前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記吸着体に吸着された不純物を溶離させる溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える第1の制御装置と、
を有する不純物取得システム。 - 請求項1に記載の不純物取得システムにおいて、
前記吸着体に通液された液体の流量を取得する流量取得部を有し、
前記第1の制御装置は、前記流量取得部が取得した流量に基づいて、前記検査対象液の前記吸着体への通液と、前記溶離液の前記吸着体への通液とを切り替える不純物取得システム。 - 請求項2に記載の不純物取得システムにおいて、
前記第1の制御装置は、
前記検査対象液を前記吸着体へ通液させる濃縮工程と、
前記濃縮工程にて前記流量取得部が取得した前記吸着体に通液された検査対象液の流量が第1の閾値に達したとき、前記溶離液を前記吸着体へ通液させる溶離工程と、を実行させる、不純物取得システム。 - 請求項3に記載の不純物取得システムにおいて、
前記第1の制御装置は、
前記溶離工程にて前記流量取得部が取得した前記吸着体に通液された溶離液の流量が第2の閾値に達したとき、前記吸着体を洗浄する洗浄液を前記吸着体に通液させる洗浄工程を実行させる、不純物取得システム。 - 請求項4に記載の不純物取得システムにおいて、
前記第1の制御装置は、
前記洗浄工程を第1の洗浄工程として、該第1の洗浄工程にて前記流量取得部が取得した前記吸着体に通液された洗浄液の流量が第3の閾値に達したとき、前記吸着体を再生する再生液を前記吸着体に通液させる再生工程を実行させ、
前記再生工程にて前記流量取得部が取得した前記吸着体に通液された再生液の流量が第4の閾値に達したとき、前記洗浄液を前記吸着体に通液させる第2の洗浄工程を実行させる、不純物取得システム。 - 請求項7に記載の不純物取得システムにおいて、
前記洗浄液中の不純物を除去する不純物除去部を有し、
前記第1の制御装置は、前記第1の洗浄工程および第2の洗浄工程にて、前記不純物除去部を経由した洗浄液を前記吸着体へ供給させる、不純物取得システム。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の不純物取得システムにおいて、
前記吸着体の官能基が、カチオン交換基またはアニオン交換基またはキレート化合物である不純物取得システム。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の不純物取得システムと、
前記吸着体に通液された溶離液中の不純物濃度を分析し、該不純物濃度に基づいて、前記検査対象液中の不純物濃度を算出する情報処理装置と、を備える水質検査システム。 - 請求項8に記載の水質検査システムと、
前記検査対象液の製造と供給との少なくとも一方を行う液体製造供給設備から前記検査対象液を使用するユースポイントへの前記検査対象液の供給を制御する弁部と、
前記情報処理装置が算出した前記不純物濃度に基づいて、前記弁部を制御する第2の制御装置と、を備える液体製造供給システム。 - 検査対象液中の不純物を取得する不純物取得システムであって、
互いに並列に配置され、前記検査対象液中の不純物を吸着する複数の吸着体と、
前記検査対象液の前記複数の吸着体への通液を切り替える制御装置と、
を有する不純物取得システム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021017488A JP2022120536A (ja) | 2021-02-05 | 2021-02-05 | 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム |
US18/275,149 US20240101448A1 (en) | 2021-02-05 | 2022-01-17 | Impurity acquisition system, water quality testing system, and liquid production and supply system |
KR1020237029269A KR20230136200A (ko) | 2021-02-05 | 2022-01-17 | 불순물 취득 시스템, 수질 검사 시스템 및 액체 제조 공급 시스템 |
PCT/JP2022/001263 WO2022168571A1 (ja) | 2021-02-05 | 2022-01-17 | 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム |
CN202280009733.4A CN116783483A (zh) | 2021-02-05 | 2022-01-17 | 杂质获取系统、水质检查系统以及液体制造供给系统 |
TW111103041A TW202237534A (zh) | 2021-02-05 | 2022-01-25 | 雜質取得系統、水質檢查系統及液體製造供給系統 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021017488A JP2022120536A (ja) | 2021-02-05 | 2021-02-05 | 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022120536A true JP2022120536A (ja) | 2022-08-18 |
Family
ID=82740616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021017488A Pending JP2022120536A (ja) | 2021-02-05 | 2021-02-05 | 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20240101448A1 (ja) |
JP (1) | JP2022120536A (ja) |
KR (1) | KR20230136200A (ja) |
CN (1) | CN116783483A (ja) |
TW (1) | TW202237534A (ja) |
WO (1) | WO2022168571A1 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001153854A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Japan Organo Co Ltd | 不純物濃度モニター方法およびシステム |
KR102483138B1 (ko) * | 2018-05-17 | 2022-12-30 | 오르가노 코포레이션 | 금속 불순물 함유량의 분석방법 및 금속 불순물 함유량의 분석 키트 |
JP6754512B1 (ja) * | 2018-10-17 | 2020-09-09 | オルガノ株式会社 | 水質管理方法、イオン吸着装置、情報処理装置および情報処理システム |
-
2021
- 2021-02-05 JP JP2021017488A patent/JP2022120536A/ja active Pending
-
2022
- 2022-01-17 WO PCT/JP2022/001263 patent/WO2022168571A1/ja active Application Filing
- 2022-01-17 KR KR1020237029269A patent/KR20230136200A/ko unknown
- 2022-01-17 US US18/275,149 patent/US20240101448A1/en active Pending
- 2022-01-17 CN CN202280009733.4A patent/CN116783483A/zh active Pending
- 2022-01-25 TW TW111103041A patent/TW202237534A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2022168571A1 (ja) | 2022-08-11 |
TW202237534A (zh) | 2022-10-01 |
US20240101448A1 (en) | 2024-03-28 |
KR20230136200A (ko) | 2023-09-26 |
CN116783483A (zh) | 2023-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2828061B2 (ja) | 気体分析装置および気体分析方法 | |
JP3419375B2 (ja) | 極微量ガス分析装置とその分析方法 | |
CN102081017A (zh) | 一种气体在线监测系统 | |
KR102198919B1 (ko) | 가스 측정 장치 및 그의 세척 방법 | |
JP2000081422A (ja) | 多点極微量物質自動分析装置及び分析方法並びに極微量物質自動分析装置及び分析方法 | |
WO2020080461A1 (ja) | 水質管理方法、イオン吸着装置、情報処理装置および情報処理システム | |
WO2022168571A1 (ja) | 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム | |
KR20230097380A (ko) | 슬러리 내 자성 이물질의 검량장치 | |
JP3835686B2 (ja) | 逆浸透膜エレメントの性能評価装置 | |
JP2907269B2 (ja) | 自動分析計の自動校正方法 | |
CN114235761B (zh) | 分形态大气汞监测设备及监测方法 | |
JP2001153854A (ja) | 不純物濃度モニター方法およびシステム | |
WO2024038777A1 (ja) | 不純物取得システム、品質検査システムおよび液体製造供給システム | |
KR20220155173A (ko) | 오염물질 분석 장치 및 실시간 수질 모니터링 시스템 | |
US20230408393A1 (en) | System for filter analysis and regeneration | |
CN219179360U (zh) | 一种大气中硝酸和氨气浓度在线检测装置 | |
KR101851059B1 (ko) | 여과수 입자 감시시스템 | |
TW202413283A (zh) | 超純水製造裝置之運轉管理方法及運轉管理系統 | |
JP2024017876A (ja) | 超純水製造装置の運転管理方法および運転管理システム | |
Gronheid et al. | In-line monitoring of acid and base contaminants at low ppt levels for 193nm lithography | |
KR20240046198A (ko) | 품질 관리 시스템, 대상물 관리 시스템 및 대상물 관리 방법 | |
CN111257474A (zh) | 一种吹扫捕集系统及设备 | |
KR0129796Y1 (ko) | 습식 공정 장치 | |
JP2000187026A (ja) | 空気中不純物の測定方法 | |
JPH11295296A (ja) | 水質管理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20231013 |