JP3312425B2 - 高純度金属材料中の金属不純物元素の分析法及びその装置 - Google Patents
高純度金属材料中の金属不純物元素の分析法及びその装置Info
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- JP3312425B2 JP3312425B2 JP15512293A JP15512293A JP3312425B2 JP 3312425 B2 JP3312425 B2 JP 3312425B2 JP 15512293 A JP15512293 A JP 15512293A JP 15512293 A JP15512293 A JP 15512293A JP 3312425 B2 JP3312425 B2 JP 3312425B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属元素を主成分とする
試料中の金属不純物元素を金属主成分元素除去カラム及
び分析機器を使用し分離分析する高純度金属材料中の金
属不純物元素の分析法及びその装置に関するものであ
る。
試料中の金属不純物元素を金属主成分元素除去カラム及
び分析機器を使用し分離分析する高純度金属材料中の金
属不純物元素の分析法及びその装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体分野の電極や配線材料として各種
金属が使用されるなかで超ＬＳＩの電極材として高純度
金属が注目されており、金属材料の高純度化の要請が高
まっている。
金属が使用されるなかで超ＬＳＩの電極材として高純度
金属が注目されており、金属材料の高純度化の要請が高
まっている。
【０００３】一方、高純度金属材料の開発には材料中の
金属不純物元素分析が不可欠であり、高純度金属材料中
の金属不純物元素の迅速かつ高精度な分析法確立が必要
とされている。各種材料中の金属不純物元素は材料を溶
解した試料液と金属元素組成既知の標準液の双方につい
て各種分析機器を用いて同一な操作により測定し、得ら
れた双方の信号位置及び強度を比較することにより分析
する。
金属不純物元素分析が不可欠であり、高純度金属材料中
の金属不純物元素の迅速かつ高精度な分析法確立が必要
とされている。各種材料中の金属不純物元素は材料を溶
解した試料液と金属元素組成既知の標準液の双方につい
て各種分析機器を用いて同一な操作により測定し、得ら
れた双方の信号位置及び強度を比較することにより分析
する。
【０００４】通常溶液中の金属不純物元素の測定にはフ
レームレス原子吸光分析法、誘導結合プラズマ発光分析
法、誘導結合プラズマ質量分析（以下ＩＣＰ−ＭＳと記
す）法が用いられるがいずれの方法も試料液中の金属主
成分元素は測定する金属不純物元素の信号位置や強度へ
影響を及ぼす。特に高純度金属材料中の金属不純物元素
はｐｐｂレベルの超微量成分であるためこの影響が顕著
となる。従って、測定前あるいは測定上の工夫が必要と
なる。
レームレス原子吸光分析法、誘導結合プラズマ発光分析
法、誘導結合プラズマ質量分析（以下ＩＣＰ−ＭＳと記
す）法が用いられるがいずれの方法も試料液中の金属主
成分元素は測定する金属不純物元素の信号位置や強度へ
影響を及ぼす。特に高純度金属材料中の金属不純物元素
はｐｐｂレベルの超微量成分であるためこの影響が顕著
となる。従って、測定前あるいは測定上の工夫が必要と
なる。
【０００５】従来高純度金属材料中の金属不純物元素を
上記方法で測定するために、測定前に試料液中の金属主
成分元素と金属不純物元素を分離して金属主成分元素の
影響を除去する方法（以下方法１とする）や標準液へ金
属主成分元素を添加して測定上の金属主成分元素の影響
を試料液と標準液の双方で等しくする方法（以下方法２
とする）が知られている。
上記方法で測定するために、測定前に試料液中の金属主
成分元素と金属不純物元素を分離して金属主成分元素の
影響を除去する方法（以下方法１とする）や標準液へ金
属主成分元素を添加して測定上の金属主成分元素の影響
を試料液と標準液の双方で等しくする方法（以下方法２
とする）が知られている。
【０００６】方法１の場合として、イオン交換法を利用
して試料液中の金属主成分元素を測定する金属不純物元
素から分離除去する前処理法があるが、これは測定前の
独立した処理であるため、操作の煩雑さ、測定ブランク
値の増加、測定する金属不純物元素の吸脱着条件の設定
及びイオン交換操作時の稀釈による感度低下の問題があ
る。また、方法２の場合測定する金属不純物元素のブラ
ンク値を抑えるために標準液に添加する金属主成分元素
は被試験材料より極めて高純度でなければならない。従
って分析のために被試験材料よりも高純度な材料を調整
するという問題があり、さらに金属主成分元素の影響を
強く受ける金属元素の測定は困難という問題がある。一
方、被試験材料を溶解した試料液の微少量を分析機器へ
導入し、金属主成分元素の影響を抑える測定法がある
が、この方法も測定する金属不純物元素の濃度がｐｐｂ
レベルの超微量成分となると金属主成分元素の影響が顕
著となり正確な測定が困難となる。
して試料液中の金属主成分元素を測定する金属不純物元
素から分離除去する前処理法があるが、これは測定前の
独立した処理であるため、操作の煩雑さ、測定ブランク
値の増加、測定する金属不純物元素の吸脱着条件の設定
及びイオン交換操作時の稀釈による感度低下の問題があ
る。また、方法２の場合測定する金属不純物元素のブラ
ンク値を抑えるために標準液に添加する金属主成分元素
は被試験材料より極めて高純度でなければならない。従
って分析のために被試験材料よりも高純度な材料を調整
するという問題があり、さらに金属主成分元素の影響を
強く受ける金属元素の測定は困難という問題がある。一
方、被試験材料を溶解した試料液の微少量を分析機器へ
導入し、金属主成分元素の影響を抑える測定法がある
が、この方法も測定する金属不純物元素の濃度がｐｐｂ
レベルの超微量成分となると金属主成分元素の影響が顕
著となり正確な測定が困難となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した課題
を解決し従来法では困難であった高純度金属材料中の金
属不純物元素の分析を簡便な操作により迅速かつ高精度
で行うことを目的とする。
を解決し従来法では困難であった高純度金属材料中の金
属不純物元素の分析を簡便な操作により迅速かつ高精度
で行うことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は陰イオン交換樹
脂を充填した除去カラムにより金属主成分元素を吸着除
去する前処理操作と金属不純物元素の測定を連続で行え
るシステムを考案することによりなされたものである。
脂を充填した除去カラムにより金属主成分元素を吸着除
去する前処理操作と金属不純物元素の測定を連続で行え
るシステムを考案することによりなされたものである。
【０００９】本発明の構成は高純度金属材料を溶解し試
料液を調整する工程（以下，工程１とする。）と一定流
量の溶離液の流れる流路へ該試料液を導入し金属主成分
元素を吸着除去する工程（以下，工程２とする。）及び
金属主成分元素除去後の溶出液中の金属不純物元素を分
析機器により検出する工程（以下，工程３とする。）の
三工程からなる。以下その詳細について説明する。
料液を調整する工程（以下，工程１とする。）と一定流
量の溶離液の流れる流路へ該試料液を導入し金属主成分
元素を吸着除去する工程（以下，工程２とする。）及び
金属主成分元素除去後の溶出液中の金属不純物元素を分
析機器により検出する工程（以下，工程３とする。）の
三工程からなる。以下その詳細について説明する。
【００１０】工程１において高純度金属材料を溶解した
溶液へ、選択的に金属主成分元素と陰イオン錯体を形成
する酸（例えば、弗化水素酸、塩酸、シアン化水素酸
等）及び／又は選択的に金属主成分元素とオキソ酸陰イ
オンを形成する過酸化水素を一定量加えて酸性溶液にす
ることで、金属主成分元素を安定した陰イオン状態とし
て存在させることが可能となる。
溶液へ、選択的に金属主成分元素と陰イオン錯体を形成
する酸（例えば、弗化水素酸、塩酸、シアン化水素酸
等）及び／又は選択的に金属主成分元素とオキソ酸陰イ
オンを形成する過酸化水素を一定量加えて酸性溶液にす
ることで、金属主成分元素を安定した陰イオン状態とし
て存在させることが可能となる。
【００１１】工程２において導入された試料液中の金属
主成分元素は陰イオン交換樹脂を充填した除去カラムへ
吸着する。
主成分元素は陰イオン交換樹脂を充填した除去カラムへ
吸着する。
【００１２】これに対し、陽イオン又は中性状態として
存在する金属不純物元素は陰イオン交換樹脂に吸着され
ることなく除去カラムを通過する。また金属不純物元素
は陰イオン交換樹脂へ吸着しないため、金属不純物元素
の吸着溶離操作が不要となり非常に簡便な操作となる。
さらに溶離操作が不要なため溶離液による希釈が避けら
れるだけでなく、次工程である測定が連続して行える。
存在する金属不純物元素は陰イオン交換樹脂に吸着され
ることなく除去カラムを通過する。また金属不純物元素
は陰イオン交換樹脂へ吸着しないため、金属不純物元素
の吸着溶離操作が不要となり非常に簡便な操作となる。
さらに溶離操作が不要なため溶離液による希釈が避けら
れるだけでなく、次工程である測定が連続して行える。
【００１３】工程３において分析機器へ導入される該工
程２からの溶出液は金属主成分元素を殆ど含んでいない
ため測定する金属不純物元素の信号は金属主成分元素の
影響を受けない。従って測定に際して金属主成分元素未
添加の標準液が使用できる。このように試料液中の金属
主成分元素の除去工程と金属不純物元素の測定を連続で
行える本発明の装置により高純度金属材料中の金属不純
物元素の分析が可能となる。
程２からの溶出液は金属主成分元素を殆ど含んでいない
ため測定する金属不純物元素の信号は金属主成分元素の
影響を受けない。従って測定に際して金属主成分元素未
添加の標準液が使用できる。このように試料液中の金属
主成分元素の除去工程と金属不純物元素の測定を連続で
行える本発明の装置により高純度金属材料中の金属不純
物元素の分析が可能となる。
【００１４】本発明において金属主成分元素は酸性溶液
中で陰イオン交換樹脂に対して分配係数１００以上を有
するものであれば特に限定されないが、過酸化水素とオ
キソ酸の陰イオンを形成するか又は特定の酸（例えば、
弗化水素酸、塩酸、シアン化水素酸等）と安定な錯陰イ
オンを形成できるＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、
Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔ及びＳ
ｉのような元素が望ましい。
中で陰イオン交換樹脂に対して分配係数１００以上を有
するものであれば特に限定されないが、過酸化水素とオ
キソ酸の陰イオンを形成するか又は特定の酸（例えば、
弗化水素酸、塩酸、シアン化水素酸等）と安定な錯陰イ
オンを形成できるＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、
Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔ及びＳ
ｉのような元素が望ましい。
【００１５】逆に、金属不純物元素は上記過酸化水素又
は酸の存在下で陽イオンや中性状態で存在することが必
要であり、例えば、Ｌｉ，Ｎａ，Ｍｎ及びＰｂ等が挙げ
られる。
は酸の存在下で陽イオンや中性状態で存在することが必
要であり、例えば、Ｌｉ，Ｎａ，Ｍｎ及びＰｂ等が挙げ
られる。
【００１６】試料液中の金属主成分元素濃度は１０重量
％以下であれば何等限定されるものではないが、２重量
％以下が望ましい。過酸化水素はオキソ酸陰イオンを形
成するために加えるが、その量は特に限定されるもので
はない。また試料液中の酸は、金属主成分と安定な錯陰
イオンを形成する酸（例えば、弗化水素酸、塩酸、シア
ン化水素酸等）でも良いし、過酸化水素と共に使用する
場合は、陰イオンの形成に関与する必要がなく、特に限
定されるものではない。
％以下であれば何等限定されるものではないが、２重量
％以下が望ましい。過酸化水素はオキソ酸陰イオンを形
成するために加えるが、その量は特に限定されるもので
はない。また試料液中の酸は、金属主成分と安定な錯陰
イオンを形成する酸（例えば、弗化水素酸、塩酸、シア
ン化水素酸等）でも良いし、過酸化水素と共に使用する
場合は、陰イオンの形成に関与する必要がなく、特に限
定されるものではない。
【００１７】工程１で調整された試料液中の酸濃度は１
重量％以下の低濃度が望ましい。また、該工程２で導入
する試料液量は特に限定されないが、数１００マイクロ
リットル（例えば１００マイクロリットル）と少量に設
定すれば金属主成分元素を吸着するイオン交換樹脂量が
数ミリリットル程度の少量ですむ。
重量％以下の低濃度が望ましい。また、該工程２で導入
する試料液量は特に限定されないが、数１００マイクロ
リットル（例えば１００マイクロリットル）と少量に設
定すれば金属主成分元素を吸着するイオン交換樹脂量が
数ミリリットル程度の少量ですむ。
【００１８】除去カラムへ充填する樹脂は陰イオン交換
樹脂であれば何等限定されるものではないが高交換容量
の強塩基性陰イオン交換樹脂が望ましい。溶離液は１重
量％以下の硝酸を含む水溶液で問題はないが、過酸化水
素を０．１重量％含むものでもよい。
樹脂であれば何等限定されるものではないが高交換容量
の強塩基性陰イオン交換樹脂が望ましい。溶離液は１重
量％以下の硝酸を含む水溶液で問題はないが、過酸化水
素を０．１重量％含むものでもよい。
【００１９】本発明で使用する試薬及び水は金属不純物
元素が１ｐｐｂ未満のものであれば特定されるものでは
ないが超微量成分分析で常用されている金属不純物元素
濃度が１ｐｐｂ未満の市販高純度試薬（以下市販高純度
試薬と記す）及び比抵抗値１７ＫΩｃｍ以上のイオン交
換水（以下超純水と記す）が望ましい。
元素が１ｐｐｂ未満のものであれば特定されるものでは
ないが超微量成分分析で常用されている金属不純物元素
濃度が１ｐｐｂ未満の市販高純度試薬（以下市販高純度
試薬と記す）及び比抵抗値１７ＫΩｃｍ以上のイオン交
換水（以下超純水と記す）が望ましい。
【００２０】溶離液の送液ポンプは定流量で溶離液を送
液できるものであればなんら限定されるものではない
が、接液部が樹脂仕様のダブルプランジャータイプの高
速液体クロマトグラフィー用ポンプが望ましい。分析機
器は連続的にｐｐｂレベル以下の検出感度を有しかつ各
金属不純物元素を分別して検出できるものであれば特に
限定されないがＩＣＰ−ＭＳ機器のように多元素同時測
定機能を有したものが望ましい。
液できるものであればなんら限定されるものではない
が、接液部が樹脂仕様のダブルプランジャータイプの高
速液体クロマトグラフィー用ポンプが望ましい。分析機
器は連続的にｐｐｂレベル以下の検出感度を有しかつ各
金属不純物元素を分別して検出できるものであれば特に
限定されないがＩＣＰ−ＭＳ機器のように多元素同時測
定機能を有したものが望ましい。
【００２１】以下本発明について図を用いて詳しく説明
する。
する。
【００２２】図１は本発明実施例の構成図である。図中
での１は溶離液が貯留された槽、２は送液ポンプ、３は
１００μｌの試料液注入ループ、４は切り換えバルブ、
５は試料液注入のための注射器、６は試料液のはいった
メスフラスコ、７は陰イオン交換樹脂が充填された除去
カラム、８は該除去カラムからの溶出液中の金属不純物
元素を検出するＩＣＰ−ＭＳ機器、９は排出口である。
での１は溶離液が貯留された槽、２は送液ポンプ、３は
１００μｌの試料液注入ループ、４は切り換えバルブ、
５は試料液注入のための注射器、６は試料液のはいった
メスフラスコ、７は陰イオン交換樹脂が充填された除去
カラム、８は該除去カラムからの溶出液中の金属不純物
元素を検出するＩＣＰ−ＭＳ機器、９は排出口である。
【００２３】図１の構成からなる本発明の装置において
最初、切り換えバルブ４は実線接続流路となっている。
また、送液ポンプ２は常に運転状態にあり貯層１の溶離
液を切り換えバルブ４のポート４ａ、除去カラム７、Ｉ
ＣＰ−ＭＳ機器８を経由して排水口９へ送液している。
この状態で注射器５を吸引することにより、メスフラス
コ６内の試料液は切り換えバルブ４のポート４ｄ、４ｃ
を経由して１００μｌの試料液注入ループ３へ導入され
る。ここで注射器５によりメスフラスコ６内の試料液の
一定量をとり、切り換えバルブ４のポート４ｅから注射
器を加圧することにより４ｅ、４ｆを経由して試料液注
入ループ３へ導入してもよい。次に切り換えバルブ４を
波線接続流路へ切り換えることにより、送液ポンプ２に
より送られている溶離液によって注入された試料液を除
去カラム７へ搬送する。ここで試料液中の金属主成分元
素が吸着除去され、共存する金属不純物元素はＩＣＰ−
ＭＳ機器へ導入され分離検出される。
最初、切り換えバルブ４は実線接続流路となっている。
また、送液ポンプ２は常に運転状態にあり貯層１の溶離
液を切り換えバルブ４のポート４ａ、除去カラム７、Ｉ
ＣＰ−ＭＳ機器８を経由して排水口９へ送液している。
この状態で注射器５を吸引することにより、メスフラス
コ６内の試料液は切り換えバルブ４のポート４ｄ、４ｃ
を経由して１００μｌの試料液注入ループ３へ導入され
る。ここで注射器５によりメスフラスコ６内の試料液の
一定量をとり、切り換えバルブ４のポート４ｅから注射
器を加圧することにより４ｅ、４ｆを経由して試料液注
入ループ３へ導入してもよい。次に切り換えバルブ４を
波線接続流路へ切り換えることにより、送液ポンプ２に
より送られている溶離液によって注入された試料液を除
去カラム７へ搬送する。ここで試料液中の金属主成分元
素が吸着除去され、共存する金属不純物元素はＩＣＰ−
ＭＳ機器へ導入され分離検出される。
【００２４】一方、３重量％以上の酸性水溶液を充填樹
脂量の１００倍量以上流すことによりカラムへ吸着した
金属主成分元素を溶離し容易にカラムの再生が可能であ
る。次に本発明の装置を用いて実際に行った具体的な実
施例について説明するが本発明はこれら実施例のみに限
定されるものではない。尚本実施例では測定する金属不
純物元素をＬｉ、Ｎａ、Ｍｎ、Ｐｂの４元素に絞って説
明するが、酸又は過酸化水素の存在下で、陽イオン又は
中性状態で存在する他の金属不純物元素へも同様に適用
できる。
脂量の１００倍量以上流すことによりカラムへ吸着した
金属主成分元素を溶離し容易にカラムの再生が可能であ
る。次に本発明の装置を用いて実際に行った具体的な実
施例について説明するが本発明はこれら実施例のみに限
定されるものではない。尚本実施例では測定する金属不
純物元素をＬｉ、Ｎａ、Ｍｎ、Ｐｂの４元素に絞って説
明するが、酸又は過酸化水素の存在下で、陽イオン又は
中性状態で存在する他の金属不純物元素へも同様に適用
できる。
【００２５】
実施例１ まず金属Ｍｏ中のＬｉ，Ｐｂの分析について説明する。
本実施例１で使用した試料１、２及び混合標準液１は以
下のようにして調整した。市販の高純度金属Ｍｏ粉末
（９９．９％以上）０．４ｇを市販高純度試薬の過酸化
水素水により溶解し、硝酸酸性とした試料原液を２つ作
成（試料原液１、２とする）。
本実施例１で使用した試料１、２及び混合標準液１は以
下のようにして調整した。市販の高純度金属Ｍｏ粉末
（９９．９％以上）０．４ｇを市販高純度試薬の過酸化
水素水により溶解し、硝酸酸性とした試料原液を２つ作
成（試料原液１、２とする）。
【００２６】次に原子吸光分析用１０００ｐｐｍＬｉ標
準液及びＰｂ標準液を超純水で稀釈して１ｐｐｍの混合
標準原液１を作成。先の試料原液１へ混合標準原液１を
４０マイクロリットル加えて２０ミリリットルとしたも
のを試料１とした。同様に試料原液２へ混合標準原液１
を２００マイクロリットル加え２０ミリリットルとした
ものを試料２とした。また、Ｍｏ溶解以外は試料原液作
成操作と同一に行った水溶液へ混合標準原液１を２００
マイクロリットル加え２０ミリリットルとし、１０ｐｐ
ｂの混合標準液１を作成した。
準液及びＰｂ標準液を超純水で稀釈して１ｐｐｍの混合
標準原液１を作成。先の試料原液１へ混合標準原液１を
４０マイクロリットル加えて２０ミリリットルとしたも
のを試料１とした。同様に試料原液２へ混合標準原液１
を２００マイクロリットル加え２０ミリリットルとした
ものを試料２とした。また、Ｍｏ溶解以外は試料原液作
成操作と同一に行った水溶液へ混合標準原液１を２００
マイクロリットル加え２０ミリリットルとし、１０ｐｐ
ｂの混合標準液１を作成した。
【００２７】除去カラムとして粒形が５μｍである高交
換容量（例えば３．７ｍｅｑ／ｇ）の第４級アンモニウ
ム基を有する全多孔性スチレン・ジビニルベンゼン共重
合体の陰イオン交換樹脂を内経６．０ｍｍ、長さ１５ｃ
ｍのクロマト管へ充填したカラムへ３％硝酸水溶液を通
液することにより、第４級アンモニウム基の対イオンを
硝酸型としたものを使用した。また、溶離液として０．
１重量％の過酸化水素を含む０．１重量％硝酸水溶液を
用いて、流速１．０ミリリットル／ｍｉｎ．で通液し
た。
換容量（例えば３．７ｍｅｑ／ｇ）の第４級アンモニウ
ム基を有する全多孔性スチレン・ジビニルベンゼン共重
合体の陰イオン交換樹脂を内経６．０ｍｍ、長さ１５ｃ
ｍのクロマト管へ充填したカラムへ３％硝酸水溶液を通
液することにより、第４級アンモニウム基の対イオンを
硝酸型としたものを使用した。また、溶離液として０．
１重量％の過酸化水素を含む０．１重量％硝酸水溶液を
用いて、流速１．０ミリリットル／ｍｉｎ．で通液し
た。
【００２８】該混合標準液１を１００マイクロリットル
の試料液注入ループへ注入したのち切り換えバルブによ
り該混合標準液１を除去カラムへ導入した。除去カラム
から溶出する液をＩＣＰ−ＭＳ機器により測定した。同
様にして試料１，２も測定した。その結果のクロマトグ
ラフを図２に示す。
の試料液注入ループへ注入したのち切り換えバルブによ
り該混合標準液１を除去カラムへ導入した。除去カラム
から溶出する液をＩＣＰ−ＭＳ機器により測定した。同
様にして試料１，２も測定した。その結果のクロマトグ
ラフを図２に示す。
【００２９】図２から明かなように金属主成分元素であ
るＭｏはほとんど溶出せず、目的とする金属不純物元素
はＭｏの影響を受ける事なく混合標準液１と同様良好に
分離検出されている。
るＭｏはほとんど溶出せず、目的とする金属不純物元素
はＭｏの影響を受ける事なく混合標準液１と同様良好に
分離検出されている。
【００３０】実施例２ 次にＭｏＯ3中のＮａ，Ｍｎの分析例について説明す
る。本実施例２で使用した試料３及び混合標準液２は以
下のようにして調整した。
る。本実施例２で使用した試料３及び混合標準液２は以
下のようにして調整した。
【００３１】市販の高純度ＭｏＯ3粉末（９９．９％以
上）０．４ｇを、市販高純度薬品の過酸化水素及びアン
モニア水により溶解し硝酸酸性とした試料原液３を作
成。次に原子吸光分析用１０００ｐｐｍＮａ標準液及び
Ｍｎ標準液を超純水で稀釈して１ｐｐｍの混合標準原液
２を作成した。
上）０．４ｇを、市販高純度薬品の過酸化水素及びアン
モニア水により溶解し硝酸酸性とした試料原液３を作
成。次に原子吸光分析用１０００ｐｐｍＮａ標準液及び
Ｍｎ標準液を超純水で稀釈して１ｐｐｍの混合標準原液
２を作成した。
【００３２】先の試料原液３へ混合標準原液２を４００
マイクロリットル加え２０ミリリットルとしたものを試
料３とした。また、ＭｏＯ3粉末を溶解する以外は試料
３と同一の操作を行いＭｏを含まない２０ｐｐｂの混合
標準液２を作成した。
マイクロリットル加え２０ミリリットルとしたものを試
料３とした。また、ＭｏＯ3粉末を溶解する以外は試料
３と同一の操作を行いＭｏを含まない２０ｐｐｂの混合
標準液２を作成した。
【００３３】試料３の調整以外の操作は実施例１と同一
に行った。その結果のクロマトグラフを図３に示す。Ｍ
ｏＯ3も金属Ｍｏ同様に金属主成分元素成分のＭｏはほ
とんど溶出せず、目的とする金属元素はＭｏの影響を受
けることなく混合標準液同様、良好に分離検出されてい
る。
に行った。その結果のクロマトグラフを図３に示す。Ｍ
ｏＯ3も金属Ｍｏ同様に金属主成分元素成分のＭｏはほ
とんど溶出せず、目的とする金属元素はＭｏの影響を受
けることなく混合標準液同様、良好に分離検出されてい
る。
【００３４】比較例１ 比較例として除去カラムを使用しないで微少試料量を用
いて行った場合を説明する。試料及び操作はすべて実施
例２と同様に行い本発明のシステムで除去カラムを使用
しないで測定した結果のクロマトグラフを図４に示す。
いて行った場合を説明する。試料及び操作はすべて実施
例２と同様に行い本発明のシステムで除去カラムを使用
しないで測定した結果のクロマトグラフを図４に示す。
【００３５】図４から明かなように除去カラムを使用し
ないと注入試料液量が小量であっても金属主成分元素で
あるＭｏの影響で測定元素の強度へ大きな変化が現れて
いる。従って同一濃度の試料液であっても共存するＭｏ
量により強度が変わるため正確な定量測定は困難であ
る。
ないと注入試料液量が小量であっても金属主成分元素で
あるＭｏの影響で測定元素の強度へ大きな変化が現れて
いる。従って同一濃度の試料液であっても共存するＭｏ
量により強度が変わるため正確な定量測定は困難であ
る。
【００３６】
【発明の効果】以上詳しく説明したように本発明によれ
ば、高純度金属材料を溶解した酸性水溶液を除去カラム
を具備した一定流量の溶離液の流れる流路へ注入するだ
けで、煩雑な前処理をすることなく迅速に高純度金属材
料中の金属不純物元素が分析可能となる。
ば、高純度金属材料を溶解した酸性水溶液を除去カラム
を具備した一定流量の溶離液の流れる流路へ注入するだ
けで、煩雑な前処理をすることなく迅速に高純度金属材
料中の金属不純物元素が分析可能となる。
【図１】本発明実施例の構成説明図
１ 溶離液が貯留された槽 ２ 送液ポンプ ３ １００マイクロリットルの試料液注入ループ ４ 切り換えバルブ ５ 試料液注入のための注射器 ６ 試料液のはいったメスフラスコ ７ 陰イオン交換樹脂が充填された除去カラム ８ 該除去カラムからの溶出液中の金属不純物元素を検
出するＩＣＰ−ＭＳ機器 ９ 排出口
出するＩＣＰ−ＭＳ機器 ９ 排出口
【図２】実施例１で得られたクロマトグラフ
【図３】実施例２で得られたクロマトグラフ
【図４】比較例１で得られたクロマトグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 30/02 B01D 15/04 B01J 41/04 G01N 30/88 G01N 31/00
Claims (2)
- 【請求項１】高純度金属材料を溶解した試料液へ酸及び
／または過酸化水素を加え主成分の金属元素を安定した
陰イオン状態とし、該溶液を陰イオン交換樹脂を充填し
たカラムへ注入し該金属主成分元素を吸着除去した後、
該カラムからの溶出液を分析機器へ導き該溶出液中の微
量な金属不純物元素を測定することを特徴とする高純度
金属材料中の金属不純物元素の分析法。 - 【請求項２】溶離液を送液するポンプ、試料液注入ルー
プを具備した切り換えバルブ、陰イオン交換樹脂を充填
したカラム及び溶液中の金属元素を検出する分析機器の
順で構成してなる高純度金属材料中の金属不純物元素分
析用装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15512293A JP3312425B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 高純度金属材料中の金属不純物元素の分析法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15512293A JP3312425B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 高純度金属材料中の金属不純物元素の分析法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712787A JPH0712787A (ja) | 1995-01-17 |
| JP3312425B2 true JP3312425B2 (ja) | 2002-08-05 |
Family
ID=15599049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15512293A Expired - Fee Related JP3312425B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | 高純度金属材料中の金属不純物元素の分析法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3312425B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7196165B2 (ja) * | 2018-05-17 | 2022-12-26 | オルガノ株式会社 | 金属不純物含有量の分析方法及び金属不純物含有量の分析キット |
| CN113777095A (zh) * | 2021-08-30 | 2021-12-10 | 成都虹波钼业有限责任公司 | 一种检测高溶催化剂用三氧化钼中钾、钠含量的方法 |
-
1993
- 1993-06-25 JP JP15512293A patent/JP3312425B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0712787A (ja) | 1995-01-17 |
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