JP6891890B2 - 液状組成物、並びに該液状組成物を使用した、フィルムおよび積層体の製造方法 - Google Patents
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Description
[1]液状媒体と該液状媒体に分散した樹脂パウダーとを含み、樹脂パウダーの平均粒径が0.3〜6μm、体積基準累積90%径が8μm以下であり、樹脂パウダーが下記重合体(X)を含む樹脂であることを特徴とする液状組成物。
重合体(X):テトラフルオロエチレンに基づく単位を有する含フッ素重合体であって、カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基およびイソシアネート基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する含フッ素重合体。
[2]前記重合体(X)が、テトラフルオロエチレンに基づく単位と前記官能基を有する単位とを有する含フッ素共重合体である、[1]の液状組成物。
[3]前記重合体(X)が、さらに、ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)に基づく単位を有する含フッ素共重合体である、[1]または[2]の液状組成物。
[4]前記液状組成物が、さらに、界面活性剤を含む、[1]〜[3]のいずれかの液状組成物。
[5]前記液状組成物が、さらに、重合体(X)以外の重合体からなる樹脂のパウダー、または、無機質フィラーを含む、[1]〜[3]のいずれかの液状組成物。
含フッ素共重合体:テトラフルオロエチレンに基づく単位と、カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基およびイソシアネート基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する単位とを有する含フッ素共重合体。
[7]10cm2の面積の中に20μm以上の光学的不均一物の数が20個以下である、[6]のフィルム。
[8]前記フィルムの表面の算術平均粗さRaが2.0μm以上である、[6]または[7]のフィルム。
[10]前記基材が金属基材であり、前記フィルム層の厚みが15μm以下である、[9]の積層体。
[11]反り率が25%以下である、[9]または[10]の積層体。
[12]前記[6]のフィルムからなる層を有する層間絶縁膜、ソルダーレジストまたはカバーレイフィルム。
[14]強化繊維基材に含浸させて製膜化する、[13]の製造方法。
[15]前記フィルムの比誘電率が2.0〜3.5である、[13]または[14]の製造方法。
[17]前記樹脂層の露出面の算術平均粗さRaが2.0μm以上である、[16]の製造方法。
[18]前記液状媒体を除去した後、遠赤外線を放射する加熱プレートから一面に向かって放射される熱幅射と不活性ガスを噴射しつつ加熱する、[16]または[17]の製造方法。
[19]前記樹脂層を形成した後該樹脂層表面をプラズマ処理する、[16]〜[18]のいずれかの製造方法。
[20]前記樹脂層の比誘電率が2.0〜3.5である、[16]〜[19]のいずれかの製造方法。
[21]前記基材が金属基材である、[16]〜[20]のいずれかの製造方法。
[23]前記第2の基材がプリプレグであり、該プリプレグのマトリックス樹脂が融点が280℃以下の熱可塑性樹脂または熱硬化温度が280℃以下の熱硬化性樹脂であり、120〜300℃で熱プレスして積層する、[22]の製造方法。
[24]前記[16]〜[23]のいずれかの製造方法で製造された少なくとも片面に金属層を有する積層体の該金属層を、エッチングしてパターンを形成することを特徴とするプリント基板の製造方法。
「比誘電率」は、SPDR(スピリットポスト誘電体共振器)法により、23℃±2℃、50±5%RHの範囲内の環境下にて、周波数2.5GHzで測定される値である。
重合体における「単位」は、単量体が重合することによって形成された、該単量体1分子に由来する原子団を意味する。単位は、重合反応によって直接形成された原子団であってもよく、重合反応によって得られた重合体を処理することによって該原子団の一部が別の構造に変換された原子団であってもよい。
「(メタ)アクリレート」とは、アクリレートとメタクリレートの総称である。
「算術平均粗さ(Ra)」は、JIS B0601:2013(ISO4287:1997,Amd.1:2009)に基づき測定される算術平均粗さである。Raを求める際の、粗さ曲線用の基準長さlr(カットオフ値λc)は0.8mmとした。
本発明の液状組成物は、液状媒体と該液状媒体に分散した樹脂パウダーとを含む液状組成物であり、樹脂パウダーは後述の重合体(X)を含む。加えて、樹該脂パウダーの平均粒径は0.3〜6μmであり、体積基準累積90%径(D90)は8μm以下である。
分散媒である液状媒体は、常温で液状の不活性な成分であり、水等の無機質溶媒や有機溶媒等からなる。液状媒体は、液状組成物に含まれる他の成分よりも低沸点であり、加熱等により揮発し除去できるものであることが好ましい。
樹脂パウダーは重合体(X)以外の重合体を含んでいてもよい。
さらに、液状組成物は、液状媒体および上記樹脂パウダー以外の成分を有していてもよい。例えば、界面活性剤等の分散安定性を向上させる成分、無機質粒子や非溶融性有機質粒子等からなるフィラー、上記樹脂パウダーにおける樹脂とは異なる樹脂のパウダー、液状媒体に溶解した硬化性または非硬化性の樹脂等が挙げられる。
本発明の液状組成物が含有する他の成分としては、特に、界面活性剤やフィラーが好ましい。
官能基(i)は、重合体(X)中の単位に含まれていてもよく、その場合、官能基(i)を有する単位はフッ素原子を有する単位であってもよく、フッ素原子を有しない単位であってもよい。以下、官能基(i)を有する単位を「単位(1)」ともいう。単位(1)はフッ素原子を有しない単位が好ましい。
また、官能基(i)は重合体(X)の主鎖の末端基に含まれていてもよく、その場合、重合体(X)は単位(1)を有していてもよく、有していなくてもよい。官能基(i)を有する末端基は、重合開始剤、連鎖移動剤等に由来する末端基であり、官能基(i)を有する、または重合体形成の反応の際に官能基(i)を生じる、重合開始剤や連鎖移動剤を使用することにより官能基(i)を有する末端基が形成される。また、重合体形成後にその末端基に官能基(i)を導入することもできる。末端基に含まれる官能基(i)としては、アルコキシカルボニル基、カーボネート基、カルボキシ基、フルオロホルミル基、酸無水物残基、ヒドロキシ基が好ましい。
以下、単位(1)とTFE単位とを有する共重合体である重合体(X)を例にして本発明を説明する。
ハロホルミル基は、−C(=O)−X(ただし、Xはハロゲン原子である。)で表される基である。ハロホルミル基におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子等が挙げられ、フッ素原子が好ましい。すなわち、ハロホルミル基としてはフルオロホルミル基(カルボニルフルオリド基ともいう。)が好ましい。
アルコキシカルボニル基におけるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐状でもよい。該アルコキシ基としては、炭素原子数1〜8のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基またはエトキシ基が特に好ましい。
単量体(m1)としては、官能基(i)を1つ有し、重合性二重結合を1つ有する化合物が好ましい。
単量体(m1)は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
単量体(m12)としては、例えば、イタコン酸、シトラコン酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、マレイン酸等の不飽和ジカルボン酸、アクリル酸、メタクリル酸等の不飽和モノカルボン酸等が挙げられる。
ビニルエステルとしては、例えば、酢酸ビニル、クロロ酢酸ビニル、ブタン酸ビニル、ピバル酸ビニル、安息香酸ビニル等が挙げられる。
(メタ)アクリレートとしては、例えば、(ポリフルオロアルキル)アクリレート、(ポリフルオロアルキル)メタクリレート等が挙げられる。
エポキシ基を含む単量体としては、例えば、不飽和グリシジルエーテル類(例えば、アリルグリシジルエーテル、2−メチルアリルグリシジルエーテル、ビニルグリシジルエーテル等。)、不飽和グリシジルエステル類(例えば、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等。)等が挙げられる。
イソシアネート基を含む単量体としては、例えば、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、2−(2−(メタ)アクリロイルオキシエトキシ)エチルイソシアネート、1,1−ビス((メタ)アクリロイルオキシメチル)エチルイソシアネート等が挙げられる。
カルボニル基含有基を有する単量体としては、熱安定性、金属との融着性向上の点から、単量体(m11)が好ましい。なかでも、IAH、CAHおよびNAHが特に好ましい。IAH、CAHおよびNAHからなる群から選ばれる少なくとも1種を用いると、無水マレイン酸を用いた場合に必要となる特殊な重合方法(特開平11−193312号公報参照。)を用いることなく、酸無水物残基を含有する含フッ素共重合体を容易に製造できる。IAH、CAHおよびNAHのなかでは、密着性がより優れる点から、NAHが好ましい。
CF2=CFORf2としては、CF2=CFOCF3、CF2=CFOCF2CF3、CF2=CFOCF2CF2CF3(以下、「PPVE」ともいう。)、CF2=CFOCF2CF2CF2CF3、CF2=CFO(CF2)8F等が挙げられ、PPVEが好ましい。
PAVEは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
前記含フッ素単量体としては、フッ化ビニリデン、クロロトリフルオロエチレンおよびCH2=CX4(CF2)qX5が好ましい。
CH2=CX4(CF2)qX5としては、CH2=CH(CF2)2F、CH2=CH(CF2)3F、CH2=CH(CF2)4F、CH2=CF(CF2)3H、CH2=CF(CF2)4H等が挙げられ、CH2=CH(CF2)4F、またはCH2=CH(CF2)2Fが好ましい。
単量体(m42)としては、エチレンまたはプロピレンが好ましく、エチレンが特に好ましい。
なお、重合体(X−2)は、重合体(X−1)と同様に、官能基(i)を有する末端基を有していてもよい。
また、重合体(X)は、溶融成形可能であることが好ましい。なお、「溶融成形可能」であるとは、溶融流動性を示すことを意味する。「溶融流動性を示す」とは、荷重49Nの条件下、樹脂の融点よりも20℃以上高い温度において、溶融流れ速度が0.1〜1000g/10分となる温度が存在することを意味する。「溶融流れ速度」とは、JIS K 7210:1999(ISO 1133:1997)に規定されるメルトマスフローレート(MFR)を意味する。溶融成形可能な重合体(X)の融点は、260〜320℃がより好ましく、280〜320℃がさらに好ましく、295〜315℃が特に好ましく、295〜310℃が最も好ましい。重合体(X)の融点が上記範囲の下限値以上であれば、耐熱性に優れる。重合体(X)の融点が上記範囲の上限値以下であれば、溶融成形性に優れる。
なお、重合体(X)の融点は、当該重合体(X)を構成する単位の種類や含有割合、分子量等によって調整できる。例えば、TFE単位の割合が多くなるほど、融点が高くなる傾向がある。
共重合体(X)の比誘電率は、TFE単位の含有量により調整できる。
樹脂パウダーに含有されていてもよい重合体(X)以外の重合体としては、電気的信頼性の特性を損なわない限り特に限定されず、例えば、重合体(X)以外の含フッ素重合体、芳香族ポリエステル、ポリアミドイミド、熱可塑性ポリイミド等が挙げられる。該重合体としては、電気的信頼性の観点から、重合体(X)以外の含フッ素重合体が好ましい。該重合体は、1種を単独で用いても、2種以上用いてもよい。
重合体(X)以外の含フッ素共重合体としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(以下、「PTFE」ともいう。)、TFE/PAVE共重合体(ただし、重合体(X)を除く。)、TFE/HFP共重合体(ただし、重合体(X)を除く。)、エチレン/TFE共重合体等が挙げられる。重合体(X)以外の含フッ素重合体としては、耐熱性の点から、融点が280℃以上であるものが好ましい。
樹脂パウダーのD90は、レーザー回折・散乱法により求められる。すなわち、レーザー回折・散乱法により粒度分布を測定し、粒子の集団の全体積を100%として累積カーブを求め、その累積カーブ上で累積体積が90%となる点の粒子径である。
樹脂パウダーの密充填嵩密度は、0.05g/mL以上が好ましく、0.05〜0.8g/mLがより好ましく、0.1〜0.8g/mLが特に好ましい。
疎充填嵩密度または密充填嵩密度が大きいほど、樹脂パウダーのハンドリング性がより優れる。また、熱可塑性樹脂等への樹脂パウダーの充填率を高くすることができる。疎充填嵩密度または密充填嵩密度が前記範囲の上限値以下であれば、汎用的なプロセスで使用できる。
樹脂パウダーが重合体(X)以外の重合体を含む場合は、該重合体と重合体(X)とを溶融混練した後に粉砕して分級することが好ましい。
なお、樹脂パウダーとしては、所望の樹脂パウダーが市販されていればそれを用いてもよい。
液状媒体の沸点は270℃以下が好ましく、70〜260℃の沸点を有する液状媒体が好ましい。
無機質溶媒としては水が好ましい。
有機溶媒としては、公知の液状媒体を使用でき、例えば、エタノール等のアルコール類、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の含窒素化合物、ジメチルスルホキシド等の含硫黄化合物、ジエチルエーテル、ジオキサン等のエーテル類、酢酸エチル等のエステル類、メチルエチルケトン等のケトン類、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル等のグリコールエーテル類、メチルセロソルブ等のセロソルブ類等が挙げられる。
なお、液状媒体は、重合体(X)と反応しない化合物である。
γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、2−ヘプタノン、シクロヘプタノン、シクロヘキサノン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、メチル−n−ペンチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルイソペンチルケトン。
エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキシルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチル、ジオキサン、乳酸メチル、乳酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル。
アニソール、エチルベンジルエーテル、クレジルメチルエーテル、ジフェニルエーテル、ジベンジルエーテル、フェネトール、ブチルフェニルエーテル、ベンゼン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、ペンチルベンゼン、イソプロピルベンゼン、トルエン、キシレン、シメン、メシチレン。
メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、メチルモノグリシジルエーテル、エチルモノグリシジルエーテル、ジメチルホルムアミド、ミネラルスピリット、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン。
パーフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロクロロフルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、パーフルオロポリエーテル、各種シリコーンオイル。
本発明における界面活性剤は、少なくとも含フッ素基と親水性基を有するものであることが必要であり、少なくとも親油性基と親水性基を有するものであれば、特に限定されるものではなく、この他に親油性基が含有されているものであってもよい。少なくとも含フッ素基と親水性基を有するフッ素系添加剤を用いることにより、分散媒となる溶剤の表面張力を低下させ、フッ素樹脂表面に対する濡れ性を向上させてフッ素樹脂の分散性を向上させると共に、含フッ素基がフッ素樹脂表面に吸着し、親水性基が分散媒となる液状媒体中に伸長し、この親水性基の立体障害によりフッ素樹脂の凝集を防止して分散安定性を更に向上させるものとなる。含フッ素基としては、例えば、パーフルオロアルキル基、パーフルオロアルケニル基などが挙げられ、親水性基としては、例えば、エチレンオキサイドや、プロピレンキサイド、アミノ基、ケトン基、カルボキシル基、スルホン基などの1種又は2種以上が挙げられ、親油性基としては、例えば、アルキル基、フェニル基、シロキサン基などの1種又は2種以上が挙げられる。
具体的に用いることできるフッ素系添加剤としては、パーフルオロアルキル基含有のフタージェントMシリーズ、フタージェントFシリーズ、フタージェントGシリーズ、フタージェントP・Dシリーズ、フタージェント710FL、フタージェント710FM、フタージェント710FS、フタージェント730FL、フタージェント730LM、フタージェント610FM、フタージェント601AD、フタージェント601ADH2、フタージェント602A、フタージェント650AC、フタージェント681(ネオス社製)、サーフロンS−386などのサーフロンシリーズ(AGCセイミケミカル社製)、メガファックF−553、メガファックF−555、メガファックF−556、メガファックF−557、メガファックF−559、メガファックF−562、メガファックF−565などのメガファックシリーズ(DIC社製)、ユニダインDS−403Nなどのユニダインシリーズ(ダイキン工業社製)、などを用いることができる。これらの界面活性剤は、用いるフッ素樹脂と溶剤の種類によって、適宜最適なものが選択されるものであるが、1種類、または2種類以上を組み合わせて用いることも可能である。また界面活性剤を2種類以上を組み合わせて使用する場合、少なくとも1種類は含フッ素基と親水性基を有するものであることが必要であり、残りの種類は含フッ素基を含んでいなくてもよい。
また、後述の非熱溶融性樹脂(PTFEや熱硬化性樹脂の硬化物等)の微粒子からなるパウダーは有機質フィラーとみなすことができ、有機質フィラーとしては特にPTFEのパウダーが好ましい。
液状媒体に非溶解性の第2の樹脂は、非硬化性の樹脂であってもよく、硬化性の樹脂であってもよい。
非硬化性の樹脂は熱溶融性の樹脂や非溶融性の樹脂が挙げられる。非硬化性の樹脂は、重合体(X)の官能基(i)と反応しうる反応性基を有していてもよい。熱溶融性の樹脂としては、例えば、重合体(X)以外の含フッ素重合体からなるフッ素樹脂、熱可塑性ポリイミド等が挙げられる。非溶融性の樹脂としては、PTFEや硬化性樹脂の硬化物等が挙げられ、これらの微粒子はフィラーとみなすこともできる。
硬化性樹脂としては、反応性基を有する重合体、反応性基を有するオリゴマー(低重合体)、低分子化合物、反応性基を有する低分子化合物等が挙げられる。硬化性樹脂は、それ自身の反応性基間の反応、重合体(X)の官能基(i)と反応、硬化剤との反応等により、硬化する樹脂である。硬化性樹脂としては熱硬化性樹脂が好ましい。硬化性樹脂は、本発明の液状組成物から液状媒体が除去されたのち、硬化されることが好ましい。
反応性基としては、カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基等が挙げられる。
ポリアミック酸を形成するジアミンや多価カルボン酸二無水物としては、例えば、特許第5766125号公報の[0020]、特許第5766125号公報の[0019]、特開2012−145676号公報の[0055]、[0057]等に記載のものが挙げられる。なかでも、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン等の芳香族ジアミンと、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の芳香族多価カルボン酸二無水物との組合せが好ましい。ジアミンおよび多価カルボン酸二無水物またはその誘導体は、それぞれ、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定される。
なお、第2の樹脂が液状媒体とともに配合された場合(例えば、第2の樹脂の分散液や溶液が、樹脂パウダーと液状媒体とを含む組成物に配合された場合)、液状組成物中の液状媒体の含有量とは、それら液状媒体を合計した含有量である。
本発明の液状組成物が界面活性剤を含む場合、界面活性剤を含む本発明の液状組成物の場合、樹脂パウダーと界面活性剤と液状媒体とを、分散機を用いて分散させることにより、分散状態において樹脂パウダーの動的光散乱法による平均粒径が、0.3〜6μm以下の微粒子径であり保存安定性、長期保存後の再分散性に優れた安定な液状組成物を得ることができる。
また、本発明の液状組成物では、平均粒径およびD90が特定の範囲に制御された樹脂パウダーが液状媒体に分散されているため、分散性に優れている。そのため、本発明の液状組成物を用いてフィルムや積層体等を形成した際に、それらにおける樹脂パウダーの分散の不均一化に起因する電気特性の低下や、他基材の密着性力の低下等の不具合を抑制できる。
第2の樹脂が液状媒体に溶解性の樹脂の場合、樹脂パウダーの分散液に第2の樹脂の配合し溶解させて本発明の液状組成物を製造することができる。第2の樹脂を液状媒体の溶液に混合して製造することもでき、該溶液に樹脂パウダーを分散させて製造することもできる。
樹脂パウダーの分散液と、他の成分を含む液の混合方法は、特に限定されず、例えば、公知の撹拌機を用いる方法が挙げられる。液状組成物にフィラーや硬化剤等を含ませる場合、それらは混合前の分散液に添加してもよく、混合前の他の成分を含む液に添加してもよく、混合後の混合液に添加してもよい。
また、本発明の液状組成物は、平角導体の絶縁層の形成にも使用できる。例えば、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエステルイミドのうちいずれかの樹脂を主成分とする絶縁層を形成する際に、該樹脂を含む液である絶縁塗料に本発明の液状組成物を配合した液状組成物を用いることで、絶縁層の誘電率を低下させることが可能である。絶縁層の誘電率の低下は、絶縁塗料に樹脂パウダーを添加した塗料でも達成できるが、分散性の観点で、絶縁塗料に本発明の液状組成物を配合した液状組成物を用いることが好ましい。絶縁層の具体例としては、例えば、特開2013−191356号公報に記載された絶縁皮膜が挙げられる。
本発明のフィルムの製造方法は、本発明の液状組成物を製膜化するとともに液状媒体を除去することを特徴とする。製膜化方法は、担体表面上への塗布が好ましく、担体上に塗布することにより液状組成物からなる膜が形成される。液状組成物の膜が形成された後、液状組成物の膜を加熱するなどの方法で液状媒体を揮発させ、液状媒体が除去された固体状の膜や少なくとも液状媒体の一部が除去された非流動性の膜が形成される。以下、液状媒体の除去を「乾燥」ともいい、塗布する操作を「塗工」ともいう。
液状組成物の製膜方法としては、特に限定されず、例えば、スプレー法、ロールコート法、スピンコート法、バー塗布法、グラビアコート法、マイクログラビアコート法、グラビアオフセット法、ナイフコート法、キスコート法、バーコート法、ダイコート法、ファウンテンメイヤーバー法、スロットダイコート法等の公知の湿式塗布方法が挙げられる。
乾燥方法は、特に限定されず、例えば、オーブンにより加熱する方法、連続乾燥炉により加熱する方法、赤外線等の熱線照射により加熱する方法等が挙げられる。
乾燥温度は、液状媒体が除去される際に気泡が生じない範囲であればよく、例えば、50〜250℃が好ましく、70〜220℃がより好ましい。
乾燥時間は、0.1〜30分が好ましく、0.5〜20分がより好ましい。
乾燥は、1段階で実施してもよく、異なる温度にて2段階以上で実施してもよい。
重合体(X)を溶融させるための加熱は、閉鎖系で行うこともできる。液状媒体が存在する塗膜の乾燥においては、気化した液状媒体が膜から除去されなければならないことより、膜の片面は解放面である必要がある。一方、液状媒体が膜から充分に除去された後の加熱では、液状媒体の除去を必要としないことより、たとえば2枚の加熱板の間で加圧して均質性の高い膜を製造することができる。
重合体(X)を溶融させるための加熱温度は、270〜400℃が好ましく、310〜370℃がより好ましい。
加熱時間は、1〜300分が好ましく、3〜60分がより好ましい。
また、遠赤外線を放射する加熱プレートから膜面に向かって熱輻射が放出されるとともに、不活性ガスを噴射しつつ加熱すると、より効率よく熱処理が行われる。担体側から加熱する場合も、膜面側に不活性ガスを噴射することが同様に好ましい。また、加熱対象が酸化する場合は、遠赤外線を放射する際に膜面側の雰囲気中の酸素濃度を500ppmから100ppmにすることが好ましく、さらには300ppmから200ppmが好ましい。
上記の用途以外に使用されるフィルムにおいては、溶融性の第2の樹脂は溶融して均質化していることが好ましく、硬化性樹脂は充分硬化されていることが好ましい。たとえば、ポリアミック酸の場合は、乾燥後の加熱はポリアミック酸がポリイミドとなる温度(例えば、350〜550℃)に加熱されることが好ましく、たとえば、エポキシ樹脂の場合はその硬化温度(例えば、50〜250℃)に加熱されることが好ましい。
なお、本発明のフィルムの製造方法によって、後述の繊維強化フィルムやプリプレグと呼ばれるフィルムを製造することもできる。さらに、担体と分離されないことを除き、本発明のフィルムの製造方法と同様の方法で、積層体を製造することもできる。本発明の積層体の製造方法においては、分離されない担体を基材という。
上記フィルムの比誘電率は、2.0〜3.5が好ましく、2.0〜3.0が特に好ましい。比誘電率が前記範囲の上限値以下であれば、プリント基板用途等の低誘電率が求められる用途に有用である。比誘電率が前記範囲の下限値以上であれば、電気特性と接着融着性の双方に優れる。
後述の繊維強化フィルムやプリプレグを除き、本発明の製造方法で製造されるフィルムは、MD方向(液状組成物の塗工方向)およびTD方向(MD方向の垂直方向)における熱膨張(収縮)率の比(以下、熱膨張(収縮)変化比、とも記す)であるx/yが1.0〜1.4であることが好ましく、1.0〜1.3であることがより好ましい。x/yが前記範囲であると金属積層板およびプリント基板を形成した際の反りが抑制されるため好ましい。なお、熱膨張(収縮)変化比は、x方向(大きい熱膨張(収縮)率)とy方向(小さい熱膨張(収縮)率)の比であり、「x/y」で表す。
また、上記フィルムは、表面の算術平均粗さRaが樹脂厚み未満であり、2.0μm以上であることが好ましい。これにより、表面にプリプレグ等の積層対象物を熱プレスにより貼り合わせた場合に、フィルムと積層対象物の間で優れた密着性が得られる。
Raは、2.0〜30μmが好ましく、2.1〜10μmがより好ましく、2.2〜5μmがさらに好ましい。Raが前記範囲の下限値以上であれば、フィルムと積層対象物との密着性に優れる。Raが前記範囲の上限値以下であれば、フィルムに貫通穴が形成されにくい。
強化繊維としては、無機繊維、金属繊維、有機繊維等が挙げられる。
無機繊維としては、炭素繊維、黒鉛繊維、ガラス繊維、シリコンカーバイト繊維、シリコンナイトライド繊維、アルミナ繊維、炭化珪素繊維、ボロン繊維等が挙げられる。
金属繊維としては、アルミニウム繊維、黄銅繊維、ステンレス繊維等が挙げられる。
有機繊維としては、芳香族ポリアミド繊維、ポリアラミド繊維、ポリパラフェニレンベンズオキサゾール(PBO)繊維、ポリフェニレンスルフィド繊維、ポリエステル繊維、アクリル繊維、ナイロン繊維、ポリエチレン繊維等が挙げられる。
強化繊維基材を形成する強化繊維としては、ガラス繊維、アラミド繊維および炭素繊維が好ましい。強化繊維としては、比重が小さく、高強度、高弾性率である点から、炭素繊維が特に好ましい。強化繊維は、表面処理が施されているものであってもよい。強化繊維としては、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
強化繊維は、表面処理が施されているものであってもよい。また、プリント基板用途では、強化繊維としては、ガラス繊維が好ましい。
強化繊維としては、長さが10mm以上の連続した長繊維が好ましい。強化繊維は、強化繊維シートの長さ方向の全長または幅方向の全幅にわたり連続している必要はなく、途中で分断されていてもよい。
繊維強化フィルムの厚みは、1〜3000μmが好ましい。プリント基板用途の場合、繊維強化フィルムの厚みは、3〜2000μmがより好ましく、5〜1000μmがさらに好ましく、6〜500μmが特に好ましい。
プリプレグ製造に使用される液状組成物は、第2の樹脂として未硬化の硬化性樹脂を含む。未硬化の硬化性樹脂としては、常温で固体状の熱硬化性樹脂が好ましい。常温で液状の熱硬化性樹脂の場合は、プリプレグ製造においける乾燥後の加熱により部分硬化させ、熱硬化し得る固体状の樹脂とすることができる。
本発明の液状組成物が第2の樹脂として熱硬化性樹脂を含む場合には、乾燥後の加熱で熱硬化性樹脂が硬化しやすいことより、乾燥後の加熱は熱硬化性樹脂が硬化しない温度で行うことが好ましい。ただし、前記のように、部分硬化させることが好ましい場合もある。この場合、通常、重合体(X)は溶融されないことより、プリプレグを硬化させる場合に重合体(X)が溶融する温度で行うことが好ましい。
本発明の積層体の製造方法は、前記した本発明の液状組成物を基材上で製膜化するとともに液状媒体を除去して前記基材に積層された樹脂層を形成することを特徴とする。
この製造方法は、前記フィルムの製造方法において、乾燥後に、または乾燥し加熱した後に、担体とフィルムを分離することなく、フィルムと単体の積層体を得る方法に相当する。積層体の製造方法においては、担体に相当する部分を基材といい、フィルムに相当する部分を「樹脂層」という。樹脂層は、前記繊維強化フィルムに相当する部分であってもよく、前記プリプレグは、に相当する部分であってもよい。
基材の両面に樹脂層を有する積層体の場合、それぞれの樹脂層の組成および厚みが同じになるようにしてもよく、異なるようにしてもよい。積層体の反りの抑制の点では、それぞれの樹脂層の組成や厚みが同じなるようにすることが好ましい。
なお、基材が耐熱性樹脂等の非導電材料からなる場合、積層体全体の比誘電率も上記範囲であることが好ましい。
なお、積層対象物は本発明の製造方法で得られた積層体であってもよい。この場合、樹脂層の露出面に他の積層体の基材面または樹脂層面が積層される。樹脂面同士を積層する場合は、樹脂層面間に積層対象物を介在させて積層してもよい。
樹脂層の露出面の平滑性を高めるためには、乾燥後の膜の溶融を充分行うことができる温度で行うとともに、加熱板や加熱ロール等で加圧することが好ましい。
得られる積層体の樹脂層の露出面の表面の算術平均粗さRaは樹脂層厚み未満であり、2.0μm以上であると好ましい。これにより、積層対象物を熱プレス等により積層した場合に、樹脂層と積層対象物の間で優れた密着性が得られる。
前記Raは、樹脂層厚み未満であり、かつ、2.0〜30μmが好ましく、2.0〜15μmがより好ましく、2.1〜12μmがさらに好ましく、2.1〜10μmが特に好ましく、2.2〜8μmが最も好ましい。Raが前記範囲の下限値以上であれば、樹脂層と積層対象物との密着性に優れる。Raが前記範囲の上限値以下であれば、樹脂層に貫通穴が形成されることなく積層することができる。
プラズマ処理に使用するガスとしては、特に限定されず、酸素、窒素、希ガス(アルゴン)、水素、アンモニア等が挙げられ、希ガスまたは窒素が好ましい。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を混合して用いてもよい。
プラズマ処理の雰囲気は、希ガスまたは窒素ガスの体積分率が50体積%以上の雰囲気が好ましく、70体積%以上の雰囲気がより好ましく、90体積%以上の雰囲気がさらに好ましく、100体積%の雰囲気が特に好ましい。希ガスまたは窒素ガスの体積分率が下限値以上であれば、フッ素樹脂フィルムの表面を、算術平均粗さRaが2.0μm以上でありプラズマ処理した表面に更新することが容易になる。
プラズマ処理におけるガス流量は、特に限定されない。
金属フィルムを構成する金属としては、用途に応じて適宜選択でき、例えば、銅もしくは銅合金、ステンレス鋼もしくはその合金、チタンもしくはその合金等が挙げられる。金属フィルムとしては、圧延銅箔、電解銅箔といった銅フィルムが好ましい。金属フィルムの表面には、防錆層(例えばクロメート等の酸化物皮膜)や耐熱層が形成されていてもよい。また、樹脂層との密着性を向上させるために、金属フィルムの表面にカップリング剤処理等が施されてもよい。
金属フィルムの厚みは、特に限定されず、用途に応じて、充分な機能が発揮できる厚みを選定すればよい。
金属蒸着耐熱性樹脂フィルムとしては、下記耐熱性樹脂フィルムの片面または両面に、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の蒸着法で上記金属を蒸着したフィルムが挙げられる。
耐熱性樹脂とは、融点が280℃以上の高分子化合物、またはJIS C 4003:2010(IEC 60085:2007)で規定される最高連続使用温度が121℃以上の高分子化合物を意味する。耐熱性樹脂としては、例えば、ポリイミド(芳香族ポリイミド等。)、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリアリルスルホン(ポリエーテルスルホン等。)、芳香族ポリアミド、芳香族ポリエーテルアミド、ポリフェニレンスルファイド、ポリアリルエーテルケトン、ポリアミドイミド、液晶ポリエステル等が挙げられる。
耐熱性樹脂フィルムとしては、ポリイミドフィルムおよび液晶ポリエステルが好ましい。ポリイミドフィルムは、必要に応じて、本発明の効果を損なわない範囲で、添加剤を含有してもよい。また、液晶ポリエステルフィルムは、電気特性向上の観点で好ましい。耐熱性樹脂フィルムには、樹脂層を形成する面にコロナ放電処理、プラズマ処理等の表面処理が施されてもよい。
加熱や加圧が不充分な場合、樹脂パウダー粒子全体が溶融した場合であっても、その後冷却して形成された樹脂層に光学的な不均一部分(粒状物等)が生じることがある。これは、樹脂の結晶化や凝集化が不均一であるために生じると推測される。本発明では、この光学的な不均一部分を「異物」という。異物が生じる場合、30μmを超える大きさの異物は10cm2あたりに20個以下であることが好ましく、15個以下であることがより好ましく、10個以下であることが特に好ましい。異物の数が前記範囲の上限値以下であれば、樹脂層と基材間の接着強度が優れる。異物の生成は、前記本発明のフィルム製造においても生成することがある。
本発明の製造方法により得られる積層体が、充分に溶融されていない樹脂パウダーの粒子や硬化性の第2の樹脂を有する場合(例えば、樹脂層がプリプレグの層である場合)、得られた積層体は、その樹脂層面に積層対象物を加熱加圧等により積層する用途に使用することができ、また、加熱加圧等で成形体を製造する用途に使用できる。
本発明の製造方法により得られる積層体における樹脂層は、重合体(X)を含む樹脂層であるので、成形性に優れ、また溶融密着性が高いことよりその樹脂面に積層対象物を積層した場合には積層面の接合強度が高い。また、本発明の製造方法により得られる積層体の複数枚を積層した場合も、基材表面と樹脂層との積層面や樹脂層面同士の積層面の接合強度が高い。
本発明の積層体の製造方法で得られる銅箔層を有する積層体は、また、その複数枚を積層して銅箔層を複数有する積層体とすることもできる。これら銅箔層を有する積層体がその片面または両面に樹脂層を有する場合はその樹脂層表面に銅箔層を積層することが好ましい。本発明の積層体の製造方法で得られる銅箔層を有する積層体やその積層物は、フレキシブル銅張積層板やリジッド銅張積層板として使用できる。
以下、銅箔層を有する積層体の製造を例に、本発明の積層体の製造方法をさらに説明する。
液状組成物の膜の形成、加熱乾燥、樹脂パウダーを溶融は前記条件で行うことができる。たとえば、乾燥後の加熱を熱ロールによる加熱で行う場合、乾燥後の未溶融樹脂層と銅箔との積層体を耐熱ロールに接触させ、遠赤外線を照射しながら搬送して、未溶融樹脂層を溶融した樹脂層とすることができる。ロールの搬送速度は特に限定されないが、例えば4.7mの長さの加熱炉を用いた場合は4.7m/minから0.31m/minが好ましい。さらに短時間で膜全体を効率よく加熱するために、2.45mの長さの加熱炉を用いた場合は4.7m/minから2.45m/minとすることができる。
加熱温度は特に限定されないが、加熱炉の滞在時間を1分とすると330〜380℃が好ましく、さらに好ましくは350〜370℃である。滞在時間を長くすることで温度を下げることもできる。
製造される積層体の樹脂層の厚みは15μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましく、8μm以下が特に好ましい。前記範囲の上限以下であれば樹脂層/銅箔の非対称な層構成の場合でも、反りを抑制することができる。積層体の反り率は25%以下が好ましく、15%以下がより好ましく、10%以下がさらに好ましく、7%以下が特に好ましい。反りが上限以下であれば、プリント基板に加工する際の成形プロセスにおいてハンドリング性に優れかつプリント基板としての誘電特性に優れる。
また、シリカやPTFE等のフィラーを含む液状組成物や第2の樹脂としてTFE/PAVE共重合体、TFE/HFP共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレン(以下、「PCTFE」ともいう。)等のフッ素樹脂(ただし、重合体(X)を除く)を含む液状組成物を用いることで、反りをより一層抑制することができる。
本発明の積層体の製造方法で得られる積層体と同様の構成の積層体は、本発明の積層体の製造方法以外の方法でも製造することができる。たとえば、前記本発明のフィルムの製造方法で得られたフィルムを基材の相当するフィルムやシートと積層して、前記積層体と同様の構成を有する積層体を製造することができる。また、本発明の積層体の製造方法では、両面が基材である積層体を製造することは困難であるが(基材間の液状組成物から液状媒体を除去することは困難であるから)、本発明のフィルムの製造方法で得られたフィルムを用いることにより、両面が基材である積層体を製造することができる。
また、本発明の積層体の製造方法で得られた積層体の樹脂層の面に基材に相当する積層対象物を積層して、両面が基材である積層体を製造することもできる。
以下、金属層と樹脂層(重合体(X)を有する樹脂層)とを各々少なくとも1層有する積層体(以下、「金属積層板」ともいう。)を例として、本発明の製造方法で得られたフィルムや積層体の利用例を説明する。
金属積層板は、前記した本発明のフィルムの製造方法で得られたフィルム(繊維強化フィルム、プリプレグのフィルムも包含する。)または本発明の積層体の製造方法で得られた積層体の、重合体(X)を含む樹脂層面に、金属層を形成して金属積層板を得ることができる。
フィルムや積層体の片面または両面に金属層を形成する方法としては、例えば、フィルムや積層体と金属箔とを積層する方法、フィルムや積層体の樹脂層表面に金属を蒸着する方法等が挙げられる。積層方法としては、例えば、熱ラミネート等が挙げられる。金属の蒸着方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等が挙げられる。
積層対象物としてはプリプレグが好ましい。プリプレグとしては、強化繊維シートにマトリックス樹脂が含浸されたものが挙げられる。
マトリックス樹脂は、熱可塑性樹脂であってもよく、熱硬化性樹脂であってもよい。本発明は、低温接合という観点ではマトリックス樹脂として、融点が280℃以下の熱可塑性樹脂または熱硬化温度が280℃以下の熱硬化性樹脂を用いる場合に特に有効である。
マトリックス樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。また、マトリックス樹脂中に国際公開第2016/017801号の[0089]に記載のフィラーを含んでもいてもよく、上記の強化繊維を含んでいてもよい。また強化繊維およびフィラーを同時に含んでいてもよい。
マトリックス樹脂が熱可塑性樹脂の場合、ポリエステル系樹脂(ポリエチレンテレフタレート等)、ポリオレフィン系樹脂(ポリエチレン等)、スチレン系樹脂(ポリスチレン等)、ポリカーボネート、ポリイミド(芳香族ポリイミド等。)、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリアリルスルホン(ポリエーテルスルホン等。)、芳香族ポリアミド、芳香族ポリエーテルアミド、ポリフェニレンスルファイド、ポリアリルエーテルケトン、ポリアミドイミド、液晶ポリエステル、ポリフェニレンエーテル、PTFE、TFE/PAVE共重合体、TFE/HFP共重合体、PCTFE等のフッ素樹脂(ただし、重合体(X)を除く)等が挙げられる。
上記樹脂層と積層対象物を含む金属積層板の構成は下記に限定されるものではないが、金属層/樹脂層/積層対象物/樹脂層/金属層や金属層/積層対象物/樹脂層/積層対象物/金属層等の構成において、樹脂層の厚みは0.1μm〜300μmが好ましく、0.3μm〜150μmがより好ましく、0.5μm〜100μmがより好ましく、0.7μm〜70μmがさらに好ましく、1μm〜50μmがさらに好ましく、2μm〜40μmが特に好ましい。前記範囲の上限以下であれば、銅張積層板としての穴開け加工性が良好であり誘電特性が優れる。前記範囲の下限以上であれば金属層と樹脂層および積層対象物と樹脂層とを優れた密着性で貼り付けられる。
上記樹脂層と積層対象物を含む金属積層板の構成は下記に限定されるものではないが、金属層/樹脂層/積層対象物/樹脂層/金属層や金属層/積層対象物/樹脂層/積層対象物/金属層等の構成において、樹脂層の厚みは0.1μm〜300μmが好ましく、0.3μm〜150μmがより好ましく、0.5μm〜100μmがより好ましく、0.7μm〜70μmがさらに好ましく、1μm〜50μmがさらに好ましく、2μm〜40μmが特に好ましい。前記範囲の上限以下であれば、銅張積層板としての穴開け加工性が良好であり誘電特性が優れる。前記範囲の下限以上であれば金属層と接着層および積層対象物と樹脂層とを優れた密着性で貼り付けられる。
本発明の製造方法で得られたフィルムや積層体と積層対象物との密着性(剥離強度)は、5N/cm以上が好ましく、6N/cm以上がさらに好ましく、7N/cm以上が特に好ましい。
例えば市販されているプリプレグとしては、以下の商品名のものが挙げられる。
パナソニック社製のMEGTRON GXシリーズのR−G520、R−1410W、R−1410A、R−1410E、MEGTRONシリーズのR−5680、R−5680(N)、R−5670、R−5670(N)、R−5620S、R−5620、R−5630、R−1570、HIPERシリーズノR−1650V、R−1650D、R−1650M、R−1650E。
日立化成工業社製のGEA−770G、GEA−705G、GEA−700G、GEA−679FG、GEA−679F(R)、GEA−78G、TD−002、GEA−75G、GEA−67、GEA−67G。
三菱ガス化学社製のGEPL−190T、GEPL−230T、GHPL−830X TypeA、GHPL−830NS、GHPL−830NSR、GHPL−830NSF。
DOOSAN CORPORATION社製のGEPL−190T、GEPL−230T、GHPL−830X TypeA、GHPL−830NS、GHPL−830NSR、GHPL−830NSF。
GUANDONG Shengyi SCI. TECH社製のSP120N、S1151G、S1151GB、S1170G、S1170GB、S1150G、S1150GB、S1140F、S1140FB、S7045G、SP175M、S1190、S1190B、S1170、S0701、S1141KF、S0401KF、S1000−2M、S1000−2MB、S1000−2、S1000−2B、S1000、S1000B、S1000H、S1000HB、S7136H、S7439、S7439B。
SHANGHAI NANYA社製のNY1135、NY1140、NY1150、NY1170、NY2150、NY2170、NY9135、NY9140、NY9600、NY9250、NY9140 HF、NY6200、NY6150、NY3170 LK、NY6300、NY3170M、NY6200、NY3150 HF CTI600、NY3170HF、NY3150D、NY3150HF、NY2170H、NY2170、NY2150、NY2140、NY1600、NY1140、NY9815HF、NY9810HF、NY9815、NY9810。
ITEQ CORPORATION社製のIT−180GN、IT−180I、IT−180A、IT−189、IT−180、IT−258GA3、IT−158、IT−150GN、IT−140、IT−150GS、IT−150G、IT−168G1、IT−168G2、IT−170G、IT−170GRA1、IT−958G、IT−200LK、IT−200D、IT−150DA、IT−170GLE、IT−968G、IT−968G SE、IT−968、IT−968 SE。
NANYA PLASTICS社製のUV BLOCK FR−4−86、NP−140 TL/B、NP−140M TL/B、NP−150 R/TL/B、NP−170 R/TL/B、NP− 180 R/TL/B、NPG R/TL/B、NPG−151、NPG−150N、NPG−150LKHD、NPG−170N、NPG−170 R/TL/B、NPG−171、NPG−170D R/TL/B、NPG−180ID/B、NPG−180IF/B、NPG−180IN/B、NPG−180INBK/B(BP)、NPG−186、NPG−200R/TL、NPG−200WT、FR−4−86 PY、FR−140TL PY、NPG−PY R/TL、CEM−3−92、CEM−3−92PY、CEM−3−98、CEM−3−01PY、CEM−3−01HC、CEM−3−09、CEM−3−09HT、CEM−3−10、NP−LDII、NP−LDIII、NP−175R/TL/B、NP−155F R/TL/B、NP−175F R/TL/B、NP−175F BH、NP−175FM BH。
TAIWAN UNION TECHNOLOGY社製のULVP series、LDP series。
ISOLA GROUP社製のA11、R406N、P25N、TerraGreen、I−Tera MT40、IS680 AG、IS680、Astra MT77、G200、DE104、FR408、ED130UV、FR406、IS410、FR402、FR406N、IS420、IS620i、370TURBO、254、I−Speed、FR−408HR、IS415、370HR。
PARK ELECTROCHEMICAL社製のNY9000、NX9000、NL9000、NH9000、N9000−13 RF、N8000Q、N8000、N7000−1、N7000−2 HTスラッシュ −3、N7000−3、N5000、N5000−30、N−5000−32、N4000−12、N4000−12SI、N4000−13、N4000−13SI、N4000−13SI、N4000−13EP、N4000−13EP SI、N4350−13RF、N4380−13RF、N4800−20、N4800−20SI、Meteorwave1000、Meteorwave2000、Meteorwave3000、Meteorwave4000、Mercurywave9350、N4000−6、N4000−6FC、N4000−7、N4000−7SI、N4000−11、N4000−29。
ROGERS CORPORATION社製のRO4450B、RO4450F、CLTE−P、3001 Bonding Film、2929 Bondply、CuClad 6700 Bonding Film、ULTRALAM 3908 Bondply、CuClad 6250 Bonding Film。
利昌工業社製のES−3329、ES−3317B、ES−3346、ES−3308S、ES−3310A、ES−3306S、ES−3350、ES−3352、ES−3660、ES−3351S、ES−3551S、ES−3382S、ES−3940、ES−3960V、ES−3960C、ES−3753、ES−3305、ES−3615、ES−3306S、ES−3506S、ES−3308S、ES−3317B、ES−3615。
プリント基板は、前記金属積層板等の金属層をエッチングしてパターン回路を形成して得ることができる。金属層のエッチングは、公知の方法を採用できる。
プリント基板の製造においては、金属層をエッチングしてパターン回路を形成した後に、該パターン回路上に層間絶縁膜を形成し、該層間絶縁膜上にさらにパターン回路を形成してもよい。層間絶縁膜は、例えば、本発明の製造方法で得られる液状組成物により形成できる。
具体的には、例えば、以下の方法が挙げられる。任意の積層構造の金属積層板の金属層をエッチングしてパターン回路を形成した後、本発明の液状組成物を該パターン回路上に塗布し、乾燥した後に加熱して層間絶縁膜とする。次いで、前記層間絶縁膜上に蒸着等で金属層を形成し、エッチングしてさらなるパターン回路を形成する。
また、金属積層板の金属層をエッチングして形成したパターン回路上に、本発明の製造方法で得たフィルムを用いた層間絶縁膜を形成し、該層間絶縁膜上にカバーレイフィルムとしてポリイミドフィルムを積層してもよい。
[測定方法]
重合体(X)および樹脂パウダーについての各種測定方法を以下に示す。
(1)共重合組成
重合体(X)の共重合組成のうち、NAHに基づく単位の割合(モル%)は、以下の赤外吸収スペクトル分析によって求めた。他の単位の割合は、溶融NMR分析およびフッ素含有量分析により求めた。
含フッ素共重合体をプレス成形して厚み200μmのフィルムを得た後、赤外分光法により分析して赤外吸収スペクトルを得た。赤外吸収スペクトルにおいて、含フッ素共重合体中のNAHに基づく単位における吸収ピークは1778cm−1に現れる。該吸収ピークの吸光度を測定し、NAHのモル吸光係数20810mol−1・l・cm−1を用いて、含フッ素共重合体におけるNAHに基づく単位の割合を求めた。
セイコー電子社製の示差走査熱量計(DSC装置)を用い、共重合体(X)を10℃/分の速度で昇温したときの融解ピークを記録し、極大値に対応する温度(℃)を融点(Tm)とした。
テクノセブン社製のメルトインデクサーを用い、372℃、49N荷重下で、直径2mm、長さ8mmのノズルから10分間(単位時間)に流出する共重合体(X)の質量(g)を測定してMFRとした。
ASTM D 150準拠の変成器ブリッジ法にて、温度を23℃±2℃の範囲内、相対湿度を50%±5%RHの範囲内に保持した試験環境において、絶縁破壊試験装置(YSY−243−100RHO(ヤマヨ試験機社製))にて、1MHzで求めた値を比誘電率とした。
2.000メッシュ篩(目開き2.400mm)、1.410メッシュ篩(目開き1.705mm)、1.000メッシュ篩(目開き1.205mm)、0.710メッシュ篩(目開き0.855mm)、0.500メッシュ篩(目開き0.605mm)、0.250メッシュ篩(目開き0.375mm)、0.149メッシュ篩(目開き0.100mm)、および受け皿をこの順に上から重ねた。その上から試料(重合体(X))を入れ、30分間振とう器で篩分けを行った。その後、各篩の上に残った試料の質量を測定し、各目開き値に対する通過質量の累計をグラフに表し、通過質量の累計が50%の時の粒径を試料の平均粒径とした。
堀場製作所社製のレーザー回折・散乱式粒度分布測定装置(LA−920測定器)を用い、樹脂パウダーを水中に分散させ、粒度分布を測定し、平均粒径(μm)およびD90(μm)を算出した。
樹脂パウダーの疎充填嵩密度、密充填嵩密度は、国際公開第2016/017801号の[0117]、[0118]に記載の方法を用いて測定した。
各例で得た片面銅張積層板、両面銅張積層板または積層体から、長さ100mm、幅10mmの矩形状の試験片を切り出した。前記試験片の長さ方向の一端から50mmの位置まで、一方の銅箔と樹脂層、銅箔を使用していない試験片については樹脂層と融着している相手材とを剥離した。次いで、前記試験片の長さ方向の一端から50mmの位置を中央にして、引張り試験機(オリエンテック社製)を用いて、引張り速度50mm/分で90度剥離し、最大荷重を剥離強度(N/10mm)とした。剥離強度が大きいほど、樹脂層と銅箔または樹脂層と相手材との間の密着性が優れていることを示す。
各例で得た片面銅張積層板から180mm角の四角い試験片を切り出した。この試験片をJIS C 6471に規定されている測定方法に従い反り率を測定した。反り率が小さいほど、片面銅張積層板を他材料と積層した場合に、積層加工時の反りによる他材料との積層不良や、積層体としての反りが抑制された平坦性の高いプリント基板を得ることが可能となる。
各例で得た両面銅張積層板を10mm×10mmに裁断したサンプルについて、熱機械分析装置(NETZSCH社製、TMA402 F1 Hyperion)を用いて厚み方向の線膨張係数CTE(z)を測定した。具体的には、窒素雰囲気中、荷重を19.6mNとし、測定温度が−65℃から150℃の温度範囲を2℃/分の速度でサンプルを昇温し、サンプルの厚みの変位量を測定した。測定終了後、−40℃から125℃間のサンプルの変位量から−40℃から125℃での線膨張係数を求めた。
JIS B0601:2013(ISO4287:1997,Amd.1:2009)に基づいて、片面銅張積層板の樹脂層の表面のRaを測定した。Raを求める際の、粗さ曲線用の基準長さlr(カットオフ値λc)は0.8mmとした。
各例で得た金属積層板から、長さ100mm、幅10mmの矩形状の試験片を切り出した。前記試験片の長さ方向の一端から50mmの位置まで樹脂層とプリプレグとを剥離した。次いで、前記試験片の長さ方向の一端から50mmの位置を中央にして、引張り試験機(オリエンテック社製)を用いて、引張り速度50mm/分で90度剥離し、最大荷重を剥離強度(N/10mm)とした。剥離強度が大きいほど、樹脂層とプリプレグとの密着性が優れていることを示す。
単位(1)を形成する単量体としてNAH(無水ハイミック酸、日立化成社製)を、PPVE(CF2=CFO(CF2)3F、旭硝子社製)を用いて、国際公開第2016/017801号の[0123]に記載の手順で重合体(X−1)を製造した。
重合体(X−1)の共重合組成は、NAH単位/TFE単位/PPVE単位=0.1/97.9/2.0(モル%)であった。重合体(X−1)の融点は300℃であり、比誘電率は2.1であり、MFRは17.6g/10分であり、平均粒径は1554μmであった。
ジェットミル(セイシン企業社製、シングルトラックジェットミル FS−4型)を用い、粉砕圧力0.5MPa、処理速度1kg/hrの条件で、PTFE(旭硝子社製 L169J)を粉砕し、PTFEからなる樹脂パウダー(B)を得た。樹脂パウダー(B)の平均粒径は3.01μmであり、D90は8.5μmであり、疎充填嵩密度は0.355g/mLであり、密充填嵩密度は0.387g/mLであった。
樹脂パウダー(A)120gに対し、ノニオン性界面活性剤(ネオス社製、フタージェント250)を9g、蒸留水234gの混合水溶液を徐々に添加し、撹拌機であるラボスターラー(ヤマト科学社製、型式:LT−500)を用いて60分撹拌して分散液(C−1)を得た。
ノニオン性界面活性剤をFTX−218P(ネオス社製)に変更し、蒸留水をN−メチル−2−ピロリドンに変更した以外は、実施例1と同様にして分散液(C−2)を得た。
ノニオン性界面活性剤をFTX−218P(ネオス社製)に変更し、蒸留水をN,N−ジメチルホルムアミドに変更した以外は、実施例1と同様にして分散液(C−3)を得た。
ノニオン性界面活性剤をフタージェント710FM(ネオス社製)に変更し、蒸留水をN,N−ジメチルアセトアミドに変更した以外は、実施例1と同様にして分散液(C−4)を得た。
樹脂パウダー(A)の代わりに、製造例2で得た樹脂パウダー(B)を用いた以外は、実施例1と同様にして分散液(C−5)を得た。
各例で得た分散液について、1時間静置後と3日静置後の分散状態を目視にて確認し、下記の評価基準に従って分散性を評価した。
<1時間静置後>
○:樹脂パウダーが沈降せず、樹脂パウダーと液状媒体との分離が見られない。
×:樹脂パウダーが沈降し、樹脂パウダーと液状媒体との分離が見られる。
<3日静置後>
○:樹脂パウダーと液状媒体との分離が見られるが、再度ラボスターラーで6時間撹拌すると、凝集物の浮遊が見られず再分散可能である。
×:樹脂パウダーと液状媒体との分離が見られ、再度ラボスターラーで6時間撹拌しても、凝集物の浮遊が見られ再分散できない。
F250:フタージェント250(ネオス社製)
FTX−218P:FTX−218P(ネオス社製)
NMP:N−メチル−2−ピロリドン
DMF:N,N−ジメチルホルムアミド
DMAc:N,N−ジメチルアセトアミド
一方、樹脂パウダー(A)の代わりに樹脂パウダー(B)を用いた比較例1の分散液は、1時間静置後後に樹脂パウダー(B)の一部が沈降して液状媒体と分離しており、分散状態が悪かった。また、3日静置後には樹脂パウダー(B)が全て沈降して分離しており、再度ラボスターラーで6時間撹拌しても、凝集体が浮遊して均一な分散液が得られず、再分散性も悪かった。
実施例1で得た分散液(C−1)を銅箔上に塗布し、乾燥して片面銅張積層板を2枚作製した。次いで、樹脂層が向い合うように片面銅張積層板2枚を重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行って両面銅張積層板を得た。得られた両面銅張積層板をエッチングし、比誘電率および剥離強度の測定結果を表2に示す。
実施例2で得た分散液(C−2)に平均粒径0.7μmのシリカフィラー(SFP−30M、Denka社製)を25質量%となるように添加し、その混合液を分散液(C−1)の代わりに用いる以外は、実施例5と同様にして両面銅張積層板を得た。剥離強度の測定結果を表2に示す。
比較例1で得た分散液(C−5)を分散液(C−1)の代わりに用いる以外は、実施例5と同様にして両面銅張積層板を得た。剥離強度の測定結果を表2に示す。
ノニオン性界面活性剤をフタージェント710−FM(ネオス社製)に変更し、蒸留水をジエチレングリコールジブチルエーテルに変更した以外は、実施例1と同様にして分散液を得た。続いて、上記のようにして得られた分散液を、横型のボールミルを用いて、15mm径のジルコニアボールにて分散を行い、分散液(C−6)を得た。分散液(C−6)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で220℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することで樹脂層厚みが30μmの片面銅張積層体を2枚作製した。次いで、樹脂層が向い合うように片面銅張積層板2枚を重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行って両面銅張積層板を得た。
ジエチレングリコールジブチルエーテルをブチルカルビトールアセテートに変更した以外は、実施例7と同様にして分散液(C−7)を得た。分散液(C−7)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で250℃15分で乾燥し、実施例7と同様に片面銅張積層体および両面銅張積層板を得た。片面銅張積層体の反り率は4.4%であり、反りは小さかった。
ブチルカルビトールアセテートをブチルカルビトールに変更した以外は、実施例7と同様にして分散液(C−8)を得た。分散液(C−8)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で230℃15分で乾燥し、実施例7と同様に片面銅張積層体および両面銅張積層板を得た。片面銅張積層体の反り率は5.0%であり、反りは小さかった。
平均粒径0.7μmのシリカフィラー(SFP−30M、Denka社製。)120gに対し、ノニオン性界面活性剤(ネオス社製、フタージェント250)を9g、蒸留水234gの混合水溶液を徐々に添加し、撹拌機であるラボスターラー(ヤマト科学社製、型式:LT−500)を用いて60分撹拌して分散液(C−9)を得た。実施例1で作製した分散液(C−1)と分散液(C−9)を、(C−1):(C−9)=70:30の質量比で混合し、ラボスターラーで撹拌し均一な分散液を得た。続いて、上記のようにして得られた分散液を、横型のボールミルを用いて、15mm径のジルコニアボールにて分散を行い、分散液(C−10)を得た。分散液(C−10)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することで片面銅張積層体板を作製した。得られた積層体を7cm角に成形した積層体は、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
実施例10の(C−1):(C−9)を60:40の質量比として分散液(C−11)を得た他は、実施例10と同様に片面銅張積層板を作製した。得られた片面銅張積層板を7cm角に成形した積層体は、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
実施例10の(C−1):(C−9)を50:50の質量比として分散液(C−12)を得た他は、実施例10と同様に片面銅張積層板を作製した。得られた片面銅張積層板を7cm角に成形した積層体は、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
実施例10の(C−1):(C−9)を40:60の質量比として分散液(C−13)を得た他は、実施例10と同様に片面銅張積層板を作製した。得られた片面銅張積層板を7cm角に成形した積層体は、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
ブチルカルビトールアセテートをDMFに変更した以外は、実施例7と同様にして分散液(C−14)を得た。分散液(C−14)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で150℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、実施例7と同様に両面銅張積層板を得た。
ブチルカルビトールアセテートをDMACに変更した以外は、実施例7と同様にして分散液(C−15)を得た。分散液(C−15)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で165℃15分で乾燥し、実施例7と同様に両面銅張積層板を得た。
分散液(C−1)とPTFE分散液である旭硝子社製のAD−911E(平均粒径0.25μm)を(C−1):AD−911Eを60:40の質量比で混合し、ラボスターラーで撹拌し均一な分散液(D−1)を得た。分散液(D−1)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することで片面銅張積層板を2枚作製した。次いで、樹脂層が向い合うように片面銅張積層板2枚を重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行って両面銅張積層板を得た。
分散液(C−1)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することで片面銅張積層板を作製した。次いで、0.1mm厚みのPTFEシート(淀川ヒューテック社製、PTFEシート)を中心に樹脂層が向い合うように片面銅張積層板2枚を重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行って両面銅張積層板を得た。
分散液(C−1)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することで片面銅張積層板を作製した。
片面銅張積層板の樹脂層をポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製、カプトン100EN。以下「PI」とも記す。)と接するように重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行って銅箔/樹脂層/PI構造の片面銅張積層板を作製した。得られた片面銅張積層板を7cm角に成形した積層体は、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
分散液(C−1)をPI上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することでPI/樹脂層構造の積層体を2枚作製した。得られた積層体を樹脂層が向き合うように重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行ってPI/樹脂層/PI構造の積層体を作製した。得られた積層体を7cm角に成形した積層体は、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
分散液(C−1)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することで片面銅張積層体を作製した。
片面銅張積層体の樹脂層をPIと接するように重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行って銅箔/樹脂層/PI/樹脂層/銅箔構造の両面銅張積層板を作製した。
分散液(C−1)を、ガラスクロス(有沢製作所製、品番:#1031)に含浸させ、110℃20分で乾燥させ、プリプレグを得た。該プリプレグの両面に銅箔を重ね、プレス温度340℃、プレス圧力4.0MPa、プレス時間15分で真空熱プレスを行って銅箔/プリプレグ/銅箔構造の両面銅張積層板を作製した。得られた積層板を用いて線膨張係数であるCTE(z)を測定したところ、189ppm/℃であった。
分散液(C−1)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥し、その後350℃15分で加熱した後、徐冷することで片面銅張積層体を2枚作製した。片面銅張積層板の樹脂層をエポキシ系プリプレグ(日立化成社製、GEA−67N)と接するように重ね、プレス温度180℃、プレス圧力3.0MPa、プレス時間60分で真空熱プレスを行って銅箔/樹脂層/硬化エポキシ系樹脂層/樹脂層/銅箔構造の両面銅張積層板を作製した。
実施例5で得られた片面銅張積層板をエッチングし銅箔を除去して、フィルムを得た。得られたフィルムにおいてMD方向(分散液塗工時の塗工方向)およびTD方向(MD方向の垂直方向)の熱膨張率をTMA装置にて測定した。尚、測定装置はNETZSCH社製のTMA402F1Hyperionを用いて、測定モードが引張モード、測定温度が30℃から100℃、測定荷重が19.6mN、昇温速度が5℃/分、測定雰囲気が窒素雰囲気下で測定し、30℃から100℃に推移した際の熱膨張率を測定した。得られたフィルムを7cm角に成形したフィルムは、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
実施例14で得られた片面銅張積層板をエッチングし銅箔を除去して、銅箔塗工されていたフィルムを得た。得られたフィルムをTMA装置を用いて、MD方向およびTD方向の熱膨張率を測定した。得られたフィルムを7cm角に成形したフィルムは、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
実施例7で得られた片面銅張積層板をエッチングし銅箔を除去して、銅箔塗工されていたフィルムを得た。得られたフィルムを得られたフィルムをTMA装置を用いて、MD方向およびTD方向の熱膨張率を測定した。得られたフィルムを7cm角に成形したフィルムは、円筒状に丸まることはなく、反りが抑制されていた。
市販のPFAフッ素樹脂を用い、従来公知の手法にてフッ素樹脂フィルムを作成した。得られたフッ素樹脂フィルムの得られたフィルムを得られたフィルムをTMA装置を用いて、MD方向およびTD方向の熱膨張率を測定した。得られたフィルムを7cm角に成形したフィルムは、円筒状に1周丸まることはないが、反りはみられた。
なお、熱膨張(収縮)変化比は、x方向(大きい熱膨張(収縮)率)とy方向(小さい熱膨張(収縮)率)の比であり、「x/y」で表す。
実施例21で得られた両面銅張積層板をプレス温度170℃、プレス圧力0.005MPa、30分で真空熱プレスを行ってアニールを実施した。得られた両面銅張積層板を用いて線膨張係数であるCTE(z)を測定したところ、45ppm/℃であった。
樹脂パウダー(A)120gに対し、ノニオン性界面活性剤(ネオス社製、フタージェント710FL)を12g、メチルエチルケトン234gを横型ボールミルポットに投入し、15mm径のジルコニアボールにて分散を行い、分散液(C−16)を得た。分散液(C−16)を厚み12μmの銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下において100℃で15分乾燥し、350℃で15分加熱した後、徐冷することで厚み7μmの樹脂層を有する片面銅張積層板を得た。
得られた片面銅張積層板の樹脂層の表面をプラズマ処理した。プラズマ処理装置としてはNORDSON MARCH社のAP−1000を用いた。プラズマ処理条件としては、AP−1000のRF出力を300W、電極間ギャップを2インチ、導入ガスの種類をアルゴン(Ar)、導入ガス流量を50cm3/分、圧力を13Pa、処理時間を1分とした。プラズマ処理後の樹脂層の表面の算術平均粗さRaは2.5μmであった。
表面処理を実施してから72時間以内の片面銅箔積層板の樹脂層側に、プリプレグとしてFR−4(日立化成社製、強化繊維:ガラス繊維、マトリックス樹脂:エポキシ樹脂、品名:CEA−67N 0.2t(HAN)、厚み:0.2mm)を重ね、プレス温度185℃、プレス圧力3.0MPa、プレス時間60分の条件で真空熱プレスを行って金属積層板を得た(No.1)。
分散液(C−6)を銅箔上に塗布し、窒素雰囲気下で100℃15分で乾燥した。得られた積層体の銅箔側を、「ノリタケカンパニーリミテド社 R to R式 NORITAKE遠赤外線N2雰囲気炉」の搬送ロールであるポリイミドロールにポリイミドテープを貼り付け、設定温度340℃、酸素濃度200ppmで加熱し、片面銅張積層板を製造した。加熱時間は1分になるようにロール速度を調整した(4.7mの加熱炉を利用、ロール速度は4.7m/min)。
加熱処理後、目視で重合体(X)の溶融状態を評価した(No.1)。
評価は溶融後に残った異物(光学的な不均一物)の数と溶融の状態から目視で判断した。判断基準を以下に示す。
異物の数:
1:10cm2の面積の中に目視で確認できる異物の数が50個以上
2:10cm2の面積の中に目視で確認できる異物の数が20個以上〜50個以下
3:10cm2の面積の中に目視で確認できる異物の数が20個以下
溶融の状態:
1:白い溶け残りが一部みられる
2:白い溶け残りはないが、部分的に光沢がみられない
3:溶け残りはない(全面が光沢にみえる)
なお、2016年07月22日に出願された日本特許出願2016−144722号、2017年02月15日に出願された日本特許出願2017−026385号および2017年05月18日に出願された日本特許出願2017−099294号の明細書、特許請求の範囲および要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (13)
- 水、アルコール類、含窒素化合物、含硫黄化合物、エーテル類、エステル類、ケトン類、グリコールエーテル類、セロソルブ類からなる群から選ばれる少なくとも1種の液状媒体と該液状媒体に分散した樹脂パウダーとを含み、樹脂パウダーの体積基準累積90%径が8μm以下であり、樹脂パウダーが下記重合体(X)を含む樹脂であり、液状媒体の含有量が、樹脂パウダー100質量部に対して10〜500質量部であることを特徴とする液状組成物。
重合体(X):テトラフルオロエチレンに基づく単位を有する含フッ素重合体であって、カルボニル基含有基を有する、融点が260〜320℃である含フッ素重合体。 - 水、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、2−ヘプタノン、シクロヘプタノン、シクロヘキサノン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、メチル−n−ペンチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルイソペンチルケトン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキシルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチル、ジオキサン、乳酸メチル、乳酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、アニソール、エチルベンジルエーテル、クレジルメチルエーテル、ジフェニルエーテル、ジベンジルエーテル、フェネトール、ブチルフェニルエーテル、ベンゼン、エチルベンゼン、ジエチルベンゼン、ペンチルベンゼン、イソプロピルベンゼン、トルエン、キシレン、シメン、メシチレン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、メチルモノグリシジルエーテル、エチルモノグリシジルエーテル、ジメチルホルムアミド、ミネラルスピリット、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、パーフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロクロロフルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、パーフルオロポリエーテル、各種シリコーンオイルからなる群から選ばれる少なくとも1種の液状媒体と該液状媒体に分散した樹脂パウダーとを含み、樹脂パウダーの体積基準累積90%径が8μm以下であり、樹脂パウダーが下記重合体(X)を含む樹脂であり、液状媒体の含有量が、樹脂パウダー100質量部に対して10〜500質量部であることを特徴とする液状組成物。
重合体(X):テトラフルオロエチレンに基づく単位を有する含フッ素重合体であって、カルボニル基含有基を有する、融点が260〜320℃である含フッ素重合体。 - 樹脂パウダーの体積基準累積50%径が、0.3〜6μmである、請求項1または2に記載の液状組成物。
- 前記重合体(X)が、テトラフルオロエチレンに基づく単位と前記カルボニル基含有基を有する単位とを有する含フッ素共重合体である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の液状組成物。
- 前記重合体(X)が、さらに、ペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)に基づく単位を有する含フッ素共重合体である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の液状組成物。
- 液状媒体の含有量が、樹脂パウダー100質量部に対して30〜250質量部である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の液状組成物。
- 前記液状組成物が、さらに、重合体(X)以外の重合体からなる樹脂のパウダー、または、無機質フィラーを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の液状組成物。
- 前記液状組成物が、無機質フィラーを含み、前記無機質フィラーの含有量が樹脂パウダー100質量部に対して10〜60質量部である、請求項7に記載の液状組成物。
- 前記液状組成物が、重合体(X)以外の重合体からなる樹脂を含み、該樹脂の100質量部に対して樹脂パウダーの含有量が20〜300質量部である、請求項7または8に記載の液状組成物。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の液状組成物を製膜化するとともに液状媒体を除去することを特徴とするフィルムの製造方法。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の液状組成物を基材上で製膜化するとともに液状媒体を除去して前記基材に積層された樹脂層を形成することを特徴とする積層体の製造方法。
- 請求項11に記載の製造方法で少なくとも片面に樹脂層を有する積層体を製造し、次いで得られた積層体を樹脂層表面を積層面として第2の基材と積層することを特徴とする積層体の製造方法。
- 請求項11に記載の製造方法で製造された少なくとも片面に金属層を有する積層体の該金属層を、エッチングしてパターンを形成することを特徴とするプリント基板の製造方法。
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