JP6353461B2 - Oledデバイスの加工方法 - Google Patents
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Description
真空適合性試験は、STS Multiplex PECVDロードロック(SPTS,Newport,UKから入手可能)で実行した。ロードロックは、軟質ポンプバルブを有するEbara A10Sドライポンプ(Ebara Technologies Inc.,Sacramento,CA)から入手可能によってポンプされた。試料をロードロックに配置し、次いで、ロードロックを、45秒間で気圧から70mTorr(9.3Pa)までポンプした。下記の表の「真空」欄で「F」の表記によって示される不合格は、(a)キャリアと薄シートとの間の接着の損失(裸眼による視覚試験による、薄シートがキャリアから落下するか、または部分的に剥離する場合に、不合格が生じたと見なされた)、(b)キャリアと薄シートとの間の発泡(裸眼による視覚試験によって決定される。試料を加工の前後で撮影し、次いで、比較して、肉眼で見ることができる寸法によって、欠陥の径が増加した場合、不合格が生じたと決定された)、または(c)キャリアに対する薄シートの移動(裸眼による視覚観察によって決定される。試料を試験の前後で撮影し、結合の欠陥、例えば、気泡の移動があった場合、もしくは端部が剥離した場合、もしくはキャリア上の薄シートの移動があった場合、不合格が生じたと見なされた)があった場合に生じたと見なされた。下記の表中、「真空」欄の「P」の表記は、試料が上記の基準に従って不合格ではなかったことを示す。
湿潤プロセス適合性試験は、SemitoolモデルSRD−470S(Applied Materials,Santa Clara,CAから入手可能)を使用して実行された。この試験は、60秒間、500rpmでのリンス、500rpmにおける15MOhm−cmへのQ−リンス、500rpmにおける10秒間のパージ、1800rpmにおける90秒間の乾燥、および温かい窒素流の下、2400rpmにおける180秒間の乾燥からなっていた。下記の表の「SRD」欄で「F」の表記によって示される不合格は、(a)キャリアと薄シートとの間の接着の損失(裸眼による視覚試験による、薄シートがキャリアから落下するか、または部分的に剥離する場合に、不合格が生じたと見なされた)、(b)キャリアと薄シートとの間の発泡(裸眼による視覚試験によって決定される。試料を加工の前後で撮影し、次いで、比較して、肉眼で見ることができる寸法によって、欠陥の径が増加した場合、不合格が生じたと決定された)、または(c)キャリアに対する薄シートの移動(裸眼による視覚観察によって決定される。試料を試験の前後で撮影し、結合の欠陥、例えば、気泡の移動があった場合、もしくは端部が剥離した場合、もしくはキャリア上の薄シートの移動があった場合、不合格が生じたと見なされた)、または(d)薄シート下の水の貫入(50倍の光学顕微鏡による視覚試験によって決定される。液体または残渣が観察可能であった場合、不合格が生じたと決定された)があった場合に生じたと見なされた。下記の表中、「SRD」欄の「P」の表記は、試料が上記の基準に従って不合格ではなかったことを示す。
400℃プロセス適合性試験は、Alwin21 Accuthermo610 RTP(Alwin21,Santa Clara CA.から入手可能)を用いて実行した。結合した薄シートを有するキャリアを6.2℃/分で室温から400℃まで循環されるチャンバーで加熱し、400℃で600秒間保持し、1℃/分で300℃まで冷却した。次いで、キャリアおよび薄シートを室温まで冷却した。下記の表の「400℃」欄で「F」の表記によって示される不合格は、(a)キャリアと薄シートとの間の接着の損失(裸眼による視覚試験による、薄シートがキャリアから落下するか、または部分的に剥離する場合に、不合格が生じたと見なされた)、(b)キャリアと薄シートとの間の発泡(裸眼による視覚試験によって決定される。試料を加工の前後で撮影し、次いで、比較して、肉眼で見ることができる寸法によって、欠陥の径が増加した場合、不合格が生じたと決定された)、または(c)薄シートまたはキャリアへのダメージがないキャリアからの薄シートの剥離を妨げる(薄シートとキャリアとの間のかみそりの刃の挿入によって、および/または2〜3インチ(5.08〜7.62センチメートル)で100mmの正方形の薄ガラスに取り付けられた、幅1インチ(2.54センチメートル)×長さ6インチ(15.24センチメートル)のKapton(商標)テープ(Saint Gobain Performance Plastic,Hoosik NYからのK102シリーズ)の一片を、薄シートに張り付け、そしてテープを引っ張ることによって)、キャリアと薄シートとの間の接着の増加があった場合に生じたと見なされた。薄シートおよびキャリアを分離しようと試みた時に、薄シートまたはキャリアにダメージがあった場合、あるいはいずれかの剥離法の実施によって薄シートおよびキャリが剥離できなかった場合、不合格が生じたと見なされた。追加的に、薄シートがキャリアと結合された後、および熱サイクルの前、いずれの関連する表面処理も含む特定の材料が、温度循環の前にキャリアから薄シートの剥離を可能にしたことを決定するために、剥離テストを代表的な試料において実行した。下記の表中、「400℃」欄の「P」の表記は、試料が上記の基準に従って不合格ではなかったことを示す。
600℃プロセス適合性試験は、Alwin21 Accuthermo610 RTPを用いて実行した。薄シートを有するキャリアを9.5℃/分で室温から600℃まで循環されるチャンバーで加熱し、600℃で600秒間保持し、次いで1℃/分で300℃まで冷却した。次いで、キャリアおよび薄シートを室温まで冷却した。下記の表の「600℃」欄で「F」の表記によって示される不合格は、(a)キャリアと薄シートとの間の接着の損失(裸眼による視覚試験による、薄シートがキャリアから落下するか、または部分的に剥離する場合に、不合格が生じたと見なされた)、(b)キャリアと薄シートとの間の発泡(裸眼による視覚試験によって決定される。試料を加工の前後で撮影し、次いで、比較して、肉眼で見ることができる寸法によって、欠陥の径が増加した場合、不合格が生じたと決定された)、または(c)薄シートまたはキャリアへのダメージがないキャリアからの薄シートの剥離を妨げる(薄シートとキャリアとの間のかみそりの刃の挿入によって、および/または上記Kapton(商標)テープの一片を、薄シートに張り付け、そしてテープを引っ張ることによって)、キャリアと薄シートとの間の接着の増加があった場合に生じたと見なされた。薄シートおよびキャリアを分離しようと試みた時に、薄シートまたはキャリアにダメージがあった場合、あるいはいずれかの剥離法の実施によって薄シートおよびキャリが剥離できなかった場合、不合格が生じたと見なされた。追加的に、薄シートがキャリアと結合された後、および熱サイクルの前、特定の材料およびいずれかの関連する表面処理が、温度循環の前にキャリアから薄シートの剥離を可能にしたことを決定するために、剥離テストを代表的な試料において実行した。下記の表中、「600℃」欄の「P」の表記は、試料が上記の基準に従って不合格ではなかったことを示す。
超音波適合性試験は、物品を4タンクラインで洗浄することによって実行し、物品はタンク#1からタンク#4までの連続するそれぞれのタンクで加工された。4つのタンクのそれぞれのタンク寸法は、長さ18.4インチ(46.7センチメートル)×幅10インチ(25.4センチメートル)×深さ15インチ(38.1センチメートル)であった。2つの洗浄タンク(#1および#2)は、50℃のDI水中、横浜油脂工業株式会社(日本、横浜)から入手可能な1%Semiclean KGを含有した。洗浄タンク#1はNEY prosonik 2 104kHz超音波発生器(Blackstone−NEY Ultrasonics,Jamestown,NYから入手可能)を用いて撹拌し、そして洗浄タンク#2はNEY prosonik 2 104kHz超音波発生器を用いて撹拌した。2つのリンスタンク(タンク#3およびタンク#4)は、50℃のDI水を含有した。リンスタンク#3はNEY sweepsonik 2D 72kHz超音波発生器を用いて撹拌し、そしてリンスタンク#4はNEY sweepsonik 2D 104kHz超音波発生器を用いて撹拌した。プロセスは、各タンク#1〜4で10分間実行され、続いて、試料がタンク#4から除去された後、スピンリンス乾燥(SRD)を実行した。下記の表の「超音波」欄で「F」の表記によって示される不合格は、(a)キャリアと薄シートとの間の接着の損失(裸眼による視覚試験による、薄シートがキャリアから落下するか、または部分的に剥離する場合に、不合格が生じたと見なされた)、(b)キャリアと薄シートとの間の発泡(裸眼による視覚試験によって決定される。試料を加工の前後で撮影し、次いで、比較して、肉眼で見ることができる寸法によって、欠陥の径が増加した場合、不合格が生じたと決定された)、または(c)他の著しい欠陥の形成(50倍の光学顕微鏡による視覚試験によって決定される。以前は観察されなかった、薄ガラスとキャリアとの間に捕捉された粒子があった場合、不合格が生じたと見なされた)、または(d)薄シート下の水の貫入(50倍の光学顕微鏡による視覚試験によって決定される。液体または残渣が観察可能であった場合、不合格が生じたと決定された)があった場合に生じたと見なされた。下記の表中、「超音波」欄の「P」の表記は、試料が上記の基準に従って不合格ではなかったことを示す。追加的に、下記の表中、「超音波」欄の空白は、試料がそのように試験されなかったことを示す。
物品2が首尾よくFPD加工を受けることが可能(すなわち、薄シート20が、加工の間、キャリア10に結合したまま残り、高温加工を含む加工の後、キャリア10から分離されてもよい)であるように、表面変性層30による結合表面14、24の1つ以上を変性することの利点は、その間に表面変性層30を含まないガラスキャリア10および薄ガラスシート20を有する物品2を加工することによって実証された。具体的には、最初に、表面変性層30を用いず、ヒドロキシル基を減少するための加熱による、結合表面14、24の調製を試みた。キャリア10および薄シート20を洗浄し、結合表面14および24を互いに結合し、次いで、物品2を試験した。結合のためにガラスを調製するための典型的な洗浄プロセスは、SC1洗浄プロセスであり、このプロセスでは、希釈した過酸化水素および塩基(一般に、水酸化アンモニウムであるが、水酸化テトラメチルアンモニウム溶液、例えば、JT Baker JTB−100またはJTB−111も使用されてよい)でガラスを洗浄する。洗浄によって結合表面から粒子が除去され、既知の表面エネルギーを生じる。すなわち、それは、表面エネルギーのベースラインを提供する。洗浄方法は、SC1である必要はなく、洗浄の種類が、表面のシラノール基に対する非常に軽度の影響のみを有するような、他の種類の洗浄が使用されてもよい。様々な試験の結果は、表1に明かにされる。
結合表面14、24の相互作用を制御するために、例えば、熱処理などによるヒドロキシル減少および表面変性層30を一緒に使用してもよい。例えば、結合表面14、24の結合エネルギー(極性/分散エネルギー成分による室温におけるファンデルワールスおよび/または水素結合、ならびに共有結合エネルギー成分による高温における共有結合)は、室温結合が困難であるものから、容易な室温結合および高温加工後の結合表面の分離を可能にするものまで、高温加工後、表面がダメージを受けることなく分離することを妨げるものまで、様々な結合強度を提供するために制御されることができる。いくつかの用途において、非常に弱い結合がないか、または少ないことが望ましくてもよい(表面が「非結合」領域にある場合、「非結合」領域は特許文献1の薄シート/キャリア概念に記載されており、以下に記載されるとおりである)。他の用途において、例えば、FPDプロセスなど(500℃以上または600℃以上、および650℃までの加工温度が達成されてよい)用の再利用できるキャリアを提供する場合、最初に薄シートおよびキャリアを一緒に配置し、高温共有結合を防ぐか、または限定するために、室温で十分なファンデルワールスおよび/または水素結合を有することが望ましい。他の用途に関して、最初に薄シートおよびキャリアを一緒に配置し、そのうえ、高温で強い共有結合を発現させるために十分な室温結合を有することが望ましい(表面が「結合領域」にある場合、「結合領域」は特許文献1の薄シート/キャリア概念に記載されており、以下に記載されるとおりである)。理論に拘束されることを望まないが、いくつかの例において、それによって薄シートおよびキャリアが最初に一緒に配置される室温結合を制御するために、表面変性層が使用されてもよく、それに対して、共有結合、特に高温での共有結合を制御するために、表面上のヒドロキシル基の減少(例えば、表面の加熱によるか、またはヒドロキシル基と表面変性層との反応による)が使用されてもよい。
結合表面がO2プラズマおよびSC1処理されたガラスキャリアを、次いで、トルエン中1%ドデシルトリエトキシシラン(DDTS)で処理し、1時間、真空中、150℃でアニールし、縮合を完了させた。DDTS処理表面は、45mJ/m2の表面エネルギーを示す。表4に示すように、(SC1洗浄され、1時間、真空中で400℃で加熱された)ガラス薄シートは、その上にDDTS表面変性層を有するキャリア結合表面に結合した。この物品は、湿潤および真空プロセス試験に耐えたが、シランの熱分解のため、キャリア下に気泡が形成されることなく、400℃超の熱プロセスには耐えなかった。この熱分解は、良好な熱安定性のコーティングを生じるメチル、ジメチルおよびトリメチルシラン(x=1〜3、R1=CH3)を除く、全ての直鎖アルコキシおよびクロロアルキルシランR1xSi(OR2)y(Cl)z(式中、X=1〜3、およびy+z=4−x)に関して予想される。
結合表面がO2プラズマおよびSC1処理されたガラスキャリアを、次いで、トルエン中1%3,3,3−トリフルオロプロピルトリセオキシシラン(TFTS)で処理し、1時間、真空中、150℃でアニールし、縮合を完了させた。TFTS処理表面は、47mJ/m2の表面エネルギーを示す。表4に示すように、(SC1洗浄され、1時間、真空中で400℃で加熱された)ガラス薄シートは、その上にTFTS表面変性層を有するキャリア結合表面に結合した。この物品は、ガラスキャリアへのガラス薄シートの永久的結合が生じることなく、真空、SRDおよび400℃プロセス試験に耐えた。しかしながら、600℃試験は、シランの熱分解により、キャリアの下で気泡形成を生じた。この熱分解は、プロピル基の限定的な熱安定性のため、予想外ではなかった。この試料は気泡のため、600℃試験には不合格であったが、この実施例の材料および熱処理は、気泡およびそれらの悪影響、例えば、表面の平坦さの減少、または波動性の増加に耐えられ得るいくつかの用途に関して、使用されてもよい。
結合表面がO2プラズマおよびSC1処理されたガラスキャリアを、次いで、トルエン中1%フェニルトリエトキシシラン(PTS)で処理し、1時間、真空中、200℃でアニールし、縮合を完了させた。PTS処理表面は、54mJ/m2の表面エネルギーを示す。表4に示すように、(SC1洗浄され、1時間、真空中で400℃で加熱された)ガラス薄シートは、PTS表面変性層を有するキャリア結合表面に結合した。この物品は、ガラス薄シートとガラスキャリアの永久的な結合が生じることなく、真空、SRDおよび600℃までの熱プロセスに耐えた。
結合表面がO2プラズマおよびSC1処理されたガラスキャリアを、次いで、トルエン中1%ジフェニルジエトキシシラン(DPDS)で処理し、1時間、真空中、200℃でアニールし、縮合を完了させた。DPDS処理表面は、47mJ/m2の表面エネルギーを示す。表4に示すように、(SC1洗浄され、1時間、真空中で400℃で加熱された)ガラス薄シートは、DPDS表面変性層を有するキャリア結合表面に結合した。この物品は、ガラス薄シートとガラスキャリアの永久的な結合が生じることなく、真空およびSRD試験、ならびに600℃までの熱プロセスに耐えた。
結合表面がO2プラズマおよびSC1処理されたガラスキャリアを、次いで、トルエン中1%4−ペンタフルオロフェニルトリエトキシシラン(PFPTS)で処理し、1時間、真空中、200℃でアニールし、縮合を完了させた。PFPTS処理表面は、57mJ/m2の表面エネルギーを示す。表4に示すように、(SC1洗浄され、1時間、真空中で400℃で加熱された)ガラス薄シートは、PFPTS表面変性層を有するキャリア結合表面に結合した。この物品は、ガラス薄シートとガラスキャリアの永久的な結合が生じることなく、真空およびSRD試験、ならびに600℃までの熱プロセスに耐えた。
再利用可能なキャリア
表面変性層(材料および関連する結合表面熱処理を含む)を介した制御された結合の1つの使用は、例えば、LTPS加工の場合のように600℃以上の温度を必要とするプロセスを受ける物品においてキャリアの再利用を提供することである。上記の実施例2e、3a、3b、4c、4dおよび4eによって例証されるような表面変性層(材料および結合表面熱処理を含む)は、そのような温度条件でキャリアの再利用を提供するために使用されてもよい。具体的には、これらの表面変性層は、薄シートとキャリアとの結合領域間で重複する領域の表面エネルギーを変性するために使用されてもよく、それによって、加工の後、全薄シートがキャリアから分離され得る。薄シートは、全て1回で分離されてもよく、または数部分で分離されてもよく、例えば、薄シートの一部分上に製造されたデバイスが最初に除去され、その後、残りの部分が除去されて、再利用のため、キャリアが洗浄される。全薄シートがキャリアから除去される場合、キャリアは、単にその上に別の薄シートを配置することによって、そのまま再利用することができる。あるいは、キャリアは洗浄されて、新たに表面変性層を形成することによって、薄シートを有するように調製されてもよい。表面変性層が薄シートとキャリアとの永久的な結合を防ぐため、それらは、温度が600℃以上であるプロセスのために使用されてもよい。もちろん、これらの表面変性層が600℃以上の温度での加工の間、結合表面エネルギーを制御してもよいが、それらは、結合を制御するためのより低温での加工に耐える薄シートとキャリアとの組合せを製造するために使用されてもよく、そしてそのようなより低温での用途に使用されてもよい。そのうえ、物品の熱加工が400℃以下である場合、この同様の方法で、実施例2c、2d、4bで例証されるような表面変性層も使用されてよい。
制御された結合領域の提供
表面変性層を介した制御された結合の第2の使用(材料および関連する結合表面熱処理を含む)は、ガラスキャリアとガラス薄シートとの間で、制御された結合領域を提供することである。より詳しくは、表面変性層を使って、結合によって引き起こされる薄シートまたはキャリアのいずれかにダメージを生じることなく、十分な分離力によってキャリアから薄シート部分を分離することができ、なお、加工を通して、キャリアに対して薄シートを保持するための十分な結合力が保持される、制御された結合の領域を形成することができる。図6を参照すると、ガラス薄シート20は、結合領域40によってガラスキャリア10に結合され得る。結合領域40において、キャリア10および薄シート20は互いに共有結合して、モノリスとして作用する。追加的に、周辺部52を有する制御された結合領域50があって、ここでは、高温加工、例えば、600℃以上の温度での加工の後でさえもキャリア10と薄シート20が連結するが、互いに分離していてもよい。10個の制御された結合領域50が図6に示されるが、1を含むいずれの適切な数で提供されてもよい。上記実施例2a、2e、3a、3b、4c、4dおよび4eによって例示される材料および結合表面熱処理を含む表面変性層30は、キャリア10と薄シート20との間で制御された結合領域50を提供するために使用されてもよい。具体的には、これらの表面変性層は、キャリア10または薄シート20のいずれかにおいて制御された結合領域50の周辺部52内に形成されてもよい。したがって、結合領域40において共有結合を形成するため、またはデバイス加工の間のいずれかで物品2が高温で加工される場合、周辺部52が境界となる領域内で、キャリア10と薄シート20との間の制御された結合が提供されることができるが、分離力は、(薄シートまたはキャリアに破滅的なダメージを生じることなく)この領域で薄シートおよびキャリアを分離してもよく、なお、薄シートおよびキャリアは、超音波加工を含む加工の間、剥離しない。表面変性層およびいずれかの関連する熱処理によって提供される、本出願の制御された結合は、したがって、特許文献1のキャリア概念に改善を加えることが可能である。具体的には、特許文献1のキャリアは、それらの結合周囲および非結合中心領域によって約600℃以上の高温加工を含むFPD加工に耐えることが実証されたが、超音波プロセス、例えば、湿潤洗浄およびレジスト剥離加工は課題が残っていた。具体的には、溶液の圧力波が、その領域において薄ガラスとキャリアとを結合する接着力がほとんどないか、なかったため、非結合領域において薄ガラスにおいて共鳴振動を誘導するように見えた(非結合は特許文献1に記載された)。薄ガラスにおいて定存波が形成される可能性もあり、これらの波は、超音波振動が十分な強度である場合、結合および非結合領域の間の界面において薄ガラスの破壊を導く可能性がある振動を生じ得る。この問題は、薄ガラスとキャリアとの間の間隔を最小化することによって、そして十分な接着、またはこれらの領域50のキャリア10と薄ガラス20との間の制御された結合を提供することによって排除することができる。結合表面の表面変性層(上記実施例2a、2e、3a、3b、4c、4dおよび4eによって例示される材料およびいずれの関連する熱処理も含む)は、制御された結合領域においてこれらの望ましくは振動を回避するために薄シート20とキャリア10との間で十分な結合を提供するように、結合エネルギーを制御する。
表面変性層を介した制御された結合の第3の使用(材料およびいずれの関連する結合表面熱処理も含む)は、ガラスキャリアとガラス薄シートとの間で結合領域を提供することである。図6を参照すると、ガラス薄シート20は、結合領域40によってガラスキャリア10に結合されていてもよい。
本明細書に記載される制御された結合の第5の使用は、キャリアおよびそれに結合された薄シートを有するものを含み、次に、電子デバイス、例えば、TFT、OLED(有機発光材料を含む)、PVデバイス、タッチセンサーおよびディスプレイを製造するために使用されるガラス物品の製造である。例えば、上記のような再利用可能なキャリアが使用されてもよい。あるいは、例えば、上記のような結合領域および制御された結合領域を有するガラス物品が使用されてもよい。
典型的なウエハ結合用途で使用されるポリマー接着剤は、一般に厚さ10〜100マイクロメートルであって、それらの温度限界またはその付近で、それらの質量の約5%を失う。厚いポリマー膜から放出されるそのような材料に関して、質量分析によって、質量損失または脱気の量を定量化することは容易である。他方では、厚さ10nm以下の範囲にある薄い表面処理、例えば、プラズマポリマーまたは上記の自己集合単分子層表面変性層、ならびに熱分解されたシリコーン油の薄層からの脱気を測定することはより困難である。そのような材料に関しては、質量分析は十分に感応性でない。しかしながら、脱気を測定するための多くの他の方法がある。
上記の本発明の実施形態、特にいずれかの「好ましい」実施形態は、単に可能な実施例であり、単に本発明の様々な原理の明確な理解のために明らかにされているのみであることは強調されるべきである。本発明の趣旨および様々な原理から実質的に逸脱することなく、多くの変更形態および修正形態が上記の本発明の実施形態になされてもよい。全てのそのような修正形態および変更形態は、本明細書において本開示および本発明の範囲内に含まれることが意図され、また以下の請求の範囲によって保護される。
キャリア結合表面を有するキャリアを得るステップと、
シート結合表面を有するシートを得るステップと、
表面変性層をキャリア結合表面およびシート結合表面の一方に配置するステップと、
キャリア結合表面をシート結合表面と、その間の表面変性層によって結合して、シートをキャリアに結合する表面エネルギーが、物品に、9.2℃/分の速度で室温から600℃まで循環され、10分間、600℃の温度で保持し、次いで、1℃/分で300℃まで冷却されるチャンバーにおいて加熱し、次いで、チャンバーから物品を取り出し、物品を室温まで冷却することによる温度サイクルを受けさせた後、キャリアおよびシートが、一方が保持されて、他方が重力を受ける場合に、互いに分離せず、温度サイクルの間、表面変性層からの脱気が生じず、かつシートが、キャリアおよびシートのうちのより薄い方を2つ以上の断片に破断することなく、キャリアから分離され得るような特徴のものであるように、物品を形成するステップと、
電子デバイス部品をシートに配置するステップと
を有してなる、電子デバイスの製造方法が提供される。
ガラス物品であって、
キャリア結合表面を有するキャリアと、
シート結合表面を有するシートと、
キャリア結合表面およびシート結合表面の一方に配置された表面変性層と
を含んでなり、キャリア結合表面がシート結合表面とその間の表面変性層によって結合するガラス物品を得るステップと、
電子デバイス部品をシートに配置するステップと
を有してなる、電子デバイスの製造方法であって、シートをキャリアに結合する表面エネルギーが、物品に、9.2℃/分の速度で室温から600℃まで循環され、10分間、600℃の温度で保持し、次いで、1℃/分で300℃まで冷却されるチャンバーにおいて加熱し、次いで、チャンバーから物品を取り出し、物品を室温まで冷却することによる温度サイクルを受けさせた後、キャリアおよびシートが、一方が保持されて、他方が重力を受ける場合に、互いに分離せず、温度サイクルの間、表面変性層からの脱気が生じず、かつシートが、キャリアおよびシートのうちのより薄い方を2つ以上の断片に破断することなく、キャリアから分離され得るような特徴のものである方法が提供される。
a)プラズマ重合フルオロポリマー、および
b)芳香族シラン
の一方を含んでなる、態様1〜19のいずれか1つの方法が提供される。
Claims (9)
- 電子デバイスの製造方法において、
キャリア結合表面を有するキャリアを得るステップと、
シート結合表面を有するシートを得るステップと、
表面変性層を前記キャリア結合表面および前記シート結合表面の一方に配置するステップと、
前記キャリア結合表面を前記シート結合表面と、その間の前記表面変性層によって結合して、前記シートを前記キャリアに結合する表面エネルギーが、物品に、9.2℃/分の速度で室温から600℃になるまで昇温され、10分間、600℃の温度で保持し、次いで、1℃/分で300℃まで冷却されるチャンバーにおいて加熱し、次いで、前記チャンバーから前記物品を取り出し、前記物品を室温まで冷却することによる温度サイクルを受けさせた後、前記キャリアおよびシートが、一方が保持されて、他方が自身の自重により前記一方から引き離されるような姿勢となった場合に、互いに分離せず、前記温度サイクルの間、前記表面変性層からの脱気が生じず、かつ前記シートが、前記キャリアおよび前記シートのうちのより薄い方を2つ以上の断片に破断することなく、前記キャリアから分離され得るような特徴の前記表面エネルギーであって、この表面エネルギーが50〜1000mJ/m 2 となるように、前記物品を形成するステップと、
電子デバイス部品を前記シートに配置するステップと
を有してなり、
前記シートが、ガラス、セラミック、またはガラスセラミックを含み、
前記表面変性層が、プラズマ重合フルオロポリマー、および芳香族シランの一方を含み、かつ、0.1〜100nmの厚さを有し、
前記電子デバイス部品を前記シートに配置する際に、前記キャリア、前記表面変性層、前記シート、および前記電子デバイス部品がこの順に積層されることを特徴とする方法。 - 電子デバイスの製造方法において、
ガラス物品であって、
キャリア結合表面を有するキャリアと、
シート結合表面を有するシートと、
前記キャリア結合表面および前記シート結合表面の一方に配置された表面変性層と
を含んでなり、前記キャリア結合表面が前記シート結合表面とその間の前記表面変性層によって結合するガラス物品を得るステップと、
電子デバイス部品を前記シートに配置するステップと
を有してなる方法であり、前記シートを前記キャリアに結合する表面エネルギーが、前記物品に、9.2℃/分の速度で室温から600℃になるまで昇温され、10分間、600℃の温度で保持し、次いで、1℃/分で300℃まで冷却されるチャンバーにおいて加熱し、次いで、前記チャンバーから前記物品を取り出し、前記物品を室温まで冷却することによる温度サイクルを受けさせた後、前記キャリアおよびシートが、一方が保持されて、他方が自身の自重により前記一方から引き離されるような姿勢となった場合に、互いに分離せず、前記温度サイクルの間、前記表面変性層からの脱気が生じず、かつ前記シートが、前記キャリアおよび前記シートのうちのより薄い方を2つ以上の断片に破断することなく、前記キャリアから分離され得るような特徴の前記表面エネルギーであって、この表面エネルギーが50〜1000mJ/m 2 であり、
前記シートが、ガラス、セラミック、またはガラスセラミックを含み、
前記表面変性層が、プラズマ重合フルオロポリマー、および芳香族シランの一方を含み、かつ、0.1〜100nmの厚さを有し、
前記電子デバイス部品を前記シートに配置する際に、前記キャリア、前記表面変性層、前記シート、および前記電子デバイス部品がこの順に積層されることを特徴とする方法。 - 前記電子デバイス部品が有機発光材料を含んでなることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記電子デバイスの加工が、400℃以上の温度での加工を含むことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記キャリアおよびシートを2つの別々の部分へと小立方体にするステップをさらに含むことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記別々の部分の少なくとも1つが、キャリア部分に結合したままのシート部分を含むことを特徴とする、請求項5に記載の方法。
- 追加的な電子デバイス部品によって、前記別々の部分の少なくとも1つをさらに加工するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項5または6に記載の方法。
- 前記シートの少なくとも一部分であって、その上に前記電子デバイス部品を含む前記シートの少なくとも一部分を、前記キャリアから除去するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シートが300マイクロメートル以下の厚さを有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
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