KR101779586B1 - 플라스틱 기판을 이용한 표시장치 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 그 각각이 절단후 표시장치를 이루는 다수의 표시장치 영역이 정의된 캐리어 기판 상의 전면에 무기물질로 이루어진 접합 완화층을 형성하는 단계와; 상기 접합 완화층 상에 금속물질로서 제 1 폭과 제 1 두께를 갖는 다수의 제 1 접합 강화 패턴을 형성하고, 상기 각 표시장치 영역에 구비된 게이트 및 데이터 패드부에 대응하여 이의 외측으로 상기 제 1 접합 강화 패턴과 동일한 물질로 제 2 폭을 갖는 제 2 접합 강화 패턴을 형성하는 단계와; 상기 제 1 및 제 2 접합 강화 패턴 위로 상기 캐리어 기판 전면에 액상의 플라스틱을 도포하고 열처리하여 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 상기 플라스틱 기판 상의 상기 각 표시장치 영역에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소를 형성하는 단계와; 절단 휠을 이용하여 상기 각 표시장치 영역의 외측을 절단하여 각 표시패널로 분리시키는 단계와; 상기 각 표시패널에 있어 상기 플라스틱 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함하는 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법을 제공한다.

Description

플라스틱 기판을 이용한 표시장치 제조 방법{Method of fabricating display device using flexible plastic substrate}
본 발명은 표시장치의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고가의 레이저 장비를 사용하지 않고 플렉서블한 기판을 캐리어 기판으로부터 용이하게 탈착되도록 하며, 나아가 외부구동회로 부착 시 정렬 불량을 방지할 수 있는 전기영동 표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 표시장치는 액정표시장치, 플라즈마 표시장치 및 유기전계 표시장치가 주류를 이루어 왔다. 그러나, 최근 급속도로 다양화되는 소비자의 욕구를 충족시키기 위해 다양한 형태의 표시장치를 선보이고 있는 상황이다.
특히, 정보 이용 환경의 고도화 및 휴대화에 힘입어 경량, 박형, 고효율 및 천연색의 동영상을 구현하는 데 박차를 가하고 있다. 이러한 일환으로 종이와 기존 표시장치의 장점만을 취합한 전기영동 표시장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있는 상황이다.
전기영동 표시장치는 휴대의 용이성을 장점으로 하는 차세대의 표시장치로 각광받고 있으며, 액정표시장치와 달리 편광판, 백라이트 유닛, 액정층 등을 필요로 하지 않으므로 제조 단가를 줄일 수 있다는 장점이 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 종래의 전기영동 표시장치에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 전기영동 표시장치의 구동 원리를 설명하기 위해 그 구조를 간략히 나타낸 도면이다.
도시한 바와 같이, 종래의 전기영동 표시장치(1)는 제 1 및 제 2 기판(11, 36)과, 상기 제 1 및 제 2 기판(11, 36) 사이에 개재된 잉크층(57)을 포함한다. 상기 잉크층(57)은 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료(59)와 블랙 안료(61)가 채워진 다수의 캡슐(63)을 포함한다.
한편, 상기 제 1 기판(11)에는 다수의 박막트랜지스터(미도시)에 연결된 다수의 화소전극(28)이 화소영역(미도시) 별로 형성되고 있다. 즉, 상기 다수의 화소전극(28)은 선택적으로 (+)전압 또는 (-)전압을 각각 인가받는다. 이때, 상기 화이트 안료(59)와 블랙 안료(61)를 포함한 캡슐(63)의 크기가 일정하지 않을 경우, 선택적으로 일정 크기의 캡슐(63) 만을 선별하여 사용할 수 있다.
전술한 잉크층(57)에 (+) 극성 또는 (-) 극성을 띄는 전압을 인가하게 되면, 캡슐(63) 내부의 하전된 화이트 안료 및 블랙 안료(59, 61)는 반대 극성 쪽으로 끌려가게 된다. 즉, 상기 블랙 안료(61)가 상측으로 이동하면 블랙을 표시하게 되고, 상기 화이트 안료(59)가 상측으로 이동하게 되면 화이트를 표시하게 되는 원리를 이용한 것이다.
이러한 구성을 갖는 전기영동 표시장치(1)는 자연광이나 실내광을 포함하는 외부광을 광원으로 이용하고, 박막트랜지스터(Tr)에 의해 (+)극성 또는 (-)극성을 선택적으로 인가받는 화소전극(28)이 캡슐(63) 내부에 채워진 다수의 화이트 안료(59)와 블랙 안료(61)의 위치 변화를 유도하여 화상 또는 텍스트를 구현하게 된다.
전술한 구성을 갖는 전기영동 표시장치(1)는 크게 2가지의 공정을 진행함으로써 제조할 수 있다. 첫 번째 공정은 박막트랜지스터(Tr)를 포함하는 화소전극(28)이 구성된 어레이 기판(11)을 완성하는 어레이 공정이며, 두 번째 공정은 상기 어레이 기판(11)에 전기영동 필름(60)을 부착함으로써 표시장치(1)를 완성하는 필름 라미네이팅 공정이다.
한편, 이러한 전기영동 표시장치는 저소비전력 및 경량 박형의 특징을 감안하여 주로 전자책 또는 전자 종이로 주로 이용 저소비전력실정이며, 특히 전자 종이로 이용 전력경우 휴대의 용이성을 위한 유연성이 요구되고 있다.
따라서, 최근에는 상기 전기영동 표시장치는 유연성을 극대화하기 위해 10㎛ 내지 200㎛ 정도의 두께를 갖는 플라스틱 재질의 기판을 베이스로 하여 제품화되고 있다. 이렇게 유연성이 뛰어난 플라스틱 재질의 기판을 이용하여 전기영동 표시장치를 제조하는 경우, 플라스틱 기판의 유연한 성질로 인해 단위 공정라인 간의 이용 및 스테이지 상에서 평탄한 상태를 유지하기 어려운 문제 등이 발생함으로써 휨 발생이 작고 스테이지 상에서 평탄한 상태를 유지할 수 있는 별도의 캐리어 기판을 별도로 구비하여 상기 캐리어 기판에 플라스틱 기판을 접착시킨 후, 추후 공정에서 상기 캐리어 기판을 제거하여 유연성이 뛰어난 전기영동 표시장치를 완성하고 있다.
도 2a 내지 도 2d는 종래의 전기영동 표시장치를 제조하는 공정 일부에 대한 공정 단면도이다.
우선, 도 2a에 도시한 바와 같이, 레이저 빔 투과가 가능한 유리재질의 캐리어 기판(5) 상에 레이저 빔 조사에 의해 수소 기체를 발생시켜 플라스틱 재질의 기판과 탈착이 가능하도록 하는 특징을 갖는 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착하여 레이저 어블레이션층(7)을 형성한다.
다음, 도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 어블레이션층(7) 위로 액체상태의 플라스틱을 코팅하고 연속하여 열처리함으로써 플라스틱 기판(11)을 형성한다.
다음, 도 2c에 도시한 바와 같이, 상기 플라스틱 기판(11) 위로 서로 교차하는 다수의 게이트 및 데이터 배선(미도시, 19)과, 박막트랜지스터(Tr) 및 상기 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(22)과 연결된 화소전극(28)을 형성한다. 이때 상기 박막트랜지스터(Tr)와 화소전극(28)을 형성하는 단계를 진행함으로써 전기영동 표시장치용 어레이 기판이 완성된다.
이후, 도 2d에 도시한 바와 같이, 상기 캐리어 기판(5)의 배면으로 레이저 빔 조사장치(99)를 통해 레이저 빔(LB)을 조사하여 상기 어블레이션층(7)을 이루는 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)으로부터 수소(H) 기체가 배출되도록 함으로서 상기 캐리어 기판(5)으로부터 상기 박막트랜지스터(Tr)가 형성된 플라스틱 기판(11)을 탈착시킨다.
이후, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 캐리어 기판(5)으로부터 탈착 처리된 플라스틱 기판(11)에 대해 상기 박막트랜지스터(Tr) 상부로 전기영동 잉크층 및 공통전극을 포함하는 전기영동 필름(미도시)을 라미네이팅 공정을 진행하여 부착하는 단계와 상기 전기영동 필름(미도시) 상부에 보호필름(미도시)을 부착하는 단계를 더욱 진행함으로써 전기영동 표시장치를 완성하고 있다.
하지만, 전술한 바와 같은 단계를 진행하여 완성되는 종래의 전기영동 표시장치는 캐리어 기판(5)으로부터 플라스틱 기판(11)을 탈착하는 단계를 진행 시 고가의 레이저 빔(LB) 조사장치(99)를 이용함으로써 제조 비용의 상승을 초래하고 있으며, 캐리어 기판(5) 전면에 레이저 빔(LB) 조사를 실시하는 시간이 플라스틱 기판(11)의 면적 크기에 따라 달라지지만 10분 내지 30분 정도가 소요됨으로써 상대적으로 단위 시간당 제조 생산성이 저하되고 있다.
또한, 레이저 빔(LB) 조사에 의해 박막트랜지스터(Tr)의 특성 저하를 초래하거나 또는 게이트 및 데이터 배선(미도시, 19)이 단선을 초래하는 등의 불량을 야기 시킴으로써 제품 생산 수율이 저하되고 있는 실정이다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 고가의 레이저 빔 조사장치 사용없이 캐리어 기판으로부터 플렉서블한 플라스틱 기판을 탈착시켜 제조 비용을 저감시키고, 단위 시간당 제조 시간을 단축시키며, 레이저 빔 조사에 의해 야기되는 불량을 방지하여 제품의 생산 수율을 향상시킬 수 있는 전기영동 표시장치의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법은, 그 각각이 절단후 표시장치를 이루는 다수의 표시장치 영역이 정의된 캐리어 기판 상의 전면에 무기물질로 이루어진 접합 완화층을 형성하는 단계와; 상기 접합 완화층 상에 금속물질로서 제 1 폭과 제 1 두께를 갖는 다수의 제 1 접합 강화 패턴을 형성하고, 상기 각 표시장치 영역에 구비된 게이트 및 데이터 패드부에 대응하여 이의 외측으로 상기 제 1 접합 강화 패턴과 동일한 물질로 제 2 폭을 갖는 제 2 접합 강화 패턴을 형성하는 단계와; 상기 제 1 및 제 2 접합 강화 패턴 위로 상기 캐리어 기판 전면에 액상의 플라스틱을 도포하고 열처리하여 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 상기 플라스틱 기판 상의 상기 각 표시장치 영역에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소를 형성하는 단계와; 절단 휠을 이용하여 상기 각 표시장치 영역의 외측을 절단하여 각 표시패널로 분리시키는 단계와; 상기 각 표시패널에 있어 상기 플라스틱 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함한다.
또한, 상기 캐리어 기판은 유리 재질이며, 상기 무기물질은 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)이며, 상기 금속물질은 몰리브덴(Mo), 몰리텅스텐(MoW), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 몰리티타늄(MoTi), 비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO), 인듐-갈륨-징크-옥사이드(IGZO) 중 어느 하나인 것이 특징이며, 이때, 상기 제 1 폭은 1㎛ 내지 500㎛이며, 상기 제 2 폭은 0.5㎛ 내지 5㎛이며, 상기 제 1 두께는 50Å 내지 150Å이며, 상기 캐리어 기판 전면에 대해 상기 제 1 접합 강화 패턴 외측으로 노출된 상기 접합 완화층의 면적 대 상기 제 1 접합 강화패턴의 면적비는 90:10 내지 99:1인 것이 특징이다. 또한, 상기 접합 완화층과 상기 제 1 및 제 2 접합 강화패턴을 개재하여 접합된 상기 캐리어 기판과 상기 플라스틱 기판과의 평균적인 접합력은 10gf/㎠ 내지 100gf/㎠인 것이 특징이다.
또한, 상기 제 1 접합 강화 패턴은, 상기 캐리어 기판 상에 표시장치 영역 외측으로 상기 표시장치 영역을 테두리하는 형태, 다수의 이격하는 스트라이프 형태, 다수의 개구를 갖는 격자 형태 중 어느 하나의 형태를 갖도록 형성하는 것이 특징이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법은, 그 각각이 절단 후 표시장치를 이루는 다수의 표시장치 영역과 이의 외측으로 제거영역이 정의된 캐리어 기판 상에 아미노 실란계 물질과 유기 솔벤트로 구성된 접합 개선제를 부분적으로 도포함으로써 특정 형태를 갖는 제 1 접합 개선 패턴과, 상기 각 표시장치 영역 내에 구비된 게이트 및 데이터 패드부에 대응하여 이의 외측으로 상기 제 1 접합 개선 패턴과 동일한 물질로 이루어진 제 2 접합 개선 패턴을 형성하는 단계와; 상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴 위로 상기 캐리어 기판 전면에 액상의 플라스틱을 도포하고 열처리하여 플라스틱 기판을 형성하는 단계와; 상기 플라스틱 기판 상의 상기 각 표시장치 영역에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소를 형성하는 단계와; 절단 휠을 이용하여 상기 각 표시장치 영역의 외측을 절단하여 각 표시패널로 분리시키는 단계와; 상기 각 표시패널에 있어 상기 플라스틱 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 분리시키는 단계를 포함한다.
또한, 상기 플라스틱 기판을 형성하기 이전에 상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴을 건조시키는 단계를 포함한다.
또한, 상기 접합 개선제는 상기 아미노 실란계 물질 0.1중량% 내지 10 중량%와 유기 솔벤트 90중량% 내지 99.9중량%로 구성된 것이 특징이다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴은 상기 접합 개선제를 시린지, 붓, 롤러 중 어느 하나의 수단을 이용하여 형성하며, 상기 제 1 접합 개선 패턴은 상기 표시장치 영역 외측의 제거영역 전면에 형성하거나, 상기 표시장치 영역을 테두리 하는 형태로 형성하거나, 상기 표시장치 영역 및 제거영역의 구분없이 상기 캐리어 기판 전면에 다수의 스트라이프 형태, 격자 형태를 갖도록 형성하는 것이 특징이다.
또한, 상기 절단 휠을 이용한 절단 시 절단된 부분인 상기 각 표시패널의 테두리를 따라 1mm 내지 2mm 폭에 대응하여 상기 플라스틱 기판이 상기 캐리어 기판으로부터 분리되는 들뜸이 발생하며, 상기 각 표시패널의 게이트 및 데이터 패드부에 대응해서는 상기 게이트 및 데이터 패드부 외측에 구비된 상기 제 2 접합 강화패턴에 의해 들뜸이 방지되는 것이 특징이다.
또한, 상기 플라스틱 기판 상의 상기 각 표시장치 영역에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소를 형성하는 단계는, 상기 플라스틱 기판 위로 상기 각 표시장치 영역에 대응하여 절연막을 개재하여 서로 교차하여 다수의 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 박막트랜지스터와, 상기 게이트 패드부에 상기 게이트 배선과 연결된 게이트 패드 및 제 1 얼라인 마크와, 상기 데이터 패드부에 상기 데이터 배선과 연결된 데이터 패드 및 제 2 얼라인 마크를 형성하는 단계와; 상기 각 표시장치 영역 내의 각 화소영역에 상기 박막트랜지스터와 연결된 화소전극을 형성하는 단계와; 각 표시장치 영역 내의 화상을 표시하는 표시영역에 대응하여 상기 게이트 및 데이터 패드부를 노출시키며 전기영동 필름을 부착하는 단계와; 상기 게이트 및 데이터 패드부에 상기 제 1 및 제 2 얼라인 마크를 이용하여 정렬한 후 외부 구동회로기판을 본딩하는 단계를 포함한다. 이때, 상기 전기영동필름은 베이스 필름과, 상기 베이스 필름 하부로 순차 적층된 형태의 공통전극과, 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료와 블랙 안료가 채워진 다수의 캡슐을 포함하는 잉크층과, 점착층을 포함하여 구성되며, 상기 전기영동필름을 부착하는 단계는, 상기 잉크층이 상기 공통전극과 상기 화소전극 사이에 위치하며 상기 점착층과 상기 화소전극이 접촉되도록 부착하는 것이 특징이다.
또한, 상기 외부 구동회로기판을 본딩하는 단계 이전에 상기 전기영동 필름 위로 컬러필터층을 형성하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 플라스틱 기판과 상기 캐리어 기판의 분리는, 화상 구현을 위한 다수의 구성요소 구비된 상기 플라스틱 기판의 일 끝단 표면을 밀착 고정수단을 이용하여 밀착 고정시킨 상태에서 일측으로 힘을 가함으로서 이루어지거나, 작업자가 직접 수작업을 통해 이루어지는 것이 특징이다.
본 발명에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법은 레이저 빔 조사장치를 통한 레이저 빔의 조사없이 캐리어 기판으로부터 플라스틱 기판을 탈착시킴으로서 고가의 레이저 빔 조사장치를 필요로 하지 않으므로 초기 시설 투자 비용 삭제에 의한 제품의 제조 비용을 저감시키는 효과가 있다.
또한, 레이저 빔 조사에 의한 박막트랜지스터의 특성 저하 및 배선의 단선이 발생하는 등의 불량을 원천적으로 방지할 수 있으므로 수율을 향상시키는 효과가 있다.
절단공정 진행 후 바로 수초 이내로 캐리어 기판으로부터 분리됨으로서 단위 시간 당 플라스틱 기판의 분리시간이 종래대비 수십 배 단축됨으로서 단위 시간당 제품 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
또한, 외부 구동회로기판이 부착되는 게이트 및 데이터 패드부에 대응하여 이의 외측으로 절단 시 플라스틱 기판의 들뜸을 방지하는 접착력 강화 패턴이 구비됨으로서 상기 게이트 및 데이터 패드부에 대응하는 부분에 대해서는 플라스틱 기판의 들뜸이 방지되어 외부 구동회로기판을 부착 시 들뜸에 의해 발생되는 정렬 마크 인식 불량에 기인한 정렬 불량을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 전기영동 표시장치의 구동 원리를 설명하기 위한 도면.
도 2a 내지 도 2d는 종래의 전기영동 표시장치를 제조하는 공정 일부에 대한 공정 단면도.
도 3a 내지 3h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 전기영동 표시장치의 제조 단계별 공정 단면도.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전기영동 표시장치에 있어 캐리어 기판 상에 형성되는 제 1 및 제 2 접합 강화 패턴의 평면 형태를 도시한 도면.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 전기영동 표시장치의 제조 단계별 공정 단면도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 전기영동 표시장치의 제조방법에 대해 설명하도록 한다.
우선, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 전기영동 표시장치의 제조 방법에 있어 캐리어 기판과 플라스틱 기판간의 접합력 조절을 조절에 이용되는 무기물질 및 금속물질의 특성에 대해 설명한다.
표 1은 플라스틱 기판과 각 물질간의 접촉각 및 접합력을 측정한 것이다.
물질층 접촉각(도) 접합력(gf/㎠)
산화실리콘(SiO2) 52.4 3.39
질화실리콘(SiNx) 48.1 3.85
비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO) 6.2 554.68
알루미늄합금(AlNd) 5.6 132.82
구리(Cu) 2.5 측정불가(600이상)
몰리티타늄(MoTi) 8.7 328.54
표 1을 참조하면, 플라스틱 기판(도 3c의 110)과 무기물질 예를 들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)의 접촉각은 상대적으로 매우 큰 각을 가지며 금속물질은 상대적으로 작은 값을 가짐을 알 수 있다. 즉, 플라스틱 기판(도 3c의 110) 표면에 대한 무기물질의 접촉각은 모두 45도 이상 큰 각도를 이룸으로써 표면에 대한 응집력이 약한 상태를 나타내고 있다. 따라서 플라스틱 기판(도 3c의 110)과의 접합력은 5gf/㎠ 보다 작은 값을 갖는다.
한편, 플라스틱 기판(도 3c의 110) 표면에 대한 금속물질 예를 들면 비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 몰리티타늄(MoTi)은 모두 10도 보다 작은 접촉각을 가지며, 이러한 특성에 의해 상기 플라스틱 기판(도 3c의 110)과의 접합력은 모두 100gf/㎠ 보다 큰 값을 가짐을 알 수 있다.
따라서 이러한 플라스틱 기판(도 3c의 110)에 대한 무기물질과 금속물질간의 접합력 차이를 이용하여 상기 무기물질과 금속물질이 적절한 면적 비율(99:1 내지 90:10)이 되도록 상기 접합 완화층(도 3a의 102)과 접합 강화패턴(105)을 형성함으로써 상기 캐리어 기판(도 3a의 101)과 상기 플라스틱 기판(도 3c의 110)간의 전체적인 접합력을 조절할 수 있는 것이다.
본 발명의 제 1 실시예서와 같이 플라스틱 기판(도 3c의 110)과의 비교적 약한 접합력을 갖는 무기물질로 이루어진 접합 완화층(102)과 비교적 강한 접합력을 갖는 금속물질로 이루어진 접합 강화패턴(105)의 면적비가 99:1 내지 90:10 정도가 되도록 형성하는 경우, 전체 플라스틱 기판(도 3c의 110)과 캐리어 기판(도 3a의 101)간의 접합력은 약 10gf/㎠ 내지 100gf/㎠ 정도가 되며, 본 발명에 있어서는 상기 접합 완화층(도 3a의 102)과 접합 강화패턴(도 3a의 105)의 면적비를 더욱 적절히 조절하여 상기 캐리어 기판과 추후 형성된 플라스틱 기판(도 3c의 110)간의 평균적인 접합력이 가장 적정하게 20gf/㎠ 정도가 되도록 하는 것이 특징이다.
한편, 비교예로서 시중에서 판매되고 있는 포트스 잇(post it)의 접합력은 평균적으로 23gf/㎠ 내지 26gf/㎠ 정도가 되며, 3M사의 불투명 테이프의 접합력은
190gf/㎠ 내지 200gf/㎠정도가 되고 있다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조 방법에 있어, 캐리어 기판(도 3a의 101) 상에 접합 완화층(도 3a의 102) 및 접합 강화패턴(도 3a의 105)의 면적비를 적절히 하여 형성할 경우 20gf/㎠정도가 되며, 이는 포스트 잇 정도의 접합력이 되므로 공정 진행중에는 상기 캐리어 기판(도 3a의 101)으로부터의 플라스틱 기판(도 3c의 110)의 들뜸 및 분리가 방지되며 공정이 완료된 후 작업자의 수작업 또는 클램프 등의 기구를 이용하여 손쉽게 상기 캐리어 기판(도 3a의 101)으로부터 상기 전기영동 소자가 구비된 플라스틱 기판(도 3c의 110)을 분리시킬 수 있다.
한편, 유리재질로 이루어진 캐리어 기판(도 3a의 101)의 표면은 매우 평탄한 구조를 가지므로 플라스틱 기판(도 3c의 110)과의 접합력이 통상적으로 7gf/㎠ 내지 8gf/㎠ 정도가 되어 비교적 약한 접합에 의해 부착된 상태를 이루게 됨으로서 상기 유리재질의 캐리어 기판(도 3a의 101) 상에 상기 접합력 강화패턴(도 3a의 105)을 형성하지 않는 경우, 단위 공정 진행 시 부분적으로 분리이 이루어져 패터닝 불량 또는 상기 플라스틱 기판의 찢김 등의 불량 등을 초래한다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에서는 유리재질로 이루어진 상기 캐리어 기판(도 3a의 101) 보다 거친 표면을 가져 상기 유리재질의 캐리어 기판(도 3a의 101)보다 플라스틱 기판(도 3c의 110)과의 접합력이 우수한 금속물질로서 그 각각이 1㎛ 내지 500㎛정도의 폭을 갖는 제 1 접합 강화패턴(도 3a의 105)을 전체 캐리어 기판(도 3a의 101)의 면적 대비 10% 이하가 되도록 형태로 형성하고, 상기 제 2 접합 강화패턴(도 3a의 105) 형성되는 이외의 영역에는 상기 유리 재질의 캐리어 기판(도 3a의 101)보다 더 작은 접합력을 갖는 무기물질로서 상기 전체 캐리어 기판(도 3a의 101) 면적 대비 90%이상이 되도록 형성함으로써 캐리어 기판(도 3a의 101)과 플라스틱 기판(도 3c의 110)간의 전체적인 접합력이 10gf/㎠ 내지 100gf/㎠정도가 되도록 하여 전술한 문제점을 해결한 것이다.
나아가, 본 발명의 제 1 실시예에서는 제 2 접합 강화패턴을 각 표시장치 영역의 게이트 및 데이터 패드부가 형성된 측면 외측에 형성함으로써 상기 각 표시장치 영역의 게이트 및 데이터 패드부에 대해서는 절단 시 발생하는 플라스틱 기판의 들뜸을 방지함으로써 외부 구동회로기판 부착을 위한 얼라인 마크 인식 불량을 발생을 억제한 것이 특징이다.
이후에는 전술한 특성을 갖는 무기물질 및 금속물질을 이용하여 캐리어 기판상에 각각 접합 완화층 및 제 1 및 제 2 접합 강화패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조 방법에 대해 설명한다.
<제 1 실시예>
도 3a 내지 3h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블한 플라스틱 기판이 구비된 전기영동 표시장치의 제조 단계별 공정 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 박막트랜지스터 등의 어레이 소자가 형성되어 추후 절단 공정 진행 후 각 단위 전기영동 표시장치를 이루는 부분에 대해서는 표시장치 영역이라 정의하며 상기각 표시장치 영역 외측으로 절단 공정 진행 후 제거되는 부분은 제거영역, 상기 각 표시장치 영역 중 게이트 및 데이터 패드가 형성되는 부분을 게이트 및 데이터 패드부라 정의하며, 상기 게이트 및 데이터 패드부를 통치하여 패드부라 정의한다.
우선, 도 3a에 도시한 바와 같이, 캐리어 기판(101) 예를들면 유리재질의 기판 상에 무기물질 예를 들면 산화실리콘(SiO2), 질화실리콘(SiNx)을 전면에 증착함으로서 접합 완화층(102)을 형성 한다.
다음, 도 3b에 도시한 바와 같이, 상기 접합 완화층(102) 위로 금속물질 예를들면 몰리브덴(Mo), 몰리텅스텐(MoW), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 몰리티타늄(MoTi), 비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO), 인듐-갈륨-징크-옥사이드(IGZO) 중 어느 하나를 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성하고, 상기 제 1 금속층(미도시)에 대해 포토레지스트의 도포, 노광 마스크를 이용한 노광, 포토레지스트의 현상, 식각, 포토레지스트의 스트립(strip) 등의 일련의 단위 공정을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 상기 접합 완화층(102)을 노출시키는 다수의 개구를 갖는 격자 형태(도 4c 참조), 다수의 스트라이프 타입의 바(bar) 형태(도 4b 참조), 각 표시장치 영역(DA)을 테두리 하는 형태(도 4a 참조)를 갖는 제 1 접합 강화패턴(105)을 형성하고, 각 표시장치 영역(DA) 중 게이트 패드와 데이터 패드가 형성되는 게이트 및 데이터 패드부(PA)에 대응하여 이의 외측으로 0.5㎛ 내지 5㎛ 정도의 폭을 갖는 제 2 접착 강화패턴(106)을 형성한다.
이때, 상기 제 1 접합 강화패턴(105) 각각은 그 폭이 1㎛ 내지 500㎛정도가 되며, 그 두께는 50Å 내지 150Å정도가 되도록 형성하는 것이 특징이다. 상기 제 1 접합 강화패턴(105)의 폭을 1㎛ 내지 500㎛의 범위를 갖도록 형성한 이유는 추후 형성되는 플라스틱 기판(도 3c의 110)의 분리 시 강한 접합력에 의해 찢김이 발생하지 않도록 하기 위함이다. 이때, 상기 제 1 접착 강화패턴(105)의 폭은 그 형성 형태에 따라 달라지게 된다. 상기 표시장치 영역(DA)의 외측에 대해서만 형성되는 경우(도 4a 참조) 수 십 ㎛ 이상의 폭 크기를 가지며 형성되며, 표시장치 영역(DA)에 관계없이 다수의 개구를 갖는 격자형태(도 4c 참조) 또는 스트라이프 형태(도 4b 참조)로 형성되는 경우 표시장치 영역(DA)을 관통하는 부분이 발생하며 표시장치 영역(DA) 외측에 대해서만 형성되는 형태 대비 상대적으로 제 1 접착 강화패턴(105)간 이격간격이 매우 작아짐으로서 그 폭은 수 내지 수십 ㎛ 정도가 될 수 있다.
한편, 상기 각 제 1 접합 강화패턴(105)의 폭을 500㎛보다 더 넓은 폭을 갖도록 형성하는 경우 단위 면적당 비교적 강하게 접합되는 부분이 넓어짐으로써 탈착 시 더욱 큰 힘 즉, 인장력을 가해져야 한다. 이 경우 캐리어 기판(101)으로부터 분리 시 플라스틱 기판(도 3c의 110)에 가해지는 인장력이 순간적으로 플라스틱 기판(도 3c의 110)의 파열강도보다 크게 될 수 있다. 따라서 이러한 플라스틱 기판(도 3c의 110)의 찢김이 발생할 수 있으므로 이러한 것을 방지하기 위해 각 제 1 접합 강화패턴(105)의 폭이 500㎛ 이하로 형성되도록 한 것이다.
또한, 제 2 접합 강화패턴(106)의 경우 그 폭을 0.5㎛ 내지 5㎛정도가 되도록 형성한 것은, 상기 게이트 및 데이터 패드부(PA)에 인접한 부분에 대해서는 절단 공정 후 플라스틱 기판(도 3c의 110)이 캐리어 기판(101)으로부터 들뜰 발생을 방지하기 위함이다.
상기 게이트 및 데이터 패드부(PA)에는 외부 구동회로기판이 각각 게이트 및 데이터 패드와 도통될 수 있도록 부착되는데, 외부 구동회로기판이 게이트 및 데이터 패드와 정확한 위치에서 부착될 수 있도록 추후 공정에서 다수의 얼라인 마크(미도시)가 형성된다.
한편, 각 표시장치 영역(DA) 단위로 절단 공정을 진행하며 절단선을 따라 절단 시 가해진 압력 등에 의해 절단된 부분의 끝단으로부터 1mm 내지 2mm 정도의 폭에 대응하는 부분의 플라스틱 기판(110)이 캐리어 기판(101)으로부터 자동적으로 떨어지게 되는 들뜸이 발생하게 된다.
이렇게 절단공정 후 자연적으로 발생하는 플라스틱 기판(110)의 들뜸을 이용하여 캐리어 기판(101)으로부터의 플라스틱 기판(110)의 분리를 용이하게 할 수 있게 되지만, 추후 진행되는 게이트 및 데이터 패드부(PA)에의 외부구동회로 기판 부착 시 들뜸이 발생한 부분에 얼라인 마크(미도시)가 형성되고 있으므로 얼라인 마크 인식 불량이 자주 발생되며 이로 인해 외부 구동회로기판 본딩 불량이 발생하게 된다.
따라서 이러한 외부 구동회로기판의 본딩 불량을 방지하기 위해 본 발명의 제 1 실시예에서는 각 표시장치 영역(DA)에 있어 게이트 및 데이터 패드부에 대응하는 영역 외측으로 소정 폭을 갖는 제 2 접합 강화패턴(106)을 형성하여 플라스틱 기판(110)의 들뜸을 방지하도록 한 것이 특징이다.
이때, 상기 제 2 접합 강화패턴(106)의 경우 절단 시 발생하는 플라스틱 기판(110)의 들뜸만을 방지하면 되므로 절단 시 가해지는 압력에 의한 플라스틱 기판(110)의 들뜸만을 방지할 수 있을 정도의 접합력만을 가지면 되므로 이를 반영하여 그 폭이 0.5㎛ 내지 5㎛정도의 폭을 이루게 된 것이 특징이다.
한편, 상기 제 1 접합 강화패턴(105)은 도 4a 내지 도 4c(본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라스틱 기판이 구비된 전기영동 표시장치의 제조에 사용되는 캐리어 기판에 구비된 제 1 접합 강화패턴의 평면 형태를 도시한 도면으로서 절단 공정 진행시 절단되는 절단라인과 제 2 접합 강화패턴을 함께 도시함)에 도시한 바와 같이 다양한 형태를 이룰 수 있다.
상기 제 1 접합 강화패턴(105)은 그 평면 형태가, 도 4a에 도시한 바와 같이, 상기 캐리어 기판(101) 상에 추후 형성될 플라스틱 기판(미도시) 상의 다수의 표시장치 영역(DA) 각각의 외측으로 상기 각 표시장치 영역(DA)과 소정간격 이격하여 테두리하는 형태로 형성될 수도 있으며, 도 4b에 도시한 바와 같이, 상기 캐리어 기판(101) 전면에 표시장이 영역(DA)과 제거영역(CA)의 구분없이 다수의 이격하는 바(bar) 형태를 가져 일정간격 이격하는 스트라이프(strip) 타입으로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 제 1 접합 강화패턴(105)은, 도 4c에 도시한 바와 같이, 캐리어 기판(101) 전면에 표시장치 영역(DA)에 관계없이 이러한 표시장치 영역(DA)의 면적보다 작은 면적을 갖는 다수의 개구를 갖는 격자 형태로 형성될 수도 있으며, 도면에 제시된 것 이외에 다양한 형태를 가질 수 있다.
이때, 상기 캐리어 기판(201)에 있어서 상기 각 제 1 접착 강화패턴(105) 사이에는 무기물질로 이루어진 접합 완화층(102)이 노출되고 있는 것이 특징이며, 상기 캐리어 기판(201)에 있어 상기 접제 1 합 강화패턴(105)이 형성된 부분이 차지하는 면적 비율 즉, 상기 제 1 접합 강화패턴(105) 외측으로 노출된 상기 접합 완화층(102)과 상기 제 1 접합 강화패턴(105)의 면적 비율이 99:1 내지 90:10 정도의 범위를 갖도록 상기 제 1 접착 강화패턴(105)이 형성되는 바람직하다.
한편, 이렇게 캐리어 기판(101)상에 무기물질로 접합 완화층(102)을 형성하고, 그 상부로 금속물질로서 소정의 폭과 두께를 갖는 다수의 제 1 접합 강화패턴(105)을 형성한 것은 전기영동 표시장치의 제조 중에는 상기 캐리어 기판(101)으로부터 추후 형성된 플라스틱 기판(도 3c의 110)이 부착된 상태를 유지하고, 상기 플라스틱 기판(도 3c의 110)을 이용하는 상기 전기영동 소자를 완성한 이후에는 상기 캐리어 기판(101)으로부터 상기 전기영동 소자가 구비된 상기 플라스틱 기판(도 3c의 110)을 레이저 빔 등의 조사없이 클램프 등의 간단한 기구를 이용하거나, 또는 작업자의 수작업에 의해 용이하게 분리될 수 있도록 하기 위함이다.
또한, 각 표시장치 영역(DA)의 게이트 및 데이터 패드부(PA)에 대응하여 이의 외측으로 상기 제 1 접합 강화패턴(105)과는 별도로 소정 폭을 갖는 제 2 접합 강화패턴(106)을 형성한 것은 각 표시장치 영역(DA)별로 캐리어 기판(101)과 이에 부착된 플라스틱 기판(도 3c의 110)을 절단 시 발생하는 1mm 내지 2mm 정도의 플라스틱 기판(도 3c의 110)의 들뜸을 방지하기 위한 것이다.
각 표시장치 영역(DA)의 게이트 및 데이터 패드부(PA) 이외의 영역에 대해서는 제 2 접합 강화패턴(106)은 형성되지 않으므로 상기 게이트 및 데이터 패드부(PA)가 형성된 2개의 측면(전기영동 표시장치의 모델에 따라 게이트 및 데이터 패드부가 하나의 면에 형성될 수도 있으며, 또는 3개의 면에 형성될 수도 있으며, 본 발명의 제 1 실시예에 있어서는 2개의 면에 형성됨을 일례로 도시함)을 제외한 나머지 2개의 측면에 대해서는 절단선을 기준으로 1mm 내지 2mm 정도의 폭에 대해서는 플라스틱 기판(도 3c의 110)의 들뜸이 발생하게 되므로 이를 이용하여 플라스틱 기판(도 3c의 110)을 용이하게 제거할 수 있으므로 상기 제 2 접합 강화패턴(106)이 구비된다 하더라도 플라스틱 기판(도 3c의 110)의 분리시에는 문제되지 않는다.
다음, 도 3c에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 및 제 2 접합 강화패턴(105, 106)과 접합 완화층(102) 위로 전면에 액체 상태의 플라스틱 물질을 도포하여 플라스틱층(미도시)을 형성하고, 열처리를 실시함으로서 상기 플라스틱층(미도시)을 경화시켜 플라스틱 기판(110)을 이루도록 한다. 이때, 상기 플라스틱 기판(110)은 그 두께가 10㎛ 내지 100㎛ 정도가 되는 것이 특징이다.
다음, 도 3d에 도시한 바와 같이, 상기 플라스틱 기판(110) 위로 게이트 절연막(120)을 개재하여 서로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(129)을 형성하고, 동시에 각 표시장치 영역(DA)의 게이트 및 데이터 패드부(PA)에는 상기 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(129)의 일끝단과 연결되는 각각 게이트 패드(117) 및 데이터 패드(미도시)를 형성하고, 나아가 상기 게이트 패드(117) 및 데이터 패드(미도시)와 인접하여 일정 간격 이격하며 외부 구동회로기판 정렬 용 얼라인 마크(미도시)를 형성한다.
또한, 상기 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(129)으로 둘러싸인 각 화소영역에 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(129)과 연결된 박막트랜지스터(Tr)를 형성한다.
조금 더 구체적으로 게이트 및 데이터 배선(미도시, 129)과 박막트랜지스터(Tr)를 형성하는 제조 공정에 대해 설명하면, 상기 플라스틱 기판(110) 위로 제 1 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 크롬(Cr), 티타늄 합금 중 어느 하나를 증착하여 제 1 금속층(미도시)을 형성한 후, 이를 패터닝함으로써 각 표시장치 영역(DA) 내에 일 방향으로 연장하는 게이트 배선(미도시)을 형성하고, 게이트 패드부(PA)에 상기 게이트 배선(미도시)과 연결된 게이트 패드(117)를 형성한다. 동시에 각 표시장치 영역(DA) 내에 상기 게이트 배선(미도시)과 연결된 게이트 전극(113) 및 제 1 스토리지 전극(115)을 형성한다. 이때, 상기 제 1 스토리지 전극(115)은 상기 게이트 배선(미도시)과 나란하게 공통배선(미도시)을 형성함으로써 상기 공통배선 (미도시)의 일부로 이루어지거나, 또는 게이트 배선(미도시) 더욱 정확히는 전단의 화소영역에 관여하는 게이트 배선(미도시) 자체로 이루어질 수도 있다. 도면에서는 공통배선(미도시)이 형성됨으로써 상기 공통배선(미도시) 일부가 제 1 스토리지 전극(115)을 형성함을 일례로 보이고 있다.
다음, 상기 게이트 배선(미도시), 게이트 전극(113) 및 제 1 스토리지 전극(115) 위로 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착하여 게이트 절연막(120)을 형성한다.
이후, 상기 게이트 절연막(120) 위로 순수 비정질 실리콘과 불순물 비정질 실리콘을 연속하여 증착함으로써 순수 비정질 실리콘층(미도시)과 불순물 비정질 실리콘층(미도시)을 형성하고, 이를 마스크 공정을 실시함으로써 패터닝하여 상기 각 게이트 전극(113)에 대응하여 액티브층(125a)과 그 상부로 불순물 비정질 실리콘 패턴(125b)을 형성한다.
다음, 상기 액티브층(125a)과 불순물 비정질 실리콘패턴(125b)과 상기 게이트 절연막(120) 위로 제 2 금속물질 예를들면 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 티타늄 합금, 알루미늄 합금(AlNd) 중 어느 하나를 증착하여 전면에 제 2 금속층(미도시)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 각 표시장치 영역(DA) 내에 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하는 데이터 배선(129)을 형성하고, 각 데이터 패드부(미도시)에 상기 데이터 배선의 일끝단과 연결된 데이터 패드(미도시)를 한다. 또한 각 표시장치 영역(DA)내의 각 게이트 패드부(PA) 및 데이터 패드부(미도시)에 일정간격 이격하는 다수의 외부 구동회로기판 정렬용 얼라인 마크(미도시)를 형성한다.
또한 동시에 각 표시장치 영역(DA) 내의 각 화소영역에는 상기 불순물 비정질 실리콘패턴(125b) 위에서 서로 이격하는 형태로 소스 및 드레인 전극(130, 132)을 형성하며, 상기 제 1 스토리지 전극(115)에 대응하여 상기 드레인 전극(132)과 연결된 제 2 스토리지 전극(134)을 형성함으로서 서로 중첩하는 상기 제 1 스토리지 전극(115)과 게이트 절연막(120)과 제 2 스토리지 전극(134)은 스토리지 커패시터(StgC)를 이루도록 한다. 이때, 상기 소스 전극(130)은 상기 데이터 배선(129)과 연결되도록 한다.
이후, 드라이 에칭을 진행함으로써 상기 소스 및 드레인 전극(130, 132) 사이의 불순물 비정질 실리콘 패턴(125b)을 제거함으로써 상기 소스 및 드레인 전극(130, 132) 사이로 상기 액티브층(125a)이 노출되도록 하고, 상기 액티브층(125a) 상부로 각각 소스 및 드레인 전극(130, 132)과 접촉하며 서로 이격하는 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층(125c)을 형성한다. 이때, 상기 액티브층(125a)과 그 상부에서 서로 이격하는 오믹콘택층(125b)은 반도체층(125)을 이룬다.
한편, 각 화소영역 내에 순차 적층 형성된 상기 게이트 전극(113)과 게이트 절연막(120)과 반도체층(125)과 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(130, 132)은 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Tr)를 이룬다.
다음, 상기 데이터 배선(129)과 소스 및 드레인 전극(130, 132)과 제 2 스토리지 전극(134) 위로 전면에 유기절연물질 예를들면 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB)을 도포하여 그 표면이 평탄한 상태를 갖는 제 1 보호층(140)을 형성한다. 이때, 상기 제 1 보호층(140)을 형성하기 전, 상기 박막트랜지스터(Tr) 위로 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착함으로써 제 2 보호층(미도시)을 우선적으로 형성하고, 연속하여 상기 제 1 보호층(140)을 형성할 수도 있다.
이후, 상기 제 1 및 제 2 보호층(140, 미도시)을 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 상기 박막트랜지스터(Tr)의 드레인 전극(132)을 노출시키는 드레인 콘택홀(142)과 상기 게이트 및 데이터 패드를 각각 노출시키는 패드홀(143)을 형성한다. 이때, 변형예로써 유기절연물질로 이루어진 상기 제 1 보호층(140) 위로 무기절연물질을 증착함으로써 제 3 보호층(미도시)을 더욱 형성할 수도 있으며, 이 경우 드레인 콘택홀(142) 및 패드홀(143) 형성을 위한 패터닝 공정은 상기 제 3 보호층(미도시)을 형성 후 진행하게 된다.
이렇게 유기절연물질로 제 1 보호층(140) 이외에 제 2 및 제 3 보호층(미도시)을 형성하는 이유는 박막트랜지스터(Tr)의 특성 향상 및 추후 형성될 화소전극(도 3h의 150)과의 접합력을 강화시키기 위해서이다. 유기절연물질과 도전성 물질과의 접합력은 유기절연물질과 무기절연물질간의 접합력과 무기절연물질과 도전성 물질간의 접합력보다 약하기 때문에 유기절연물질과 도전성 물질 사이에 무기절연물질층을 개재함으로써 접합특성을 향상시킬 수 있다.
또한, 소스 및 드레인 전극(130, 132) 사이로 노출되는 액티브층(125a)은 그 표면이 유기절연물질과 접촉 시에 그 계면 특성이 좋지 않게 되므로 특성 저하가 발생할 수 있으며 이를 방지하기 위해 계면 특성이 우수한 무기절연물질을 개재함으로써 특성 향상을 도모하기 위함이다.
다음, 상기 제 1 보호층(140)(또는 변형예의 경우 제 3 보호층(미도시)) 위로 투명 도전성 물질 예를들어 인듐-틴-옥사이드(ITO), 인듐-징크-옥사이드(IZO) 및 인듐-틴-징크-옥사이드(ITZO) 중 하나를 증착함으로써 도전성 물질층(미도시)을 형성한다.
이후, 상기 도전성 물질층(미도시)을 패터닝함으로써 상기 드레인 콘택홀(142)을 통해 상기 드레인 전극(132)과 접촉하는 화소전극(150)을 형성하고, 동시에 패드홀을 통해 게이트 및 데이터 패드와 각각 접촉하는 게이트 및 데이터 보조패드를 형성한다.
다음, 도 3e에 도시한 바와같이, 상기 화소전극(150) 위로 상기 각 표시장치 영역(DA)의 실제 화상을 표시하는 표시영역에 대응하여 투명하고 유연한 특성을 갖는 재질 예를들면 PET로 이루어진 베이스 필름(160)과, 그 하부로 투명 도전성 물질로 전면에 형성된 공통전극(163)과, 그 하부로 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료(166)와 블랙 안료(168)가 채워진 다수의 캡슐(170)을 포함하는 잉크층(173)과, 그 하부로 제 1 점착층(175)을 포함하는 전기영동 필름(177)을 상기 잉크층(173)이 상기 공통전극(163)과 상기 화소전극(150) 사이에 위치하며 상기 제 1 점착층(175)과 상기 화소전극(150)이 접촉되도록 부착한다. 이때, 상기 전기영동 필름은 각 표시장치 영역(DA)에 있어서 게이트 패드부(PA)와 데이터 패드부(미도시)에 대해서는 각각 게이트 보조패드(151) 및 데이터 보조패드(미도시)가 노출되도록 부착되는 것이 특징이다.
한편, 상기 전기영동 필름(177)을 부착한 후에는 상기 전기영동 필름(177) 상에 각 화소영역(P)에 대응하여 순차적으로 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴이 반복되는 형태로 컬러필터층(180)을 형성하고, 상기 컬러필터층(180) 위로 상기 컬러필터층(180)의 보호를 위한 보호필름(182)을 더욱 부착함으로써 풀컬러 화상 표시가 가능한 표시장치를 이루도록 할 수도 있다.
다음, 도 3f에 도시한 바와 같이, 각 표시장치 영역(DA) 별로 상기 전기영동 필름(177)이 부착된 상태에서 절단 휠(185)을 포함하는 스크라이브 장치(미도시)를 이용하여 상기 각 표시장치를 이루는 영역 외측에 위치하는 절단라인(도 4a, 4b, 4c의 SL)을 따라 절단공정을 진행함으로서 각 표시장치 영역(DA) 단위로 분리한다. 이후 설명의 편의를 위해 각 표시장치 영역(DA) 단위로 분리된 것을 단위 표시패널이라 칭한다.
이때, 이러한 절단공정 진행 시 상기 절단 휠(197)에 의해 절단된 각 단위 표시패널의 절단면에 있어서 상기 플라스틱 기판(110)과 유리재질의 캐리어 기판(101)이 직접 접촉하며 부착된 부분에 대해서는 자연적으로 접합력이 비교적 약하여 절단 공정 시 절단 휠(197) 등에 의해 가해진 외력에 의해 절단면을 기준으로 1mm 내지 2mm 정도의 폭에 대해서는 상기 플라스틱 기판(110)이 캐리어 기판(101)으로부터 떨어지는 들뜸이 발생하게 된다.
한편, 이러한 절단 공정 진행시에도 상기 각 단위 표시패널(199)의 게이트 및 데이터 패드부의 외측에는 0.5㎛ 내지 2㎛정도의 폭을 갖는 제 2 접합 강화패턴(106)이 구비되고 있으며, 상기 절단라인(도 4a, 4b, 4c의 SL)은 상기 제 2 접합 강화패턴(106) 외측에 위치함으로써 절단 시 절단휠(197)에 의해 외압이 가해진다 하여도 상기 절단라인(도 4a, 4b, 4c의 SL)과 인접하여 구비된 상기 제 2 접합 강화패턴(106)에 의해 상기 제 2 접합 강화패턴(106) 내측에 위치하는 게이트 및 데이터 패드부(PA)에 대해서는 플라스틱 기판(110)의 들뜸이 방지된다.
다음, 도 3g에 도시한 바와 같이, 상기 절단공정에 의해 다수의 단위 표시패널(199)로 분리된 상태에서 각 표시패널(199)의 게이트 및 데이터 패드부(PA)에 대해 구동 IC를 부착하거나 또는 구동 IC가 구비된 FPC(flexible printed circuit board, 181)가 부착된 외부 구동회로기판(183)을 위치시키고, 상기 각 단위 표시패널(199)의 게이트 및 데이터 패드부(PA)에 구비된 외구 구동회로기판 정렬용 얼라인 마크(미도시)를 기준으로 하여 정렬을 실시한 후, 상기 외부 구동회로기판(183)과 연결된 FPC(181)를 상기 단위 표시패널의 게이트 및 데이터 패드부에 부착한다.
이때, 상기 다수의 각 단위 표시패널(199)에 있어 게이트 및 데이터 패드부(PA)에는 이의 외측으로 각각 제 2 접합 강화패턴(106)이 구비됨으로서 플라스틱 기판(110)의 캐리어 기판(101)으로부터 떨어지는 들뜸 현상이 발생하지 않는다. 따라서, 상기 외부 구동회로기판(183) 본딩 전 정렬 단계에서 정렬 마크 감지 수단이 정상적으로 구동하여 상기 각 단위 표시패널(199)의 게이트 및 데이터 패드부(PA)에 구비된 외부 구동회로기판의 정렬용 얼라인 마크(미도시)를 잘 인식하게 되고, 이에 의해 상기 외부 구동회로기판(183)의 정렬이 정상적으로 이루어진 후, 본딩이 이루어짐으로써 절단 시 절단부의 플라스틱 기판(110)의 들뜸에 기인한 얼라인 마크 인식 불량에 의한 외부 구동회로기판(183) 본딩 불량은 발생하지 않는다.
다음, 도 3h에 도시한 바와같이, 상기 외부 구동회로기판(183)의 본딩을 마친 각 단위 표시패널(199)에 대해 상기 플라스틱 기판(110)을 캐리어 기판(101)으로 분리시키는 분리공정을 실시함으로서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치를 완성한다.
조금 더 상세히 분리 공정을 설명하면, 게이트 및 데이터 패드부(PA)를 제외한 그 외의 측면에서 1mm 내지 2mm정도의 폭에 대해 플라스틱 기판(110)의 들뜸이 발생한 상기 단위 표시패널(199)에 있어서, 상기 캐리어 기판(101)을 고정시킨 후 상기 들뜸이 발생한 부분의 상기 플라스틱 기판(110)을 진공 흡착하거나, 또는 클램프 등의 기구(미도시) 등을 이용하여 클램프 사이에 상기 플라스틱 기판(110)의 끝단이 위치하도록 한 후 꽉 지지된 상태에서 상기 캐리어 기판(110)의 외측으로 서서히 힘을 가하면 상기 캐리어 기판(101)으로부터 상기 플라스틱 기판(110)이 서서히 분리되게 된다. 이러한 캐리어 기판(101)으로부터의 플라스틱 기판(110)의 분리는 상기 클램프 등의 기구(미도시)없이 작업자의 손을 통해 수작업에 의해서 이루어질 수도 있다.
한편, 전술한 바와 같이 진행되는 캐리어 기판(101)으로부터의 플라스틱 기판(110)과의 분리는 실질적으로 수초 내지 십 수초간 진행되므로 종래의 레이저 빔 조사를 통한 플라스틱 기판의 분리 대비 수십 배 빠른 진행이 이루어지므로 단위 시간당 제조 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
<제 2 실시예>
본 발명의 제 2 실시예는 플라스틱 기판과 유리재질의 캐리어 기판과의 접합특성을 향상시키는 접합 개선제를 이용한 것이 특징이며, 플라스틱 기판 상에 게이트 배선과 데이터 배선과 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하여 어레이 기판을 완성하는 단계와, 전기영동 필름을 부착하여 전기영동 표시장치를 완성하는 단계 및 풀컬러 화상 표시가 가능하도록 컬러필터층을 형성하는 단계와 플라스틱 기판을 탈착하는 단계는 전술한 제 1 실시예와 동일하므로 이러한 단계에 대한 설명은 생략하고, 제 1 실시예와 차이가 있는 부분 즉, 캐리어 기판 상에 접합 개선 패턴 또는 접합 개선층을 형성하는 단계를 포함하여 플라스틱 기판을 형성하는 단계까지를 위주로 하여 설명한다. 이때, 설명의 편의를 위해 제 1 실시예와 동일한 구성요소에 대해서는 100을 더하여 도면 부호를 부여하였다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조 단계별 공정 단면도이다.
우선, 도 5a에 도시한 바와 같이, 유리재질의 캐리어 기판(201) 상에 유리재질과 플라스틱 재질간의 접합력을 향상시키는 접합 개선제를 시린지(298)를 통해 디스펜싱하거나 또는 붓(미도시)이나 롤러(미도시) 등을 이용하여 상기 캐리어 기판(201)과 접촉한 상태에서 드로잉한 후, 가열하여 건조시킴으로써 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴(205, 206)을 형성 한다.
이때, 상기 제 1 접합 개선 패턴(205)은 추후 플라스틱 기판(도 5b의 210)을 형성하고, 그 상부에 전기영동 소자가 형성되는 각 표시장치 영역(DA)을 제외한 부분 즉, 상기 각 표시장치 영역(DA)을 제외한 영역, 더욱 정확히는 추후 절단공정 진행 시 제거되어지는 부분(이하 '제거영역'(CA)이라 칭함)에 대응하여 형성되는 것이 특징이다. 이때, 상기 제 1 접합 개선 패턴(205)은 상기 제거영역(CS) 전면에 형성될 수도 있고, 또는 상기 제거영역(CS) 중 일부에만 형성될 수도 있다. 이렇게 제거영역(CS) 일부에 대해서만 상기 제 1 접합 개선 패턴(205)을 형성할 경우는 상기 제거영역(CS)에 에 소정의 폭을 가지며 상기 각 표시장치 영역(DA)을 테두리하는 형태 즉, 도 4a에 도시된 제 1 접합 강화패턴을 형성한 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 접합 개선 패턴(205)은 표시장치 영역(DA)과 제거영역(CS)의 구분없이 도 4b 및 도 4c에 도시된 제 1 접합 강화 패턴이 형성된 형태와 동일한 형태로 형성될 수도 있다.
이때, 제 2 접합 개선 패턴(206)은 제 1 실시예에 제시되 제 2 접합 강화 패턴과 같이 각 표시장치 영역(DA)의 게이트 및 데이터 패드가 형성되는 영역 즉, 게이트 패드부 및 데이터 패드부(PA)에 대응하여 이의 외측으로 형성되고 있는 것이 특징이다. 이때 상기 제 2 접합 개선 패턴(206)은 비록 각 표시장치 영역(DA) 외측에 형성되었다 하더라도 절단라인 내측에 위치하여 절단공정 후에도 제거되지 않고 남게되는 것이 특징이다. 이때, 상기 제 2 접합 개선패턴(206)은 그 폭이 10㎛보다는 작게 형성되는 것이 특징이다. 제 1 실시예의 경우, 마스크 공정에 의해 제 2 접합 강화패턴이 형성됨으로서 그 폭을 5㎛ 이하가 되도록 형성하는 것이 용이하였지만, 제 2 실시예의 경우 제 2 접합 개선패턴(206)은 시린지 또는 붓을 이용하여 형성됨으로서 그 오차 범위가 패터닝에 의해 형성된 것보다는 크기 때문에 제 2 접합 강화패턴의 폭보다는 더 큰 범위의 폭을 갖는 것이다.
한편, 제 1 및 제 2 접합 개선패턴(205, 206) 형성에 이용되는 접합 개선제의 조성에 대해 설명한다.
본 발명의 제 2 실시예에 사용되는 상기 접합 개선제는 플라스틱 기판(도 5c의 210)과 유리 재질의 캐리어 기판(도 5c의 201)간의 접합 특성을 향상시키는 것을 특징으로 한다. 이러한 접합 개선제는 아미노 실란계 물질((Ro)3-Si-R'-NH2)과 유기용매 일례로 유기 솔벤트(1-methoxy-2-propanol)로 이루어진 용액으로, 그 조성비는 상기 아미노 실란계 물질이 0.1 중량% 내지 10중량%, 상기 유기 솔벤트가 90중량% 내지 99.9중량%로 이루어지는 것이 특징이다.
이때, 상기 아미노 실란계 물질((Ro)3-Si-R'-NH2)의 중량% 및 유기 솔벤트(1-methoxy-2-propanol)의 중량%를 전술한 범위에서 다양하게 변경시킴으로서 이를 재료로 한 접합 개선 패턴 또는 접합 개선층 개재하여 접합된 상기 캐리어 기판(201)과 플라스틱 기판(도 5c의 210)간의 평균적인 접합력이 제 1 실시예에서 언급한 10gf/㎠ 내지 100gf/㎠ 정도 범위가 되도록 한 것이 특징이다.
일례로 제 2 실시예(도 5a 참조)에서와 같이, 시린지(298) 또는 붓(미도시)을 이용하여 제거영역(CS) 전면 또는 일부, 또는 표시장치 영역(DA)과 제거영역(CS)의 구별없이 다수의 스트라이프 타입 또는 격자형태로서 다수의 제 1 접합 개선 패턴(205)을 캐리어 기판(201)에 형성하는 경우, 상기 아미노 실란계 물질((Ro)3-Si-R'-NH2)은 1중량%보다 크고 10중량%보다 낮은 범위에서 결정하고 그 나머지는 중량%는 유기 솔벤트(1-methoxy-2-propanol)로 이루어진 조성비를 갖는 접합 개선제를 이용함으로써 그 전체적인 캐리어 기판(201)과 플라스틱 기판(도 5c의 210)간의 접합력은 10gf/㎠ 내지 100gf/㎠정도가 되도록 할 수 있다.
제 2 접합 개선패턴(206)의 경우 제 1 접합 개선패턴(205)에 비해 그 폭이 상대적으로 얇고 각 표시장치 영역(DA)의 개수에 의해 결정되므로 그 실면적은 제 1 접합 개선패턴(205)이 형성되는 면적에 비해 상대적으로 매우 작기 때문에 상기 접합 개선제의 조성비의 조절에 의해 영향을 받은 캐리어 기판(201)과 플라스틱 기판(도 5c의 210)간의 접합력은 주로 제 1 접합 개선패턴(205)에 의해 결정된다 할 것이다.
다음, 도 5b에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴(205, 206) 위로 상기 캐리어 기판(201) 전면에 액체 상태의 플라스틱을 도포함으로써 플라스틱층(미도시)을 형성한다. 이때, 상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴(205, 206)이 형성된 부분에 대해서는 플라스틱 기판(210)과의 접합력이 강화되어 강한 접합(접합력이 10gf/㎠ 내지 100gf/㎠가 됨)이 이루어지고, 상기 제 1 및 제 2 접합 개선패턴(205, 206)이 형성되지 않은 개구(op)에 대해서는 약한 접합(원래 유리 재질과 플라스틱 재질간의 접합력인 7gf/㎠ 내지 8gf/㎠가 됨)이 이루어지게 된다.
이후, 공정은 전술한 제 1 실시예와 동일하게 진행되므로 설명은 생략한다.
한편, 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예와 변형예에 있어서는 전기영동 표시장치를 일례로 보이고 있지만, 캐리어 기판을 매개로 하여 플렉서블한 플라스틱 기판이 사용되는 모든 표시장치 예를들면 액정표시장치 또는 유기전계 발광소자에 대해서도 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 형성하고 공정상 필요시 되는 특정 단계에서 상기 플라스틱 기판을 레이저 빔 조사 장치를 이용하지 않고 상기 캐리어 기판으로부터 탈착시키는 제조방법은 확대 적용될 수 있음은 자명하다 할 것이며, 나아가 본 발명의 정신 및 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변형 및 변경할 수 있다는 것은 자명한 사실일 것이다.
101 : 캐리어 기판 102 : 접합 완화층
105 : 제 1 접합 강화패턴 106 : 제 2 접합 강화패턴
110 : 플라스틱 기판 113 : 게이트 전극
115 : 제 1 스토리지 전극 120 : 게이트 절연막
125 : 반도체층 125a : 액티브층
125c : 오믹 콘택층 129 : 데이터 배선
130 : 소스 전극 132 : 드레인 전극
134 : 제 2 스토리지 전극 140 : 제 1 보호층
142 : 드레인 콘택홀 143 : 패드홀
150 : 화소전극 151 : 보조 게이트 패드
160 : 베이스 필름 163 : 공통전극
166 : 화이트 안료 168 : 블랙안료
170 : 캡슐 173 : 잉크층
175 : 제 1 점착층 177 : 전기영동 필름
197 : 절단휠

Claims (15)

  1. 그 각각이 절단후 표시장치를 이루는 다수의 표시장치 영역이 정의된 캐리어 기판 상의 전면에 무기물질로 이루어진 접합 완화층을 형성하는 단계와;
    상기 접합 완화층 상에 금속물질로서 제 1 폭과 제 1 두께를 갖는 다수의 제 1 접합 강화 패턴을 형성하고, 상기 각 표시장치 영역에 구비된 게이트 및 데이터 패드부에 대응하여 이의 외측으로 상기 제 1 접합 강화 패턴과 동일한 물질로 제 2 폭을 갖는 제 2 접합 강화 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 제 1 및 제 2 접합 강화 패턴 위로 상기 캐리어 기판 전면에 액상의 플라스틱을 도포하고 열처리하여 플라스틱 기판을 형성하는 단계와;
    상기 플라스틱 기판 상의 상기 각 표시장치 영역에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소를 형성하는 단계와;
    절단 휠을 이용하여 상기 각 표시장치 영역의 외측을 절단하여 각 표시패널로 분리시키는 단계와;
    상기 각 표시패널에 있어 상기 플라스틱 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 분리시키는 단계
    를 포함하는 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판은 유리 재질이며,
    상기 무기물질은 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)이며,
    상기 금속물질은 몰리브덴(Mo), 몰리텅스텐(MoW), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 몰리티타늄(MoTi), 비정질 인듐-틴-옥사이드(a-ITO), 인듐-갈륨-징크-옥사이드(IGZO) 중 어느 하나인 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 폭은 1㎛ 내지 500㎛이며,
    상기 제 2 폭은 0.5㎛ 내지 5㎛이며,
    상기 제 1 두께는 50Å 내지 150Å인 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판 전면에 대해 상기 제 1 접합 강화 패턴 외측으로 노출된 상기 접합 완화층의 면적 대 상기 제 1 접합 강화패턴의 면적비는 90:10 내지 99:1인 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 접합 완화층과 상기 제 1 및 제 2 접합 강화패턴을 개재하여 접합된 상기 캐리어 기판과 상기 플라스틱 기판과의 평균적인 접합력은 10gf/㎠ 내지 100gf/㎠인 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 접합 강화 패턴은, 상기 캐리어 기판 상에 표시장치 영역 외측으로 상기 표시장치 영역을 테두리하는 형태, 다수의 이격하는 스트라이프 형태, 다수의 개구를 갖는 격자 형태 중 어느 하나의 형태를 갖도록 형성하는 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  7. 그 각각이 절단 후 표시장치를 이루는 다수의 표시장치 영역과 이의 외측으로 제거영역이 정의된 캐리어 기판 상에 아미노 실란계 물질과 유기 솔벤트로 구성된 접합 개선제를 부분적으로 도포함으로써 특정 형태를 갖는 제 1 접합 개선 패턴과, 상기 각 표시장치 영역 내에 구비된 게이트 및 데이터 패드부에 대응하여 이의 외측으로 상기 제 1 접합 개선 패턴과 동일한 물질로 이루어진 제 2 접합 개선 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴 위로 상기 캐리어 기판 전면에 액상의 플라스틱을 도포하고 열처리하여 플라스틱 기판을 형성하는 단계와;
    상기 플라스틱 기판 상의 상기 각 표시장치 영역에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소를 형성하는 단계와;
    절단 휠을 이용하여 상기 각 표시장치 영역의 외측을 절단하여 각 표시패널로 분리시키는 단계와;
    상기 각 표시패널에 있어 상기 플라스틱 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 분리시키는 단계
    를 포함하는 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판을 형성하기 이전에 상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴 을 건조시키는 단계를 포함하는 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 접합 개선제는 상기 아미노 실란계 물질 0.1중량% 내지 10 중량%와 유기 솔벤트 90중량% 내지 99.9중량%로 구성된 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 접합 개선 패턴은 상기 접합 개선제를 시린지, 붓, 롤러 중 어느 하나의 수단을 이용하여 형성하며,
    상기 제 1 접합 개선 패턴은 상기 표시장치 영역 외측의 제거영역 전면에 형성하거나, 상기 표시장치 영역을 테두리 하는 형태로 형성하거나, 상기 표시장치 영역 및 제거영역의 구분없이 상기 캐리어 기판 전면에 다수의 스트라이프 형태, 격자 형태를 갖도록 형성하는 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  11. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 절단 휠을 이용한 절단 시 절단된 부분인 상기 각 표시패널의 테두리를 따라 1mm 내지 2mm 폭에 대응하여 상기 플라스틱 기판이 상기 캐리어 기판으로부터 분리되는 들뜸이 발생하며,
    상기 각 표시패널의 게이트 및 데이터 패드부에 대응해서는 상기 게이트 및 데이터 패드부 외측에 구비된 상기 제 2 접합 강화패턴에 의해 들뜸이 방지되는 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  12. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판 상의 상기 각 표시장치 영역에 화상 구현을 위한 다수의 구성요소를 형성하는 단계는,
    상기 플라스틱 기판 위로 상기 각 표시장치 영역에 대응하여 절연막을 개재하여 서로 교차하여 다수의 화소영역을 정의하는 게이트 배선 및 데이터 배선과, 상기 게이트 및 데이터 배선과 연결된 박막트랜지스터와, 상기 게이트 패드부에 상기 게이트 배선과 연결된 게이트 패드 및 제 1 얼라인 마크와, 상기 데이터 패드부에 상기 데이터 배선과 연결된 데이터 패드 및 제 2 얼라인 마크를 형성하는 단계와;
    상기 각 표시장치 영역 내의 각 화소영역에 상기 박막트랜지스터와 연결된 화소전극을 형성하는 단계와;
    각 표시장치 영역 내의 화상을 표시하는 표시영역에 대응하여 상기 게이트 및 데이터 패드부를 노출시키며 전기영동 필름을 부착하는 단계와;
    상기 게이트 및 데이터 패드부에 상기 제 1 및 제 2 얼라인 마크를 이용하여 정렬한 후 외부 구동회로기판을 본딩하는 단계
    를 포함하는 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 전기영동필름은 베이스 필름과, 상기 베이스 필름 하부로 순차 적층된 형태의 공통전극과, 축중합 반응을 통해 하전된 다수의 화이트 안료와 블랙 안료가 채워진 다수의 캡슐을 포함하는 잉크층과, 점착층을 포함하여 구성되며,
    상기 전기영동필름을 부착하는 단계는, 상기 잉크층이 상기 공통전극과 상기 화소전극 사이에 위치하며 상기 점착층과 상기 화소전극이 접촉되도록 부착하는 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 외부 구동회로기판을 본딩하는 단계 이전에 상기 전기영동 필름 위로 컬러필터층을 형성하는 단계
    를 포함하는 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
  15. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 플라스틱 기판과 상기 캐리어 기판의 분리는, 화상 구현을 위한 다수의 구성요소 구비된 상기 플라스틱 기판의 일 끝단 표면을 밀착 고정수단을 이용하여 밀착 고정시킨 상태에서 일측으로 힘을 가함으로서 이루어지거나, 작업자가 직접 수작업을 통해 이루어지는 것이 특징인 플렉서블한 플라스틱 기판을 이용한 표시장치의 제조 방법.
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