KR102082407B1 - 플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치, 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치, 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

플렉서블 기판은 유기 재료로 이루어진 플렉서블 기판 본체, 상기 플렉서블 기판 본체의 일면에서 분산되어 위치하는 분리 패턴들, 및 상기 플렉서블 기판 본체의 일면에 위치하여 상기 분리 패턴들 중 하나 이상과 이웃하여 위치하며, 상기 플렉서블 기판 본체의 일면 표면으로부터 함몰된 분리홈을 포함한다.

Description

플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치, 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법{FLEXIBLE SUBSTRATE, FLEXIBLE DISPLAY DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치, 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 재료를 포함하는 플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치, 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 이미지를 표시하는 장치로서, 최근 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display)가 주목 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 가지며, 액정 표시 장치(liquid crystal display device)와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타낸다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 기판, 기판 상에 위치하는 유기 발광 소자(organic light emitting diode), 기판과 함께 유기 발광 소자를 밀봉하는 봉지부를 포함한다.
최근, 기판으로서, 폴리이미드(polyimide) 등의 유기 재료로 이루어진 플렉서블 기판을 포함하는 플렉서블 표시 장치가 개발되었다.
플렉서블 표시 장치는 글라스 등의 지지 기판 상에 플렉서블 기판을 형성하고, 플렉서블 기판 상에 유기 발광 소자 및 봉지부를 형성한 후, 지지 기판으로부터 플렉서블 기판을 필링(peeling)하여 제조하였다.
그런데, 종래의 플렉서블 표시 장치는 지지 기판으로부터 플렉서블 기판을 필링할 때 발생되는 정전기에 의해 플렉서블 기판 상에 형성된 유기 발광 소자가 파손되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 10-0922951(공고일: 2009.10.22) 대한민국 등록특허공보 10-0831562(공고일: 2008.5.21) 대한민국 등록특허공보 10-0804003(공고일: 2008.2.18)
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제조 시 정전기가 발생되는 것이 억제된 플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치, 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 유기 재료로 이루어진 플렉서블 기판 본체, 상기 플렉서블 기판 본체의 일면에서 분산되어 위치하는 분리 패턴들, 및 상기 플렉서블 기판 본체의 일면에 위치하여 상기 분리 패턴들 중 하나 이상과 이웃하여 위치하며, 상기 플렉서블 기판 본체의 일면 표면으로부터 함몰된 분리홈을 포함하는 플렉서블 기판을 제공한다.
상기 분리 패턴은 다결정 인듐틴옥사이드(poly ITO)를 포함할 수 있다.
상기 분리 패턴은 상기 플렉서블 기판 본체의 내부에 위치할 수 있다.
상기 유기 재료는 폴리이미드(polyimide)를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 플렉서블 기판, 상기 플렉서블 기판 상에 위치하며, 이미지를 표시하는 표시부를 포함하는 플렉서블 표시 장치를 제공한다.
상기 표시부는 유기 발광 소자를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 제3 측면은 지지 기판 상에 분리층을 형성하는 단계, 상기 분리층 상에 감광 패턴을 형성하는 단계, 상기 감광 패턴을 마스크로 이용해 상기 분리층을 식각하여 상기 지지 기판 상에 상기 감광 패턴과 대응하는 지지 패턴 및 상기 지지 패턴과 하나 이상이 이웃해 분산되어 위치하는 분리 패턴들을 형성하는 단계, 상기 감광 패턴을 제거하는 단계, 상기 지지 패턴 및 상기 분리 패턴을 덮도록 상기 지지 기판 상에 유기 재료를 도포하여 플렉서블 기판 본체를 형성하는 단계, 상기 플렉서블 기판 본체 상에 이미지를 표시하는 표시부를 형성하는 단계, 및 상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
상기 분리층을 형성하는 단계는 상기 지지 기판 상에 비정질 인듐틴옥사이드(a-ITO)를 증착하여 수행할 수 있다.
상기 분리층을 형성하는 단계는 상기 분리층을 300Å 내지 1100Å의 두께로 형성하여 상기 분리층의 상부에 다결정 인듐틴옥사이드를 형성하여 수행할 수 있다.
상기 감광 패턴을 마스크로 이용해 상기 분리층을 식각하여 상기 지지 기판 상에 상기 감광 패턴과 대응하는 지지 패턴 및 상기 지지 패턴과 하나 이상이 이웃해 분산되어 위치하는 분리 패턴들을 형성하는 단계는 상기 비정질 인듐틴옥사이드를 제거하는 에찬트(etchant)를 사용한 습식 식각을 이용해 수행할 수 있다.
상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하는 단계는 상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 필링(peeling)하여 수행할 수 있다.
상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하는 단계는 상기 플렉서블 기판 본체의 내부에 위치하는 상기 분리 패턴을 상기 지지 기판으로부터 분리하고, 상기 지지 패턴으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하여 상기 플렉서블 기판 본체의 일면에 상기 지지 패턴과 대응해 상기 플렉서블 기판 본체의 일면 표면으로부터 함몰된 분리홈을 형성하여 수행할 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 제조 시 정전기가 발생되는 것이 억제된 플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치, 및 플렉서블 표시 장치의 제조 방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 화소의 구조를 나타낸 배치도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 5 내지 도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치를 설명한다. 이하에서는, 이미지를 표시하는 표시부로서 유기 발광 소자를 일례로 설명한다. 한편, 본 발명의 제1 실시예에서 이미지를 표시하는 표시부는 유기 발광 소자를 포함하나, 본 발명의 다른 실시예에서 이미지를 표시하는 표시부는 액정, 플라즈마 또는 전자 잉크 등을 포함할 수 있다.
이하에서, 결정화 분리 패턴은 분리 패턴을 의미한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(1001)는 플렉서블 기판(100), 배선부(200), 유기 발광 소자(300), 봉지부(400) 및 보호 필름(500)을 포함한다.
플렉서블 기판(100)은 광 투과성일 수 있다. 플렉서블 기판(100) 상에는 배선부(200) 및 유기 발광 소자(300)가 위치하며, 플렉서블 기판(100)은 배선부(200) 및 유기 발광 소자(300)를 사이에 두고 봉지부(400)와 대향하고 있다. 플렉서블 기판(100)은 봉지부(400)와 함께 유기 발광 소자(300)를 밀봉한다. 플렉서블 기판(100)은 플렉서블 기판 본체(110), 결정화 분리 패턴(120) 및 분리홈(130)을 포함한다.
플렉서블 기판 본체(110)는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 하나 이상을 포함하는 유기 재료로 이루어져 있다. 본 발명의 제1 실시예에서 플렉서블 기판 본체(110)는 유기 재료 중 폴리이미드를 포함한다. 플렉서블 기판 본체(110)는 플렉서블한 특성을 가지고 있으며, 광 투과성을 가질 수 있다.
결정화 분리 패턴(120)은 플렉서블 기판 본체(110)의 일면일 수 있는 플렉서블 기판 본체(110)의 하부에서 분산되어 위치하고 있다. 결정화 분리 패턴(120)은 다결정 인듐틴옥사이드(poly ITO)를 포함하고 있다. 결정화 분리 패턴(120)은 플렉서블 기판 본체(110)의 내부에 위치하고 있다. 결정화 분리 패턴(120)은 과립 형태를 가지고 복수개일 수 있으며, 과립 형태의 복수의 결정화 분리 패턴(120)들 각각은 상호 연결되거나, 상호 이격되어 플렉서블 기판 본체(110)의 내부에서 분산되어 있다. 결정화 분리 패턴(120)은 플렉서블 기판 본체(110)의 하부 표면과 이격되어 있을 수 있다. 결정화 분리 패턴(120)들 중 하나 이상은 분리홈(130)과 이웃하여 위치하고 있다.
분리홈(130)은 결정화 분리 패턴(120)과 이웃하고 있으며, 플렉서블 기판 본체(110)의 하부에 위치하고 있다. 분리홈(130)은 플렉서블 기판 본체(110)의 하부 표면으로부터 함몰된 형태를 가지고 있다. 분리홈(130)은 복수개이며, 복수개의 분리홈(130)은 플렉서블 기판 본체(110)의 하부 표면을 따라 배치되어 있을 수 있다.
배선부(200)는 제1 및 제2 박막 트랜지스터(10, 20)(도 2에 도시)를 포함하며, 유기 발광 소자(300)에 신호를 전달하여 유기 발광 소자(300)를 구동한다. 유기 발광 소자(300)는 배선부(200)로부터 전달받은 신호에 따라 빛을 발광한다.
배선부(200) 상에는 유기 발광 소자(300)가 위치하고 있다.
유기 발광 소자(300)는 플렉서블 기판(100) 상에 위치하며, 배선부(200)로부터 신호를 전달 받아 전달 받은 신호에 의해 이미지(image)를 표시한다.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(1001)의 내부 구조에 대해 자세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 화소의 구조를 나타낸 배치도이다. 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.
이하에서, 배선부(200) 및 유기 발광 소자(300)의 구체적인 구조는 도 2 및 도 3에 나타나 있으나, 본 발명의 실시예가 도 2 및 도 3에 도시된 구조에 한정되는 것은 아니다. 배선부(200) 및 유기 발광 소자(300)는 해당 기술 분야의 기술자가 용이하게 변형 실시할 수 있는 범위 내에서 다양한 구조로 형성될 수 있다. 예컨대, 첨부 도면에서는, 플렉서블 표시 장치로서, 하나의 화소에 두개의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)와 하나의 축전 소자(capacitor)를 구비하는 2Tr-1Cap 구조의 능동 구동(active matrix, AM)형 플렉서블 표시 장치를 도시하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 플렉서블 표시 장치는 박막 트랜지스터의 개수, 축전 소자의 개수 및 배선의 개수가 한정되지 않는다. 한편, 화소는 이미지를 표시하는 최소 단위를 말하며, 플렉서블 표시 장치는 복수의 화소들을 이용해 이미지를 표시한다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 플렉서블 표시 장치(1001)는 하나의 화소마다 각각 형성된 스위칭 박막 트랜지스터(10), 구동 박막 트랜지스터(20), 축전 소자(80) 및 유기 발광 소자(300)를 포함한다. 여기서, 스위칭 박막 트랜지스터(10), 구동 박막 트랜지스터(20) 및 축전 소자(80)를 포함하는 구성을 배선부(200)라 한다. 그리고, 배선부(200)는 플렉서블 기판(100)의 일 방향을 따라 배치되는 게이트 라인(151), 게이트 라인(151)과 절연 교차되는 데이터 라인(171) 및 공통 전원 라인(172)을 더 포함한다. 여기서, 하나의 화소는 게이트 라인(151), 데이터 라인(171) 및 공통 전원 라인(172)을 경계로 정의될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
유기 발광 소자(300)는 제1 전극(710)과, 제1 전극(710) 상에 형성된 유기 발광층(720)과, 유기 발광층(720) 상에 형성된 제2 전극(730)을 포함하며, 제1 전극(710), 유기 발광층(720) 및 제2 전극(730)은 유기 발광 소자(300)를 구성한다. 여기서, 제1 전극(710)은 정공 주입 전극인 양극(anode)이 되며, 제2 전극(730)은 전자 주입 전극인 음극(cathode)이 된다. 그러나 본 발명의 제1 실시예가 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 플렉서블 표시 장치의 구동 방법에 따라 제1 전극(710)이 음극이 되고, 제2 전극(730)이 양극이 될 수도 있다. 제1 전극(710) 및 제2 전극(730)으로부터 각각 정공과 전자가 유기 발광층(720) 내부로 주입되며, 유기 발광층(720) 내부로 주입된 정공과 전자가 결합한 엑시톤(exiton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 유기 발광층(720)의 발광이 이루어진다. 또한, 제1 전극(710) 및 제2 전극(730) 각각은 광 투과성 또는 광 반사성 구조로 이루어질 수 있다.
축전 소자(80)는 층간 절연막(161)을 사이에 두고 배치된 한 쌍의 축전판(158, 178)을 포함한다. 여기서, 층간 절연막(161)은 유전체가 되며, 축전 소자(80)에서 축전된 전하와 양 축전판(158, 178) 사이의 전압에 의해 축전 소자(80)의 축전 용량이 결정된다.
스위칭 박막 트랜지스터(10)는 스위칭 반도체층(131), 스위칭 게이트 전극(152), 스위칭 소스 전극(173) 및 스위칭 드레인 전극(174)을 포함한다. 구동 박막 트랜지스터(20)는 구동 반도체층(132), 구동 게이트 전극(155), 구동 소스 전극(176) 및 구동 드레인 전극(177)을 포함한다.
스위칭 박막 트랜지스터(10)는 발광시키고자 하는 화소를 선택하는 스위칭 소자로서 사용된다. 스위칭 게이트 전극(152)은 게이트 라인(151)에 연결된다. 스위칭 소스 전극(173)은 데이터 라인(171)에 연결된다. 스위칭 드레인 전극(174)은 스위칭 소스 전극(173)으로부터 이격 배치되며 어느 한 축전판(158)과 연결된다.
구동 박막 트랜지스터(20)는 선택된 화소 내의 유기 발광 소자(300)의 유기 발광층(720)을 발광시키기 위한 구동 전원을 제2 전극(730)에 인가한다. 구동 게이트 전극(155)은 스위칭 드레인 전극(174)과 연결된 축전판(158)과 연결된다. 구동 소스 전극(176) 및 다른 한 축전판(178)은 각각 공통 전원 라인(172)과 연결된다. 구동 드레인 전극(177)은 제1 전극(710)과 동일한 층에 위치하고 있으며, 제1 전극(710)과 연결되어 있다.
한편, 구동 드레인 전극과 제1 전극은 서로 다른 층에 위치할 수 있으며, 이 경우, 제1 전극은 컨택홀(contact hole) 등을 통해 구동 드레인 전극과 연결될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하여, 스위칭 박막 트랜지스터(10)는 게이트 라인(151)에 인가되는 게이트 전압에 의해 작동하여 데이터 라인(171)에 인가되는 데이터 전압을 구동 박막 트랜지스터(20)로 전달하는 역할을 한다. 공통 전원 라인(172)으로부터 구동 박막 트랜지스터(20)에 인가되는 공통 전압과 스위칭 박막 트랜지스터(10)로부터 전달된 데이터 전압의 차에 해당하는 전압이 축전 소자(80)에 저장되고, 축전 소자(80)에 저장된 전압에 대응하는 전류가 구동 박막 트랜지스터(20)를 통해 유기 발광 소자(300)로 흘러 유기 발광 소자(300)가 발광하게 된다.
유기 발광 소자(300) 상에는 봉지부(400)가 위치하고 있다
봉지부(400)는 플렉서블 기판(100)과 함께 유기 발광 소자(300)를 밀봉하고 있으며, 유기층(410) 및 무기층(420)을 포함한다.
유기층(410)은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 하나 이상을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 이 중 유기층(410)은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다.
무기층(420)은 유기층(410) 상에 위치하고 있으며, 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 일례로, 무기층(420)은 실리콘질화물(SiNx), 알루미나(Al2O3), 실리콘산화물(SiOx), 티타늄산화물(TiO2)중 하나 이상을 포함할 수 있다.
한편, 유기층(410) 및 무기층(420) 각각은 복수개의 층으로 형성될 수 있으며, 복수개의 유기층(410) 및 복수개의 무기층(420)으로 형성된 봉지부(400)의 최상층에는 투습을 방지하기 위해 무기층(420)이 위치할 수 있다. 또한, 복수개의 유기층(410) 및 복수개의 무기층(420) 각각은 상호 교호적으로 적층될 수 있다.
보호 필름(500)은 플렉서블 기판(100)의 하부 표면에 부착되어 있다. 보호 필름(500)은 고분자로 이루어질 수 있으며, 플렉서블 기판(100)의 강도를 보강하는 동시에, 외부의 간섭으로부터 플렉서블 기판(100)을 보호한다.
이상과 같은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(1001)는 후술할 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 이용해 제조될 수 있다.
이하, 도 4 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 5 내지 도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하에서, 비정질 분리층은 분리층을 의미하고, 비정질 지지 패턴은 지지 패턴을 의미하며, 결정화 분리 패턴은 분리 패턴을 의미한다.
우선, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 지지 기판(10) 상에 비정질 분리층(20)을 형성한다(S100).
구체적으로, 글라스(glass), 금속, 무기 재료(ceramic) 등으로 이루어진 지지 기판(10) 상에 비정질 분리층(20)을 형성한다. 비정질 분리층(20)은 지지 기판(10) 상에 비정질 인듐틴옥사이드(a-ITO)를 증착하여 형성할 수 있다. 이때, 비정질 분리층(20)을 300Å 내지 1100Å의 두께로 형성하면, 비정질 분리층(20)의 상부 측에 비정질 인듀민옥사이드로부터 다결정 인듐틴옥사이드가 형성된다. 한편, 비정질 분리층(20)을 형성한 후, 비정질 분리층(20)의 상부 측에 다결정 인듐틴옥사이드가 형성되도록 비정질 분리층(20)에 열을 가할 수 있다.
다음, 도 6에 도시된 바와 같이, 비정질 분리층(20) 상에 감광 패턴(30)을 형성한다(S200).
구체적으로, 비정질 분리층(20) 상에 감광층을 형성하고, 감광 패턴(30)에 대응하는 광투과부를 가지는 마스크를 이용해 감광층을 노광한 후, 노광된 감광층을 현상하여 비정질 분리층(20) 상에 감광 패턴(30)을 형성한다. 감광 패턴(30)은 비정질 분리층(20)의 상부 표면을 따라 복수개가 배치되어 있다.
다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 감광 패턴(30)을 마스크로 이용해 비정질 분리층(20)을 식각한다(S300).
구체적으로, 감광 패턴(30)을 마스크로 이용해 비정질 분리층(20)을 식각하여 지지 기판(10) 상에 감광 패턴(30)과 대응하는 비정질 지지 패턴(21) 및 비정질 지지 패턴(21)과 하나 이상이 이웃해 분산되어 위치하는 결정화 분리 패턴(120)들을 형성한다.
비정질 분리층(20)의 식각은 비정질 인듐틴옥사이드만을 제거하는 에찬트(etchant)를 사용한 습식 식각을 이용해 수행하는데, 비정질 분리층(20)의 상부 측에 다결정 인듐틴옥사이드가 형성되어 있으므로, 비정질 분리층(20)의 전체 부분 중 감광 패턴(30)과 대응하는 부분은 비정질 분리층(20)으로부터 비정질 지지 패턴(21)으로 형성되고, 나머지 부분은 비정질 분리층(20)으로부터 다결정 인듐틴옥사이드로 이루어진 결정화 분리 패턴(120)으로 형성된다. 다결정 인듐틴옥사이드가 비정질 분리층(20)의 상부 측에 주로 형성되었기 때문에, 결정화 분리 패턴(120)은 주로 지지 기판(10)과 이격되어 위치하고 있다. 즉, 결정화 분리 패턴(120)은 지지 기판(10)으로부터 플로팅(floating)되어 위치하고 있다.
다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 감광 패턴(30)을 제거한다(S400).
구체적으로, 에슁(ashing) 공정 또는 리프트 오프(lift off) 공정을 이용해 비정질 지지 패턴(21)으로부터 감광 패턴(30)을 제거한다. 감광 패턴(30)이 제거됨으로써, 비정질 지지 패턴(21) 및 감광 패턴(30)이 노출된다.
도 9는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 중 형성된 비정질 지지 패턴 및 결정화 분리 패턴을 나타낸 사진이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 노출된 비정질 지지 패턴(21) 및 비정질 지지 패턴(21)과 이웃한 결정화 분리 패턴(120)이 지지 기판(10) 상에 형성된다.
다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 지지 기판(10) 상에 유기 재료를 도포하여 플렉서블 기판 본체(110)를 형성한다(S500).
구체적으로, 비정질 지지 패턴(21) 및 결정화 분리 패턴(120)을 덮도록 지지 기판(10) 상에 유기 재료를 도포하여 지지 기판(10) 상에 플렉서블 기판 본체(110)를 형성한다. 이로 인해, 결정화 분리 패턴(120)은 플렉서블 기판 본체(110)의 하부 측 내부에 위치하게 된다. 일례로, 지지 기판(10) 상에 폴리이미드를 도포함으로써. 지지 기판(10) 상에 플렉서블 기판 본체(110)를 형성할 수 있다.
다음, 플렉서블 기판 본체(110) 상에 표시부로서 유기 발광 소자(300)를 형성한다(S600).
구체적으로, 포토리소그래피(photolithography) 공정 및 증착 공정 등을 이용해 플렉서블 기판 본체(110) 상에 배선부(200) 및 유기 발광 소자(300)를 형성하여 플렉서블 기판 본체(110) 상에 표시부를 형성한다.
또한, 유기 발광 소자(300) 상에 유기층(410) 및 무기층(420)을 형성하여 봉지부(400)를 형성한다.
다음, 도 11에 도시된 바와 같이, 지지 기판(10)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)를 분리한다(S700).
구체적으로, 지지 기판(10)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)를 필링(peeling)하여 지지 기판(10)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)를 분리한다. 지지 기판(10)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)를 분리함으로써, 플렉서블 기판 본체(110)의 내부에 위치하는 결정화 분리 패턴(120)도 지지 기판(10)으로부터 분리되고, 비정질 지지 패턴(21)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)가 분리되어 플렉서블 기판 본체(110)의 하부에 비정질 지지 패턴(21)과 대응해 플렉서블 기판 본체(110)의 하부 표면으로부터 함몰된 분리홈(130)이 형성된다. 이때, 플렉서블 기판 본체(110)의 일면일 수 있는 플렉서블 기판 본체(110)의 하부에 결정화 분리 패턴(120)이 위치함으로써, 플렉서블 기판 본체(110)를 지지 기판(10)으로부터 필링할 때 정전기가 발생되는 것이 억제된다. 플렉서블 기판 본체(110)를 지지 기판(10)으로부터 분리함으로써, 플렉서블 기판 본체(110), 결정화 분리 패턴(120) 및 분리홈(130)을 포함하는 플렉서블 기판(100)이 형성된다.
이후, 플렉서블 기판 본체(110)의 하부 표면에 보호 필름을 부착하여 상술한 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(1001)를 제조할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(1001)를 제조할 수 있는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 지지 기판(10) 상에 다결정 인듐틴옥사이드를 포함하는 결정화 분리 패턴(120)을 형성하고 결정화 분리 패턴(120)을 플렉서블 기판 본체(110)의 하부 측 내부에 위치시킴으로써, 지지 기판(10)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)를 필링할 때, 정전기가 발생되는 것을 억제한다. 이로 인해, 정전기에 의해 표시부로서 유기 발광 소자(300)가 파손되는 것이 억제되어 플렉서블 표시 장치(1001)를 제조하는 제조 신뢰성 및 제조 효율이 향상된다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치(1001)를 제조할 수 있는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 지지 기판(10) 상에 비정질 인듐틴옥사이드를 주로 포함하는 비정질 지지 패턴(21)을 형성함으로써, 비정질 지지 패턴(21)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)를 분리하기 때문에, 지지 기판(10)으로부터 플렉서블 기판 본체(110)를 용이하게 분리할 수 있다. 이로 인해, 플렉서블 표시 장치(1001)를 제조하는 제조 효율이 향상된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
플렉서블 기판 본체(110), 결정화 분리 패턴(120), 분리홈(130)

Claims (12)

  1. 유기 재료로 이루어진 플렉서블 기판 본체;
    상기 플렉서블 기판 본체의 일면에서 분산되어 위치하는 분리 패턴들; 및
    상기 플렉서블 기판 본체의 일면에 위치하여 상기 분리 패턴들 중 하나 이상과 이웃하여 위치하며, 상기 플렉서블 기판 본체의 일면 표면으로부터 함몰된 분리홈
    을 포함하고,
    상기 분리 패턴들은 상기 플렉서블 기판 본체의 내부에 위치하고, 상기 분리 패턴들은 상기 플렉서블 기판 본체의 하부 표면과 이격되어 있는 플렉서블 기판.
  2. 제1항에서,
    상기 분리 패턴은 다결정 인듐틴옥사이드(poly ITO)를 포함하는 플렉서블 기판.
  3. 삭제
  4. 제1항에서,
    상기 유기 재료는 폴리이미드(polyimide)를 포함하는 플렉서블 기판.
  5. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 따른 플렉서블 기판;
    상기 플렉서블 기판 상에 위치하며, 이미지를 표시하는 표시부
    를 포함하는 플렉서블 표시 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 표시부는 유기 발광 소자를 포함하는 플렉서블 표시 장치.
  7. 지지 기판 상에 분리층을 형성하는 단계;
    상기 분리층 상에 감광 패턴을 형성하는 단계;
    상기 감광 패턴을 마스크로 이용해 상기 분리층을 식각하여 상기 지지 기판 상에 상기 감광 패턴과 대응하는 지지 패턴 및 상기 지지 패턴과 하나 이상이 이웃해 분산되어 위치하는 분리 패턴들을 형성하는 단계;
    상기 감광 패턴을 제거하는 단계;
    상기 지지 패턴 및 상기 분리 패턴을 덮도록 상기 지지 기판 상에 유기 재료를 도포하여 플렉서블 기판 본체를 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 기판 본체 상에 이미지를 표시하는 표시부를 형성하는 단계; 및
    상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하는 단계
    를 포함하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제7항에서,
    상기 분리층을 형성하는 단계는 상기 지지 기판 상에 비정질 인듐틴옥사이드(a-ITO)를 증착하여 수행하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에서,
    상기 분리층을 형성하는 단계는 상기 분리층을 300Å 내지 1100Å의 두께로 형성하여 상기 분리층의 상부에 다결정 인듐틴옥사이드를 형성하여 수행하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 감광 패턴을 마스크로 이용해 상기 분리층을 식각하여 상기 지지 기판 상에 상기 감광 패턴과 대응하는 지지 패턴 및 상기 지지 패턴과 하나 이상이 이웃해 분산되어 위치하는 분리 패턴들을 형성하는 단계는 상기 비정질 인듐틴옥사이드를 제거하는 에찬트(etchant)를 사용한 습식 식각을 이용해 수행하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제7항에서,
    상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하는 단계는 상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 필링(peeling)하여 수행하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제11항에서,
    상기 지지 기판으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하는 단계는 상기 플렉서블 기판 본체의 내부에 위치하는 상기 분리 패턴을 상기 지지 기판으로부터 분리하고, 상기 지지 패턴으로부터 상기 플렉서블 기판 본체를 분리하여 상기 플렉서블 기판 본체의 일면에 상기 지지 패턴과 대응해 상기 플렉서블 기판 본체의 일면 표면으로부터 함몰된 분리홈을 형성하여 수행하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
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