JP2017147044A - 表示装置、および表示装置の作製方法 - Google Patents

表示装置、および表示装置の作製方法 Download PDF

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Abstract

【課題】変形した際に発光領域が破壊されて表示不良が発生することが抑制された、可撓性の有機EL表示装置、ならびにその作製方法を提供する。【解決手段】基材と、基材の第1の面上にそれぞれ発光領域を有する複数の発光素子を有し、基材の第2の面に、前記複数の発光素子から選ばれる隣接する二つの発光素子の発光領域の間に挟まれた非発光領域と重なる第1の溝を有する表示装置が提供される。あるいは、基材と、基材の第1の面上にそれぞれ発光素子を有する複数の画素を有し、基材の第2の面に、複数の画素から選ばれる隣接する二つの画素の間に挟まれた領域と重なる第1の溝を有し、基材の第1の面には、第1の溝と重なり、基材からなるリッジを有する表示装置が提供される。【選択図】図3

Description

本発明は表示装置、ならびに表示装置の作製方法に関する。例えば、可撓性のEL表示装置、ならびにその作製方法に関する。
表示装置の代表例として、液晶素子や発光素子を各画素に有する液晶表示装置や有機EL(Electroluminescence)表示装置などが挙げられる。これらの表示装置は、基板上に形成された複数の画素内の各々に液晶素子あるいは有機発光素子(以下、発光素子)を有している。液晶素子や発光素子は一対の電極間に液晶あるいは有機化合物を含む層(以下、有機EL層)をそれぞれ有しており、一対の電極間に電圧を印加する、あるいは電流を供給することで駆動される。
発光素子は全固体の表示素子として形成されるため、基板に可撓性を付与して折り曲げたり湾曲させても、液晶素子の場合と異なり基板間のギャップ変化が影響しないため、原則的に表示品質に影響を与えない。そこで、可撓性の基板上に発光素子が作製された、いわゆるフレキシブルディスプレイ(シートディスプレイ)が作製されている。例えば特許文献1、2では、折り曲げ可能な可撓性有機EL表示装置が開示されている。
特開2015−72362号公報 特開2014−182306号公報
本発明は、高い信頼性を有する可撓性の表示装置、例えば可撓性の有機EL表示装置、ならびにその作製方法を提供することを目的の一つとする。あるいは、変形した際に発光領域が破壊されて表示不良が発生することが抑制された、可撓性の有機EL表示装置、ならびにその作製方法を提供することを目的の一つとする。
本発明の一実施形態は、基材と、基材の第1の面上にそれぞれ発光領域を有する複数の発光素子を有し、基材の第2の面に、前記複数の発光素子から選ばれる隣接する二つの発光素子の発光領域の間に挟まれた非発光領域と重なる第1の溝を有する、表示装置である。
本発明の一実施形態は、基材と、基材の第1の面上にそれぞれ発光素子を有する複数の画素を有し、基材の第2の面に、複数の画素から選ばれる隣接する二つの画素の間に挟まれた領域と重なる第1の溝を有し、基材の第1の面には、第1の溝と重なり、基材からなるリッジを有する、表示装置である。
本発明の一実施形態は、リッジを有する支持基板上に基材を形成し、基材の一方の面上に複数の画素を、リッジが複数の画素に挟まれた領域と重なるように形成し、支持基板を基材から分離することを含む、表示装置の作製方法である。
一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の断面模式図。 一実施形態に係る表示装置の断面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の断面模式図。 一実施形態に係る表示装置の作製方法を示す模式図。 一実施形態に係る表示装置の作製方法を示す模式図。 一実施形態に係る表示装置の作製方法を示す模式図。 一実施形態に係る表示装置の作製方法を示す模式図。 一実施形態に係る表示装置の作製方法を示す模式図。 一実施形態に係る表示装置の作製方法を示す模式図。 一実施形態に係る表示装置の断面模式図。 一実施形態に係る表示装置の断面模式図。 一実施形態に係る表示装置の断面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の上面模式図。 一実施形態に係る表示装置の断面模式図。
以下、本発明の各実施形態について、図面等を参照しつつ説明する。但し、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲において様々な態様で実施することができ、以下に例示する実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。本明細書と各図において、既出の図に関して説明したものと同様の機能を備えた要素には、同一の符号を付して、重複する説明を省略することがある。
本発明において、ある一つの膜を加工して複数の膜を形成した場合、これら複数の膜は異なる機能、役割を有することがある。しかしながら、これら複数の膜は同一の工程で同一層として形成された膜に由来する。したがって、これら複数の膜は同一層に存在しているものと定義する。
また、本発明において、ある構造体の「上に」他の構造体を配置する態様を表現するにあたり、単に「上に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある構造体に接するように、直上に他の構造体を配置する場合と、ある構造体の上方に、第3の構造体を介して他の構造体を配置する場合との両方を含むものとする。
(第1実施形態)
本実施形態では、本発明の一実施形態に係る表示装置を図1乃至図6を用いて説明する。
図1に、本実施形態に係る表示装置100の上面図を示す。表示装置100は、複数の画素160を備えた表示領域120を基材110の一方の面(上面)に有している。複数の画素160のそれぞれには、発光領域400が規定されている。表示領域120から配線130が基材110の側面に向かって延びている。配線130を介して表示領域120はICチップ150と電気的に接続されている。基材110の端部には、コネクタ(図示せず)を介して外部回路(図示せず)とICチップ150および表示領域120を電気的に接続するための端子140が形成されている。外部回路から供給された映像信号によって複数の画素160が制御され、映像が表示領域120上に再現される。なお、基材110に可撓性を有するフィルムなどを用いることで、表示装置100全体に可撓性を付与することができる。本明細書や請求項中では、基材110はベースフィルムとも記すことがある。
図示していないが、表示装置100はICチップ150の替わりに駆動回路を表示領域120の周辺に有していてもよい。あるいは、ICチップ150とともに駆動回路を表示領域120の周辺に有していてもよい。
画素160の各々には発光素子が備えられている。各画素160に例えば赤色、緑色、青色で発光する発光素子を設けることでフルカラー表示を行うことができる。あるいは、全画素160中で白色発光素子を用い、カラーフィルタを用いて画素160ごとに赤色、緑色、あるいは青色を取り出してフルカラー表示を行ってもよい。最終的に取り出される色は赤色、緑色、青色の組み合わせには限られず、例えば、赤色、緑色、青色、白色の4種類の色を画素160から取り出すこともできる。画素160の配列にも制限はなく、ストライプ配列、ペンタイル配列、モザイク配列などを採用することができる。
図2(A)、(B)に画素160の拡大図を示す。なお、図2(A)は図2(B)から第1の電極280を省略した図である。図2(A)に示すように、ゲート線200、202、信号線210、212、および電流供給線220などの配線が基材110上に設けられている。ゲート線200、202、信号線210、および電流供給線220で定義される領域が一つの画素160である。ゲート線202や信号線212は、図2(A)に示された画素160に隣接する画素160を制御する。なお、これらの配線の一部は隣接する二つあるいはそれ以上の画素160と共有されていてもよい。例えば電流供給線220は画素160とそれに隣接する画素160の両方で共有されていてもよい。
図2(A)、(B)に図示した画素160は二つのトランジスタ260、270を有している。ゲート線200はトランジスタ260にゲート信号を伝達する機能を有しており、ゲート線200の一部(図中、下方向に突き出た部分)がトランジスタ260のゲート電極として機能する。信号線210はトランジスタ260に映像信号を伝達する機能を有しており、信号線210の一部(図中、右方向に突き出た部分)がトランジスタ260のソース電極として機能する。信号線210によって伝達された映像信号は半導体膜230を介してトランジスタ260のドレイン電極として機能する配線240に伝えられる。映像信号はさらに配線242を介してトランジスタ270に伝達される。すなわち、配線242の一部はトランジスタ270のゲート電極として機能し、トランジスタ270のオン―オフを制御する。トランジスタ270はソース電極として電流供給線220の一部(図中、左方向に突き出た部分)を有している。電流供給線220によって供給される電流が半導体膜232を介してドレイン電極として機能する配線244に伝えられる。前述のトランジスタ260、270は、信号線210、配線240、電流供給線220、及び配線244の電位によっては、ソース・ドレインの定義が逆転する場合もある。
配線244はコンタクトホール250を介して第1の電極280と電気的に接続されており、電流供給線220から供給される電流が第1の電極280へ供給される。第1の電極280上には隔壁340として機能する絶縁膜(後述)が設けられており、その開口部290において第1の電極280は有機EL層350(後述)と接している。図2(B)には、画素160の上、下、右に隣接する画素160の第1の電極280の一部が描かれている。
図2(B)では、第1の電極280はほぼ正方形であり、開口部290は鉤状の形状で描かれているが、第1の電極280や開口部290の形状に制限はない。第1の電極280や開口部290は正方形、ひし形、長方形などの多角形でもよく、円形でもよい。開口部290が多角形の場合、その角は曲線状であってもよい。ここでは画素160は二つのトランジスタ260、270を有するが、トランジスタの数に制限はなく、三つ以上のトランジスを有していてもよい。また、トランジスタ以外に容量を形成するための配線を有していてもよい。
図3、図4に図2(B)中の直線A−B、C−Dに沿った断面の模式図をそれぞれ示す。図3に示すように画素160は基材110上に下地膜300を介して半導体膜230を有している。半導体膜230上にはゲート絶縁膜310、ゲート線200、層間絶縁膜320が設けられている。トランジスタ260の構成要素である半導体膜230やゲート線200に起因する凹凸を吸収して平坦な表面を与えるために、層間絶縁膜320上には平坦化膜330が設けられている。平坦化膜330上には画素160、およびそれに隣接する画素160の第1の電極280が形成されている。画素160はさらに第1の電極280の端部を覆う隔壁340を有しており、これにより、隣接する画素160の第1の電極280同士が互いに電気的に絶縁される。
第1の電極280、隔壁340の上には有機化合物を含有する有機EL層350が設けられており、その上には第2の電極360が形成されている。隔壁340の開口部290において有機EL層350と第1の電極280が物理的に接触しており、第1の電極280、有機EL層350、第2の電極360で発光素子が形成される。有機EL層350と第1の電極280が接触している領域において有機EL
層350からの発光が得られ、この領域が発光素子の発光領域400である。したがって、発光領域400の形状は隔壁340の開口部290のそれと同一である。互いに隣接する二つの画素160の発光領域400に挟まれた領域が非発光領域410である。第2の電極360上には封止膜380が設けられている。この封止膜は、後述するように、少なくとも1層以上あればよく、例えば3層構造であっても良い。封止膜380の上には、任意の構成として、例えば偏光板390などが設けられている。ここでは図示していないが、封止膜380上にはカラーフィルタや遮光膜、あるいはこれらの上に形成されるオーバーコート膜などが設けられていてもよい。
ここで非発光領域410において、すなわち隣接する二つの画素160に挟まれた領域において、基材110の他方の面(底面)には溝(第1の溝)170が設けられている。この第1の溝170における基材110の厚さT1は、発光領域400の下における基材110の厚さT2と比較して小さい。図5に第1の溝170と画素160の位置関係を模式的に示すが、第1の溝170はゲート線200に沿って延びている。
同様に図3に示すように、第2の電極360上に設けられた封止膜380にも溝(第2の溝)180が設けられている。この第2の溝180における封止膜380の厚さT3は、発光領域400の上における封止膜380の厚さT4と比較して小さい。図5に示すように、第2の溝180もゲート線200に沿って延びている。
図4の断面を参照すると、トランジスタ260あるいは270を構成するゲート絶縁膜310、層間絶縁膜320が下地膜300を介して基材110上に形成されている。層間絶縁膜320上には電流供給線220、および画素160に隣接する画素160の信号線212が設けられている。これらの配線上にトランジスタ260あるいは270上に形成される平坦化膜330が形成されている。図3と同様に、平坦化膜330上には画素160とそれに隣接する画素160の第1の電極280、隔壁340、有機EL層350、第2の電極360、封止膜380が設けられている。また、任意の構成として、偏光板390などが設けられている。図3と同様、封止膜380上にはカラーフィルタや遮光膜、あるいはこれらの上に形成されるオーバーコート膜などが設けられていてもよい。
図3の断面構造と同様、図4に示す基材110にも溝(第1の溝)170が基材110の底面に設けられている。この第1の溝170における基材110の厚さT1は、発光領域400の下における基材110の厚さT2と比較して小さい。また、図5に示すように第1の溝170は信号線210および電流供給線220に沿って延びている。
図4に示すように、第2の電極360上に設けられた封止膜380にも溝(第2の溝)180が設けられている。この第2の溝180における封止膜380の厚さは、発光領域400の上における封止膜380の厚さと比較して小さい。図5に示すように、第2の溝180も信号線210および電流供給線220に沿って延びている。なお、第1の溝170と第2の溝180は、一部が重なっていなくてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180は、ゲート線200、信号線210、電流供給線220と重なっていてもよく、一部が重なっていなくてもよい。
上述したように、基材110として可撓性を有するフィルムを用いることで、表示装置100は可撓性を有することができる。上記構成では、非発光領域410は、基材110、ならびに封止膜380の厚さが部分的に小さい領域を有している。そしてこの領域の基材110、ならびに封止膜380の厚さT1、T3は、発光領域400のそれらT2、T4よりもそれぞれ小さい。したがって図6で模式的に示すように、表示装置100を折り曲げたり湾曲するなどして変形する際、発光領域400よりも非発光領域410の方がより大きく変形する。換言すると、発光領域400を変形させない、あるいは変形を最小とし、かつ、非発光領域410を選択的に変形させることで表示装置100全体を変形することができる。
可撓性の表示装置を変形する場合、表示装置を構成する膜の硬度や厚さがそれぞれ異なるため、膜の硬度に大きな差がある界面で剥離が生じやすい。例えば基材110や封止膜380は他の層と比較して膜厚が大きく、硬度が高い。そのため、変形時に基材110や封止膜380が剥離しやすい。発光領域400やその近傍において界面剥離が生じた場合、発光素子へのダメージがより顕在化し、表示不良を招く。
これに対し本実施形態の構成のように、基材110や封止膜380の一部に溝170、180を形成して非発光領域410を選択的に変形させることで、発光領域400に大きな負荷がかからないようにすることができる。したがって、表示不良が発生しにくく、信頼性の高い可撓性表示装置を提供することができる。
(第2実施形態)
本実施形態では、第1実施形態で説明した表示装置100の作製方法の一例を図7乃至図12を用いて説明する。それぞれの図では、図2(B)の直線A−BとC−Dに沿った断面構造が示されている。
まず、リッジ422、424が形成された支持基板420を用意する(図7(A))。支持基板420にはガラスや石英、セラミック、あるいは金属などを用いることができる。リッジ422は例えば平坦な基板をエッチングして形成してもよく、あるいは平坦な基板上に絶縁物などの構造体を形成することで設けてもよい。
次に支持基板420上に基材110を形成する(図7(B))。基材110には可撓性を有する材料を用いればよく、例えばポリイミドやポリアミド、ポリエステル、エポキシ樹脂などの高分子材料あるいはその前駆体を用いることができる。これらの材料にガラスの微粒子や繊維が混合されていてもよい。基材110はスピンコート法やインクジェット法、印刷法、ディップコーティング法などを用いて形成することができる。あるいはシート状の高分子を支持基板420上に圧着して基材110を形成してもよい。図7(A)、(B)においては、支持基板420上のリッジ422、424に起因する凹凸を吸収して平坦な表面を与えるように基材110が設けられている。基材110の膜厚としては、3μm以上100μm以下、好ましくは5μm以上50μm以下、より好ましくは10μm以上20μm以下である。
この後、基材110上に下地膜300を形成する(図7(C))。下地膜300は基材110や支持基板420から不純物の拡散を防ぐ機能を有し、例えば酸化ケイ素や窒化酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素、窒化ケイ素などの無機化合物を用い、化学気相成長法(CVD)などで形成される。図7(C)では下地膜300が単層構造を有するように描かれているが、下地膜300は複数の無機化合物の層が積層された構造を有していてもよい。
次に図8(A)に示すように、下地膜300上に半導体膜230(および半導体膜232)を形成する。半導体膜230はシリコンや酸化物半導体を含むことができ、CVDやスパッタリング法によって形成することができる。結晶性も任意に選択することができ、アモルファス、微結晶、多結晶、単結晶のいずれでもよい。半導体膜230(および半導体膜232)上にゲート絶縁膜310を単層、あるいは積層構造で形成する(図8(B))。ゲート絶縁膜310は、下地膜300で用いる材料を適宜組み合わせて形成することができる。
次に図8(C)に示すように、ゲート線200をゲート絶縁膜310上に形成する。ゲート線200はアルミニウムや銅、チタン、モリブデン、タンタル、タングステンなどの金属を単層、あるいは積層構造で形成することができる。例えばアルミニウムや銅などの導電性の高い金属と、チタンやモリブデンなどのブロッキング性の高い金属を積層して形成してもよい。ゲート線200の形成方法としては、例えばCVD法やスパッタリング法などが挙げられる。ゲート線200と半導体膜230が重なる領域はトランジスタ260のゲート電極として機能する。なお図示していないが、ゲート線200と同一層に存在する配線242なども同時に形成される。
次にゲート線200上に層間絶縁膜320を形成する(図9(A))。層間絶縁膜320は下地膜300やゲート絶縁膜310で用いる材料を適宜組み合わせて、単層あるいは積層構造で形成することができる。なお、図示しないが、層間絶縁膜320を形成した後に、信号線210、212、電流供給線220などの配線が形成される。また、ゲート線200、信号線210、212、電流供給線220などの配線は、リッジ422、424に沿って形成する。これらの配線の各々はリッジ422、424と一部、あるいは全てが重なっていてもよい。
ここまでのステップにより、基板上には凹凸が発生しているが、層間絶縁膜320上に平坦化膜330を形成することでこの凹凸を吸収し、平坦な表面を与えることができる(図9(B))。平坦化膜330は例えばエポキシ樹脂やポリイミド、ポリシロキサンなどの高分子材料を用い、スピンコート法やディップコーティング法、印刷法などによって形成することができる。なお図示していないが、平坦化膜330上にさらに保護膜、例えば無機絶縁膜で形成された保護膜を形成してもよい。
次に発光素子の第1の電極280を平坦化膜330上に形成する(図9(C))。第1の電極280には、可視光を反射する金属や、可視光を透過する導電性酸化物などを用いることができる。発光素子からの発光を基材110側から取り出す場合には、例えばインジウム―スズ酸化物(ITO)やインジウム―亜鉛酸化物(IZO)などの透光性を有する導電性酸化物を用い、スパッタリング法やゾル―ゲル法などを適用して第1の電極280を形成すればよい。逆に、発光素子からの発光を基材110とは反対の側から取り出す場合には、例えばアルミニウムや銀などの反射率の高い金属を第1の電極280に用いればよい。この際、これらの金属上に導電性酸化物を積層してもよい。
次に第1の電極280の端部を覆うように絶縁膜を形成し、隔壁340を形成する(図10(A))。隔壁340は第1の電極280の端部を覆うことで第1の電極280と第2の電極360間のショートを防ぐのみならず、隣接する画素160同士を分離する機能を有する。隔壁340には、例えばポリイミドやポリアミド、エポキシ樹脂、ポリシロキサンなどの高分子材料を用いることができる。
隔壁340の形成後、有機EL層350、ならびに第2の電極360を形成する(図10(B))。有機EL層350は、第1の電極280と第2の電極360から注入された電荷の再結合を担う層であり、各種の機能層を組み合わせて形成される。例えばホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層、ホールブロック層、電子ブロック層などを組み合わせて形成される。成膜方法として、蒸着法やインクジェット法、スピンコーティング法などが適用できる。第2の電極360は、第1の電極280と同様の材料を用いることができる。有機EL層350からの発光を第1の電極280側から取り出す場合には、第2の電極360には可視光に対して高い反射率を有する材料が好ましく、例えば銀やアルミニウムなどを用いることができる。これらの材料に蒸着法、あるいはスパッタリング法などを適用し、第2の電極360を形成することができる。一方第2の電極360側から光を取り出す場合、ITOやIZOなどの導電性酸化物を用いることができる。あるいは、マグネシウムや銀、あるいはこれらの合金を用い、可視光が透過する程度の厚さ(数〜数十nm)で形成することができる。これらの金属あるいは合金上に導電性酸化物を積層させて第2の電極360を形成してもよい。
次に、第2の電極360上に封止膜380を形成する(図11(A))。この封止膜380は外部から発光素子へ水や酸素などの不純物が浸入することを防ぐ機能を有する。封止膜380には第2の溝180が設けられる。第2の溝180により、非発光領域410において、部分的に厚さを小さくすることができる。第2の溝180はゲート線200、信号線210、212、電流供給線220などの配線に沿って形成することができる。また、第2の溝はこれらの配線の各々の一部、あるいは全てと重なるように形成してもよい。
ここで、封止膜380は発光素子に酸素や水などの不純物の侵入を防ぐ封止機能を有し、例えば酸化ケイ素や窒化ケイ素、酸化窒化ケイ素、窒化酸化ケイ素などの無機化合物からなる無機絶縁膜を用いることができる。あるいはアクリル樹脂などの有機化合物からなる有機絶縁膜を用いてもよい。これらの材料は積層されていてもよく、例えばアクリル樹脂からなる有機絶縁膜を窒化ケイ素や酸化ケイ素の膜で挟持した構造を有するフィルムを封止膜380として用いてもよい。この場合、複数の層のうち、一つ以上の層に溝を形成することにより、第2の溝180を形成することができる。上記無機絶縁膜や有機絶縁膜は、スパッタリング法、蒸着法などの物理的気相成長法、CVD法、スピンコート法、インクジェット法、印刷法などの液相法、あるいはラミネート法などを適宜組み合わせて形成することができる。また、第2の溝180は、エッチングやナノインプリント法などにより形成することができる。
なお、上記3層構造についての例を図33(A)、図33(B)に示す。図33(A)、図33(B)において、封止膜380は、無機絶縁膜381、383と、これら2つの膜に挟持された有機絶縁膜382の3層からなる。図33(A)においては、第2の溝180は無機絶縁膜381に設けられ、この形状が有機絶縁膜382と無機絶縁膜383に反映される。この場合、無機絶縁膜381の厚さが発光領域400内よりも非発光領域410内の方が小さくなるようにすることで、第2の溝180を形成することができる。一方図33(B)においては、第2の溝180は有機絶縁膜382に設けられ、この形状が無機絶縁膜383に反映される。この場合、有機絶縁膜382の厚さが発光領域400内よりも非発光領域410内の方が小さくなるようにすることで、第2の溝180を形成することができる。図33(B)に示すように、非発光領域410において二つの無機絶縁膜381と383が互いに接触してもよい。
次に、封止膜380の上に偏光板390を形成する(図11(B))偏光板390としては直線偏光板や円偏光板などを用いることができ、ラミネート法などを用いて形成することができる。なお、偏光板390は形成しなくてもよい。図示していないが、封止膜380や偏光板390上、あるいは下にカラーフィルタや遮光膜などを形成してもよい。
次に、支持基板420を図11(B)中矢印で示した界面に沿って基材110から分離する(図12)。分離は、表示装置100の上下を吸引チャックなどで固定し、物理的に引きはがすことによって行うことができる。分離前にレーザーを基材110に対して照射し、基材110と支持基板420間の接着力を低下させてもよい。
以上の工程を経ることにより、非発光領域410において基材110と封止膜380の厚さが部分的に小さい可撓性の表示装置100を作製することができる。この表示装置100は非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第3実施形態)
本実施形態では、第1、第2実施形態で説明した画素160とは異なる構造を有する画素160について、図13(A)、(B)を用いて説明する。図13(A)、(B)はそれぞれ図2(B)の直線A−B、C−Dに沿った断面図に相当する。第1、第2実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。
図13(A)、(B)に示すように、第1、第2実施形態と異なり本実施形態に係る表示装置100の画素160では、基材110は第1の溝170を有しているが、封止膜380は第2の溝180を有していない。この場合でも、非発光領域410の一部では基材110の厚さが小さくなっている。この部分では基材110の厚さT1は発光領域400の厚さT2よりも小さい。したがって非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第4実施形態)
本実施形態では、第1乃至第3実施形態で説明した画素160とは異なる構造を有する画素160について、図14、15を用いて説明する。図14、15は図2(B)の直線A−Bに沿った断面図に相当する。第1乃至第3実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。
図14に示すように、本実施形態の画素160の基材110は第1の溝170を有しており、封止膜380は第2の溝180を有している。しかし第1乃至第3実施形態と異なり基材110は、第1の溝170に起因してその上面に突起を有している。すなわち、基材110は第1の溝170と重なるリッジ190を有している。このリッジ190は、基材110を形成する際に例えばラミネート法などを適用することによって形成することができる。あるいは、第1乃至第3実施形態と比較して基材110の厚さを小さくすることによってリッジ190を形成することができる。
なお、本実施形態の画素160の封止膜380は、図15に示すように、第2の溝180を持たず、第1の溝170と重なる領域は平坦な上面を有していてもよい。
リッジ190を有するように基材110を形成することで、非発光領域410の基材110の一部の厚さをさらに小さくすることができ、より選択的に非発光領域410を変形することができる。このため、表示装置100の変形時において、発光領域400に対する負荷をさらに小さくすることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第5実施形態)
本実施形態では、第1の溝170と第2の溝180のレイアウトが第1乃至第4実施形態で説明したそれと異なる表示装置100について、図16乃至図18を用いて説明する。第1乃至第4実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。なお、見やすさを考慮し、図16乃至図18ではゲート線200、信号線210、電流供給線220などの配線は図示していない。
第1実施形態の表示装置100では、図5に示すように、隣接する画素160の間の全ての非発光領域410に第1の溝170と第2の溝180を有している。これに対し本実施形態では図16乃至図18に示すように、非発光領域410の一部に第1の溝170と第2の溝180が選択的に形成されている。
より具体的には図16に示すように、第1の溝170と第2の溝180はそれぞれ、複数の画素160ごとに、ゲート線200、信号線210、電流供給線220などの配線と平行に形成することができる。図16では第1の溝170と第2の溝180は二つの画素160ごとに形成され、第1の溝170と第2の溝180のそれぞれで定義される最小面積には4つの画素160が二行二列のマトリクス状に配置されている。ただし本実施形態の表示装置100はこの構成に限られず、例えば三つの画素ごと、あるいは四つの画素ごとに第1の溝170と第2の溝180が形成されていてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180のそれぞれで形成される最小面積に含まれる画素160の数にも制約はなく、マトリクスの行と列の数も互いに異なっていてもよい。
図16で示した構成を採用することで、第1乃至第4実施形態で示した表示装置100と比較して、表示装置100にある程度の物理的強度を付与することができる。換言すると、表示装置100の柔軟性を容易に制御することができる。
あるいは図17に示すように、第1の溝170と第2の溝180はゲート線200と信号線210のいずれかに平行な方向のみに形成してもよい。図17では信号線210に沿って延びるように、第1の溝170と第2の溝180が形成されている。なお、第1の溝170と第2の溝180は、複数の画素160ごとに形成されてもよく、この場合、隣接する第1の溝170あるいは第2の溝180は複数行、あるいは複数列に配置された複数の画素160を挟んで形成される。
図17のような構成を採用することで、表示装置100の曲げる方向によって柔軟性を変えることができる。図17の構成では、信号線210が曲がるように変形させるよりも、ゲート線200が曲がるように変形する方が容易となる。このように、図17で示した構成は、表示装置100の変形方向を制御する場合に適している。
あるいは図18に示すように、第1の溝170はゲート線200と信号線210に平行な方向に延びる、かつ互いに分断された複数の溝を与えるように形成してもよい。第2の溝180も同様であり、ゲート線200と信号線210に平行な方向に延びる、かつ互いに分断された複数の溝を与えるように形成することができる。この場合、第1の溝170、第2の溝180は十字を形成する。
図18の構成を採用することで、図16の構成と同様に、表示装置100にある程度の物理的強度を付与することができ、表示装置100の柔軟性を容易に制御することができる。
なお、本実施形態では、第3実施形態で示したように第2の溝180は形成しなくてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180の形状は互いに異なっていてもよい。例えば第1の溝170が図16に示したように配置され、第2の溝180が図17で示したように配置されてもよい。
第1乃至第4実施形態と同様に、本実施形態に係る表示装置では、非発光領域410において基材110と封止膜380の厚さが部分的に小さい。したがって非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第6実施形態)
本実施形態では、第1の溝170と第2の溝180のレイアウト、ならびに画素160のレイアウトが第1乃至第5実施形態で説明したそれらと異なる表示装置100について、図19乃至図22を用いて説明する。第1乃至第4実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。なお、見やすさを考慮し、図20乃至図22ではゲート線200、信号線210、電流供給線220などの配線は図示していない。
図19(A)に示すように、本実施形態の表示装置100では、画素160はペンタイル配列を有している。ゲート線200や信号線210は画素ごとに屈曲した構造を有しているが、全体としては表示領域120の短辺、あるいは長辺方向に延びている。なお、本実施形態の表示装置100における画素160の配列はペンタイル配列に限られず、ストライプ配列でもモザイク配列でもよい。発光領域400の形状も図19(A)ではひし形の形状をしているが、これに限られることはなく、円形あるいは正方形や長方形などの多角形でもよい。発光領域400の角も曲線形状に限られない。
図19(B)に示すように、本実施形態の表示装置100の第1の溝170と第2の溝180は、表示領域120の短辺、あるいは長辺に対して斜めの方向に延びるように形成されている。したがって、第1の溝170はゲート線200、信号線210、電流供給線220のいずれとも交差する。同様に第2の溝180もゲート線200、信号線210、電流供給線220のいずれとも交差する。
図19(B)に示したようなレイアウトで第1の溝170と第2の溝180を形成することで、表示領域120の短辺、あるいは長辺に対して斜めの方向に表示装置100を曲げたり折り曲げたりすることが容易となる。
あるいは図20に示すように、第1の溝170と第2の溝180はそれぞれ、複数の画素160ごとに形成することができる。図20では第1の溝170と第2の溝180は二つの画素160ごとに形成され、第1の溝170と第2の溝180のそれぞれで定義される最小面積には4つの画素160が配置されている。ただし本実施形態の表示装置100はこの構成に限られず、例えば三つの画素160ごと、あるいは四つの画素160ごとに第1の溝170と第2の溝180が形成されていてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180のそれぞれで形成される最小面積に含まれる画素160の数にも制約はない。
図20で示した構成を採用することで、第1乃至第4実施形態で示した表示装置100と比較して、表示装置100にある程度の物理的強度を付与することができる。換言すると、表示装置100の柔軟性を容易に制御することができる。
あるいは図21に示すように、第1の溝170と第2の溝180はそれぞれ一つの方向に延びるよう、形成することができる。すなわち、第1の溝170の全て、第2の溝180の全てが同じ方向のベクトルを有するように形成することができる。
図21に示した構成を採用することで、表示領域120の短辺や長辺に対して斜めの方向に、かつ一方向により変形しやすくなる。すなわち、変形方向を制御することが可能となる。
あるいは図22に示すように、第1の溝170は全て一つの方向に延び、かつ互いに分断された複数の溝を与えるように形成してもよい。第2の溝180も同様であり、全て一つの方向に延び、かつ互いに分断された複数の溝を与えるように形成してもよい。この場合も、第1の溝170と第2の溝180はいずれも同じ方向のベクトルを有する。
図22の構成を採用することで、表示装置100にある程度の物理的強度を付与することができ、表示装置100の柔軟性を容易に制御することができる。
なお、本実施形態では、第3実施形態で示したように第2の溝180は形成しなくてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180の形状は互いに異なっていてもよい。例えば第1の溝170が図19に示したように配置され、第2の溝180が図20に示したように配置されてもよい。
第1乃至第5実施形態と同様に、本実施形態に係る表示装置では、非発光領域410において基材110と封止膜380の厚さが部分的に小さい。したがって非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第7実施形態)
本実施形態では、第1の溝170と第2の溝180の形状が第1乃至第6実施形態で説明したそれと異なる表示装置100について、図23乃至図26を用いて説明する。第1乃至第6実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。なお、見やすさを考慮し、図24乃至図26ではゲート線200、信号線210、電流供給線220などの配線は図示していない。
本実施形態の表示装置100では、第1の溝170と第2の溝180が曲線で表されるように形成される。具体的には、例えば図23で示すように、第1の溝170と第2の溝180は、ゲート線200、信号線210、あるいは電流供給線220のいずれかに沿って、波状に延びている。このような形状を有する第1の溝170と第2の溝180を形成することで、表示装置100は様々な方向に変形することが可能となる。
あるいは図24で示すように、第1の溝170と第2の溝180はそれぞれ波状の形状を有し、また、複数の画素160ごとに形成することができる。図24では第1の溝170と第2の溝180は二つの画素160ごとに形成され、第1の溝170と第2の溝180のそれぞれで定義される最小面積には4つの画素160が二行二列のマトリクス状に配置されている。ただし本実施形態の表示装置100はこの構成に限られず、例えば三つの画素ごと、あるいは四つの画素ごとに第1の溝170と第2の溝180が形成されていてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180のそれぞれで形成される最小面積に含まれる画素160の数にも制約はなく、マトリクスの行と列の数も互いに異なっていてもよい。
図24で示した構成を採用することで、第1乃至第4実施形態で示した表示装置100と比較して、表示装置100にある程度の物理的強度を付与することができる。換言すると、表示装置100の柔軟性を容易に制御することができる。
あるいは図25や26に示すように、第1の溝170と第2の溝180は波状の形状を有し、また、ゲート線200と信号線210のいずれかに平行な方向のみに形成してもよい。第1の溝170と第2の溝180は、複数の画素160ごとに形成されてもよく、この場合、隣接する第1の溝170あるいは第2の溝180は複数行、あるいは複数列に配置された画素160を挟んで形成される。
図25や26のような構成を採用することで、表示装置100の曲げる方向によって柔軟性を変えることができる。図25の構成では、信号線210が曲がるように変形させるよりも、ゲート線200が曲がるように変形する方がより容易となる。逆に図26の構成では、ゲート線200が曲がるように変形させるよりも、信号線210が曲がるように変形する方がより容易となる。このように、図24、25で示した構成は、表示装置100の変形方向を制御する場合に適している。
なお、本実施形態では、第3実施形態で示したように第2の溝180は形成しなくてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180の形状は互いに異なっていてもよい。例えば第1の溝170が図23に示したように配置され、第2の溝180が図24で示したように配置されてもよい。
第1乃至第6実施形態と同様に、本実施形態に係る表示装置では、非発光領域410において基材110と封止膜380の厚さが部分的に小さい。したがって非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第8実施形態)
本実施形態では、第1の溝170と第2の溝180の形状が第1乃至第7実施形態で説明したそれと異なる表示装置100について、図27、28を用いて説明する。第1乃至第7実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。なお、見やすさを考慮し、図28ではゲート線200、信号線210、電流供給線220などの配線は図示していない。
本実施形態に係る表示装置100では、第1の溝170は、互いに独立し、かつ閉じた平面形状を複数与える。同様に第2の溝180も、互いに独立し、かつ閉じた平面形状を複数与える。例えば図27に示すように、表示装置100はデルタ配列した画素160を有しており、隣接する4つの画素160を取り囲むように、平行四辺形の閉じた形状を与えるように第1の溝170、第2の溝180が形成されている。
この構成では、第1の溝170と第2の溝180それぞれで定義される最小面積には4つの画素160が配置されている。ただし本実施形態の表示装置100はこの構成に限られず、第1の溝170と第2の溝180のそれぞれで定義される最小面積に含まれる画素160の数に制約はない。また、画素160の配列もデルタ配列に限られず、第1の溝170、第2の溝180が与える閉じた形状も平行四辺形に限られない
図27で示した構成を採用することで、第1乃至第4実施形態で示した表示装置100と比較して、表示装置100にある程度の物理的強度を付与することができる。換言すると、表示装置100の柔軟性を容易に制御することができる。また、表示領域120の短辺、あるいは長辺方向のみならず、斜め方向(図27中の矢印の方向)の変形も容易となる。
図28に示すように、本実施形態に係る表示装置100では、第1の溝170、第2の溝180それぞれが与える複数の閉じた平面形状は、互いに線対称の関係であってもよい。図28に例示した表示装置100では、一対の閉じた形状abは、画素160aを含む行について線対称の関係にある。このような構成を採用することでも、表示領域120の短辺、あるいは長辺方向のみならず、二つの斜め方向(図28中の矢印の方向)の変形も容易となる。
なお本実施形態では、第3実施形態で示したように第2の溝180は形成しなくてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180の形状は互いに異なっていてもよい。例えば第1の溝170が図27に示したような形状を与え、第2の溝180が図28で示した形状を与えるように配置してもよい。
第1乃至第7実施形態と同様に、本実施形態に係る表示装置では、非発光領域410において基材110と封止膜380の厚さが部分的に小さい。したがって非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第9実施形態)
本実施形態では、第1の溝170と第2の溝180の形状が第1乃至第8実施形態で説明したそれと異なる表示装置100について、図29、30を用いて説明する。第1乃至第8実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。なお、見やすさを考慮し、図30ではゲート線200、信号線210、電流供給線220などの配線は図示していない。
図29に示すように、本実施形態に係る表示装置100では、複数の第1の溝170、複数の第2の溝180はジグザグ構造を有しており、それぞれゲート線200に沿って隣接する二つの画素160に挟まれる領域において信号線210と斜めに交差する。また、その領域における複数の第1の溝170のベクトルは、互いに同じである。このような構成を採用することで、表示領域120の長辺方向のみならず、斜め方向(図29中の矢印の方向)の変形も容易となる。
あるいは図30に示すように、複数の第1の溝170、複数の第2の溝180はジグザグ構造を有しており、それぞれゲート線200に沿って隣接する二つの画素160に挟まれる領域において信号線210と斜めに交差する。またさらに、その領域における第1の溝170のベクトルが、隣接する第1の溝170と異なるように形成されている。同様に、その領域における複数の第2の溝180のベクトルが、隣接する第2の溝180と互いに異なるように形成されている。このような構成を採用することで、表示領域120の長辺方向のみならず、二つの斜め方向(図30中の矢印の方向)の変形も容易となる。
なお、本実施形態では、第3実施形態で示したように第2の溝180は形成しなくてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180の形状は互いに異なっていてもよい。例えば第1の溝170が図27に示したように配置され、第2の溝180が図28で示したように配置されてもよい。
第1乃至第8実施形態と同様に、本実施形態に係る表示装置では、非発光領域410において基材110と封止膜380の厚さが部分的に小さい。したがって非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
(第10実施形態)
本実施形態では、第1の溝170と第2の溝180の形状が第1乃至第9実施形態で説明したそれと異なる表示装置100について、図31、32を用いて説明する。第1乃至第9実施形態と同じ構成に関しては説明を割愛する。なお、見やすさを考慮し、図31、32ではゲート線200、信号線210、電流供給線220などの配線は図示していない。
本実施形態に係る表示装置100では、第1の溝170、第2の溝180は、複数の閉じた形状の多角形を与えるように、かつ、隣接する多角形の間で一つの辺が共有されるように形成されている。例えば図31に示すように、第1の溝170は閉じた形状の六角形を与えるように形成されている。また、隣接する六角形は一つの辺を共有している。このため、複数の閉じた形状はハニカムパターンを形成する。
一つの閉じた形状の中では7つの画素160が含まれており、そのうち6つの画素160は六角形の頂点に位置している。ただし、本実施形態はこのような形態に限られず、一つの閉じた形状に含まれる画素160の数は7つに限定されることはない。
また、閉じた形状の多角形は六角形に限られることはなく、例えば図32に示すように、三角形でもよい。ここでも三角形の一辺は隣接する三角形によって共有されている。図32では一つの閉じた形状の三角形の中に三つの画素160が含まれる例を示しているが、これに限られることはなく、四つ以上の画素160が含まれていてもよい。このような構成を採用することで、表示領域120の長辺方向のみならず、二つの斜め方向(図31、32中の矢印の方向)の変形も容易となる。
なお、本実施形態では、第3実施形態で示したように第2の溝180は形成しなくてもよい。また、第1の溝170と第2の溝180の形状は互いに異なっていてもよい。例えば第1の溝170が図27に示したような形状を与え、第2の溝180が図28で示した形状を与えるように配置されてもよい。
第1乃至第7実施形態と同様に、本実施形態に係る表示装置では、非発光領域410において基材110と封止膜380の厚さが部分的に小さい。したがって非発光領域410を選択的に変形させることができ、発光領域400に負荷をかけずに表示装置100全体を変形させることができる。その結果、表示不良が発生を抑制し、信頼性を向上させることができる。
本発明の実施形態として上述した各実施形態は、相互に矛盾しない限りにおいて、適宜組み合わせて実施することができる。また、各実施形態の表示装置を基にして、当業者が適宜構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略もしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
本明細書においては、開示例として主にEL表示装置の場合を例示したが、他の適用例として、その他の自発光型表示装置、液晶表示装置、あるいは電気泳動素子などを有する電子ペーパ型表示装置など、あらゆるフラットパネル型の表示装置が挙げられる。また、中小型から大型まで、特に限定することなく適用が可能である。
上述した各実施形態の態様によりもたらされる作用効果とは異なる他の作用効果であっても、本明細書の記載から明らかなもの、または、当業者において容易に予測し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
100:表示装置、110:基材、120:表示領域、130:配線、140:端子、150:ICチップ、160:画素、160a:画素、170:第1の溝、180:第2の溝、190:リッジ、200:ゲート線、202:ゲート線、210:信号線、212:信号線、220:電流供給線、230:半導体膜、232:半導体膜、240:配線、242:配線、244:配線、250:コンタクトホール、260:トランジスタ、270:トランジスタ、280:第1の電極、290:開口部、300:下地膜、310:ゲート絶縁膜、320:層間絶縁膜、330:平坦化膜、340:隔壁、350:有機EL層、360:第2の電極、380:封止膜、381:無機絶縁膜、382:有機絶縁膜、383:無機絶縁膜、390:偏光板、400:発光領域、410:非発光領域、420:支持基板、422:リッジ、424:リッジ

Claims (19)

  1. 基材と、
    前記基材の第1の面上にそれぞれ発光領域を有する複数の発光素子を有し、
    前記基材の第2の面に、前記複数の発光素子から選ばれる隣接する二つの発光素子の発光領域の間に挟まれた非発光領域と重なる第1の溝を有する、表示装置。
  2. 基材と、
    前記基材の第1の面上にそれぞれ発光素子を有する複数の画素を有し、
    前記基材の第2の面に、前記複数の画素から選ばれる隣接する二つの画素の間に挟まれた領域と重なる第1の溝を有し、
    前記基材の前記第1の面に、前記第1の溝と重なり、前記基材からなるリッジを有する、表示装置。
  3. 前記第1の溝内の基材の厚さは、前記発光素子の発光領域の下における前記基材の厚さよりも小さい、請求項1または2に記載の表示装置。
  4. 無機絶縁膜を前記発光素子上に有し、
    前記無機絶縁膜が、前記第1の溝と重なる第2の溝を有する、請求項1または2に記載の表示装置。
  5. 無機絶縁膜を前記発光素子上に有し、
    前記無機絶縁膜上に有機絶縁膜を有し、
    前記有機絶縁膜が、前記第1の溝と重なる第2の溝を有する、請求項1または2に記載の表示装置。
  6. 前記第2の溝は前記第1の溝に沿って延びている、請求項4または5に記載の表示装置。
  7. 前記第2の溝が設けられた領域内における前記無機絶縁膜および前記有機絶縁膜の厚さは、前記第2の溝が設けられていない領域における前記無機絶縁膜および前記有機絶縁膜の厚さよりもそれぞれ小さい、請求項5に記載の表示装置。
  8. ゲート線と、
    信号線と、
    電流供給線を前記基材の前記第1の面上に有し、
    前記第1の溝と前記第2の溝は、少なくとも前記ゲート線、前記信号線、前記電流供給線の少なくとも一つと重なる、請求項4に記載の表示装置。
  9. 前記第1の溝と前記第2の溝の各々は、前記ゲート線、前記信号線、前記電流供給線の少なくとも一つに沿って延びている、請求項8に記載の表示装置。
  10. 前記基材は可撓性を有する、請求項1または2に記載の表示装置。
  11. リッジを有する支持基板上に基材を形成し、
    前記基材の一方の面上に、各々発光素子を有する複数の画素を、前記リッジが前記複数の画素に挟まれた領域と重なるように形成し、
    前記支持基板を前記基材から分離することを含む、表示装置の作製方法。
  12. 前記リッジ上における前記基材の厚さが、前記発光素子の発光領域の下における前記基材の厚さよりも小さくなるように前記基材に第1の溝を形成する、請求項11に記載の表示装置の作製方法。
  13. 前記発光素子上に無機絶縁膜を形成し、
    前記無機絶縁膜に第2の溝を形成することをさらに含む、請求項11に記載の表示装置の作製方法。
  14. 前記発光素子上に無機絶縁膜を形成し、
    前記無機絶縁膜上に有機絶縁膜を形成し、
    前記有機絶縁膜に第2の溝を形成することをさらに含む、請求項12に記載の表示装置の作製方法。
  15. 前記第2の溝が設けられた領域における前記無機絶縁膜および前記有機絶縁膜の厚さが、前記発光領域の上であり、かつ前記第2の溝が設けられていない領域における前記無機絶縁膜および前記有機絶縁膜の厚さよりもそれぞれ小さい、請求項14に記載の表示装置の作製方法。
  16. ゲート線と、信号線と、電流供給線を、前記ゲート線と、前記信号線と、前記電流供給線の少なくとも一つが前記リッジと重なるように、前記基材の前記一方の面上に形成することをさらに含む、請求項11に記載の表示装置の作製方法。
  17. 前記ゲート線と、前記信号線と、前記電流供給線の少なくとも一つが前記リッジに沿って延びるように、前記ゲート線と、前記信号線と、前記電流供給線を形成する、請求項16に記載の表示装置の作製方法。
  18. ゲート線と、信号線と、電流供給線を形成することをさらに含み、
    前記ゲート線と、前記信号線と、前記電流供給線の少なくとも一つと重なるように前記第2の溝を形成する、請求項13に記載の表示装置の作製方法。
  19. 前記基材は可撓性を有する、請求項11に記載の表示装置の作製方法。
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