KR101961527B1 - 표시 장치 - Google Patents

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Abstract

변형하였을 때에 발광 영역이 파괴되어 표시 불량이 발생하는 것이 억제된, 가요성의 유기 EL 표시 장치, 및 그 제작 방법을 제공한다. 기재와, 기재의 제1 면 위에 각각 발광 영역을 갖는 복수의 발광 소자를 갖고, 기재의 제2 면에, 상기 복수의 발광 소자로부터 선택되는 인접하는 2개의 발광 소자의 발광 영역의 사이에 끼워진 비발광 영역과 겹치는 제1 홈을 갖는 표시 장치가 제공된다. 또는, 기재와, 기재의 제1 면 위에 각각 발광 소자를 갖는 복수의 화소를 갖고, 기재의 제2 면에, 복수의 화소로부터 선택되는 인접하는 2개의 화소 사이에 끼워진 영역과 겹치는 제1 홈을 갖고, 기재의 제1 면에는, 제1 홈과 겹치며, 기재를 포함하는 릿지를 갖는 표시 장치가 제공된다.

Description

표시 장치{DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치 및 표시 장치의 제작 방법에 관한 것이다. 예를 들어, 가요성의 EL 표시 장치 및 그 제작 방법에 관한 것이다.
표시 장치의 대표예로서, 액정 소자나 발광 소자를 각 화소에 갖는 액정 표시 장치나 유기 EL(Electroluminescence) 표시 장치 등을 들 수 있다. 이들 표시 장치는, 기판 위에 형성된 복수의 화소 내의 각각에 액정 소자 또는 유기 발광 소자(이하, 발광 소자)를 갖고 있다. 액정 소자나 발광 소자는 한 쌍의 전극간에 액정 또는 유기 화합물을 포함하는 층(이하, 유기 EL층)을 각각 갖고 있고, 한 쌍의 전극간에 전압을 인가하거나, 또는 전류를 공급함으로써 구동된다.
발광 소자는 전고체의 표시 소자로서 형성되기 때문에, 기판에 가요성을 부여하여 절곡하거나 만곡시켜도, 액정 소자의 경우와 달리 기판간의 갭 변화가 영향을 미치지 않기 때문에, 원칙적으로 표시 품질에 영향을 주지 않는다. 따라서, 가요성의 기판 위에 발광 소자가 제작된, 소위 플렉시블 디스플레이(시트 디스플레이)가 제작되고 있다. 예를 들어 일본 특허 공개 제2015-72362호 공보나 일본 특허 공개 제2014-182306호 공보에서는, 절곡 가능한 가요성 유기 EL 표시 장치가 개시되어 있다.
본 발명의 일 실시 형태는, 기재와, 기재의 제1 면 위에 각각 발광 영역을 갖는 복수의 발광 소자를 갖고, 기재의 제2 면에, 상기 복수의 발광 소자로부터 선택되는 인접하는 2개의 발광 소자의 발광 영역 사이에 끼워진 비발광 영역과 겹치는 제1 홈을 갖는 표시 장치이다.
본 발명의 일 실시 형태는, 기재와, 기재의 제1 면 위에 각각 발광 소자를 갖는 복수의 화소를 갖고, 기재의 제2 면에, 복수의 화소로부터 선택되는 인접하는 2개의 화소 사이에 끼워진 영역과 겹치는 제1 홈을 갖고, 기재의 제1 면에는, 제1 홈과 겹치며, 기재를 포함하는 릿지를 갖는 표시 장치이다.
본 발명의 일 실시 형태는, 릿지를 갖는 지지 기판 위에 기재를 형성하고, 기재의 한쪽의 면 위에 복수의 화소를, 릿지가 복수의 화소에 끼워진 영역과 겹치도록 형성하고, 지지 기판을 기재로부터 분리하는 것을 포함하는 표시 장치의 제작 방법이다.
도 1은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 2a, 도 2b는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 3은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단면 모식도.
도 4는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단면 모식도.
도 5는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 6은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단면 모식도.
도 7a 내지 도 7c는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 제작 방법을 도시하는 모식도.
도 8a 내지 도 8c는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 제작 방법을 도시하는 모식도.
도 9a 내지 도 9c는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 제작 방법을 도시하는 모식도.
도 10a, 도 10b는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 제작 방법을 도시하는 모식도.
도 11a, 도 11b는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 제작 방법을 도시하는 모식도.
도 12는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 제작 방법을 도시하는 모식도.
도 13a, 도 13b는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단면 모식도.
도 14는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단면 모식도.
도 15는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단면 모식도.
도 16은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 17은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 18은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 19a, 도 19b는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 20은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 21은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 22는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 23은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 24는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 25는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 26은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 27은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 28은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 29는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 30은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 31은 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 32는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 상면 모식도.
도 33a, 도 33b는 일 실시 형태에 따른 표시 장치의 단면 모식도.
이하, 본 발명의 각 실시 형태에 대하여, 도면 등을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 형태로 실시할 수 있고, 이하에 예시하는 실시 형태의 기재 내용에 한정하여 해석되는 것은 아니다.
도면은, 설명을 보다 명확하게 하기 위해, 실제의 형태에 비해, 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 도시되는 경우가 있지만, 어디까지나 일례로서, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 본 명세서와 각 도면에 있어서, 기출의 도면에 관하여 설명한 것과 마찬가지의 기능을 구비한 요소에는, 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략하는 경우가 있다.
본 발명에 있어서, 어느 하나의 막을 가공하여 복수의 막을 형성한 경우, 이들 복수의 막은 상이한 기능, 역할을 갖는 경우가 있다. 그러나, 이들 복수의 막은 동일한 공정에서 동일층으로서 형성된 막으로부터 유래된다. 따라서, 이들 복수의 막은 동일층에 존재하고 있는 것으로 정의한다.
또한, 본 발명에 있어서, 어느 구조체의 「위에」 다른 구조체를 배치하는 형태를 표현할 때에, 간단히 「위에」로 표기하는 경우, 특별히 언급하지 않는 한은, 어느 구조체에 접하도록, 바로 위에 다른 구조체를 배치하는 경우와, 어느 구조체의 상방에, 제3 구조체를 개재하여 다른 구조체를 배치하는 경우의 양쪽을 포함하는 것으로 한다.
(제1 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치를 도 1 내지 도 6을 사용하여 설명한다.
도 1에, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)의 상면도를 도시한다. 표시 장치(100)는 복수의 화소(160)를 구비한 표시 영역(120)을 기재(110)의 한쪽의 면(상면)에 갖고 있다. 복수의 화소(160)의 각각에는, 발광 영역(400)이 규정되어 있다. 표시 영역(120)으로부터 배선(130)이 기재(110)의 측면을 향하여 연장되어 있다. 배선(130)을 통해 표시 영역(120)은 IC 칩(150)과 전기적으로 접속되어 있다. 기재(110)의 단부에는, 커넥터(도시하지 않음)를 통해 외부 회로(도시하지 않음)와 IC 칩(150) 및 표시 영역(120)을 전기적으로 접속하기 위한 단자(140)가 형성되어 있다. 외부 회로로부터 공급된 영상 신호에 의해 복수의 화소(160)가 제어되어, 영상이 표시 영역(120) 위에 재현된다. 또한, 기재(110)에 가요성을 갖는 필름 등을 사용함으로써, 표시 장치(100) 전체에 가요성을 부여할 수 있다. 본 명세서나 청구항 중에서는, 기재(110)는 베이스 필름으로도 기재하는 경우가 있다.
도시하고 있지 않지만, 표시 장치(100)는 IC 칩(150) 대신에 구동 회로를 표시 영역(120)의 주변에 갖고 있어도 된다. 또는, IC 칩(150)과 함께 구동 회로를 표시 영역(120)의 주변에 갖고 있어도 된다.
화소(160)의 각각에는 발광 소자가 구비되어 있다. 각 화소(160)에 예를 들어 적색, 녹색, 청색으로 발광하는 발광 소자를 형성함으로써 풀컬러 표시를 행할 수 있다. 또는, 전체 화소(160) 중에서 백색 발광 소자를 사용하고, 컬러 필터를 사용하여 화소(160)마다 적색, 녹색, 또는 청색을 취출하여 풀컬러 표시를 행해도 된다. 최종적으로 취출되는 색은 적색, 녹색, 청색의 조합에는 한정되지 않고, 예를 들어 적색, 녹색, 청색, 백색의 4종류의 색을 화소(160)로부터 취출할 수도 있다. 화소(160)의 배열에도 제한은 없고, 스트라이프 배열, 펜타일 배열, 모자이크 배열 등을 채용할 수 있다.
도 2a, 도 2b에 화소(160)의 확대도를 도시한다. 또한, 도 2a는 도 2b로부터 제1 전극(280)을 생략한 도면이다. 도 2a에 도시한 바와 같이, 게이트선(200, 202), 신호선(210, 212) 및 전류 공급선(220) 등의 배선이 기재(110) 위에 형성되어 있다. 게이트선(200, 202), 신호선(210) 및 전류 공급선(220)에 의해 정의되는 영역이 하나의 화소(160)이다. 게이트선(202)이나 신호선(212)은 도 2a에 도시된 화소(160)에 인접하는 화소(160)를 제어한다. 또한, 이들 배선의 일부는 인접하는 2개 또는 그 이상의 화소(160)와 공유되어 있어도 된다. 예를 들어 전류 공급선(220)은 화소(160)와 그것에 인접하는 화소(160)의 양쪽에서 공유되어 있어도 된다.
도 2a, 도 2b에 도시한 화소(160)는 2개의 트랜지스터(260, 270)를 갖고 있다. 게이트선(200)은 트랜지스터(260)에 게이트 신호를 전달하는 기능을 갖고 있으며, 게이트선(200)의 일부(도면 중, 하측 방향으로 돌출된 부분)가 트랜지스터(260)의 게이트 전극으로서 기능한다. 신호선(210)은 트랜지스터(260)에 영상 신호를 전달하는 기능을 갖고 있으며, 신호선(210)의 일부(도면 중, 우측 방향으로 돌출된 부분)가 트랜지스터(260)의 소스 전극으로서 기능한다. 신호선(210)에 의해 전달된 영상 신호는 반도체막(230)을 통해 트랜지스터(260)의 드레인 전극으로서 기능하는 배선(240)에 전달된다. 영상 신호는 또한 배선(242)을 통해 트랜지스터(270)에 전달된다. 즉, 배선(242)의 일부는 트랜지스터(270)의 게이트 전극으로서 기능하고, 트랜지스터(270)의 온-오프를 제어한다. 트랜지스터(270)는 소스 전극으로서 전류 공급선(220)의 일부(도면 중, 좌측 방향으로 돌출된 부분)를 갖고 있다. 전류 공급선(220)에 의해 공급되는 전류가 반도체막(232)을 통해 드레인 전극으로서 기능하는 배선(244)에 전달된다. 전술한 트랜지스터(260, 270)는, 신호선(210), 배선(240), 전류 공급선(220) 및 배선(244)의 전위에 따라서는, 소스ㆍ드레인의 정의가 역전되는 경우도 있다.
배선(244)은 콘택트 홀(250)을 통해 제1 전극(280)과 전기적으로 접속되어 있고, 전류 공급선(220)으로부터 공급되는 전류가 제1 전극(280)에 공급된다. 제1 전극(280) 위에는 격벽(340)으로서 기능하는 절연막(후술)이 형성되어 있고, 그 개구부(290)에 있어서 제1 전극(280)은 유기 EL층(350)(후술)과 접하고 있다. 도 2b에는, 화소(160)의 위, 아래, 우측에 인접하는 화소(160)의 제1 전극(280)의 일부가 도시되어 있다.
도 2b에서는, 제1 전극(280)은 거의 정사각형이며, 개구부(290)는 갈고리상의 형상으로 도시되어 있지만, 제1 전극(280)이나 개구부(290)의 형상에 제한은 없다. 제1 전극(280)이나 개구부(290)는 정사각형, 마름모꼴, 직사각형 등의 다각형이어도 되고, 원형이어도 된다. 개구부(290)가 다각형인 경우, 그 모서리는 곡선 형상이어도 된다. 여기에서는 화소(160)는 2개의 트랜지스터(260, 270)를 갖지만, 트랜지스터의 수에 제한은 없고, 3개 이상의 트랜지스터를 갖고 있어도 된다. 또한, 화소(160)는 트랜지스터 이외에 용량을 형성하기 위한 배선을 갖고 있어도 된다.
도 3, 도 4에 도 2b 중의 직선 A-B, C-D를 따른 단면의 모식도를 각각 도시한다. 도 3에 도시한 바와 같이 화소(160)는 기재(110) 위에 하지막(300)을 개재하여 반도체막(230)을 갖고 있다. 반도체막(230) 위에는 게이트 절연막(310), 게이트선(200), 층간 절연막(320)이 형성되어 있다. 트랜지스터(260)의 구성 요소인 반도체막(230)이나 게이트선(200)에 기인하는 요철을 흡수하여 평탄한 표면을 제공하기 위해, 층간 절연막(320) 위에는 평탄화막(330)이 형성되어 있다. 평탄화막(330) 위에는 화소(160) 및 그것에 인접하는 화소(160)의 제1 전극(280)이 형성되어 있다. 화소(160)는 제1 전극(280)의 단부를 덮는 격벽(340)을 더 갖고 있고, 이에 의해, 인접하는 화소(160)의 제1 전극(280)끼리가 서로 전기적으로 절연된다.
제1 전극(280), 격벽(340) 위에는 유기 화합물을 함유하는 유기 EL층(350)이 형성되어 있고, 그 위에는 제2 전극(360)이 형성되어 있다. 격벽(340)의 개구부(290)에 있어서 유기 EL층(350)과 제1 전극(280)이 물리적으로 접촉하고 있고, 제1 전극(280), 유기 EL층(350), 제2 전극(360)에 의해 발광 소자가 형성된다. 유기 EL층(350)과 제1 전극(280)이 접촉하고 있는 영역에 있어서 유기 EL층(350)으로부터의 발광이 얻어지고, 이 영역이 발광 소자의 발광 영역(400)이다. 따라서, 발광 영역(400)의 형상은 격벽(340)의 개구부(290)의 그것과 동일하다. 서로 인접하는 2개의 화소(160)의 발광 영역(400) 사이에 끼워진 영역이 비발광 영역(410)이다. 제2 전극(360) 위에는 밀봉막(380)이 형성되어 있다. 이 밀봉막(380)은 후술하는 바와 같이, 적어도 1층 이상 있으면 되고, 예를 들어 3층 구조이어도 된다. 밀봉막(380) 위에는, 임의의 구성으로서, 예를 들어 편광판(390) 등이 형성되어 있다. 여기에서는 도시하고 있지 않지만, 밀봉막(380) 위에는 컬러 필터나 차광막, 또는 이들 위에 형성되는 오버코트막 등이 형성되어 있어도 된다.
여기서 비발광 영역(410)에 있어서, 즉 인접하는 2개의 화소(160) 사이에 끼워진 영역에 있어서, 기재(110)의 다른 쪽의 면(저면)에는 홈(제1 홈)(170)이 형성되어 있다. 이 제1 홈(170)에 있어서의 기재(110)의 두께 T1은, 발광 영역(400) 아래에 있어서의 기재(110)의 두께 T2와 비교하여 작다. 도 5에 제1 홈(170)과 화소(160)의 위치 관계를 모식적으로 도시하지만, 제1 홈(170)은 게이트선(200)을 따라서 연장되어 있다.
마찬가지로 도 3에 도시한 바와 같이, 제2 전극(360) 위에 형성된 밀봉막(380)에도 홈(제2 홈)(180)이 형성되어 있다. 이 제2 홈(180)에 있어서의 밀봉막(380)의 두께 T3은, 발광 영역(400) 위에 있어서의 밀봉막(380)의 두께 T4와 비교하여 작다. 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 홈(180)도 게이트선(200)을 따라서 연장되어 있다.
도 4의 단면을 참조하면, 트랜지스터(260 또는 270)를 구성하는 게이트 절연막(310), 층간 절연막(320)이 하지막(300)을 개재하여 기재(110) 위에 형성되어 있다. 층간 절연막(320) 위에는 전류 공급선(220) 및 화소(160)에 인접하는 화소(160)의 신호선(212)이 형성되어 있다. 이들 배선 위에 트랜지스터(260 또는 270) 위에 형성되는 평탄화막(330)이 형성되어 있다. 도 3과 마찬가지로, 평탄화막(330) 위에는 화소(160)와 그것에 인접하는 화소(160)의 제1 전극(280), 격벽(340), 유기 EL층(350), 제2 전극(360), 밀봉막(380)이 형성되어 있다. 또한, 임의의 구성으로서, 편광판(390) 등이 형성되어 있다. 도 3과 마찬가지로, 밀봉막(380) 위에는 컬러 필터나 차광막, 또는 이들 위에 형성되는 오버코트막 등이 형성되어 있어도 된다.
도 3의 단면 구조와 마찬가지로, 도 4에 도시한 기재(110)의 저면에도 홈(제1 홈)(170)이 형성되어 있다. 이 제1 홈(170)에 있어서의 기재(110)의 두께 T1은, 발광 영역(400) 아래에 있어서의 기재(110)의 두께 T2와 비교하여 작다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이 제1 홈(170)은 신호선(210) 및 전류 공급선(220)을 따라서 연장되어 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 제2 전극(360) 위에 형성된 밀봉막(380)에도 홈(제2 홈)(180)이 형성되어 있다. 이 제2 홈(180)에 있어서의 밀봉막(380)의 두께 T3은, 발광 영역(400) 위에 있어서의 밀봉막(380)의 두께 T4와 비교하여 작다. 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 홈(180)도 신호선(210) 및 전류 공급선(220)을 따라서 연장되어 있다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 일부가 겹쳐 있지 않아도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220)과 겹쳐 있어도 되고, 이들 배선과 일부가 겹쳐 있지 않아도 된다.
상술한 바와 같이, 기재(110)로서 가요성을 갖는 필름을 사용함으로써, 표시 장치(100)는 가요성을 가질 수 있다. 상기 구성에서는, 비발광 영역(410)은 기재(110) 및 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작은 영역을 갖고 있다. 그리고 이 영역의 기재(110) 및 밀봉막(380)의 두께 T1, T3은, 발광 영역(400)의 그들 T2, T4보다도 각각 작다. 따라서 도 6에서 모식적으로 도시한 바와 같이, 표시 장치(100)를 절곡하거나 만곡하거나 하여 변형할 때, 발광 영역(400)보다도 비발광 영역(410)쪽이 보다 크게 변형된다. 환언하면, 발광 영역(400)을 변형시키지 않거나, 또는 변형을 최소로 하고, 또한, 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킴으로써 표시 장치(100) 전체를 변형할 수 있다.
가요성의 표시 장치를 변형하는 경우, 표시 장치를 구성하는 막의 경도나 두께가 각각 상이하기 때문에, 막의 경도에 큰 차가 있는 계면에서 박리가 발생하기 쉽다. 예를 들어 기재(110)나 밀봉막(380)은 다른 층과 비교하여 막 두께가 커서, 경도가 높다. 그 때문에, 변형 시에 기재(110)나 밀봉막(380)이 박리되기 쉽다. 발광 영역(400)이나 그 근방에 있어서 계면 박리가 발생한 경우, 발광 소자에의 대미지가 보다 현재화되어, 표시 불량을 초래한다.
이에 반해 본 실시 형태의 구성과 같이, 기재(110)나 밀봉막(380)의 일부에 홈(170, 180)을 형성하여 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킴으로써, 발광 영역(400)에 큰 부하가 걸리지 않도록 할 수 있다. 따라서, 표시 불량이 발생하기 어려워, 신뢰성이 높은 가요성 표시 장치를 제공할 수 있다.
(제2 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 실시 형태에서 설명한 표시 장치(100)의 제작 방법의 일례를 도 7 내지 도 12를 사용하여 설명한다. 각각의 도면에서는, 도 2b의 직선 A-B와 C-D를 따른 단면 구조가 도시되어 있다.
먼저, 릿지(422, 424)가 형성된 지지 기판(420)을 준비한다(도 7a). 지지 기판(420)에는 유리나 석영, 세라믹, 또는 금속 등을 사용할 수 있다. 릿지(422, 424)는 예를 들어 평탄한 기판을 에칭하여 형성해도 되고, 또는 평탄한 기판 위에 절연물 등의 구조체를 형성함으로써 형성해도 된다.
다음에 지지 기판(420) 위에 기재(110)를 형성한다(도 7b). 기재(110)에는 가요성을 갖는 재료를 사용하면 되고, 예를 들어 폴리이미드나 폴리아미드, 폴리에스테르, 에폭시 수지 등의 고분자 재료 또는 그 전구체를 사용할 수 있다. 이들 재료에 유리의 미립자나 섬유가 혼합되어 있어도 된다. 기재(110)는 스핀 코트법이나 잉크젯법, 인쇄법, 딥 코팅법 등을 사용하여 형성할 수 있다. 또는 시트 형상의 고분자를 지지 기판(420) 위에 압착하여 기재(110)를 형성해도 된다. 도 7a, 도 7b에 있어서는, 지지 기판(420) 위의 릿지(422, 424)에 기인하는 요철을 흡수하여 평탄한 표면을 제공하도록 기재(110)가 형성되어 있다. 기재(110)의 막 두께로서는, 3㎛ 이상 100㎛ 이하, 바람직하게는 5㎛ 이상 50㎛ 이하, 보다 바람직하게는 10㎛ 이상 20㎛ 이하이다.
이 후, 기재(110) 위에 하지막(300)을 형성한다(도 7c). 하지막(300)은 기재(110)나 지지 기판(420)으로부터 불순물의 확산을 방지하는 기능을 갖고, 예를 들어 산화규소나 질화산화규소, 산화질화규소, 질화규소 등의 무기 화합물을 사용하여, 화학 기상 성장법(CVD) 등으로 형성된다. 도 7c에서는 하지막(300)이 단층 구조를 갖도록 도시되어 있지만, 하지막(300)은 복수의 무기 화합물의 층이 적층된 구조를 갖고 있어도 된다.
다음에 도 8a에 도시한 바와 같이, 하지막(300) 위에 반도체막(230)(및 반도체막(232))을 형성한다. 반도체막(230)은 실리콘이나 산화물 반도체를 포함할 수 있고, CVD나 스퍼터링법에 의해 형성할 수 있다. 결정성도 임의로 선택할 수 있고, 아몰퍼스, 미결정, 다결정, 단결정 중 어느 것이어도 된다. 반도체막(230)(및 반도체막(232)) 위에 게이트 절연막(310)을 단층, 또는 적층 구조로 형성한다(도 8b). 게이트 절연막(310)은 하지막(300)에서 사용하는 재료를 적절히 조합하여 형성할 수 있다.
다음에 도 8c에 도시한 바와 같이, 게이트선(200)을 게이트 절연막(310) 위에 형성한다. 게이트선(200)은 알루미늄이나 구리, 티타늄, 몰리브덴, 탄탈륨, 텅스텐 등의 금속을 단층, 또는 적층 구조로 형성할 수 있다. 예를 들어 알루미늄이나 구리 등의 도전성이 높은 금속과, 티타늄이나 몰리브덴 등의 블로킹성이 높은 금속을 적층하여 게이트선(200)을 형성해도 된다. 게이트선(200)의 형성 방법으로서는, 예를 들어 CVD법이나 스퍼터링법 등을 들 수 있다. 게이트선(200)이 반도체막(230)과 겹치는 영역은 트랜지스터(260)의 게이트 전극으로서 기능한다. 또한 도시하고 있지 않지만, 게이트선(200)과 동일층에 존재하는 배선(242) 등도 동시에 형성된다.
다음에 게이트선(200) 위에 층간 절연막(320)을 형성한다(도 9a). 층간 절연막(320)은 하지막(300)이나 게이트 절연막(310)에서 사용하는 재료를 적절히 조합하여, 단층 또는 적층 구조로 형성할 수 있다. 또한, 도시하지 않지만, 층간 절연막(320)을 형성한 후에, 신호선(210, 212), 전류 공급선(220) 등의 배선이 형성된다. 또한, 게이트선(200), 신호선(210, 212), 전류 공급선(220) 등의 배선은, 릿지(422, 424)를 따라서 형성한다. 이들 배선의 각각은 릿지(422, 424)와 일부, 또는 전부가 겹쳐 있어도 된다.
여기까지의 스텝에 의해, 지지 기판(420) 위에는 요철이 발생하였지만, 층간 절연막(320) 위에 평탄화막(330)을 형성함으로써 이 요철을 흡수하여, 평탄한 표면을 제공할 수 있다(도 9b). 평탄화막(330)은 예를 들어 에폭시 수지나 폴리이미드, 폴리실록산 등의 고분자 재료를 사용하고, 스핀 코트법이나 딥 코팅법, 인쇄법 등에 의해 형성할 수 있다. 또한 도시하고 있지 않지만, 평탄화막(330) 위에 보호막, 예를 들어 무기 절연막으로 형성된 보호막을 더 형성해도 된다.
다음에 발광 소자의 제1 전극(280)을 평탄화막(330) 위에 형성한다(도 9c). 제1 전극(280)에는, 가시광을 반사하는 금속이나, 가시광을 투과하는 도전성 산화물 등을 사용할 수 있다. 발광 소자로부터의 발광을 기재(110)측으로부터 취출하는 경우에는, 예를 들어 인듐-주석 산화물(ITO)이나 인듐-아연 산화물(IZO) 등의 투광성을 갖는 도전성 산화물을 사용하고, 스퍼터링법이나 졸-겔법 등을 적용하여 제1 전극(280)을 형성하면 된다. 반대로, 발광 소자로부터의 발광을 기재(110)와는 반대측으로부터 취출하는 경우에는, 예를 들어 알루미늄이나 은 등의 반사율이 높은 금속을 제1 전극(280)에 사용하면 된다. 이때, 이들 금속 위에 도전성 산화물을 적층해도 된다.
다음에 제1 전극(280)의 단부를 덮도록 절연막을 형성하고, 격벽(340)을 형성한다(도 10a). 격벽(340)은 제1 전극(280)의 단부를 덮음으로써 제1 전극(280)과 제2 전극(360) 간의 쇼트를 방지할 뿐만 아니라, 인접하는 화소(160)끼리를 분리하는 기능을 갖는다. 격벽(340)에는, 예를 들어 폴리이미드나 폴리아미드, 에폭시 수지, 폴리실록산 등의 고분자 재료를 사용할 수 있다.
격벽(340)의 형성 후, 유기 EL층(350), 및 제2 전극(360)을 형성한다(도 10b). 유기 EL층(350)은 제1 전극(280)과 제2 전극(360)으로부터 주입된 전하의 재결합을 담당하는 층이며, 각종 기능층을 조합하여 형성된다. 예를 들어 유기 EL층(350)은 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층, 홀 블록층, 전자 블록층 등을 조합하여 형성된다. 성막 방법으로서, 증착법이나 잉크젯법, 스핀 코팅법 등을 적용할 수 있다. 제2 전극(360)에는, 제1 전극(280)과 마찬가지의 재료를 사용할 수 있다. 유기 EL층(350)으로부터의 발광을 제1 전극(280)측으로부터 취출하는 경우에는, 제2 전극(360)에는 가시광에 대하여 높은 반사율을 갖는 재료를 사용하는 것이 바람직하고, 예를 들어 은이나 알루미늄 등을 사용할 수 있다. 이들 재료에 증착법, 또는 스퍼터링법 등을 적용하여, 제2 전극(360)을 형성할 수 있다. 한편 제2 전극(360)측으로부터 광을 취출하는 경우, ITO나 IZO 등의 도전성 산화물을 사용할 수 있다. 또는, 마그네슘이나 은, 또는 이들의 합금을 사용하여, 가시광이 투과할 정도의 두께(수∼수십㎚)로 제2 전극(360)을 형성할 수 있다. 이들 금속 또는 합금 위에 도전성 산화물을 적층시켜 제2 전극(360)을 형성해도 된다.
다음에, 제2 전극(360) 위에 밀봉막(380)을 형성한다(도 11a). 이 밀봉막(380)은 외부로부터 발광 소자에 물이나 산소 등의 불순물이 침입하는 것을 방지하는 기능을 갖는다. 밀봉막(380)에는 제2 홈(180)이 형성된다. 제2 홈(180)에 의해, 비발광 영역(410)에 있어서, 부분적으로 밀봉막(380)의 두께를 작게 할 수 있다. 제2 홈(180)은 게이트선(200), 신호선(210, 212), 전류 공급선(220) 등의 배선을 따라서 형성할 수 있다. 또한, 제2 홈(180)은 이들 배선의 각각의 일부, 또는 전부와 겹치도록 형성해도 된다.
여기서, 밀봉막(380)은 발광 소자에 산소나 물 등의 불순물의 침입을 방지하는 밀봉 기능을 갖고, 예를 들어 산화규소나 질화규소, 산화질화규소, 질화산화규소 등의 무기 화합물을 포함하는 무기 절연막을 사용할 수 있다. 또는 아크릴 수지 등의 유기 화합물을 포함하는 유기 절연막을 사용해도 된다. 이들 재료는 적층되어 있어도 되고, 예를 들어 아크릴 수지를 포함하는 유기 절연막을 질화규소나 산화규소의 막에 의해 끼움 지지한 구조를 갖는 필름을 밀봉막(380)으로서 사용해도 된다. 이 경우, 복수의 층 중, 1개 이상의 층에 홈을 형성함으로써, 제2 홈(180)을 형성할 수 있다. 상기 무기 절연막이나 유기 절연막은, 스퍼터링법, 증착법 등의 물리적 기상 성장법, CVD법, 스핀 코트법, 잉크젯법, 인쇄법 등의 액상법, 또는 라미네이트법 등을 적절히 조합하여 형성할 수 있다. 또한, 제2 홈(180)은 에칭이나 나노 임프린트법 등에 의해 형성할 수 있다.
또한, 상기 3층 구조에 대한 예를 도 33a, 도 33b에 도시한다. 도 33a, 도 33b에 있어서, 밀봉막(380)은 무기 절연막(381, 383)과, 이들 2개의 막에 끼움 지지된 유기 절연막(382)의 3층을 포함한다. 도 33a에 있어서는, 제2 홈(180)은 무기 절연막(381)에 형성되고, 이 형상이 유기 절연막(382)과 무기 절연막(383)에 반영된다. 이 경우, 무기 절연막(381)의 두께가 발광 영역(400) 내보다도 비발광 영역(410) 내쪽이 작아지도록 함으로써, 제2 홈(180)을 형성할 수 있다. 한편 도 33b에 있어서는, 제2 홈(180)은 유기 절연막(382)에 형성되고, 이 형상이 무기 절연막(383)에 반영된다. 이 경우, 유기 절연막(382)의 두께가 발광 영역(400) 내보다도 비발광 영역(410) 내쪽이 작아지도록 함으로써, 제2 홈(180)을 형성할 수 있다. 도 33b에 도시한 바와 같이, 비발광 영역(410)에 있어서 2개의 무기 절연막(381과 383)이 서로 접촉해도 된다.
다음에, 밀봉막(380) 위에 편광판(390)을 형성한다(도 11b). 편광판(390)으로서는 직선 편광판이나 원 편광판 등을 사용할 수 있고, 라미네이트법 등을 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 편광판(390)은 형성하지 않아도 된다. 도시하고 있지 않지만, 밀봉막(380)이나 편광판(390) 위, 또는 아래에 컬러 필터나 차광막 등을 형성해도 된다.
다음에, 지지 기판(420)을 도 11b 중 화살표로 나타낸 계면을 따라서 기재(110)로부터 분리한다(도 12). 분리는, 표시 장치(100)의 상하를 흡인 척 등으로 고정하고, 물리적으로 지지 기판(420)을 박리함으로써 행할 수 있다. 분리 전에 레이저를 기재(110)에 대하여 조사하여, 기재(110)와 지지 기판(420) 사이의 접착력을 저하시켜도 된다.
이상의 공정을 거침으로써, 비발광 영역(410)에 있어서 기재(110)와 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작은 가요성의 표시 장치(100)를 제작할 수 있다. 이 표시 장치(100)는 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제3 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1, 제2 실시 형태에서 설명한 화소(160)와는 상이한 구조를 갖는 화소(160)에 대하여, 도 13a, 도 13b를 사용하여 설명한다. 도 13a, 도 13b는 각각 도 2b의 직선 A-B, C-D를 따른 단면도에 상당한다. 제1, 제2 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다.
도 13a, 도 13b에 도시한 바와 같이, 제1, 제2 실시 형태와 달리 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)의 화소(160)에서는, 기재(110)는 제1 홈(170)을 갖고 있지만, 밀봉막(380)은 제2 홈(180)을 갖고 있지 않다. 이 경우라도, 비발광 영역(410)의 일부에서는 기재(110)의 두께가 작게 되어 있다. 이 부분에서는 기재(110)의 두께 T1은 발광 영역(400)에 있어서의 기재(110)의 두께 T2보다도 작다. 따라서 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제4 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 내지 제3 실시 형태에서 설명한 화소(160)와는 상이한 구조를 갖는 화소(160)에 대하여, 도 14, 도 15를 사용하여 설명한다. 도 14, 도 15는 도 2b의 직선 A-B를 따른 단면도에 상당한다. 제1 내지 제3 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다.
도 14에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 화소(160)의 기재(110)는 제1 홈(170)을 갖고 있고, 밀봉막(380)은 제2 홈(180)을 갖고 있다. 그러나 제1 내지 제3 실시 형태와 달리 기재(110)는 제1 홈(170)에 기인하여 그 상면에 돌기를 갖고 있다. 즉, 기재(110)는 제1 홈(170)과 겹치는 릿지(190)를 갖고 있다. 이 릿지(190)는 기재(110)를 형성할 때에 예를 들어 라미네이트법 등을 적용함으로써 형성할 수 있다. 또는, 제1 내지 제3 실시 형태와 비교하여 기재(110)의 두께를 작게 함으로써 릿지(190)를 형성할 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 화소(160)의 밀봉막(380)은, 도 15에 도시한 바와 같이, 제2 홈(180)을 갖지 않고, 제1 홈(170)과 겹치는 영역은 평탄한 상면을 갖고 있어도 된다.
릿지(190)를 갖도록 기재(110)를 형성함으로써, 비발광 영역(410)의 기재(110)의 일부의 두께를 더욱 작게 할 수 있어, 보다 선택적으로 비발광 영역(410)을 변형할 수 있다. 이 때문에, 표시 장치(100)의 변형 시에 있어서, 발광 영역(400)에 대한 부하를 더욱 작게 할 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제5 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 레이아웃이 제1 내지 제4 실시 형태에서 설명한 그것과 상이한 표시 장치(100)에 대하여, 도 16 내지 도 18을 사용하여 설명한다. 제1 내지 제4 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다. 또한, 보기 쉬움을 고려하여, 도 16 내지 도 18에서는 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 등의 배선은 도시하고 있지 않다.
제1 실시 형태의 표시 장치(100)에서는, 도 5에 도시한 바와 같이, 인접하는 화소(160)의 사이의 모든 비발광 영역(410)에 제1 홈(170)과 제2 홈(180)을 갖고 있다. 이에 반해 본 실시 형태에서는 도 16 내지 도 18에 도시한 바와 같이, 비발광 영역(410)의 일부에 제1 홈(170)과 제2 홈(180)이 선택적으로 형성되어 있다.
보다 구체적으로는 도 16에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 각각, 복수의 화소(160)마다, 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 등의 배선과 평행하게 형성할 수 있다. 도 16에서는 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 2개의 화소(160)마다 형성되고, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 각각에 의해 정의되는 최소 면적에는 4개의 화소(160)가 2행 2열의 매트릭스 형상으로 배치되어 있다. 단 본 실시 형태의 표시 장치(100)는 이 구성에 한정되지 않고, 예를 들어 3개의 화소마다, 또는 4개의 화소마다 제1 홈(170)과 제2 홈(180)이 형성되어 있어도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 각각에 의해 형성되는 최소 면적에 포함되는 화소(160)의 수에도 제약은 없고, 매트릭스의 행과 열의 수도 서로 달라도 된다.
도 16에서 도시한 구성을 채용함으로써, 제1 내지 제4 실시 형태에서 나타낸 표시 장치(100)와 비교하여, 표시 장치(100)에 어느 정도의 물리적 강도를 부여할 수 있다. 환언하면, 표시 장치(100)의 유연성을 용이하게 제어할 수 있다.
또는 도 17에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 게이트선(200)과 신호선(210) 중 어느 하나에 평행한 방향으로만 형성해도 된다. 도 17에서는 신호선(210)을 따라서 연장되도록, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)이 형성되어 있다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 복수의 화소(160)마다 형성되어도 되고, 이 경우, 인접하는 제1 홈(170) 또는 제2 홈(180)은 복수 행, 또는 복수 열에 배치된 복수의 화소(160)를 사이에 두고 형성된다.
도 17과 같은 구성을 채용함으로써, 표시 장치(100)의 구부리는 방향에 따라서 유연성을 변화시킬 수 있다. 도 17의 구성에서는, 신호선(210)이 구부러지도록 변형시키는 것보다도, 게이트선(200)이 구부러지도록 변형하는 쪽이 용이해진다. 이와 같이, 도 17에서 도시한 구성은, 표시 장치(100)의 변형 방향을 제어하는 경우에 적합하다.
또는 도 18에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)은 게이트선(200)과 신호선(210)에 평행한 방향으로 연장되고, 또한 서로 분단된 복수의 홈을 제공하도록 형성해도 된다. 제2 홈(180)도 마찬가지이며, 게이트선(200)과 신호선(210)에 평행한 방향으로 연장되고, 또한 서로 분단된 복수의 홈을 제공하도록 형성할 수 있다. 이 경우, 제1 홈(170), 제2 홈(180)은 십자를 형성한다.
도 18의 구성을 채용함으로써, 도 16의 구성과 마찬가지로, 표시 장치(100)에 어느 정도의 물리적 강도를 부여할 수 있어, 표시 장치(100)의 유연성을 용이하게 제어할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제3 실시 형태에서 나타낸 바와 같이 제2 홈(180)은 형성하지 않아도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상은 서로 달라도 된다. 예를 들어 제1 홈(170)이 도 16에 도시한 바와 같이 배치되고, 제2 홈(180)이 도 17에서 도시한 바와 같이 배치되어도 된다.
제1 내지 제4 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 비발광 영역(410)에 있어서 기재(110)와 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작다. 따라서 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제6 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 레이아웃 및 화소(160)의 레이아웃이 제1 내지 제5 실시 형태에서 설명한 그것과 상이한 표시 장치(100)에 대하여, 도 19 내지 도 22를 사용하여 설명한다. 제1 내지 제4 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다. 또한, 보기 쉬움을 고려하여, 도 20 내지 도 22에서는 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 등의 배선은 도시하고 있지 않다.
도 19a에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 표시 장치(100)에서는, 화소(160)는 펜타일 배열을 갖고 있다. 게이트선(200)이나 신호선(210)은 화소마다 굴곡된 구조를 갖고 있지만, 전체로서는 표시 영역(120)의 짧은 변, 또는 긴 변 방향으로 연장되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 표시 장치(100)에 있어서의 화소(160)의 배열은 펜타일 배열에 한정되지 않고, 스트라이프 배열이어도 모자이크 배열이어도 된다. 발광 영역(400)의 형상도 도 19a에서는 마름모꼴의 형상을 하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 원형 또는 정사각형이나 직사각형 등의 다각형이어도 된다. 발광 영역(400)의 모서리도 곡선 형상에 한정되지 않는다.
도 19b에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 표시 장치(100)의 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 표시 영역(120)의 짧은 변, 또는 긴 변에 대하여 경사 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 따라서, 제1 홈(170)은 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 중 어느 것과도 교차한다. 마찬가지로 제2 홈(180)도 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 중 어느 것과도 교차한다.
도 19b에 도시한 바와 같은 레이아웃으로 제1 홈(170)과 제2 홈(180)을 형성함으로써, 표시 영역(120)의 짧은 변, 또는 긴 변에 대하여 경사 방향으로 표시 장치(100)를 구부리거나 절곡하거나 하는 것이 용이해진다.
또는 도 20에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 각각, 복수의 화소(160)마다 형성할 수 있다. 도 20에서는 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 2개의 화소(160)마다 형성되고, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 각각에 의해 정의되는 최소 면적에는 4개의 화소(160)가 배치되어 있다. 단 본 실시 형태의 표시 장치(100)는 이 구성에 한정되지 않고, 예를 들어 3개의 화소(160)마다, 또는 4개의 화소(160)마다 제1 홈(170)과 제2 홈(180)이 형성되어 있어도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 각각에 의해 형성되는 최소 면적에 포함되는 화소(160)의 수에도 제약은 없다.
도 20에서 도시한 구성을 채용함으로써, 제1 내지 제4 실시 형태에서 나타낸 표시 장치(100)와 비교하여, 표시 장치(100)에 어느 정도의 물리적 강도를 부여할 수 있다. 환언하면, 표시 장치(100)의 유연성을 용이하게 제어할 수 있다.
또는 도 21에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 각각 일방향으로 연장되도록, 형성할 수 있다. 즉, 제1 홈(170) 모두, 제2 홈(180) 모두가 동일한 방향의 벡터를 갖도록 형성할 수 있다.
도 21에 도시한 구성을 채용함으로써, 표시 영역(120)의 짧은 변이나 긴 변에 대하여 경사 방향으로, 또한 일방향으로 보다 변형하기 쉬워진다. 즉, 변형 방향을 제어하는 것이 가능해진다.
또는 도 22에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)은 모두 일방향으로 연장되고, 또한 서로 분단된 복수의 홈을 제공하도록 형성해도 된다. 제2 홈(180)도 마찬가지이며, 모두 일방향으로 연장되고, 또한 서로 분단된 복수의 홈을 제공하도록 형성해도 된다. 이 경우도, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 모두 동일한 방향의 벡터를 갖는다.
도 22의 구성을 채용함으로써, 표시 장치(100)에 어느 정도의 물리적 강도를 부여할 수 있어, 표시 장치(100)의 유연성을 용이하게 제어할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제3 실시 형태에서 나타낸 바와 같이 제2 홈(180)은 형성하지 않아도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상은 서로 달라도 된다. 예를 들어 제1 홈(170)이 도 19에 도시한 바와 같이 배치되고, 제2 홈(180)이 도 20에 도시한 바와 같이 배치되어도 된다.
제1 내지 제5 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 비발광 영역(410)에 있어서 기재(110)와 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작다. 따라서 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제7 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상이 제1 내지 제6 실시 형태에서 설명한 그것과 상이한 표시 장치(100)에 대하여, 도 23 내지 도 26을 사용하여 설명한다. 제1 내지 제6 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다. 또한, 보기 쉬움을 고려하여, 도 24 내지 도 26에서는 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 등의 배선은 도시하고 있지 않다.
본 실시 형태의 표시 장치(100)에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)이 곡선으로 나타내어지도록 형성된다. 구체적으로는, 예를 들어 도 23에서 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 게이트선(200), 신호선(210), 또는 전류 공급선(220) 중 어느 하나를 따라서, 파상으로 연장되어 있다. 이와 같은 형상을 갖는 제1 홈(170)과 제2 홈(180)을 형성함으로써, 표시 장치(100)는 다양한 방향으로 변형되는 것이 가능해진다.
또는 도 24에서 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 각각 파상의 형상을 갖고, 또한, 복수의 화소(160)마다 형성할 수 있다. 도 24에서는 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 2개의 화소(160)마다 형성되고, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 각각에 의해 정의되는 최소 면적에는 4개의 화소(160)가 2행 2열의 매트릭스 형상으로 배치되어 있다. 단 본 실시 형태의 표시 장치(100)는 이 구성에 한정되지 않고, 예를 들어 3개의 화소마다, 또는 4개의 화소마다 제1 홈(170)과 제2 홈(180)이 형성되어 있어도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 각각에 의해 형성되는 최소 면적에 포함되는 화소(160)의 수에도 제약은 없고, 매트릭스의 행과 열의 수도 서로 달라도 된다.
도 24에서 도시한 구성을 채용함으로써, 제1 내지 제4 실시 형태에서 나타낸 표시 장치(100)와 비교하여, 표시 장치(100)에 어느 정도의 물리적 강도를 부여할 수 있다. 환언하면, 표시 장치(100)의 유연성을 용이하게 제어할 수 있다.
또는 도 25나 도 26에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 파상의 형상을 갖고, 또한, 게이트선(200)과 신호선(210) 중 어느 하나에 평행한 방향으로만 형성해도 된다. 제1 홈(170)과 제2 홈(180)은 복수의 화소(160)마다 형성되어도 되고, 이 경우, 인접하는 제1 홈(170) 또는 제2 홈(180)은 복수 행, 또는 복수 열에 배치된 화소(160)를 사이에 두고 형성된다.
도 25나 도 26과 같은 구성을 채용함으로써, 표시 장치(100)의 구부리는 방향에 따라서 유연성을 변화시킬 수 있다. 도 25의 구성에서는, 신호선(210)이 구부러지도록 변형시키는 것보다도, 게이트선(200)이 구부러지도록 표시 장치(100)를 변형하는 쪽이 보다 용이해진다. 반대로 도 26의 구성에서는, 게이트선(200)이 구부러지도록 표시 장치(100)를 변형시키는 것보다도, 신호선(210)이 구부러지도록 변형하는 쪽이 보다 용이해진다. 이와 같이, 도 24, 도 25에서 도시한 구성은, 표시 장치(100)의 변형 방향을 제어하는 경우에 적합하다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제3 실시 형태에서 나타낸 바와 같이 제2 홈(180)은 형성하지 않아도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상은 서로 달라도 된다. 예를 들어 제1 홈(170)이 도 23에 도시한 바와 같이 배치되고, 제2 홈(180)이 도 24에서 도시한 바와 같이 배치되어도 된다.
제1 내지 제6 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 비발광 영역(410)에 있어서 기재(110)와 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작다. 따라서 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제8 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상이 제1 내지 제7 실시 형태에서 설명한 그것과 상이한 표시 장치(100)에 대하여, 도 27, 도 28을 사용하여 설명한다. 제1 내지 제7 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다. 또한, 보기 쉬움을 고려하여, 도 28에서는 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 등의 배선은 도시하고 있지 않다.
본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 제1 홈(170)은 서로 독립되고, 또한 폐쇄된 평면 형상을 복수 제공한다. 마찬가지로 제2 홈(180)도, 서로 독립되고, 또한 폐쇄된 평면 형상을 복수 제공한다. 예를 들어 도 27에 도시한 바와 같이, 표시 장치(100)는 델타 배열된 화소(160)를 갖고 있고, 인접하는 4개의 화소(160)를 둘러싸도록, 평행사변형의 폐쇄된 형상을 제공하도록 제1 홈(170), 제2 홈(180)이 형성되어 있다.
이 구성에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180) 각각에 의해 정의되는 최소 면적에는 4개의 화소(160)가 배치되어 있다. 단 본 실시 형태의 표시 장치(100)는 이 구성에 한정되지 않고, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 각각에 의해 정의되는 최소 면적에 포함되는 화소(160)의 수에 제약은 없다. 또한, 화소(160)의 배열도 델타 배열에 한정되지 않고, 제1 홈(170), 제2 홈(180)이 제공하는 폐쇄된 형상도 평행사변형에 한정되지 않는다
도 27에서 도시한 구성을 채용함으로써, 제1 내지 제4 실시 형태에서 나타낸 표시 장치(100)와 비교하여, 표시 장치(100)에 어느 정도의 물리적 강도를 부여할 수 있다. 환언하면, 표시 장치(100)의 유연성을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 표시 영역(120)의 짧은 변, 또는 긴 변 방향뿐만 아니라, 경사 방향(도 27 중의 화살표의 방향)의 변형도 용이해진다.
도 28에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 제1 홈(170), 제2 홈(180) 각각이 제공하는 복수의 폐쇄된 평면 형상은, 서로 선대칭의 관계이어도 된다. 도 28에 예시한 표시 장치(100)에서는, 한 쌍의 폐쇄된 형상 a, b는, 화소(160a)를 포함하는 행에 대하여 선대칭의 관계에 있다. 이와 같은 구성을 채용함으로써도, 표시 영역(120)의 짧은 변, 또는 긴 변 방향뿐만 아니라, 2개의 경사 방향(도 28 중의 화살표의 방향)의 변형도 용이해진다.
또한 본 실시 형태에서는, 제3 실시 형태에서 나타낸 바와 같이 제2 홈(180)은 형성하지 않아도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상은 서로 달라도 된다. 예를 들어 제1 홈(170)이 도 27에 도시한 바와 같은 형상을 제공하고, 제2 홈(180)이 도 28에서 도시한 형상을 제공하도록 배치해도 된다.
제1 내지 제7 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 비발광 영역(410)에 있어서 기재(110)와 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작다. 따라서 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제9 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상이 제1 내지 제8 실시 형태에서 설명한 그것과 상이한 표시 장치(100)에 대하여, 도 29, 도 30을 사용하여 설명한다. 제1 내지 제8 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다. 또한, 보기 쉬움을 고려하여, 도 30에서는 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 등의 배선은 도시하고 있지 않다.
도 29에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 복수의 제1 홈(170), 복수의 제2 홈(180)은 지그재그 구조를 갖고 있고, 각각 게이트선(200)을 따라서 인접하는 2개의 화소(160) 사이에 끼워지는 영역에 있어서 신호선(210)과 비스듬히 교차한다. 또한, 그 영역에 있어서의 복수의 제1 홈(170)의 벡터는 서로 동일하다. 이와 같은 구성을 채용함으로써, 표시 영역(120)의 긴 변 방향뿐만 아니라, 경사 방향(도 29 중의 화살표의 방향)의 변형도 용이해진다.
또는 도 30에 도시한 바와 같이, 복수의 제1 홈(170), 복수의 제2 홈(180)은 지그재그 구조를 갖고 있고, 각각 게이트선(200)을 따라서 인접하는 2개의 화소(160) 사이에 끼워지는 영역에 있어서 신호선(210)과 비스듬히 교차한다. 또한, 그 영역에 있어서의 제1 홈(170)의 벡터가, 인접하는 제1 홈(170)과 상이하도록 복수의 제1 홈(170)이 형성되어 있다. 마찬가지로, 그 영역에 있어서의 복수의 제2 홈(180)의 벡터가, 인접하는 제2 홈(180)과 서로 다르도록 제2 홈(180)이 형성되어 있다. 이와 같은 구성을 채용함으로써, 표시 영역(120)의 긴 변 방향뿐만 아니라, 2개의 경사 방향(도 30 중의 화살표의 방향)의 변형도 용이해진다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제3 실시 형태에서 나타낸 바와 같이 제2 홈(180)은 형성하지 않아도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상은 서로 달라도 된다. 예를 들어 제1 홈(170)이 도 29에 도시한 바와 같이 배치되고, 제2 홈(180)이 도 30에서 도시한 바와 같이 배치되어도 된다.
제1 내지 제8 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 비발광 영역(410)에 있어서 기재(110)와 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작다. 따라서 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
(제10 실시 형태)
본 실시 형태에서는, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상이 제1 내지 제9 실시 형태에서 설명한 그것과 상이한 표시 장치(100)에 대하여, 도 31, 도 32를 사용하여 설명한다. 제1 내지 제9 실시 형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다. 또한, 보기 쉬움을 고려하여, 도 31, 도 32에서는 게이트선(200), 신호선(210), 전류 공급선(220) 등의 배선은 도시하고 있지 않다.
본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 제1 홈(170), 제2 홈(180)은 복수의 폐쇄된 형상의 다각형을 제공하도록, 또한, 인접하는 다각형의 사이에서 1개의 변이 공유되도록 형성되어 있다. 예를 들어 도 31에 도시한 바와 같이, 제1 홈(170)은 폐쇄된 형상의 육각형을 제공하도록 형성되어 있다. 또한, 인접하는 육각형은 1개의 변을 공유하고 있다. 이 때문에, 복수의 폐쇄된 형상은 하니컴 패턴을 형성한다.
1개의 폐쇄된 형상 내에서는 7개의 화소(160)가 포함되어 있고, 그 중 6개의 화소(160)는 육각형의 정점에 위치하고 있다. 단, 본 실시 형태는 이와 같은 형태에 한정되지 않고, 1개의 폐쇄된 형상에 포함되는 화소(160)의 수는 7개에 한정되는 것은 아니다.
또한, 폐쇄된 형상의 다각형은 육각형에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 도 32에 도시한 바와 같이, 삼각형이어도 된다. 여기에서도 삼각형의 1변은 인접하는 삼각형에 의해 공유되고 있다. 도 32에서는 하나의 폐쇄된 형상의 삼각형 내에 3개의 화소(160)가 포함되는 예를 도시하고 있지만, 본 실시 형태는 이것에 한정되는 것은 아니고, 4개 이상의 화소(160)가 포함되어 있어도 된다. 이와 같은 구성을 채용함으로써, 표시 영역(120)의 긴 변 방향뿐만 아니라, 2개의 경사 방향(도 31, 32 중의 화살표의 방향)의 변형도 용이해진다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제3 실시 형태에서 나타낸 바와 같이 제2 홈(180)은 형성하지 않아도 된다. 또한, 제1 홈(170)과 제2 홈(180)의 형상은 서로 달라도 된다. 예를 들어 제1 홈(170)이 도 31에 도시된 바와 같은 형상을 제공하고, 제2 홈(180)이 도 32에서 도시한 형상을 제공하도록 배치되어도 된다.
제1 내지 제9 실시 형태와 마찬가지로, 본 실시 형태에 따른 표시 장치(100)에서는, 비발광 영역(410)에 있어서 기재(110)와 밀봉막(380)의 두께가 부분적으로 작다. 따라서 비발광 영역(410)을 선택적으로 변형시킬 수 있고, 발광 영역(400)에 부하를 가하지 않고 표시 장치(100) 전체를 변형시킬 수 있다. 그 결과, 표시 불량의 발생을 억제하여, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 실시 형태로서 상술한 각 실시 형태는, 서로 모순되지 않는 한에 있어서, 적절히 조합하여 실시할 수 있다. 또한, 각 실시 형태의 표시 장치를 기초로 하여, 당업자가 적절히 구성 요소의 추가, 삭제 또는 설계 변경을 행한 것, 또는, 공정의 추가, 생략 또는 조건 변경을 행한 것도, 본 발명의 요지를 구비하고 있는 한, 본 발명의 범위에 포함된다.
본 명세서에 있어서는, 개시예로서 주로 EL 표시 장치의 경우를 예시하였지만, 다른 적용예로서, 그 밖의 자발광형 표시 장치, 액정 표시 장치, 또는 전기 영동 소자 등을 갖는 전자 페이퍼형 표시 장치 등, 모든 플랫 패널형의 표시 장치를 들 수 있다. 또한, 중소형부터 대형까지, 특별히 한정되지 않고 적용이 가능하다.
상술한 각 실시 형태의 형태에 의해 얻어지는 작용 효과와는 상이한 다른 작용 효과라도, 본 명세서의 기재로부터 명확한 것, 또는, 당업자에게 있어서 용이하게 예측할 수 있는 것에 대해서는, 당연히 본 발명에 의해 얻어지는 것으로 이해된다.

Claims (20)

  1. 기재와,
    상기 기재의 제1 면 위에 위치하고, 각각 발광 영역을 갖는 복수의 발광 소자와,
    상기 복수의 발광 소자 위의 무기 절연막
    을 갖고,
    상기 기재는, 상기 기재의 제2 면에, 상기 복수의 발광 소자로부터 선택되는 인접하는 2개의 발광 소자의 발광 영역 사이에 끼워진 비발광 영역과 겹치는 제1 홈을 갖고,
    상기 복수의 발광 소자의 각각은, 제1 전극, 상기 제1 전극 상의 유기층, 및 상기 유기층 상의 제2 전극을 갖고, 상기 유기층으로부터의 발광이 제2 전극으로부터 취출되도록 구성되고,
    상기 무기 절연막은, 상기 제1 홈과 겹치는 제2 홈을 갖는 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 홈 내의 기재의 두께는, 상기 발광 소자의 발광 영역 아래에 있어서의 상기 기재의 두께보다도 작은 표시 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 홈은 상기 제1 홈을 따라서 연장되어 있는 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 무기 절연막 위에 유기 절연막을 갖고,
    상기 유기 절연막이, 상기 제1 홈과 겹치는 제3 홈을 갖는 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제3 홈은 상기 제1 홈을 따라서 연장되어 있는 표시 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제3 홈이 형성된 영역 내에 있어서의 상기 무기 절연막 및 상기 유기 절연막의 두께는, 상기 제3 홈이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 상기 무기 절연막 및 상기 유기 절연막의 두께보다도 각각 작은 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    게이트선과,
    신호선과,
    전류 공급선을 상기 기재의 상기 제1 면 위에 갖고,
    상기 제1 홈과 상기 제2 홈은, 적어도 상기 게이트선, 상기 신호선, 상기 전류 공급선 중 적어도 1개와 겹치는 표시 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 홈과 상기 제2 홈의 각각은, 상기 게이트선, 상기 신호선, 상기 전류 공급선 중 적어도 1개를 따라서 연장되어 있는 표시 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기재는 가요성을 갖는 표시 장치.
  11. 기재와,
    상기 기재의 제1 면 위에 각각 발광 소자를 갖는 복수의 화소를 갖고,
    상기 기재는, 상기 기재의 제2 면에, 상기 복수의 화소로부터 선택되는 인접하는 2개의 화소 사이에 끼워진 영역과 겹치는 제1 홈을 갖고,
    상기 발광 소자는, 제1 전극, 상기 제1 전극 상의 유기층, 및 상기 유기층 상의 제2 전극을 갖고, 상기 유기층으로부터의 발광이 제2 전극으로부터 취출되도록 구성되고,
    상기 기재는, 상기 제1 면에, 상기 제1 홈과 겹치며, 상기 기재를 포함하는 릿지를 갖는 표시 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 홈 내의 기재의 두께는, 상기 발광 소자의 발광 영역 아래에 있어서의 상기 기재의 두께보다도 작은 표시 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    무기 절연막을 상기 발광 소자 위에 갖고,
    상기 무기 절연막이, 상기 제1 홈과 겹치는 제2 홈을 갖는 표시 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제2 홈은 상기 제1 홈을 따라서 연장되어 있는 표시 장치.
  15. 제11항에 있어서,
    무기 절연막을 상기 발광 소자 위에 갖고,
    상기 무기 절연막 위에 유기 절연막을 갖고,
    상기 유기 절연막이, 상기 제1 홈과 겹치는 제2 홈을 갖는 표시 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제2 홈은 상기 제1 홈을 따라서 연장되어 있는 표시 장치.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 제2 홈이 형성된 영역 내에 있어서의 상기 무기 절연막 및 상기 유기 절연막의 두께는, 상기 제2 홈이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 상기 무기 절연막 및 상기 유기 절연막의 두께보다도 각각 작은 표시 장치.
  18. 제13항에 있어서,
    게이트선과,
    신호선과,
    전류 공급선을 상기 기재의 상기 제1 면 위에 갖고,
    상기 제1 홈과 상기 제2 홈은, 적어도 상기 게이트선, 상기 신호선, 상기 전류 공급선 중 적어도 1개와 겹치는 표시 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제1 홈과 상기 제2 홈의 각각은, 상기 게이트선, 상기 신호선, 상기 전류 공급선 중 적어도 1개를 따라서 연장되어 있는 표시 장치.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 기재는 가요성을 갖는 표시 장치.
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