CN110462565B - 内置触摸传感器的显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够抑制引出配线的断裂的内置触摸传感器的显示装置。内置触摸传感器的显示装置包括：基底绝缘膜；覆盖基底绝缘膜的显示区域的密封膜；多个第一电极，其二维排列在密封膜上的显示区域中，在第一方向上相邻的第一电极经由第一连接线连接；多个第二电极，其与第一电极同层或不同层地二维排列，在俯视时分别被第一电极包围，在第二方向上相邻的第二电极经由俯视时与第一连接线交叉的第二连接线连接；层间绝缘膜，其位于第一连接线与第二连接线之间，并且填埋由密封膜的外缘和基底绝缘膜形成的台阶；和引出配线，其与第一电极或第二电极连接，从层间绝缘膜的填埋台阶的部分上通过。

Description

内置触摸传感器的显示装置
技术领域
本发明涉及内置触摸传感器的显示装置。
背景技术
专利文献1中公开了一种内置静电电容式触摸传感器的显示装置，其中，在X方向上延伸的第一电极和在Y方向上延伸的第二电极隔着密封膜配置，所述第一电极的相邻的主体部经由连接部连接，第二电极的相邻的主体部经由连接部连接。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-50245号公报。
发明内容
发明要解决的技术问题
本申请的发明人正在研究将与静电电容式触摸传感器的电极连接的引出配线引出到显示区域的外侧的周边区域。可是，在此情况下，引出配线需要超出将显示装置密封的密封膜的外缘，因此引出配线有可能因由密封膜的外缘形成的台阶而发生断裂。
本发明的目的在于，提供能够抑制引出配线的断裂的内置触摸传感器的显示装置。
用于解决技术问题的手段
本发明的内置触摸传感器的显示装置包括：基底绝缘膜；密封膜，其覆盖所述基底绝缘膜的显示区域；多个第一电极，其二维地排列在所述密封膜上的所述显示区域中，在第一方向上相邻的第一电极经由第一连接线连接，在与所述第一方向交叉的第二方向上相邻的第一电极相互没有连接；多个第二电极，其在与所述第一电极相同或不同的层二维地排列，且在俯视时分别被所述第一电极包围，在所述第二方向上相邻的第二电极经由俯视时与所述第一连接线交叉的第二连接线连接，在所述第一方向上相邻的第二电极相互没有连接；层间绝缘膜，其位于所述第一连接线与所述第二连接线之间，并且填埋由所述密封膜的外缘和所述基底绝缘膜形成的台阶；和引出配线，其与所述第一电极或所述第二电极连接，从所述层间绝缘膜的填埋所述台阶的部分上通过。
附图说明
图1是实施方式的内置触摸传感器的显示装置的俯视图。
图2是将图1的主要部分放大的图。
图3是以图1所示的III-III线切断时的剖面图。
图4是将图3的主要部分放大的图。
图5是表示变形例的图。
图6是表示另一个变形例的图。
图7是另一个实施方式的内置触摸传感器的显示装置的剖面图。
图8是将图7的主要部分放大的图。
图9是表示实施方式的内置触摸传感器的显示装置的制造工序例的图。
图10是接着图9的图。
图11是接着图10的图。
图12是接着图11的图。
图13是接着图12的图。
图14是接着图13的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的各实施方式进行说明。另外，公开只不过是一个例子，本领域技术人员容易想到的保持发明的主旨的适当变更，当然也包含在本发明的范围中。此外，附图为了使说明更明确，有时与实施的方式相比，示意性地表示各部分的宽度、厚度、形状等，但只不过是一个例子，不限定本发明的解释。此外，在本说明书和各图中，有时对与就已经出现的图前述过的要素相同的要素标注同一标记，适当省略详细的说明。
图1是实施方式的内置触摸传感器的显示装置(以下，也仅称为显示装置)的俯视图。图2是将图1所示的单点划线的框内放大的图。作为显示装置的例子，举出有机EL显示装置。显示装置1将由例如红、绿和蓝构成的多种颜色的单位像素(子像素)组合而形成全彩色的像素，显示全彩色的图像。
显示装置1具有显示面板10和形成在显示面板10的显示区域15上的触摸传感器20。在显示面板10的显示区域15的外侧形成有周边区域(边框区域)11，在周边区域11装载用于驱动像素的集成电路芯片12，并连接有用于与外部电连接的FPC(柔性印刷基板)13。以下的说明中，将沿着周边区域11的连接FPC13的边的方向设为X方向，将与其正交的方向设为Y方向。
图3是以图1所示的III-III线切断时的剖面图。图4是将图3的显示区域15与周边区域11的边界部分放大的图。这些图中，为了使剖面构造容易观看，省略基板30、平坦化膜51和像素分隔膜55等一部分层的影线。以下的说明中，以层叠方向为上方向。
基板30由例如玻璃或聚酰亚胺等具有挠性的树脂构成。基板30由底涂层31覆盖。在底涂层31上形成有半导体层41，半导体层41由栅极绝缘膜33覆盖。在栅极绝缘膜33上形成有栅极电极43，栅极电极43由钝化膜35覆盖。漏极电极45和源极电极47贯通栅极绝缘膜33和钝化膜35而与半导体层41连接。由半导体层41、栅极电极43、漏极电极45和源极电极47构成薄膜晶体管40。薄膜晶体管40以与多个单位像素中的各个单位像素对应的方式设置。底涂层31、栅极绝缘膜33和钝化膜35由例如SiO2、SiN或SiON等的无机绝缘材料形成。
在钝化膜35上，除了漏极电极45和源极电极47之外，还在周边区域11形成有引出配线49。图示的引出配线49是用于将触摸传感器20和FPC13电连接的配线。漏极电极45、源极电极47和引出配线49由平坦化膜51覆盖，平坦化膜51由层间绝缘膜53覆盖。漏极电极45、源极电极47和引出配线49由例如包含Al、Ag、Cu、Ni、Ti、Mo等的导电性材料形成。平坦化膜51由例如丙烯酸树脂等有机绝缘材料形成，具有平坦的上表面。层间绝缘膜53由例如SiO2、SiN或SiON等的无机绝缘材料形成。
在层间绝缘膜53上形成有像素电极61(例如阳极)。像素电极61贯通平坦化膜51和层间绝缘膜53而与源极电极47连接。像素电极61以与多个单位像素中的各个单位像素对应的方式设置。像素电极61作为反射电极形成。此外，在周边区域11形成有端子67、68，贯通平坦化膜51和层间绝缘膜53而与引出配线49的两个端部分别连接。像素电极61和端子67、68由例如包含Al、Ag、Cu、Ni、Ti、Mo等的导电性材料形成。此外，端子67、68在工序中暴露于气氛中的机会多，因此也可以使用难以发生表面氧化等的材料，例如ITO、IZO等的导电性氧化物。另一方面，在显示装置1为底部发射方式的情况下，像素电极61需要作为透射电极形成，在此情况下，能够使用前述的导电性氧化物。
像素电极61由像素分隔膜55覆盖。像素分隔膜55也被称为肋或隔堤。在像素分隔膜55中形成有底部露出像素电极61的开口55a。形成开口55a的像素分隔膜55的内缘部分搭载在像素电极61的周缘部分上，具有随着向上方去而向外侧扩展的楔形形状。另外，像素分隔膜55形成在周边区域11中的与显示区域15的边界附近，没有形成在其他部分。像素分隔膜55由例如丙烯酸树脂等有机绝缘材料形成。
在像素分隔膜55的开口55a的底部露出的像素电极61上，发光层63相互分开地单独形成。发光层63与多个单位像素中的各个单位像素对应地以由例如红、绿和蓝构成的多种颜色发光。也可以与发光层63一起形成空穴输送层、空穴注入层、电子输送层和电子输送层中的至少一层。发光层63使用掩模单独地被蒸镀形成。发光层63也可以作为在显示区域15的整体扩展的均匀的膜(所谓的整面膜)被蒸镀形成，在此情况下，发光层63以单色(例如白色)发光，通过彩色滤光片或颜色转换层取出例如由红、绿和蓝构成的多种颜色中的各个成分。另外，发光层63不限定于蒸镀形成，也可以被涂敷形成。
发光层63和像素分隔膜55由对置电极65(例如阴极)覆盖。对置电极65形成为在显示区域15的整体扩展的均匀的膜(所谓的整面膜)。发光层63以及隔着发光层63的像素电极61和对置电极65构成发光元件60，发光层63因在像素电极61与对置电极65之间流动的电流而发光。对置电极65由例如ITO等的透明导电材料或MgAg等的金属薄膜形成。在显示装置1为顶部发射方式的情况下，对置电极65需要形成为透射电极，在使用金属薄膜的情况下，需要使膜厚减小到光可透射的程度。
像素分隔膜55和对置电极65通过被密封膜(钝化膜)70覆盖而被密封，从而被遮断水分。密封膜70例如具有从下侧起依次包含无机膜71、有机膜73和无机膜75的三层层叠构造。无机膜71、75由例如SiO2、SiN或SiON等的无机绝缘材料形成。有机膜73由例如丙烯酸树脂等的有机绝缘材料形成，使密封膜70的上表面平坦化。
密封膜70的无机膜71、75的外缘在比像素分隔膜55的外缘靠外侧的位置与层间绝缘膜53接触，由此，无机膜71、75的外缘和层间绝缘膜53(基底绝缘膜的例子)形成台阶7s。但不限定于此，也可以省略层间绝缘膜53，从而无机膜71、75的外缘和平坦化膜51接触。
显示装置1在密封膜70上具有触摸传感器20。具体而言，在密封膜70上形成有保护绝缘膜81，在保护绝缘膜81上形成有二维地排列的多个第一电极21和多个第二电极22，在第一电极21和第二电极22上形成有层间绝缘膜83。第一电极21和第二电极22构成静电电容式触摸传感器的驱动电极和检测电极。保护绝缘膜81和层间绝缘膜83由例如丙烯酸树脂等的有机绝缘材料形成。
本实施方式中，保护绝缘膜81的外缘与密封膜70的无机膜71、75的外缘一致。这是因为，保护绝缘膜81作为将无机膜71、75的覆盖周边区域11的部分有选择地去除时的掩模而被利用。无机膜71、75的外缘和保护绝缘膜81的外缘一致，由此台阶7s变得更高，更陡峭。另外，保护绝缘膜81也可以省略。
如图1和图2所示，第一电极21和第二电极22分别以将X方向(第一方向)和与其交叉(例如正交)的Y方向(第二方向)作为对角线方向的矩形状、所谓的菱形状(钻石形状)形成。此外，第一电极21和第二电极22分别由例如ITO等的透明导电材料形成。不限于此，第一电极21和第二电极22也可以使用金属等的导电性材料形成。在此情况下，由网眼状配线(网状配线)形成，使得不遮蔽从发光元件60发出的光。
多个第一电极21分别在X方向和Y方向上排列而二维地排列。这些第一电极21中的在X方向上相邻的第一电极21经由第一连接线23连接，在Y方向上相邻的第一电极21不连接。即，多个第一电极21的在X方向上相邻的第一电极21经由第一连接线23连接，由此分别形成在X方向上延伸的多个电极列，各个电极列在Y方向上电分离。
多个第二电极22也分别在X方向和Y方向上排列而二维地排列。这些第二电极22中的在Y方向上相邻的第二电极22经由与第一连接线23在俯视时交叉的第二连接线24连接，在X方向上相邻的第二电极22不连接。即，多个第二电极22的在Y方向上相邻的第二电极22经由第二连接线24连接，由此形成在Y方向上延伸的多个电极列，各个电极列在X方向上电分离。
各个第二电极22以俯视时被第一电极21包围的方式配置。例如，各个第二电极22配置于在与X方向和Y方向这两者交叉的方向(例如45度或-45度的方向)上相邻的第一电极21之间，被4个第一电极21包围。第一电极21和第二电极22以彼此不接触的方式分开，由此电分离。
本实施方式中，多个第一电极21和多个第二电极22配置于密封膜70与层间绝缘膜83之间的同层，但不限于此，也可以配置在彼此不同的层。即，第一电极21和第二电极22中的一者配置在层间绝缘膜83下，另一者配置在层间绝缘膜83上。此外，也可以第一电极21和第二电极22这两者都配置在层间绝缘膜83上。
第一连接线23和第二连接线24在俯视时交叉。在俯视时交叉的第一连接线23与第二连接线24之间间隔着层间绝缘膜83，两者电分离。以下，将层间绝缘膜83的位于第一连接线23与第二连接线24之间的部分称为“间隔部831”。
本实施方式中，第一连接线23是配置在层间绝缘膜83上的所谓的桥配线。第一连接线23通过形成于层间绝缘膜83的通孔与第一电极21连接。第一连接线23由例如包含Al、Ag、Cu、Ni、Ti、Mo等的导电性材料形成。另一方面，第二连接线24在层间绝缘膜83下与第二电极22相连续地形成。
本发明不限于此，也可以是第二连接线24作为桥配线配置在层间绝缘膜83上，第一连接线23在层间绝缘膜83下与第一电极21相连续地形成。此外，也可以混合存在第一连接线23作为桥配线与第二连接线24交叉的交叉部和第二连接线24作为桥配线与第一连接线23交叉的交叉部。
如图3和图4所示，层间绝缘膜83填埋由密封膜70的无机膜71、75的外缘和层间绝缘膜53形成的台阶7s。以下，将层间绝缘膜83的填埋台阶7s的部分称为“台阶填埋部835”。通过像这样由台阶填埋部835填埋台阶7s，台阶填埋部835的上表面比台阶7s平坦化。
层间绝缘膜83作为在显示区域15的整体扩展的均匀的膜(所谓的整面膜)形成，位于第一连接线23与第二连接线24之间的间隔部831和将密封膜70侧的台阶7s填埋的台阶填埋部835连续形成。
层间绝缘膜83也将由端子67的外缘和层间绝缘膜53形成的台阶6s填埋。以下，将层间绝缘膜83的填埋台阶6s的部分称为“台阶填埋部836”。通过像这样由台阶填埋部836填埋台阶6s，台阶填埋部836的上表面比台阶6s平坦化。
将端子67侧的台阶6s填埋的台阶填埋部836与将密封膜70侧的台阶7s填埋的台阶填埋部835相连续地形成。通过像这样2个台阶填埋部835、836相连续地形成，使得台阶填埋部835、836的上表面更平坦。台阶填埋部835、836的上表面向外侧平缓地倾斜。
层间绝缘膜83覆盖端子67。以下，将层间绝缘膜83的覆盖端子67的部分称为“端子覆盖部837”。在端子覆盖部837形成有使端子67露出的开口837a。端子覆盖部837与将端子67侧的台阶6s填埋的台阶填埋部836相连续地形成。
如图2～图4所示，触摸传感器20具有从显示区域15的周缘部引出到周边区域11的多个引出配线25。引出配线25与层间绝缘膜83上的第一连接线23同时形成。各个引出配线25通过形成于层间绝缘膜83的开口83a与第一电极21或第二电极22连接，在层间绝缘膜83的周缘部上通过。
具体而言，引出配线25在层间绝缘膜83的周缘部在台阶填埋部835、836上通过而到达端子覆盖部837上，通过形成于端子覆盖部837的开口837a与端子67连接。端子67是与埋入周边区域11的引出配线49连接的2个端子67、68中的靠近显示区域15的端子67(第一端子)。
另一方面，远离显示区域15的端子68(第二端子)通过各向异性导电部件139连接有FPC13。此外，在周边区域11还设置有与发光元件60电连接的未图示的端子(第三端子)，该未图示的端子也通过各向异性导电部件139连接有FPC13。该未图示的端子通过例如薄膜晶体管40和集成电路芯片12等与发光元件60电连接。
以上说明的实施方式中，以层间绝缘膜83的一部分(台阶填埋部835)填埋由密封膜70的无机膜71、75的外缘和层间绝缘膜53形成的台阶7s，并在其上形成有引出配线25。因此，与不以台阶填埋部835填埋台阶7s的情况相比，能够抑制引出配线25的断裂和短路。
即，在不以台阶填埋部835填埋台阶7s的情况下，引出配线25有可能因台阶7s而发生断裂或短路，在本实施方式中，通过以台阶填埋部835填埋台阶7s，使台阶填埋部835的上表面与台阶7s相比更加平坦化，因此能够使引出配线25的工艺可能性提高，并且能够使触摸传感器20的可靠性和成品率提高。
此外，本实施方式中，由端子67的外缘和层间绝缘膜53形成的台阶6s也以层间绝缘膜83的一部分(台阶填埋部836)填埋，并在其上形成有引出配线25。因此，与不以台阶填埋部836填埋台阶6s的情况相比，能够抑制引出配线25的断裂。
此处，将密封膜70侧的台阶7s填埋的台阶填埋部835和将端子67侧的台阶6s填埋的台阶填埋部836连续形成，台阶填埋部835、836的上表面更加平坦化。因此，能够使抑制引出配线25的断裂的效果进一步提高。
此外，本实施方式中，以层间绝缘膜83的一部分(端子覆盖部837)覆盖靠近显示区域15的端子67，使引出配线25通过形成于此的开口837a与端子67连接。由此，引出配线25的端部全部存在于层间绝缘膜83上，在通过蚀刻形成引出配线25时，能够使从抗蚀剂图案后退的量均匀化，从而能够稳定地形成引出配线25。
进一步，本实施方式中，FPC13连接于与触摸传感器20电连接的端子68(第二端子)和与发光元件60电连接的未图示的端子(第三端子)这两者。因此，能够由1片FPC13从外部向触摸传感器20和发光元件60这两者供给信号。
另外，不限于基底实施方式，也可以如图5所示，台阶填埋部835和台阶填埋部836分离形成。在此情况下，引出配线25从台阶填埋部835上移动到层间绝缘膜53上，并从层间绝缘膜53上移动到台阶填埋部836上。此外，也可以如图5和图6所示，不形成覆盖端子67的全部的端子覆盖部837。在此情况下，台阶填埋部836覆盖端子67的密封膜70侧的一部分。
图7是表示另一个实施方式的内置触摸传感器的显示装置的剖面图。图8是将图7的显示区域15与周边区域11的边界部分放大的图。本实施方式中，层间绝缘膜83在第一连接线23与第二连接线24俯视时交叉的各个位置分开地形成，不覆盖第一电极21和第二电极22。即，在第一连接线23和第二连接线24俯视时交叉的各个位置，分开地形成有间隔部831。此外，间隔部831与台阶填埋部835也分开地形成。
通过由台阶填埋部835填埋台阶7s，台阶填埋部835的上表面接近保护绝缘膜81的上表面，整体平坦化。台阶填埋部835的上表面既可以与保护绝缘膜81的上表面对齐，也可以比其低或高。引出配线25从第一电极21或第二电极22上移到保护绝缘膜81上，并从保护绝缘膜81上移到台阶填埋部835上。
以上说明的实施方式，也能够抑制引出配线25的断裂。特别是，通过将层间绝缘膜83的间隔部831和台阶填埋部835分离，将台阶填埋部835限定地形成于台阶7s，能够使台阶填埋部835的高度下降，使倾斜更加平缓。此外，由于层间绝缘膜83不覆盖第一电极21和第二电极22，所以也能够进一步使外量子效率提高。
图9～图14是表示实施方式的内置触摸传感器的显示装置的制造工序例的图。
图9示出发光元件60完成的状态。在周边区域11设置有端子67、68，由端子67的外缘和层间绝缘膜53形成有台阶6s。另外，同图的剖面中，示出与触摸传感器20连接的引出配线49和端子67、68，在不同的位置，发光元件60的对置电极65与引出配线49和端子67、68连接。
图10示出形成密封膜70的工序。在此，有机膜73形成于显示区域15，没有形成于周边区域11。有机膜73在比有机膜73的外缘靠外侧的位置，由于2层的无机膜71、75密合而被密封。因此，周边区域11被2层的无机膜71、75覆盖。以下，将覆盖周边区域11的2层的无机膜71、75称为“周边部76”。无机膜71、75例如通过CVD(Chemical Vapor Deposition：化学气相沉积)形成，有机膜73例如通过喷墨形成。
图11示出形成保护绝缘膜81的工序。在此，保护绝缘膜81形成于显示区域15，没有形成于周边区域11。详细而言，保护绝缘膜81的外缘位于比像素分隔膜55的外缘靠外侧的位置。保护绝缘膜81由有机绝缘材料形成，使显示区域15的平坦度提高，并且在下一工序的周边部76的去除中被利用。
图12示出去除周边部76的工序。周边部76的去除，以保护绝缘膜81为掩模，例如通过干式蚀刻进行。详细而言，2层的无机膜71、75在保护绝缘膜81的外缘的位置被切断。另外，周边部76下的层间绝缘膜53也与无机膜71、75由相同的无机绝缘材料形成，因此有时通过周边部76的去除，层间绝缘膜53的一部分或全部也同时被去除。在此情况下，台阶6s变得更加陡峭。另外，也可以在将周边部76去除后，将保护绝缘膜81去除。
另外，在形成密封膜70的工序中，也可以通过例如使用掩模的CVD来使无机膜71、75有选择地生长，由此，省略形成保护绝缘膜81的工序和去除周边部76的工序。
图13示出形成触摸传感器20的工序。详细而言，在保护绝缘膜81上形成第一电极21、第二电极22和第二连接线24，在其上形成层间绝缘膜83，在其上形成第一连接线23和引出配线25。由无机膜71、75的外缘形成的台阶7s、由端子67的外缘形成的台阶6s被作为层间绝缘膜83的一部分的台阶填埋部835、836填埋。引出配线25以在台阶填埋部835、836上通过的方式形成，经由形成于端子覆盖部837的开口837a与端子67连接。层间绝缘膜83通过例如喷墨或光刻工艺形成。
图14示出形成覆盖触摸传感器20的保护膜85等的工序。在此，以覆盖触摸传感器20的全部以及引出配线25和端子67的方式形成保护膜85。保护膜85由例如丙烯酸树脂等的有机绝缘材料形成。也可以在保护膜85上配置圆偏振光膜87。也可以在圆偏振光膜87上配置覆盖膜89。此外，没有被保护膜85覆盖的端子68经由各向异性导电部件139连接有FPC13。
以上说明的实施方式中，示例触摸传感器20具有构成静电电容式触摸传感器的驱动电极和检测电极的第一电极21和第二电极22的情况，但触摸传感器20也可以在这些电极之外，还具有用于实现压感功能的电极。
本实施方式中，作为公开例，示例了有机EL显示装置的情况，作为其他的应用例，可以举出液晶显示装置、其他自发光型显示装置或具有电泳元件等的电子纸型显示装置等所有平板型的显示装置。此外，当然从中小型到大型没有特别限定，都可以应用。
在本发明的思想范畴内，本领域技术人员能够想到各种变更例和修正例，这些变更例和修正例也属于本发明的范围。例如，本领域技术人员对前述各实施方式适当进行构成要素的追加、删除或设计变更而得到的方案，或对基底各实施方式适当进行工序的追加、省略或条件变更而得到的方案，只要具有本发明的要旨，就也包含于本发明的范围。

Claims (11)

1.一种内置触摸传感器的显示装置，其特征在于，包括：
基底绝缘膜；
密封膜，其覆盖所述基底绝缘膜的显示区域；
多个第一电极，其二维地排列在所述密封膜上的所述显示区域中，在第一方向上相邻的第一电极经由第一连接线连接，在与所述第一方向交叉的第二方向上相邻的第一电极相互没有连接；
多个第二电极，其在与所述第一电极相同或不同的层二维地排列，且在俯视时分别被所述第一电极包围，在所述第二方向上相邻的第二电极经由俯视时与所述第一连接线交叉的第二连接线连接，在所述第一方向上相邻的第二电极相互没有连接；
层间绝缘膜，其位于所述第一连接线与所述第二连接线之间，并且填埋由所述密封膜的外缘和所述基底绝缘膜形成的台阶；
第一引出配线，其与所述第一电极连接，以与所述层间绝缘膜接触的方式从所述层间绝缘膜的填埋所述台阶的部分上通过；和
第二引出配线，其与所述第二电极连接，以与所述层间绝缘膜接触的方式从所述层间绝缘膜的填埋所述台阶的部分上通过。
2.如权利要求1所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
所述层间绝缘膜是位于所述第一连接线与所述第二连接线之间的部分和填埋所述台阶的部分相连续地形成的膜。
3.如权利要求1所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
所述层间绝缘膜是位于所述第一连接线与所述第二连接线之间的部分和填埋所述台阶的部分以分开的方式形成的膜。
4.如权利要求1所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于，还包括：
像素电极，其形成于所述基底绝缘膜与所述密封膜之间，且配置在所述基底绝缘膜上的所述显示区域中；和
像素分隔膜，其覆盖所述像素电极的周缘部，并且形成有以所述像素电极的上表面为底的开口，
所述密封膜的外缘在比所述像素分隔膜的外缘靠外侧的位置与所述基底绝缘膜接触。
5.如权利要求1所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
还包括形成于所述密封膜与所述第一电极或所述第二电极之间的保护绝缘膜，
所述密封膜的外缘与所述保护绝缘膜的外缘一致。
6.如权利要求1所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
所述第一引出配线和所述第二引出配线与设置于所述基底绝缘膜的所述显示区域的外侧的周边区域中的第一端子连接。
7.如权利要求6所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
所述层间绝缘膜还填埋由所述第一端子的外缘和所述基底绝缘膜形成的其他台阶，
所述第一引出配线和所述第二引出配线还从所述层间绝缘膜的填埋所述其他台阶的部分上通过。
8.如权利要求7所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
所述层间绝缘膜的填埋所述台阶的部分和所述层间绝缘膜的填埋所述其他台阶的部分是连续的。
9.如权利要求6所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
所述层间绝缘膜覆盖所述第一端子，
所述第一引出配线和所述第二引出配线通过在所述层间绝缘膜的覆盖所述第一端子的部分形成的开口与所述第一端子连接。
10.如权利要求6所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
还包括设置于所述周边区域且与第二端子连接的柔性基板，该第二端子与所述第一端子电连接。
11.如权利要求10所述的内置触摸传感器的显示装置，其特征在于：
所述柔性基板还与第三端子连接，该第三端子设置于所述周边区域且与配置于所述显示区域的像素电极电连接。
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