CN105320388A - 触摸面板和具备该触摸面板的显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供触摸面板和具备该触摸面板的显示装置。第一连接层(36A)和第二连接层(36B)在与引出配线(31)重叠的部位与该引出配线(31)电连接，且在引出配线(31)的外侧部位相互电连接，从而构成外部连接端子(35)，该第一连接层(36A)与处于层间绝缘膜(23)的下层的触摸位置检测用的第一导电图案由同一膜形成，该第二连接层(36B)与处于层间绝缘膜(23)的上层的触摸位置检测用的第二导电图案由同一膜形成。

Description

触摸面板和具备该触摸面板的显示装置

本案是申请日为2011年12月2日、申请号为201180059708.9、发明名称为触摸 面板和具备该触摸面板的显示装置以及触摸面板的制造方法的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及触摸面板和具备该触摸面板的显示装置以及触摸面板的制造方法，特别是涉及应对触摸位置的检测不良的对策。

背景技术

触摸面板是输入装置，其设置于液晶显示面板或等离子显示面板等显示面板上而构成显示装置，用于通过用手指或笔等在该显示面板的显示屏幕上进行各种操作来对显示装置主体输入信息。

触摸面板根据其动作原理可分成：电阻膜式、静电电容式、红外线式、超声波式、电磁感应式等。已知其中静电电容式的触摸面板比较不容易损坏显示装置的光学特性，适用于显示装置。尤其是，投影型静电电容式(projectedcapacitive：投射电容式)触摸面板可以进行手指等接触体的多点检测，因此，具有可输入复杂的指示信息的良好操作性。

投影型静电电容式的触摸面板中，作为触摸位置检测用的电极，在可检测触摸位置的触摸区域相互平行地排列有多列包含在一个方向上排列的多个第一电极的第一电极组，并且相互平行地排列有多列包含在与该各第一电极组正交的方向上排列的多个第二电极的第二电极组。第一电极和第二电极由铟锡氧化物(IndiumTinOxide，下面称为ITO)等导电率低的透明导电性氧化物形成，使得显示面板的显示屏幕可透视。

各第一电极组的相邻的第一电极彼此利用第一连结部连结，各第二电极组的相邻的第二电极彼此利用第二连结部连结。这些第一连结部和第二连结部与第一电极和第二电极同样地含有透明导电性氧化物。而且，在第一电极组和第二电极组的各交叉部，第一连结部和第二连结部隔着层间绝缘膜设置而相互绝缘。这些各第一电极组和各第二电极组与从触摸区域侧引出至位于其外侧的端子区域侧的各个独立的引出配线电连接。

在各引出配线的引出前端部设置有外部连接端子。各外部连接端子对第一电极组和第二电极组施加交流电压，并且与检测各第一电极和各第二电极所对应的部位的静电电容的电容检测电路连接。上述第一电极、第二电极和引出配线由用于保护的绝缘膜覆盖。

而且，在该触摸面板中，当在触摸区域绝缘膜被触摸时，处于触摸位置的第一电极和第二电极经形成于该第一电极和第二电极与手指等接触体之间的静电电容通过人体接地，此时处于触摸位置的第一电极和第二电极与接触体之间形成的静电电容的变化，由电容检测电路检测。这样，成为基于上述静电电容的变化来检测触摸位置的结构。

这种投影型静电电容式触摸面板的端子区域中密集排列有多个上述外部连接端子。这些各外部连接端子为了与外部端子连接，需要从绝缘膜露出，因此，作为应对腐蚀的对策，有时与触摸位置检测用的电极一起，由抗湿气和热的性能强、比较不容易被腐蚀的ITO等透明导电性氧化物形成(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-87118号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，在上述的投影型静电电容式触摸面板中，多个外部连接端子密集设置于端子区域，因此，各外部连接端子的端子宽度不得不变窄。而且，在由ITO等透明导电性氧化物形成外部连接端子的情况下，透明导电性氧化物的导电率比作为普通的配线材料使用的铜(Cu)或铝(Al)等金属的导电率低，所以该外部连接端子的电阻比较高。因此，可能在触摸位置检测用的电极和电容检测电路中产生导通不良，而损坏触摸位置检测功能。

虽说如此，但当使用导电率比触摸位置检测用的电极高的导电材料形成外部连接端子时，需要增加与形成触摸位置检测用的电极的工序分开进行的形成外部连接端子的工序，因此，制造工序增多，制造成本增大。

本发明是鉴于这样的方面而研发的，其的目的在于，不增大制造成本地降低外部连接端子的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。

解决技术问题的技术手段

为了实现所述目的，在本发明中，将外部连接端子做成由与引出配线并联连接的双层构成的并联连接构造，并使该并联连接构造与位于层间绝缘膜的上下的现有的触摸位置检测用的各导电图案由同一膜形成。

具体而言，本发明将触摸面板和具备该触摸面板的显示装置以及触摸面板的制造方法为对象，采用下面的解决手段，该触摸面板包括：触摸区域，其为用于检测由接触体接触的触摸位置的区域；端子区域，其为设置于该触摸区域的外侧，用于与外部电路连接的区域；触摸位置检测用的第一导电图案，其配置于上述触摸区域且含有透明导电性氧化物；层间绝缘膜，其以覆盖上述第一导电图案的至少一部分的方式设置；触摸位置检测用的第二导电图案，其设置于该层间绝缘膜上且包含透明导电性氧化物；保护绝缘膜，其以覆盖该第二导电图案的方式设置；引出配线，其与上述第一导电图案和第二导电图案中的至少一个电连接，从上述触摸区域侧引出至上述端子区域侧，且被绝缘膜覆盖；和外部连接端子，其与该引出配线的引出前端部连接，并且引出至上述绝缘膜的外部而设置于上述端子区域。

即，第一发明提供一种触摸面板，其特征在于，上述外部连接端子构成为：与上述第一导电图案由同一膜形成的第一连接层和与上述第二导电图案由同一膜形成的第二连接层，在与上述引出配线重叠的部位与该引出配线电连接，且在上述引出配线的外侧部位相互电连接。

该第一发明中，外部连接端子具有由与引出配线并联连接的第一连接层和第二连接层构成的并联连接构造。该并联连接构造中的电阻是第一连接层的电阻值的倒数和第二连接层的电阻值的倒数之和。由此，与该外部连接端子利用与引出配线串联连接的由透明导电性氧化物构成的单层构成的情况相比，能够使外部连接端子的电阻低电阻化。

另外，第一连接层与第一导电图案由同一膜形成，第二连接层与第二导电图案由同一膜形成。即，利用形成第一导电图案和第二导电图案的现有的工序，就能够将外部连接端子构成为上述并联连接构造。因此，不需要增加与形成第一导电图案和第二导电图案的工序分开进行的用于形成该外部连接端子的工序，不增加制造工序就可以完成。

因此，根据该第一发明，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。

第二发明在第一发明的触摸面板的基础上，特征在于，上述第一连接层和第二连接层在上述端子区域相互层叠。

该第二发明中，外部连接端子在端子区域具有由第一连接层和第二连接层构成的层叠构造。在该层叠构造部分中，与该外部连接端子利用由透明导电性氧化物构成的单层构成的情况相比，构成该外部连接端子的层多了1层，相应地外部连接端子变厚。由此，能够良好地使外部连接端子低电阻化。

第三发明在第一发明或第二发明的触摸面板的基础上，特征在于，上述层间绝缘膜上，在与上述引出配线的引出前端部重叠的部位形成有接触孔或缺口部，上述引出配线和第二连接层经上述接触孔或缺口部相互电连接。

该第三发明中，引出配线和第二连接层经形成于层间绝缘膜的接触孔或缺口部电连接。因此，在形成有接触孔或缺口部的部位以外的区域，也可以使引出配线被保护绝缘膜和层间绝缘膜覆盖。由此，通过利用层间绝缘膜和保护绝缘膜这双层绝缘膜覆盖引出配线，能够尽可能地阻止湿气等进入，从而良好地防止引出配线被腐蚀。

第四发明在第一发明～第三发明中任一发明的触摸面板的基础上，特征在于，上述引出配线的引出前端部延伸至上述绝缘膜的外侧，上述第一连接层和第二连接层中的至少一个覆盖上述引出配线的延伸部分的整体。

该第四发明中，延伸至绝缘膜的外侧的引出配线的延伸部分被第一连接层或第二连接层覆盖。因此，虽然引出配线的延伸部分位于绝缘膜的外侧，但是通过覆盖延伸部分的第一连接层或第二连接层来进行防湿等，从而不容易被腐蚀。像这样，引出配线的引出前端部延伸至绝缘膜的外侧的结构，与引出配线的整体收容于绝缘膜的内侧的结构相比，能够缩小触摸区域外侧的边框区域。

第五发明在第一发明～第四发明中任一发明的触摸面板的基础上，特征在于，上述第一连接层和第二连接层在相互不同的部位与上述引出配线电连接。

通过该第五发明，也能够具体地实现本发明的作用效果。

第六发明在第一发明～第五发明中任一发明的触摸面板的基础上，特征在于，上述引出配线通过与上述第一导电图案由同一膜形成的第一配线层和含有金属材料的第二配线层层叠而构成。

该第六发明中，引出配线具有由第一配线层和第二配线层构成的层叠构造。具有该层叠构造的引出配线，与该引出配线仅利用与第二配线层对应的金属材料构成的层构成的情况相比，构成该引出配线的层增厚了多出的1层(第一配线层)。由此，能够使引出配线低电阻化。

另外，第一配线层与第一导电图案由同一膜形成。即，利用形成第一导电图案的现有的工序能够将引出配线构成为上述层叠构造，因此，不增加制造工序就可完成。

第七发明在第一发明～第六发明中任一发明的触摸面板的基础上，特征在于，上述第一导电图案和第二导电图案中的一个具有：各自包含在一个方向上排列的多个第一电极且相互平行地排列的多个第一电极组；各自包含在与该各第一电极组交叉的方向上排列的多个第二电极且相互平行地排列的多个第二电极组；和将上述各第一电极组的相邻的第一电极彼此连结的第一连结部，上述第一导电图案和第二导电图案中的另一个具有将上述第二电极组的相邻的第二电极彼此连结的第二连结部。

该第七发明中，能够具体地实现投影型静电电容式(投射电容式)触摸面板。而且，在该触摸面板中，第一电极组和第二电极组设置于同一层上，因此，能够使在触摸位置的第一电极以及第二电极与手指等接触体之间形成的静电电容的变化同程度地产生。由此，能够减少第一电极与第二电极之间的对静电电容变化的灵敏度差。因此，能够进行灵敏度良好的触摸位置的检测。

第八发明在第一发明～第七发明中任一发明的触摸面板的基础上，特征在于，形成上述第一导电图案和第二导电图案的透明导电性氧化物为ITO或铟锌氧化物(IndiumZincOxide，下面，称为IZO)。

该第八发明中，第一导电图案和第二导电图案由ITO或IZO构成。ITO和IZO保持导电性并具有比较高的透明度，因此，可以在触摸区域实现透明状态，并将显示面板的显示屏幕形成为可良好地透视。

另外，根据该第八发明，外部连接端子的第一连接层和第二连接层也由ITO或IZO构成。ITO和IZO与作为配线材料使用的铜(Cu)或铝(Al)等金属相比，耐湿气等的能力强且具有不容易被腐蚀的特性，因此，能够使外部连接端子具有良好的耐腐蚀性。

第九发明提供一种显示装置，其特征在于，具备第一发明～第八发明中任一发明的触摸面板。

该第九发明中，第一发明～第八发明的触摸面板具备不增大制造成本就可以降低外部连接端子的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能的优异的特性，因此，能够廉价地实现通过使用手指或笔等接触体进行各种操作能够正确地输入信息的显示装置。

第十发明在第九发明的显示装置的基础上，特征在于，上述触摸面板直接形成在构成显示面板的基板表面上。

该第十发明中，在构成显示面板的基板表面上直接形成有触摸面板，因此，能够将具备具有良好的触摸位置检测功能的触摸面板的显示装置整体形成为薄型。

第十一发明提供一种制造第一发明的触摸面板的方法，其特征在于，包含：第一图案形成工序，在基体基板上形成含有透明导电性氧化物的透明导电膜，使用第一光掩模对该透明导电膜进行图案形成，由此形成上述第一导电图案和第一连接层；第二图案形成工序，以覆盖上述第一导电图案和第一连接层的方式形成金属膜，使用第二光掩模对该金属膜进行图案形成，由此以与上述第一连接层连接的方式形成上述引出配线；第三图案形成工序，以覆盖上述第一导电图案、第一连接层和引出配线的方式形成绝缘膜，使用第三光掩模对该绝缘膜进行图案形成，由此以使上述第一连接层和引出配线的至少一部分露出的方式形成上述层间绝缘膜；第四图案形成工序，在上述层间绝缘膜上形成含有透明导电性氧化物的透明导电膜，使用第四光掩模对该透明导电膜进行图案形成，由此，形成上述第二导电图案，并且以与上述第一连接层和引出配线连接的方式形成上述第二连接层；和第五图案形成工序，以覆盖上述第二导电图案和第二连接层的方式形成绝缘膜，使用第五光掩模对该绝缘膜进行图案形成，由此以使上述第二连接层的至少一部分露出的方式形成上述保护绝缘膜。

该第十一发明中，在第一图案形成工序中，使用一个光掩模与第一导电图案一起由同一膜形成第一连接层。另外，在第二图案形成工序中，使用一个光掩模与第二导电图案一起由同一膜形成第二连接层。这样，利用形成第一导电图案和第二导电图案的现有的工序形成第一连接层和第二连接层，不增加制造工序，就能够将外部连接端子构成为上述并联连接构造，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子的电阻，从而能够制造具备良好的触摸位置检测功能的第一发明的触摸面板。

第十二发明提供一种制造第一发明的触摸面板的方法，其特征在于，包含：第一图案形成工序，在基体基板上形成金属膜，使用第一光掩模对该金属膜进行图案形成，由此形成上述引出配线；第二图案形成工序，以覆盖上述引出配线的方式形成含有透明导电性氧化物的透明导电膜，使用第二光掩模对该透明导电膜进行图案形成，由此，形成上述第一导电图案，并且以与上述引出配线一部分重叠地连接的方式形成上述第一连接层；第三图案形成工序，以覆盖上述引出配线、第一导电图案和第一连接层的方式形成绝缘膜，使用第三光掩模对该绝缘膜进行图案形成，由此，以在与上述引出配线重叠的部位使该引出配线或上述第一连接层的至少一部分露出、且在上述引出配线的外侧部位使上述第一连接层的至少一部分露出的方式形成上述层间绝缘膜；第四图案形成工序，在上述层间绝缘膜上形成含有透明导电性氧化物的透明导电膜，使用第四光掩模对该透明导电膜进行图案形成，由此，形成上述第二导电图案，并且以在与上述引出配线重叠的部位与该引出配线或上述第一连接层连接、且在上述引出配线的外侧部位与上述第一连接层连接的方式形成上述第二连接层；第五图案形成工序，以覆盖上述第二导电图案和第二连接层的方式形成绝缘膜，使用第五光掩模对该绝缘膜进行图案形成，由此，以使上述第二连接层的至少一部分露出的方式形成上述保护绝缘膜。

该第十二发明中，也利用形成第一导电图案和第二导电图案的现有的工序形成第一连接层和第二连接层，不增加制造工序就能够将外部连接端子构成为上述并联连接构造，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子的电阻，从而制造具备良好的触摸位置检测功能的第一发明的触摸面板。

发明的效果

根据本发明，将外部连接端子制成由与引出配线并联连接的第一连接层和第二连接层构成的并联连接构造，并使该并联连接构造与位于层间绝缘膜上下的现有的触摸位置检测用的第一导电图案和第二导电图案由同一膜形成，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。其结果，可防止在触摸位置检测用的导电图案与外部电路之间产生导通不良，并能够廉价地实现通过使用手指或笔等接触体进行各种操作就可输入正确的信息的显示装置。

附图说明

图1是表示实施方式1的液晶显示装置的剖面构造的剖视图。

图2是概略地表示实施方式1的触摸面板的俯视图。

图3是放大表示实施方式1的触摸面板的触摸位置检测用的电极和外部连接端子的连接构造的俯视图。

图4是表示图3的IV－IV线的剖面构造的剖视图。

图5是表示图3的V－V线的剖面构造的剖视图。

图6是放大表示实施方式1的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图7是表示图6的VII－VII线的剖面构造的剖视图。

图8是表示图6的VIII－VIII线的剖面构造的剖视图。

图9是表示图6的IX－IX线的剖面构造的剖视图。

图10是实施方式1的液晶显示装置的制造方法的流程图。

图11是表示实施方式1的触摸面板的制造方法的第一图案形成工序的图5和图9对应部位的剖视图。

图12是表示实施方式1的触摸面板的制造方法的第二图案形成工序的图5和图9对应部位的剖视图。

图13是表示实施方式1的触摸面板的制造方法的第三图案形成工序的图5和图9对应部位的剖视图。

图14是表示实施方式1的触摸面板的制造方法的第四图案形成工序的图5和图9对应部位的剖视图。

图15是表示实施方式1的触摸面板的制造方法的第五图案形成工序的图5和图9对应部位的剖视图。

图16是放大表示实施方式1的变形例1的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图17是表示图16的XVII－XVII线的剖面构造的剖视图。

图18是放大表示实施方式1的变形例2的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图19是表示图18的XIX－XIX线的剖面构造的剖视图。

图20是放大表示实施方式1的变形例3的触摸面板的引出配线和与其两端部连接的各连接端子的连接构造的俯视图。

图21是在图中右侧表示图20的XXIA－XXIA线的剖面构造、在图中左侧表示图20的XXIB－XXIB线的剖面构造的剖视图。

图22是放大表示实施方式1的变形例4的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图23是表示图22的XXIII－XXIII线的剖面构造的剖视图。

图24是放大表示实施方式1的变形例5的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图25是表示图24的XXV－XXV线的剖面构造的剖视图。

图26是放大表示实施方式2的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图27是表示图26的XXVII－XXVII线的剖面构造的剖视图。

图28是在图中右侧表示图26的XXVIIIA－XXVIIIA线的剖面构造、在图中左侧表示图26的XXVIIIB－XXVIIIB线的剖面构造的剖视图。

图29是表示实施方式2的触摸面板的制造方法的第一图案形成工序的图5相当部位和图28中右侧对应部位的剖视图。

图30是表示实施方式2的触摸面板的制造方法的第二图案形成工序的图5相当部位和图28中右侧对应部位的剖视图。

图31是表示实施方式2的触摸面板的制造方法的第三图案形成工序的图5相当部位和图28中右侧对应部位的剖视图。

图32是表示实施方式2的触摸面板的制造方法的第四图案形成工序的图5相当部位和图28中右侧对应部位的剖视图。

图33是放大表示实施方式2的变形例1的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图34是表示图33的XXXIV－XXXIV线的剖面构造的剖视图。

图35是放大表示实施方式2的变形例2的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图36是表示图35的XXXVI－XXXVI线的剖面构造的剖视图。

图37是放大表示实施方式2的变形例3的触摸面板的引出配线和与其两端部连接的各连接端子的连接构造的俯视图。

图38是在图中右侧表示图37的XXXVIIIA－XXXVIIIA线的剖面构造、在图中左侧表示图37的XXXVIIIB－XXXVIIIB线的剖面构造的剖视图。

图39是放大表示实施方式2的变形例4的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图40是表示图39的XL－XL线的剖面构造的剖视图。

图41是放大表示实施方式2的变形例5的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的俯视图。

图42是表示图41的XLII－XLII线的剖面构造的剖视图。

图43是放大表示其它实施方式的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的第一方式的俯视图。

图44是表示图43的XLIV－XLIV线的剖面构造的剖视图。

图45是放大表示其它实施方式的触摸面板的外部连接端子和引出配线的连接构造的第二方式的俯视图。

图46是表示图45的XLVI－XLVI线的剖面构造的剖视图。

图47是放大表示其它实施方式的触摸面板的触摸区域的俯视图。

图48是表示图47的XLVIII－XLVIII线的剖面构造的剖视图。

具体实施方式

下面，基于附图对本发明的实施方式进行详细地说明。另外，本发明不限定于下面的各实施方式。

《发明的实施方式1》

在该实施方式1中，作为显示装置的一个例子，对具有液晶显示面板DP作为显示面板的液晶显示装置S进行说明。

－液晶显示装置S的结构－

图1中表示液晶显示装置S的剖面构造。

液晶显示装置S是带触摸面板TP的透射型液晶显示装置，其包括：液晶显示面板DP；背光源单元BL，其为配置于该液晶显示面板DP的背面侧的光源装置；和触摸面板TP，其设置于上述液晶显示面板DP的表面侧即与背光源单元BL侧相反的一侧。

＜液晶显示面板DP的结构＞

液晶显示面板DP包括：以相互相对的方式配置的薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，下面称为TFT)基板1和对置基板3；将这些TFT基板1和对置基板3的两外周缘部彼此粘接的框状密封材料5；被密封材料5包围并封入TFT基板1与对置基板3之间的液晶层7。

该液晶显示面板DP为TFT基板1和对置基板3重叠的区域，其具有在密封材料5的内侧即设置有液晶层7的区域进行图像显示的显示区域D。该显示区域D通过将作为图像最小单位的像素矩阵状地排列多个而构成。另外，液晶显示面板DP在显示区域D的外部具有TFT基板1从对置基板3突出而露出于外部的端子区域(未图示)。该端子区域中经各向异性导电膜等安装有集成电路芯片和配线基板等，以从外部电路向液晶显示面板DP输入显示用信号。

虽未图示，但TFT基板1包括：以相互平行地延伸的方式设置于作为基体基板的玻璃基板等绝缘性基板上的多个栅极配线；以在与该各栅极配线交叉的方向上相互平行地延伸的方式设置的多个源极配线；以与各像素对应的方式设置于这些各栅极配线和各源极配线的每个交叉部的TFT和与其漏极连接的像素电极，TFT基板1构成为：通过切换各TFT的导通/断开，有选择地对与该各TFT对应的像素电极施加电位。

虽未图示，但对置基板3包括：以与上述栅极配线和源极配线对应的方式格子状地设置于作为基体基板的玻璃基板等绝缘性基板10上的黑矩阵；由以与各像素对应且周期性地排列的方式设置于该黑矩阵的格子间的红色层、绿色层和蓝色层构成的多个彩色滤光片；以覆盖这些黑矩阵和各彩色滤光片的方式设置且与上述像素电极的组相对的共用电极；和柱状地设置于该共用电极上的感光间隔物。

这些TFT基板1和对置基板3形成为例如矩形状且在相互相对的内侧表面分别设置有取向膜(未图示)。另外，在TFT基板1的外侧表面和位于对置基板3上的触摸面板TP的外侧表面分别设置有偏光板(未图示)。液晶层7由具有电光学特性的向列型液晶材料等构成。

＜背光源单元BL的结构＞

虽未图示，但背光源单元BL具备：LED(LightEmittingDiode：发光二极管)或冷阴极管等光源；导光板；和棱镜片等多个光学片材，且背光源单元BL构成为：将从光源入射至导光板的光作为均匀的面状的光从该导光板的射出面经各光学片材向液晶显示面板DP侧射出。

＜液晶显示装置S的显示动作＞

在上述构成的液晶显示面板DP中，各像素中，栅极信号经栅极配线发送至TFT的栅极，在该TFT成为导通状态时，源极信号经源极配线发送至TFT的源极，经该TFT对像素电极写入规定的电荷。此时，在TFT基板1的各像素电极与对置基板3的共用电极之间产生电位差，从而对液晶层7施加规定的电压。而且，在液晶显示装置S中，根据对液晶层7施加的电压的大小来改变液晶分子的取向，由此，调节液晶层7的来自背光源单元BL的光的透射率，从而显示图像。

＜触摸面板TP的结构＞

在图2～图9中表示触摸面板TP的结构。图2是触摸面板TP的概略俯视图。图3是放大表示触摸面板TP的触摸位置检测用的电极11、17和外部连接端子35的连接构造的俯视图。图4是表示图3的IV－IV线的剖面构造的剖视图，图5是表示图3的V－V线的剖面构造的剖视图。图6是放大表示触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图7是表示图6的VII－VII线的剖面构造的剖视图，图8是表示图6的VIII－VIII线的剖面构造的剖视图，图9是表示图6的IX－IX线的剖面构造的剖视图。

本实施方式的触摸面板TP直接形成于构成液晶显示面板DP的对置基板3的外侧表面上，使带触摸面板的液晶显示装置S整体上构成薄型。触摸面板TP构成为投影型静电电容式(投射电容式)触摸面板，如图2所示，包括：触摸区域T1，其为用于检测由接触体(使用者的手指等)接触的触摸位置的区域，例如为矩形状；边框区域T2，其为设置于该触摸区域T1的周围的不能检测触摸位置的区域，例如为矩形框状；和端子区域T3，其在该边框区域T2的一侧(图2中右侧)沿着对置基板3的端缘设置。触摸区域T1配置于与液晶显示面板DP的显示区域D对应的区域，边框区域T2配置于与非显示区域对应的区域。

而且，触摸面板TP包括：配置于触摸区域T1的触摸位置检测用的电极11、17；与该触摸位置检测用的电极11、17电连接且在边框区域T2上从触摸区域T1侧向端子区域T3侧引出的多个引出配线31；设置于该各引出配线31的引出目的地且排列于端子区域T3的外部连接端子35；控制器41，其为与该各外部连接端子35电连接的外部电路。

＜触摸位置检测用的电极11、17的结构＞

触摸位置检测用的电极11、17由配置成矩阵状的多个第一电极11(图2中，空白框表示的电极)、同样配置成矩阵状的多个第二电极17(图2中标注斜线的电极)构成。这些第一电极11和第二电极17在图2中以在倾斜方向上交替排列的方式整体配置成蜂窝状。

第一电极11形成为例如大致矩形状，且在图2中以在左右方向(X轴方向)和上下方向(Y轴方向)上使彼此的角部对顶的方式按照规定间隔配置。而且，如图3所示，在X轴方向上排列的多个第一电极11，利用第一连结部13将相邻的第一电极11彼此连结而形成为一体，构成第一电极组15。即，第一电极11和第一连结部13在X轴方向上交替配置，由通过该第一连结部13形成为一体的第一电极11的列构成的第一电极组15，在Y轴方向上相互平行地排列多列。第一电极11和第一连结部13由ITO或IZO等构成。

第二电极17也形成为例如大致矩形状，并以在X轴方向和Y轴方向上使彼此的角部对顶的方式按照规定间隔配置。而且，在Y轴方向上排列的多个第二电极17，利用第二连结部19将相邻的第二电极17彼此连结而电连接，构成第二电极组21。即，第二电极17和第二连结部19在Y轴方向上交替配置，由经该第二连结部19电连接的第二电极17的列构成的第二电极组21在X轴方向上相互平行地排列多列。第二电极17和第二连结部19由ITO或IZO等构成。

如图4所示，上述第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13和第二电极组21(第二电极17)形成于构成对置基板3的绝缘性基板10的外侧表面上，并被层间绝缘膜23覆盖。

另一方面，第二连结部19设置于层间绝缘膜23上，同样被设置于该层间绝缘膜23上的保护绝缘膜25覆盖。该第二连结部19构成隔着层间绝缘膜23跨过第一连结部13的架桥构造，第二连结部19的两端部经形成于该层间绝缘膜23的接触孔23a与第二电极17的角部连接。

这样，在本实施方式中，第一电极组15和第二电极组21设置于同一层上，因此，能够使在触摸位置的第一电极11和第二电极17与手指等接触体之间形成的静电电容的变化同程度地产生。由此，能够减少在第一电极11和第二电极17间对静电电容变化的灵敏度差，能够进行灵敏度良好的触摸位置的检测。

另外，在本实施方式中，第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13和第二电极组21(第二电极17)构成本发明的触摸位置检测用的第一导电图案，第二连结部19构成本发明的触摸位置检测用的第二导电图案。

另外，保护绝缘膜25通过由氮化硅(SiN)等构成的第一保护绝缘膜27和由丙烯酸基(acrylicbase)的有机绝缘材料等构成的第二保护绝缘膜29层叠而成，并将层间绝缘膜23覆盖。在端子区域T3中没有形成这些层间绝缘膜23和保护绝缘膜25，而使上述各外部连接端子35露出于外部。

＜引出配线31的结构＞

如图3所示，引出配线31从触摸区域T1的周边延伸到端子区域T3的跟前。该引出配线31被层间绝缘膜23和保护绝缘膜25覆盖，如图6所示，引出配线31的整体配置于比两绝缘膜23、25的外缘靠内侧。由此，利用层间绝缘膜23和保护绝缘膜25这2层绝缘膜阻止湿气等从外部进入引出配线31侧，能够良好地防止引出配线31的腐蚀。

引出配线31通过依次层叠例如钼铌合金(MoNb)层、铝(Al)层和钼铌合金(MoNb)层，或者氮化钼(MoN)层、铝(Al)层和氮化钼(MoN)层，或者钼(Mo)层、铝(A1)层和钼(Mo)层而成。

在引出配线31的引出基端部31a连接有与第一电极组15或第二电极组21连接的内部连接端子33。另一方面，在引出配线31的引出前端部31b连接有上述外部连接端子35。

如图3所示，内部连接端子33沿着触摸区域T1的周边排列多个。这些各内部连接端子33与位于第一电极组15的一方的最端部的第一电极11或与位于第二电极组21的一方的最端部的第二电极17形成为一体，如图5所示，这些各内部连接端子33设置于引出配线31的下层并与引出配线31的下侧表面连接。

如图3所示，外部连接端子35引出至层间绝缘膜23和保护绝缘膜25的外部并在端子区域T3密集排列有多个。如图6～图9所示，这些各外部连接端子35由第一连接层36A和第二连接层36B构成，这些第一连接层36A和第二连接层36B具有与引出配线31并联连接的并联连接构造。

第一连接层36A设置于引出配线31的下层并与引出配线31的下侧表面连接，第一连接层36A从设置有层间绝缘膜23和保护绝缘膜25的区域向该区域外侧的端子区域T3延伸。另一方面，第二连接层36B在与引出配线31重叠的部位设置于层间绝缘膜23上，在与第一连接层36A重叠的部位经形成于层间绝缘膜23的接触孔23b与引出配线31的上侧表面连接。该第二连接层36B也从设置有层间绝缘膜23和保护绝缘膜25的区域向该区域外侧的端子区域T3延伸。而且，如图8和图9所示，外部连接端子35通过在端子区域T3将第一连接层36A和第二连接层36B层叠而成。

利用这种并联连接构造，能够良好地降低外部连接端子35的电阻。即，外部连接端子35由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成，因此，其电阻成为第一连接层36A的电阻值的倒数和第二连接层36B的电阻值的倒数的和。由此，与该外部连接端子35利用与引出配线31串联连接的由ITO或IZO等同样的透明导电性氧化物构成的单层构成的情况相比，能够使该外部连接端子35的电阻低电阻化。

而且，外部连接端子35在端子区域T3具有第一连接层36A和第二连接层36B层叠而成的层叠构造，因此，该层叠构造部分中，与该外部连接端子35利用由ITO或IZO等同样的透明导电性氧化物构成的单层构成的情况相比，构成该外部连接端子35的层增厚了多出的一层，能够良好地使其电阻低电阻化。

后面进行详细叙述，第一连接层36A与第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)以及内部连接端子33由同一膜形成，第二连接层36B与第二连结部19由同一膜形成。

＜控制器41的结构＞

控制器41作为例如被称为TAB(TapeAutomatedBonding：卷带自动结合)的驱动集成电路安装于端子区域T3中。作为检测电路43，控制器41具备静电电容检测电路或阻抗检测电路，该静电电容检测电路检测因触摸区域T1被接触体触摸而在处于触摸位置的第一电极11和第二电极17与接触体之间产生的静电电容的变化，该阻抗检测电路检测因被触摸而在处于触摸位置的第一电极11和第二电极17各自产生的阻抗的变化。而且，控制器41构成为：通过比较由检测电路43检测到的来自各外部连接端子35的信号，检测出触摸区域T1的接触体的触摸位置和该触摸位置的移动动作。

－制造方法－

接着，参照图10列举一个例子对上述触摸面板TP和液晶显示装置DP的制造方法进行说明。在本实施方式中，举例说明各制造一个TFT基板1和对置基板3，并使这两个基板1、3贴合来制作1个液晶显示面板DP的单面板方式的制造方法，也可以适用于通过制作包含多个单元单位的母面板，并按每个单元单位分割该母面板，从而同时制作多个液晶显示面板DP的多面板方式的制造方法。

图10是液晶显示装置S的制造方法的流程图。液晶显示装置S的制造方法包含触摸面板制造工序St1、对置基板制造工序St2、TFT基板制造工序St3、贴合工序St4和模块化工序St5。

＜触摸面板制造工序St1＞

在预先准备的玻璃基板等绝缘性基板10上反复进行公知的光刻，形成第一电极11、第一连结部13、第二电极17、内部连接端子33、引出配线31、层间绝缘膜23、第二连结部19、外部连接端子35(第一连接层36A和第二连接层36B)和保护绝缘膜25，由此，制造触摸面板TP。

＜对置基板制造工序St2＞

在触摸面板TP的基板10背面侧按照反复进行光刻的周知的方法形成黑矩阵、彩色滤光片、共用电极和感光间隔物，由此，制造带触摸面板TP的对置基板3。

＜TFT基板制造工序St3＞

在预先准备的玻璃基板等绝缘性基板上按照反复进行光刻的周知的方法形成栅极配线、源极配线、TFT和像素电极，由此，制造TFT基板1。

＜贴合工序St4＞

在通过印刷法在TFT基板1和对置基板3的表面形成取向膜之后，根据需要进行研磨处理。接着，通过分配器(dispenser)等将密封材料5描绘成框状，并向该密封材料5的内侧区域滴下规定量的液晶材料。而且，使TFT基板1和对置基板3隔着密封材料5和液晶材料在减压下贴合构成液晶层7之后，将该贴合后的贴合体置于大气压下，由此，对贴合体的表面进行加压。在该状态下，进一步通过紫外线的照射或加热处理使密封材料5固化，由此，粘接TFT基板1和对置基板3，从而制作液晶显示面板DP。

接着，在TFT基板1和对置基板3之间，在密封材料5外侧存在间隙的情况下，根据需要向该间隙填充密封材料5并使之固化来填埋该间隙。然后，分别在上述贴合体的两面即TFT基板1的外侧表面和对置基板3上的触摸面板TP的外侧表面贴附偏光板。

＜模块化工序St5＞

经各向异性导电膜等在液晶显示面板DP的端子区域T3安装集成电路芯片和配线基板。另外，在触摸面板TP的端子区域T3安装控制器41。而且，在液晶显示面板DP的背面侧安装背光源单元BL。这样，将液晶显示面板DP、背光源单元BL和触摸面板TP模块化。

通过进行以上工序，能够制造图1所示的带触摸面板TP的液晶显示装置S。

本发明的液晶显示装置S尤其在触摸面板TP的结构上具有特征，因此，下面参照图11～图15对触摸面板制造工序St1进行详细叙述。触摸面板制造工序St1包含第一图案形成工序～第五图案形成工序。图11～图15依次表示触摸面板制造工序St1的第一图案形成工序～第五图案形成工序。

＜第一图案形成工序＞

首先，如图11(a)所示，通过溅射法在绝缘性基板10上形成例如由ITO或IZO构成的透明导电膜51。而且，通过使用第一光掩模对该透明导电膜51进行图案形成，如图11(b)所示，形成第一电极11、第一连结部13、第二电极17、内部连接端子33和第一连接层36A，构成第一电极组15和第二电极组21。

＜第二图案形成工序＞

在形成有第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)、内部连接端子33和第一连接层36A的基板上，通过溅射法以覆盖它们的方式依次形成例如钼铌合金(MoNb)膜、铝(Al)膜和钼铌合金(MoNb)膜，或者氮化钼(MoN)膜、铝(Al)膜和氮化钼(MoN)膜，或者钼(Mo)膜、铝(Al)膜和钼(Mo)膜，从而形成图12(a)所示的金属层叠膜53。接着，通过使用第二光掩模对该金属层叠膜53进行图案形成，如图12(b)所示，以将一端部与第一连接层36A重叠连接且另一端部与内部连接端子33重叠连接的方式形成引出配线31。

＜第三图案形成工序＞

在形成有引出配线31的基板上，通过化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，下面称为CVD)法，以覆盖第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)、内部连接端子33、第一连接层36A和引出配线31的方式，形成图13(a)所示的例如由氮化硅(SiN)构成的绝缘膜54。接着，通过使用第三光掩模对该绝缘膜54进行图案形成，如图13(b)所示，在该绝缘膜54上形成接触孔23a、23b，使第二电极17的角部和引出配线31的引出前端部31b局部地露出，并且除去处于端子区域T3的绝缘膜部分，使第一连接层36A从该绝缘膜54露出，而由绝缘膜54形成层间绝缘膜23。

＜第四图案形成工序＞

在形成有层间绝缘膜23的基板上，通过溅射法，如图14(a)所示那样，形成例如由ITO或IZO构成的透明导电膜55。而且，通过使用第四光掩模对该透明导电膜55进行图案形成，如图14(b)所示，以经接触孔23a与第二电极17连接的方式形成第二连结部19，以经接触孔23b与引出配线31连接且在端子区域T3覆盖第一连接层36A的方式形成第二连接层36B，构成外部连接端子35。

＜第五图案形成工序＞

在形成有第二连结部19和第二连接层36B的基板上，通过CVD法以覆盖它们的方式形成例如由氮化硅(SiN)构成的第一绝缘膜57。接着，通过旋涂法或狭缝涂敷法，如图15(a)所示，在第一绝缘膜57上形成由丙烯酸基的有机绝缘材料构成的第二绝缘膜58，形成层叠绝缘膜59。而且，通过使用第五光掩模对该保护绝缘膜25进行图案形成，如图15(b)所示，除去处于端子区域T3的层叠绝缘膜部分，使外部连接端子35从该层叠绝缘膜59露出，而由层叠绝缘膜59形成保护绝缘膜25。

另外，在该第五图案形成工序中，一并对第一保护绝缘膜27和第二保护绝缘膜29进行图案形成，但也可以在利用使用第五光掩模的光刻形成第二保护绝缘膜29后，将该第二保护绝缘膜29作为掩膜蚀刻第一保护绝缘膜27，由此进行图案形成。

通过以上操作，能够制造触摸面板TP。

－实施方式1的效果－

根据该实施方式1，外部连接端子35具有由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成的并联连接构造，且在端子区域T3具有第一连接层36A和第二连接层36B层叠而成的层叠构造，因此，与该外部连接端子35利用与引出配线31串联连接的由ITO或IZO等同样的透明导电性氧化物构成的单层构成的情况相比，能够良好地降低外部连接端子35的电阻。

另外，第一连接层36A与第一电极11以及第二电极17等由同一膜形成，第二连接层36B与第二连结部19由同一膜形成，因此，不增加制造工序就能够将外部连接端子35做成上述并联连接构造。

因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子35的电阻。由此，能够防止第一电极组15以及第二电极组21与控制器41的导通不良，能够得到良好的触摸位置检测功能。其结果，能够廉价地实现通过使用手指或笔等接触体进行各种操作就可正确地输入信息的液晶显示装置S。

《实施方式1的变形例1》

图16是放大表示该变形例1的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图17是表示图16的XVII－XVII线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式1中，外部连接端子35的第二连接层36B经形成于层间绝缘膜23的接触孔23b与引出配线31连接，但在本变形例中，代替接触孔23b，在层间绝缘膜23上形成向该层间绝缘膜23的外缘外侧开放的例如矩形状的缺口部23c，而第二连接层36B经该缺口部23c与引出配线31连接。

－实施方式1的变形例1的效果－

根据变形例1，与上述实施方式1那样第二连接层36B经形成于层间绝缘膜23的接触孔23a与引出配线31连接的情况相比，第二连接层36B和引出配线31的接触面积增大了缺口部23c向层间绝缘膜23的外缘外侧开放的量，因此，能够降低这些第二连接层36B和引出配线31之间的接触电阻。由此，能够良好地防止外部连接端子35和引出配线31的导通不良。

《实施方式1的变形例2》

图18是放大表示该变形例2的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图19是表示图18的XIX－XIX线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式1中，引出配线31的整体配置于层间绝缘膜23的内侧，但在本变形例中，引出配线31的引出前端部31b局部地从层间绝缘膜23和保护绝缘膜25向其外侧的端子区域T3延伸。而且，第二连接层36B覆盖引出配线31的延伸部分的整体。

－实施方式1的变形例2的效果－

根据该变形例2，虽然引出配线31的延伸部分位于层间绝缘膜23和保护绝缘膜25的外侧，但是通过覆盖延伸部分的第二连接层36B进行防湿等，从而不容易被腐蚀。而且，在这样引出配线31的引出前端部31b至少局部地延伸至绝缘膜23、25的外侧的结构中，与引出配线31的整体收纳于绝缘膜23、25的内侧的结构相比，能够缩窄端子区域T3侧的边框区域T2。

《实施方式1的变形例3》

图20是放大表示该变形例3的触摸面板TP的引出配线31和与其两端部连接的各连接端子33、35的连接构造的俯视图。图21是图中右侧表示图20的XXIA－XXIA线的剖面构造、图中左侧表示图20的XXIB－XXIB线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式1中，引出配线31通过一并图案形成的多个金属层层叠而成，但在本变形例中，引出配线31通过下侧配线层32A和上侧配线层32B层叠而构成，该下侧配线层32A与第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13以及第二电极组21(第二电极17)由同一膜形成，该上侧配线层32B由与上述实施方式1的引出配线31同样的多个金属层(例如，MoNb/Al/MoNb、MoN/Al/MoN或Mo/Al/Mo)构成。

下侧配线层32A与内部连接端子33以及第一连接层36A形成为一体，而将这些内部连接端子33和第一连接层36A连结。在本变形例中，下侧配线层32A构成本发明的第一配线层，上侧配线层32B构成本发明的第二配线层。

这种触摸面板TP能够通过在上述实施方式1的第一图案形成工序中与第一电极11和第二电极17等一并由透明导电膜51形成下侧配线层32A，在第二图案形成工序中形成上侧配线层32B来进行制造。

－实施方式1的变形例3的效果－

根据该变形例3，引出配线31具有由下侧配线层32A和上侧配线层32B构成的层叠构造，因此，与上述实施方式1那样仅以由与上侧配线层32B同样的金属材料构成的层构成的情况相比，构成该引出配线31的层增厚了多出的一层(下侧配线层32A)。由此，能够使引出配线31低电阻化。其结果，能够更进一步可靠地防止第一电极组15以及第二电极组21与控制器41的导通不良。

另外，下侧配线层32A与第一电极11以及第二电极17等由同一膜形成，因此，能够与第一电极11以及第二电极17等同时形成，不增加制造工序就可完成。

《实施方式1的变形例4》

图22是放大表示该变形例4的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图23是表示图22的XXIII－XXIII线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式1中，没有在端子区域T3中形成层间绝缘膜23，但在本变形例中，在端子区域T3中也形成有层间绝缘膜23。本变形例中，保护绝缘膜25也不形成于端子区域T3中，第一连接层36A和第二连接层36B从保护绝缘膜25延伸至保护绝缘膜25的外侧的端子区域T3。第二连接层36B在端子区域T3中也设置于层间绝缘膜23上，并经形成于该层间绝缘膜23的接触孔23d与第一连接层36A连接。

－实施方式1的变形例4的效果－

根据该变形例4，外部连接端子35也具有由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成的并联连接构造，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子35的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。

《实施方式1的变形例5》

图24是放大表示该变形例5的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图25是图24的XXV－XXV线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式1中，第二连接层36B在与第一连接层36A重叠的部位与引出配线31连接，但在本变形例中，第一连接层36A以及第二连接层36B，与上述引出配线31在相互不同的部位电连接。

具体而言，达到引出配线31的引出前端部31b的接触孔23b形成于比第一连接层36A靠层间绝缘膜23的内侧部位(图24和图25中左侧部位)，第二连接层36B在比第一连接层36A靠里侧(引出基侧)经该接触孔23b与引出配线31连接。

这种触摸面板TP能够通过在上述实施方式1的第三图案形成工序中，在与比第一连接层36A靠层间绝缘膜23内侧的引出配线31重叠的部位以使引出配线31的引出前端部31b局部地露出的方式形成接触孔23b，在第四图案形成工序中，以经接触孔23b与引出配线31连接的方式形成第二连接层36B来进行制造。

－实施方式1的变形例5的效果－

根据该变形例5，外部连接端子35也具有由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成的并联连接构造，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子35的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。

《发明的实施方式2》

图26是放大表示该实施方式2的触摸面板TP的引出配线31和与其两端部连接的各连接端子33、35的连接构造的俯视图。图27是表示图26的XXVII－XXVII线的剖面构造的剖视图。图28是在图中右侧表示图26的XXVIIIA－XXVIIIA线的剖面构造，在图中左侧表示图26的XXVIIIB－XXVIIIB线的剖面构造的剖视图。

在本实施方式中，触摸面板TP的结构与上述实施方式1局部不同，除此之外与上述实施方式1同样地构成，因此，只对结构不同的触摸面板部分进行说明。另外，在以后的实施方式中，对与图1～图25相同的结构部位标注同一符号，并引用上述实施方式1的说明，省略其详细的说明。

在上述实施方式1中，外部连接端子35的第一连接层36A和内部连接端子33设置于引出配线31的下层并与引出配线31的下侧表面连接，但在本实施方式中，这些第一连接层36A和内部连接端子33设置于引出配线31的上层并与引出配线31的上侧表面连接。

第一连接层36A以覆盖引出配线31的引出前端部31b的端子区域T3侧的方式形成。另一方面，第二连接层36B在与引出配线31重叠的部位经形成于层间绝缘膜23的接触孔23b与第一连接层36A连接，且经该第一连接层36A与引出配线31电连接。而且，与上述实施方式1同样地，这些第一连接层36A和第二连接层36B延伸至端子区域T3并相互层叠。

－制造方法－

接着，参照图29～图32对制造本实施方式的触摸面板TP的方法进行说明。与上述实施方式1同样地，制造上述触摸面板TP的触摸面板制造工序St1包含第一图案形成工序～第五图案形成工序。图29～图32依次表示第一图案形成工序～第四图案形成工序。在这些图29～图32中，图中左侧表示图5相当部位，图中右侧表示图9对应部位。另外，第五图案形成工序与上述实施方式同样，因此，省略其详细的说明。

＜第一图案形成工序＞

首先，通过溅射法，在预先准备的绝缘性基板10上依次形成例如钼铌合金(MoNb)膜、铝(Al)膜和钼铌合金(MoNb)膜，或者氮化钼(MoN)膜、铝(Al)膜和氮化钼〔MoN)膜，或者钼(Mo)膜、铝(Al)膜和钼(Mo)膜，如图29(a)所示，形成金属层叠膜53。而且，通过使用第一光掩模对该金属层叠膜53进行图案形成，如图29(b)所示，形成引出配线31。

＜第二图案形成工序＞

在形成有引出配线31的基板上，通过溅射法以覆盖引出配线31的方式，形成图30(a)所示的例如由ITO或IZO构成的透明导电膜51。接着，通过使用第一光掩模对该透明导电膜51进行图案形成，如图30(b)所示，形成第一电极11、第一连结部13、第二电极17，构成第一电极组15和第二电极组，并且以将与引出配线31一部分重叠地连接的方式形成内部连接端子33和第一连接层36A。

＜第三图案形成工序＞

在形成有第一电极11、第一连结部13、第二电极17、内部连接端子33和第一连接层36A的基板上，通过CVD法以覆盖它们和引出配线31的方式，形成图31(a)所示的例如由氮化硅(SiN)构成的绝缘膜54。接着，通过使用第三光掩模对该绝缘膜54进行图案形成，如图31(b)所示，在该绝缘膜54上形成接触孔23a、23b，而使第二电极17的角部露出，并且在与引出配线31的引出前端部31b重叠的部位使第一连接层36A局部地露出。与此同时，除去处于端子区域T3的绝缘膜部分，使第一连接层36A从该绝缘膜54露出，而由绝缘膜54形成层间绝缘膜23。

＜第四图案形成工序＞

通过溅射法，如图32(a)所示那样，在形成有层间绝缘膜23的基板上形成例如由ITO或IZO构成的透明导电膜55。而且，使用第四光掩模对该透明导电膜55进行图案形成，由此，如图32(b)所示，以经接触孔23a与第二电极17连接的方式形成第二连结部19，并经接触孔23b与第一连接层36A连接且在端子区域T3以覆盖该第一连接层36A的方式形成第二连接层36B，从而构成外部连接端子35。

然后，通过进行与上述实施方式1同样的第五图案形成工序，能够制造本实施方式的触摸面板TP。

－实施方式2的效果－

根据实施方式2，外部连接端子35也具有由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成的并联连接构造，且在端子区域T3具有第一连接层36A和第二连接层36B层叠而成的层叠构造，因此，能够得到与上述实施方式1同样的效果。

《实施方式2的变形例1》

图33是放大表示该变形例1的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图34是表示图33的XXXIV－XXXIV线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式2中，图示了外部连接端子35的第二连接层36B经形成于层间绝缘膜23的接触孔23b与第一连接层36A连接的结构，但在本变形例中，代替接触孔23a，在层间绝缘膜23上形成有向该层间绝缘膜23的外缘外侧开放的例如矩形状的缺口部23c，第二连接层36B经该缺口部23c在与引出配线31重叠的部位与第一连接层36A连接。

－实施方式2的变形例1的效果－

根据变形例1，与上述实施方式1那样第二连接层36B和引出配线31经形成于层间绝缘膜23的接触孔23b连接的情况相比，第二连接层36B和引出配线31的接触面积增大了缺口部23c向层间绝缘膜23的外缘外侧开放的量，因此，能够降低第二连接层36B和引出配线31之间的接触阻力。由此，能够良好地防止外部连接端子35和引出配线31的导通不良。

《实施方式2的变形例2》

图35是放大表示该变形例2的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图36是表示图35的XXXVI－XXXVI线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式2中，图示了引出配线31的整体配置于层间绝缘膜23的内侧的结构，但在本变形例中，引出配线31的引出前端部31b局部地从层间绝缘膜23和保护绝缘膜25延伸至其外侧的端子区域T3。而且，第一连接层36A和第二连接层36B覆盖引出配线31的延伸部分的整体。

－实施方式2的变形例2的效果－

根据该变形例2，虽然引出配线31的延伸部分位于层间绝缘膜23和保护绝缘膜25的外侧，但能够通过覆盖引出配线31的延伸部分的第一连接层36A和第二连接层36B来防湿等，因而不容易被腐蚀。而且，在像这样引出配线31的引出前端部31b至少局部地延伸至绝缘膜23、25的外侧的结构中，与引出配线31的整体收纳于绝缘膜23、25的内侧的结构相比，能够使端子区域T3侧的边框区域T2变窄。

《实施方式2的变形例3》

图37是放大表示该变形例3的触摸面板TP的引出配线31和与其两端部连接的各连接端子33、35的连接构造的俯视图。图38是图中右侧表示图37的XXXVIIIA－XXXVIIIA线的剖面构造、图中左侧表示图37的XXXVIIIB－XXXVIIIB的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式2中，与上述实施方式1同样，引出配线31是仅由一并图案形成的多个金属层构成的结构，但在本变形例中，引出配线31通过下侧配线层32A和上侧配线层32B层叠而构成。该下侧配线层32A由与上述实施方式2的引出配线31同样的多个金属层(例如，MoNb/Al/MoNb、MoN/Al/MoN或Mo/Al/Mo)构成，该上侧配线层32B与第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)以及内部连接端子33由同一膜形成。

上侧配线层32B与内部连接端子33以及第一连接层36A形成为一体，而将这些内部连接端子33和第一连接层36A连结。在本变形例中，下侧配线层32A构成本发明的第二配线层，上侧配线层32B构成本发明的第一配线层。

这种触摸面板TP能够通过在上述实施方式2的第一图案形成工序中形成下侧配线层32A，在第二图案形成工序中与第一电极11和第二电极17等一并由透明导电膜51形成上侧配线层32B来进行制造。

－实施方式2的变形例3的效果－

根据该变形例3，引出配线31具有由下侧配线层32A和上侧配线层32B构成的层叠构造，因此，与上述实施方式1那样仅由与下侧配线层32A同样的金属材料构成的层构成的情况相比，构成该引出配线31的层增厚了多出的一层(上侧配线层32B)。由此，能够使引出配线31低电阻化。其结果，能够更进一步可靠地防止第一电极组15以及第二电极组21与控制器41的导通不良。

另外，上侧配线层32B和第一电极11以及第二电极17等由同一膜形成，因此，能够与第一电极11和第二电极17等一并形成，不增加制造工序就可完成。

《实施方式2的变形例4》

图39是放大表示该变形例4的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图40是图39的XL－XL线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式2中，图示了在端子区域T3中未形成层间绝缘膜23的结构，但在本变形例中，即使在端子区域T3中也形成有层间绝缘膜23。本变形例中，保护绝缘膜25也不形成于端子区域T3中，第一连接层36A和第二连接层36B从保护绝缘膜25延伸至其外侧的端子区域T3。第二连接层36B在端子区域T3中也设置于层间绝缘膜23上，并经形成于该层间绝缘膜23的接触孔23d与第一连接层36A连接。

－实施方式2的变形例4的效果－

根据该变形例4，外部连接端子35具有由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成的并联连接构造，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子35的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。

《实施方式2的变形例5》

图41是放大表示该变形例5的触摸面板TP的外部连接端子35和引出配线31的连接构造的俯视图。图42是表示图41的XLII－XLII线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式2中，图示了第二连接层36B在与第一连接层36A重叠的部位与引出配线31连接的结构，但在本变形例中，第一连接层36A和第二连接层36B在相互不同的部位与上述引出配线31电连接。具体而言，到达引出配线31的引出前端部31b的接触孔23b形成于比第一连接层36A靠层间绝缘膜23的内侧部位(图41和图42中左侧部位)，第二连接层36B经该接触孔23b在比第一连接层36A靠里侧(引出基侧)的位置与引出配线31连接。

这种触摸面板TP能够通过在上述实施方式2的第三图案形成工序中，在与比第一连接层36A靠层间绝缘膜23内侧的引出配线31重叠的部位以使引出配线31的引出前端部31b局部地露出的方式形成接触孔23b，在第四图案形成工序中，以经接触孔23b与引出配线31连接的方式形成第二连接层36B来进行制造。

－实施方式2的变形例5的效果－

根据该变形例5，外部连接端子35具有由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成的并联连接构造，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子35的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。

《其它实施方式》

对于上述实施方式1、2和它们的变形例，也可以为下面的结构和制造方法。

＜引出配线31的配置＞

图43～图46中表示其它实施方式的触摸面板TP的引出配线31和与其两端部连接的各连接端子33、35的连接构造。

图43是表示引出配线31和与其两端部连接的各连接端子33、35的连接构造的第一方式的剖视图。图44是在图中右侧表示图43的XLVIA－XLVIA线的剖面构造，在图中左侧表示图43的XLVIB－XLVIB线的剖面构造的剖视图。图45是表示引出配线31和与其两端部连接的各连接端子33、35的连接构造的第二方式的剖视图。图46是在图中右侧表示图45的XLVIA－XLVIA线的剖面构造，在图中左侧表示图46的XLVIB－XLVIB线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式1、2和它们的变形例中，对在层间绝缘膜23的下层设置有引出配线31的结构进行了说明，但本发明不限于此。例如，如图43和图44所示，也可以在层间绝缘膜23的上层设置有引出配线31，该引出配线31经形成于层间绝缘膜23的接触孔23b与第一连接层36A连接，第二连接层36B设置于引出配线31的上层并与引出配线31的上侧表面连接。在该情况下，例如，引出配线31在与引出配线31的引出基端部31a重叠的部位经形成于层间绝缘膜23的接触孔23e与内部连接端子33连接。

另外，也可以如图45和图46所示，第二连接层36B设置于引出配线31的下层并与其下侧表面连接，第一连接层36A经第二连接层36B与引出配线31电连接。

即使是上述的各结构，外部连接端子35也具有由与引出配线31并联连接的第一连接层36A和第二连接层36B构成的并联连接构造，因此，不增大制造成本，就能够降低外部连接端子35的电阻，从而得到良好的触摸位置检测功能。

＜第一电极组15、第一连结部13、第二电极组21、第二连结部19的配置＞

图47是放大表示其它实施方式的触摸面板TP的触摸区域T1的俯视图。图48是表示图47的XLVIII－XLVIII线的剖面构造的剖视图。

在上述实施方式1、2和它们的变形例中，对在层间绝缘膜23的下层设置有第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)，在层间绝缘膜23的上层设置有第二连结部19的结构进行了说明，但本发明不限于此。例如，如图47和图48所示，也可以采用在层间绝缘膜23的下层设置有第二连结部19，且在层间绝缘膜23的上层设置有第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)的颠倒构造。在该情况下，第二连结部19构成本发明的第一导电图案，第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)构成本发明的第二导电图案。而且，在该颠倒结构的触摸面板TP中，第一连接层36A与第二连结部19由同一膜形成，第二连接层36B与第一电极组15(第一电极11)、第一连结部13、第二电极组21(第二电极17)由同一膜形成。

即使这种颠倒构造的触摸面板TP，也与上述实施方式1同样，将第一电极组15和第二电极组21设置于同一层，因此，能够进行灵敏度良好的触摸位置的检测。

另外，也可以在层间绝缘膜23的下层设置有第一电极组15(第一电极11)和第一连结部13，在层间绝缘膜23的上层设置有第二电极组21(第二电极17)和第二连结部19。在该情况下，第一电极组15(第一电极11)和第一连结部13构成本发明的第一导电图案，第二电极组21(第二电极17)和第二连结部19构成本发明的第二导电图案。而且，在该结构的触摸面板TP中，第一连接层36A与第一电极组15(第一电极11)以及第一连结部13由同一膜形成，第二连接层36B与第二电极组21(第二电极17)以及第二连结部19由同一膜形成。

＜触摸面板TP相对于液晶显示装置S的结构＞

在上述实施方式1、2和它们的变形例中，触摸面板TP直接形成于对置基板3的外侧表面，但本发明不限于此，触摸面板TP也可以与对置基板3形成于不同的玻璃基板等透明基板上，将该触摸面板TP贴合于对置基板3上而构成液晶显示装置S。

＜液晶显示装置S的制造方法＞

在上述实施方式1中，贴合工序St4中，通过所谓的滴下注入法制作液晶显示面板DP，该方法如下：在TFT基板1或对置基板3上将密封材料5描绘成框状，向该密封材料5的内侧滴下液晶材料之后，使TFT基板1和对置基板3隔着这些密封材料5和液晶材料贴合，但也可以通过所谓的真空注入法制作液晶显示面板DP，该方法如下：在TFT基板1或对置基板3上将密封材料描绘成具有缝隙的大致框状，使TFT基板1和对置基板3隔着该密封材料贴合而构成具有空隙单元的贴合体，利用真空牵引产生的气压差从由密封材料的缝隙构成的注入口向该贴合体的空隙单元注入液晶材料，然后，利用封止材密封注入口。

另外，在上述实施方式1中，在对置基板制造工序St2之前进行触摸面板制造工序St1，但本发明不限于此，触摸面板制造工序St1也可以在贴合工序St4之后进行。即，也可以在贴合有TFT基板1和对置基板3的贴合体的表面上，反复进行公知的光刻而形成第一电极11、第一连结部13、第二电极17、内部连接端子33、引出配线31、层间绝缘膜23、第二连结部19、外部连接端子35(第一连接层36A和第二连接层36B)和保护绝缘膜25，由此，制造触摸面板TP。

以上，对本发明的优选的实施方式和其变形例进行了说明，但本发明的技术范围不限定于上述实施方式和变形例的范围。上述实施方式和变形例为示例，本领域技术人员可以理解在这些各构成要素和各处理程序的组合的基础上还可以具有各种变形例，而且，这样的变形例也属于本发明的范围。

例如，在上述实施方式1、2和它们的变形例中，举例说明了液晶显示装置，但本发明不限于此，不仅适用于液晶显示装置，而且还可以适用于有机EL(ElectroLuminescence：场致发光)显示装置或无机EL显示装置、等离子显示装置、FED(FieldEmissionDispLay；场发射显示器)、SED(Surface-conductionElectron-emitterDisplay；表面传导电子发射显示器)等其它各种显示装置中，只要是具备该触摸面板的显示装置，就可以广泛应用。

工业上的可利用性

如以上说明，本发明对触摸面板和具备该触摸面板的显示装置以及触摸面板的制造方法是有用的，特别适于希望不增加制造工序、就使外部连接端子的电阻降低，从而得到良好的触摸位置检测功能的触摸面板和具备该触摸面板的显示装置以及触摸面板的制造方法。

符号说明

S液晶显示装置

DP液晶显示面板

TP触摸面板

T1触摸区域

T3端子区域

11第一电极(第一导电图案)

13第一连结部(第一导电图案)

15第一电极组(第一导电图案)

17第二电极(第一导电图案)

19第二连结部(第二导电图案)

21第二电极组(第一导电图案)

23层间绝缘膜

23b接触孔

23c缺口部

25保护绝缘膜

31引出配线

31b引出前端部

35外部连接端子

36A第一连接层

36B第二连接层

41控制器(外部电路)

51、55透明导电膜

53金属层叠膜(金属膜)

54绝缘膜

59层叠绝缘膜(绝缘膜)

Claims (10)

1.一种触摸面板，其特征在于，包括：

触摸区域，其为用于检测由接触体接触的触摸位置的区域；

端子区域，其为设置于所述触摸区域的外侧，用于与外部电路连接的区域；

触摸位置检测用的第一导电图案，其配置于所述触摸区域且含有透明导电性氧化物；

层间绝缘膜，其以覆盖所述第一导电图案的至少一部分的方式设置；

触摸位置检测用的第二导电图案，其设置于所述层间绝缘膜上且含有透明导电性氧化物；

保护绝缘膜，其以覆盖所述第二导电图案的方式设置；

引出配线，其与所述第一导电图案和第二导电图案中的至少一个电连接，从所述触摸区域侧引出至所述端子区域侧，且被绝缘膜覆盖；和

外部连接端子，其与所述引出配线的引出前端部连接，并且引出至所述绝缘膜的外部而设置于所述端子区域，

所述外部连接端子构成为：与所述第一导电图案由同一膜形成的第一连接层和与所述第二导电图案由同一膜形成的第二连接层，在与所述引出配线重叠的部位与该引出配线电连接，且在所述引出配线的外侧部位相互电连接。

2.如权利要求1所述的触摸面板，其特征在于：

所述第一连接层和第二连接层在所述端子区域相互层叠。

3.如权利要求1或2所述的触摸面板，其特征在于：

所述层间绝缘膜上，在与所述引出配线的引出前端部重叠的部位形成有接触孔或缺口部，

所述引出配线和第二连接层经所述接触孔或缺口部相互电连接。

4.如权利要求1～3中任一项所述的触摸面板，其特征在于：

所述引出配线的引出前端部延伸至所述绝缘膜的外侧，

所述第一连接层和第二连接层中的至少一个覆盖所述引出配线的延伸部分的整体。

5.如权利要求1～4中任一项所述的触摸面板，其特征在于：

所述第一连接层和第二连接层在相互不同的部位与所述引出配线电连接。

6.如权利要求1～5中任一项所述的触摸面板，其特征在于：

所述引出配线通过与所述第一导电图案由同一膜形成的第一配线层和含有金属材料的第二配线层层叠而构成。

7.如权利要求1～6中任一项所述的触摸面板，其特征在于：

所述第一导电图案和第二导电图案中的一个具有：各自包含在一个方向上排列的多个第一电极且相互平行地排列的多个第一电极组；各自包含在与该各第一电极组交叉的方向上排列的多个第二电极且相互平行地排列的多个第二电极组；和将所述各第一电极组的相邻的第一电极彼此连结的第一连结部，

所述第一导电图案和第二导电图案中的另一个具有将所述第二电极组的相邻的第二电极彼此连结的第二连结部。

8.如权利要求1～7中任一项所述的触摸面板，其特征在于：

形成所述第一导电图案和第二导电图案的透明导电性氧化物为铟锡氧化物或铟锌氧化物。

9.一种显示装置，其特征在于：

具备权利要求1～8中任一项所述的触摸面板。

10.如权利要求9所述的显示装置，其特征在于：

所述触摸面板直接形成在构成显示面板的基板表面上。