CN101776967A - 触摸面板的制造方法、触摸面板、显示装置及电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种抑制了制造成本的触摸面板的制造方法、触摸面板、图像显示装置及电子设备。该触摸面板的制造方法，是具有基板、在基板的功能面上形成并且在相互交叉的方向上延伸的多个第1电极及多个第2电极的触摸面板的制造方法，包括：电极成膜工序(S10)，其在基板上，形成多个第1电极和将第2电极在与第1电极的交叉部分处断开而成的形状的电极膜；绝缘膜形成工序(S30)，其至少在成为与第2电极的交叉部分的位置的第1电极上，使用印刷法形成绝缘膜；以及桥接布线形成工序(S40)，其使用印刷法形成经过绝缘膜上方连接电极膜之间的桥接布线。

Description

触摸面板的制造方法、触摸面板、显示装置及电子设备
技术领域
本发明涉及触摸面板的制造方法、触摸面板、显示装置及电子设备。
背景技术
静电电容型的触摸屏幕，是这样的装置：通过将手指等接近形成有电极的面板的预定位置而在手指与面板的电极间形成电容，通过检测对这样形成的电容进行充电的电流，而检测预定位置。对于静电电容型的触摸屏幕，例如公开了以下内容。
专利文献1中所记载的坐标输入装置，为下述结构：由设置有X电极的基板及设置有Y电极的基板夹持液晶层。并且，接近X电极侧的基板的检测笔的电极在其与X电极及Y电极间形成浮动电容，根据在对浮动电容进行充电时感应生成的电压，对检测笔的位置进行检测(参照专利文献1)。
其次，专利文献2中所记载的信息输入输出装置，其与显示部的各个像素对应地配置为矩阵状的电极、和对于各个电极设置的有源元件形成在同一基板上。并且，这些电极作为位置检测时的传感电极发挥作用(参照专利文献2)。
其次，专利文献3中所记载的坐标输入装置，为下述结构：其相互交叉的X电极及Y电极形成在传感器基板的表面及背面的各个上。并且，根据因从X电极侧接近的手指而伴随着从X电极向Y电极的电力线变化的电流变化，检测位置(参照专利文献3)。
其次，专利文献4中所记载的坐标位置输入装置，为下述结构：设置有多个隔着绝缘层相对地配置并且相互交叉的电极。并且，通过检测因接近电极的操作者的手指而变化了的电流，进行位置检测(参照专利文献4)。
【专利文献1】特开平4-337824号公报
【专利文献2】特开平6-318136号公报
【专利文献3】特开平9-305289号公报
【专利文献4】特开平10-63403号公报
但是，在这些专利文献1～4所记载的发明中，因为成为当形成在各个方向上延伸的电极或者在同一基板上形成电极及有源电路时，通过重复多次喷镀法、光刻法以及蚀刻法等使布线层叠层的结构，所以存在着制造成本上升的问题。
发明内容
因此，本发明的目的之一在于提供一种抑制了制造成本的触摸面板的制造方法、触摸面板、图像显示装置及电子设备。
本发明的触摸面板的制造方法，是具有基板、在前述基板的一面侧形成并且在相互交叉的方向上延伸的多个第1电极及多个第2电极的触摸面板的制造方法，包括：电极成膜工序，其在前述基板上，形成多个前述第1电极和将前述第2电极在与前述第1电极的交叉部分处断开而成的形状的电极膜；绝缘膜形成工序，其至少在成为与前述第2电极的交叉部分的位置的前述第1电极上，使用印刷法形成绝缘膜；以及桥接布线形成工序，其使用印刷法形成经过前述绝缘膜上方连接前述电极膜之间的桥接布线。
据此，通过在同一工序中形成第1电极和成为第2电极的电极膜，并利用印刷法形成连接电极膜之间的桥接布线，由于能够削减形成第1及第2电极的工时，所以能够提供降低了制造成本的触摸面板的制造方法。
优选地，前述第1电极及前述第2电极具有多个岛状电极部和连接相邻的前述岛状电极部之间的桥接布线，并且使相互的前述桥接布线交叉；在前述电极成膜工序中，形成前述第1电极、和前述第2电极的前述岛状电极部；在前述绝缘膜形成工序中，至少在前述第1电极的前述桥接布线上形成前述绝缘膜；在前述桥接布线形成工序中，形成前述第2电极的前述桥接布线。
据此，通过用同一工序形成第1及第2电极的岛状电极部，并用印刷法形成桥接布线，由于能够削减形成第1及第2电极的工时，所以能够提供降低了制造成本的触摸面板的制造方法。
优选地，在前述电极成膜工序中，矩阵状地形成俯视矩形形状的前述岛状电极部，并且形成连接前述第1电极的前述岛状电极部的角部之间的前述桥接布线；在前述桥接布线形成工序中，形成连接前述第2电极的前述岛状电极部的角部之间的前述桥接布线。
据此，由于能够将桥接布线的交叉部分的俯视区域形成得最小，所以能够提供用最短的桥接布线使第1及第2电极相互交叉起来的触摸面板的制造方法。
优选地，在前述绝缘膜形成工序中，将前述绝缘膜在形成前述第2电极的前述桥接布线的部分处形成为中间变细的俯视形状。
据此，由于能够利用位于中间变细的区域的旁侧的绝缘膜减少桥接布线的形成材料的濡湿扩散，所以能够提供防止了桥接布线的误布线的触摸面板的制造方法。
优选地，在前述电极成膜工序之后，包括下述工序：在被引出至该触摸面板的输入区域外的前述第1及第2电极上，叠层形成辅助布线，该辅助布线具有比前述第1及第2电极低的薄层电阻。
据此，由于被引出至输入区域的周围的布线的布线电阻因辅助布线而减小，所以能够提供抑制了功耗的触摸面板的制造方法。
优选地，在前述绝缘膜形成工序中，包括下述工序：与前述绝缘膜一同形成覆盖前述辅助布线的布线保护膜。
据此，由于能够在同一工序中形成绝缘膜及布线保护膜，所以能够提供削减了工时、降低了制造成本的触摸面板的制造方法。
优选地，在前述桥接布线形成工序之后，包括：保护膜形成工序，其至少在前述基板的前述一面侧的、包含该触摸面板的输入区域的区域，形成保护膜。
据此，由于能够保护在输入区域形成的第1及第2电极，所以能够提供延长了产品寿命的触摸面板的制造方法。
优选地，在前述桥接布线形成工序或前述保护膜形成工序之后，包括下述工序：至少在前述基板的前述一面侧的、包含该触摸面板的输入区域的区域，形成粘接层，该粘接层将保护基板或光学元件基板与前述基板粘接。
据此，由于能够通过将保护基板或光学元件基板可靠地安装在基板的一面侧，而可靠地保护输入区域的第1及第2电极，所以能够提供进一步延长了产品寿命的触摸面板的制造方法。
优选地，在前述电极膜形成工序之前，包括下述工序：在前述基板的前述一面侧，叠层导电膜和覆盖前述导电膜的绝缘膜。
据此，由于能够遮断来自于与基板的一面相反侧的面的噪音，所以能够提供防止了误工作的发生的触摸面板的制造方法。
优选地，包括：在前述基板的与前述一面相反侧的面上，形成导电膜的工序。
据此，由于能够遮断来自于与基板的一面相反侧的面的噪音，所以能够提供防止了误工作的发生的触摸面板的制造方法。
优选地，包括：在前述基板上的、前述第1电极与前述第2电极之间的区域，形成虚设电极的工序，该虚设电极具有与前述第1及第2电极基本相同的成分。
据此，由于能够减少第1电极与第2电极的间隙，所以能够提供减轻了从使用者侧对于第1及第2电极的布线图案的辨识性的触摸面板的制造方法。
本发明的触摸面板，具有基板、在前述基板的一面侧形成并且在相互交叉的方向上延伸的多个第1电极及多个第2电极，在前述基板上具有：前述第1电极；将前述第2电极在与前述第1电极的交叉部分处断开而成的形状的电极膜；至少在成为与前述第2电极的交叉部分的位置的前述第1电极上形成的绝缘膜；以及经过前述绝缘膜上方连接前述电极膜之间的桥接布线。
据此，由于第1、第2电极被形成在基板的同一面上，并且形成工时被削减，所以能够提供降低了制造成本的触摸面板。此外，由于电极膜被形成在同一面上，所以能够实现光透射率的提高、触摸面板的薄型化等。
本发明的触摸面板，优选地，前述第1电极及前述第2电极具有多个岛状电极部和连接相邻的前述岛状电极部之间的桥接布线，并且使相互的前述桥接布线交叉；在前述第1及第2电极的交叉部分处：在前述第1电极的前述桥接布线上形成前述绝缘膜；前述第2电极的前述桥接布线，经过前述绝缘膜上方连接前述第2电极的前述岛状电极部之间。
据此，由于只要部分地形成绝缘膜及桥接布线即可，所以能够提供降低了制造成本的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，前述岛状电极部是俯视基本矩形形状的，前述桥接布线连接前述岛状电极部的角部之间。
据此，由于能够将桥接布线的交叉部分的俯视区域形成得最小，所以能够提供用最短的桥接布线使第1及第2电极相互交叉起来的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，前述绝缘膜，在形成有前述第2电极的桥接布线的位置处具有中间变细的俯视形状。
据此，由于能够利用位于中间变细的区域的旁侧的绝缘膜使桥接布线的形成材料难以濡湿扩散，所以能够提供防止了桥接布线的误布线的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，在被引出至该触摸面板的输入区域外的前述第1及第2电极上，叠层有辅助布线，该辅助布线具有比前述第1及第2电极低的薄层电阻。
据此，由于被引出至输入区域的周围的布线的布线电阻因辅助布线而减小，所以能够提供抑制了功耗的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，覆盖前述辅助布线地形成有布线保护膜，该布线保护膜包含与前述绝缘膜相同的成分。
据此，由于能够在同一工序中形成绝缘膜及布线保护膜，所以能够提供削减了工时、降低了制造成本的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，具有：保护膜，其至少覆盖配置于该触摸面板的输入区域的前述第1及第2电极。
据此，由于在输入区域形成的第1及第2电极受到保护，所以能够提供提高了可靠性的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，至少覆盖配置于该触摸面板的输入区域的前述第1及第2电极地形成有粘接层，并且经由前述粘接层粘接保护基板或光学元件基板。
据此，由于能够通过将保护基板或光学元件基板可靠地安装在基板的一面侧，而可靠地保护输入区域的第1及第2电极，所以能够提供进一步提高了可靠性的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，在前述基板的前述一面侧，形成导电膜和覆盖前述导电膜的绝缘膜；在前述绝缘膜上，形成有前述第1及第2电极。
据此，由于能够遮断来自于与基板的一面相反侧的面的噪音，所以能够提供防止了误工作的发生的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，在前述基板的与前述一面相反侧的面上，形成有导电膜。
据此，由于能够遮断来自于与基板的一面相反侧的面的噪音，所以能够提供防止了误工作的发生的触摸面板。
本发明的触摸面板，优选地，前述基板是构成显示装置的基板。
据此，由于能够在一块基板上形成触摸面板用的电极及显示装置用的电极，所以能够提供降低了制造成本的触摸面板。
此外，优选地，在显示装置中具备本发明的触摸面板。
据此，由于能够将以低成本制造的触摸面板用于显示装置，所以能够降低显示装置的制造成本。
优选地，在电子设备中具备本发明的触摸面板或本发明的显示装置。
据此，由于能够将以低成本制造的触摸面板或显示装置用于电子设备，所以能够降低电子设备的制造成本。
附图说明
图1是触摸面板100的示意俯视图；
图2是触摸面板100的示意剖面图；
图3是触摸面板100A的示意剖面图；
图4是触摸面板的制造方法的流程图；
图5是表示液滴排出装置IJ的概略结构的立体图；
图6是用于说明液体材料的排出原理的图；
图7是触摸面板100的制造工序图；
图8是触摸面板100的制造工序图；
图9是在交叉部分处配置的液滴的示意图；
图10是在交叉部分处配置的液滴的示意图；
图11是触摸面板200的示意俯视图；
图12是触摸面板200的示意剖面图；
图13是液晶显示装置500的示意俯视图及示意剖面图；以及
图14是表示本发明的电子设备的一例的立体图。
符号说明
1...基板，2...输入区域，12、22...岛状电极部，10、110...X电极(第1电极)，20、120...Y电极(第2电极)，30、80A、130...绝缘膜，11、21、121...桥接布线，40、140...平坦化膜，50...保护基板，60...引绕布线，62...布线保护膜，70、70A...遮蔽层(导电膜)，100、100A、200...触摸面板，125...虚设电极，500...液晶显示装置、1100...便携式个人计算机，S10...电极成膜工序，S20...辅助布线形成工序，S30...绝缘膜形成工序，S40...桥接布线形成工序，S50...平坦化膜形成工序(保护膜形成工序)，S60...保护基板接合工序(粘接层形成工序)，S70...遮蔽层形成工序(导电膜形成工序)。
具体实施方式
以下使用附图说明本发明的触摸面板、触摸面板的制造方法、显示装置及电子设备。
此外，以下实施的实施方式，是表示本发明的一种形态的实施方式，而并不是要限定本发明，在本发明的技术思想的范围内可以任意地进行变形。此外，在以下的附图中，为了使各结构容易理解，使各结构的比例尺、数量等与实际的结构有所不同。
<第1实施方式>
[触摸面板]
图1是本实施方式的触摸面板100的示意俯视图。图2是触摸面板100的A-A’示意剖面图。
触摸面板100具有基板1、输入区域2以及引绕布线60。
基板1被成形为俯视矩形形状，作为其材质，使用玻璃、丙烯酸树脂等透明的材质。
输入区域2是在图1中由一点划线包围的区域，是检测在触摸面板上输入的手指的位置信息的区域。
在输入区域2，分别配置有多个X电极10及多个Y电极20。X电极10在图示中沿着X轴方向延伸，并且多个X电极10沿着Y轴方向排列。Y电极20在图示中沿着Y轴方向延伸，并且各个Y电极20沿着X轴方向排列。X电极10及Y电极20，通过使其相互的桥接布线交叉，而在输入区域2内相交叉。
X电极10具备在X轴方向上排列的多个岛状电极部12和连接相邻的岛状电极部12之间的桥接布线11。岛状电极部12形成为俯视矩形形状，并且被配置为其一条对角线沿着X轴。
Y电极20具备在Y轴方向上排列的多个岛状电极部22和连接相邻的岛状电极部22之间的桥接布线21。岛状电极部22形成为俯视矩形形状，并且被配置为其一条对角线沿着Y轴。
岛状电极部12和岛状电极部22，被配置(方格图案状配置)为在X轴方向及Y轴方向上相互交错，在输入区域2中，矩形形状的岛状电极部12、22被配置为俯视矩阵状。
作为构成X电极10及Y电极20的材质，能够采用ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物，注册商标)、ZnO等具有透光性的电阻体。
引绕布线60与X电极10及Y电极20连接，并且与设置在触摸面板100的内部或者外部装置中的驱动部及电信号变换/运算部(均省略图示)连接。
接着，对于图2的剖面图进行说明。
在基板1的功能面1a上，设置有岛状电极部12(省略图示)、岛状电极部22及桥接布线11。在桥接布线11上，形成有绝缘膜30。并且，在绝缘膜30上配置有桥接布线21。
此外，在基板1的功能面1a上，配置有引绕布线60。引绕布线60由配置在功能面1a上的第1层60a及叠层在第1层60a上的第2层60b构成。并且，覆盖引绕布线60地形成有布线保护膜62。
覆盖这些电极及布线地，形成有平坦化膜40。在平坦化膜40上，隔着粘接层51配置有保护基板50。在基板1的背面1b上，设置有遮蔽层70。
绝缘膜30，将立体地交叉的桥接布线11与桥接布线21绝缘。绝缘膜30，能够使用印刷法涂敷聚硅氧烷、丙烯酸类树脂及丙烯酸单体等，并使之干燥固化而形成。
在使用聚硅氧烷而形成的情况下，绝缘膜30成为由硅氧化物构成的无机绝缘膜。另一方面，在采用丙烯酸类树脂及丙烯酸单体的情况下，绝缘膜30成为由树脂材料构成的有机绝缘膜。
对于绝缘膜30的构成材料，优选采用相对介电常数小于等于4.0、理想的是小于等于3.5的材料。由此，能够减小桥接布线的交叉部分处的寄生电容，从而保持触摸面板的位置检测性能。
此外，对于绝缘膜30的构成材料，优选使用折射率小于等于2.0、理想的是小于等于1.7的材料。由此，能够减小与基板1、X电极10、Y电极20等的折射率差，从而能够防止绝缘膜30的图案被使用者观看到的情况。
引绕布线60的第1层60a是将X电极10或Y电极20延伸至输入区域2的外侧的区域而成的布线，其由ITO、IZO等电阻体形成。
第2层60b叠层形成在第1层60a上，减小引绕布线60的布线电阻。第2层60b能够使用以Au、Ag、Al、Cu、Pd等金属以及碳(石墨、碳纳米管等纳米碳)中的一种或多种为成分的有机化合物、纳米微粒、纳米线等而形成。第2层60b的构成材料，只要其薄层电阻与第1层60a相比能够变小即可，而没有特别的限定。
覆盖引绕布线60的布线保护膜62，与绝缘膜30同样，能够利用印刷法而形成，该印刷法将聚硅氧烷、丙烯酸类树脂及丙烯酸单体等用作为形成材料。因此，布线保护膜62能够在形成绝缘膜30的工序中同时地形成。
平坦化膜40覆盖基板1的功能面1a的至少输入区域2而形成，其将X电极10、Y电极20等所导致的功能面1a的凹凸平坦化。平坦化膜40，优选如图所示，覆盖功能面1a的基本整个面(除了外部连接端子部之外)而形成。通过利用平坦化膜40将基板1的功能面1a侧平坦化，能够遍布大致整个面地将基板1与保护基板50均匀地接合。
此外，对于平坦化膜40的构成材料，优选使用折射率小于等于2.0、理想的是小于等于1.7的材料。由此，能够减小与基板1、X电极10、Y电极20等的折射率差，能够使X电极10、Y电极20的布线图案难以被观看到。
保护基板50是玻璃、塑料等的透明基板。或者，在本实施方式的触摸面板100被配置于液晶面板、有机EL面板等显示装置的前面的情况下，作为保护基板50，也能够使用光学元件基板(偏振板、相位差板等)，该光学元件基板用作为显示装置的一部分。
遮蔽层70，通过将ITO、IZO(注册商标)等透明导电材料成膜在基板1的背面1b而形成。或者，也可以准备形成有成为遮蔽层的透明导电膜的薄膜，形成为将这样的薄膜粘接在基板1的背面1b而成的结构。
通过设置遮蔽层70，将遮断基板1的背面1b侧的电场。由此，能够防止触摸面板100的电场作用于显示装置等、显示装置等的外部设备的电场作用于触摸面板100的情况。
此外，在本实施方式中，虽然在基板1的背面1b形成了遮蔽层70，但是也能够如图3所示，将遮蔽层形成在基板1的功能面1a侧。图3是表示这样的变形例的触摸面板100A的示意剖面图。
在图3所示的触摸面板100A中，在基板1的功能面1a上形成遮蔽层70A，覆盖遮蔽层70A而形成有绝缘膜80A。绝缘膜80A上的结构，与图2中所示的触摸面板100相同。在触摸面板100A中，由于在基板1的单面形成遮蔽层70A、X电极10、Y电极20、引绕布线60等，所以能够避免制造工序烦杂化，能够形成为制造性优异的触摸面板。
在此，对于触摸面板100的工作原理简单地进行说明。
首先，从图示省略的驱动部，经由引绕布线60向X电极10及Y电极20供给预定的电位。
此外，在遮蔽层70上，输入例如接地电位。
在如上所述被供给电位的状态下，若手指从保护基板50侧向输入区域2接近，则将在接近保护基板50的手指与接近位置附近的X电极10及Y电极20的各个之间形成寄生电容。并且，在形成了寄生电容的X电极10及Y电极20上，为了对该寄生电容进行充电而引起暂时的电位降低。
在驱动部中，感测各电极的电位，即时地检测发生了上述的电位降低的X电极10及Y电极20。并且，通过利用电信号变换/运算部来分析所检测的电极的位置，而检测手指在输入区域2中的位置信息。
具体地，利用在X轴方向上延伸的X电极10，检测手指所接近的位置在输入区域2中的Y坐标，利用在Y轴方向上延伸的Y电极20，检测在输入区域2中的X坐标。
[触摸面板的制造方法]
接着，对于触摸面板的制造方法进行说明。在本实施方式中，对于图1及图2所示的触摸面板100的制造方法，参照附图进行说明。图4是触摸面板的制造方法的流程图。
本实施方式的触摸面板的制造工序，如图4所示，包括：在基板1的功能面1a上形成岛状电极部12、22、桥接布线11以及引绕布线60的第1层60a的电极成膜工序S10；在引绕布线60的第1层60a上叠层第2层60b的辅助布线形成工序S20；在桥接布线11上形成绝缘膜30并且覆盖引绕布线60地形成布线保护膜62的绝缘膜形成工序S30；形成经过绝缘膜30上方连接相邻的岛状电极部22之间的桥接布线21的桥接布线形成工序S40；形成将基板1的功能面1a侧平坦化的平坦化膜40的平坦化膜形成工序(保护膜形成工序)S50；经由粘接层51将保护基板50与平坦化膜40接合的保护基板接合工序(粘接层形成工序)S60；在基板1的背面1b形成遮蔽层70的遮蔽层形成工序(导电膜形成工序)S70。
本实施方式的触摸面板100的制造工序，包括利用作为印刷法的一种的液滴排出法进行成膜的工序。因此，在触摸面板的制造方法的说明之前，对于液滴排出装置进行说明。
图5是示出液滴排出装置IJ的概略结构的立体图。液滴排出装置IJ，具备液滴排出头1001、X轴方向驱动轴1004、Y轴方向导引轴1005、控制装置CONT、台架1007、清洁机构1008、基台1009、加热器1015。作为液滴排出头1001，使用电机械变换方式的液滴排出头，该电机械变换方式的液滴排出头使用了压电元件。
台架1007支撑被该液滴排出装置IJ配置液体材料(布线图案用墨水)的基板P，其具备将基板P固定在基准位置的图示省略的固定机构。
液滴排出头1001是具备多个排出喷嘴的多喷嘴类型的液滴排出头，其纵长方向与X轴方向一致。多个排出喷嘴以一定间隔设置在液滴排出头1001的下表面。从液滴排出头1001的排出喷嘴，对被支撑在台架1007上的基板P，排出前述包含导电性微粒的布线图案用墨水。
在X轴方向驱动轴1004上，连接着X轴方向驱动电动机1002。该X轴方向驱动电动机1002，由步进电动机等构成，其在从控制装置CONT被供给X轴方向的驱动信号时，使X轴方向驱动轴1004旋转。若X轴方向驱动轴1004旋转，则液滴排出头1001在X轴方向上移动。
Y轴方向导引轴1005，被固定为相对于基台1009不移动。台架1007具备Y轴方向驱动电动机1003。Y轴方向驱动电动机1003是步进电动机等，其在从控制装置CONT被供给Y轴方向的驱动信号时，使台架1007在Y轴方向上移动。
控制装置CONT，向液滴排出头1001供给液滴的排出控制用的电压。此外，向X轴方向驱动电动机1002供给控制液滴排出头1001的X轴方向的移动的驱动脉冲信号，向Y轴方向驱动电动机1003供给控制台架1007的Y轴方向的移动的驱动脉冲信号。
清洁结构1008，对液滴排出头1001进行清洁。在清洁机构1008中，具备图示省略的Y轴方向的驱动电动机。利用该Y轴方向的驱动电动机的驱动，清洁机构沿着Y轴方向导引轴1005移动。清洁机构1008的移动也由控制装置CONT控制。
加热器1015，在此是利用灯加热退火对基板P进行热处理的单元，其进行被配置在基板P上的液体材料中所包含的溶剂的蒸发及干燥。该加热器1015的电源的接通及切断也由控制装置CONT控制。
液滴排出装置IJ，对液滴排出头1001和支撑基板P的台架1007相对地进行扫描，并且对基板P，从在液滴排出头1001的下表面、配置在X轴方向上的多个排出喷嘴排出液滴。
图6是说明基于压电方式的液体材料的排出原理的图。在图6中，与收纳液体材料(布线图案用墨水、功能液)的液体室1021相邻地设置有压电元件1022。对于液体室1021，经由液体材料供给系统1023供给液体材料，该液体材料供给系统1023包含收纳液体材料的材料箱。压电元件1022连接至驱动电路1024，经由该驱动电路1024对压电元件1022施加电压，通过使压电元件1022变形，液体室1021变形，从而从排出喷嘴1025排出液体材料。在此情况下，通过使施加电压的值变化，控制压电元件1022的变形量。此外，通过使施加电压的频率变化，来控制压电元件1022的变形速度。由于基于压电方式的液滴排出不对材料施加热量，所以具有难以对材料的组成产生影响的优点。
在此，返回到触摸面板的制造方法的说明。图7及图8是示出触摸面板100的制造工序的图。这些工序图，示出了形成图2所示的结构(桥接布线的交叉部分及引绕布线60)的工序。
首先，对于电极成膜工序S10进行说明。
在电极成膜工序S10中，在例如是玻璃基板的基板1上，利用图5所示的液滴排出装置IJ，选择性地配置例如包含ITO微粒的液体材料的液滴。具体地，在基板1上，形成由X电极10、作为Y电极20的一部分的岛状电极部22、从岛状电极部12及岛状电极部22延伸出的引绕布线60的第1层60a构成的液体材料的图案，该X电极10由岛状电极部12和桥接布线11构成。此后，使配置在基板1上的液体材料(液滴)干燥。由此，如图7(a)所示，在基板1上，形成由ITO微粒的集合体构成的X电极10(岛状电极部12、桥接布线11)、岛状电极部22及引绕布线60的第1层60a。
在本实施方式的电极成膜工序S10中，虽然通过排出含有ITO微粒的液滴而形成ITO膜，但是除此之外，也可以使用含有IZO(注册商标)微粒的液滴形成由IZO(注册商标)构成的透明导电膜。
此外，在电极成膜工序S10中，也能够不使用液滴排出法，而使用应用了光刻法的图案形成方法。即，也可以通过在利用喷镀法等在基板1的功能面1a的大致整个面上形成ITO膜之后，使用光刻法及蚀刻法对ITO膜进行图案形成，而形成X电极10(岛状电极部12、桥接布线11)、岛状电极部22及引绕布线60的第1层60a。
接着，前进至辅助布线形成工序S20。
在辅助布线形成工序S20中，利用液滴排出装置IJ，将包含引绕布线60的第2层60b的构成材料的液体材料的液滴排出配置在第1层60a上。作为用于形成第2层60b的液体材料，能够使用例如包含银微粒的液体材料。此后，使所排出配置的液滴干燥。由此，如图7(b)所示，在第1层60a上形成低电阻的第2层60b，从而在输入区域2的外侧的基板1上形成2层结构的引绕布线60。
作为形成引绕布线60的第2层60b的液体材料，除了包含银微粒的液体材料之外，还能够使用例如包含Au、Al、Cu、Pd等金属微粒的液体材料，包含石墨、碳纳米管等的液体材料等。金属微粒、碳微粒等，以纳米微粒、纳米线等的形态分散于液体材料中。此外，在将第2层60b形成为金属膜的情况下，也可以使用包含有机金属化合物的液体材料。
接着，依次执行绝缘膜形成工序S30及桥接布线形成工序S40。
图9是进一步具体地示出绝缘膜形成工序S30及桥接布线形成工序S40的说明图。图9(b)是与图7(c)对应的俯视图，其是示出桥接布线21的形成区域的图。图9(c)是与图7(d)对应的俯视图。
以下，参照图7及图9进行说明。
在绝缘膜形成工序S30中，利用液滴排出装置IJ，如图7(c)及图9(b)所示，对于X电极10的桥接布线11上的区域选择性地配置液滴。此后，通过对基板1上的液体材料进行加热，使之干燥固化，而在桥接布线11上形成绝缘膜30。
此外，在形成绝缘膜30时，如图9(b)所示，优选至少在桥接布线11上的区域无间隙地配置液滴。由此，能够形成没有到达桥接布线11的孔、裂缝等的绝缘膜30，从而防止绝缘膜30的绝缘不良、桥接布线21的断线等。
此外，如图7(c)所示，与桥接布线11上的区域一同还对引绕布线60上的区域选择性地配置液滴。此后，通过对基板1上的液体材料进行加热，使之干燥固化，而形成覆盖引绕布线60的布线保护膜62。
作为上述液体材料，能够使用例如包含聚硅氧烷的液体材料、包含丙烯酸类树脂或丙烯酸单体的液体材料等。
接着，前进至桥接布线形成工序S40。
在桥接布线形成工序S40中，如图7(d)及图9(c)所示，遍布相邻地配置的岛状电极部22上方和绝缘膜30上方地，将包含ITO微粒的液体材料的液滴配置为布线形状。此后，将基板1上的液体材料干燥固化。由此，形成连接岛状电极部22之间的桥接布线21。作为在桥接布线21的形成中所使用的液体材料，除了上述的包含ITO微粒的液体材料之外，还能够使用包含IZO(注册商标)微粒、ZnO微粒的液体材料来形成。
在形成桥接布线21时，如图9(c)所示。
在桥接布线形成工序S40中，优选使用与电极成膜工序S10相同的液体材料形成桥接布线21。即，对于桥接布线21的构成材料，优选使用与X电极10、岛状电极部22等的构成材料相同的材料。
接着，前进至平坦化膜形成工序S50。
在平坦化膜形成工序S50中，如图8(a)所示，以使基板1的功能面1a平坦化为目的，在功能面1a的大致整个面上形成由绝缘材料构成的平坦化膜40。
平坦化膜40，虽然能够使用与在绝缘膜形成工序S30中使用的绝缘膜30形成用的液体材料相同的液体材料来形成，但是因为以基板1表面的平坦化为目的，所以优选使用树脂材料来形成。
接着，前进至保护基板接合工序S60。
在保护基板接合工序S60中，如图8(b)所示，在另外准备的保护基板50与平坦化膜40之间配置粘接剂，经由由这样的粘接剂构成的粘接层51将保护基板50与平坦化膜40相粘贴。保护基板50，除了是由玻璃、塑料等构成的透明基板之外，也可以是偏振板、相位差板等光学元件基板。作为构成粘接层51的粘接剂，能够使用透明的树脂材料等。
接着，前进至遮蔽层形成工序S70。
在遮蔽层形成工序S70中，如图8(c)所示，在基板1的背面1b(与功能面1a相反侧的面)上形成由导电膜构成的遮蔽层70。遮蔽层70，能够使用真空成膜法、丝网(スクリ一ン)印刷法、胶版(オフセツト)印刷法、液滴排出法等公知的成膜法来形成。在例如使用液滴排出法等印刷法形成遮蔽层70的情况下，能够使用在电极成膜工序S10及桥接布线形成工序S40中使用的包含ITO微粒等的液体材料。
此外，除了通过对基板1的成膜而形成遮蔽层70的方法之外，也可以通过另外准备在一面或两面上成膜有导电膜的薄膜，并将这样的薄膜粘贴在基板1的背面1b上，来将薄膜上的导电膜作为遮蔽层70。
此外，在本实施方式中，虽然在触摸面板制造工序的最后实施遮蔽层70，但是遮蔽层70能够在任意的定时形成。例如，也能够在电极成膜工序S10及其以后的工序中提供预先形成有遮蔽层70的基板1。此外，也可以在电极成膜工序S10～保护基板接合工序S60的任意的工序之间安排遮蔽层形成工序。
此外，在本实施方式中，虽然在基板1的背面1b形成了遮蔽层70，但是在如图3所示的变形例的触摸面板100A那样在基板1的功能面1a侧形成遮蔽层70A的情况下，在电极成膜工序S10之前，执行形成遮蔽层70A的工序和形成绝缘膜80A的工序。在此情况下，遮蔽层70A，也能够利用与遮蔽层形成工序S70相同的方法形成。此外，绝缘膜80A的形成工序，能够设定为与例如绝缘膜形成工序S30相同。
在上述实施方式中，虽然在绝缘膜形成工序S30中，如图9所示，形成了俯视基本矩形形状的绝缘膜30，但是为了使桥接布线21的形成进一步变得容易，也可以改变绝缘膜30的形状。
图10是示出变形例的制造方法的工序图。图10(a)～(c)是分别与图9(a)～(c)对应的图。
在本例的制造方法中，如图10(b)所示，在绝缘膜形成工序S30中，形成部分地中间变细的形状的绝缘膜30。更详细地，形成为：使岛状电极部22的排列方向(Y电极20的延伸方向)的绝缘膜30的宽度在图示左右方向(X电极10的延伸方向)的中央部30a处变窄，并且朝向两侧的端部30b、30b逐渐变宽。
并且，在桥接布线形成工序S40中，如图10(c)所示，以通过绝缘膜30的中央部30a(中间变细的部分)的方式形成桥接布线21。通过采用这样的制造方法，当在基板1上配置用于形成桥接布线21的液滴时，绝缘膜30的端部30b侧的突出的部位作为防止液滴濡湿扩散的堤堰部件发挥作用。由此，能够有效地防止桥接布线21与X电极10发生短路，能够成品率高地制造触摸面板100。
如果采用以上详细地说明的触摸面板100的制造方法，则能够得到以下的效果。
首先，在本实施方式的制造方法中，能够在基板1上的同一面上形成X电极10(岛状电极部12、桥接布线11)、构成Y电极20的岛状电极部22，其后使用液滴排出法在桥接布线11上的区域形成绝缘膜30，其后进而使用液滴排出法形成连接岛状电极部22的桥接布线21。通过这样使用液滴排出法形成与X电极10交叉的Y电极20的连接结构，与以往相比能够削减工时，能够抑制触摸面板的制造成本。
如果进一步详细地说明，则在以往的连接结构的形成工序中，在图7(a)所示的工序之后，执行的是(1)形成覆盖X电极10及岛状电极部22的层间绝缘膜的工序，(2)在层间绝缘膜上形成接触孔的工序，该接触孔用于在相邻的岛状电极部22上架设桥接布线，(3)在包含接触孔的区域图案形成桥接布线从而连接岛状电极部22之间的工序。
如若将上述的以往工序与本实施方式的工序相比较则可以看出的，在本实施方式的制造方法中，不需要以往工序中的用于在层间绝缘膜上形成接触孔的光刻工序(及蚀刻工序)，进而，也不需要用于图案形成桥接布线的光刻工序及蚀刻工序。
因此，如果采用本实施方式的制造方法，则特别能够削减成本的这样的光刻工序，能够减少触摸面板的制造成本。此外，在液滴排出法中，由于仅选择性地在形成各个膜的区域配置液滴，所以能够抑制材料的使用量，从而在原材料费这一点上也有助于制造成本降低。
此外，在本实施方式的制造方法中，在电极成膜工序S10中，使用液滴排出法形成X电极10及构成Y电极20的岛状电极部22。由此，在电极成膜工序S10中也不需要光刻工序及蚀刻工序，从而能够进一步实现因工时削减而带来的制造成本的降低。
此外，在本实施方式的制造方法中，在基板1上的同一层中，形成X电极10(岛状电极部12、桥接布线11)、岛状电极部22。由此，与在隔着层间绝缘膜的单独的层中形成X电极10和Y电极20的情况相比，由于能够削减X电极10或Y电极20的图案形成所需的工时，所以能够降低制造成本。
此外，在本实施方式的制造方法中，在基板1上将矩形形状的岛状电极部12和岛状电极部22形成为相互交错的矩阵状，相邻的岛状电极部12之间以及相邻的岛状电极部22之间配置为在它们的角部处接近。并且，用桥接布线11连接相邻的岛状电极部12的角部之间，用桥接布线21连接相邻的岛状电极部22的角部之间。由此，能够以最短距离连接相邻的岛状电极部12之间、岛状电极部22之间，从而将桥接布线11、21的长度形成得最短。因此，能够减小X电极10和Y电极20的交叉部分的俯视区域，能够形成为交叉部分处的结构难以被观看到的结构。
此外，由于能够使线宽度窄的桥接布线11及桥接布线21变短，所以能够使X电极10及Y电极20的布线电阻减小。
此外，虽然在本实施方式中，将岛状电极部12、22的形状形成为俯视正方形，但是除此之外，既可以是例如菱形等矩形形状，也可以是多角形、圆形等。
此外，在本实施方式的变形例的制造方法中，将绝缘膜30在被形成桥接布线21的区域形成为中间变细的俯视形状。由此，由于位于中间变细的区域的旁侧的绝缘膜30能够抑制桥接布线21的液滴的濡湿扩散，所以能够防止X电极10与Y电极20被连接起来的误布线，从而使触摸面板的制造成品率提高。此外，如果采用具备这样的结构的触摸面板100，则能够实现制造性优异的触摸面板。
此外，在本实施方式的触摸面板100中，形成在输入区域2的周边的引绕布线60，具有叠层将X电极10及Y电极20延伸而成的第1层60a、薄层电阻比第1层60a小的第2层60b而成的结构。由此，能够形成为使引绕布线60的布线电阻减小了的触摸面板。因此，由于能够缩小对来自输入区域2的信号进行放大的缓冲器电路等周边电路的规模，所以能够抑制功耗。
此外，在本实施方式的触摸面板100中，优选用这样的材料形成输入区域2的周边的布线保护膜62，该材料包含与在桥接布线11、21的交叉部分处形成的绝缘膜30相同的成分。如果采用这样的结构，则由于能够用同一工序形成绝缘膜30和布线保护膜62，所以成为能够削减工时、能够降低制造成本的结构。
此外，在本实施方式的触摸面板100中，基板1的功能面1a侧被平坦化膜40平坦化。如果采用该结构，则能够将基板1的功能面1a侧与保护基板50在大致整个面上接合，从而能够防止气泡掺入到粘接层51中。此外，能够利用平坦化膜40保护形成于基板1上的X电极10及Y电极20，能够制造可靠性高的触摸面板。
此外，通过使保护基板50经由粘接层51与平坦化膜40接合，成为在保护基板50与平坦化膜40之间不存在折射率小的空气层的结构。由此，能够防止光在空气层与保护基板50的界面、空气层与平坦化膜的界面等上反射，从而作为配置于显示装置的前面侧的触摸面板能够得到良好的品质。
此外，在本实施方式的触摸面板100中，在基板1的背面1b上形成了遮蔽层70。由此，能够利用遮蔽层70遮断不需要的电场，能够防止噪音进入到触摸面板100的输入区域2、触摸面板100的电场泄漏至显示装置等的外部设备侧等情况。
<第2实施方式>
接着，对于本发明的第2实施方式的触摸面板进行说明。
图11是本发明的第2实施方式的触摸面板200的示意俯视图，图12是触摸面板200的B-B’示意剖面图。
此外，在本实施方式中，关于具有与图1～图3所示的触摸面板100、100A相同的结构的位置，对于其详细的说明适宜省略。
触摸面板200，如图11所示，具有基板1、输入区域2以及引绕布线60。
基板1被成形为俯视矩形形状，作为其材质，使用玻璃、丙烯酸树脂等透明的材质。
输入区域2是在图11中由一点划线包围的区域，是检测在触摸面板上输入的手指的位置信息的区域。
在输入区域2，配置有多个X电极110及多个Y电极120。
X电极110在图示中在X轴方向上延伸，并且多个X电极110沿着Y轴方向排列。Y电极120在图示中沿着Y轴方向延伸，并且多个Y电极120沿着X轴排列。X电极110及Y电极120，通过使在Y电极上设置的桥接布线121与X电极110交叉，而在输入区域2内交叉。
X电极110是沿着X轴方向延伸的矩形形状的电极。
Y电极120具备在Y轴方向上排列的多个岛状电极部122和连接隔着X电极110相邻的岛状电极部122之间的桥接布线121。岛状电极部122形成为俯视矩形形状。在沿着X轴方向相邻的岛状电极部122之间的区域，配置有虚设电极125。因此，在输入区域2，沿着X轴方向，交替地配置有岛状电极部122和虚设电极125。
作为构成X电极110、Y电极120及虚设电极125的材质，能够采用ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物，注册商标)、ZnO等具有透光性的电阻体。
引绕布线60与X电极110及Y电极120连接，并且与设置在触摸面板200的内部或者外部装置中的驱动部及电信号变换/运算部(均省略图示)连接。
接着，对于图12的剖面图进行说明。
在基板1的功能面1a上，设置有X电极110、岛状电极部122及虚设电极125。在X电极110上，形成有绝缘膜130。并且，在绝缘膜130上配置有桥接布线121。
此外，在基板1的功能面1a上，配置有引绕布线60。引绕布线60叠层有第1层60a和第2层60b。并且，覆盖引绕布线60地形成有布线保护膜62。
覆盖这些电极及布线地，形成有平坦化膜140。在平坦化膜140上，隔着粘接层51配置有保护基板50。在基板1的背面1b上，设置有遮蔽层70。
绝缘膜130，将立体地交叉的X电极110与桥接布线121绝缘。绝缘膜130，能够使用印刷法涂敷聚硅氧烷、丙烯酸类树脂及丙烯酸单体等，并使之干燥固化而形成。
平坦化膜140覆盖基板1的功能面1a的至少输入区域2而形成，其将X电极110、Y电极120等所导致的功能面1a的凹凸平坦化。
保护基板50是玻璃、塑料等的透明基板。或者，在本实施方式的触摸面板200被配置于液晶面板、有机EL面板等显示装置的前面的情况下，作为保护基板50，也能够使用光学元件基板(偏振板、相位差板等)，该光学元件基板用作为显示装置的一部分。
遮蔽层70，通过将ITO、IZO(注册商标)等透明导电材料成膜在基板1的背面1b而形成。或者，也可以准备形成有成为遮蔽层的透明导电膜的薄膜，形成为将这样的薄膜粘接在基板1的背面1b而成的结构。
此外，虽然在基板1的背面1b形成了遮蔽层70，但是在本实施方式中也能够如图3所示，将遮蔽层形成在基板1的功能面1a侧。
在此情况下，在叠层在基板1的功能面1a上的遮蔽层70A及绝缘膜80A上，形成X电极110、Y电极120、虚设电极125、引绕布线60等。
接着，对于本实施方式的触摸面板200的制造方法，参照图4的流程图进行说明。
在触摸面板200的制造工序中，也执行图4的电极成膜工序S10～遮蔽层形成工序S70。
首先，在电极成膜工序S10中，在例如是玻璃基板的基板1上，选择性地配置包含ITO微粒的液体材料的液滴。具体地，在基板1上，形成由X电极110、作为Y电极120的一部分的岛状电极部122、虚设电极125、从X电极110及岛状电极部122延伸出的引绕布线60的第1层60a构成的液体材料的图案。此后，通过使配置在基板1上的液体材料(液滴)干燥，而形成X电极110、岛状电极部122、虚设电极125、引绕布线60的第1层60a。
此外，既可以通过排出包含IZO(注册商标)微粒的液滴而形成由IZO(注册商标)构成的透明导电膜，也可以使用应用了光刻法的图案形成方法，来形成X电极110、岛状电极部122、虚设电极125及引绕布线60的第1层60a。
接着，在辅助布线形成工序S20中，将包含引绕布线60的第2层60b的构成材料的液体材料的液滴排出配置在第1层60a上。此后，使所排出配置的液滴干燥，而形成第2层60b。
接着，在绝缘膜形成工序S30中，对于X电极110上的预定的区域以及引绕布线60上方选择性地配置液滴。此后，通过对基板1上的液体材料进行加热，使之干燥固化，而形成绝缘膜130及布线保护膜62。
在本实施方式中，也可以将绝缘膜130在被形成桥接布线121的区域形成为中间变细的俯视形状。
接着，在桥接布线形成工序S40中，遍布沿着Y轴方向相邻地配置的岛状电极部122和绝缘膜130地，将包含ITO微粒的液体材料的液滴配置为布线形状。此后，通过将基板1上的液体材料干燥固化，而形成桥接布线121。
接着，在平坦化膜形成工序S50中，以使基板1的功能面1a平坦化为目的，在功能面1a的大致整个面上形成由绝缘材料构成的平坦化膜140。
接着，在保护基板接合工序S60中，在另外准备的保护基板50与平坦化膜140之间配置粘接剂，经由由这样的粘接剂构成的粘接层51将保护基板50与平坦化膜140相粘贴。保护基板50，除了是由玻璃、塑料等构成的透明基板之外，也可以是偏振板、相位差板等光学元件基板。作为构成粘接层51的粘接剂，能够使用透明的树脂材料等。
接着，在遮蔽层形成工序S70中，在基板1的背面1b(与功能面1a相反侧的面)上形成由导电膜构成的遮蔽层70。
如果采用以上说明的触摸面板200的制造方法，则能够得到以下的效果。
首先，在本实施方式的制造方法中，能够在基板1上的同一面上形成X电极110、构成Y电极120的岛状电极部122，其后使用液滴排出法在X电极110上的连接沿着Y轴方向配置的岛状电极部122之间的区域形成绝缘膜130，其后进而使用液滴排出法形成连接岛状电极部122的桥接布线121。通过这样使用液滴排出法形成与X电极110交叉的连接结构，与以往相比能够削减工时，能够抑制触摸面板的制造成本。
此外，在本实施方式的制造方法中，在电极成膜工序S10中，使用液滴排出法形成X电极110、构成Y电极120的岛状电极部122及虚设电极125。由此，在电极成膜工序S10中也不需要光刻工序及蚀刻工序，从而能够进一步实现因工时削减而带来的制造成本的降低。
此外，在本实施方式的制造方法中，在基板1上的同一层中，形成X电极110、岛状电极部122、虚设电极125。由此，与在隔着层间绝缘膜的单独的层中形成X电极110和Y电极120的情况相比，由于能够削减X电极110、Y电极120或虚设电极125的图案形成所需的工时，所以能够降低制造成本。
此外，在本实施方式的触摸面板200中，在相邻的岛状电极部122之间设置由与X电极110及Y电极120相同的电阻体形成的虚设电极125。由此，由于在输入区域2中，在X电极110及Y电极120之间的区域设置与X电极110及Y电极120相同的材质的电阻体，所以输入区域2中的光的折射率、反射率变得均匀，从而能够防止X电极110及Y电极120的布线图案被使用者观看到。
此外，在本实施方式的变形例的制造方法中，将绝缘膜130在被形成桥接布线121的区域形成为中间变细的俯视形状。由此，由于位于中间变细的区域的旁侧的绝缘膜130能够抑制桥接布线121的液滴的濡湿扩散，所以能够防止X电极110与Y电极120被连接起来的误布线，能够使触摸面板的制造成品率提高。此外，如果采用具备这样的结构的触摸面板200，则能够实现制造性优异的触摸面板。
此外，在本实施方式的触摸面板200中，形成在输入区域2的周边的引绕布线60，具有叠层将X电极110及Y电极120延伸而成的第1层60a、薄层电阻比第1层60a小的第2层60b而成的结构。由此，能够形成为使引绕布线60的布线电阻减小了的触摸面板。因此，由于能够缩小对来自输入区域2的信号进行放大的缓冲器电路等周边电路的规模，所以能够抑制功耗。
此外，在本实施方式的触摸面板200中，优选用这样的材料形成输入区域2的周边的布线保护膜62，该材料包含与在X电极110和桥接布线121的交叉部分处形成的绝缘膜130相同的成分。如果采用这样的结构，则由于能够用同一工序形成绝缘膜130和布线保护膜62，所以成为能够削减工时、能够降低制造成本的结构。
此外，在本实施方式的触摸面板200中，基板1的功能面1a侧被平坦化膜140平坦化。如果采用该结构，则能够将基板1的功能面1a侧与保护基板50在大致整个面上接合，从而能够防止气泡掺入到粘接层51中。此外，能够利用平坦化膜140保护形成于基板1上的X电极110及Y电极120，能够制造可靠性高的触摸面板。
此外，通过使保护基板50经由粘接层51与平坦化膜140接合，成为在保护基板50与平坦化膜40之间不存在折射率小的空气层的结构。由此，能够防止光在空气层与保护基板50的界面、空气层与平坦化膜的界面等上反射，从而作为配置于显示装置的前面侧的触摸面板能够得到良好的品质。
此外，在本实施方式的触摸面板200中，在基板1的背面1b上形成了遮蔽层70。由此，能够利用遮蔽层70遮断不需要的电场，能够防止噪音进入到触摸面板200的输入区域2、触摸面板200的电场泄漏至显示装置等的外部设备侧等情况。
[显示装置]
接着，对于具备本发明的触摸面板的显示装置进行说明。在本实施方式中，作为显示装置的一例，对于具备触摸面板的液晶显示装置进行说明。图13是作为本发明的一实施方式的液晶显示装置500的示意图，  (a)表示俯视图，  (b)表示俯视图的H-H’剖面图。
液晶显示装置500，如图13(a)所示，具有元件基板410、对置基板420及图像显示区域410a。
元件基板410是具有比对置基板420宽广的俯视区域的矩形形状的基板。
对置基板420是液晶显示装置500的图像显示侧，其是由玻璃、丙烯酸树脂等形成的透明的基板。对置基板420经由密封材料452接合在元件基板410的中央部分。
图像显示区域410a是对置基板420的俯视区域，是沿着密封材料452的内周设置的周边断开线453的内侧区域。
在元件基板410上的对置基板420的周边处，配置有数据线驱动电路401、扫描线驱动电路404、与数据线驱动电路401及扫描线驱动电路404连接的连接端子402以及布线405等，布线405连接相对于对置基板420相对地配置的扫描线驱动电路404之间。
接着，对于液晶显示装置500的剖面进行说明。
在元件基板410的液晶层450侧的面上，叠层有像素电极409及取向膜418等。
在对置基板420的液晶层450侧的面上，叠层有遮光膜(黑矩阵)423、滤色器422、共用电极425及取向膜429等。
液晶层450由元件基板410及对置基板420所挟持。
并且，在对置基板420的外侧(液晶层450的相反侧)的面上，隔着粘接层101配置有本发明的触摸面板100。
如果采用以上说明的液晶显示装置，则能够得到以下的效果。
在液晶显示装置500中设置的触摸面板100，利用液滴排出法形成位置检测用的电极及使电极交叉的绝缘膜。由此，由于降低了与触摸面板的制造有关的成本，所以能够形成为抑制了制造成本的液晶显示装置。
此外，在液晶显示装置中设置的触摸面板，也可以是作为第1实施方式的变形例的触摸面板100A或者第2实施方式的触摸面板200。这些触摸面板，也通过利用液滴排出法进行成膜的工序制造，其制造成本能够降低。因而，能够抑制液晶显示装置的制造成本。
此外，在本实施方式的液晶显示装置中，优选在对置基板420的外侧(液晶层450的相反侧)的面上形成触摸面板的各层。由此，能够将液晶显示装置的对置基板420与触摸面板的基板1共用化，从而能够进一步降低制造成本，并且能够使液晶显示装置轻量化。
此外，虽然在本实施方式中关于液晶显示装置进行了说明，但是除此之外，在有机EL装置、电泳显示装置等显示装置中，也能够恰当地使用本发明的触摸面板。
[电子设备]
接着，对于具有本发明的触摸面板或具备触摸面板的液晶显示装置的电子设备的例子进行说明。图14是示出便携式个人计算机1100的立体图。便携式个人计算机1100具备主体部1103，该主体部1103具有显示部1101、键盘1102。便携式个人计算机1100在显示部1101中具备上述实施方式的液晶显示装置500。
如果采用具备这样的结构的便携式个人计算机1100，则由于将本发明的触摸面板用于显示部，所以能够形成为抑制了制造成本的电子设备。
此外，上述电子设备，是用于例示本发明的电子设备的，而并不是要限定本发明的技术范围。例如在移动电话机、便携式音频设备、PDA(Personal Digital Assistant，个人数字助理)等的显示部中，也能够恰当地应用本发明的触摸面板。

Claims (24)

1.一种触摸面板的制造方法，该触摸面板具有基板、在前述基板的一面侧形成并且在相互交叉的方向上延伸的多个第1电极及多个第2电极，其特征在于，该方法包括：
电极成膜工序，其在前述基板上，形成多个前述第1电极和将前述第2电极在与前述第1电极的交叉部分处断开而成的形状的电极膜；
绝缘膜形成工序，其至少在成为与前述第2电极的交叉部分的位置的前述第1电极上，使用印刷法形成绝缘膜；以及
桥接布线形成工序，其使用印刷法形成经过前述绝缘膜上方连接前述电极膜之间的桥接布线。
2.权利要求1所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
前述第1电极及前述第2电极具有多个岛状电极部和连接相邻的前述岛状电极部之间的桥接布线，并且使相互的前述桥接布线交叉；
在前述电极成膜工序中，形成前述第1电极、和前述第2电极的前述岛状电极部；
在前述绝缘膜形成工序中，至少在前述第1电极的前述桥接布线上形成前述绝缘膜；
在前述桥接布线形成工序中，形成前述第2电极的前述桥接布线。
3.权利要求2所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
在前述电极成膜工序中，矩阵状地形成俯视矩形形状的前述岛状电极部，并且形成连接前述第1电极的前述岛状电极部的角部之间的前述桥接布线；
在前述桥接布线形成工序中，形成连接前述第2电极的前述岛状电极部的角部之间的前述桥接布线。
4.权利要求2或3所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
在前述绝缘膜形成工序中，将前述绝缘膜在形成前述第2电极的前述桥接布线的部分处形成为中间变细的俯视形状。
5.权利要求1～4中的任意一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
在前述电极成膜工序之后，包括下述工序：
在被引出至该触摸面板的输入区域外的前述第1及第2电极上，叠层形成辅助布线，该辅助布线具有比前述第1及第2电极低的薄层电阻。
6.权利要求5所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
在前述绝缘膜形成工序中，包括下述工序：
与前述绝缘膜一同形成覆盖前述辅助布线的布线保护膜。
7.权利要求1～6中的任意一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
在前述桥接布线形成工序之后，包括：
保护膜形成工序，其至少在前述基板的前述一面侧的、包含该触摸面板的输入区域的区域，形成保护膜。
8.权利要求1～7中的任意一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
在前述桥接布线形成工序或前述保护膜形成工序之后，包括下述工序：
至少在前述基板的前述一面侧的、包含该触摸面板的输入区域的区域，形成粘接层，该粘接层将保护基板或光学元件基板与前述基板粘接。
9.权利要求1～8中的任意一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：
在前述电极膜形成工序之前，包括下述工序：
在前述基板的前述一面侧，叠层导电膜和覆盖前述导电膜的绝缘膜。
10.权利要求1～8中的任意一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于，包括：
在前述基板的与前述一面相反侧的面上，形成导电膜的工序。
11.权利要求1～10中的任意一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于，包括：
在前述基板上的、前述第1电极与前述第2电极之间的区域，形成虚设电极的工序，该虚设电极具有与前述第1及第2电极基本相同的成分。
12.一种触摸面板，具有基板、在前述基板的一面侧形成并且在相互交叉的方向上延伸的多个第1电极及多个第2电极，其特征在于，在前述基板上具有：
前述第1电极；
将前述第2电极在与前述第1电极的交叉部分处断开而成的形状的电极膜；
至少在成为与前述第2电极的交叉部分的位置的前述第1电极上形成的绝缘膜；以及
经过前述绝缘膜上方连接前述电极膜之间的桥接布线。
13.权利要求12所述的触摸面板，其特征在于：
前述第1电极及前述第2电极具有多个岛状电极部和连接相邻的前述岛状电极部之间的桥接布线，并且使相互的前述桥接布线交叉；
在前述第1及第2电极的交叉部分处：
在前述第1电极的前述桥接布线上形成前述绝缘膜；
前述第2电极的前述桥接布线，经过前述绝缘膜上方连接前述第2电极的前述岛状电极部之间。
14.权利要求13所述的触摸面板，其特征在于：
前述岛状电极部是俯视基本矩形形状的，前述桥接布线连接前述岛状电极部的角部之间。
15.权利要求12～14中的任意一项所述的触摸面板，其特征在于：
前述绝缘膜，在形成有前述第2电极的桥接布线的位置处具有中间变细的俯视形状。
16.权利要求12～15中的任意一项所述的触摸面板，其特征在于：
在被引出至该触摸面板的输入区域外的前述第1及第2电极上，叠层有辅助布线，该辅助布线具有比前述第1及第2电极低的薄层电阻。
17.权利要求16所述的触摸面板，其特征在于：
覆盖前述辅助布线地形成有布线保护膜，该布线保护膜包含与前述绝缘膜相同的成分。
18.权利要求12～17中的任意一项所述的触摸面板，其特征在于，具有：
保护膜，其至少覆盖配置于该触摸面板的输入区域的前述第1及第2电极。
19.权利要求12～18中的任意一项所述的触摸面板，其特征在于：
至少覆盖配置于该触摸面板的输入区域的前述第1及第2电极地形成有粘接层，并且经由前述粘接层粘接保护基板或光学元件基板。
20.权利要求12～19中的任意一项所述的触摸面板，其特征在于：
在前述基板的前述一面侧，形成导电膜和覆盖前述导电膜的绝缘膜；
在覆盖前述导电膜的前述绝缘膜上，形成有前述第1及第2电极。
21.权利要求12～19中的任意一项所述的触摸面板，其特征在于：
在前述基板的与前述一面相反侧的面上，形成有导电膜。
22.权利要求12～21中的任意一项所述的触摸面板，其特征在于：
前述基板是构成显示装置的基板。
23.一种显示装置，其特征在于，具备权利要求12～22中的任意一项所述的触摸面板。
24.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求12～22中的任意一项所述的触摸面板或权利要求23所述的显示装置。
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