JP6664278B2 - 表示装置 - Google Patents

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Description

本発明の実施形態の一つは、有機EL表示装置などの表示装置とその作製方法に関する。例えば、タッチパネルが搭載された表示装置、およびその作製方法に関する。
ユーザが表示装置に対して情報を入力するためのインターフェースとして、タッチパネルが知られている。タッチパネルを表示装置の画面上に設置することで、画面上に表示される入力ボタンやアイコンなどをユーザが操作することができ、表示装置へ容易に情報を入力することができる。例えば特許文献1や2では、液晶表示装置上にタッチパネルが搭載された積層型表示装置が開示されている。
特開2001−154178号公報 特開2001−117719号公報
本発明は、低コストで作製可能な、タッチパネルが搭載された表示装置、ならびにその作製方法を提供することを課題の一つとする。
本発明の実施形態の一つは、表示領域、タッチ領域、表示領域とタッチ領域の間の境界領域を有するベースフィルムと、表示領域上の、ベースフィルムの第1面側に形成された画像表示部と、タッチ領域上の、ベースフィルムの第2面側に形成されたタッチ部を有する表示装置である。境界領域は、画像表示部とタッチ部に挟まれ、境界領域において、タッチ部の正面がタッチ部を介して画像表示部と重なるように、ベースフィルムが折りたたまれる。タッチ部の正面は、タッチ部の互いに対向する二つの面のうち、ベースフィルムに遠い面である。
本発明の実施形態の一つは、表示領域、タッチ領域、表示領域とタッチ領域の間の境界領域を有するベースフィルムと、表示領域上の画像表示部と、タッチ領域上のタッチ部を有する表示装置である。表示装置は、表示領域上に位置し、表示領域から境界領域を介してタッチ領域に伸びる配線によってタッチ部と電気的に接続される端子を有する。境界領域において、タッチ部の正面がタッチ部を介して画像表示部と重なるように、ベースフィルムが折りたたまれる。タッチ部の正面は、タッチ部の互いに対向する二つの面のうち、ベースフィルムに遠い面である。
本発明の実施形態の一つは、ベースフィルムの第1面側に画像表示部を形成し、ベースフィルムの第2面側にタッチ部を形成し、タッチ部が画像表示部と重なり、画像表示部がベースフィルムに包まれるように、ベースフィルムを折りたたむことを含む、表示装置の作製方法である。
本発明の実施形態の一つである表示装置の上面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置のタッチ部の上面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の模式的な展開図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の表示パネルの上面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の作製方法を示す断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の断面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の上面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の模式的展開図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の上面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の模式的展開図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の上面模式図。 本発明の実施形態の一つである表示装置の模式的展開図。
以下、本発明の各実施形態について、図面等を参照しつつ説明する。但し、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲において様々な態様で実施することができ、以下に例示する実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。本明細書と各図において、既出の図に関して説明したものと同様の機能を備えた要素には、同一の符号を付して、重複する説明を省略することがある。
本発明において、ある一つの膜を加工して複数の膜を形成した場合、これら複数の膜は異なる機能、役割を有することがある。しかしながら、これら複数の膜は同一の工程で同一層として形成された膜に由来し、同一の層構造、同一の材料を有する。したがって、これら複数の膜は同一層に存在しているものと定義する。
本明細書および特許請求の範囲において、ある構造体の上に他の構造体を配置する態様を表現するにあたり、単に「上に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある構造体に接するように、直上に他の構造体を配置する場合と、ある構造体の上方に、さらに別の構造体を介して他の構造体を配置する場合との両方を含むものとする。
(第1実施形態)
[1.全体構造]
本実施形態では、本発明の実施形態の表示装置100の構造に関し、図1乃至図6を用いて説明する。
表示装置100の上面模式図を図1(A)、(B)に、図1(A)の鎖線A−A’に沿った断面模式図を図2に示す。図2に示すように、表示装置100はベースフィルム102を有し、ベースフィルム102は表示領域120、タッチ領域140、および表示領域120とタッチ領域140の間の境界領域160を有する。タッチ領域140は表示領域120の上に位置し、表示領域120と重なる。境界領域160は表示領域120とタッチ領域140を接続する。ベースフィルム102は可撓性を有する板、あるいは膜であり、可視光に対して透過性を有する。
表示領域120には、ベースフィルム102上に画像表示部122が設けられる。後述するように、画像表示部122には複数の画素が設けられる。表示領域120には画素を駆動するための駆動回路などを備えることができ、複数の画素によって画像表示部122上に映像が再現される。
タッチ領域140には、ベースフィルム102の上にタッチ部142が設けられる。タッチ部142は画像表示部122と同じ、あるいは実質的に同じ大きさ、形状であり画像表示部122と重なる(図1(A))。後述するように、タッチ部142は、指や掌などの物体と接触(以下、タッチと記す)することでタッチを感知し、その位置を特定する機能を有しており、ユーザによる情報入力のインターフェースとして働く。タッチ部142には、例えば静電容量方式、抵抗膜方式、電磁誘導方式などを採用することができる。図1(A)に示すように、ユーザはタッチ部142を介して画像表示部122を認識する。
上述したように、境界領域160において、表示領域120内のベースフィルム102とタッチ領域140内のベースフィルム102が接続される。換言すると、境界領域160内のベースフィルム102、表示領域120内のベースフィルム102、およびタッチ領域140内のベースフィルム102は一体化されており、表示領域120内のベースフィルム102は、画像表示部122の下から、境界領域160を経てタッチ領域140のタッチ部142の下へ伸びる。したがって、表示領域120、境界領域160、タッチ領域140のベースフィルム102は連続した構造を有しており、画像表示部122はベースフィルム102によって包まれている。さらに、ベースフィルム102の一部、すなわち、タッチ領域140内のベースフィルム102は、画像表示部122とタッチ部142によって挟持される。
表示領域120はさらに、複数の第1の端子124と複数の第2の端子126をベースフィルム102の上に有している(図1(A)、(B)、図2)。複数の第1の端子124と複数の第2の端子126の各々は、少なくともその一部がタッチ領域140のベースフィルム102と重ならないように設けられる。すなわち、複数の第1の端子124と複数の第2の端子126の各々はいずれも、少なくとも一部はタッチ領域140のベースフィルム102から露出される。
第1の端子124と第2の端子126は、画像表示部122の一つの辺(第1の辺)128の近傍に、第1の辺128とほぼ平行に配置される。第1の端子124は、ベースフィルム102上に設けられる配線130を介し、画像表示部122と電気的に接続される。一方、第2の端子126は、表示領域120内のベースフィルム102上に設けられる配線132を介し、タッチ部142と電気的に接続される。図1(A)では、複数の第2の端子126が複数の第1の端子124を挟むように示されているが、複数の第2の端子126の全てが一か所に纏まって設けられてもよい。
図1(B)に示すように、第1の端子124と第2の端子126は、フレキシブルプリント回路基板(FPC)などのコネクタ170と接続され、コネクタ170、第1の端子124、第2の端子126を通して外部回路から画像表示部122、タッチ部142へ信号が入力される。例えば第1の端子124には映像信号や電源が供給され、第2の端子126には、タッチを検出するための検出信号などが供給される。
上述したように、第1の端子124と第2の端子126はいずれも表示領域120内のベースフィルム102上に設けられ、かつ、第1の辺128の近傍に、第1の辺128に対して平行に設けられる。したがって、第1の端子124と第2の端子126は単一のコネクタ170と接続することができる。このため、第1の端子124と第2の端子126をそれぞれ異なるコネクタに接続する場合と比較し、コネクタの数を半減することができるため、製造コストを低下させ、製造プロセスをより簡潔にすることができる。
表示領域120とタッチ領域140は互いに接着していてもよい。例えば図2に示すように、表示領域120とタッチ領域140は、接着層182、184を介して互いに接着されていてもよい。この時、任意の構成として、透明基板180を表示領域120とタッチ領域140の間に設け、表示装置100の厚さを調整してもよい。この場合、透明基板180は画像表示部122と、タッチ領域140のベースフィルム102と接着される。透明基板180は可視光に対して透光性を示すことが好ましい。透明基板180は可撓性を有してもよい。なお、透明基板180による境界領域160内のベースフィルム102の損傷を防ぐため、透明基板180の端部のうち境界領域160に近い側の先端が丸い形状を有するように面取りされていてもよい。
[2.タッチ部]
図3にタッチ部142の一部の領域144(図1(A)参照)の拡大図を模式的に示す。タッチ部142は種々の方式でタッチを検出することができるが、ここでは静電容量式のタッチ部を例として説明する。
タッチ部142は複数の配線が格子状に配置された構造を有している。具体的には、第1の方向(例えば第1の辺128に平行な方向、図1参照)に伸びる複数の配線(Tx配線146)と、これらと直交する複数の配線(Rx配線148)を有している。各配線は、略四角形の複数の電極150を含んでいる。例えばTx配線146の各々は、複数の電極150が第1の方向に配列し、隣接する電極150同士はTxブリッジ電極(接続電極)152で電気的に接続される。図3では、Txブリッジ電極152の上に電極150が形成される例が示されている。Tx配線146の末端の電極(図3における左端の電極)には、配線接続部154が設けられる。この配線接続部154において、配線133がTx配線146と電気的に接続される。Rx配線148は、複数の電極150と、各電極150間を接続するRxブリッジ部156が一体となって形成された構造を有している。Rx配線148の末端の電極(図3における下端の電極)には、配線接続部154が設けられる。Tx配線146と同様、Rx配線148の配線接続部154において、配線133がRx配線148と電気的に接続される。
各電極150、およびRxブリッジ部156は、例えば導電性酸化物などの可視光を透過する導電体で形成される。一方、Txブリッジ電極は、必ずしも可視光を透過する必要は無く、透光性を有する導電性酸化物に加え、可視光を透過しない金属で形成してもよい。
[3.展開構造]
表示装置100の構造をより詳細に説明するため、表示装置100の展開された状態を図4に示す。図4は、図2に示した表示装置100から透明基板180と接着層182、184を除去し、境界領域160を平坦にした状態を示したものである。
図4に示すように、ベースフィルム102は表示領域120とタッチ領域140を有し、表示領域120とタッチ領域140の間に境界領域160を有する。タッチ領域140には、ベースフィルム102の下にタッチ部142が備えられる。一方、表示領域120には、ベースフィルム102の上に画像表示部122が設けられる。したがって、画像表示部122はベースフィルム102の一方の面(第1面)に設けられ、タッチ部142はベースフィルム102の他方の面(第1面に対向する第2面)に設けられる。図4に示す表示装置100では、表示領域120に駆動回路136が画像表示部122を挟むように設けられているが、駆動回路136は任意の構成であり、異なる基板に形成された駆動回路136を別途表示装置100に設けてもよい。この場合、駆動回路136は、例えば配線130の上、あるいはコネクタ170の上などに設けることができる。
配線132は、第2の端子126と接続され、画像表示部122の横の領域(額縁)を通り、境界領域160を介して表示領域120からタッチ領域140へ伸びる。配線132はさらに、タッチ領域140内でベースフィルム102に設けられる開口部158において、ベースフィルム102の下面に設けられる配線133と電気的に接続される。上述したように配線133はタッチ部142のTx配線146やRx配線148と接続される。したがって、タッチ部142は配線133、132を介し、第2の端子126と電気的に接続される。一方、配線130は第1の端子124と画像表示部122を電気的に接続する。図示しないが、配線132、133は境界領域160において、画像表示部122やタッチ部142への各辺に対して斜めの方向に伸びるように配置してもよい。
ベースフィルム102上にはアライメントマーカー134を設けることができる。アライメントマーカー134が重なるように軸162に沿って境界領域160を折りたたみ、表示領域120とタッチ領域140を接着することによって、図1(A)、(B)、図2に示す表示装置100を得ることができる。
[4.画像表示部]
図5に画像表示部122の一部の領域138(図4参照)の拡大図を模式的に示す。画像表示部122は複数の画素190を有している。複数の画素190には発光素子や液晶素子などの表示素子を設けることができる。例えば隣接する画素190が赤色、緑色、あるいは青色を与えるように構成することで、フルカラー表示を行うことができる。画素190の配列にも制限はなく、ストライプ配列、デルタ配列、ペンタイル配列などを採用することができる。ペンタイル配列とは、ストライプ配列やデルタ配列に比べて少ない画素数で見かけ上の精細度を向上させる効果のある配列であり、例えばRGBの一部の画素を縦横方向のマトリクス配置とする一方、他の一部の画素は、斜め方向に先の一部の画素と互い違いになるように配置する。RGB間でサブピクセル数が異なる等の特徴がある。
各画素190には一つ、あるいは複数のトランジスタが備えられ、それぞれのトランジスタに信号を与える複数の信号線192、194,196が格子状に設けられる。例えば信号線194は映像信号を、信号線192は走査信号を、信号線196は高電位電源電圧を各画素190に供給することができる。図示しないが、画像表示部122には上記配線以外の配線を有していてもよい。これらの配線は駆動回路136、あるいは配線130を介して第1の端子124と接続される。
[5.断面構造]
[5−1.表示領域]
図6を用い、表示装置100の断面構造を詳細に説明する。図6は、図1(A)の鎖線B−B’に沿った断面の模式図である。
表示領域120には、画像表示部122がベースフィルム102上に設けられ、画像表示部122の各画素190は、トランジスタ200と、トランジスタ200と接続される発光素子220を含むことができる。図6では各画素190に一つのトランジスタが形成される例が示されているが、各画素190は複数のトランジスタを有していてもよい。また、トランジスタ以外の半導体素子、例えば容量素子などを含んでもよい。ベースフィルム102とトランジスタ200の間には、任意の構成としてアンダーコート201が設けられてもよい。
トランジスタ200は、半導体膜202、ゲート絶縁膜204、ゲート電極206、および一対のソース/ドレイン電極208を有している。ゲート電極206の上には、第1の層間膜210を設けることができ、ソース/ドレイン電極208は、ゲート絶縁膜204と第1の層間膜210に設けられた開口部を介して半導体膜202と接続される。
図6では、トランジスタ200はトップゲート―トップコンタクト型の構造を有するように描かれているが、トランジスタ200の構造に制約はなく、ボトムゲート型、トップゲート型、いずれの構造を有していてもよい。半導体膜202とソース/ドレイン電極208の上下関係に関しても制約はない。また、ゲート電極206が複数設けられた、所謂マルチゲート構造をトランジスタ200に採用してもよい。
トランジスタ200の上には第2の層間膜212を設けることができ、さらにその上には、トランジスタ200などに起因する凹凸を吸収して平坦な表面を与えるための平坦化膜214が備えられてもよい。
発光素子220は、第1の電極222、第2の電極226、および第1の電極222と第2の電極226の間に設けられるEL層224を有する。第1の電極222は、接続電極216を介し、トランジスタ200のソース/ドレイン電極208の一方と電気的に接続される。第1の電極222は透光性を有する導電性酸化物、あるいは金属などを含有することができる。発光素子220から得られる光をタッチ領域140を通して取り出す場合、アルミニウムや銀などの金属、あるいはこれらの合金を第1の電極222に用いることができる。この場合、上記金属や合金、および透光性を有する導電性酸化物との積層構造、例えば金属を導電性酸化物で挟持した積層構造(インジウム―スズ酸化物(ITO)/銀/ITOなど)を採用してもよい。
画像表示部122にはさらに、第1の電極222の端部を覆う隔壁228が設けられていてもよい。隔壁228はバンク(リブ)とも呼ばれる。隔壁228は、第1の電極222の一部を露出するように開口部を有しており、その開口端はなだらかなテーパー形状となるのが好ましい。開口部の端が急峻な勾配を有すると、EL層224や第2の電極226などのカバレッジ不良を招きやすい。
EL層224は第1の電極222および隔壁228を覆うように形成される。なお、本明細書では、EL層224とは一対の電極(ここでは、第1の電極222と第2の電極226)に挟まれた層全体を意味する。
第2の電極には、例えばITOやインジウム―亜鉛酸化物(IZO)などの透光性を有する導電性酸化物を含む膜、あるいは透光性を有する程度の厚さで形成され、銀やマグネシウム、アルミニウムなどを含む金属膜を用いることができる。これにより、EL層224で得られる発光をタッチ領域140を通して取り出すことができる。
画像表示部122はさらに、パッシベーション膜240を発光素子220の上に有していてもよい。パッシベーション膜240は発光素子220に外部からの水分の侵入を防止することを機能の一つとしており、パッシベーション膜240としてはガスバリア性の高いものが好ましい。図6に示すパッシベーション膜240は三層の構造を有しており、無機材料を含む第1の層242、第3の層246と、これらの間に挟まれ、有機樹脂を含む第2の層244を有する。
なお任意の構成として、境界領域160に最も近い画素190と境界領域160の間で、平坦化膜214は第2の層間膜212に達する開口部250を有していてもよい。さらに、第2の層間膜212が開口部250において第3の層246と接するように、パッシベーション膜240を形成してもよい。このような構造を導入することで、不純物が境界領域160から平坦化膜214内を拡散して発光素子220へ侵入することを防ぐことができる。
[5−2.タッチ領域]
タッチ領域140は、表示領域120から境界領域160を経て伸びるアンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210をベースフィルム102の下に有しており、ベースフィルム102の上にタッチ部142を有している。タッチ部142は、上述したように、電極150とTxブリッジ電極152を含むTx配線146、および電極150とRxブリッジ部156を含むRx配線148を有している。ベースフィルム102には開口部158が設けられる。配線132は、表示領域120から境界領域160を介してタッチ領域140のベースフィルム102の下へ伸びる。配線132と配線133はベースフィルム102を挟むように設けられ、開口部158を介し、互いに電気的に接続される。配線133は配線接続部154においてTx配線146と電気的に接続される。なお図6では、開口部158は、アンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210にも設けらるように示されているが、アンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210は必ずしもタッチ領域140に設けられる必要は無い。
Tx配線146とRx配線148間には、絶縁膜159が設けられており、Tx配線146、Rx配線148、および絶縁膜159によって容量が形成される。Tx配線146、Rx配線148、及び絶縁膜159の上には、保護膜248が形成される。タッチ領域140に対して指や掌が保護膜248を介して接触することで容量結合が生じ、その結果、接触箇所の容量が変化することで、タッチされた場所を検知することができる。
[5−3.境界領域]
境界領域160では、ベースフィルム102が折りたたまれる。境界領域160では、表示領域120から伸びるアンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210、第2の層間膜212、平坦化膜214、および第3の層246がベースフィルム102に設けられ、これらの膜は、さらにタッチ領域140へ伸びる。境界領域160において、第1の層間膜210と第2の層間膜212の間には、ソース/ドレイン電極208と同じ層に存在する配線132が設けられる。
なお、境界領域160には、必ずしもアンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210、第2の層間膜212、平坦化膜214、および第3の層246の全てが含まれる必要は無い。配線132の劣化を防ぐため、配線132の上に第2の層間膜212、平坦化膜214、および第3の層246の少なくとも一つが設けられることが好ましい。
表示装置100は、任意の構成として、透明基板180を有しており、透明基板180は表示領域120とタッチ領域140と重なり、これらの間に挟まれる。透明基板180は接着層182によって画像表示部122と接着され、接着層184によってタッチ領域140内のベースフィルム102、あるいはその下に設けられるアンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210のいずれかに接着される。透明基板180は可撓性を有していてもよく、あるいはガラス基板のように可撓性が低くてもよい。可撓性が低い透明基板180を用いることで、表示装置100の形状を固定することができる。
詳細は第2実施形態で述べるが、表示装置100の画像表示部122とタッチ部142は、同一のベースフィルム102に形成することができる。したがって、画像表示部122とタッチ部142をそれぞれ個別に製造する必要がない。また、図1(B)に示すように、第1の端子124と第2の端子126に対して単一のコネクタを使用し、画像表示部122とタッチ部142に対して外部回路から信号を供給することができる。したがって、第1の端子124と第2の端子126に対して、それぞれ個別にコネクタを接続する必要がない。このため、表示装置100の構造と製造プロセスを簡潔にすることができ、低コストでタッチ部142が搭載された表示装置100を製造することができる。さらに、可撓性を有する透明基板180を用いることで、タッチ部142が搭載された可撓性の表示装置100を提供することができる。
(第2実施形態)
本実施形態では、表示装置100の作製方法に関し、図7乃至図19を用いて説明する。第1実施形態で述べた内容と同様の内容に関しては説明を割愛することがある。なお、図7から図19は、図4における鎖線C−C’に沿った断面模式図である。
図7(A)に示すように、まず第1の支持基板260上にベースフィルム102を形成する。第1の支持基板260は、トランジスタ200や発光素子220など、画像表示部122に含まれる半導体素子を支持する機能を有する。したがって第1の支持基板260には、この上に形成される各種素子のプロセスの温度に対する耐熱性とプロセスで使用される薬品に対する化学的安定性を有する材料を使用すればよい。具体的には、第1の支持基板260はガラスや石英、プラスチック、金属、セラミックなどを含むことができる。
ベースフィルム102は可撓性を有する絶縁膜であり、例えばポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリカーボナートに例示される高分子材料から選択される材料を含むことができる。ベースフィルム102は、例えば印刷法やインクジェット法、スピンコート法、ディップコーティング法などの湿式成膜法、あるいはラミネート法などを適用して作製することができる。
次に図7(B)に示すように、ベースフィルム102上にアンダーコート201を形成する。アンダーコート201は第1の支持基板260やベースフィルム102からアルカリ金属などの不純物がトランジスタ200などへ拡散することを防ぐ機能を有する膜であり、窒化ケイ素や酸化ケイ素、窒化酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素などの無機絶縁体を含むことができる。アンダーコート201は化学気相成長法(CVD法)やスパッタリング法などを適用して単層、あるいは積層構造を有するように形成することができる。なおベースフィルム102中の不純物濃度が小さい場合、アンダーコート201は設けない、あるいはベースフィルム102の一部だけを覆うように形成してもよい。
次に半導体膜202を形成する。半導体膜202は例えばケイ素などの14族元素を含むことができる。あるいは半導体膜202は酸化物半導体を含んでもよい。酸化物半導体としては、インジウムやガリウムなどの第13族元素を含むことができ、例えばインジウムとガリウムの混合酸化物(IGO)が挙げられる。酸化物半導体を用いる場合、半導体膜202はさらに12族元素を含んでもよく、一例としてインジウム、ガリウム、および亜鉛を含む混合酸化物(IGZO)が挙げられる。半導体膜202の結晶性に限定はなく、単結晶、多結晶、微結晶、あるいはアモルファスでもよい。
半導体膜202がケイ素を含む場合、半導体膜202は、シランガスなどを原料として用い、CVD法によって形成すればよい。得られる半導体膜202に対して加熱処理、あるいはレーザなどの光を照射することで結晶化を行ってもよい。半導体膜202が酸化物半導体を含む場合、スパッタリング法などを利用して形成することができる。
次に半導体膜202を覆うようにゲート絶縁膜204を形成する。ゲート絶縁膜204は単層構造、積層構造のいずれの構造を有していてもよく、アンダーコート201と同様の手法で形成することができる。
引き続き、ゲート絶縁膜204上にゲート電極206をスパッタリング法やCVD法を用いて形成する(図8(A))。ゲート電極206はチタンやアルミニウム、銅、モリブデン、タングステン、タンタルなどの金属やその合金を用い、単層、あるいは積層構造を有するように形成することができる。例えばチタンやタングステン、モリブデンなどの比較的高い融点を有する金属でアルミニウムや銅などの導電性の高い金属を挟持する構造を採用することができる。
次にゲート電極206上に第1の層間膜210を形成する(図8(B))。第1の層間膜210は単層構造、積層構造のいずれの構造を有していてもよく、アンダーコート201と同様の方法で形成することができる。
次に、第1の層間膜210とゲート絶縁膜204に対してエッチングを行い、半導体膜202に達する開口部を形成する(図9(A))。開口部は、例えばフッ素含有炭化水素を含むガス中でプラズマエッチングを行うことで形成することができる。
次に開口部を覆うように金属膜を形成し、エッチングを行って成形することで、ソース/ドレイン電極208を形成すると同時に、配線132を形成する(図9(B))。したがって、表示装置100では、ソース/ドレイン電極208と配線132は同一の層内に存在する。金属膜はゲート電極206と同様の構造を有することができ、ゲート電極206の形成と同様の手法を用いて形成することができる。図示していないが、配線132はゲート電極206を形成する際に同時に形成してもよい。
次に図10(A)に示すように、ソース/ドレイン電極208、配線132上に第2の層間膜212を形成する。第2の層間膜212は、アンダーコート201の形成と同様に行うことができる。さらに第2の層間膜212に対してエッチングを行い、ソース/ドレイン電極208に達する開口部を形成する。これらの開口部も上述したようなプラズマエッチングなどのドライエッチングを用いて形成することができる。
次に、開口部を覆うように導電体膜を形成し、エッチングによって加工し、接続電極216を形成する(図10(B))。導電体膜としてはITOやIZOなどの、可視光を透過する導電体を用い、スパッタリング法などによって形成することができる。あるいは、対応する金属のアルコキシドを用い、ゾル−ゲル法によって形成してもよい。
次に平坦化膜214を、接続電極216を覆うように形成する(図11(A))。平坦化膜214は、トランジスタ200などの半導体素子に起因する凹凸や傾斜を吸収し、平坦な面を与える機能を有する。平坦化膜214は有機絶縁体で形成することができる。有機絶縁体としてエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリカーボナート、ポリシロキサンなどの高分子材料が挙げられ、上述した湿式成膜法などによって形成することができる。平坦化膜214は上記有機絶縁体を含む層と無機絶縁体を含む層の積層構造を有していてもよい。この場合、無機絶縁体としては酸化ケイ素や窒化ケイ素、窒化酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素などのシリコンを含有する無機絶縁体が挙げられ、これらを含む膜はスパッタリング法やCVD法によって形成することができる。なお、平坦化膜214はタッチ部142が設けられるタッチ領域140にも設けてもよい。
次に平坦化膜214に対してエッチングを行い、接続電極216に達する開口部を形成する(図11(A))。その後開口部を覆うように、平坦化膜214上に発光素子220の第1の電極222をスパッタリング法などを用いて形成する(図11(B))。
次に、第1の電極222の端部を覆うように、隔壁228を形成する(図12(A))。隔壁228により、第1の電極222に起因する段差を吸収し、かつ、隣接する画素190の第1の電極222を互いに電気的に絶縁することができる。隔壁228はエポキシ樹脂やアクリル樹脂など、平坦化膜214で使用可能な材料を用い、湿式成膜法で形成することができる。
次に発光素子220のEL層224、および第2の電極226を、第1の電極222と隔壁228を覆うように形成する(図12(B))。EL層224は単一の層で形成されてもよく、複数の層から形成されてもよい。例えばキャリア注入層、キャリア輸送層、発光層、キャリア阻止層、励起子阻止層など適宜を組み合わせてEL層224を形成することができる。また、隣接する画素190間でEL層224の構造が異なってもよい。例えば隣接する画素190間で発光層が異なり、他の層が同一の構造を有するようにEL層224を形成してもよい。逆に全ての画素190において同一のEL層224を用いてもよい。この場合、例えば白色発光を与えるEL層224を隣接する画素190に共有されるように形成し、カラーフィルタなどを用いて各画素190から取り出す光の波長を選択する。
第2の電極226は、金属や、透光性を有する導電性酸化物などを用い、第1の電極222の形成と同様の方法で形成することができる。
次にパッシベーション膜240を形成する。例えば図13(A)に示すように、まず第1の層242を第2の電極226上に形成する。第1の層242は、例えば窒化ケイ素や酸化ケイ素、窒化酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素などの無機材料を含むことができ、アンダーコート201と同様の手法で形成することができる。第1の層242は、図13(A)で示すように発光素子220の上に選択的に形成してもよく、境界領域160やタッチ領域140に形成してもよい。
引き続き第2の層244を形成する(図13(A))。第2の層244は、アクリル樹脂やポリシロキサン、ポリイミド、ポリエステルなどを含む有機樹脂を含むことができる。また、図13(A)に示すように、隔壁228に起因する凹凸を吸収するよう、また、平坦な面を与えるような厚さで形成してもよい。第2の層244も、境界領域160やタッチ領域140が形成される領域に形成してもよい。第2の層は、上述した湿式成膜法によって形成することもできるが、上記高分子材料の原料となるオリゴマーを減圧下で霧状あるいはガス状にし、これを第1の層242に吹き付けて、その後オリゴマーを重合することによって形成してもよい。
次に、表示領域120のうち境界領域160に最も近い画素190と、境界領域160の間の領域において、平坦化膜214に開口部250を形成する(図13(B))。開口部250は例えば上述したドライエッチングなどによって形成すればよい。
その後、第3の層246を形成する(図14(A))。第3の層246は、第1の層242と同様の構造を有し、同様の方法で形成することができる。第3の層246は、平坦化膜214に設けられた開口部250、発光素子220の上だけでなく、境界領域160、タッチ領域140上にも形成してもよい。開口部250において第3の層246は第2の層間膜212と接する。この構成により平坦化膜214が切断される。これにより、不純物が境界領域160から平坦化膜214を介して表示領域120へ拡散することを防ぎ、発光素子220の信頼性を向上させることができる。また、表示領域120の周囲で、第2の層244は第1の層242からはみ出すことなく形成され、さらに第3の層246が第1の層242と接することで、第2の層244を挟むと同時に封止し、かつ第2の層244が平坦化膜214と接しないようにしても良い。このようにすると、有機材料を含む層である平坦化膜214と第2の層244とが連続しないため、水分の侵入経路を遮断することができる。
その後、接着層264を介して第2の支持基板262をベースフィルム102上に形成する(図14(B))。第2の支持基板262は、この後に形成されるタッチ部142を支持する機能を有しており、第1の支持基板260と同様の材料を用いることができる。接着層264としては、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂などを用いることができる。
その後、第1の支持基板260を分離する。例えば第1の支持基板260側からレーザなどの光を照射し、第1の支持基板260とベースフィルム102間の接着性を低下させる。そして第1の支持基板260を物理的に剥離する(図15(A))。
次に、ベースフィルム102、アンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210に対してエッチングを行い、配線132を露出するように開口部158を形成する(図15(B)中)。なお、図15(B)は15(A)で示した構造の上下を逆転した状態を示している。
次に開口部158を埋めるように、ベースフィルム102の、前述のトランジスタや発光素子が形成された面とは反対側の面上にTxブリッジ電極152、および配線133を形成する(図16(A))。これにより、配線132と配線133が電気的に接続される。これらはゲート電極206やソース/ドレイン電極208に含まれる金属を含むことができ、同様の方法で形成することができる。さらにTxブリッジ電極152、配線133を覆うように絶縁膜159を形成する(図16(B))。絶縁膜159はアンダーコート201と同様の方法で形成することができる。
引き続き、絶縁膜159に対してエッチングを行い、Txブリッジ電極152、配線133を露出する開口部を形成する(図17(A))。さらにこれらの開口部を埋めるように電極150、およびRxブリッジ部156を形成する(図17(B))。電極150、Rxブリッジ部156はITOやIZOなどの可視光を透過する導電性酸化物を含むことができ、スパッタリング法などで形成することができる。
次に、タッチ部142を保護するための保護膜248を形成する(図18)。保護膜248はパッシベーション膜240の第1の層242や第3の層246と同様の構成を有することができ、同様の方法で形成することができる。以上の工程により、タッチ部142が形成される。ここで本明細書や請求項では、タッチ部142の互いに対向する二つの主面のうち、ベースフィルム102に近い方を下面あるいは背面と呼び、ベースフィルム102から遠い方を上面あるいは正面と呼ぶ。
その後図19に示すように、第2の支持基板262を剥離する。第2の支持基板262の剥離は、第1の支持基板260の剥離と同様の方法で行うことができる。残った接着層264をドライエッチングで除去し、さらに、表示領域120上に接着層182を介して透明基板180を接着し、図中矢印で示すようにベースフィルム102を折りたたむ。すなわち、境界領域160において、タッチ部142の正面がタッチ部142を介して画像表示部122と重なるように、ベースフィルム102を折りたたむ。これにより、表示装置100を作製することができる。
上述したように、本実施形態の作製方法を用いることで、一つの基板を用いて画像表示部122とタッチ部142とを形成することができる。このため、表示装置100の工程を簡潔にすることができる。その結果、タッチ部142が搭載された表示装置100を低コストで製造することが可能となる。
(第3実施形態)
本実施形態では、表示装置100と構造が異なる表示装置に関し、図20乃至図22を用いて説明する。第1、第2実施形態で述べた構成と同様の構成に関しては説明を割愛することがある。図20乃至図22は、図1(A)における鎖線B−B’に沿った断面模式図である。
図20に示す表示装置270は、パッシベーション膜240の第3の層246が境界領域160に設けられていない点で、表示装置100と相違する。第2実施形態で述べたように、第3の層246は無機材料を含むことができるため、例えば高分子材料を含有できる第2の層244などと比較して硬い。このため、第3の層246を表示領域120に選択的に設けることにより、境界領域160により高い可撓性が付与され、境界領域160を容易に折りたたむことが可能となる。さらに、境界領域160において、配線132を境界領域160の中立面(折りたたんだ際に加わる歪みが最も小さい面)の近くに配置させることができ、配線132に応力が集中することを防ぐことができる。上述したように、境界領域160やタッチ領域140では、アンダーコート201、ゲート絶縁膜204、第1の層間膜210、第2の層間膜212、平坦化膜214の全てを設ける必要は無く、これらの膜を設けない、あるいは一部を設けることができる。
図21に示す表示装置272は、接着層182が表示領域120、タッチ領域140、および境界領域160で囲まれた領域全体を埋めるように設けられる点で表示装置100と相違する。これにより、境界領域160とその周辺の強度を向上させることができる。
図22に示す表示装置274は、透明基板180を含まない点で表示装置100や272と相違する。例えばベースフィルム102が薄い、あるいは可撓性が高い場合、境界領域160が大きく折れ曲がることができるので、透明基板180を用いなくても、表示領域120とタッチ領域140を接着層182を用いて接着することができる。この構造を用いることで、タッチパネルが搭載された可撓性の表示装置を提供することができる。
(第4実施形態)
本実施形態では、第1実施形態の表示装置100や第3実施形態の表示装置270、272、274と構造が異なる表示装置に関し、図23乃至図28を用いて説明する。第1乃至第3実施形態と同様の構成については説明を割愛することがある。
本実施形態の表示装置の一つである表示装置300の上面図を図23に示す。ベースフィルム102は表示領域120、タッチ領域140、境界領域160を有している。タッチ領域140は表示領域120の上に位置し、表示領域120と重なる。表示装置300は、境界領域160の構造が異なる点で、表示装置100と異なる。
具体的には、図23に示すように、境界領域160には、画像表示部122とタッチ部142の接続部302の両側に、軸に平行な切り欠き(カットアウト)303が設けられる。これにより、接続部302の幅が小さくなっている。なお図23で示す表示装置300では、接続部302は表示装置300の一つの辺の中心に位置しているが、いずれかの方向に偏った位置に配置されていてもよい。
接続部302の形状や配置は、表示装置300のそれらに限られない。例えば図25に示す表示装置320のように、境界領域160は二つの接続部302を有していてもよい。この場合、二つの接続部302のそれぞれの両側に切り欠き303が設けられる。あるいは、図27に示す表示装置330のように、一つの切り欠き303を挟む二つの接続部302が境界領域160のベースフィルム102の端部に設けられていてもよい。この場合、二つの接続部302の幅が互いに異なってもよい。
表示装置300では、第2の端子126とタッチ部142を接続する配線132は、境界領域160の接続部302を通過してタッチ領域140へ伸びる。一方、表示装置320、330では、第2の端子126とタッチ部142を接続する配線132は、境界領域160の二つの接続部302を通過してタッチ領域140へ伸びる。この場合、二つの接続部302内に配置される配線132の本数は互いに異なってもよい。配線132はいずれも、開口部158を介して対応する配線133と接続される。配線133は、ベースフィルム102に関し、配線132と反対の面に設けられる。
このような構造を有する表示装置300は、図24に示すように、境界領域160のベースフィルム102に二つのスリット304を設けることで、ベースフィルム102の一部の幅を小さくし、幅の小さい領域を通る軸162に沿ってベースフィルム102を折りたたむことにより形成することができる。同様に、表示装置320は、図26に示すように、境界領域160のベースフィルム102に二つのスリット304と、これらの間に開口部308を設けることで、ベースフィルム102の一部の幅を小さくし、この部分で軸162に沿ってベースフィルム102を折りたたむことにより形成することができる。一方表示装置330は、図28に示すように、境界領域160に、画像表示部122やタッチ部142の幅と同程度あるいはそれ以上の長さを有する開口部308を設け、この部分で軸162に沿ってベースフィルム102を折りたたむことにより形成することができる。これらの表示装置300、320、330では、スリット304や開口部308は、ベースフィルム102が折りたたまれた際、切り欠き303を与える。
表示領域120とタッチ領域140にアライメントマーカー134を設け、アライメントマーカー134同士が重なるようにベースフィルム102を折りたたむことにより、再現性良く、また、精度良く、タッチ領域140を表示領域120の上に重ねることができる。
表示装置300や320を形成する際、スリット304の先端部分、すなわち、スリット304のコーナー306は、曲線形状を有することが好ましい(図24、26)。同様に、表示装置320や330を作製する際に形成される開口部308のコーナー310も曲線形状を有することが好ましい(図26、28)。このような曲線形状をスリット304の先端部分や開口部308のコーナー310に設けることで、ベースフィルム102を折りたたむ際、ベースフィルム102が破損し、表示領域120とタッチ領域140が分断されることを防ぐことができる。
表示装置300、320、330では、境界領域160のうち、折りたたまれる部分の幅が小さいため、折りたたまれた後のベースフィルム102が元の形状へ戻る力(復元力)を低減することができ、折りたたむ工程が容易になるだけでなく、表示装置300、320、330の形状を安定に保つことができる。
本発明の実施形態として上述した各実施形態は、相互に矛盾しない限りにおいて、適宜組み合わせて実施することができる。また、各実施形態の表示装置を基にして、当業者が適宜構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省ほぼもしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
本明細書においては、開示例として主にEL表示装置の場合を例示したが、他の適用例として、その他の自発光型表示装置、液晶表示装置、あるいは電気泳動素子などを有する電子ペーパ型表示装置など、あらゆるフラットパネル型の表示装置が挙げられる。また、中小型から大型まで、特に限定することなく適用が可能である。
上述した各実施形態の態様によりもたらされる作用効果とは異なる他の作用効果であっても、本明細書の記載から明らかなもの、又は、当業者において容易に予測し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
100:表示装置、102:ベースフィルム、120:表示領域、122:画像表示部、124:第1の端子、126:第2の端子、128:第1の辺、130:配線、132:配線、133:配線、134:アライメントマーカー、136:駆動回路、138:一部の領域、140:タッチ領域、142:タッチ部、144:一部の領域、146:配線、148:配線、150:電極、152:ブリッジ電極、154:配線接続部、156:ブリッジ部、158:開口部、159:絶縁膜、160:境界領域、162:軸、170:コネクタ、180:透明基板、182:接着層、184:接着層、190:画素、192:信号線、194:信号線、196:信号線、200:トランジスタ、201:アンダーコート、202:半導体膜、204:ゲート絶縁膜、206:ゲート電極、208:ソース/ドレイン電極、210:第1の層間膜、212:第2の層間膜、214:平坦化膜、216:接続電極、220:発光素子、222:第1の電極、224:EL層、226:第2の電極、228:隔壁、240:パッシベーション膜、242:第1の層、244:第2の層、246:第3の層、248:保護膜、250:開口部、260:第1の支持基板、262:第2の支持基板、264:接着層、270:表示装置、272:表示装置、274:表示装置、300:表示装置、302:接続部、303:切り欠き、304:スリット、306:コーナー、308:開口部、310:コーナー、320:表示装置、330:表示装置

Claims (12)

  1. 表示領域、タッチ領域、前記表示領域と前記タッチ領域の間の境界領域を有するベースフィルムと、
    前記表示領域上の、前記ベースフィルムの第1面側に形成された画像表示部と、
    前記タッチ領域上の、前記ベースフィルムの第2面側に形成されたタッチ部を有し、
    前記境界領域は、前記画像表示部と前記タッチ部に挟まれ、
    前記境界領域において、前記タッチ部の正面が前記タッチ部を介して前記画像表示部と重なるように、前記ベースフィルムが折りたたまれ、
    前記画像表示部は、光が前記タッチ領域から取り出されるように構成され、
    前記タッチ部の前記正面は、前記タッチ部の互いに対向する二つの面のうち、前記ベースフィルムに遠い面である表示装置。
  2. 前記画像表示部は、前記ベースフィルムに包まれる、請求項1に記載の表示装置。
  3. 表示領域、タッチ領域、前記表示領域と前記タッチ領域の間の境界領域を有するベースフィルムと、
    前記表示領域上の画像表示部と、
    前記タッチ領域上のタッチ部と、
    前記表示領域上に位置し、前記表示領域から前記境界領域を介して前記タッチ領域に伸びる配線によって前記タッチ部と電気的に接続される端子を有し、
    前記境界領域において、前記タッチ部の正面が前記タッチ部を介して前記画像表示部と重なるように、前記ベースフィルムが折りたたまれ、
    前記画像表示部は、光が前記タッチ領域から取り出されるように構成され、
    前記タッチ部の前記正面は、前記タッチ部の互いに対向する二つの面のうち、前記ベースフィルムに遠い面である表示装置。
  4. 前記配線と前記タッチ部は、前記ベースフィルム内を貫通する開口部を介して電気的に接続される、請求項3に記載の表示装置。
  5. 前記タッチ部は、前記タッチ領域内の前記ベースフィルムを介し、前記画像表示部の上に重なる、請求項1または3に記載の表示装置。
  6. 前記表示領域と前記タッチ領域の間に透明基板をさらに有する、請求項1または3に記載の表示装置。
  7. 前記境界領域において、前記ベースフィルムの両端の間に、折りたたみ軸に平行な切り欠きを有し、
    前記境界領域における前記ベースフィルムの幅は、前記表示領域の幅、および前記タッチ領域の幅よりも小さい、請求項1または3に記載の表示装置。
  8. 前記ベースフィルムは可撓性を有する、請求項1または3に記載の表示装置。
  9. ベースフィルムの第1面側に画像表示部を形成し、
    前記ベースフィルムの第2面側にタッチ部を形成し、
    前記タッチ部が前記画像表示部と重なり、前記画像表示部が前記ベースフィルムに包まれ、前記画像表示部からの光が前記タッチ部から取り出されるように前記ベースフィルムを折りたたむことを含む、表示装置の作製方法。
  10. 前記ベースフィルムの上に、前記タッチ部と電気的に接続される配線を形成することをさらに含む、請求項9に記載の表示装置の作製方法。
  11. 前記ベースフィルムを貫通する開口部を形成することを含み、
    前記タッチ部の形成は、前記開口部を介して前記タッチ部が前記配線と電気的に接続されるように行う、請求項10に記載の表示装置の作製方法。
  12. 前記画像表示部と前記タッチ部を透明基板に接着することをさらに含み、
    前記透明基板の接着は、前記透明基板と前記ベースフィルムの一部が前記画像表示部と前記タッチ部に挟まれるように行う、請求項9に記載の表示装置の作製方法。
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