KR102237802B1 - 터치 센서 내장 표시 장치 - Google Patents

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Abstract

인출 배선의 단절을 억제하는 것이 가능한 터치 센서 내장 표시 장치를 제공한다. 터치 센서 내장 표시 장치는, 하지 절연막과, 하지 절연막의 표시 영역을 덮는 밀봉막과, 밀봉막 상의 표시 영역에 2차원적으로 배열되고, 제1 방향으로 인접하는 제1 전극이 제1 접속선을 통하여 접속된 복수의 제1 전극과, 제1 전극과 동일한 층 또는 상이한 층에서 2차원적으로 배열되고, 각각이, 평면으로 보아 제1 전극에 에워싸이고, 제2 방향으로 인접하는 제2 전극이 제1 접속선과, 평면으로 보아 교차하는 제2 접속선을 통하여 접속된 복수의 제2 전극과, 제1 접속선과 제2 접속선 사이에 개재됨과 함께, 밀봉막의 외연과 하지 절연막에서 형성되는 단차를 메우는 층간 절연막과, 제1 전극 또는 제2 전극에 접속되고, 층간 절연막의 단차를 메우는 부분 위를 통과하는 인출 배선을 구비하는, 터치 센서 내장 표시 장치.

Description

터치 센서 내장 표시 장치
본 발명은 터치 센서 내장 표시 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 인접하는 본체부가 접속부를 통하여 접속된, X 방향으로 연장되는 제1 전극과, 인접하는 본체부가 접속부를 통하여 접속된, Y 방향으로 연장되는 제2 전극이 밀봉막을 사이에 두고 배치된 정전 용량 방식 터치 센서를 내장한 표시 장치가 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2015-50245호 공보
그런데 본원의 발명자들은, 정전 용량 방식 터치 센서의 전극에 접속되는 인출 배선을 표시 영역의 외측의 주변 영역까지 인출할 것을 검토하고 있다. 그러나 그 경우, 인출 배선은, 표시 장치를 밀봉하는 밀봉막의 외연을 넘을 필요가 있기 때문에, 밀봉막의 외연에 의하여 형성되는 단차에 의하여 인출 배선이 단절(段切)을 일으킬 우려가 있다.
본 발명의 목적은, 인출 배선의 단절을 억제하는 것이 가능한 터치 센서 내장 표시 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 터치 센서 내장 표시 장치는, 하지 절연막과, 상기 하지 절연막의 표시 영역을 덮는 밀봉막과, 상기 밀봉막 상의 상기 표시 영역에 2차원적으로 배열된 복수의 제1 전극이며, 제1 방향으로 인접하는 제1 전극은 제1 접속선을 통하여 접속되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 인접하는 제1 전극은 접속되지 않는 복수의 제1 전극과, 상기 제1 전극과 동일한 층 또는 상이한 층에서 2차원적으로 배열되고, 각각이, 평면으로 보아 상기 제1 전극에 에워싸인 복수의 제2 전극이며, 상기 제2 방향으로 인접하는 제2 전극은, 상기 제1 접속선과, 평면으로 보아 교차하는 제2 접속선을 통하여 접속되고, 상기 제1 방향으로 인접하는 제2 전극은 접속되지 않는 복수의 제2 전극과, 상기 제1 접속선과 상기 제2 접속선 사이에 개재됨과 함께, 상기 밀봉막의 외연과 상기 하지 절연막에서 형성되는 단차를 메우는 층간 절연막과, 상기 제1 전극 또는 상기 제2 전극에 접속되고, 상기 층간 절연막의 상기 단차를 메우는 부분 위를 통과하는 인출 배선을 구비하는 터치 센서 내장 표시 장치.
도 1은 실시 형태에 따른 터치 센서 내장 표시 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 요부를 확대한 도면이다.
도 3은 도 1에 나타내는 Ⅲ-Ⅲ선으로 절단하였을 때의 단면도이다.
도 4는 도 3의 요부를 확대한 도면이다.
도 5는 변형예를 도시하는 도면이다.
도 6은 다른 변형예를 도시하는 도면이다.
도 7은 다른 실시 형태에 따른 터치 센서 내장 표시 장치의 단면도이다.
도 8은 도 7의 요부를 확대한 도면이다.
도 9는 실시 형태에 따른 터치 센서 내장 표시 장치의 제조 공정예를 도시하는 도면이다.
도 10은 도 9에서 이어지는 도면이다.
도 11은 도 10에서 이어지는 도면이다.
도 12는 도 11에서 이어지는 도면이다.
도 13은 도 12에서 이어지는 도면이다.
도 14는 도 13에서 이어지는 도면이다.
이하에, 본 발명의 각 실시 형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 또한 개시는 어디까지나 일례에 불과하며, 당업자에게 있어서, 발명의 주지를 유지한 적시 변경에 대하여 용이하게 상도할 수 있는 것에 대해서는, 당연히 본 발명의 범위에 함유되는 것이다. 또한 도면은, 설명을 보다 명확히 하기 위하여 실시 형태에 비해 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 표현되는 경우가 있지만 어디까지나 일례이며, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 명세서와 각 도면에 있어서, 기출된 도면에 관하여 전술한 것과 마찬가지의 요소에는 동일한 부호를 붙여서, 상세한 설명을 적절히 생략하는 경우가 있다.
도 1은, 실시 형태에 따른 터치 센서 내장 표시 장치(이하, 단순히 표시 장치라고도 함)의 평면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 1점 쇄선의 범위 내를 확대한 도면이다. 표시 장치의 예로서 유기 EL 표시 장치를 든다. 표시 장치(1)는, 예를 들어 적색, 녹색 및 청색을 포함하는 복수 색의 단위 화소(서브 픽셀)를 조합하여 풀 컬러의 화소를 형성하여 풀 컬러의 화상을 표시하도록 되어 있다.
표시 장치(1)는, 표시 패널(10)과, 표시 패널(10)의 표시 영역(15) 상에 형성된 터치 센서(20)를 갖고 있다. 표시 패널(10)의 표시 영역(15)의 외측에는 주변 영역(프레임 영역)(11)이 형성되어 있으며, 주변 영역(11)에는, 화소를 구동하기 위한 집적 회로 칩(12)이 탑재되고, 외부와의 전기적 접속을 위한 FPC(플렉시블 프린트 기판)(13)가 접속되어 있다. 이하의 설명에 있어서는, 주변 영역(11)의 FPC(13)가 접속되는 변을 따른 방향을 X 방향으로 하고, 그와 직교하는 방향을 Y 방향으로 한다.
도 3은, 도 1에 나타내는 Ⅲ-Ⅲ선으로 절단하였을 때의 단면도이다. 도 4는, 도 3에 있어서의 표시 영역(15)과 주변 영역(11)의 경계 부분을 확대한 도면이다. 이들 도면에서는, 단면 구조를 보기 쉽게 하기 위하여 기판(30), 평탄화막(51) 및 화소 분리막(55) 등의 일부의 층의 해칭을 생략하고 있다. 이하의 설명에서는 적층 방향을 상측 방향으로 한다.
기판(30)은, 예를 들어 유리, 또는 폴리이미드 등의 가요성이 있는 수지를 포함한다. 기판(30)은 언더코트층(31)에 의하여 덮여 있다. 언더코트층(31) 상에는 반도체층(41)이 형성되어 있으며, 반도체층(41)은 게이트 절연막(33)에 의하여 덮여 있다. 게이트 절연막(33) 상에는 게이트 전극(43)이 형성되어 있으며, 게이트 전극(43)은 패시베이션막(35)에 의하여 덮여 있다. 드레인 전극(45) 및 소스 전극(47)은 게이트 절연막(33)과 패시베이션막(35)을 관통하여 반도체층(41)에 접속되어 있다. 반도체층(41), 게이트 전극(43), 드레인 전극(45) 및 소스 전극(47)에 의하여 박막 트랜지스터(40)가 구성된다. 박막 트랜지스터(40)는 복수의 단위 화소의 각각에 대응하도록 마련되어 있다. 언더코트층(31), 게이트 절연막(33) 및 패시베이션막(35)은, 예를 들어 SiO2, SiN, 또는 SiON 등의 무기 절연 재료로 형성되어 있다.
패시베이션막(35) 상에는, 드레인 전극(45) 및 소스 전극(47)에 더해, 주변 영역(11)에 인출 배선(49)이 형성되어 있다. 도시된 인출 배선(49)은, 터치 센서(20)와 FPC(13)를 전기적으로 접속하기 위한 배선이다. 드레인 전극(45), 소스 전극(47) 및 인출 배선(49)은 평탄화막(51)에 의하여 덮여 있고, 평탄화막(51)은 층간 절연막(53)에 의하여 덮여 있다. 드레인 전극(45), 소스 전극(47) 및 인출 배선(49)은, 예를 들어 Al, Ag, Cu, Ni, Ti, Mo 등을 포함하는 도전성 재료로 형성되어 있다. 평탄화막(51)은, 예를 들어 아크릴 수지 등의 유기 절연 재료로 형성되며, 평탄한 상면을 갖고 있다. 층간 절연막(53)은, 예를 들어 SiO2, SiN, 또는 SiON 등의 무기 절연 재료로 형성되어 있다.
층간 절연막(53) 상에는 화소 전극(61)(예를 들어 양극)이 형성되어 있다. 화소 전극(61)은 평탄화막(51)과 층간 절연막(53)을 관통하여 소스 전극(47)에 접속되어 있다. 화소 전극(61)은 복수의 단위 화소의 각각에 대응하도록 마련되어 있다. 화소 전극(61)은 반사 전극으로서 형성되어 있다. 또한 주변 영역(11)에는 단자(67, 68)가 형성되어 있으며, 평탄화막(51)과 층간 절연막(53)을 관통하여 인출 배선(49)의 양쪽의 단부에 각각 접속되어 있다. 화소 전극(61) 및 단자(67, 68)는, 예를 들어 Al, Ag, Cu, Ni, Ti, Mo 등을 포함하는 도전성 재료로 형성되어 있다. 또한 단자(67, 68)는 공정 중에 분위기에 폭로될 기회가 많기 때문에, 표면 산화 등을 생기게 하기 어려운 재료, 예를 들어 ITO, IZO 등의 도전성 산화물이 이용되어도 된다. 한편, 표시 장치(1)가 보텀에미션 방식인 경우에는 화소 전극(61)은 투과 전극으로서 형성될 필요가 있으며, 이 경우에도 전술한 도전성 산화물을 이용할 수 있다.
화소 전극(61)은 화소 분리막(55)에 의하여 덮여 있다. 화소 분리막(55)은 리브 또는 뱅크라고도 칭해진다. 화소 분리막(55)에는, 화소 전극(61)이 바닥에 노출되는 개구(55a)가 형성되어 있다. 개구(55a)를 형성하는 화소 분리막(55)의 내연 부분은 화소 전극(61)의 주연 부분에 얹혀져 있으며, 상방을 향함에 따라 외측으로 퍼지는 테이퍼 형상을 갖고 있다. 또한 화소 분리막(55)은, 주변 영역(11) 중의 표시 영역(15)과의 경계 근방에 형성되지만 그 외의 부분에는 형성되지 않는다. 화소 분리막(55)은, 예를 들어 아크릴 수지 등의 유기 절연 재료로 형성되어 있다.
화소 분리막(55)의 개구(55a)의 바닥에 노출된 화소 전극(61) 상에는, 발광층(63)이 서로 떨어져서 개별로 형성되어 있다. 발광층(63)은 복수의 단위 화소의 각각에 대응하여, 예를 들어 적색, 녹색 및 청색을 포함하는 복수 색으로 발광한다. 발광층(63)과 함께 정공 수송층, 정공 주입층, 전자 수송층 및 전자 수송층 중 적어도 1층이 형성되어도 된다. 발광층(63)은 마스크를 이용하여 개별로 증착 형성된다. 발광층(63)은, 표시 영역(15)의 전체로 퍼지는 균일한 막(소위 베타막)으로서 증착 형성되어도 되며, 그 경우, 발광층(63)은 단색(예를 들어 백색)으로 발광하고, 컬러 필터나 색 변환층에 의하여, 예를 들어 적색, 녹색 및 청색을 포함하는 복수 색의 각각의 성분이 취출된다. 또한 발광층(63)은, 증착 형성에 한하지 않고 도포 형성되어도 된다.
발광층(63) 및 화소 분리막(55)은 대향 전극(65)(예를 들어 음극)에 의하여 덮여 있다. 대향 전극(65)은, 표시 영역(15)의 전체로 퍼지는 균일한 막(소위 베타막)으로서 형성되어 있다. 발광층(63) 및 발광층(63)을 사이에 두는 화소 전극(61) 및 대향 전극(65)에 의하여 발광 소자(60)가 구성되며, 발광층(63)은 화소 전극(61)과 대향 전극(65) 사이를 흐르는 전류에 의하여 발광한다. 대향 전극(65)은, 예를 들어 ITO 등의 투명 도전 재료, 또는 MgAg 등의 금속 박막으로 형성된다. 표시 장치(1)가 톱 에미션 방식인 경우에는, 대향 전극(65)은 투과 전극으로서 형성될 필요가 있고, 금속 박막을 이용하는 경우에는, 광이 투과할 정도로 막 두께를 작게 할 필요가 있다.
화소 분리막(55) 및 대향 전극(65)은 밀봉막(패시베이션막)(70)에 의하여 덮임으로써 밀봉되어 수분으로부터 차단된다. 밀봉막(70)은, 예를 들어 무기막(71), 유기막(73) 및 무기막(75)을 아래로부터 이 순서대로 포함하는 3층 적층 구조를 갖고 있다. 무기막(71, 75)은, 예를 들어 SiO2, SiN, 또는 SiON 등의 무기 절연 재료로 형성되어 있다. 유기막(73)은, 예를 들어 아크릴 수지 등의 유기 절연 재료로 형성되어 있으며, 밀봉막(70)의 상면을 평탄화시킨다.
밀봉막(70)의 무기막(71, 75)의 외연은 화소 분리막(55)의 외연보다도 외측에서 층간 절연막(53)과 접하고 있으며, 이것에 의하여 무기막(71, 75)의 외연과 층간 절연막(53)(하지 절연막의 예)이 단차(7s)를 형성하고 있다. 이에 한정되지 않으며, 층간 절연막(53)이 생략되고 무기막(71, 75)의 외연과 평탄화막(51)이 접해도 된다.
표시 장치(1)는 밀봉막(70) 상에 터치 센서(20)를 갖고 있다. 구체적으로는, 밀봉막(70) 상에 보호 절연막(81)이 형성되어 있고, 보호 절연막(81) 상에 2차원적으로 배열된 복수의 제1 전극(21)과 복수의 제2 전극(22)이 형성되어 있고, 제1 전극(21) 및 제2 전극(22) 상에 층간 절연막(83)이 형성되어 있다. 제1 전극(21)과 제2 전극(22)은 정전 용량 방식 터치 센서의 구동 전극과 검출 전극을 구성한다. 보호 절연막(81)과 층간 절연막(83)은, 예를 들어 아크릴 수지 등의 유기 절연 재료로 형성되어 있다.
본 실시 형태에서는, 보호 절연막(81)의 외연은 밀봉막(70)의 무기막(71, 75)의 외연과 일치하고 있다. 이는, 보호 절연막(81)이, 무기막(71, 75) 중, 주변 영역(11)을 덮는 부분을 선택적으로 제거할 때의 마스크로서 이용되기 때문이다. 무기막(71, 75)의 외연과 보호 절연막(81)의 외연이 일치함으로써 단차(7s)가 보다 높고 보다 급준하게 되어 있다. 또한 보호 절연막(81)은 생략되어도 된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 전극(21)과 제2 전극(22)의 각각은, X 방향(제1 방향)과 이에 교차(예를 들어 직교)하는 Y 방향(제2 방향)을 대각 방향으로 하는 직사각 형상, 소위 마름모 형상(다이아몬드 형상)으로 형성되어 있다. 또한 제1 전극(21)과 제2 전극(22)의 각각은, 예를 들어 ITO 등의 투명 도전 재료로 형성되어 있다. 이에 한정되지 않으며, 제1 전극(21)과 제2 전극(22)은 금속 등의 도전성 재료를 이용하여 형성되어도 된다. 이 경우, 발광 소자(60)로부터 나오는 광을 차폐하지 않도록 그물눈형 배선(메쉬 배선)으로 형성되어도 된다.
복수의 제1 전극(21)은 X 방향과 Y 방향으로 각각 늘어서서 2차원적으로 배열되어 있다. 이들 제1 전극(21) 중, X 방향으로 인접하는 제1 전극(21)은 제1 접속선(23)을 통하여 접속되어 있고, Y 방향으로 인접하는 제1 전극(21)은 접속되어 있지 않다. 즉, 복수의 제1 전극(21)은, X 방향으로 인접하는 제1 전극(21)이 제1 접속선(23)을 통하여 접속됨으로써, X 방향으로 연장되는 복수의 전극 열을 각각 형성하고 있으며, 각각의 전극 열은 Y 방향으로는 전기적으로 분리되어 있다.
복수의 제2 전극(22)도 X 방향과 Y 방향으로 각각 늘어서서 2차원적으로 배열되어 있다. 이들 제2 전극(22) 중, Y 방향으로 인접하는 제2 전극(22)은 제1 접속선(23)과, 평면으로 보아 교차하는 제2 접속선(24)을 통하여 접속되어 있고, X 방향으로 인접하는 제2 전극(22)은 접속되어 있지 않다. 즉, 복수의 제2 전극(22)은, Y 방향으로 인접하는 제2 전극(22)이 제2 접속선(24)을 통하여 접속됨으로써, Y 방향으로 연장되는 복수의 전극 열을 형성하고 있으며, 각각의 전극 열은 X 방향으로는 전기적으로 분리되어 있다.
각각의 제2 전극(22)은, 평면으로 보아 제1 전극(21)에 에워싸이도록 배치되어 있다. 예를 들어 각각의 제2 전극(22)은, X 방향과 Y 방향의 양쪽에 교차하는 방향(예를 들어 45도 또는 -45도의 방향)으로 인접하는 제1 전극(21)의 사이에 배치되어 있으며, 4개의 제1 전극(21)에 에워싸여 있다. 제1 전극(21)과 제2 전극(22)은, 서로 접촉하지 않도록 간격을 둠으로써 전기적으로 분리되어 있다.
본 실시 형태에서는, 복수의 제1 전극(21)과 복수의 제2 전극(22)은 밀봉막(70)과 층간 절연막(83) 사이의 동일한 층에 배치되어 있지만 이에 한정되지 않으며, 서로 상이한 층에 배치되어도 된다. 즉, 제1 전극(21)과 제2 전극(22) 중 한쪽이 층간 절연막(83) 아래에 배치되고, 다른 쪽이 층간 절연막(83) 상에 배치되어도 된다. 또한 제1 전극(21)과 제2 전극(22)의 양쪽이 층간 절연막(83) 상에 배치되어도 된다.
제1 접속선(23)과 제2 접속선(24)은, 평면으로 보아 교차하고 있다. 평면으로 보아 교차하는 제1 접속선(23)과 제2 접속선(24) 사이에는 층간 절연막(83)이 개재되어 있어서, 양자는 전기적으로 분리되어 있다. 이하, 층간 절연막(83) 중, 제1 접속선(23)과 제2 접속선(24) 사이에 개재되는 부분을 「개재부(831)」라 한다.
본 실시 형태에서는 제1 접속선(23)이, 층간 절연막(83) 상에 배치된, 소위 브리지 배선이다. 제1 접속선(23)은, 층간 절연막(83)에 형성된 스루홀을 통하여 제1 전극(21)에 접속되어 있다. 제1 접속선(23)은, 예를 들어 Al, Ag, Cu, Ni, Ti, Mo 등을 포함하는 도전성 재료로 형성되어 있다. 한편, 제2 접속선(24)은, 층간 절연막(83) 아래에서 제2 전극(22)과 연속적으로 형성되어 있다.
이에 한정되지 않으며, 제2 접속선(24)이 층간 절연막(83) 상에 브리지 배선으로서 배치되고, 제1 접속선(23)이 층간 절연막(83) 아래에서 제1 전극(21)과 연속적으로 형성되어도 된다. 또한 제1 접속선(23)이 브리지 배선으로서 제2 접속선(24)과 교차하는 교차부와, 제2 접속선(24)이 브리지 배선으로서 제1 접속선(23)과 교차하는 교차부가 혼재하고 있어도 된다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 층간 절연막(83)은, 밀봉막(70)의 무기막(71, 75)의 외연과 층간 절연막(53)에서 형성된 단차(7s)를 메우고 있다. 이하, 층간 절연막(83) 중, 단차(7s)를 메우는 부분을 「단차 메움부(835)」라 한다. 이와 같이 단차 메움부(835)가 단차(7s)를 메움으로써 단차 메움부(835)의 상면은 단차(7s)보다도 평탄화된다.
층간 절연막(83)은, 표시 영역(15)의 전체로 퍼지는 균일한 막(소위 베타막)으로서 형성되어 있으며, 제1 접속선(23)과 제2 접속선(24) 사이에 개재되는 개재부(831)와, 밀봉막(70)측의 단차(7s)를 메우는 단차 메움부(835)가 연속되어 형성되어 있다.
층간 절연막(83)은, 단자(67)의 외연과 층간 절연막(53)에서 형성된 단차(6s)도 메우고 있다. 이하, 층간 절연막(83) 중, 단차(6s)를 메우는 부분을 「단차 메움부(836)」라 한다. 이와 같이 단차 메움부(836)가 단차(6s)를 메움으로써 단차 메움부(836)의 상면은 단차(6s)보다도 평탄화된다.
단자(67)측의 단차(6s)를 메우는 단차 메움부(836)는, 밀봉막(70)측의 단차(7s)를 메우는 단차 메움부(835)와 연속되어 형성되어 있다. 이와 같이 2개의 단차 메움부(835, 836)가 연속되어 형성됨으로써 단차 메움부(835, 836)의 상면은 보다 평탄화되어 있다. 단차 메움부(835, 836)의 상면은 외측을 향하여 완만하게 경사져 있다.
층간 절연막(83)은 단자(67)를 덮고 있다. 이하, 층간 절연막(83) 중, 단자(67)를 덮는 부분을 「단자 피복부(837)」라 한다. 단자 피복부(837)에는, 단자(67)를 노출시키는 개구(837a)가 형성되어 있다. 단자 피복부(837)는, 단자(67)측의 단차(6s)를 메우는 단차 메움부(836)와 연속되어 형성되어 있다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 터치 센서(20)는, 표시 영역(15)의 주연부로부터 주변 영역(11)으로 인출된 복수의 인출 배선(25)을 갖고 있다. 인출 배선(25)은 층간 절연막(83) 상의 제1 접속선(23)과 동시에 형성된다. 각각의 인출 배선(25)은, 층간 절연막(83)에 형성된 개구(83a)를 통하여 제1 전극(21) 또는 제2 전극(22)에 접속되어 있으며, 층간 절연막(83)의 주연부 위를 통과한다.
구체적으로는, 인출 배선(25)은 층간 절연막(83)의 주연부에 있어서 단차 메움부(835, 836) 위를 통과하여 단자 피복부(837) 위에까지 이르고, 단자 피복부(837)에 형성된 개구(837a)를 통하여 단자(67)에 접속되어 있다. 단자(67)는, 주변 영역(11)에 매립된 인출 배선(49)에 접속된 2개의 단자(67, 68) 중, 표시 영역(15)에 가까운 단자(67)(제1 단자)이다.
한편, 표시 영역(15)으로부터 떨어진 단자(68)(제2 단자)에는 이방 도전 부재(139)를 통하여 FPC(13)가 접속되어 있다. 또한 주변 영역(11)에는, 발광 소자(60)에 전기적으로 접속된 도시하지 않은 단자(제3 단자)도 마련되어 있으며, 이 도시하지 않은 단자에도 이방 도전 부재(139)를 통하여 FPC(13)가 접속되어 있다. 이 도시하지 않은 단자는, 예를 들어 박막 트랜지스터(40) 및 집적 회로 칩(12) 등을 통하여 발광 소자(60)에 전기적으로 접속되어 있다.
이상으로 설명한 실시 형태에서는, 밀봉막(70)의 무기막(71, 75)의 외연과 층간 절연막(53)에서 형성된 단차(7s)를 층간 절연막(83)의 일부(단차 메움부(835))로 메우고, 그 위에 인출 배선(25)을 형성하고 있다. 이 때문에, 단차(7s)를 단차 메움부(835)로 메우지 않는 경우에 비해 인출 배선(25)의 단절이나 쇼트를 억제하는 것이 가능하다.
즉, 단차(7s)를 단차 메움부(835)로 메우지 않는 경우, 단차(7s)에 의하여 인출 배선(25)이 단절이나 쇼트를 생기게 할 우려가 있지만, 본 실시 형태에서는, 단차(7s)를 단차 메움부(835)로 메움으로써 단차 메움부(835)의 상면을 단차(7s)에 비해 평탄화하고 있으므로, 인출 배선(25)의 프로세스 우도를 향상시켜 터치 센서(20)의 신뢰성 및 수율을 향상시키는 것이 가능하다.
또한 본 실시 형태에서는, 단자(67)의 외연과 층간 절연막(53)에서 형성된 단차(6s)도 층간 절연막(83)의 일부(단차 메움부(836))로 메우고, 그 위에 인출 배선(25)을 형성하고 있다. 이 때문에, 단차(6s)를 단차 메움부(836)로 메우지 않는 경우에 비해 인출 배선(25)의 단절을 억제하는 것이 가능하다.
여기서, 밀봉막(70)측의 단차(7s)를 메우는 단차 메움부(835)와, 단자(67)측의 단차(6s)를 메우는 단차 메움부(836)는 연속되어 형성되어 있어서, 단차 메움부(835, 836)의 상면은 보다 평탄화되어 있다. 이 때문에, 인출 배선(25)의 단절을 억제하는 효과를 보다 향상시키는 것이 가능하다.
또한 본 실시 형태에서는, 표시 영역(15)에 가까운 단자(67)를 층간 절연막(83)의 일부(단자 피복부(837))로 덮고, 그곳에 형성된 개구(837a)를 통하여 인출 배선(25)을 단자(67)에 접속하고 있다. 이것에 의하면, 인출 배선(25)의 단부가 모두 층간 절연막(83) 상에 존재하므로, 인출 배선(25)을 에칭에 의하여 형성할 때에 레지스트 패턴으로부터의 후퇴량을 균일화할 수 있어서, 인출 배선(25)을 안정적으로 형성하는 것이 가능하다.
또한 본 실시 형태에서는, FPC(13)는, 터치 센서(20)에 전기적으로 접속된 단자(68)(제2 단자)와, 발광 소자(60)에 전기적으로 접속된 도시하지 않은 단자(제3 단자)의 양쪽에 접속되어 있다. 이 때문에, 1매의 FPC(13)에 의하여 터치 센서(20)와 발광 소자(60)의 양쪽에 외부로부터 신호를 공급하는 것이 가능하다.
또한 상기 실시 형태에 한정되지 않으며, 도 5에 도시된 바와 같이 단차 메움부(835)와 단차 메움부(836)가 분리되어 형성되어도 된다. 이 경우, 인출 배선(25)은 단차 메움부(835) 상으로부터 층간 절연막(53) 상으로 이동하고, 층간 절연막(53) 상으로부터 단차 메움부(836) 상으로 이동한다. 또한 도 5와 도 6에 도시된 바와 같이, 단자(67)의 전부를 덮는 단자 피복부(837)가 형성되지 않아도 된다. 이 경우, 단차 메움부(836)가 단자(67)의 밀봉막(70)측의 일부를 덮는다.
도 7은, 다른 실시 형태에 따른 터치 센서 내장 표시 장치의 단면도이다. 도 8은, 도 7에 있어서의 표시 영역(15)과 주변 영역(11)의 경계 부분을 확대한 도면이다. 본 실시 형태에서는, 층간 절연막(83)은, 제1 접속선(23)과 제2 접속선(24)이, 평면으로 보아 교차하는 각각의 위치에 분리되어 형성되어 있으며, 제1 전극(21) 및 제2 전극(22)을 덮고 있지 않다. 즉, 제1 접속선(23)과 제2 접속선(24)이, 평면으로 보아 교차하는 각각의 위치에 개재부(831)가 분리되어 형성되어 있다. 또한 개재부(831)와 단차 메움부(835)도 분리되어 형성되어 있다.
단차 메움부(835)가 단차(7s)를 메움으로써 단차 메움부(835)의 상면은 보호 절연막(81)의 상면에 가까워져, 전체적으로 평탄화된다. 단차 메움부(835)의 상면은 보호 절연막(81)의 상면과 정렬되어도 되고, 그보다 낮아도 높아도 된다. 인출 배선(25)은 제1 전극(21) 또는 제2 전극(22) 상으로부터 보호 절연막(81) 상으로 이동하고, 보호 절연막(81) 상으로부터 단차 메움부(835) 상으로 이동한다.
이상으로 설명한 실시 형태에 있어서도 인출 배선(25)의 단절을 억제하는 것이 가능하다. 특히 층간 절연막(83)의 개재부(831)와 단차 메움부(835)를 분리하고 단차 메움부(835)를 단차(7s)에 한정적으로 형성함으로써, 단차 메움부(835)의 높이를 낮추어 경사를 보다 완만하게 하는 것이 가능하다. 또한 층간 절연막(83)이 제1 전극(21) 및 제2 전극(22)을 덮지 않음으로써, 외부 양자 효율을 보다 향상시키는 것도 가능하다.
도 9 내지 도 14는, 실시 형태에 따른 터치 센서 내장 표시 장치의 제조 공정예를 도시하는 도면이다.
도 9는, 발광 소자(60)가 완성된 상태를 도시하고 있다. 주변 영역(11)에는 단자(67, 68)가 마련되어 있으며, 단자(67)의 외연과 층간 절연막(53)에서 단차(6s)가 형성되어 있다. 또한 동 도면의 절단면에서는, 터치 센서(20)에 접속되는 인출 배선(49) 및 단자(67, 68)를 도시하고 있지만, 상이한 위치에서는, 발광 소자(60)의 대향 전극(65)이 인출 배선(49) 및 단자(67, 68)에 접속된다.
도 10은, 밀봉막(70)을 형성하는 공정을 도시하고 있다. 여기서, 유기막(73)은 표시 영역(15)에 형성되고 주변 영역(11)에는 형성되지 않는다. 유기막(73)은, 유기막(73)의 외연보다도 외측에서 2층의 무기막(71, 75)이 밀착됨으로써 밀봉되어 있다. 이 때문에 주변 영역(11)은 2층의 무기막(71, 75)에 의하여 덮여 있다. 이하, 주변 영역(11)을 덮는 2층의 무기막(71, 75)을 「주변부(76)」라고 한다. 무기막(71, 75)은, 예를 들어 CVD(Chemical Vapor Deposition)에 의하여 형성되고, 유기막(73)은, 예를 들어 잉크젯에 의하여 형성된다.
도 11은, 보호 절연막(81)을 형성하는 공정을 도시하고 있다. 여기서, 보호 절연막(81)은 표시 영역(15)에 형성되고 주변 영역(11)에는 형성되지 않는다. 상세하게는, 보호 절연막(81)의 외연은 화소 분리막(55)의 외연보다도 외측에 위치하고 있다. 보호 절연막(81)은 유기 절연 재료로 형성되어 있으며, 표시 영역(15)에 있어서의 평탄도를 향상시킴과 함께 다음 공정의 주변부(76)의 제거에 이용된다.
도 12는, 주변부(76)를 제거하는 공정을 도시하고 있다. 주변부(76)의 제거는, 보호 절연막(81)을 마스크로 하여, 예를 들어 건식 에칭에 의하여 행해진다. 상세하게는, 2층의 무기막(71, 75)은 보호 절연막(81)의 외연의 위치에서 절단된다. 또한 주변부(76) 아래의 층간 절연막(53)도 무기막(71, 75)과 동일한 무기 절연 재료로 형성되어 있으므로, 주변부(76)의 제거에 의하여 층간 절연막(53)의 일부 또는 전부도 동시에 제거되는 경우가 있다. 이 경우, 단차(6s)가 보다 급준하게 된다. 또한 주변부(76)를 제거한 후, 보호 절연막(81)을 제거해도 된다.
또한 밀봉막(70)을 형성하는 공정에 있어서, 무기막(71, 75)을, 예를 들어 마스크를 이용한 CVD에 의하여 선택적으로 성장시킴으로써, 보호 절연막(81)을 형성하는 공정과 주변부(76)를 제거하는 공정을 생략해도 된다.
도 13은, 터치 센서(20)를 형성하는 공정을 도시하고 있다. 상세하게는, 보호 절연막(81) 상에 제1 전극(21), 제2 전극(22) 및 제2 접속선(24)이 형성되고, 그 위에 층간 절연막(83)이 형성되고, 그 위에 제1 접속선(23) 및 인출 배선(25)이 형성된다. 무기막(71, 75)의 외연에 의하여 형성된 단차(7s)와, 단자(67)의 외연에 의하여 형성된 단차(6s)는, 층간 절연막(83)의 일부인 단차 메움부(835, 836)에 의하여 메워진다. 인출 배선(25)은 단차 메움부(835, 836) 위를 통과하도록 형성되며, 단자 피복부(837)에 형성된 개구(837a)를 통하여 단자(67)에 접속된다. 층간 절연막(83)은, 예를 들어 잉크젯 또는 포토리소그래피 프로세스에 의하여 형성된다.
도 14는, 터치 센서(20)를 덮는 보호막(85) 등을 형성하는 공정을 도시하고 있다. 여기서는, 터치 센서(20)의 전부, 나아가 인출 배선(25) 및 단자(67)를 덮도록 보호막(85)이 형성된다. 보호막(85)은, 예를 들어 아크릴 수지 등의 유기 절연 재료로 형성되어 있다. 보호막(85) 상에는 원 편광 필름(87)이 배치되어도 된다. 원 편광 필름(87) 상에는 커버 필름(89)이 배치되어도 된다. 또한 보호막(85)에 덮이지 않는 단자(68)에는 이방 도전 부재(139)를 통하여 FPC(13)가 접속된다.
이상으로 설명한 실시 형태에 있어서는, 터치 센서(20)는, 정전 용량 방식 터치 센서의 구동 전극과 검출 전극을 구성하는 제1 전극(21)과 제2 전극(22)을 구비하는 경우를 예시하였지만, 터치 센서(20)는 이들 전극에 더해, 감압 기능을 실현하기 위한 전극을 더 구비해도 된다.
본 실시 형태에 있어서는 개시예로서 유기 EL 표시 장치의 경우를 예시하였지만, 그 외의 적용예로서 액정 표시 장치, 그 외의 자발광형 표시 장치, 또는 전기 영동 소자 등을 갖는 전자 페이퍼형 표시 장치 등, 모든 플랫 패널형의 표시 장치를 들 수 있다. 또한 중소형부터 대형까지 특별히 한정하는 일 없이 적용이 가능함은 물론이다.
본 발명의 사상 범주에 있어서, 당업자이면 각종 변경예 및 수정예에 상도할 수 있는 것이며, 그들 변경예 및 수정예에 대해서도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해된다. 예를 들어 전술한 각 실시 형태에 대하여 당업자가 적절히 구성 요소의 추가, 삭제 혹은 설계 변경을 행한 것, 또는 공정의 추가, 생략 혹은 조건 변경을 행한 것도, 본 발명의 요지를 구비하고 있는 한 본 발명의 범위에 포함된다.

Claims (11)

  1. 기판 상에 마련된 하지 절연막과,
    상기 하지 절연막 상에 마련된, 복수의 발광 소자를 갖는 표시 영역과,
    상기 표시 영역을 덮는 밀봉막과,
    상기 밀봉막 상의 상기 표시 영역에 2차원적으로 배열된 복수의 제1 전극이며, 제1 방향으로 인접하는 제1 전극은 제1 접속선을 통하여 접속되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 인접하는 제1 전극은 접속되지 않는 복수의 제1 전극과,
    상기 제1 전극과 동일한 층 또는 상이한 층에서 2차원적으로 배열되고, 각각이, 평면으로 보아 상기 제1 전극에 에워싸인 복수의 제2 전극이며, 상기 제2 방향으로 인접하는 제2 전극은, 상기 제1 접속선과, 평면으로 보아 교차하는 제2 접속선을 통하여 접속되고, 상기 제1 방향으로 인접하는 제2 전극은 접속되지 않는 복수의 제2 전극과,
    상기 제1 접속선과 상기 제2 접속선 사이에 개재됨과 함께, 상기 표시 영역의 외측에 위치하는 상기 밀봉막의 외연과, 상기 하지 절연막에서 형성되는 단차를 메우는 층간 절연막과,
    상기 제1 전극 또는 상기 제2 전극에 접속되고, 상기 층간 절연막 상에 있어서, 상기 단차를 형성하는 상기 밀봉막의 외연 상을 통과하고, 또한 상기 층간 절연막의 상기 단차를 메우는 부분 위를 통과하는 인출 배선
    을 구비하는 터치 센서 내장 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 층간 절연막은, 상기 제1 접속선과 상기 제2 접속선 사이에 개재되는 부분과, 상기 단차를 메우는 부분이 연속되어 형성된 막인,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 층간 절연막은, 상기 제1 접속선과 상기 제2 접속선 사이에 개재되는 부분과, 상기 단차를 메우는 부분이 분리되어 형성된 막인,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 발광 소자는, 상기 하지 절연막과 상기 밀봉막과의 사이에 형성되고, 상기 하지 절연막 상의 상기 표시 영역에 배치된 화소 전극을 갖고,
    상기 화소 전극의 주연부를 덮음과 함께, 상기 화소 전극의 상면을 바닥으로 하는 개구가 형성된 화소 분리막을 더 구비하고,
    상기 밀봉막의 외연은 상기 화소 분리막의 외연보다도 외측에서 상기 하지 절연막과 접하는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 밀봉막과 상기 제1 전극 또는 상기 제2 전극과의 사이에 형성된 보호 절연막을 더 구비하고,
    상기 밀봉막의 외연은 상기 보호 절연막의 외연과 일치하는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 인출 배선은, 상기 하지 절연막의 상기 표시 영역의 외측의 주변 영역에 마련된 제1 단자에 접속되는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 층간 절연막은, 상기 제1 단자의 외연과 상기 하지 절연막에서 형성되는 다른 단차도 메우고,
    상기 인출 배선은, 상기 층간 절연막의 상기 다른 단차를 메우는 부분 위도 통과하는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 층간 절연막의 상기 단차를 메우는 부분과, 상기 층간 절연막의 상기 다른 단차를 메우는 부분이 연속되어 있는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 층간 절연막은 상기 제1 단자를 덮고,
    상기 인출 배선은, 상기 층간 절연막의 상기 제1 단자를 덮는 부분에 형성된 개구를 통하여 상기 제1 단자에 접속되는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 주변 영역에 마련되고, 상기 제1 단자와 전기적으로 접속된 제2 단자에 접속되는 플렉시블 기판을 더 구비하는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 플렉시블 기판은, 상기 주변 영역에 마련되고, 상기 표시 영역에 배치된 화소 전극에 전기적으로 접속된 제3 단자에도 접속되는,
    터치 센서 내장 표시 장치.
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