CN110867518B - 一种柔性显示面板的制备方法 - Google Patents
一种柔性显示面板的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110867518B CN110867518B CN201910990161.2A CN201910990161A CN110867518B CN 110867518 B CN110867518 B CN 110867518B CN 201910990161 A CN201910990161 A CN 201910990161A CN 110867518 B CN110867518 B CN 110867518B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- separation layer
- flexible substrate
- edge
- layer
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/80—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
- H10K77/111—Flexible substrates
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
本发明提供一种柔性显示面板的制备方法,包括:在刚性基底上形成分离层,所述分离层与所述刚性基底边沿相齐;在分离层的边缘区域形成至少一个凹槽,分离层的边沿和与之相近的凹槽之间具有设定距离,凹槽开口形成于分离层背离刚性基底的表面;在分离层上形成柔性基底,并在柔性基底上制备显示元件层,柔性基底覆盖边缘区域、且不超出分离层的边沿;使柔性基底在边缘区域起边后将柔性基底和刚性基底剥离开,通过将柔性基底的尺寸设置成不大于分离层的尺寸,并在分离层的边缘设置凹槽,能够快速起边,以解决制备过程中起边困难的问题,提高剥离的可靠性,有效的避免对柔性基板造成损伤,提高柔生产效率和产品良率。
Description
技术领域
本发明涉及一种柔性显示面板的制备方法,属于有机发光显示技术领域。
背景技术
在有机发光显示技术领域,有机电致发光二极管(Organic Light-EmittingDiode,简称:OLED)具有低功耗、高亮度、自发光、高色饱和度、广视角、薄厚度、能实现柔性化等优异性能,因此广泛地应用在终端设备、穿戴设备等显示装置中。
目前,柔性OLED显示器件的制程依托在刚性基底(例如:玻璃)上完成,而最终的产品需要从刚性基底上分离出来,为了便于分离,刚性基底和柔性基底之间设置有分离层(Debonding Layer,简称:DBL层),相较于传统的激光分离,机械剥离(Mechanical Lift-off,简称:MLO)的分离工艺简单,设备成本较低,现有的机械剥离难以通过设备自动化剥离,存在边缘切割困难的问题,并且不能保证边缘位置切割后剥离的可靠性,导致柔性OLED显示器件的产品良率较低。
发明内容
本发明提供一种柔性显示面板的制备方法,以解决制备过程中起边困难的问题,提高剥离的可靠性,有效的避免对柔性基板造成损伤,可以有效的提高柔性显示面板的制备方法生产效率和产品良率。
本发明提供一种柔性显示面板的制备方法,包括:
在刚性基底上形成分离层,所述分离层与所述刚性基底边沿相齐;
在分离层的边缘区域形成至少一个凹槽,所述分离层的边沿和与之相近的凹槽之间具有设定距离,所述凹槽开口形成于所述分离层背离所述刚性基底的表面;
在分离层上形成柔性基底,并在所述柔性基底上制备显示元件层,所述柔性基底覆盖所述边缘区域、且不超出所述分离层的边沿;
使所述柔性基底在所述边缘区域起边后将所述柔性基底和所述刚性基底剥离开。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,从所述分离层和所述柔性基底的端面向着所述分离层和柔性基底之间吹气,使所述柔性基底在所述边缘区域起边后将所述柔性基底和所述刚性基底剥离开;
所述边缘区域包括第一区域和第二区域,所述第一区域和第二区域对称设置在所述分离层的两侧。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,所述设定距离为5mm~10mm。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,所述凹槽的深度小于所述分离层的厚度、且所述凹槽的深度小于所述柔性基底的厚度;
优选地,所述分离层的厚度为60nm~100nm,所述凹槽深度为20nm~30nm。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,所述在刚性基底上形成分离层,具体包括:在刚性基底的一表面涂覆有机聚合物材料。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,所述在刚性基底上形成分离层,还包括:
图案化处理有机聚合物材料所形成的膜层,以形成网格状的分离层;
在分离层所围成的网格区域内制备填充层,所述填充层与所述柔性基底的黏着力小于所述分离层和所述柔性基底的黏着力。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,所述显示器件层中的OLED显示单元与所述网格区域的网格一一对应。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,所述网格区域为贯穿所述有机聚合物材料所形成的膜层厚度的至少一个通槽。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,所述填充层远离所述刚性基底的表面和所述分离层远离所述刚性基底的表面相平齐。
如上所述的柔性显示面板的制备方法,可选地,将所述柔性基底与所述刚性基底剥离开,具体包括:
检测到所述柔性基底和所述分离层之间起边;
夹持柔性基底,并对柔性基底施力以将柔性基底和分离层分离。
本发明提供的柔性显示面板的制备方法中,首先在刚性基底上形成分离层,分离层与刚性基底边沿相齐;接着在分离层的边缘区域形成至少一个凹槽,并限定分离层的边沿和与之相近的凹槽之间具有设定距离;然后在分离层上依次形成柔性基底和显示器件层,其中,柔性基底和显示期间层构成柔性显示面板的制备方法,通过限定柔性基底覆盖边缘区域、且不超出所述分离层的边沿,使得部分柔性基底填充在凹槽内,并且避免后续膜层粘连到刚性基底上,由于分离层和柔性基底之间的黏着力较小,相较于边缘区域两侧的分离层,部分柔性基底填充在凹槽使得边缘区域的分离层和柔性基底之间的黏着力较大,从而使得柔性基底和分离层之间的黏着力增大,避免在后续制备过程中,分离层和柔性基底分离,而边缘区域和与之相近的分离层的端面之间具有设定距离A,使得分离层和柔性基底边缘处黏着力较小,起边容易;最后使柔性基底在边缘区域起边后将柔性基底和刚性基底剥离开,以完成柔性显示面板的制备方法的制备。上述柔性显示面板的制备方法简单易操作,而且剥离过程中起边较为容易,能够保证剥离的可靠性,有效的避免对柔性基板造成损伤,可以有效的提高柔性显示面板的制备方法生产效率和产品良率。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本发明的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理。此外,这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本发明构思的范围,而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。
图1为本发明现有技术中带有刚性基板的柔性显示面板的局部结构示意图;
图2为本发明现有技术中带有刚性基板的柔性显示面板的剥离示意图;
图3为本发明实施例中柔性显示面板的制备方法的一种流程示意图;
图4a-图4d为本发明实施例中柔性显示面板的制备方法的一种工艺示意图;
图5a-图5d为本发明实施例中柔性显示面板的制备方法的另一种工艺示意图;
图6为图5a中一种分离层的俯视图;
图7为图5a中另一种分离层的俯视图;
图8为图4b以及图5b中具有凹槽的一种分离层的俯视图;
图9为图4b以及图5b中具有凹槽的另一种分离层的俯视图。
附图标记说明:
现有技术中柔性显示面板的制备方法的附图标记:
01-刚性基底;
02-分离层;
03-柔性基底;
04-显示器件层;
本发明实施例中柔性显示面板的制备方法的附图标记:
1-刚性基底;
2-分离层;21-边缘区域;211-第一区域;212-第二区域;
A-设定距离;
3-填充层;
4-凹槽;
5-柔性基底
6-显示元件层。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明的实施例,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。在不冲突的情况下,下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
图1为本发明现有技术中带有刚性基板的柔性显示面板的局部结构示意图,如图1所示,刚性基底01上设置有分离层02,分离层02的尺寸小于刚性基底01的尺寸,柔性基底03的一部分设置在分离层02,另一部分柔性基底03设置在刚性基底01的边缘,虽然这种结构能够避免因分离层02和柔性基底03之间的黏着力较小导致在柔性显示面板后续制备过程中(如显示器件层04的制备过程中)分离层02和柔性基底03分离,但是也加大了柔性基底03和刚性基底01之间剥离的难度。图2为本发明现有技术中带有刚性基板的柔性显示面板的剥离示意图,如图2所示,将刀刃05沿平行于膜层的方向从边缘位置插入分离层02和柔性基底03之间切割膜层以起边,再对柔性基底03施力以将柔性基底03从刚性基底01上整体分离,但是由于剥离时需要在边缘位置用刀刃05切割开再进行整体剥离,由于柔性基底03覆盖刚性基底01的边缘,刀刃05插入的位置难以确定,不能保证刀刃05插入到柔性基底03和分离层02之间,使得起边困难,并且剥离的可靠性较低,容易损伤柔性显示面板,导致柔性OLED显示器件的产品良率较低。为了解决制备过程中起边困难的问题,本发明通过将柔性基底的尺寸设置成不大于分离层的尺寸,并在分离层的边缘设置凹槽,能够快速起边,从而提高剥离的可靠性,有效的避免对柔性基板造成损伤,可以有效的提高柔性显示面板的制备方法生产效率和产品良率。为了便于理解,下面为本发明实施例中的几个名词进行以下说明:边缘区域是指靠近端面的区域,边沿是指端面与用于叠层的表面相交的边。
图3为本发明实施例中柔性显示面板的制备方法的一种流程示意图。如图3所示,本发明提供一种柔性柔性显示面板的制备方法,包括:
步骤S301:在刚性基底1上形成分离层2,分离层2与刚性基底1边沿相齐;
具体的,通过旋涂或喷墨印刷等方式在刚性基底1上形成一层分离层2,其中,分离层2可以整面涂覆在刚性基底1的表面,以使得分离层2与刚性基底1边沿相齐。需要说明的是,刚性基底1的材质可为陶瓷材质、石英玻璃材质等等。分离层2的材质可为有机聚合物,如聚酰亚胺类、硅机化合物,也可以为多种有机聚合物的组合,还可以为其它满足要求的材料。分离层2的厚度可以为60nm~100nm,在具体设置时,分离层2的厚度可以为60nm、75nm、80nm、85nm、90nm、95nm、100nm。
图4a-图4d为本发明实施例中柔性显示面板的制备方法的一种工艺示意图,如图4a所示,一种优选实施方式,分离层2可以为设置在刚性基底1上的一层连续的膜层,并且分离层2的任意位置的厚度均相同。在刚性基底1上形成分离层2的步骤,具体包括:在刚性基底1的一表面涂覆有机聚合物材料。而该有机聚合物材料所形成的膜层即为分离层2。这种制备过程较为简单且易于实现,便于制备。
图5a-图5d为本发明实施例中柔性显示面板的制备方法的另一种工艺示意图,如图5a所示,另一优选实施方式,分离层2可以网格状的结构。具体的,图6为图5a中一种分离层2的俯视图,如图6所示,网格状的结构可以为封闭式的结构,网格区域位于分离层2的内部;图7为图5a中另一种分离层2的俯视图,如图7所示,网格状结构也可以为非封闭式的结构,网格区域一部分设置在分离层2的内部,一部分设置在分离层2的边缘。
在刚性基底1上形成分离层2的步骤,具体包括:首先在刚性基底1的一表面涂覆有机聚合物材料;接着通过刻蚀工艺图案化处理有机聚合物材料所形成的膜层,以形成网格状的分离层2;然后在分离层2所围成的网格区域内制备填充层3。
值得注意的是,在刚性基底1上形成分离层2的步骤,并不局限于上述过程,还可以为其它合适的方式,如可以通过一次构图工艺经掩膜、曝光、刻蚀和光刻等图案化处理工艺步骤在刚性基底1上形成一层网格状的分离层2;然后在分离层2所围成的网格区域内制备填充层3。
在具体设置时,网格状的分离层2可以使得分离层2与柔性基底5之间的接触面积较小,进而使得相对于连续膜层的分离层2,该网格状的分离层2与柔性基底5的黏着力较小,便于机械剥离。填充层3与柔性基底5的黏着力需要小于分离层2和柔性基底5的黏着力,进而使得相对于连续膜层的分离层2,该柔性基底5与其下方的膜层之间的黏着力较小,便于机械剥离。需要注意的是,填充层3与柔性基底5的黏着力可以小于分离层2和柔性基底5的黏着力,填充层3与柔性基底5的黏着力也可以为零。
进一步地,网格区域可以为贯穿有机聚合物材料所形成的膜层厚度的至少一个通槽,在具体制备过程中,将有机聚合物材料所形成的膜层完全刻蚀,形成通槽。而通槽的个数可以为一个、也可以为多个,具体通槽的个数可以根据柔性显示面板的实际情况确定。
进一步地,网格区域还可以形成于有机聚合物材料所形成的膜层上的至少一个开口,在具体制备过程中,将有机聚合物材料所形成的膜层刻蚀一定厚度,限定该厚度小于有机聚合物材料所形成的膜层厚度,形成开口。而开口的个数可以为一个、也可以为多个,具体开口的个数可以根据柔性显示面板的实际情况确定。
值得注意的是,不同的深度的开口使得填充层3的大小不同,进而与其上的柔性基底5之间的黏着力不同,通过控制开口的深度以调整与其上的柔性基底5之间的黏着力。在具体设置时,开口的深度可以根据柔性显示面板的实际情况确定。
更进一步地,为了满足后续制备工艺中的平坦度要求,如图5a所示,填充层3远离刚性基底1的表面和分离层2远离刚性基底1的表面相平齐,以使得填充层3和分离层2的高度一致,便于后续膜层的制备。
步骤S302:如图4b以及图5b所示,在分离层2的边缘区域21形成有至少一个凹槽4,分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A,凹槽4开口形成于分离层2背离刚性基底1的表面;
具体的,在完成上述步骤S301的刚性基底1上,继续制备凹槽4。凹槽4的形状可以为方形、梯形、半球形、梯形中的一种形状或多种形状的组合,凹槽4的数目可以为一个、也可以为多个,凹槽4的具体形状和数目根据柔性显示面板的实际情况确定。在具体制备过程中,凹槽4可以通过刻蚀工艺获得。
由于分离层2和设置在其上的柔性基底5之间的黏着力较小,通过设置凹槽4,以使得后续制备时柔性基底5的一部分填充在凹槽4内,提高分离层2和柔性基底5之间的黏着力,从而实现分离层2和柔性基底5边沿处的黏着力较小,能够快速起边,凹槽4处的分离层2和柔性基底5之间的黏着力较大,避免在后续制备过程中分离层2和柔性基底5分离,提高柔生产效率和产品良率。值得注意的是,为了进一步提高分离层2和柔性基底5之间的黏着力,还可以在分离层2除了边缘区域21以外的其它区域设置凹槽4,更进一步地可以在分离层2上的整个区域内设置凹槽4,当然,凹槽4在分离层2上的设置位置以及设置数目根据分离层和柔性基底之间的黏着力大小以及柔性显示面板的实际情况确定。
图8为4b以及图5b中具有凹槽4的一种分离层2的俯视图,图9为4b以及图5b中具有凹槽4的另一种分离层2的俯视图,如图8以及图9所示,一种优选实施方式,边缘区域21包括第一区域211和第二区域212,第一区域211和第二区域212对称设置在分离层2的两侧。
通过将第一区域211和第二区域212对称设置在分离层2的两侧,能够保证分离层2的两侧的两侧具有凹槽4,进而使得柔性基底5填充在凹槽4内的部分对称分布在分离层2的两侧,从而使得分离层2和柔性基底5之间的黏着力能够较好地将柔性基底5附着在分离层2上,进一步避免在后续制备过程中分离层2和柔性基底5分离,从而提高柔性显示面板的生产效率及产品良率。
在具体设置时,如图8所示,边缘区域21可以为非封闭的,此时,第一区域211和第二区域212对称设置在分离层2的两侧,具体的,第一区域211和第二区域212可以对称设置在左右两侧或是前后两侧,第一区域211和第二区域212可以沿分离层2的对角线对称设置在分离层2的两侧。较佳的,第一区域211内的凹槽4和第二区域212内的凹槽4的数目、形状、间距相同,以保证分离层2的受力均匀分布。如图9所示,边缘区域21还可以为封闭的,第一区域211和第二区域212首尾相连通,第一区域211的凹槽4和第二区域212的凹槽4相连通。
进一步地,分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A可以为5mm~10mm。
在设定距离为上述范围时,分离层2和位于其上的柔性基底5边沿处的黏着力较小,能够实现快速起边。并且凹槽4处分离层2和柔性基底5之间的黏着力能够保证在后续制备过程中分离层2和柔性基底5不会分离。在具体设置时,分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A可以为5mm、5.5mm、6.5mm、7mm、7.5mm、8mm、8.5mm、9mm、9.5mm、10mm。靠近第一区域的分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A和靠近第二区域的分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A可以相同也可以不同,为了便于制备,较佳的,靠近第一区域的分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A和靠近第二区域的分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A。分离层2的边沿和与该分离层2的边沿相近的凹槽4之间具有设定距离A可以根据刚性基底1以及柔性显示面板的实际情况确定。
更进一步地,凹槽4的深度小于分离层2的厚度,优选地,凹槽4深度可以为20nm~30nm。
由于柔性基底5与刚性基底1之间的黏着力大于分离层2与刚性基底1之间的黏着力,为了便于后续柔性基底5从分离层2上剥离,凹槽4不能是贯穿分离层2厚度的通槽,在具体设置时,凹槽4的深度小于分离层2的厚度,而在凹槽4深度为20nm~30nm时,凹槽4处的分离层2和位于其上的柔性基底5之间的黏着力较大,能够避免在后续制备过程中分离层2和柔性基底5分离。在具体设置时,凹槽4深度可以为20nm、21nm、22nm、23nm、24nm、25nm、26nm、27nm、28nm、29nm、30nm。多个凹槽4的深度可以相同也可以不同,为了便于制备,较佳的,多个凹槽4的深度相同,位于第一区域的凹槽4的深度和位于第二区域的凹槽4的深度相同。多个凹槽4之间的间距可以相同也可以不同,较佳的,多个凹槽4之间的间距相同,位于第一区域的凹槽4的间距和位于第二区域的凹槽4的间距相同,该间距为100nm~500nm。
步骤S303:如图4c以及图5c所示,在分离层2上形成柔性基底5,并在柔性基底5上制备显示元件层6,柔性基底5覆盖边缘区域21、且不超出分离层2的边沿;
具体的,在完成上述步骤S302的刚性基底1上,继续制备柔性显示面板。柔性基底5可以采用旋涂或者喷涂等方式在分离层2上制备,柔性基底5位于分离层2上的厚度可以相同,也可以不同,在具体设置时,柔性基底5的厚度大于凹槽4的深度,避免显示元件层6沉积到凹槽4内,影响分离层2和柔性基底5之间的分离,当然,柔性基底5上的厚度不同以及柔性基底5背离显示元件层6的表面上具有与凹槽4相对应的凸起并不影响柔性显示面板的功能。如图4c所示,凹槽4两侧的分离层2平坦,与柔性基底5之间的黏着力相同、且均小于凹槽4处分离层2和柔性基底5之间的黏着力,如图5c所示,分离层2为网格状结构,网格区域内制备有填充层3,并且填充层3与柔性基底5的黏着力小于分离层2和柔性基底5的黏着力,一方面使得分离层2与柔性基底5之间的接触面积较小,进而使得相对于连续膜层的分离层2,该网格状的分离层2与柔性基底5的黏着力较小,便于机械剥离;另一方面,使得柔性基底5与其下方的膜层之间的黏着力较小,便于机械剥离。
柔性基底5根据柔性显示装置类型及构造的不同,制备形成的柔性显示面板的各显示元件层6也不相同,显示元件层6可以阵列层以及发光层、封装层、保护层等等。需要说明的是,柔性基底5的材质可为聚酰亚胺,还可以为其它满足要求的材料。
值得注意的是,限定柔性基底5覆盖边缘区域21、且不超出分离层2的边沿,以避免柔性基底5形成在刚性基底1上,在具体制备时,柔性基底5可以仅覆盖边缘区域21,柔性基底5还可以超出边缘区域21一部分,这一部分的大小根据分离层2和柔性基底5的具体情况确定,柔性基底5还可以延伸至分离层2的边沿,但不能超出该边沿,此时,柔性基底5的端面和分离层2的端面相平齐。
进一步地,在分离层2为网格状结构时,显示器件层中的OLED显示单元与网格区域的网格一一对应。此时,填充层3和OLED显示单元相对应,较佳的,OLED显示单元位于网格的正上方,并且,OLED显示单元的面积和网格的面积相同。这种结构在柔性基底5和分离层2相剥离时,由于填充层3与柔性基底5的黏着力需要小于分离层2和柔性基底5的黏着力,一方面能够方便剥离,另一方面,OLED显示单元因剥离过程所产生的应力可以在填充层3上释放,能够有效减少机械剥离过程中柔性显示面板的褶皱产生,提高柔性显示面板的产品良率。
步骤S304:如图4d以及图5d所示,使柔性基底5在边缘区域21起边后将柔性基底5和刚性基底1剥离开。
具体的,在完成上述步骤S303的刚性基底1上,继续将柔性基底5和刚性基底1剥离开。能够实现将柔性基底5和刚性基底1剥离的方式具有多种,如可以将刀刃沿平行于膜层的方向从边缘位置插入分离层2和柔性基底5之间切割膜层以起边,再对柔性基底5施力以将柔性基底5从刚性基底1上整体分离,由于分离层2和刚性基底1的边沿平齐,柔性基底5并没有延伸到刚性基底1上,使得刀刃能够较快插入到分离层2和柔性基底5之间,并且刀刃的插入位置也较为准确,使得起边较为容易,剥离的可靠性较高,并且不会损伤柔性显示面板,使得柔性OLED显示器件的产品良率较高,当然能够实现将柔性基底5和刚性基底1剥离的方式并不局限于上述方式。
进一步地,从分离层2和柔性基底5的端面向着分离层2和柔性基底5之间吹气,使柔性基底5在边缘区域21起边后将柔性基底5和刚性基底1剥离开。
具体的,分离所用的气体可为干燥空气,还可以为其它惰性气体,在具体操作中,利用吹气产生的气流将分离层2和柔性基底5的边沿分开,以实现分离层2和柔性基底5的起边效果。气流所产生的的作用力需要大于柔性基底5和分离层2之间的黏着力,分离层2与柔性基底5的黏着力为10~20g/in,在具体设置时,气流所产生的的作用力需要大于20g/in。此外,在吹入气体时可对吹入的气体进行适当加压,以提高分离层2和柔性基底5起边的成功率。
值得注意的是,吹气的位置可以靠近分离层2和柔性基底5的端面,并且可以靠近分离层2和柔性基底5相接触的表面,以提高分离层2和柔性基底5起边的成功率。采用吹气起边的方式,相对于现有技术中的刀割起边和激光剥离,一方面能够较为方便快捷的实现起边,另一方面不会损伤柔性显示面板,提高机械剥离的可靠性,进而提高柔性显示面板的产品良率。
一种优选实施方式,将柔性基底5与刚性基底1剥离开的步骤,具体包括:
检测到柔性基底5和分离层2之间起边;
夹持柔性基底5,并对柔性基底5施力以将柔性基底5和分离层2分离。
在柔性基底5与刚性基底1的具体剥离过程中,通过设置在柔性基底5的端面上侧的传感器检测分离层2和柔性基底5之间是否起边,当检测到分离层2和柔性基底5之间起边后向夹持组件发送动作指令,夹持组件根据接收到的动作指令移动并夹持柔性基底5,同时对柔性基底5施以背离刚性基底1方向的力,以将柔性基底5和分离层2分离开,而由于分离层2固定在刚性基底1上,从而将柔性基底5和刚性基底1分离开,通过上述过程能够实现柔性显示面板的自动化剥离。
具体的,该夹持组件可以包括多个夹子以及驱动该夹子的电机。通过上述过程能够实现柔性显示面板的快速剥离,自动化水平较高,而为了进一步提高分离的自动化水平,还可以将夹持组件设计成吸气装置,并将该吸气装置与用于吹气起边的装置相连接。分离层2随柔性基底5一起被剥离,可以在分离层2和刚性基底1之间设置连接层,以提高分离层2和刚性基底1之间的黏着力。
本发明提供的柔性柔性显示面板的制备方法中,首先在刚性基底1上形成分离层2;接着在分离层2的边缘区域21形成至少一个凹槽4,并限定边缘区域21和与之相近的分离层2的端面之间具有设定距离A;然后在分离层2上依次形成柔性基底5和显示器件层,其中,柔性基底5和显示期间层构成柔性柔性显示面板的制备方法,通过限定柔性基底5覆盖边缘区域21、且不超出分离层2的边沿,使得部分柔性基底5填充在凹槽4内,并且避免后续膜层粘连到刚性基底1上,由于分离层2和柔性基底5之间的黏着力较小,相较于边缘区域21两侧的分离层2,部分柔性基底5填充在凹槽4使得边缘区域21的分离层2和柔性基底5之间的黏着力较大,从而使得柔性基底5和分离层2之间的黏着力增大,避免在后续制备过程中,分离层2和柔性基底5分离,而边缘区域21和与之相近的分离层2的端面之间具有设定距离A,使得分离层2和柔性基底5边缘处黏着力较小,起边容易;最后使柔性基底5在边缘区域21起边后将柔性基底5和刚性基底1剥离开,以完成柔性柔性显示面板的制备方法的制备。上述柔性柔性显示面板的制备方法简单易操作,而且剥离过程中起边较为容易,能够保证剥离的可靠性,有效的避免对柔性基板造成损伤,可以有效的提高柔性柔性显示面板的制备方法生产效率和产品良率。
此外,在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“层叠”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种柔性显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
在刚性基底上形成分离层,所述分离层与所述刚性基底边沿相齐;
在分离层的边缘区域形成至少一个凹槽,所述分离层的边沿和与之相近的凹槽之间具有设定距离,所述凹槽开口形成于所述分离层背离所述刚性基底的表面,所述凹槽的深度小于所述分离层的厚度、且所述凹槽的深度小于柔性基底的厚度;
在分离层上形成柔性基底,并在所述柔性基底上制备显示元件层,所述柔性基底覆盖所述边缘区域、且不超出所述分离层的边沿;
使所述柔性基底在所述边缘区域起边后将所述柔性基底和所述刚性基底剥离开。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,从所述分离层和所述柔性基底的端面向着所述分离层和柔性基底之间吹气,使所述柔性基底在所述边缘区域起边后将所述柔性基底和所述刚性基底剥离开;
所述边缘区域包括第一区域和第二区域,所述第一区域和第二区域对称设置在所述分离层的两侧。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述设定距离为5mm~10mm。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述分离层的厚度为60nm~100nm,所述凹槽深度为20nm~30nm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法,其特征在于,所述在刚性基底上形成分离层,具体包括:在刚性基底的一表面涂覆有机聚合物材料。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,还包括:
图案化处理有机聚合物材料所形成的膜层,以形成网格状的分离层;
在分离层所围成的网格区域内制备填充层,所述填充层与所述柔性基底的黏着力小于所述分离层和所述柔性基底的黏着力。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述柔性基底上设置显示器件层,所述显示器件层中的OLED显示单元与所述网格区域的网格一一对应。
8.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述网格区域为贯穿所述有机聚合物材料所形成的膜层厚度的至少一个通槽。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述填充层远离所述刚性基底的表面和所述分离层远离所述刚性基底的表面相平齐。
10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,将所述柔性基底与所述刚性基底剥离开,具体包括:
检测到所述柔性基底和所述分离层之间起边;
夹持柔性基底,并对柔性基底施力以将柔性基底和分离层分离。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910990161.2A CN110867518B (zh) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 一种柔性显示面板的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910990161.2A CN110867518B (zh) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 一种柔性显示面板的制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110867518A CN110867518A (zh) | 2020-03-06 |
CN110867518B true CN110867518B (zh) | 2022-08-16 |
Family
ID=69652625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910990161.2A Active CN110867518B (zh) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 一种柔性显示面板的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110867518B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111477120B (zh) * | 2020-05-21 | 2022-07-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示母板及其分离方法和制作方法、显示面板 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104103775A (zh) * | 2013-04-03 | 2014-10-15 | 三星显示有限公司 | 柔性显示设备,及用于制造柔性显示设备的方法 |
CN104409408A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-03-11 | 昆山国显光电有限公司 | 一种刚性基板及柔性显示器的制作方法 |
CN106340523A (zh) * | 2016-10-25 | 2017-01-18 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种柔性显示面板及其制备方法、柔性显示装置 |
CN107968109A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-04-27 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性oled显示面板及其制备方法、显示装置 |
-
2019
- 2019-10-17 CN CN201910990161.2A patent/CN110867518B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104103775A (zh) * | 2013-04-03 | 2014-10-15 | 三星显示有限公司 | 柔性显示设备,及用于制造柔性显示设备的方法 |
CN104409408A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-03-11 | 昆山国显光电有限公司 | 一种刚性基板及柔性显示器的制作方法 |
CN106340523A (zh) * | 2016-10-25 | 2017-01-18 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种柔性显示面板及其制备方法、柔性显示装置 |
CN107968109A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-04-27 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 柔性oled显示面板及其制备方法、显示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110867518A (zh) | 2020-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110047881B (zh) | 显示面板和显示面板制作方法 | |
JP5526008B2 (ja) | 積層シートおよび積層シートの形成方法 | |
JP5554772B2 (ja) | 薄膜化合物太陽電池の製造方法 | |
CN108847134B (zh) | 一种可拉伸显示屏装置及其制造方法 | |
US20170317301A1 (en) | Base carrier, flexible display panel and manufacturing method thereof, flexible display device | |
US9219246B2 (en) | Organic electronic device with encapsulation | |
KR102278124B1 (ko) | 전자 소자 밀봉용 적층 시트 및 전자 디바이스의 제조 방법 | |
EP1667228A3 (en) | Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same | |
AU2006276661A1 (en) | Method for manufacturing photoelectric conversion element and the photoelectric conversion element | |
CN110867518B (zh) | 一种柔性显示面板的制备方法 | |
JP2013110374A5 (zh) | ||
CN107342305B (zh) | 一种柔性基板结构及其制备方法 | |
CN110571362B (zh) | 柔性显示面板及其制备方法 | |
CN107195658A (zh) | 柔性基板及其制作方法 | |
CN114709319A (zh) | 色转换结构制作方法、色转换结构、晶粒制作方法及晶粒 | |
WO2013132870A1 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2005072567A (ja) | 太陽電池モジュールの製造方法 | |
CN107086174B (zh) | 改善顶层金属层的黏附强度的方法 | |
CN113284826A (zh) | 可巨量转移的微元件及其制作和转移方法、显示装置 | |
CN113013361A (zh) | 一种可拉伸显示基板及其制造方法 | |
JP2018152486A (ja) | 太陽電池アレイの製造方法および太陽電池アレイ | |
US9214591B2 (en) | Securing device for solar cells and method for securing solar cells | |
CN110611050B (zh) | 模具和oled显示面板的封装方法 | |
CN108962915A (zh) | 复合基板及其制备方法 | |
CN111063823A (zh) | 有机发光二极管显示面板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |