JP2018152486A - 太陽電池アレイの製造方法および太陽電池アレイ - Google Patents
太陽電池アレイの製造方法および太陽電池アレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018152486A JP2018152486A JP2017048336A JP2017048336A JP2018152486A JP 2018152486 A JP2018152486 A JP 2018152486A JP 2017048336 A JP2017048336 A JP 2017048336A JP 2017048336 A JP2017048336 A JP 2017048336A JP 2018152486 A JP2018152486 A JP 2018152486A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarity
- elements
- layer
- photoelectric conversion
- back electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Abstract
Description
本発明の一形態においては、上記第1の極性を有する部分が、光電変換層の一部である。
図3は、基板上に化合物半導体層を形成した状態を示す断面図である。図3に示すように、基板110上に、バッファ層121、犠牲層122、第1コンタクト層130、エミッタ層140、エミッタ層140とpn接合を形成するベース層141、および、第2コンタクト層150をこの順に積層することにより、単結晶薄膜からなる化合物半導体層を形成する。
ここで、図11に示すエッチングした状態において、第2コンタクト層150が残っている段階でエッチングを止めた場合の、変形例の太陽電池アレイについて説明する。
Claims (8)
- 基板上に光電変換層を形成する工程と、
前記光電変換層上に裏面電極を形成する工程と、
少なくとも前記光電変換層の一部を除去することにより素子分離溝を形成し、複数の素子に分離する工程と、
前記素子分離溝を埋めるとともに前記裏面電極を覆うように、基材を形成する工程と、
前記基材を形成する工程の後、前記基板を除去する工程と、
前記複数の素子の各々の前記光電変換層の一部を除去して、前記裏面電極と同じ極性である第1の極性を有する部分を露出させる工程と、
前記複数の素子の各々において、前記光電変換層の裏面電極側とは反対側に位置して前記第1の極性とは異なる第2の極性を有する部分の少なくとも一部、および、前記第1の極性を有する部分の一部を覆うとともに、前記素子分離溝上の一部を覆うように導電膜を形成する工程とを備え、
前記複数の素子のうちの互いに隣接する素子の前記第1の極性を有する部分と、前記光電変換層の前記第2の極性を有する部分とが前記導電膜により電気的に接続されて、前記複数の素子が電気的に直列に接続される、太陽電池アレイの製造方法。 - 基板上に光電変換層を形成する工程と、
前記光電変換層上に裏面電極を形成する工程と、
前記裏面電極および前記光電変換層をエッチングすることにより素子分離溝を形成し、複数の素子に分離する工程と、
前記素子分離溝を埋めるとともに前記裏面電極を覆うように、絶縁性を有する基材を形成する工程と、
前記基材を形成する工程の後、前記基板を除去する工程と、
前記複数の素子の各々の前記光電変換層の一部をエッチングして、前記裏面電極と同じ極性である第1の極性を有する部分を露出させる工程と、
前記複数の素子の各々において、前記第1の極性を有する部分の一部を覆うように、パターニングされたレジストを形成する工程と、
前記基材の前記レジストが形成された側を覆うように導電膜を形成する工程と、
前記レジスト上に位置する部分の前記導電膜および前記レジストをともに除去する工程とを備え、
前記導電膜および前記レジストをともに除去する工程により、前記導電膜のうちの残された部分によって、前記複数の素子のうちの互いに隣接する素子の前記第1の極性を有する部分の他の一部と、前記光電変換層の裏面電極側とは反対側に位置して前記第1の極性とは異なる第2の極性を有する部分とが電気的に接続されて、前記複数の素子が電気的に直列に接続される、太陽電池アレイの製造方法。 - 前記光電変換層を形成する工程の前に、前記基板上に犠牲層を形成する工程をさらに備え、
前記基板を除去する工程において、前記犠牲層をエッチングする、請求項1または請求項2に記載の太陽電池アレイの製造方法。 - 前記光電変換層は、第1コンタクト層、エミッタ層、ベース層および第2コンタクト層がこの順に積層されて構成されており、
前記第2コンタクト層は、前記裏面電極上に位置しており、
前記第1の極性を有する部分が、前記第2コンタクト層の一部である、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池アレイの製造方法。 - 絶縁性を有する基材と、
前記基材上に設けられた複数の素子と、
前記複数の素子を互いに直列に接続する導電部とを備え、
前記基材は、前記複数の素子のうちの互いに隣接する素子同士の間を仕切る仕切部を含み、
前記複数の素子の各々は、前記基材上に位置する裏面電極と、前記裏面電極上に位置する光電変換層とを含み、
前記複数の素子の各々において、前記裏面電極上の光電変換層側に位置して前記裏面電極と同じ極性である第1の極性を有する部分を含み、
前記導電部は、前記仕切部の上面および側面に沿って延在することにより、前記複数の素子のうちの互いに隣接する素子の前記第1の極性を有する部分と、前記光電変換層の裏面電極側とは反対側に位置して前記第1の極性とは異なる第2の極性を有する部分とを電気的に接続している、太陽電池アレイ。 - 前記第1の極性を有する部分が、前記裏面電極の一部である、請求項5に記載の太陽電池アレイ。
- 前記第1の極性を有する部分が、前記光電変換層の一部である、請求項5に記載の太陽電池アレイ。
- 前記光電変換層においては、第1コンタクト層、エミッタ層、ベース層および第2コンタクト層がこの順に並んでおり、
前記第2コンタクト層は、前記裏面電極上に位置しており、
前記第1の極性を有する部分が、前記第2コンタクト層の一部である、請求項7に記載の太陽電池アレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017048336A JP6837877B2 (ja) | 2017-03-14 | 2017-03-14 | 太陽電池アレイの製造方法および太陽電池アレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017048336A JP6837877B2 (ja) | 2017-03-14 | 2017-03-14 | 太陽電池アレイの製造方法および太陽電池アレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018152486A true JP2018152486A (ja) | 2018-09-27 |
JP6837877B2 JP6837877B2 (ja) | 2021-03-03 |
Family
ID=63681838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017048336A Active JP6837877B2 (ja) | 2017-03-14 | 2017-03-14 | 太陽電池アレイの製造方法および太陽電池アレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6837877B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113272987A (zh) * | 2019-12-12 | 2021-08-17 | 株式会社安能科多科技 | 元件的制造方法 |
JP2022085070A (ja) * | 2020-11-27 | 2022-06-08 | 株式会社リコー | 光電変換モジュール、電子機器、及び電源モジュール |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI798951B (zh) * | 2021-11-22 | 2023-04-11 | 凌巨科技股份有限公司 | 半穿透式太陽能電池 |
-
2017
- 2017-03-14 JP JP2017048336A patent/JP6837877B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113272987A (zh) * | 2019-12-12 | 2021-08-17 | 株式会社安能科多科技 | 元件的制造方法 |
JP2022085070A (ja) * | 2020-11-27 | 2022-06-08 | 株式会社リコー | 光電変換モジュール、電子機器、及び電源モジュール |
US11832461B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-11-28 | Ricoh Company, Ltd. | Photoelectric conversion module, electronic device, and power supply module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6837877B2 (ja) | 2021-03-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6612906B2 (ja) | 太陽電池 | |
KR101404472B1 (ko) | 스트레처블 기판, 스트레처블 광기전장치, 및 스트레처블 기기 | |
JP5554772B2 (ja) | 薄膜化合物太陽電池の製造方法 | |
JP2018152486A (ja) | 太陽電池アレイの製造方法および太陽電池アレイ | |
TW201523914A (zh) | 太陽能電池模組中之太陽能電池之互連 | |
KR101674629B1 (ko) | 태양전지 제조 방법 | |
US9560753B2 (en) | Light emitting diode load board and manufacturing process thereof | |
JP2000196116A5 (ja) | ||
EP2562134B1 (en) | Capacitive transducer and methods of manufacturing and operating the same | |
JP2014017366A (ja) | 薄膜化合物太陽電池セルおよびその製造方法 | |
TWI496308B (zh) | Thin film solar cell and manufacturing method thereof | |
JP2018092982A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
WO2016027530A1 (ja) | 光電変換装置 | |
JP2009212396A (ja) | 太陽電池モジュール及びその製造方法 | |
JP5840544B2 (ja) | 薄膜化合物太陽電池およびその製造方法 | |
JP6701810B2 (ja) | 構造体及びその製造方法 | |
JP2014103305A (ja) | 太陽電池素子およびその製造方法 | |
CN112531042B (zh) | 柔性太阳能电池及电池制造方法 | |
JP2006135017A (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
US20210066518A1 (en) | Metallization method for a semiconductor wafer | |
CN111223947A (zh) | 砷化镓电池外延结构及其制备方法 | |
KR101148455B1 (ko) | 층상구조 기판을 이용한 플라스틱 태양전지 제조방법, 이에 따라 제조된 플라스틱 태양전지 | |
JP6748688B2 (ja) | 光電変換装置 | |
JP2002111021A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP6616632B2 (ja) | 薄膜化合物太陽電池、薄膜化合物太陽電池の製造方法、薄膜化合物太陽電池アレイおよび薄膜化合物太陽電池アレイの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200923 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6837877 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |