KR20110007134A - 유리 적층체, 지지체를 부착한 표시 장치용 패널 및 이들의 제조 방법 - Google Patents

유리 적층체, 지지체를 부착한 표시 장치용 패널 및 이들의 제조 방법 Download PDF

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KR20110007134A
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사또시 곤도
겐이찌 에바따
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 제1 주면과 제2 주면을 갖는 박판 유리 기판(12), 제1 주면과 제2 주면을 갖는 지지 유리 기판(18), 및 상기 박판 유리 기판(12)과 상기 지지 유리 기판(18) 사이에 배치된 수지층(14) 및 외측 프레임층(16)을 갖는 유리 적층체(10)이며, 상기 수지층(14)이, 상기 지지 유리 기판(18)의 제1 주면에 고정되어 있고, 상기 박판 유리 기판(12)의 제1 주면에 대한 박리 용이성을 구비하고, 상기 박판 유리 기판(12)의 제1 주면과 밀착되어 있고, 상기 외측 프레임층(16)이, 상기 지지 유리 기판(18)의 제1 주면 상에 있어서, 상기 수지층(14)이 외기와 접하지 않도록 상기 수지층(14)을 둘러싸고 있는 유리 적층체에 관한 것이다.

Description

유리 적층체, 지지체를 부착한 표시 장치용 패널 및 이들의 제조 방법{GLASS LAMINATE, DISPLAY PANEL WITH SUPPORT, METHOD FOR PRODUCING GLASS LAMINATE AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL WITH SUPPORT}
본 발명은, 액정 표시 장치, 유기 EL 표시 장치 등에 사용되는 유리 기판을 포함하는 유리 적층체, 그것을 포함하는 지지체를 부착한 표시 장치용 패널, 그것을 사용하여 형성되는 표시 장치용 패널 및 그것을 포함하는 표시 장치 및 유리 적층체 및 표시 장치용 패널의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치(LCD), 유기 EL 표시 장치(OLED), 특히 모바일이나 휴대 전화 등의 휴대형 표시 장치의 분야에서는, 표시 장치의 경량화, 박형화가 중요한 과제로 되고 있다.
이 과제에 대응하기 위해, 표시 장치에 사용되는 유리 기판의 판 두께를 더 얇게 하는 것이 요망되고 있다. 판 두께를 얇게 하는 방법으로서는, 일반적으로, 표시 장치용 부재를 유리 기판의 표면에 형성하기 전 또는 형성한 후에, 불산 등을 사용하여 유리 기판을 에칭 처리하고, 필요에 따라서 더 물리 연마하여 얇게 하는 방법이 행해진다.
그러나, 표시 장치용 부재를 유리 기판의 표면에 형성하기 전에 에칭 처리 등을 하여 유리 기판을 얇게 하면, 유리 기판의 강도가 저하되어 휨량도 커진다. 그로 인해 기존의 제조 라인에서 처리할 수 없다는 문제가 발생한다.
또한, 표시 장치용 부재를 유리 기판의 표면에 형성한 후에 에칭 처리 등을 하여 유리 기판을 얇게 하면, 표시 장치용 부재를 유리 기판의 표면에 형성하는 과정에 있어서 유리 기판의 표면에 형성된 미세한 손상이 현재화되는 문제, 즉 에치 피트의 발생이라는 문제가 발생한다.
따라서, 이러한 문제를 해결하는 것을 목적으로 하여, 판 두께가 얇은 유리 기판(이하에서는「박판 유리 기판」이라고도 함)을 다른 유리 기판(이하에서는「지지 유리 기판」이라고도 함)과 접합하여 적층체로 하고, 그 상태에서 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시하고, 그 후, 박판 유리 기판과 지지 유리 기판을 분리하는 방법 등이 제안되어 있다.
예를 들어 하기 특허문헌 1에는, 제품용 유리 기판과 보강용 유리 기판을, 유리 기판끼리의 정전기 흡착력 또는 진공 흡착력을 이용하여 부착시켜 일체화하고, 제품용 유리 기판을 사용한 표시 장치를 제조하는 방법이 기재되어 있다.
예를 들어 하기 특허문헌 2에는, 액정 표시 장치의 기판과 지지체와의 단부를 유리 프릿계의 접착제를 사용하여 접착하고, 그 후, 전극 패턴 등을 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법이 기재되어 있다.
예를 들어 하기 특허문헌 3에는, 2매의 유리 기판의 적어도 주연부의 단부면 근방에 레이저광을 조사하여 상기 2매의 유리 기판을 융합시키는 공정을 갖는 표시 장치용 기판의 제조 방법이 기재되어 있다.
예를 들어 하기 특허문헌 4에는, 점착재층이 지지체 상에 형성되어 있는 기판 반송용 지그에 기판을 부착하고, 액정 표시 소자의 제조 공정을 통해 기판 반송용 지그를 반송함으로써, 기판 반송용 지그에 부착되어 있는 기판에 대해 액정 표시 소자 형성 처리를 차례로 행하고, 소정의 공정을 종료 후, 기판 반송용 지그로부터 기판을 박리하는 액정 표시 장치의 제조 방법이 기재되어 있다.
예를 들어 하기 특허문헌 5에는, 액정 표시 소자용 전극 기판을 자외선 경화형 점착제가 지지체 상에 설치된 지그를 사용하여, 액정 표시 소자용 전극 기판에 소정의 가공을 실시한 후, 자외선 경화형 점착제에 자외선을 조사함으로써, 상기 자외선 경화형 점착제의 점착력을 저하시켜, 상기 액정 표시 소자용 전극 기판을 상기 지그로부터 박리하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자의 제조 방법이 기재되어 있다.
예를 들어 하기 특허문헌 6에는, 점착재에 의해 박판을 지지판에 가고정하고, 상기 점착재의 주연부를 시일재에 의해 밀봉하고, 박판을 가고정한 지지판을 반송하는 반송 방법이 기재되어 있다.
예를 들어 하기 특허문헌 7에는, 박판 유리 기판과, 지지 유리 기판을 적층시켜 이루어지는 박판 유리 적층체이며, 상기 박판 유리와, 상기 지지 유리가 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지층을 개재하여 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 박판 유리 적층체가 기재되어 있다. 그리고, 박판 유리 기판과 지지 유리 기판을 분리하기 위해서는, 박판 유리 기판을 지지 유리 기판으로부터 수직 방향으로 떼어놓는 힘을 부여하면 되고, 면도날 등으로 단부에 박리의 실마리 부분을 넣거나, 적층 계면으로의 에어의 주입에 의해, 보다 용이하게 박리하는 것이 가능하다고 기재되어 있다. 또한, 하기 특허문헌 8에는, 박리지용 실리콘을 사용하여, 보호 유리 기판과 TFT 어레이 기판을 미리 적층하고, 표시 장치를 조립한 후에 보호 유리 기판을 박리하는 것이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2000-241804호 공보 일본 특허 공개 소58-54316호 공보 일본 특허 공개 제2003-216068호 공보 일본 특허 공개 평8-86993호 공보 일본 특허 공개 평9-105896호 공보 일본 특허 공개 제2000-252342호 공보 국제 공개 제2007/018028호 팜플렛 국제 공개 제2008/007622호 팜플렛
그러나, 특허문헌 1에 기재된 유리 기판끼리 정전 흡착력이나 진공 흡착력을 이용하여 고정하는 방법, 특허문헌 2에 기재된 유리 기판의 양단부를 유리 프릿을 사용하여 고정하는 방법, 또는 특허문헌 3에 기재된 주연부의 단부면 근방에 레이저광을 조사하여 2매의 유리 기판을 융합시키는 방법에서는, 유리 기판끼리 밀착시킨다. 즉, 유리 기판 사이에 다른 층을 개재하지 않고 적층 밀착시킨다. 그로 인해 유리 기판 사이로 혼입된 기포나 진개 등의 이물질에 의해 유리 기판에 왜곡 결함이 발생하기 쉬우므로, 표면이 평활한 유리 기판 적층체를 얻는 것이 곤란하다.
또한, 특허문헌 4 내지 6에 기재된 유리 기판 사이에 점착층 등을 배치하는 방법에서는, 상기와 같은 유리 기판 사이로의 기포 등의 혼입에 의한 왜곡 결함의 발생을 피할 수 있기는 하지만, 양 유리 기판을 분리하는 것이 곤란하며, 분리할 때에 박판 유리 기판이 파손될 우려가 있다. 또한 분리 후의 박판 유리 기판으로의 점착제의 잔존도 문제로 된다.
이에 반해 특허문헌 7에 기재된 박판 유리 적층체에 따르면, 상기와 같은 유리 기판 사이로의 기포 등의 혼입에 의한 왜곡 결함은 발생하기 어렵다. 또한, 박판 유리 기판과 지지 유리 기판을 박리하는 것도 가능하다. 또한 분리 후의 박판 유리 기판으로의 점착제의 잔존의 문제는 해결된다.
그러나, 양 유리 기판의 분리는, 보다 용이하게, 보다 단시간에 행하는 것이 요망된다. 특히 유리 기판이 대형인 경우는, 공업적으로 이용하는 데에 있어서 중요한 점으로 된다.
또한, 특허문헌 7에 기재된 바와 같은 박판 유리 적층체는, 고진공 하에 있어서의 열처리시에 있어서, 박판 유리 기판과 지지 유리 기판 사이의 실리콘 수지층으로부터 미량의 가스를 발생시키는 경우가 있다. 당해 가스는 100 내지 350℃ 정도의 비교적 저온에서의 열처리시이어도 발생할 수 있다. 당해 가스가 발생하면, 진공 처리 공정 설비 등을 오염시킬 가능성이 있으므로 바람직하지 않다.
또한, 열처리 온도가 보다 높고, 예를 들어 400℃ 정도를 초과하면, 실리콘 수지층의 단부이며 외기와 접하고 있는 부분이 산화하여 열화되는 경우가 있다. 그와 같이 하면, 박판 유리 기판과의 박리 용이성이 상실되고, 또한 지지 유리 기판과 박리될 우려도 있다. 또한, 실리콘 수지층이 산화에 의해 백화되고, 분말 형상의 SiO2를 발생시켜, 열처리 공정 설비 등을 오염시킬 우려가 있다. 또한, 이와 같이 수지층이 열화되어 버리면, 박판 유리 기판과 분리된 수지층을 갖는 지지 유리 기판을, 지지체로서 다른 박판 유리 기판과 부착하여 재이용하는 것은 곤란해진다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것이다. 즉, 유리 기판 사이로 혼입된 기포나 진개 등의 이물질에 의한 유리 결함의 발생을 억제하여, 에치 피트를 발생시키지 않고 기존의 제조 라인에서 처리할 수 있고, 밀착된 박판 유리 기판과 수지층을 용이하게 분리할 수 있는 유리 적층체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 고진공 하에 있어서의 열처리시에 있어서의 가스의 발생을 극미량으로 억제하는 유리 적층체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 열처리 온도가 비교적 고온(400℃ 초과 정도)이어도 박판 유리 기판과 지지 유리 기판 사이의 수지층이 산화되기 어렵고 열화되기 어려운 유리 적층체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 이러한 유리 적층체를 포함하는 지지체를 부착한 표시 장치용 패널을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 이러한 지지체를 부착한 표시 장치용 패널을 사용하여 형성되는 표시 장치용 패널 및 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 상기 유리 적층체 또는 상기 지지체를 부착한 표시 장치용 패널의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자는 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토를 거듭하여, 본 발명을 완성했다.
본 발명은 이하의 (1) 내지 (14)에 관한 것이다.
(1) 제1 주면과 제2 주면을 갖는 박판 유리 기판,
제1 주면과 제2 주면을 갖는 지지 유리 기판, 및
상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판 사이에 배치된 수지층 및 외측 프레임층을 갖는 유리 적층체이며,
상기 수지층이, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면에 고정되어 있고, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면에 대한 박리 용이성을 구비하고, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면과 밀착되어 있고,
상기 외측 프레임층이, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 있어서, 상기 수지층이 외기와 접하지 않도록 상기 수지층을 둘러싸고 있는 유리 적층체.
(2) 상기 수지층의 단부면과, 상기 외측 프레임층의 단부면의 적어도 일부가 접하고 있는 상기 (1)에 기재된 유리 적층체.
(3) 상기 박판 유리 기판이 TFT 어레이용 유리 기판인 상기 (1) 또는 (2)에 기재된 유리 적층체.
(4) 상기 외측 프레임층이, 5％ 가열 질량 감소 온도가 400℃ 이상인 재료로 이루어지는 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 유리 적층체.
(5) 상기 외측 프레임층이, 폴리이미드 수지, 실리콘 수지 및 무기 재료로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나로 이루어지는 상기 (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 기재된 유리 적층체.
(6) 상기 수지층이, 아크릴계 수지, 폴리올레핀계 수지, 폴리우레탄 수지 및 실리콘 수지로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나로 이루어지는 상기 (1) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 유리 적층체.
(7) 상기 외측 프레임층의 폭이 0.5 내지 10mm인 상기 (1) 내지 (6) 중 어느 하나에 기재된 유리 적층체.
(8) 상기 (3) 내지 (7) 중 어느 하나에 기재된 유리 적층체에 있어서의 상기 박판 유리 기판의 제2 주면 상에, 또한 TFT 어레이를 갖는 지지체를 부착한 표시 장치용 패널.
(9) 상기 (8)에 기재된 지지체를 부착한 표시 장치용 패널을 사용하여 형성되는 표시 장치용 패널.
(10) 상기 (9)에 기재된 표시 장치용 패널을 갖는 표시 장치.
(11) 상기 (1) 내지 (7) 중 어느 하나에 기재된 유리 적층체의 제조 방법이며, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상의 내측 영역에 상기 수지층을 형성하여 고정하는 수지층 형성 공정과, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상의 외측 영역에 상기 외측 프레임층을 형성하여 고정하는 외측 프레임층 형성 공정과, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면과, 상기 수지층 및 상기 외측 프레임층을 밀착하는 밀착 공정을 포함하는, 유리 적층체의 제조 방법.
(12) 상기 (11)에 기재된 유리 적층체의 제조 방법이, 또한, 얻어진 유리 적층체에 있어서의 상기 박판 유리 기판의 제2 주면에 표시 장치용 부재를 형성하는 공정을 포함하는, 지지체를 부착한 표시 장치용 패널의 제조 방법.
(13) 상기 (12)에 기재된 제조 방법이, 또한, 얻어진 지지체를 부착한 표시 장치용 패널에 있어서의 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리하는 분리 공정을 포함하는, 표시 장치용 패널의 제조 방법.
(14) 상기 분리 공정이, 상기 외측 프레임층에 레이저광을 조사하여 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리하는 공정인, 상기 (13)에 기재된 표시 장치용 패널의 제조 방법.
본 발명에 따르면, 유리 기판 사이로 혼입된 기포나 진개 등의 이물질에 의한 유리 결함의 발생을 억제하여, 에치 피트를 발생시키지 않고 기존의 제조 라인에서 처리할 수 있고, 밀착된 박판 유리 기판과 수지층을 용이하게 분리할 수 있는 유리 적층체를 제공할 수 있다.
또한, 고진공 하에 있어서의 열처리시에 있어서의 가스의 발생을 극미량으로 억제하는 유리 적층체를 제공할 수 있다.
또한, 바람직한 형태로 함으로써, 열처리 온도가 비교적 고온(400℃ 정도 초과)이어도 박판 유리 기판과 지지 유리 기판 사이의 수지층이 산화되기 어렵고 열화되기 어려운 유리 적층체를 제공할 수 있다.
또한, 이러한 유리 적층체를 포함하는 지지체를 부착한 표시 장치용 패널을 제공할 수 있다. 또한, 이러한 지지체를 부착한 표시 장치용 패널을 사용하여 형성되는 표시 장치를 제공할 수 있다. 또한, 상기 유리 적층체 또는 상기 지지체를 부착한 표시 장치용 패널의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 적층체의 일 형태를 도시하는 개략 정면도.
도 2는, 본 발명의 적층체의 일 형태를 도시하는 개략 단면도.
도 3은, 본 발명의 적층체의 다른 일 형태를 도시하는 개략 정면도.
도 4는, 본 발명의 적층체의 다른 일 형태를 도시하는 개략 단면도.
도 5는, 본 발명의 적층체의 지지 유리 기판을 박리하는 방법을 설명하기 위한 개략 단면도.
본 발명에 대해 설명한다.
본 발명은, 제1 주면과 제2 주면을 갖는 박판 유리 기판, 제1 주면과 제2 주면을 갖는 지지 유리 기판, 및 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판 사이에 배치된 수지층 및 외측 프레임층을 갖는 유리 적층체이며, 상기 수지층이, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면에 고정되어 있고, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면에 대한 박리 용이성을 구비하고, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면과 밀착되어 있고, 상기 외측 프레임층이, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 있어서, 상기 수지층이 외기와 접하지 않도록 상기 수지층을 둘러싸고 있는 유리 적층체이다.
이러한 유리 적층체를, 이하에서는「본 발명의 적층체」라고도 한다.
처음에, 본 발명의 적층체의 형태를, 도 1, 도 2를 사용하여 설명한다.
도 1은, 본 발명의 적층체의 일 형태를 도시하는 개략 정면도이며, 도 2는 그의 A-A' 단면도(개략 단면도)이다.
이하에서는 이 형태를「형태 1」이라고도 한다.
이 형태 1에 있어서 본 발명의 적층체(10)는, 박판 유리 기판(12), 수지층(14), 외측 프레임층(16) 및 지지 유리 기판(18)을 갖고 있다. 그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 박판 유리 기판(12)과 지지 유리 기판(18)이 수지층(14) 및 외측 프레임층(16)을 끼워 적층하고 있다.
또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 정면에서 보면, 박판 유리 기판(12), 수지층(14) 및 지지 유리 기판(18)은 각각 직사각형이며, 박판 유리 기판(12)의 주면 면적은 수지층(14)의 주면 면적보다 크지만, 지지 유리 기판(18)의 주면 면적보다 약간 작다. 그리고, 정면에서 보면, 박판 유리 기판(12)은 지지 유리 기판(18)의 내측에 포함되도록 위치하고 있고, 수지층(14) 및 외측 프레임층(16)은 박판 유리 기판(12)의 내측에 포함되도록 위치하고 있다.
또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 정면에서 보면, 외측 프레임층(16)은 수지층(14)의 외측을 둘러싸는 프레임과 같이 박판 유리 기판(12)의 외측 모서리 부근(외측 영역)에 존재하고 있다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 외측 프레임층(16)은 박판 유리 기판(12)의 제1 주면 및 지지 유리 기판(18)의 제1 주면에 고정되어 있다. 따라서, 그 내측에 존재하는 수지층(14)은 외기와 접하지 않는다. 외측 프레임층(16)이 존재하지 않은 경우, 수지층(14)의 단부면(14α)이 외기와 접하게 된다. 또한, 정면에서 본 경우에 TFT 어레이 등이 외측 프레임층의 내측에 형성되고, TFT 어레이 등과 외측 프레임층의 형성 영역이 겹쳐 보이지 않는 것이 필요하다. 반대로 말하면, 정면에서 보아, 박판 유리 기판의 제2 주면에 있어서의 TFT 어레이 등을 형성하는 유효 영역을 제외한 영역에 상당하는 박판 유리 기판의 제1 주면에, 외측 프레임층을 형성하는 것이 필요하다. 후술하는 바와 같은 레이저 조사에 의해, TFT 어레이 등이 파손되는 것을 방지하기 위해서이다.
또한, 본 발명의 적층체(10)에 있어서 수지층(14)은, 지지 유리 기판(18)의 제1 주면에 고정되어 있고, 박판 유리 기판(12)의 한쪽의 주면인 제1 주면에 대한 박리 용이성을 구비하고, 박판 유리 기판(12)의 제1 주면과 밀착되어 있다.
또한, 형태 1의 본 발명의 적층체(10)에 있어서는, 수지층(14)의 단부면(14α)과, 외측 프레임층(16)의 내측의 단부면(16α)이 접하고 있다.
이러한 형태 1의 유리 적층체는 열처리시에 있어서 가스를 발생시키기 어렵다. 외측 프레임층(16)이 존재하기 때문에, 수지층(14)으로부터 발생한 가스가 외부로 발산되지 않기 때문이다. 또한, 후술하는 바람직한 형태로 하면, 열처리 온도가 비교적 고온(400℃ 정도 초과)이어도 박판 유리 기판과 지지 유리 기판 사이의 수지층이 산화되기 어렵고 열화되기 어렵다. 외측 프레임층(16)이 외기와 수지층(14)의 단부면(14α)과의 접촉을 차단하기 때문이다.
다음에, 본 발명의 적층체가 갖는 박판 유리 기판, 지지 유리 기판, 수지층 및 외측 프레임층의 각각에 대해 설명한다.
박판 유리 기판에 대해 설명한다.
박판 유리 기판의 두께, 형상, 크기, 물성(열수축률, 표면 형상, 내약품성 등), 조성 등은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 종래의 LCD, OLED 등의 표시 장치용의 유리 기판과 마찬가지이면 된다.
상기 박판 유리 기판은, TFT 어레이용 유리 기판인 것이 바람직하다.
박판 유리 기판의 두께는 0.7mm 미만인 것이 바람직하고, 0.5mm 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.4mm 이하인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 0.05mm 이상인 것이 바람직하고, 0.07mm 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.1mm 이상인 것이 더욱 바람직하다.
박판 유리의 형상은 한정되지 않지만, 직사각형인 것이 바람직하다.
박판 유리의 크기는 한정되지 않지만, 예를 들어 직사각형인 경우는 100 내지 2000mm×100 내지 2000mm이면 되고, 500 내지 1000mm×500 내지 1000mm인 것이 보다 바람직하다.
또한, 박판 유리의 두께는 레이저 포커스 변위계를 사용하여 면내 9점을 측정한 값의 평균값을 나타내고, 크기는 강철 자를 사용하여 짧은 변ㆍ긴 변을 각각 계측한 값을 의미하는 것으로 한다. 후술하는 지지 유리 기판의 두께 및 크기에 대해서도 마찬가지로 한다.
이러한 두께 및 크기이어도, 본 발명의 적층체는 박판 유리 기판과 지지 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있다.
박판 유리 기판의 열수축률, 표면 형상, 내약품성 등의 특성도 특별히 한정되지 않고, 제조하는 표시 장치의 종류에 따라 상이하다.
또한, 상기 박판 유리 기판의 열수축률은 작은 것이 바람직하다. 구체적으로는 열수축률의 지표인 선팽창 계수가 500×10-7/℃ 이하인 것을 사용하는 것이 바람직하다.
상기 선팽창 계수는 300×10-7/℃ 이하인 것이 보다 바람직하고, 200×10-7/℃ 이하인 것이 보다 바람직하고, 100×10-7/℃ 이하인 것이 보다 바람직하고, 45×10-7/℃ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 그 이유는 열수축률이 크면 고정세한 표시 장치를 만들 수 없기 때문이다.
또한, 본 발명에 있어서 선팽창 계수는 JIS R3102(1995년)에 규정된 것을 의미한다.
박판 유리 기판의 조성은, 예를 들어 알칼리 유리나 무알칼리 유리와 마찬가지이면 된다. 그 중에서도, 열수축률이 작은 관점에서 무알칼리 유리인 것이 바람직하다.
지지 유리 기판에 대해 설명한다.
지지 유리 기판은 수지층을 개재하여 박판 유리 기판을 지지하고, 박판 유리 기판의 강도를 보강한다.
지지 유리 기판의 두께, 형상, 크기, 물성(열수축률, 표면 형상, 내약품성 등), 조성 등은 특별히 한정되지 않는다.
지지 유리 기판의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 현행의 제조 라인에서 처리할 수 있는 두께인 것이 바람직하다.
예를 들어 0.1 내지 1.1mm의 두께인 것이 바람직하고, 0.3 내지 0.8mm인 것이 보다 바람직하고, 0.4 내지 0.7mm인 것이 더욱 바람직하다.
예를 들어, 현행의 제조 라인이 두께 0.5mm의 기판을 처리하도록 설계된 것이며, 박판 유리 기판의 두께가 0.1mm인 경우, 지지 유리 기판의 두께와 수지층의 두께의 합을 0.4mm로 한다. 또한, 현행의 제조 라인은 두께가 0.7mm인 유리 기판을 처리하도록 설계되어 있는 것이 가장 일반적이지만, 예를 들어 박판 유리 기판의 두께가 0.4mm이면, 지지 유리 기판의 두께와 수지층의 두께의 합을 0.3mm로 한다.
지지 유리 기판의 두께는 상기 박판 유리 기판보다 두꺼운 것이 바람직하다.
지지 유리 기판의 형상은 한정되지 않지만, 직사각형인 것이 바람직하다.
지지 유리 기판의 크기는 한정되지 않지만, 상기 박판 유리 기판과 동일한 정도인 것이 바람직하고, 상기 유리 기판보다 약간 큰(세로 방향 또는 가로 방향의 각각이 0.05 내지 10mm 정도 큰) 것이 바람직하다. 이유는, 표시 장치용 패널 제조시의 위치 결정 핀 등의 얼라인먼트 장치의 접촉으로부터 상기 박판 유리 기판의 단부를 보호하기 쉬운 것, 및 박판 유리 기판과 지지 유리 기판의 박리를 보다 용이하게 행할 수 있기 때문이다.
지지 유리 기판은 선팽창 계수가 상기 박판 유리 기판과 실질적으로 동일해도 되고 상이해도 된다. 실질적으로 동일하면, 본 발명의 적층체를 열처리했을 때에, 박판 유리 기판 또는 지지 유리 기판에 휨이 발생하기 어려운 점에서 바람직하다.
박판 유리 기판과 지지 유리 기판의 선팽창 계수의 차는 300×10-7/℃ 이하인 것이 바람직하고, 100×10-7/℃ 이하인 것이 보다 바람직하고, 50×10-7/℃ 이하인 것이 더욱 바람직하다.
지지 유리 기판의 조성은, 예를 들어 알칼리 유리, 무알칼리 유리와 마찬가지이면 된다. 그 중에서도, 열수축률이 작은 관점에서 무알칼리 유리인 것이 바람직하다.
수지층에 대해 설명한다.
본 발명의 적층체에 있어서, 수지층은 상기 지지 유리 기판의 제1 주면에 고정되어 있다.
그리고, 수지층은, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면과 밀착되어 있지만, 용이하게 박리할 수 있다. 즉 수지층은, 상기 박판 유리 기판에 대해 박리 용이성을 갖는다.
본 발명의 적층체에 있어서, 수지층과 박판 유리 기판은 점착제가 갖는 것과 같은 점착력에 의해 부착되어 있지 않다고 생각되고, 고체 분자간에 있어서의 반데르발스력에 기인하는 힘, 즉, 밀착력에 의해 부착되어 있다고 생각된다.
수지층의 두께는 특별히 한정되지 않는다. 1 내지 100μm인 것이 바람직하고, 5 내지 30μm인 것이 보다 바람직하고, 7 내지 20μm인 것이 더욱 바람직하다. 수지층의 두께가 이러한 범위이면, 박판 유리 기판과 수지층의 밀착이 충분해지기 때문이다.
또한, 기포나 이물질이 개재되어도, 박판 유리 기판의 왜곡 결함의 발생을 억제할 수 있기 때문이다. 또한, 수지층의 두께가 지나치게 두꺼우면, 형성하는 데에 시간 및 재료를 필요로 하기 때문에 경제적이지 않다.
여기서 수지층의 두께는, 레이저 포커스 변위계를 사용하여 면내 9점을 측정한 값의 평균값을 의미하는 것으로 한다. 후술하는 외측 프레임층의 두께에 대해서도 마찬가지로 한다.
또한, 수지층은 2층 이상으로 이루어져 있어도 된다. 그 경우,「수지층의 두께」는 모든 층의 합계의 두께를 의미하는 것으로 한다.
또한, 수지층이 2층 이상으로 이루어지는 경우는, 각각의 층을 형성하는 수지의 종류가 상이해도 된다.
후술하는 외측 프레임층에 대해서도 마찬가지이다.
수지층은, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면에 대한 수지층의 표면의 표면 장력이 30mN/m 이하인 것이 바람직하고, 25mN/m 이하인 것이 보다 바람직하고, 22mN/m 이하인 것이 더욱 바람직하다. 이러한 표면 장력이면, 보다 용이하게 박판 유리 기판과 박리할 수 있고, 동시에 박판 유리 기판과의 밀착도 충분해지기 때문이다.
또한, 수지층은, 유리 전이점이 실온(25℃ 정도)보다 낮은 재료 또는 유리 전이점을 갖지 않는 재료로 이루어지는 것이 바람직하다. 비점착성의 수지층으로 되어, 보다 박리 용이성을 갖고, 보다 용이하게 박판 유리 기판과 박리할 수 있고, 동시에 박판 유리 기판과의 밀착도 충분해지기 때문이다.
또한, 수지층이 내열성을 갖고 있는 것이 바람직하다. 본 발명의 패널 제조 방법에서는, 예를 들어 상기 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 표시 장치용 부재를 형성하는 경우에, 수지층을 갖는 유리 적층체를 열처리에 제공하기 때문이다.
또한, 수지층의 탄성률이 지나치게 높으면 박판 유리 기판과의 밀착성이 낮아지므로 바람직하지 않다. 또한 탄성률이 지나치게 낮으면 박리 용이성이 낮아지므로 바람직하지 않다.
수지층을 형성하는 수지의 종류는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 아크릴계 수지, 폴리올레핀계 수지, 폴리우레탄 수지 및 실리콘 수지를 들 수 있다. 2종류의 수지를 혼합하여 사용할 수도 있다. 그 중에서도 실리콘 수지가 바람직하다. 실리콘 수지는 내열성이 우수하고 또한 박판 유리 기판에 대한 박리 용이성이 우수하기 때문이다. 실리콘 수지층은 예를 들어 400℃ 정도에서 1시간 정도 처리해도, 박리 용이성이 거의 열화되지 않는 점도 바람직하다. 또한, 실리콘 수지가 지지 유리 기판 표면의 실라놀기와 축합 반응하므로, 실리콘 수지층을 지지 유리 기판의 표면(제1 주면)에 고정하기 쉽기 때문이다.
또한, 수지층은 실리콘 수지 중에서도 박리지용 실리콘으로 이루어지는 것이 바람직하고, 그 경화물인 것이 바람직하다. 박리지용 실리콘은 직쇄상의 디메틸폴리실록산을 분자 내에 포함하는 실리콘을 주제로 하는 것이다. 이 주제와 가교제를 포함하는 조성물을, 촉매, 광중합 개시제 등을 사용하여 상기 지지 유리 기판의 표면(제1 주면)에 경화시켜 형성한 수지층은, 우수한 박리 용이성을 가지므로 바람직하다. 또한, 유연성이 높으므로, 박판 유리 기판과 수지층 사이로 기포나 진개 등의 이물질이 혼입되어도, 박판 유리 기판의 왜곡 결함의 발생을 억제할 수 있으므로 바람직하다.
이러한 박리지용 실리콘은, 그의 경화 기구에 의해 축합 반응형 실리콘, 부가 반응형 실리콘, 자외선 경화형 실리콘 및 전자선 경화형 실리콘으로 분류되지만, 모두 사용할 수 있다. 이들 중에서도 부가 반응형 실리콘이 바람직하다. 경화 반응의 용이함, 수지층을 형성했을 때에 박리 용이성의 정도가 양호하며, 내열성도 높기 때문이다.
또한, 박리지용 실리콘은 형태적으로 용제형, 에멀전형 및 무용제형이 있고, 어느 형으로도 사용 가능하다. 이들 중에서도 무용제형이 바람직하다. 생산성, 안전성, 환경 특성의 면이 우수하기 때문이다. 또한, 수지층을 형성할 때의 경화시, 즉, 가열 경화, 자외선 경화 또는 전자선 경화시에 발포를 발생시키는 용제를 포함하지 않기 때문에, 수지층 중에 기포가 잔류하기 어렵기 때문이다.
또한, 박리지용 실리콘으로서, 구체적으로는 시판되고 있는 상품명 또는 모델 번호로서 KNS-320A, KS-847(모두 신에쯔 실리콘사제), TPR6700(GE 도시바 실리콘사제), 비닐 실리콘「8500」(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)과 메틸히드로겐폴리실록산「12031」(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)의 조합, 비닐 실리콘「11364」(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)와 메틸히드로겐폴리실록산「12031」(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)의 조합, 비닐 실리콘「11365」(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)와 메틸히드로겐폴리실록산「12031」(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제)의 조합 등을 들 수 있다.
또한, KNS-320A, KS-847 및 TPR6700은, 미리 주제와 가교제를 함유하고 있는 실리콘이다.
또한, 수지층을 형성하는 실리콘 수지는, 실리콘 수지층 중의 성분이 박판 유리 기판으로 이행하기 어려운 성질, 즉 낮은 실리콘 이행성을 갖는 것이 바람직하다.
외측 프레임층에 대해 설명한다.
외측 프레임층은 띠 형상이며, 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판 사이에, 양 유리 기판에 끼워져 존재한다. 또한, 상기 지지 유리 기판 상에 있어서, 상기 수지층의 외측을 둘러싸는 프레임과 같이 존재하고 있다. 또한, 박판 유리 기판 및 지지 유리 기판에 고정되어 있다. 따라서 상기 수지층은 외기와 접하기 어렵다. 상기 수지층이 외기와 전혀 접하지 않도록 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 형태 1의 본 발명의 적층체(10)에 있어서는, 수지층(14)의 단부면(14α)과, 외측 프레임층(16)의 내측의 단부면(16α)이 접하고 있지만, 접하고 있지 않고 수지층의 단부면과 외측 프레임층의 내측의 단부면 사이에 공극이 있어도 된다. 단, 공극이 적거나, 또는 거의 없는 쪽이 바람직하다. 본 발명의 적층체를 비교적 고온(400℃ 초과)에서 열처리한 경우에 의해 수지층이 산화되기 어렵기 때문이다.
외측 프레임층의 폭은 특별히 한정되지 않지만, 0.5 내지 10mm인 것이 바람직하고, 1 내지 5mm인 것이 보다 바람직하고, 1.5 내지 3.0mm인 것이 더욱 바람직하다. 이러한 폭이면 상기 수지층이 외기와 보다 접하기 어렵다. 또한, 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 박리할 때에 박리하기 쉽다. 외측 프레임층의 폭이 지나치게 넓으면 박리가 곤란해질 우려가 있다. 예를 들어 후술하는 바람직한 박리 방법인 레이저광을 조사하는 방법에 있어서, 박리에 장시간을 필요로 할 가능성이 발생한다.
외측 프레임층의 두께는 특별히 한정되지 않는다. 상기 수지층과 동일해도 되지만, 그것보다 약간 두꺼운 것이 바람직하고, 5 내지 20μm 두꺼운 것이 보다 바람직하다. 외측 프레임층이 상기 수지층의 두께보다 약간 두꺼우면, 상기 박판 유리 기판과 외측 프레임층과 상기 지지 유리 기판이 밀착되기 쉬우므로 바람직하다. 또한, 외측 프레임층의 두께가 상기 수지층의 두께보다 지나치게 두꺼우면, 상기 박판 유리 기판과 상기 수지층과 상기 지지 유리 기판이 밀착되기 어려워져, 본 발명의 적층체를 제조하는 과정에서, 상기 박판 유리 기판 또는 상기 지지 유리 기판을 파손할 우려가 있다.
상기 수지층의 두께가 5 내지 100μm인 경우에, 외측 프레임층의 두께가 5 내지 120μm인 것이 바람직하고, 또한 외측 프레임층 쪽이 5 내지 20μm 두꺼운 것이 보다 바람직하다.
외측 프레임층의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 본 발명의 적층체에 상기 박판 유리 기판의 제2 주면에 TFT 어레이를 형성하기 위한 열처리를 실시해도 질량 감소 비율이 낮은 재료인 것이 바람직하다. 예를 들어, 400℃에서 열처리한 경우에 질량 감소 비율이 5질량％ 이하인 재료인 것이 바람직하다. 즉, 5％ 가열 질량 감소 온도가 400℃ 이상인 재료인 것이 바람직하다. 이 온도가 425℃ 이상인 것이 보다 바람직하고, 450℃ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 이러한 재료이면, 본 발명의 적층체를 가열 공정에 제공해도, 용융 등의 형태 변화가 발생하기 어려우므로 바람직하다.
5％ 가열 질량 감소 온도라 함은, 혼합 에어 기류 하 1분간에 10℃씩 승온하여, 시료의 질량이 초기 시료 질량의 95％에 도달했을 때의 온도를 의미한다.
외측 프레임층의 재료의 구체예로서, 예를 들어 폴리이미드 수지, 실리콘 수지, 무기 재료를 들 수 있다. 이들 중 2 이상을 혼합한 재료여도 된다. 폴리이미드 수지, 실리콘 수지 및 무기 재료로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나이며, 또한 5％ 가열 질량 감소 온도가 400℃ 이상인 재료인 것이 바람직하다.
여기서 실리콘 수지로서는, 직쇄상의 것, 사다리 형상의 것, 바구니 형상의 것을 예시할 수 있다. 그 중에서도 사다리 형상의 것, 또는 바구니 형상의 것이 바람직하다. 내열성이 높기 때문이다.
또한, 치환기로서 알킬기나 아릴기를 갖는 실리콘 수지여도 되고, 내열성이 높은 관점에서, 규소 원자가 아릴기를 갖는 실리콘 수지가 바람직하다.
또한, 무기 재료라 함은, 각종 산화물이나 질화물 등을 들 수 있다. 예를 들어 Al, Si, C, Mg 및 B의 산화물이나 질화물 등을 들 수 있다. 구체적으로는 알루미나, 실리카, 그래파이트, 마그네시아, 질화붕소, 질화알루미늄을 들 수 있다. 이것을 주제로 하고, 또한 결합제로서 메타규산나트륨, 규산칼륨 등의 실리케이트 화합물, 인산 알루미늄을 포함하는 것이어도 된다.
외측 프레임층은, 또한 알루미나, 실리카, 탈크, 유리 섬유 등의 무기 충전제를 포함해도 된다. 이들의 함유율은 5 내지 80질량％인 것이 바람직하고, 10 내지 70질량％인 것이 보다 바람직하고, 20 내지 50질량％인 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 적층체는, 이러한 박판 유리 기판, 지지 유리 기판, 수지층 및 외측 프레임층을 갖는다.
본 발명의 적층체는 또한 시트를 갖는 것이 바람직하다. 시트를 인장함으로써, 박판 유리 기판과 지지 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있기 때문이다. 구체적인 시트를 이용한 박리 방법에 대해서는 후술한다.
시트를 갖는 형태의 본 발명의 적층체에 대해 도 3, 도 4를 사용하여 설명한다.
이하에서는 이 형태를「형태 2」라고도 한다.
또한, 이 형태 2의 본 발명의 적층체는, 전술한 형태 1과 비교하면 시트를 갖는 것이 상이하고, 그 밖에 대해서는 마찬가지이다. 따라서 이하의 설명에서는 상이한 점에 대해 주로 설명한다.
도 3은, 본 발명의 적층체의 다른 일 형태를 도시하는 개략 정면도이며, 도 4는 그의 B-B' 단면도(개략 단면도)이다.
이 형태 2에 있어서 본 발명의 적층체(20)는, 박판 유리 기판(22), 수지층(24), 외측 프레임층(26), 시트(27) 및 지지 유리 기판(28)을 갖고 있다. 그리고, 박판 유리 기판(22)과 지지 유리 기판(28)은 수지층(24), 외측 프레임층(26) 및 시트(27)를 끼워 적층하고 있다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 정면에서 보면, 박판 유리 기판(22), 수지층(24) 및 지지 유리 기판(28)은 각각 직사각형이며, 시트(27)도 직사각형이다. 또한, 수지층(24)은 외측 프레임층(26)과 시트(27)로 외측을 둘러싸고 있다. 또한, 외측 프레임층(26)은 박판 유리 기판(22) 및 지지 유리 기판(28)에 고정되어 있다. 또한, 시트(27)는 박판 유리 기판(22) 및 지지 유리 기판(28)에 밀착되어 있다. 따라서, 그들의 내측에 존재하는 수지층(24)은 외기와 접하지 않는다. 외측 프레임층(26) 또는 시트(27)가 존재하지 않은 경우, 수지층(24)의 단부면(24α)이 외기와 접하게 된다.
또한, 시트(27)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 정면에서 본 경우에 본 발명의 적층체(20)가 갖는 4변 중의 1변과 겹치는 위치에 존재하고 있다. 그리고, 도 4에 도시한 바와 같이, 시트(27)의 일부분(27a)이 박판 유리 기판(22)과 지지 유리 기판(28)에 끼워져 있다. 또한, 끼워져 있지 않은 부분이며 박판 유리 기판(22)에도 지지 유리 기판(28)에도 접하고 있지 않은 부분(27b)을 갖고 있다. 또한, 여기에 나타내는 형태 2의 경우, 시트(27)는, 박판 유리 기판(22)과 지지 유리 기판(28)에 끼워져 있지는 않지만, 한쪽의 기판(지지 유리 기판(28))에 접하고 있는 부분(27c)을 갖고 있다.
또한, 시트(26)와 수지층(24)은 겹쳐 있지 않고, 수지층(24)의 단부면의 일부(24α)와 시트(27)의 단부면(27α)이 접하도록 배치되어 있다.
본 발명의 적층체는, 이러한 시트를 갖는 형태이며 이것과는 상이한 다른 형태의 것이어도 된다. 예를 들어 정면에서 본 시트의 크기가 도 3보다 작은 것이면 된다. 또한, 시트를 복수 갖는 형태의 것이어도 된다. 또한, 시트가 본 발명의 적층체가 갖는 4변 중의 2변 이상과 겹치는 위치의 각각에 존재하는 것이어도 된다.
시트에 대해 설명한다.
시트는 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판 사이에 존재하고, 그 일부가 양 유리 기판에 끼워져 있다. 그리고, 끼워져 있지 않은 부분(잔부)의 적어도 일부는, 상기 박판 유리 기판에도 상기 지지 유리 기판에도 접하고 있지 않다.
시트의 형상은 특별히 한정되지 않지만, 상기의 형태 2와 같이 직사각형인 것이 바람직하다.
시트의 크기, 표면적(2개의 주면 중 한쪽의 주면 면적)도 특별히 한정되지 않는다.
예를 들어 직사각형인 경우는 1매의 시트의 크기가 1 내지 4000㎠이면 되고, 2 내지 2000㎠인 것이 바람직하고, 4 내지 1000㎠인 것이 보다 바람직하다.
시트의 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판에 끼워져 있는 부분의 크기는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 이 부분이 직사각형인 경우는 10 내지 2000mm×0.5 내지 100mm이면 되고, 20 내지 1000mm×0.5 내지 100mm인 것이 바람직하고, 20 내지 1000mm×1 내지 50mm인 것이 보다 바람직하다. 특히, 시트에 있어서의 당해 부분을 정면에서 본 경우의 4개의 변 중, 본 발명의 적층체의 변과 직교하는 측의 변(상기의 형태 2이면, 도 4에 도시한 단면에 평행한 변)의 길이(형태 2의 경우이면「27a」로 나타내어지는 부분의 길이)는 10 내지 2000mm이면 되고, 20 내지 1000mm인 것이 바람직하고, 40 내지 1000mm인 것이 보다 바람직하다. 또한, 이 부분의 면적은 0.5 내지 2000㎠이면 되고, 1 내지 1000㎠인 것이 바람직하고, 2 내지 500㎠인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위이면, 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 표시 장치용 부재를 형성하는 경우, 박판 유리 기판에 있어서 그의 형성에 적합한 부분의 면적을 비교적 크게 취할 수 있다는 점에서 바람직하다.
또한, 여기서 말하는 시트의「끼워져 있는 부분의 크기」라 함은, 예를 들어 상기의 형태 2이면, 부호 27a의 부분이 갖는 2개의 주면 중, 지지 유리 기판(28)과 대향하는 측의 주면의 면적을 의미하는 것으로 한다.
시트의 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판에 끼워져 있지 않은 부분(잔부)의 일부이며, 상기 박판 유리 기판에도 상기 지지 유리 기판에도 접하고 있지 않은 부분의 크기는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 이 부분이 직사각형인 경우는 10 내지 2000mm×0.5 내지 100mm이면 되고, 20 내지 1000mm×0.5 내지 100mm인 것이 바람직하고, 20 내지 1000mm×1 내지 50mm인 것이 보다 바람직하다. 특히, 직사각형 시트의 변 중, 본 발명의 적층체의 변과 직교하는 측의 변(예를 들어 상기의 형태 2이면, 도 4에 도시한 단면에 평행한 변)의 길이(형태 2의 경우이면「27b」로 나타내어지는 부분의 길이)는 10 내지 2000mm이면 되고, 20 내지 1000mm인 것이 바람직하고, 40 내지 1000mm인 것이 보다 바람직하다.
또한, 면적으로서는 0.5 내지 2000㎠이면 되고, 1 내지 1000㎠인 것이 바람직하고, 2 내지 500㎠인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위이면, 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 표시 장치용 부재를 형성할 때에, 장해가 되지 않는다는 점에서 바람직하다.
또한, 여기서 말하는 시트의「끼워져 있지 않은 부분(잔부)의 일부이며, 상기 박판 유리 기판에도 상기 지지 유리 기판에도 접하고 있지 않은 부분」이라 함은, 예를 들어 상기의 형태 2의 경우이면, 부호 27b의 부분이 갖는 2개의 주면 중, 지지 유리 기판(28)의 제1 주면과 단부에 있어서 접하고 있는 쪽의 주면의 면적을 의미하는 것으로 한다.
시트의 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판에 끼워져 있지 않은 부분이며, 상기 박판 유리 기판 또는 상기 지지 유리 기판에 접하고 있는 부분의 크기는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 0 내지 2000㎠이면 되고, 0 내지 1000㎠인 것이 바람직하고, 0 내지 500㎠인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위는 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판의 크기의 차이와 시트의 설치되는 개소에 의해 필연적으로 결정되는 것이다.
또한, 여기서 말하는 시트의「끼워져 있지 않은 부분이며, 상기 박판 유리 기판 또는 상기 지지 유리 기판에 접하고 있는 부분」이라 함은, 예를 들어 상기의 형태 2의 경우이면, 부호 27c의 부분이 갖는 2개의 주면 중, 지지 유리 기판(28)의 제1 주면과 접하고 있는 쪽의 주면의 면적을 의미하는 것으로 한다.
시트는 상기 지지 유리 기판의 제1 주면에 고정되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기에서 설명한「시트의 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판에 끼워져 있는 부분」이 상기 지지 유리 기판의 제1 주면에 고정되어 있는 것이 보다 바람직하다. 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판의 박리가 보다 용이해지기 때문이다.
시트를 상기 지지 유리 기판의 제1 주면에 고정하는 방법은 한정되지 않는다. 용이하게 박리되지 않는 방법이면 된다. 예를 들어 접착제, 점착제를 사용하여 고정할 수 있다. 접착제로서는 우레탄계, 아크릴계, 에폭시계, 실리콘계의 접착제를 들 수 있다. 또한, 무기계의 접착제이어도 된다. 이러한 중에서도 에폭시계, 아크릴계, 실리콘계의 접착제 또는 무기계의 접착제인 것이 바람직하다. 내열성이 높기 때문이다.
시트의 두께는 특별히 한정되지 않는다. 상기 수지층과 동일해도 되지만, 그것보다 약간 두꺼운 것이 바람직하고, 5 내지 20μm 두꺼운 것이 보다 바람직하다. 시트가 상기 수지층의 두께보다 약간 두꺼우면, 상기 박판 유리 기판과 시트와 상기 지지 유리 기판이 밀착되기 쉬우므로 바람직하다. 또한, 시트의 두께가 상기 수지층의 두께보다 지나치게 두꺼우면, 상기 박판 유리 기판과 상기 수지층과 상기 지지 유리 기판이 밀착되기 어려워져, 본 발명의 적층체를 제조하는 과정에서, 상기 박판 유리 기판 또는 상기 지지 유리 기판을 파손할 우려가 있다.
상기 수지층의 두께가 5 내지 100μm인 경우에, 시트의 두께가 5 내지 120μm인 것이 바람직하고, 또한 시트 쪽이 5 내지 20μm 두꺼운 것이 보다 바람직하다.
시트의 재질은 특별히 한정되지 않지만, 유기 수지 또는 금속으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 유기 수지 중에서도, 5％ 가열 질량 감소 온도가 200℃ 이상인 유기 수지인 것이 바람직하다. 이 온도는 250℃ 이상인 것이 보다 바람직하고, 300℃ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 본 발명의 적층체를 가열 공정에 제공해도, 용융 등의 형태 변화가 발생하기 어렵기 때문이다.
5％ 가열 질량 감소 온도가 200℃ 이상인 유기 수지로서는, 폴리술폰, 폴리에테르술폰, 폴리페닐렌술피드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리이미드, 폴리알릴에스테르, 폴리카르보네이트, 폴리4불화에틸렌 등의 불소 수지 등을 들 수 있다.
시트는, 5％ 가열 질량 감소 온도가 200℃ 이상인 유기 수지제의 필름인 것이 바람직하다.
시트의 상기와 같은 수지만으로 이루어지는 것이면 되지만, 또한 알루미나, 실리카, 탈크, 유리 섬유 등의 무기 충전제를 포함해도 된다. 이들의 함유율은 5 내지 80질량％인 것이 바람직하고, 10 내지 70질량％인 것이 보다 바람직하고, 20 내지 50질량％인 것이 더욱 바람직하다.
시트의 재질이 금속인 경우, 그 중에서도 알루미늄, 금, 구리, 스테인리스가 바람직하다. 내열성이 높기 때문이다.
이와 같이 본 발명의 적층체는, 상기 박판 유리 기판, 상기 지지 유리 기판, 상기 수지층 및 상기 외측 프레임층을 갖고, 또한 시트를 갖는 것이면 된다.
다음에, 본 발명의 지지체를 부착한 표시 장치용 패널에 대해 설명한다.
본 발명의 지지체를 부착한 표시 장치용 패널은, 본 발명의 적층체에 있어서의 상기 박판 유리 기판의 제2 주면에, 또한 표시 장치용 부재를 갖는 것이다.
이 지지체를 부착한 표시 장치용 패널은, 본 발명의 적층체에 있어서의 상기 박판 유리 기판의 제2 주면에, 표시 장치용 부재를 형성함으로써 얻을 수 있다.
표시 장치용 부재라 함은, 종래의 LCD, OLED 등의 표시 장치용의 유리 기판이 그의 표면에 갖는 발광층, 보호층, 컬러 필터, 액정, ITO로 이루어지는 투명 전극 등, 각종 회로 패턴 등을 의미한다.
본 발명의 지지체를 부착한 표시 장치용 패널은, 본 발명의 적층체의 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 TFT 어레이(이하, 간단히「어레이」라 함)가 형성된 것인 것이 바람직하다.
본 발명의 지지체를 부착한 표시 장치용 패널에는, 예를 들어, 어레이가 박판 유리 기판의 제2 주면에 형성된 본 발명의 지지체를 부착한 표시 장치용 패널에, 또한 컬러 필터가 형성된 다른 유리 기판(예를 들어 0.3mm 이상의 두께의 유리 기판)이 접합된 것도 포함된다.
또한, 이러한 지지체를 부착한 표시 장치용 패널로부터, 표시 장치용 패널을 얻을 수 있다. 지지체를 부착한 표시 장치용 패널로부터, 후술하는 바와 같은 방법으로, 박판 유리 기판과 지지 유리 기판에 고정되어 있는 수지층을 박리하여, 표시 장치용 부재 및 박판 유리 기판을 갖는 표시 장치용 패널을 얻을 수 있다.
또한, 이러한 표시 장치용 패널로부터 표시 장치를 얻을 수 있다. 표시 장치로서는 LCD, OLED를 들 수 있다. LCD로서는 TN형, STN형, FE형, TFT형, MIM형을 들 수 있다.
다음에, 본 발명의 적층체의 제조 방법을 설명한다.
본 발명의 적층체의 제조 방법은 특별히 한정되지 않지만, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상의 내측 영역에 상기 수지층을 형성하여 고정하는 수지층 형성 공정과, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상의 외측 영역에 상기 외측 프레임층을 형성하여 고정하는 외측 프레임층 형성 공정과, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면과, 상기 수지층 및 상기 외측 프레임층을 밀착하는 밀착 공정을 구비하는, 유리 적층체의 제조 방법인 것이 바람직하다. 이러한 제조 방법을, 이하에서는「본 발명의 제조 방법」이라고도 한다.
수지층 형성 공정에 대해 설명한다.
처음에 박판 유리 기판 및 지지 유리 기판을 준비한다.
박판 유리 기판 및 지지 유리 기판의 제조 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 종래 공지의 방법으로 제조할 수 있다. 예를 들어 종래 공지의 유리 원료를 용해하여 용융 유리로 한 후, 플로트법, 퓨전법, 다운 드로우법, 슬롯 다운법, 리드로우법 등에 의해 판 형상으로 성형하여 얻을 수 있다.
이와 같이 하여 제조한 지지 유리 기판의 표면(제1 주면)의 내측 영역에 수지층을 형성한다. 여기서 내측 영역이라 함은, 지지 유리 기판의 제1 주면 상이며, 후에 설명하는 외측 영역의 내측인 영역을 의미한다.
예를 들어 필름 형상의 수지를 지지 유리 기판의 표면에 접착하는 방법을 들 수 있다. 구체적으로는 필름의 표면에 높은 접착력을 부여하기 위해 표면 개질 처리(프라이밍 처리)를 행하여, 지지 유리 기판의 제1 주면에 접착하는 방법을 들 수 있다. 예를 들어, 실란 커플링제와 같은 화학적으로 밀착력을 향상시키는 화학적 방법(프라이머 처리)이나, 플레임(화염) 처리와 같이 표면 활성기를 증가시키는 물리적 방법, 샌드블라스트 처리와 같이 표면의 조도를 증가시킴으로써 걸림을 증가시키는 기계적 처리 방법 등이 예시된다.
또한, 예를 들어 공지의 방법에 의해 수지층으로 되는 수지 조성물을 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 코트하는 방법을 들 수 있다. 공지의 방법으로서는 스프레이 코트법, 다이 코트법, 스핀 코트법, 딥 코트법, 롤 코트법, 바 코트법, 스크린 인쇄법, 그라비아 코트법을 들 수 있다. 이러한 방법 중에서, 수지 조성물의 종류에 따라서 적절하게 선택할 수 있다.
예를 들어, 무용제형의 박리지용 실리콘을 수지 조성물로서 사용한 경우, 다이 코트법, 스핀 코트법 또는 스크린 인쇄법이 바람직하다.
또한, 수지 조성물을 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 코트하는 경우, 그의 도포 시공량은 1 내지 100g/㎡인 것이 바람직하고, 5 내지 20g/㎡인 것이 보다 바람직하다.
예를 들어 부가 반응형 실리콘으로 이루어지는 수지층을 형성하는 경우, 직쇄상의 디메틸폴리실록산을 분자 내에 포함하는 실리콘(주제), 가교제 및 촉매를 포함하는 수지 조성물을, 상기의 스프레이 코트법 등의 공지의 방법에 의해 지지 유리 기판 상에 도포 시공하고, 그 후에 가열 경화시킨다. 가열 경화 조건은, 촉매의 배합량에 따라서도 상이하지만, 예를 들어, 주제 및 가교제의 합계량 100질량부에 대해, 백금계 촉매를 2질량부 배합한 경우, 대기 중에서 50℃ 내지 250℃, 바람직하게는 100℃ 내지 200℃에서 반응시킨다. 또한, 이 경우의 반응 시간은 5 내지 60분간, 바람직하게는 10 내지 30분간으로 한다. 낮은 실리콘 이행성을 갖는 실리콘 수지층으로 하기 위해서는, 실리콘 수지층 중에 미반응의 실리콘 성분이 남지 않도록 경화 반응을 가능한 한 진행시키는 것이 바람직하다. 상기와 같은 반응 온도 및 반응 시간이면, 실리콘 수지층 중에 미반응의 실리콘 성분이 남지 않도록 할 수 있으므로 바람직하다. 상기한 반응 시간보다 지나치게 길거나 반응 온도가 지나치게 높은 경우에는, 실리콘 수지의 산화 분해가 동시에 일어나 저분자량의 실리콘 성분이 생성되어, 실리콘 이행성이 높아질 가능성이 있다. 실리콘 수지층 중에 미반응의 실리콘 성분이 남지 않도록 경화 반응을 가능한 한 진행시키는 것은, 가열 처리 후의 박리성을 양호하게 하기 위해서도 바람직하다.
또한, 예를 들어 수지층을 박리지용 실리콘을 사용하여 제조한 경우, 지지 유리 기판 상에 도포 시공한 박리지용 실리콘을 가열 경화하여 실리콘 수지층을 형성한 후, 지지 유리 기판의 실리콘 수지 형성면에 박판 유리 기판을 적층시킨다. 박리지용 실리콘을 가열 경화시킴으로써, 실리콘 수지 경화물이 지지 유리 기판의 표면과 화학적으로 결합한다. 또한, 앵커 효과에 의해 실리콘 수지층이 지지 유리 기판의 표면과 결합한다. 이들의 작용에 의해, 실리콘 수지층이 지지 유리 기판에 견고하게 고정된다.
외측 프레임층 형성 공정에 대해 설명한다.
상기와 같은 수지층 형성 공정에 의해 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 수지층을 형성한 후, 또는 형성하기 전에, 또는 형성하면서, 지지 유리 기판의 제1 주면 상의 외측 영역에 외측 프레임층을 형성하여 고정한다.
여기서 외측 영역이라 함은 지지 유리 기판의 제1 주면 상이며, 본 발명의 적층체를 정면에서 본 경우(예를 들어 도 1에 도시한 바와 같은 경우)에, 상기 박판 유리 기판의 외측 모서리보다 내측에 포함되는 영역이며, 또한 상기 박판 유리 기판의 외측 모서리 부근의 영역을 의미한다. 구체적으로는, 예를 들어, 정면에서 본 경우의 박판 유리 기판의 모서리로부터 내측으로 0.5 내지 100mm의 영역, 바람직하게는 0.5 내지 50mm, 보다 바람직하게는 0.5 내지 10mm, 더욱 바람직하게는 0.5 내지 5mm가 외측 영역이다. 박판 유리 기판이 큰 것이면, 이 영역의 크기도 크면 된다.
외측 프레임층 형성 공정에 있어서, 외측 프레임층을 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 형성하는 방법으로서는 이하의 방법을 들 수 있다.
(a) 상기 수지층의 외주부를 따르도록 디스펜서를 이동시키면서 재료를 토출하여 외측 프레임층을 형성하는 방법.
(b) 디스펜서를 고정한 후에, 상기 수지층의 외주부를 따르도록 지지 유리 기판을 이동시키면서 상기 디스펜서로부터 재료를 토출하여 외측 프레임층을 형성하는 방법.
(c) 상기 수지층의 외주부의 형상과 동일한 형태의 투과부를 갖는 스크린을 사용하여 스크린 인쇄함으로써 외측 프레임층을 형성하는 방법.
(d) 상기 수지층을 개재하여 박판 유리 기판과 지지 유리 기판을 밀착시켜 유리 적층체로 한 후, 상압 또는 진공 하에서 모세관 현상에 의해 상기 유리 적층체의 외주부로부터 재료를 주입하여 외측 프레임층을 형성하는 방법.
(e) 상기 수지층을 개재하여 박판 유리 기판과 지지 유리 기판을 밀착시켜 유리 적층체로 한 후, 증착, 스퍼터링 또는 화학 기상 성장 등에 의해 상기 수지층의 노출부를 덮도록 외측 프레임층을 형성하는 방법.
(f) 지지 유리 기판 상에 수지층을 형성한 후, 증착, 스퍼터링 또는 화학 기상 성장 등에 의해 상기 수지층의 단부에 외측 프레임층을 형성하는 방법.
예를 들어 폴리이미드 수지로 이루어지는 외측 프레임층을 형성하는 경우, 그의 전구체인 폴리아믹산의 바니시를 상기의 스크린 인쇄법 등의 공지의 방법에 의해 지지 유리 기판 상에 도포 시공하고, 그 후에 가열 경화시켜, 외측 프레임층을 얻을 수 있다.
밀착 공정에 대해 설명한다.
상기와 같은 방법으로 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 수지층을 형성하고, 수지층의 표면에 박판 유리 기판을 적층한다.
박판 유리 기판과 수지층은, 매우 근접한, 마주보는 고체 분자간에 있어서의 반데르발스력에 기인하는 힘, 즉, 밀착력에 의해 수지층과 밀착된다. 이 경우, 지지 유리 기판과 박판 유리 기판을 적층시킨 상태로 유지할 수 있다.
지지 유리 기판에 고정된 수지층의 표면에 박판 유리 기판을 적층시키는 방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 공지의 방법을 사용하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 상압 환경 하에서 수지층의 표면에 박판 유리 기판을 겹친 후, 롤이나 프레스를 사용하여 수지층과 박판 유리 기판을 압착시키는 방법을 들 수 있다. 롤이나 프레스로 압착함으로써 수지층과 박판 유리 기판이 보다 밀착되므로 바람직하다. 또한, 롤 또는 프레스에 의한 압착에 의해, 수지층과 박판 유리 기판 사이에 혼입되어 있는 기포가 용이하게 제거되므로 바람직하다.
진공 라미네이트법이나 진공 프레스법에 의해 압착하면 기포의 혼입의 억제나 양호한 밀착의 확보가 보다 바람직하게 행해지므로 더욱 바람직하다. 진공 하에서 압착함으로써, 미소한 기포가 잔존한 경우이어도 가열에 의해 기포가 성장하는 일이 없어, 박판 유리 기판의 왜곡 결함으로 이어지기 어렵다는 이점도 있다.
또한, 이러한 밀착 공정에 의해, 외측 프레임층과 박판 유리 기판을 밀착할 수 있다. 예를 들어 상기 외측 프레임층 형성 공정에 있어서 무기 재료로 이루어지는 외측 프레임층을 형성한 경우, 당해 외측 프레임층을 형성한 후, 시간이 경과하지 않은 동안에 박판 유리 기판을 밀착시키는 것이 바람직하다.
박판 유리 기판의 제1 주면과 외측 프레임층의 밀착이 보다 견고해져, 외측 프레임층을 박판 유리 기판의 제1 주면에 의해 견고하게 고정할 수 있기 때문이다.
또한, 예를 들어 외측 프레임층을 형성한 후, 당해 외측 프레임층에 있어서의 박판 유리 기판의 제1 주면과 밀착하는 면에 예를 들어 접착제 등을 도포하고, 그 후, 박판 유리 기판을 밀착시켜, 외측 프레임층을 고정해도 된다.
수지층의 표면에 박판 유리 기판을 밀착시킬 때에는, 박판 유리 기판의 표면을 충분히 세정하여, 클린도가 높은 환경에서 적층하는 것이 바람직하다. 수지층과 박판 유리 기판 사이에 이물질이 혼입되어도, 수지층이 변형되므로 박판 유리 기판의 표면의 평탄성에 영향을 미치는 일은 없지만, 클린도가 높을수록 그 평탄성은 양호해지므로 바람직하다.
전술한 시트를 갖는 형태 2의 본 발명의 적층체를 형성하는 경우는, 상기 밀착 공정보다 전단계에, 또한, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상 및/또는 상기 수지층의 표면 상에 시트의 일부를 고정하는 시트 고정 공정을 구비한다.
시트를 부착하는 방법으로서는, 예를 들어 시트를 지지 유리 기판의 표면에 접착하는 방법을 들 수 있다. 구체적으로는 시트의 표면에 높은 접착력을 부여하기 위해 표면 개질 처리하여, 지지 유리 기판의 제1 주면에 접착하는 방법을 들 수 있다.
이와 같이 하여 본 발명의 적층체를 제조할 수 있다.
다음에, 본 발명의 지지체를 부착한 표시 장치용 패널의 제조 방법을 설명한다.
본 발명의 지지체를 부착한 표시 장치용 패널의 제조 방법은, 본 발명의 적층체에 있어서의 상기 박판 유리 기판의 제2 주면에, 표시 장치용 부재를 형성하는 공정을 구비한다.
구체적으로는, 예를 들어 상기와 같이 하여 제조한 본 발명의 적층체에 있어서의 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 표시 장치용 부재를 형성한다.
표시 장치용 부재는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 LCD가 갖는 어레이나 컬러 필터를 들 수 있다. 또한, 예를 들어 OLED가 갖는 투명 전극, 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층을 들 수 있다.
이러한 표시 장치 부재를 형성하는 방법도 특별히 한정되지 않고, 종래 공지의 방법과 마찬가지이면 된다.
예를 들어 표시 장치로서 TFT-LCD를 제조하는 경우, 종래 공지의 유리 기판 상에 어레이를 형성하는 공정, 컬러 필터를 형성하는 공정, 어레이가 형성된 유리 기판과 컬러 필터가 형성된 유리 기판을 접합하는 공정(어레이ㆍ컬러 필터 접합 공정) 등의 각종 공정과 마찬가지이면 된다. 보다 구체적으로는, 이들 공정에서 실시되는 처리로서, 예를 들어 순수 세정, 건조, 성막, 레지스트 도포, 노광, 현상, 에칭 및 레지스트 제거를 들 수 있다. 또한, 어레이ㆍ컬러 필터 접합 공정을 실시한 후에 행해지는 공정으로서, 액정 주입 공정 및 상기 처리의 실시 후에 행해지는 주입구의 밀봉 공정이 있고, 이들 공정에서 실시되는 처리를 들 수 있다.
또한, OLED를 제조하는 경우를 예로 들면, 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 유기 EL 구조체를 형성하기 위한 공정으로서, 투명 전극을 형성하는 공정, 홀 주입층ㆍ홀 수송층ㆍ발광층ㆍ전자 수송층 등을 증착하는 공정, 밀봉 공정 등의 각종 공정을 포함하고, 이들 공정에서 실시되는 처리로서, 구체적으로는 예를 들어, 성막 처리, 증착 처리, 밀봉판의 접착 처리 등을 들 수 있다.
이와 같이 하여 본 발명의 지지체를 갖는 적층체를 제조할 수 있다.
다음에, 본 발명의 표시 장치용 패널의 제조 방법을 설명한다.
본 발명의 표시 장치용 패널은, 상기와 같은 제조 방법에 의해 얻어지는 지지체를 부착한 표시 장치용 패널에 있어서의 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리하는 분리 공정을 구비한다.
상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리하는 방법은 특별히 한정되지 않는다.
예를 들어, 상기 박판 유리 기판을 상기 지지 유리 기판으로부터 수직 방향으로 떼어놓는 힘을 부여하면 되고, 면도날 등으로 단부에 박리의 실마리 부분을 넣거나, 본 발명의 적층체의 단부면으로의 에어 등의 유체를 분사하여 박리할 수 있다. 또한, 상기 외측 모서리부에 레이저광을 조사하여 박리하는 것도 바람직하다. 또한, 본 발명의 적층체가 전술한 시트를 갖는 형태 2의 경우이면, 시트를 인장함으로써 용이하게 박리할 수 있다.
레이저광을 조사하는 박리 방법 및 시트를 인장하는 박리 방법에 대해, 이하에 설명한다.
상기 외측 프레임층에 레이저광을 조사하여 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리하는 방법에 따르면, 용이하게 박리할 수 있으므로 바람직하다.
상기 박판 유리 기판 및/또는 상기 지지 유리 기판너머(바람직하게는 지지 유리 기판너머) 상기 외측 프레임층에 레이저광을 조사함으로써, 상기 외측 프레임층을 용융 또는 산화 분해시키면, 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판의 접착력이 약해지므로, 양 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있다. 레이저광을 조사한 후에, 상기의 면도날을 사용한 방법이나 유체를 분사하는 방법을 적용하면, 보다 용이하게 박리할 수 있으므로 바람직하다.
레이저광으로서는 박판 유리 기판 또는 지지 유리 기판에 있어서의 투과성이 높고, 상기 외측 프레임층에 흡수되기 쉬운 것이 바람직하다. 예를 들어 YAG 또는 YVO4 레이저의 기본파(1064nm) 또는 그의 2배파(532nm)의 레이저광이나, 반도체 다이오드 레이저(AlGaAs로 650 내지 905nm 등), Ti 도프 사파이어 레이저(660 내지 986nm), He-Ne 레이저(543 내지 633nm) 및 각종 엑시머 레이저 등을 들 수 있다.
레이저광은, 예를 들어 레이저 조사 장치를 사용하여, 상기 박판 유리 기판 및/또는 상기 지지 유리 기판너머(바람직하게는 지지 유리 기판너머) 외측 프레임층에 레이저광을 조사할 수 있다. 그와 같이 하면 외측 프레임층의 산화나 분해, 또는 열적 응력의 왜곡 발생에 의한 파괴로 인해, 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판의 접착력이 약해진다. 따라서, 양 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있다.
여기서, 레이저광을 조사하여 외측 프레임층을 파괴하면, 외측 프레임층의 잔사가 발생하는 경우가 있다.
이 경우, 박리 후에 유기 용제나 산ㆍ알칼리 등의 약액 처리 또는 스크럽 세정 처리에 의해 제거할 수 있다.
전술한 시트를 갖는 형태 2의 경우는, 지지체를 부착한 표시 장치용 패널에 있어서의 상기 시트의 상기 잔부(양 유리 기판에 끼워져 있지 않은 부분)를 인장하여, 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리할 수 있다. 구체적인 박리 방법을 도 5를 사용하여 설명한다.
도 5는 수평한 정반(51) 상에, 박판 유리 기판(52)이 하측, 지지 유리 기판(58)이 상측이 되도록 적재하고, 박판 유리 기판(52)의 제2 주면을 평평한 상태에서 정반(51)에 진공 흡착하고, 시트(57)를 도 7에 도시한 바와 같이 상방으로 인장하여, 지지 유리 기판(58)을 들어올린다. 그러면, 박판 유리 기판(52)과 수지층(54)의 계면에 간극이 생기고, 여기를 기점으로 하여 공기층이 계면에 인입됨으로써 박리가 진행된다. 여기서, 이 간극을 향해 공기를 불어넣으면 당해 계면에 있어서의 박리 현상이 보다 진행되기 쉬워지므로 더욱 바람직하다.
이러한 방법으로 본 발명의 지지체를 갖는 적층체 중 지지체의 부분을 박리하고, 필요한 경우는 더 가공하여, 본 발명의 표시 장치용 패널을 얻을 수 있다.
실시예
(실시예 1)
이하와 같은 방법으로, 전술한 도 1, 도 2를 사용하여 설명한 형태 1의 유리 적층체와, 대략 마찬가지의 유리 적층체를 제조했다. 형태 1과 상이한 부분은 박판 유리 기판 및 지지 유리 기판의 크기뿐이다. 형태 1의 유리 적층체에 있어서는, 박판 유리 기판(12)이 지지 유리 기판(18)보다 주면 면적이 작지만, 실시예 1에서 제조하는 유리 적층체에서는 양 유리 기판의 크기가 동일하다.
처음에, 세로 720mm, 가로 600mm, 판 두께 0.4mm, 선팽창 계수 38×10-7/℃의 지지 유리 기판(아사히 가라스 가부시키가이샤제, AN100)을 순수 세정, UV 세정하여 표면을 청정화했다.
다음에, 무용제 부가 반응형 박리지용 실리콘(신에쯔 실리콘사제, KNS-320A(점도: 0.40Paㆍs)) 100질량부와, 백금계 촉매(신에쯔 실리콘사제, CAT-PL-56) 2질량부의 혼합물을, 지지 유리 기판 상의 내측 영역에, 세로 710mm, 가로 590mm의 크기로 스크린 인쇄기에 의해 도포 시공했다(도포 시공량 30g/㎡). 여기서 내측 영역은, 외측 전체 둘레에 있어서 균등하게 폭 5mm의 외측 영역이 얻어지는 영역으로 했다.
그리고, 180℃에서 30분간 대기 중에서 가열 경화하여 두께 20μm의 실리콘 수지층을 얻었다.
다음에, 폴리이미드의 전구체인 폴리아믹산 용액(「U-바니시-S」우베고산사제, 18질량％, N-메틸-2-피롤리돈 용액)을, 전술한 폭 5mm의 외측 영역의 전체에 스크린 인쇄에 의해 인쇄했다. 여기서 내측 영역에 형성한 실리콘 수지층의 단부와 접하도록 폴리아믹산 용액을 인쇄했다. 또한, 폴리아믹산 용액의 WET 두께는 160μm였다. 다음에, 300℃에서 60분간 대기 중에서 가열하여, 폴리이미드로 이루어지는 외측 프레임층을 형성했다. 외측 프레임층의 두께는 20μm였다. 또한, 이 가열에 의해, 내측 영역에 형성한 실리콘 수지층은 전혀 변화하고 있지 않았다.
다음에, 세로 720mm, 가로 600mm, 판 두께 0.3mm, 선팽창 계수 38×10-7/℃의 박판 유리 기판(아사히 가라스 가부시키가이샤제, AN100)의 제1 주면(후에 실리콘 수지층과 접촉시키는 측의 면)을 순수 세정, UV 세정하여 청정화했다. 그리고, 지지 유리 기판의 실리콘 수지층의 표면과 박판 유리 기판을, 실온 하, 진공 프레스에 의해 접합하여 유리 적층체를 얻었다.
이와 같이 하여, 본 발명의 적층체의 일 실시 형태인「유리 적층체 A」를 2개 제조했다.
다음에, 2개의 유리 적층체 A 중 1개에 대해, 450℃, 1시간, 대기 중에서 가열 처리했다. 또한, 별도로 고진공 하(1.0×10-5Pa)에 있어서 실온으로부터 450℃로 유리 적층체 A를 승온했지만, 유리 적층체 A로부터 가스가 발생하는 일은 없었다. 대기 중에서 가열 처리한 후의 것을「유리 적층체 A-2」로 한다. 또한, 가열 처리를 하지 않은 다른 1개의 유리 적층체 A를「유리 적층체 A-1」로 한다.
다음에, 유리 적층체 A-1 및 유리 적층체 A-2를 하기의 박리 시험 1에 제공하여, 박리성을 평가했다.
<박리 시험 1>
유리 적층체를, 지지 유리 기판이 상측, 박판 유리 기판이 하측으로 되도록 정반 상에 설치하고, 박판 유리 기판을 정반 상에 진공 흡착했다.
다음에, 이 상태에서, 상측으로부터 외측 프레임층으로 지지 유리 기판너머 YVO4 레이저광을 조사했다. 그리고, 외측 프레임층의 전체를 탄화하여 파괴했다. 여기서 레이저광의 조사에는 LASERTEC사제 Q 스위치 YVO4 레이저 장치를 사용했다. 또한, 레이저광의 조사 조건은, 파장: 1064nm, 출력: 1W, 스폿 직경: 30μm, 주파수: 50kHz, 스캔 속도: 250mm/s, 스캔: 3회로 했다. 즉, 외측 프레임층의 폭 방향으로 레이저광을 스폿 조사하면서 이동시키고, 폭 방향의 동일 개소를 1.5 왕복시킨 후, 폭 방향과 수직 방향(즉 외측 프레임층의 길이 방향)으로 1회의 조사 스폿 직경분(30μm), 레이저광 조사 위치를 이동시키고, 다시, 폭 방향의 동일 개소를 1.5 왕복시킨다. 그리고 이것을 반복함으로써, 외측 프레임층의 전체에 레이저광을 조사했다.
다음에, 유리 적층체의 박판 유리 기판을 정반 상에서 진공 흡인한 상태를 유지한 채, 외측 프레임층을 파괴하여 형성된 지지 유리 기판과 박판 유리 기판 사이의 간극을 손잡이로 하여, 지지 유리 기판을 수직 상측으로 인장하였다.
유리 적층체 A-1 및 유리 적층체 A-2의 각각에 대해, 이러한 박리 시험 1을 행한 결과, 어느 유리 적층체의 경우도, 실리콘 수지층과 박판 유리 기판의 계면에 단부로부터 공기층이 형성되고, 그 공기층이 확대되어, 실리콘 수지층이 부착된 지지 유리 기판과 박판 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있었다. 또한, 박리 후에 박판 유리 기판의 표면에 부착되어 있었던 외측 프레임층의 잔사는, 알코올을 사용한 스크럽 세정으로 용이하게 제거할 수 있었다. 또한, 유리 적층체 A-2의 실리콘 수지층의 단부는 산화되지 않았다.
(실시예 2)
열가소성 폴리이미드 수지(미쯔이 가가꾸사제, AURUM PLC 450C(5질량％ 가열 질량 감소 온도=570℃))를 사용하여, 용융한 후, 압출 디스펜스법에 의해 외측 프레임층을 형성한 것 이외에는 모두 실시예 1과 마찬가지로 한 조작을 행하여, 2개의 유리 적층체를 제조했다. 그리고 실시예 1의 경우와 마찬가지로 하여, 가열 처리하지 않은「유리 적층체 B-1」과, 가열 처리한「유리 적층체 B-2」를 얻었다. 또한, 별도로 고진공 하(1.0×10-5Pa)에 있어서 실온으로부터 450℃로 유리 적층체 B를 승온했지만, 유리 적층체 B로부터 가스가 발생하는 일은 없었다. 얻어진 유리 적층체 B-1 및 유리 적층체 B-2에 있어서 박판 유리 기판은, 실리콘 수지층과 기포를 갖지 않고 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호했다.
또한, 유리 적층체 B-1 및 유리 적층체 B-2의 각각에 대해 상기의 박리 시험 1을 행한 결과, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 용이하게 박리할 수 있고, 실리콘 수지층의 단부면도 건전했다. 마찬가지의 스크럽 세정에 의해 잔사를 제거할 수도 있었다.
(실시예 3)
실시예 3은 실시예 1과 마찬가지이지만, 지지 유리 기판, 수지층, 외측 프레임층 및 박판 유리 기판의 종류, 크기, 두께 등이 상이한 것을 사용했다.
지지 유리 기판으로서, 세로 720mm, 가로 600mm, 판 두께 0.6mm, 선팽창 계수 38×10-7/℃의 유리 기판(아사히 가라스 가부시키가이샤제, AN100)을 사용했다.
또한, 수지층을 형성하기 위한 수지로서, 양쪽 말단에 비닐기를 갖는 직쇄상 폴리오르가노실록산(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제, 상품명「8500」)과, 분자 내에 히드로실릴기를 갖는 메틸히드로겐폴리실록산(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제, 상품명「12031」)을 사용했다. 그리고, 이것을 백금계 촉매(아라까와 가가꾸 고교 가부시끼가이샤제, 상품명「CAT12070」)와 혼합하여 혼합물을 제조하고, 세로 700mm, 가로 580mm의 크기로, 스크린 인쇄기에 의해 도포 시공하고(도포 시공량 20g/㎡), 180℃에서 30분간 대기 중에서 가열 경화하여 두께 20μm의 실리콘 수지층을 형성했다. 여기서, 히드로실릴기와 비닐기의 몰비는 1/1로 되도록, 직쇄상 폴리오르가노실록산과 메틸히드로겐폴리실록산의 혼합비를 조정했다. 백금계 촉매는, 직쇄상 폴리오르가노실록산과 메틸히드로겐폴리실록산의 합계 100질량부에 대해 5질량부 첨가했다.
또한, 외측 프레임층을 형성하기 위한 재료로서, 페이스트 상태 물질인 오데크사제 세라마본드 835(주제로서 지르코니아, 결합제로서 실리케이트 화합물을 포함하는 것)를 사용했다. 그리고, 디스펜서를 사용하여, 그 페이스트를 폭 20mm의 외측 영역에, 폭 5mm로 도포했다. 여기서 페이스트가 실리콘 수지층의 단부면에 접하도록 했다. 또한, 페이스트의 두께는 20μm 초과가 되도록 했다.
또한, 박판 유리 기판으로서, 세로 720mm, 가로 600mm, 두께 0.1mm, 선팽창 계수 50×10-7/℃의 유리 기판(아사히 가라스 가부시키가이샤제 AN100)을 사용했다.
이 박판 유리 기판의 제1 주면을 순수 세정, UV 세정하여 청정화한 후, 지지 유리 기판의 실리콘 수지층의 표면과 박판 유리 기판을, 실온 하, 진공 프레스에 의해 접합했다. 그러면, 페이스트는 양 유리 기판에 눌러 찌부러뜨려 연장되어, 두께는 20μm로 되었다. 그 후, 100℃에서 120분간 대기 중에서 가열한 결과, 페이스트는 경화하여, 두께 20μm, 폭 20mm의 외측 프레임층이 형성되었다.
이와 같이 하여, 가열 처리하지 않은「유리 적층체 C-1」과, 가열 처리한「유리 적층체 C-2」를 얻었다. 또한, 유리 적층체 C를 얻는 과정에 있어서도, 유리 적층체 A의 경우와 마찬가지로, 별도로 고진공 하(1.0×10-5Pa)에 있어서 실온으로부터 450℃로 유리 적층체 C를 승온했지만, 유리 적층체 C로부터 가스가 발생하는 일은 없었다. 얻어진 유리 적층체 C-1 및 유리 적층체 C-2에 있어서 박판 유리 기판은, 실리콘 수지층과 기포를 갖지 않고 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호했다.
또한, 유리 적층체 C-1 및 유리 적층체 C-2의 각각에 대해 상기의 박리 시험 1을 행했다. 단, 레이저광의 조사 출력은 1W가 아니라 7W로 했다. 그 결과, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 용이하게 박리할 수 있고, 실리콘 수지층의 단부면도 건전했다. 마찬가지의 스크럽 세정에 의해 잔사를 제거할 수도 있었다. 또한, 유리 적층체 C-2의 경우의 경화 후의 외측 프레임층의 열팽창 계수는 지지 유리 기판과 대략 동일했다. 그로 인해, 450℃ 처리 후에 지지 유리 기판의 휨이나 외측 프레임층의 박리는 발생하지 않았다.
(실시예 4)
본 예에서는, 실시예 3에서 얻은 유리 적층체 C-1을 사용하여 LCD를 제조한다.
2매의 유리 적층체 C-1을 준비하여, 1매는 어레이 형성 공정에 제공하여 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 어레이를 형성한다. 나머지 1매는 컬러 필터 형성 공정에 제공하여 박판 유리 기판의 제2 주면 상에 컬러 필터를 형성한다. 어레이가 형성된 유리 적층체와, 컬러 필터가 형성된 유리 적층체를 접합한 후, 한쪽 면씩 외측 프레임층에 레이저광을 조사하여 파괴함으로써, 각각의 지지 유리 기판을 분리한다. 분리 후의 박판 유리 기판의 표면에는, 강도 저하로 이어지는 손상은 보여지지 않는다.
계속해서, 유리 기판을 절단하여, 세로 51mm×가로 38mm의 168개의 셀로 분단한 후, 액정 주입 공정 및 주입구의 밀봉 공정을 실시하여 액정 셀을 형성한다. 형성된 액정 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD를 얻는다. 이와 같이 하여 얻어지는 LCD는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
(실시예 5)
본 예에서는, 실시예 1에서 얻은 유리 적층체 A-1을 사용하여 LCD를 제조한다.
2매의 유리 적층체 A-1을 준비하여, 1매는 어레이 형성 공정에 제공하여 박판 유리 기판의 제2 주면에 어레이를 형성한다. 나머지 1매는 컬러 필터 형성 공정에 제공하여 박판 유리 기판의 제2 주면에 컬러 필터를 형성한다. 어레이가 형성된 유리 적층체와, 컬러 필터가 형성된 유리 적층체를 접합한 후, 한쪽 면씩 외측 프레임층에 레이저광을 조사하여 파괴함으로써, 각각 지지 유리 기판을 분리한다. 분리 후의 박판 유리 기판의 표면에는 강도 저하로 이어지는 손상은 보여지지 않는다.
계속해서, 화학적 에칭 처리에 의해 각각의 박판 유리 기판의 두께를 0.15mm로 한다. 화학적 에칭 처리 후의 박판 유리 기판의 표면에는 광학적으로 문제가 되는 에치 피트의 발생은 보여지지 않는다.
그 후, 박판 유리 기판을 절단하여, 세로 51mm×가로 38mm의 168개의 셀로 분단한 후, 액정 주입 공정 및 주입구의 밀봉 공정을 실시하여 액정 셀을 형성한다. 형성된 액정 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD를 얻는다. 이와 같이 하여 얻어지는 LCD는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
(실시예 6)
본 예에서는, 실시예 2에서 얻은 유리 적층체 B-1과, 두께 0.7mm의 무알칼리 유리 기판(아사히 가라스 가부시키가이샤제 AN-100)을 사용하여 LCD를 제조한다.
유리 적층체를 준비하여, 컬러 필터 형성 공정에 제공하여 유리 적층체의 박판 유리 기판의 제2 주면에 컬러 필터를 형성한다. 한편, 무알칼리 유리 기판은 어레이 형성 공정에 제공하여 한쪽의 주면 상에 어레이를 형성한다.
컬러 필터가 형성된 유리 적층체와, 어레이가 형성된 무알칼리 유리 기판을 접합한 후, 한쪽 면씩 외측 프레임층에 레이저광을 조사하여 파괴함으로써, 유리 적층체로부터 지지 유리 기판을 분리한다. 분리 후의 박판 유리 기판 표면에는 강도 저하로 이어지는 손상은 보여지지 않는다.
계속해서, 지지 유리 기판을 분리한 것을 세로 51mm×가로 38mm의 168개의 셀에 레이저 커터 또는 스크라이브 브레이크법을 사용하여 분단한다. 그 후, 액정 주입 공정 및 주입구의 밀봉 공정을 실시하여 액정 셀을 형성한다. 형성된 액정 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD를 얻는다. 이와 같이 하여 얻어지는 LCD는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
(실시예 7)
실시예 7에서는, 실시예 3에서 얻은 유리 적층체 C-1을 사용하여 OLED를 제조한다.
투명 전극을 형성하는 공정, 보조 전극을 형성하는 공정, 홀 주입층ㆍ홀 수송층ㆍ발광층ㆍ전자 수송층 등을 증착하는 공정, 이들을 밀봉하는 공정에 제공하여 유리 적층체의 박판 유리 기판 상에 유기 EL 구조체를 형성한다. 다음에 한쪽 면씩 외측 프레임층에 레이저광을 조사하여 파괴함으로써, 지지 유리 기판을 분리한다. 분리 후의 박판 유리 기판의 표면에는 강도 저하로 이어지는 손상은 보여지지 않는다.
계속해서, 박판 유리 기판을 레이저 커터 또는 스크라이브 브레이크법을 사용하여 절단하여, 세로 41mm×가로 30mm의 288개의 셀로 분단한 후, 유기 EL 구조체가 형성된 유리 기판과 대향 기판을 조립하고, 모듈 형성 공정을 실시하여 OLED를 작성한다. 이와 같이 하여 얻어지는 OLED는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
(비교예 1)
외측 프레임층을 형성하지 않고, 세로 710mm, 가로 590mm의 수지층의 크기를 세로 715mm, 가로 595mm로 한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 한 시험을 행했다. 얻어진 비교예 1에 관한 가열 처리하지 않은「유리 적층체 X-1」및 가열 처리한「유리 적층체 X-2」는, 실리콘 수지층과 기포를 발생시키지 않고 유리 기판이 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호했다.
또한, 유리 적층체 X-1 및 유리 적층체 X-2를, 이하에 나타내는 박리 시험 2에 제공했다.
<박리 시험 2>
유리 적층체를, 지지 유리 기판이 상측, 박판 유리 기판이 하측으로 되도록 정반 상에 설치하고, 박판 유리 기판을 정반 상에 진공 흡착했다. 그리고, 박판 유리 기판과 수지층 사이에 예리한 면도날을 대어, 계면의 단부를 억지로 열어, 서서히 단부로부터 박리했다. 그 결과, 실리콘 수지층과 박판 유리 기판의 계면에 단부로부터 공기층이 형성되고, 그 공기층이 확대되어, 실리콘 수지층이 부착된 지지 유리 기판과 박판 유리 기판을 용이하게 박리할 수 있었다.
그러나, 가열 처리한 것인 유리 적층체 X-2에 있어서의 실리콘 수지층은, 그의 단부면으로부터 5mm 정도가 산화하여 백화되어 있었다. 이와 같이 백화되면, 실리카 분말이 비산하여, 표시 장치의 형성 공정을 오염시킬 우려가 있다.
본 발명을 상세하게 또한 특정 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 다양하게 변경이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에 있어서 명백하다.
본 출원은, 2008년 4월 17일 출원된 일본 특허 출원 2008-108169에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.
본 발명에 따르면, 유리 기판 사이로 혼입된 기포나 진개 등의 이물질에 의한 유리 결함의 발생을 억제하여, 에치 피트를 발생시키지 않고 기존의 제조 라인에서 처리할 수 있고, 밀착된 박판 유리 기판과 수지층을 용이하게 분리할 수 있는 유리 적층체를 제공할 수 있다.
10, 20, 50: 유리 적층체(본 발명의 적층체)
12, 22, 52: 박판 유리 기판
14, 24, 54: 수지층
14α, 24α: 수지층의 단부면
16, 26, 56: 외측 프레임층
16α: 외측 프레임층의 단부면
27: 시트
27α: 시트의 단부면
18, 28, 58: 지지 유리 기판
51: 정반

Claims (14)

  1. 제1 주면과 제2 주면을 갖는 박판 유리 기판,
    제1 주면과 제2 주면을 갖는 지지 유리 기판, 및
    상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판 사이에 배치된 수지층 및 외측 프레임층
    을 갖는 유리 적층체이며,
    상기 수지층이, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면에 고정되어 있고, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면에 대한 박리 용이성을 구비하고, 상기 박판 유리 기판의 제1 주면과 밀착되어 있고,
    상기 외측 프레임층이, 상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상에 있어서, 상기 수지층이 외기와 접하지 않도록 상기 수지층을 둘러싸고 있는 유리 적층체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수지층의 단부면과, 상기 외측 프레임층의 단부면의 적어도 일부가 접하고 있는 유리 적층체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 박판 유리 기판이 TFT 어레이용 유리 기판인 유리 적층체.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 외측 프레임층이, 5％ 가열 질량 감소 온도가 400℃ 이상인 재료로 이루어지는 유리 적층체.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 외측 프레임층이, 폴리이미드 수지, 실리콘 수지 및 무기 재료로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나로 이루어지는 유리 적층체.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수지층이, 아크릴계 수지, 폴리올레핀계 수지, 폴리우레탄 수지 및 실리콘 수지로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나로 이루어지는 유리 적층체.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 외측 프레임층의 폭이 0.5 내지 10mm인 유리 적층체.
  8. 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 유리 적층체에 있어서의 상기 박판 유리 기판의 제2 주면 상에, 또한 TFT 어레이를 갖는 지지체를 부착한 표시 장치용 패널.
  9. 제8항에 기재된 지지체를 부착한 표시 장치용 패널을 사용하여 형성되는 표시 장치용 패널.
  10. 제9항에 기재된 표시 장치용 패널을 갖는 표시 장치.
  11. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 유리 적층체의 제조 방법이며,
    상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상의 내측 영역에 상기 수지층을 형성하여 고정하는 수지층 형성 공정과,
    상기 지지 유리 기판의 제1 주면 상의 외측 영역에 상기 외측 프레임층을 형성하여 고정하는 외측 프레임층 형성 공정과,
    상기 박판 유리 기판의 제1 주면과, 상기 수지층 및 상기 외측 프레임층을 밀착하는 밀착 공정을 포함하는, 유리 적층체의 제조 방법.
  12. 제11항에 기재된 유리 적층체의 제조 방법이, 또한, 얻어진 유리 적층체에 있어서의 상기 박판 유리 기판의 제2 주면에 표시 장치용 부재를 형성하는 공정을 포함하는, 지지체를 부착한 표시 장치용 패널의 제조 방법.
  13. 제12항에 기재된 제조 방법이, 또한, 얻어진 지지체를 부착한 표시 장치용 패널에 있어서의 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리하는 분리 공정을 포함하는, 표시 장치용 패널의 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 분리 공정이, 상기 외측 프레임층에 레이저광을 조사하여 상기 박판 유리 기판과 상기 지지 유리 기판을 분리하는 공정인, 표시 장치용 패널의 제조 방법.
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