JP2015108735A - 電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】無機層14を有する無機層付き支持基板16と、無機層上に剥離可能に積層されたガラス基板18と、を有するガラス積層体10を得る、ガラス積層体製造工程と、ガラス基板の表面上に、電子デバイス用部材付き積層体22を得る、部材形成工程と、無機層の周縁部の一部または全部のみを、レーザ光41の照射により除去し、無機層の除去部位を形成する、照射工程と、電子デバイス用部材付き積層体から無機層付き支持基板を、除去部位を剥離起点として剥離し、ガラス基板および電子デバイス用部材を有する電子デバイスを得る、分離工程と、を備え、無機層の周縁部は、ガラス基板の表面上における電子デバイス用部材の非形成領域に対応する、電子デバイスの製造方法。
【選択図】図3
Description
本発明者らは、特許文献2に記載の技術を踏まえて、支持ガラス側からレーザ光を無機薄膜に全面的に照射した。その結果、剥離性の向上は見られたものの、ガラス基板上の電子デバイス用部材に損傷が生じる場合があることが明らかとなった。これは、レーザ光が、無機薄膜およびガラス基板を透過して、電子デバイス用部材にも照射されたためと考えられる。
(1)ガラス板である支持基板および上記支持基板上に配置された無機層を有する無機層付き支持基板と、上記無機層上に剥離可能に積層されたガラス基板と、を有するガラス積層体を得る、ガラス積層体製造工程と、上記ガラス積層体中の上記ガラス基板の表面上に、電子デバイス用部材を形成し、電子デバイス用部材付き積層体を得る、部材形成工程と、上記電子デバイス用部材付き積層体中の上記無機層の周縁部の一部または全部のみを、レーザ光の照射により除去し、上記無機層の除去部位を形成する、照射工程と、上記電子デバイス用部材付き積層体から上記無機層付き支持基板を、上記除去部位を剥離起点として剥離し、上記ガラス基板および上記電子デバイス用部材を有する電子デバイスを得る、分離工程と、を備え、上記無機層の周縁部は、上記ガラス基板の表面上における上記電子デバイス用部材の非形成領域に対応する、電子デバイスの製造方法。
(2)上記照射工程は、上記レーザ光を上記支持基板側または上記ガラス基板側から上記無機層に照射する工程である、上記(1)に記載の電子デバイスの製造方法。
(3)上記除去部位は、上記無機層の角または辺を含む部位である、上記(1)または(2)に記載の電子デバイスの製造方法。
(4)上記レーザ光の光源が、YAGレーザである、上記(1)〜(3)のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
(5)上記レーザ光のビーム形状が、トップハット型である、上記(1)〜(4)のいずれかに記載の電子デバイスの製造方法。
しかし、本発明は、以下の実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、以下の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
図1は、ガラス積層体の一実施形態の模式的断面図である。
図1に示すように、ガラス積層体10は、支持基板12および無機層14からなる無機層付き支持基板16と、ガラス基板18とを有する。ガラス積層体10中において、無機層付き支持基板16の無機層14の無機層表面14a(支持基板12側とは反対側の表面)と、ガラス基板18の第1主面18aとを積層面として、無機層付き支持基板16とガラス基板18とが剥離可能に積層している。つまり、無機層14は、その一方の面が支持基板12の層に固定されると共に、その他方の面がガラス基板18の第1主面18aに接し、無機層14とガラス基板18との界面は剥離可能に密着されている。言い換えると、無機層14は、ガラス基板18の第1主面18aに対して易剥離性を具備している。
また、剥離可能な密着とは、剥離可能であると同時に、固定されている面の剥離を生じさせることなく剥離可能であることも意味する。つまり、ガラス積層体10において、ガラス基板18と支持基板12とを分離する操作を行った場合、密着された面(無機層14とガラス基板18との界面)で剥離し、固定された面では剥離しないことを意味する。したがって、ガラス積層体10をガラス基板18と支持基板12とに分離する操作を行うと、ガラス積層体10はガラス基板18と無機層付き支持基板16との2つに分離される。
無機層付き支持基板16は、支持基板12と、その表面上に配置(固定)される無機層14とを備える。無機層14は、後述するガラス基板18と剥離可能に密着するように、無機層付き支持基板16中の最外側に配置される。
以下に、支持基板12、および、無機層14の態様について詳述する。
支持基板12は、第1主面と第2主面とを有し、第1主面上に配置された無機層14と協働して、ガラス基板18を支持して補強し、後述する部材形成工程(電子デバイス用部材を製造する工程)において電子デバイス用部材の製造の際にガラス基板18の変形、傷付き、破損などを防止する基板である。
本発明において、支持基板12はガラス板である。支持基板12は、部材形成工程が熱処理を伴う場合、ガラス基板18との線膨張係数の差の小さい材料で形成されることが好ましく、ガラス基板18と同じガラス材料からなるガラス板であることがより好ましい。
無機層14は、支持基板12の主面上に配置(固定)され、ガラス基板18の第1主面18aと接触する層である。無機層14を支持基板12上に設けることにより、高温条件下の長時間処理後においても、ガラス基板18の接着を抑制し、剥離できる。
これらのうち、ガラス基板18の無機層14に対する剥離性がより優れる点で、タングステンシリサイド、窒化アルミニウム、窒化チタン、窒化ケイ素、および炭化ケイ素からなる群から選択される少なくとも1種を含むことが好ましい。
なかでも、窒化ケイ素(以下、「SiN」とも表記する)および/または炭化ケイ素(以下、「SiC」とも表記する)を含むことがより好ましい。上記の成分が好ましい理由としては、メタルシリサイド、窒化物、炭化物、および炭窒化物中に含まれる、Si、NまたはCと、それら元素と組み合わされる元素との間の電気陰性度の差の大きさが起因していると推測される。電気陰性度の差が小さいと、分極が小さく、水との反応で水酸基を生成し難いため、ガラス基板の無機層14に対する剥離性がより良好となる。より具体的には、SiNにおいてはSi元素とN元素との電気陰性度の差が1.14で、AlNにおいてはAl元素とN元素との電気陰性度の差が1.43であり、TiNにおいてはTi元素とN元素との電気陰性度の差が1.50である。3つを比較すると、SiNが電気陰性度の差が最も小さく、ガラス基板18の無機層14に対する剥離性もより優れる。
なお、無機層14には、上記成分が2種以上含まれていてもよい。
このような無機層14の組成は、X線光電子分光法(XPS)により測定できる。
また、窒化物の組成は特に制限されないが、ガラス基板18の剥離性がより優れる点で、Si、Hf、Zr、Ta、Ti、Nb、Na、Co、Al、Zn、Pb、Mg、Sn、In、B、Cr、MoおよびBaからなる群から選択される少なくとも1種の元素を含むことが好ましい。さらに、上記金属/窒素元素比を変化させることによって、無機層14表面のOH基数や表面平坦度を調整し、無機層14とガラス基板18との間の密着力の制御もできる。
また、炭化物および炭窒化物の組成は特に制限されないが、ガラス基板18の剥離性がより優れる点で、Ti、W、Si、Zr、およびNbからなる群から選択される少なくとも1種の元素を含むことが好ましい。さらに、上記金属/炭素元素比を変化させることによって、無機層14表面のOH基数や表面平坦度を調整し、無機層14とガラス基板18との間の密着力の制御もできる。
例えば、無機層14が含有する窒化ケイ素(SiN)は、窒化酸化ケイ素(以下、「SiNO」とも表記する)であってもよく、また、炭化ケイ素(SiC)は、炭化酸化ケイ素(以下、「SiCO」とも表記する)であってもよい。
したがって、本発明においては、無機層14の組成の好適態様として、SiC、SiCO、SiNおよびSiNOからなる群から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。
もっとも、無機層14が含有する酸素が多すぎると、後述するレーザ光41(図3(A)参照)の吸収性が低下して、レーザ光41の照射により無機層14が除去しにくくなり、剥離性が劣る場合がある。
このため、後述するレーザ光41のパワー(フルエンス)が、例えば、同じ7J/cm2であれば、SiCOまたはSiNOにおける酸素含有量は、例えば、7質量%以下が挙げられ、5質量%未満が好ましい。
なお、無機層14が薄すぎると、後述するレーザ光41(図3(A)参照)の吸収性が低下して、レーザ光41の照射により無機層14が除去しにくくなり、剥離性が劣る場合がある。このため、無機層14を除去しやすくし、剥離性をより良好にする観点からは、無機層14の厚さは、10nm超が好ましい。
無機層付き支持基板16の製造方法としては、特に限定されず、公知の方法を採用でき、例えば、蒸着法、スパッタリング法、または、CVD法により、支持基板12上に所定の成分からなる無機層14を設ける方法が挙げられる。
なお、製造条件は、使用される材料等に応じて、適宜最適な条件が選択される。
ガラス基板18は、第1主面18aが無機層14と密着し、無機層14側とは反対側の第2主面18bに後述する電子デバイス用部材が設けられる。
ガラス基板18の種類は、一般的なものであってよく、例えば、LCD、OLEDなどの表示装置用のガラス基板などが挙げられる。ガラス基板18は耐薬品性、耐透湿性に優れ、且つ、熱収縮率が低い。熱収縮率の指標としては、JIS R 3102(1995年改正)に規定されている線膨張係数が用いられる。
ガラス積層体10は、上述した無機層付き支持基板16の無機層表面14aとガラス基板18の第1主面18aとを積層面として、無機層付き支持基板16とガラス基板18とを剥離可能に積層してなる積層体である。言い換えると、支持基板12とガラス基板18との間に、無機層14が介在する積層体である。
洗浄の方法は特に限定されないが、例えば、無機層14またはガラス基板18の表面をアルカリ水溶液で洗浄した後、さらに水を用いて洗浄する方法が挙げられる。
ここで、表示装置用パネルとは、LCD、OLED、電子ペーパー、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションパネル、量子ドットLEDパネル、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)シャッターパネル等が含まれる。
次に、本発明の電子デバイスの製造方法の好適実施態様について詳述する。
図2〜図4は、本発明の電子デバイスの製造方法の好適実施態様における各製造工程を順に示す模式的断面図である。本発明の電子デバイスの好適実施態様は、ガラス積層体製造工程、部材形成工程、照射工程および分離工程を備える。
以下に、図2を参照しながら、各工程で使用される材料およびその手順について詳述する。なお、ガラス積層体製造工程については、上述したとおりであるため、説明は省略する。
まず、部材形成工程について詳述する。
部材形成工程は、概略的には、図2に示すように、ガラス積層体10中のガラス基板18の第2主面18b上に、電子デバイス用部材20を形成し、電子デバイス用部材付き積層体22を製造する工程である。
このとき、電子デバイス用部材20は、ガラス基板18の第2主面18bの全面には形成されず、図2に示すように、ガラス基板18(第2主面18b)の周縁部に非形成領域を残して、第2主面18b上に形成される。
ここで、ガラス基板18(第2主面18b)の周縁部とは、ガラス基板18(第2主面18b)の外縁を構成する領域であり、当該領域の内側を占有する中央領域と区別される相対的な概念である。
すなわち、電子デバイス用部材20は、ガラス基板18(第2主面18b)上の中央領域に形成される。
電子デバイス用部材20は、ガラス積層体10中のガラス基板18の第2主面18b上に形成され電子デバイスの少なくとも一部を構成する部材である。より具体的には、電子デバイス用部材20としては、表示装置用パネル、太陽電池、薄膜2次電池、表面に回路が形成された半導体ウェハ等の電子部品などに用いられる部材が挙げられる。表示装置用パネルとしては、有機ELパネル、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションパネル等が含まれる。
また、薄膜2次電池用部材としては、リチウムイオン型では、正極および負極の金属または金属酸化物等の透明電極、電解質層のリチウム化合物、集電層の金属、封止層としての樹脂等が挙げられ、その他に、ニッケル水素型、ポリマー型、セラミックス電解質型などに対応する各種部材等を挙げることができる。
また、電子部品用部材としては、CCDやCMOSでは、導電部の金属、絶縁部の酸化ケイ素や窒化珪素等が挙げられ、その他に圧力センサ・加速度センサなど各種センサやリジッドプリント基板、フレキシブルプリント基板、リジッドフレキシブルプリント基板などに対応する各種部材等を挙げることができる。
上述した電子デバイス用部材付き積層体22の製造方法は特に限定されず、電子デバイス用部材の構成部材の種類に応じて従来公知の方法にて、ガラス積層体10のガラス基板18の第2主面表面18b上に、電子デバイス用部材20を形成する。
なお、電子デバイス用部材20は、ガラス基板18の第2主面18bに最終的に形成される部材の全部(以下、「全部材」という)ではなく、全部材の一部(以下、「部分部材」という)であってもよい。部分部材付きガラス基板を、その後の工程で全部材付きガラス基板(後述する電子デバイスに相当)とすることもできる。また、全部材付きガラス基板には、その剥離面(第1主面)に他の電子デバイス用部材が形成されてもよい。また、全部材付き積層体を組み立て、その後、全部材付き積層体から無機層付き支持基板16を剥離して、電子デバイスを製造することもできる。さらに、全部材付き積層体を2枚用いて電子デバイスを組み立て、その後、全部材付き積層体から2枚の無機層付き支持基板16を剥離して、電子デバイスを製造することもできる。
なお、TFTやCFを形成する前に、必要に応じて、ガラス基板18の第2主面18bを洗浄してもよい。洗浄方法としては、周知のドライ洗浄やウェット洗浄を用いることができる。
照射工程は、概略的には、図3(A)に示すように、電子デバイス用部材付き積層体22中の無機層14の周縁部の一部または全部のみを、レーザ光41の照射により除去することで、図3(B)に示すように、無機層14の周縁部のみに除去部位15を形成する工程である。照射工程で形成された除去部位15は、後述する分離工程における剥離起点となる。
もっとも、ガラス基板18上の電子デバイス用部材20へのレーザ光41の照射を避ける観点、および、製品となるガラス基板18への照射によるダメージを抑える観点からは、図3(A)に示すように支持基板12側から無機層14に照射する方が好ましい。
なお、レーザ光41は、電子デバイス用部材付き積層体22の側面から、無機層14に照射するようにしてもよい。
もっとも、レーザ光41が照射される部位(除去部位15となる部位)の幅(図3(A)および(B)中左右方向の長さ)は、電子デバイス用部材20の非形成領域の幅(図3(A)および(B)中左右方向の長さ)よりも狭い方が好ましい。
しかし、本発明においては、レーザ光41は、全面照射されず、電子デバイス用部材20の非形成領域に対応する無機層14の周縁部に照射される。このため、レーザ光41が無機層14およびガラス基板18を透過した場合であっても、レーザ光41の照射が電子デバイス用部材20にも到達して電子デバイス用部材20に損傷が発生することが回避される。
また、レーザ光41が全面照射されないため、レーザ光41を照射する際の所要時間が短くなり、低コスト化や高生産性につながる。
レーザ光41の発振方式に制限はなく、レーザ光を連続発振するCWレーザ、レーザ光を断続発振するパルスレーザのいずれも使用可能である。
分離工程は、図4に示すように、上記照射工程で除去部位15が形成された電子デバイス用部材付き積層体22から、除去部位15を剥離起点として、無機層付き支持基板16を剥離して、電子デバイス用部材20およびガラス基板18を含む電子デバイス24(電子デバイス用部材付きガラス基板)を得る工程である。
このとき、具体的には、除去部位15が角の場合は、角から斜めに三角形状の剥離面が広がるように剥離し、また、除去部位15が辺の場合は、1辺から長方形状の剥離面が広がるよう剥離する。
なお、剥離時のガラス基板18上の電子デバイス用部材20が部分部材である場合には、分離後、残りの構成部材をガラス基板18上に形成することもできる。
また、特定の装置を用いてもよく、例えば、国際公開第2011/024689号に記載の剥離装置(図示せず)を用いることができる。このとき、電子デバイス用部材付き積層体22の支持基板12が上側、電子デバイス用部材20側が下側となる状態にして、除去部位15から順にパッド(図示せず)を上昇させる。そうすると無機層14とガラス基板18との界面へ空気層が形成され、その空気層が界面の全面に広がり、無機層付き支持基板16を容易に剥離できる。
また、支持基板としては、同じく無アルカリホウケイ酸ガラスからなるガラス板(200mm×200mm、厚さ0.5mm、線膨張係数38×10-7/℃、旭硝子社製商品名「AN100」)を使用した。
(SiCまたはSiCOを含む無機層の形成)
支持基板の一方の主面を純水洗浄し、その後UV洗浄して清浄化した。さらに、清浄化した面に、SiCターゲットを用いて、ArガスまたはArとO2との混合ガスを導入しながら、マグネトロンスパッタリング法(室温、成膜圧力5mTorr、パワー密度4.9W/cm2)により、SiCまたはSiCOを含む無機層を形成し、無機層付き支持基板を得た。形成した無機層の厚さ(単位:nm)およびO2量(単位:質量%)については、下記第1表に示す。なお、形成した無機層の表面粗さRaは、0.2〜0.5nmの範囲であった。
次に、ガラス基板の第1主面を純水洗浄し、その後UV洗浄して清浄化した。各例の無機層付き支持基板の無機層の無機層表面と、ガラス基板の清浄化した第1主面とに、アルカリ水溶液による洗浄および水による洗浄を施し、両面を清浄化した。その後、無機層表面にガラス基板を重ね合わせ、必要な場合には、真空プレスを用いて圧着し、無機層とガラス基板とを積層させて、ガラス積層体を得た。
次に、OLEDを作製するべく、得られた各例のガラス積層体のガラス基板上に、電子デバイス用部材を形成した。
より具体的には、ガラス積層体におけるガラス基板の第2主面上に、スパッタリング法によりモリブデンを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングによりゲート電極を形成した。次に、プラズマCVD法により、ゲート電極を設けたガラス基板の第2主面側に、さらに窒化シリコン、真性アモルファスシリコン、n型アモルファスシリコンの順に成膜し、続いてスパッタリング法によりモリブデンを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより、ゲート絶縁膜、半導体素子部およびソース/ドレイン電極を形成した。次に、プラズマCVD法により、ガラス基板の第2主面側に、さらに窒化シリコンを成膜してパッシベーション層を形成した後に、スパッタリング法により酸化インジウム錫を成膜して、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより、画素電極を形成した。
続いて、ガラス基板の第2主面側に、さらに蒸着法により正孔注入層として4,4’,4”−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン、正孔輸送層としてビス[(N−ナフチル)−N−フェニル]ベンジジン、発光層として8−キノリノールアルミニウム錯体(Alq3)に2,6−ビス[4−[N−(4−メトキシフェニル)−N−フェニル]アミノスチリル]ナフタレン−1,5−ジカルボニトリル(BSN−BCN)を40体積%混合したもの、電子輸送層としてAlq3をこの順に成膜した。次に、ガラス基板の第2主面側にスパッタリング法によりアルミニウムを成膜し、フォトリソグラフィ法を用いたエッチングにより対向電極を形成した。次に、対向電極を形成したガラス基板の第2主面上に、紫外線硬化型の接着層を介してもう一枚のガラス基板を貼り合わせて封止した。上記手順によって得られた、ガラス基板上に有機EL構造体を有するガラス積層体は、電子デバイス用部材付き積層体に相当する。
ガラス基板の第2主面上に形成されたゲート電極などの電子デバイス用部材は、いずれも、ガラス基板の端面から10mmまでの領域である周縁部上には形成されておらず、周縁部の内側を占める中央領域にのみ形成され、当該周縁部は、電子デバイス用部材の非形成領域となっていた。
YAG基本波レーザ光(波長:1060nm、周波数:6kHz、出力:480W、パルス幅:40ns)を、ガラス板である支持基板側から、無機層の周縁部に照射して、無機層の周縁部の一部である除去部位を形成した。なお、無機層の周縁部は、電子デバイス用部材の非形成領域に対応する。
レーザ光のビーム形状は、ガウシアン型であったが、必要に応じて、レンズでトップハット型に整形した。
下記第1表には、照射したレーザ光のビーム形状(トップハット型(TH)またはガウシアン型(GA))およびパワー(単位:J/cm2)を記載した。
無機層の周縁部の一部である角に、三角形の除去部位を形成した場合には、「角」と記載した後に、頂点からの2辺の長さ(単位:mm×mm)を記載した。
また、無機層の周縁部の一部である辺に、除去部位を形成した場合には、「辺」と記載した後に、端面の長さおよび端面からの距離(単位:mm×mm)を記載した。
なお、レーザ光を無機層の全面に照射した場合には、「全面」と記載した。
除去部位を形成した後、続いて、国際公開第2011/024689号の図1に記載の剥離装置(図示せず)を用いて、除去部位15を剥離起点として、剥離を行った。具体的には、電子デバイス用部材付き積層体の封止体側を、ステージ(図示せず)に真空吸着させたうえで、パッド(図示せず)を支持基板に取り付け、除去部位15から順にパッドを上昇させた。こうして、無機層付き支持基板を分離して、OLEDパネル(電子デバイスに相当。以下パネルAという)を得た。なお、いずれの例においても、剥離(分離)ができたことから、下記第1表の「剥離性」の項目には「○」を記載した。
電子デバイスに相当するパネルAについて、レーザ光の照射による、損傷の程度を評価した。評価結果を下記第1表に示す。
パネルAにICドライバを接続し、常温常圧下で駆動させて、駆動領域内において表示ムラは認められなかった場合には「○」を、表示ムラ等の不具合が認められた場合には「×」を記載した。「○」であれば、ガラス基板上の電子デバイス用部材の損傷を抑えられたもの(耐損傷性に優れるもの)として評価できる。
一方、例I−8は、剥離性は良好であるものの、電子デバイス用部材の損傷が認められた。これは、レーザ光を全面照射したことで、周縁部以外に形成されている電子デバイス用部材にもレーザ光が到達したためと考えられる。
ITOを含む無機層を形成した以外は、例I−1と同様にして、電子デバイスに相当するOLEDパネルを作製した。例Iと同様に評価したところ、ガラス基板上の電子デバイス用部材の損傷を抑えつつ、剥離性にも優れていた。
12 支持基板
14 無機層
14a 無機層表面(無機層における支持基板側とは反対側の表面)
15 除去部位
16 無機層付き支持基板
18 ガラス基板
18a ガラス基板の第1主面
18b ガラス基板の第2主面
20 電子デバイス用部材
22 電子デバイス用部材付き積層体
24 電子デバイス
41 レーザ光
Claims (5)
- ガラス板である支持基板および前記支持基板上に配置された無機層を有する無機層付き支持基板と、前記無機層上に剥離可能に積層されたガラス基板と、を有するガラス積層体を得る、ガラス積層体製造工程と、
前記ガラス積層体中の前記ガラス基板の表面上に、電子デバイス用部材を形成し、電子デバイス用部材付き積層体を得る、部材形成工程と、
前記電子デバイス用部材付き積層体中の前記無機層の周縁部の一部または全部のみを、レーザ光の照射により除去し、前記無機層の除去部位を形成する、照射工程と、
前記電子デバイス用部材付き積層体から前記無機層付き支持基板を、前記除去部位を剥離起点として剥離し、前記ガラス基板および前記電子デバイス用部材を有する電子デバイスを得る、分離工程と、
を備え、
前記無機層の周縁部は、前記ガラス基板の表面上における前記電子デバイス用部材の非形成領域に対応する、電子デバイスの製造方法。 - 前記照射工程は、前記レーザ光を前記支持基板側または前記ガラス基板側から前記無機層に照射する工程である、請求項1に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記除去部位は、前記無機層の角または辺を含む部位である、請求項1または2に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記レーザ光の光源が、YAGレーザである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子デバイスの製造方法。
- 前記レーザ光のビーム形状が、トップハット型である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の電子デバイスの製造方法。
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