JP6160027B2 - 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体 - Google Patents

振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体 Download PDF

Info

Publication number
JP6160027B2
JP6160027B2 JP2012102896A JP2012102896A JP6160027B2 JP 6160027 B2 JP6160027 B2 JP 6160027B2 JP 2012102896 A JP2012102896 A JP 2012102896A JP 2012102896 A JP2012102896 A JP 2012102896A JP 6160027 B2 JP6160027 B2 JP 6160027B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
vibrating arm
adjustment
vibrating
arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012102896A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013231635A (ja
Inventor
竜太 西澤
竜太 西澤
啓史 中川
啓史 中川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2012102896A priority Critical patent/JP6160027B2/ja
Priority to US13/868,472 priority patent/US9130147B2/en
Priority to CN201310146091.5A priority patent/CN103376100B/zh
Publication of JP2013231635A publication Critical patent/JP2013231635A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6160027B2 publication Critical patent/JP6160027B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
    • G01C19/5621—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks the devices involving a micromechanical structure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、振動片およびその振動片を利用したジャイロセンサー、並びに、その振動片が組み込まれる電子機器および移動体等に関する。
例えば特許文献１に記載されるように、ジャイロセンサーに利用される振動片は一般に知られる。駆動用振動腕に角速度運動が加わると、コリオリ力の働きで駆動用振動腕の振動方向が変化する。コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起される。この力成分は検出用振動腕の運動を引き起こす。こうして力成分に応じた出力信号が検出用振動腕から出力される。特許文献１に記載の例では検出用振動腕および駆動用振動腕は連続して１つの振動腕を形成する。
特開平５−２５６７２３号公報 特開２００８−２０９２１５号公報
振動片の本体は例えば圧電材といった素材から削り出されることができる。削り出しにあたって素材の表面および裏面にはマスクが配置される。マスク同士の間でアライメントずれが生じると、駆動用振動腕の側面は表面および裏面に直交することができず傾斜してしまう。こうして駆動用振動腕の断面形状に加工誤差が生じると、駆動用振動腕は規定の仮想平面内で振動することができず規定の仮想平面から傾斜する仮想平面内で振動してしまう。いわゆる斜め振動が生じる。こうした現象は振動漏れと呼ばれ、検出用振動腕の出力信号では力成分に漏れ振動の成分が重畳される。その結果、出力信号のＳ／Ｎ比は悪化する。角速度運動が入力されていない状態で振動片から角速度信号が出力されてしまう。特許文献２では、漏れ振動の成分の除去にあたって振動腕に切り込みが入れられる。そして、こうした振動腕の切り込みは振動片の機械強度の低下を誘引する。その上、振動片の小型化が進むにつれて、切り込みの形状精度が振動腕の挙動に与える影響が増大し、さらなる加工精度の向上が要求されつつある。しかしながら、こうした加工精度の向上は難しい。
本発明の少なくとも１つの態様によれば、機械強度を維持しつつ出力信号のＳ／Ｎ比を向上することができる振動片は提供されることができる。
（１）本発明の一態様は、基部と、前記基部から延びる駆動用振動腕および検出用振動腕と、前記基部から延びる調整用振動腕と、前記調整用振動腕に設けられ、第１位相の電気信号を生成する第１調整用電極と、前記調整用振動腕に設けられ、前記第１位相とは逆位相である第２位相の電気信号を生成する第２調整用電極と、を備え、前記調整用振動腕は、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面と、前記第１面および第２面を接続する第１側面および第２側面と、前記第１面に形成され、前記調整用振動腕の長手方向に延びる溝であって、前記第１側面側の第１壁面、および、前記第２側面側の第２壁面、を有する第１溝と、前記第２面に形成され、前記調整用振動腕の長手方向に延びる溝であって、前記第１側面側の第３壁面、および、前記第２側面側の第４壁面、を有する第２溝と、を備え、前記第１調整用電極は、前記第１側面に設けられている第１電極片と、前記第１壁面および前記第３壁面に設けられている第２電極片と、を備え、前記第２調整用電極は、前記第２側面に設けられている第３電極片と、前記第２壁面および前記第４壁面に設けられている第４電極片と、を備える振動片に関する。
こうした振動片は角速度の検出にあたって用いられることができる。角速度の検出にあたって駆動用振動腕で振動が励起される。このとき、駆動用振動腕に角速度運動が加わると、コリオリ力の働きで駆動用振動腕の振動方向が変化する。コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起される。この力成分は検出用振動腕の運動を引き起こす。こうして力成分に応じた出力信号が検出用振動腕から出力される。
力成分は同時に調整用振動腕の運動を引き起こす。こうした運動に応じて第１調整用電極および第２調整用電極からそれぞれ電気信号が出力される。検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分は第１調整用電極および第２調整用電極の電気信号で少なくとも部分的に打ち消されることができることを本発明者は見出した。こうして第１調整用電極および第２調整用電極の電気信号が検出用振動腕の出力信号に重畳されると、出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。しかも、第１調整用電極の電気信号および第２調整用電極の電気信号は互いに逆位相であることから、第１調整用電極および第２調整用電極の相対関係に基づき電気信号の大きさは調整されることができる。したがって、漏れ振動の位相が検出用振動腕の出力信号に同位相でも逆位相でも漏れ振動の成分は打ち消されることができる。第１調整用電極の電気信号と第２調整用電極の電気信号とが釣り合えば、それら電気信号から検出用振動腕の出力信号に加えられる影響は排除されることができる。その上、電気信号の調整にあたって第１調整用電極または第２調整用電極の形状が制御されればよく、駆動用振動腕や検出用振動腕、調整用振動腕に切り込みの形成は回避されることができる。機械強度の低下は回避されることができる。切り込みは形成されないことから、加工精度の向上は必ずしも要求されない。
特に、振動片では、第１電極片と第２電極片との間に調整用振動腕は部分的に挟まれ、第３電極片と第４電極片との間に調整用振動腕は部分的に挟まれる。その結果、第１調整用電極および第２調整用電極では比較的に大きな出力信号が得られる。漏れ振動の調整範囲は広がることができる。歩留まりは向上することができる。
（２）本発明の他の態様は、基部と、前記基部から延びる駆動用振動腕および検出用振動腕と、前記基部から延びる調整用振動腕と、前記調整用振動腕に設けられた圧電体に相互に離れた位置で接触し、第１位相の電気信号を生成する第１調整用電極と、前記調整用振動腕に設けられた圧電体に相互に離れた位置で接触し、前記第１位相とは逆位相である第２位相の電気信号を生成する第２調整用電極と、を備える振動片に関する。
こうした振動片は角速度の検出にあたって用いられることができる。角速度の検出にあたって駆動用振動腕で振動が励起される。このとき、駆動用振動腕に角速度運動が加わると、コリオリ力の働きで駆動用振動腕の振動方向が変化する。コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起される。この力成分は検出用振動腕の運動を引き起こす。こうして力成分に応じた出力信号が検出用振動腕から出力される。
力成分は同時に調整用振動腕の運動を引き起こす。こうした運動に応じて第１調整用電極および第２調整用電極からそれぞれ電気信号が出力される。検出用振動腕の出力信号に含まれる漏れ振動の成分は第１調整用電極および第２調整用電極の電気信号で少なくとも部分的に打ち消されることができることを本発明者は見出した。こうして第１調整用電極および第２調整用電極の電気信号が検出用振動腕の出力信号に重畳されると、出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。しかも、第１調整用電極の電気信号および第２調整用電極の電気信号は互いに逆位相であることから、第１調整用電極および第２調整用電極の相対関係に基づき電気信号の大きさは調整されることができる。したがって、漏れ振動の位相が検出用振動腕の出力信号に同位相でも逆位相でも漏れ振動の成分は打ち消されることができる。第１調整用電極の電気信号と第２調整用電極の電気信号とが釣り合えば、それら電気信号から検出用振動腕の出力信号に加えられる影響は排除されることができる。その上、電気信号の調整にあたって第１調整用電極または第２調整用電極の形状が制御されればよく、駆動用振動腕や検出用振動腕、調整用振動腕に切り込みの形成は回避されることができる。機械強度の低下は回避されることができる。切り込みは形成されないことから、加工精度の向上は必ずしも要求されない。
（３）前記調整用振動腕の電気信号は、前記検出用振動腕の漏れ振動の電気信号に対して逆位相であることができる。調整用振動腕の電気信号は漏れ振動の電気信号を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上することができる。
（４）前記検出用振動腕には、前記駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて電気信号を生成する検出電極が設けられることができ、前記第１調整用電極と前記検出電極とが電気的に接続されることができ、前記第２調整用電極と前記検出電極とが電気的に接続されることができる。調整用振動腕の電気信号は検出用振動腕の出力信号に重畳されることができる。電気信号の大きさは調整される。調整の結果、調整用振動腕の電気信号は漏れ振動の成分を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上することができる。
（５）振動片はジャイロセンサーに組み込まれて利用されることができる。ジャイロセンサーは振動片を有することができる。
（６）振動片はは電子機器に組み込まれて利用されることができる。電子機器は振動片を有することができる。
（７）振動片は移動体に組み込まれて利用されることができる。移動体は振動片を有することができる。
第１実施形態に係るジャイロセンサーの構成を概略的に示す垂直断面図である。 振動片の構造を概略的に示す拡大平面図である。 第２振動腕の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。 表側から第２振動腕の裏面の構成を概略的に示す拡大透視平面図である。 第１振動腕および第３振動腕の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。 表側から第１振動腕および第３振動腕の裏面の構成を概略的に示す拡大透視部分平面図である。 第２振動腕すなわち駆動用振動腕の振動の様子を概略的に示す振動片の斜視図である。 第１振動腕すなわち検出用振動腕の振動の様子を概略的に示す振動片の斜視図である。 漏れ振動と第１振動腕の検出信号および第３振動腕の検出信号との関係を概略的に示す（ａ）グラフ、（ｂ）第１振動腕の拡大垂直断面図、および（ｃ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。 漏れ振動と第１振動腕の検出信号および第３振動腕の検出信号との関係を概略的に示す（ａ）グラフ、（ｂ）第１振動腕の拡大垂直断面図、および（ｃ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。 相互に打ち消し合う第３振動腕の検出信号の関係を概略的に示す（ａ）グラフ、および（ｂ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。 第２実施形態に係るジャイロセンサーに用いられる第３振動腕の構造を概略的に示す拡大垂直断面図である。 第３実施形態に係るジャイロセンサーに用いられる第１振動腕の構造を概略的に示す拡大垂直断面図である。 第３実施形態に係るジャイロセンサーで振動片の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。 第３実施形態に係るジャイロセンサーで表側から振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大透視部分平面図である。 第４実施形態に係るジャイロセンサーに用いられる第３振動腕の構造を概略的に示す拡大垂直断面図である。 第４実施形態に係るジャイロセンサーで振動片の表面の構成を概略的に示す拡大部分平面図である。 第４実施形態に係るジャイロセンサーで表側から振動片の裏面の構成を概略的に示す拡大透視部分平面図である。 漏れ振動と第１振動腕の検出信号および第３振動腕の検出信号との関係を概略的に示す（ａ）グラフ、（ｂ）第１振動腕の拡大垂直断面図、および（ｃ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。 漏れ振動と第１振動腕の検出信号および第３振動腕の検出信号との関係を概略的に示す（ａ）グラフ、（ｂ）第１振動腕の拡大垂直断面図、および（ｃ）第３振動腕の拡大垂直断面図である。 第５実施形態に係るジャイロセンサーに用いられる第３振動腕の構造を概略的に示す拡大垂直断面図である。 第６実施形態に係るジャイロセンサーに用いられる第３振動腕の構造を概略的に示す拡大垂直断面図である。 第７実施形態に係るジャイロセンサーに用いられる振動片の構造を概略的に示す平面図である。 電子機器の一具体例としてのスマートフォンの構成を概略的に示す概念図である。 電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラの構成を概略的に示す概念図である。 移動体の一具体例としての自動車の構成を概略的に示す概念図である。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
（１）第１実施形態に係るジャイロセンサーの構成
図１は第１実施形態に係るジャイロセンサー１１の構成を概略的に示す。ジャイロセンサー１１は例えば箱形の容器１２を備える。容器１２は容器本体１３および蓋材１４を備える。容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は例えば真空に封止されることができる。容器１２は剛体として機能する。少なくとも蓋材１４は導体から形成されることができる。蓋材１４が接地されれば、蓋材１４は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。
容器１２には振動片１５およびＩＣ（集積回路）チップ１６が収容される。振動片１５およびＩＣチップ１６は容器１２の内部空間内に配置される。振動片１５は本体１７および導電膜１８を備える。本体１７の表面に導電膜１８が積層される。導電膜１８は金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、その他の金属といった導電材から形成されることができる。導電膜１８は薄膜や厚膜で構成されることができる。図１から明らかなように、振動片１５の本体１７は表面１７ａおよび裏面１７ｂを有する。表面１７ａは第１基準平面ＲＰ１内に広がる。裏面１７ｂは第２基準平面ＲＰ２内に広がる。第２基準平面ＲＰ２は第１基準平面ＲＰ１に平行に広がる。ここでは、本体１７全体は１つの圧電体から形成される。圧電体には例えば水晶が用いられることができる。
振動片１５は容器本体１３に片持ち支持される。片持ち支持にあたって本体１７の一端には固定部１９が区画される。固定部１９には接続端子群２１が配置される。接続端子群２１は裏面１７ｂに広がる導電膜１８の一部で形成される。接続端子群２１は複数の接続端子すなわち導電材製パッドを含む。接続端子の詳細は後述される。その一方で、容器本体１３の底板には導電端子群２２が配置される。導電端子群２２は複数の接続端子すなわち導電材製パッドを含む。振動片１５の接続端子群２１は底板上の導電端子群２２に接合される。接合にあたって例えばはんだバンプや金バンプといった導電接合材２３が用いられることができる。こうして振動片１５は固定部１９で容器本体１３の底板に固着される。導電端子群２２は導電膜１８の配線（図示されず）でＩＣチップ１６に接続される。ＩＣチップ１６は例えば容器本体１３の底板に接着されればよい。
図２に示されるように、振動片１５の本体１７は基部２５、１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂ、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂを有する。振動片１５の表面１７ａおよび裏面１７ｂは第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面および裏面、第２振動腕２７ａ、２７ｂの表面および裏面、並びに、第３振動腕２８ａ、２８ｂの表面および裏面にそれぞれ相当する。振動片１５の表面１７ａおよび裏面１７ｂは、後述されるように、駆動信号で励起される振動の方向すなわち第２振動腕２７ａ、２７ｂの励振方向を規定する。
１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂは基部２５から第１方向Ｄ１に延びる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは基部２５に片持ち支持される。第１振動腕２６ａ、２６ｂ同士は相互に平行に延びる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは、基部２５の重心を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面２９に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂは１対の検出腕として機能する。基部２５は所定の剛性を有する。
１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂは基部２５から第２方向Ｄ２に延びる。第２方向Ｄ２は第１方向Ｄ１の逆向きに相当する。第２振動腕２７ａ、２７ｂは基部２５に片持ち支持される。第２振動腕２７ａ、２７ｂ同士は相互に平行に延びる。第２振動腕２７ａ、２７ｂは、基部２５の重心を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面２９に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂは１対の駆動腕として機能する。
１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂは基部２５から第１方向Ｄ１に延びる。第３振動腕２８ａ、２８ｂは基部２５に片持ち支持される。第３振動腕２８ａ、２８ｂ同士は相互に平行に延びる。第３振動腕２８ａ、２８ｂは、基部２５の重心を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面２９に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂは１対の調整用振動腕として機能する。調整用振動腕同士の間の空間に１対の検出腕は配置される。
振動片１５の本体１７は少なくとも１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂと１対の第２吊り腕３３ａ、３３ｂとを有する。ここでは、本体１７には１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂが区画される。第１吊り腕３２ａ、３２ｂは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂの両側で固定部１９から第１方向Ｄ１にそれぞれ延びる。第１吊り腕３２ａ、３２ｂの先端は基部２５の第１連結部３４にそれぞれ連結される。２つの第１連結部３４は１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂの両側に位置する。
第２吊り腕３３ａ、３３ｂは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂの両側でそれぞれ固定部１９から第１方向Ｄ１に延びる。第２吊り腕３３ａ、３３ｂの先端は基部２５の第２連結部３５に連結される。第２連結部３５は第１連結部３４よりも第１方向Ｄ１に位置する。
図３に示されるように、導電膜１８は２対の第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび２対の第２駆動電極４２ａ、４２ｂを形成する。第１対の第１駆動電極４１ａは一方の第２振動腕２７ａに固定される。第１駆動電極４１ａは第２振動腕２７ａの側面に広がる。第１駆動電極４１ａ同士の間に第２振動腕２７ａは挟まれる。第１駆動電極４１ａ同士は第２振動腕２７ａの自由端側で相互に接続される。第２対の第１駆動電極４１ｂは他方の第２振動腕２７ｂに固定される。第１駆動電極４１ｂは第２振動腕２７ｂの表面１７ａおよび裏面１７ｂに広がる。第１駆動電極４１ｂ同士の間に第２振動腕２７ｂは挟まれる。第２対の第１駆動電極４１ｂは第１対の第１駆動電極４１ａに基部２５で接続される。
第１対の第２駆動電極４２ａは一方の第２振動腕２７ａに固定される。第２駆動電極４２ａは第２振動腕２７ａの表面１７ａおよび裏面１７ｂに広がる。第２駆動電極４２ａ同士の間に第２振動腕２７ａは挟まれる。第２対の第２駆動電極４２ｂは他方の第２振動腕２７ｂに固定される。第２駆動電極４２ｂは第２振動腕２７ｂの側面に広がる。第２駆動電極４２ｂ同士の間に第２振動腕２７ｂは挟まれる。第２駆動電極４２ｂ同士は第２振動腕２７ｂの自由端側で相互に接続される。第２対の第２駆動電極４２ｂは第１対の第２駆動電極４２ａに基部２５で接続される。第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび第２駆動電極４２ａ、４２ｂの間に電界が加えられると、第２振動腕２７ａ、２７ｂは変形する。
導電膜１８は第１駆動配線４３および第２駆動配線４４を形成する。第１駆動配線４３は一方の第１吊り腕３２ａに固定される。第１駆動配線４３は第１吊り腕３２ａの全長にわたって第１吊り腕３２ａ上を延びる。第１駆動配線４３は第１駆動電極４１ａ、４１ｂに接続される。第２駆動配線４４は他方の第１吊り腕３２ｂに固定される。第２駆動配線４４は第１吊り腕３２ｂの全長にわたって第１吊り腕３２ｂ上を延びる。第２駆動配線４４は第２駆動電極４２ａ、４２ｂに接続される。
図４に示されるように、接続端子群２１は第１駆動端子４５および第２駆動端子４６を含む。第１駆動端子４５および第２駆動端子４６はそれぞれ固定部１９の裏面１７ｂに固定される。第１駆動端子４５は第１駆動配線４３に接続される。第２駆動端子４６は第２駆動配線４４に接続される。第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび第２駆動電極４２ａ、４２ｂに駆動信号が供給されることができる。
導電膜１８は２組の第１検出電極対（信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂ）並びに２組の第２検出電極対（信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂ）を形成する。図５に示されるように、第１検出電極対の信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂは一方の第１振動腕２６ａに固定される。第１検出電極対の信号電極４７ａは第１振動腕２６ａの表面１７ａで第１振動腕２６ａの根元から自由端に向かって延びる。第１検出電極対のグラウンド電極４７ｂは第１振動腕２６ａの表面１７ａで第１振動腕２６ａの根元から自由端に向かって延びる。
第２検出電極対の信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂは他方の第１振動腕２６ｂに固定される。第２検出電極対の信号電極４８ａは第１振動腕２６ｂの表面１７ａで第１振動腕２６ｂの根元から自由端に向かって延びる。第１検出電極対のグラウンド電極４８ｂは第１振動腕２６ｂの表面１７ａで第１振動腕２６ｂの根元から自由端に向かって延びる。
導電膜１８は２組の第１調整用電極対４９および２組の第２調整用電極対５１を形成する。第１調整用電極対４９は第３振動腕２８ａに固定される。第１調整用電極対４９は第１電極片４９ａおよび１対の第２電極片４９ｂを備える。第１電極片４９ａは第３振動腕２８ａの第１側面５２に配置される。第１側面５２は対称面２９に平行に規定されて第３振動腕２８ａの表面（第１面）１７ａおよび裏面（第２面）１７ｂを相互に接続する。第１電極片４９ａは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。
一方の第２電極片４９ｂは第３振動腕２８ａの表面１７ａに配置される。第２電極片４９ｂは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。第２電極片４９ｂは第１側面５２および表面１７ａの稜線を挟んで第１電極片４９ａと隣り合う。第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂから電流は取り出される。
第２調整用電極対５１は同様に第３振動腕２８ａに固定される。第２調整用電極対５１は第３電極片５１ａおよび１対の第４電極片５１ｂを備える。第３電極片５１ａは第３振動腕２８ａの第２側面５３に配置される。第２側面５３は対称面２９に平行に規定されて第３振動腕２８ａの表面（第１面）１７ａおよび裏面（第２面）１７ｂを相互に接続する。第２側面５３は第１側面５２の反対側（裏側）に位置する。第３電極片５１ａは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。第３電極片５１ａは第３振動腕２８ａを挟んで第１電極片４９ａに対向する。
一方の第４電極片５１ｂは第３振動腕２８ａの表面１７ａに配置される。第４電極片５１ｂは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。第４電極片５１ｂは第２側面５３および表面１７ａの稜線を挟んで第３電極片５１ａと隣り合う。第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂから電流は取り出される。
同様に、もう一つの第３振動腕２８ｂには第１調整用電極対４９および第２調整用電極対５１が固定される。固定にあたって第３振動腕２８ｂには第３振動腕２８ａと同様に第１側面５２および第２側面５３が規定される。第３振動腕２８ｂの第１側面５２および第２側面５３にはそれぞれ第１電極片４９ａおよび第３電極片５１ａが固定される。第３振動腕２８ｂの表面（第１面）１７ａには第２電極片４９ｂおよび第４電極片５１ｂが固定される。
導電膜１８は第１検出配線５５および第２検出配線５６を形成する。第１検出配線５５および第２検出配線５６は基部２５や一方の第２吊り腕３３ａに固定される。第１検出配線５５には第３振動腕２８ａの第１電極片４９ａおよび第４電極片５１ｂが電気的に接続される。第２検出配線５６には第２電極片４９ｂおよび第３電極片５１ａが電気的に接続される。同様に、導電膜１８は第３検出配線５７および第４検出配線５８を形成する。第３検出配線５７および第４検出配線５８は基部２５やもう１つの第２吊り腕３３ｂに固定される。第３検出配線５７には第３振動腕２８ｂの第１電極片４９ａおよび第４電極片５１ｂが電気的に接続される。第４検出配線５８には第２電極片４９ｂおよび第３電極片５１ａが電気的に接続される。
図６に示されるように、第１振動腕２６ａの裏面１７ｂには同様に第１検出電極対の信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂが配置される。信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂは第１振動腕２６ａの根元から自由端に向かって延びる。裏面１７ｂの信号電極４７ａは表面１７ａの信号電極４７ａに第１振動腕２６ａの自由端で接続されることができる。裏面１７ｂのグラウンド電極４７ｂは表面１７ａのグラウンド電極４７ｂに基部２５で接続されることができる。第１振動腕２６ａの変形に応じて信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂから電流は取り出される。
もう１つの第１振動腕２６ｂの裏面１７ｂには同様に信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂが配置される。信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂは第１振動腕２６ｂの根元から自由端に向かって延びる。裏面１７ｂの信号電極４８ａは表面１７ａの信号電極４８ａに第１振動腕２６ｂの自由端で接続されることができる。裏面１７ｂのグラウンド電極４８ｂは表面１７ａのグラウンド電極４８ｂに基部２５で接続されることができる。第１振動腕２６ｂの変形に応じて信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂから電流は取り出される。
第３振動腕２８ａの裏面１７ｂには同様に他方の第２電極片４９ｂが配置される。第２電極片４９ｂは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。第２電極片４９ｂは第１側面５２および裏面１７ｂの稜線を挟んで第１電極片４９ａと隣り合う。第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂから電流は取り出される。同様に、他方の第４電極片５１ｂは第３振動腕２８ａの裏面１７ｂに配置される。第４電極片５１ｂは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。第４電極片５１ｂは第２側面５３および裏面１７ｂの稜線を挟んで第３電極片５１ａと隣り合う。第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂから電流は取り出される。
接続端子群２１は１対の第１検出端子（信号端子５９ａおよびグラウンド端子５９ｂ）並びに１対の第２検出端子（信号端子６１ａおよびグラウンド端子６１ｂ）を含む。第１検出端子の信号端子５９ａおよびグラウンド端子５９ｂ並びに第２検出端子の信号端子６１ａおよびグラウンド端子６１ｂは固定部１９に固定される。第１検出端子の信号端子５９ａは第１検出配線５５に電気的に接続される。第１検出端子のグラウンド端子５９ｂは第２検出配線５６に電気的に接続される。第２検出端子の信号端子６１ａは第３検出配線５７に電気的に接続される。第２検出端子のグラウンド端子６１ｂは第４検出配線５８に電気的に接続される。グラウンド端子５９ｂは信号端子５９ａと第１駆動端子４５との間に配置される。同様に、グラウンド端子６１ｂは信号端子６１ａと第２駆動端子４６との間に配置される。
（２）第１実施形態に係るジャイロセンサーの動作
次にジャイロセンサー１１の動作を簡単に説明する。図７に示されるように、角速度の検出にあたって第２振動腕２７ａ、２７ｂで振動が励起される。振動の励起にあたって振動片１５には第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から駆動信号が入力される。その結果、第１駆動電極４１ａ、４１ｂと第２駆動電極４２ａ、４２ｂとの間で振動片１５の本体１７に電界が作用する。特定の周波数の波形が入力されることで、第２振動腕２７ａ、２７ｂは第１基準平面ＲＰ１および第２基準平面ＲＰ２の間で屈曲運動する。相互に離れたり相互に近づいたりを繰り返す。
ジャイロセンサー１１に角速度運動が加わると、図８に示されるように、コリオリ力の働きで第２振動腕２７ａ、２７ｂの振動方向が変化する。いわゆるウォークモード励振が引き起こされる。このとき、コリオリ力に対応して対称面２９に平行に新たに力成分が生起される。第２振動腕２７ａ、２７ｂは対称面２９に平行に屈曲運動する。第２振動腕２７ａ、２７ｂは振動の重心回りで揺動する。
第２振動腕２７ａ、２７ｂのウォークモード励振は基部２５から第１振動腕２６ａ、２６ｂに伝播する。その結果、対称面２９に平行な力成分に基づき第１振動腕２６ａ、２６ｂの運動が引き起こされる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは対称面２９に平行に屈曲運動する。第１振動腕２６ａ、２６ｂは振動の重心回りで揺動する。こうした屈曲運動に応じて第１振動腕２６ａ、２６ｂでは圧電効果に基づき電界が生じ、電荷が生み出される。第１振動腕２６ａの屈曲運動は第１検出電極対の信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂの間で電位差を生み出す。同様に、第１振動腕２６ｂの屈曲運動は第２検出電極対の信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂの間で電位差を生み出す。
第２振動腕２７ａ、２７ｂのウォークモード励振は基部２５から第３振動腕２８ａ、２８ｂに伝播する。その結果、第３振動腕２８ａ、２８ｂの運動が引き起こされる。こうした運動に応じて第１調整用電極対４９および第２調整用電極対５１からそれぞれ電気信号が出力される。
図９に示されるように、第１振動腕２６ａ、２６ｂの形状が例えば加工誤差に基づき設計された形状からずれると、第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号ではコリオリ力の力成分に漏れ振動の成分が重畳される。同時に、第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号には第１調整用電極対４９の電気信号および第２調整用電極対５１の電気信号が重畳される。電気信号の大きさは調整される。調整の結果、第１および第２調整用電極対４９、５１の電気信号は漏れ振動の成分を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。電気信号の調整にあたって第１調整用電極対４９または第２調整用電極対５１の形状は予め整えられる。第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂの間に介在する圧電体の体積や第１電極片４９ａと第２電極片４９ｂとの距離が調整される。第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂの間に介在する圧電体の体積や第３電極片５１ａと第４電極片５１ｂとの距離が調整される。第１振動腕２６ａ、２６ｂ、第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび第３振動腕２８ａ、２８ｂに切り込みの形成は回避されることができる。機械強度の低下は回避されることができる。切り込みは形成されないことから、加工精度の向上は必ずしも要求されない。
しかも、第１調整用電極対４９の電気信号および第２調整用電極対５１の電気信号は互いに逆位相であることから、第１調整用電極対４９および第２調整用電極対５１の相対関係に基づき電気信号の大きさは調整されることができる。したがって、図９および図１０から明らかなように、漏れ振動の位相が第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号に同位相でも逆位相でも漏れ振動の成分は打ち消されることができる。第１調整用電極対４９の電気信号と第２調整用電極対５１の電気信号とが相互に打ち消し合えば、図１１に示されるように、それら電気信号から第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号に加えられる影響は排除されることができる。
（３）第１実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法
ジャイロセンサー１１の製造にあたって振動片１５が製造される。水晶体から振動片１５の本体１７が削り出される。本体１７上には導電膜１８が形成される。導電膜１８は設計通りのパターンで形成される。導電膜１８の形成にあたって例えばフォトリソグラフィ技術が用いられることができる。
容器１２が用意される。容器本体１３内にＩＣチップ１６が固着される。続いて容器本体１３内に振動片１５が固着される。接続端子群２１は導電端子群２２に接合される。第１および第２駆動端子４５、４６、第１検出端子５９ａ、５９ｂ、並びに、第２検出端子６１ａ、６１ｂはそれぞれ対応の接続端子に受け止められる。こうして振動片１５はＩＣチップ１６に電気的に接続される。
ここで、ジャイロセンサー１１のチューニングが実施される。チューニングではＩＣチップ１６に制御信号が供給される。ＩＣチップ１６は角速度の検出動作を開始する。前述と同様に、第２振動腕２７ａ、２７ｂで振動が励起される。角速度運動が作用しなければ、第２振動腕２７ａ、２７ｂにはコリオリ力は生成されない。このとき、仮にジャイロセンサー１１で角速度＝「０（ゼロ）」が検出されれば、容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は封止される。ジャイロセンサー１１の製造は完了する。
ジャイロセンサー１１で角速度＝「０」が検出されなければ、漏れ振動が想定される。この場合には、測定された電荷量に応じて第１調整用電極対４９の第２電極片４９ｂや第２調整用電極対５１の第４電極片５１ｂの形状が整えられる。例えばレーザーで電極片４９ｂ、５１ｂの一部が除去されたり切り離されたりする。その結果、電極片４９ｂ、５１ｂの輪郭にはレーザー痕が形成される。こうして第２電極片４９ｂや第４電極片５１ｂが整えられた結果、ジャイロセンサー１１で角速度＝「０（ゼロ）」が検出されれば、容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は封止される。ジャイロセンサー１１の製造は完了する。
（４）第２実施形態に係るジャイロセンサー
第２実施形態に係るジャイロセンサー１１では振動片１５に前述の第３振動腕２８ａ、２８ｂに代えて第３振動腕６３が用いられる。図１２に示されるように、第３振動腕６３の表面（第１面）１７ａには第１溝６４が形成され第３振動腕６３の裏面（第２面）１７ｂには第２溝６５が形成される。第１溝６４および第２溝６５は第３振動腕６３の根元から自由端に向かって第３振動腕６３の長手方向に延びる。第１溝６４および第２溝６５は第３振動腕６３の全長にわたって延びる長溝に形成されることができる。
第１溝６４は第１壁面６６ａおよび第２壁面６６ｂを有する。第１壁面６６ａおよび第２壁面６６ｂは相互に向き合う。第１壁面６６ａは第１側面５２との間に第３振動腕６３の圧電体を挟む。第２壁面６６ｂは第２側面５３との間に第３振動腕６３の圧電体を挟む。第１壁面６６ａおよび第２壁面６６ｂは対称面２９に平行に広がればよい。
第２溝６５は第３壁面６７ａおよび第４壁面６７ｂを有する。第３壁面６７ａおよび第４壁面６７ｂは相互に向き合う。第３壁面６７ａは第１側面５２との間に第３振動腕６３の圧電体を挟む。第４壁面６７ｂは第２側面５３との間に第３振動腕６３の圧電体を挟む。第３壁面６７ａおよび第４壁面６７ｂは対称面２９に平行に広がればよい。
個々の第３振動腕６３には第１調整用電極対６８および第２調整用電極対６９が固定される。第１調整用電極対６８は第１電極片６８ａおよび１対の第２電極片６８ｂを備える。第１電極片６８ａは第３振動腕６３の第１側面５２に形成される。第１電極片６８ａは第３振動腕６３の根元から自由端に向かって第３振動腕６３の全長にわたって延びる。第１電極片６８ａは第１検出配線５５または第３検出配線５７に電気的に接続される。
一方の第２電極片６８ｂは第１溝６４内の第１壁面６６ａに配置される。第２電極片６８ｂは第３振動腕６３の根元から自由端に向かって第１溝６４の全長にわたって延びる。もう１つの第２電極片６８ｂは第２溝６５内の第３壁面６７ａに配置される。第２電極片６８ｂは第３振動腕６３の根元から自由端に向かって第２溝６５の全長にわたって延びる。第２電極片６８ｂは第２検出配線５６または第４検出配線５８に電気的に接続される。
第２調整用電極対６９は第３電極片６９ａおよび１対の第４電極片６９ｂを備える。第３電極片６９ａは第３振動腕６３の第２側面５３に形成される。第３電極片６９ａは第３振動腕６３の根元から自由端に向かって第３振動腕６３の全長にわたって延びる。第３電極片６９ａは第２検出配線５６または第４検出配線５８に電気的に接続される。
一方の第４電極片６９ｂは第１溝６４内の第２壁面６６ｂに配置される。第４電極片６９ｂは第３振動腕６３の根元から自由端に向かって第１溝６４の全長にわたって延びる。もう１つの第４電極片６９ｂは第２溝６５内の第４壁面６７ｂに配置される。第４電極片６９ｂは第３振動腕６３の根元から自由端に向かって第２溝６５の全長にわたって延びる。第４電極片６９ｂは第１検出配線５５または第３検出配線５７に電気的に接続される。その他の構成は前述の第１実施形態の構成と同一に構成されることができる。前述の第１実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付され、その詳細な説明は割愛される。
駆動信号で励起される振動が第３振動腕６３に伝わると、第１側面５２の収縮時に第２側面５３は伸張し、第１側面５２の伸張時に第２側面５３は収縮する。その結果、第２調整用電極対６９は第１調整用電極対６８の逆位相の電気信号を出力することができる。この第２実施形態では、第１電極片６８ａと第２電極片６８ｂとの間に圧電体が挟まれ、第３電極片６９ａと第４電極片６９ｂとの間に圧電体が挟まれることから、第１調整用電極対６８および第２調整用電極対６９で前述の第１調整用電極対４９および第２調整用電極対５１よりも大きな出力信号が得られる。漏れ振動の調整範囲は広がることができる。歩留まりは向上することができる。
（５）第３実施形態に係るジャイロセンサー
図１３に示されるように、第３実施形態に係るジャイロセンサー１１では振動片１５ａは前述の第１振動腕２６ａ、２６ｂに代えて１対の第１振動腕７１ａ、７１ｂを備える。第１振動腕７１ａでは第２側面５３と表面１７ａとは第１段差７２で相互に接続される。同様に、第２側面５３と裏面１７ｂとは第２段差７３で相互に接続される。第１段差７２および第２段差７３は第１振動腕７１ａの根元から自由端に向かって例えば第１振動腕７１ａの全長にわたって延びる。第１段差７２は、第２側面５３との間に稜線を規定する段差面７２ａと、段差面７２ａに交差しつつ表面１７ａとの間に稜線を規定する垂直面７２ｂとを備える。垂直面７２ｂと第１側面５２との間に第１振動腕７１ａの圧電体が挟まれる。同様に、第２段差７３は、第２側面５３との間に稜線を規定する段差面７３ａと、段差面７３ａに交差しつつ裏面１７ｂとの間に稜線を規定する垂直面７３ｂとを備える。垂直面７３ｂと第１側面５２との間に第１振動腕７１ａの圧電体が挟まれる。段差面７２ａ、７３ａ同士の間に第１振動腕７１ａの圧電体は挟まれる。２つの第１振動腕７１ａ、７１ｂは同形状に形成される。段差面７２ａ、７３ａは表面１７ａや裏面１７ｂに平行に広がることができる。垂直面７２ｂ、７３ｂは対称面２９に平行に広がればよい。
個々の第１振動腕７１ａ、７１ｂで導電膜１８は第１検出電極対および第２検出電極対を形成する。一方の第１振動腕７１ａでは第１検出電極対の第１信号電極７４は第１段差７２に固定される。第１信号電極７４は第１段差７２の段差面７２ａおよび垂直面７２ｂを覆う。第１信号電極７４は第１振動腕７１ａの根元から自由端に向かって例えば第１段差７２の全長にわたって延びる。第２検出電極対の第２信号電極７５は第２段差７３に固定される。第２信号電極７５は第２段差７３の段差面７３ａおよび垂直面７３ｂを覆う。第２信号電極７５は第１振動腕７１ａの根元から自由端に向かって例えば第２段差７３の全長にわたって延びる。第１検出電極対および第２検出電極対はグラウンド電極７６を共有する。グラウンド電極７６は第１側面５２に固定される。グラウンド電極７６は第１側面５２を覆う。グラウンド電極７６は第１振動腕７１ａの根元から自由端に向かって例えば第１振動腕７１ａの全長にわたって延びる。こうして第１振動腕７１ａの圧電体は第１信号電極７４およびグラウンド電極７６に挟まれ第２信号電極７５およびグラウンド電極７６に挟まれる。
もう１つの第１振動腕７１ｂでは第１検出電極対の第１信号電極７４は第２段差７３に固定される。第１信号電極７４は第２段差７３の段差面７３ａおよび垂直面７３ｂを覆う。第１信号電極７４は第１振動腕７１ｂの根元から自由端に向かって例えば第２段差７３の全長にわたって延びる。第２検出電極対の第２信号電極７５は第１段差７２に固定される。第２信号電極７５は第１段差７２の段差面７２ａおよび垂直面７２ｂを覆う。第２信号電極７５は第１振動腕７１ｂの根元から自由端に向かって例えば第１段差７２の全長にわたって延びる。第１検出電極対および第２検出電極対はグラウンド電極７６を共有する。グラウンド電極７６は第１側面５２に固定される。グラウンド電極７６は第１側面５２を覆う。グラウンド電極７６は第１振動腕７１ｂの根元から自由端に向かって例えば第１振動腕７１ｂの全長にわたって延びる。こうして第１振動腕７１ｂの圧電体は第２信号電極７５およびグラウンド電極７６に挟まれ第１信号電極７４およびグラウンド電極７６に挟まれる。
図１４に示されるように、第１振動腕７１ａの第１信号電極７４は第１検出配線５５に接続される。この接続にあたって導電膜１８は基部２５上に第１配線７７を形成する。第１配線７７は表面１７ａで第３振動腕２８ａの第４電極片５１ｂに第１振動腕７１ａの第１信号電極７４を接続する。
第１振動腕７１ｂの第２信号電極７５は第３検出配線５７に接続される。この接続にあたって導電膜１８は基部２５上に第２配線７８を形成する。第２配線７８は表面１７ａで第３振動腕２８ｂの第４電極片５１ｂに第１振動腕７１ｂの第２信号電極７５を接続する。
図１５に示されるように、第１振動腕７１ａの第２信号電極７５は第３検出配線５７に接続される。この接続にあたって導電膜１８は基部２５上に第３配線７９を形成する。第３配線７９は第１振動腕７１ｂと第３振動腕２８ｂとの間で裏面１７ｂから表面１７ａに延びる。第３配線７９は第２配線７８に接続される。
第１振動腕７１ｂの第１信号電極７４は第１検出配線５５に接続される。この接続にあたって導電膜１８は基部２５上に第４配線８１を形成する。第４配線８１は第１振動腕７１ａ、７１ｂ同士の間で裏面１７ｂから表面１７ａに延びる。第４配線８１は第１配線７７に接続される。
第１振動腕７１ａ、７１ｂのグラウンド電極７６は第２検出配線５６および第４検出配線５８に接続される。ここでは第２検出配線５６および第４検出配線５８は相互に接続されることができる。その結果、グラウンド電極７６は第１検出端子のグラウンド端子５９ｂおよび第２検出端子のグラウンド端子６１ｂに接続されることができる。こうした第１振動腕７１ａ、７１ｂの採用によれば、第１振動腕７１ａ、７１ｂの検出感度が増加する。Ｓ／Ｎ比は向上する。
（６）第４実施形態に係るジャイロセンサー
図１６に示されるように、第４実施形態に係るジャイロセンサー１１では振動片１５ｂは前述の第１調整用電極対４９および第２調整用電極対５１に代えて第１調整用電極対８２および第２調整用電極対８３を備える。第１調整用電極対８２は第１電極片８２ａおよび１対の第２電極片８２ｂを備える。第１電極片８２ａは第３振動腕２８ａの表面１７ａに配置される。第１電極片８２ａは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。
第２電極片８２ｂは第３振動腕２８ａの第１側面５２および第２側面５３にそれぞれ配置される。第２電極片８２ｂは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。一方の第２電極片８２ｂは第１側面５２および表面１７ａの稜線を挟んで第１電極片８２ａと隣り合う。もう１つの第２電極片８２ｂは第２側面５３および表面１７ａの稜線を挟んで第１電極片８２ａと隣り合う。第１電極片８２ａおよび第２電極片８２ｂの間にはそれぞれ稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第１電極片８２ａおよび第２電極片８２ｂから電流は取り出される。
第２調整用電極対８３は第３電極片８３ａおよび１対の第４電極片８３ｂを備える。第３電極片８３ａは第３振動腕２８ａの裏面１７ｂに配置される。第３電極片８３ａは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。第４電極片８３ｂは第３振動腕２８ａの第１側面５２および第２側面５３にそれぞれ配置される。第４電極片８３ｂは第３振動腕２８ａの根元から自由端に向かって第３振動腕２８ａの全長にわたって延びる。一方の第４電極片８３ｂは第１側面５２および裏面１７ｂの稜線を挟んで第３電極片８３ａにと隣り合う。もう１つの第４電極片８３ｂは第２側面５３および裏面１７ｂの稜線を挟んで第３電極片８３ａと隣り合う。第３電極片８３ａおよび第４電極片８２ｂの間にはそれぞれ稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第３電極片８３ａおよび第４電極片８３ｂから電流は取り出される。同様に、もう１つの第３振動腕２８ｂには第１調整用電極対８２および第２調整用電極対８３が固定される。
図１７に示されるように、導電膜１８は第１検出配線８４および第２検出配線８５を形成する。第１検出配線８４および第２検出配線８５は基部２５や一方の第２吊り腕３３ａに固定される。第１検出配線８４には第３振動腕２８ａの第１電極片８２ａおよび第１振動腕２６ａの信号電極４７ａが電気的に接続される。第２検出配線８５には第２電極片８２ｂおよび第１振動腕２６ａのグラウンド電極４７ｂが電気的に接続される。同様に、導電膜１８は第３検出配線８６および第４検出配線８７を形成する。第３検出配線８６および第４検出配線８７は基部２５やもう１つの第２吊り腕３３ｂに固定される。第３検出配線８６には第３振動腕２８ｂの第１電極片８２ａおよび第１振動腕２６ｂの信号電極４８ａが電気的に接続される。第４検出配線８７には第２電極片８２ｂおよび第１振動腕２６ｂのグラウンド電極４８ｂが電気的に接続される。
図１８に示されるように、第３振動腕２８ａの第４電極片８３ｂおよび第１振動腕２６ａの信号電極４７ａは第１検出配線８４に電気的に接続される。第１検出配線８４は第１検出端子の信号端子５９ａに電気的に接続される。第３振動腕２８ａの第３電極片８３ａおよび第１振動腕２６ａのグラウンド電極４７ｂは第２検出配線８５に電気的に接続される。第２検出配線８５は第１検出端子のグラウンド端子５９ｂに電気的に接続される。同様に、第３振動腕２８ｂの第４電極片８３ｂおよび第１振動腕２６ｂの信号電極４８ａは第３検出配線８６に電気的に接続される。第３検出配線８６は第２検出端子の信号端子６１ａに電気的に接続される。第３振動腕２８ｂの第３電極片８３ａおよび第１振動腕２６ｂのグラウンド電極４８ｂは第４検出配線８７に電気的に接続される。第４検出配線８７は第２検出端子のグラウンド端子６１ｂに電気的に接続される。
図１９に示されるように、第１振動腕２６ａ、２６ｂの形状が例えば加工誤差に基づき設計された形状からずれると、第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号ではコリオリ力の力成分に漏れ振動の成分が重畳される。同時に、第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号には第１調整用電極対８２の電気信号および第２調整用電極対８３の電気信号が重畳される。電気信号の大きさは調整される。調整の結果、第１および第２調整用電極対８２、８３の電気信号は漏れ振動の成分を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。電気信号の調整にあたって第１調整用電極対８２または第２調整用電極対８３の形状は予め整えられる。第１電極片８２ａおよび第２電極片８２ｂの間に介在する圧電体の体積や第１電極片８２ａと第２電極片８２ｂとの距離が調整される。第３電極片８３ａおよび第４電極片８３ｂの間に介在する圧電体の体積や第３電極片８３ａと第４電極片８３ｂとの距離が調整される。第１振動腕２６ａ、２６ｂ、第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび第３振動腕２８ａ、２８ｂに切り込みの形成は回避されることができる。機械強度の低下は回避されることができる。切り込みは形成されないことから、加工精度の向上は必ずしも要求されない。
しかも、第１調整用電極対８２の電気信号および第２調整用電極対８３の電気信号は互いに逆位相であることから、第１調整用電極対８２および第２調整用電極対８３の相対関係に基づき電気信号の大きさは調整されることができる。したがって、図１９および図２０から明らかなように、漏れ振動の位相が第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号に同位相でも逆位相でも漏れ振動の成分は打ち消されることができる。第１調整用電極対８２の電気信号と第２調整用電極対８３の電気信号とが相互に打ち消し合えば、前述と同様に、それら電気信号から第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号に加えられる影響は排除されることができる。
（７）第５実施形態に係るジャイロセンサー
第５実施形態に係るジャイロセンサー１１では振動片１５に前述の第３振動腕２８ａ、２８ｂに代えて第３振動腕８８が用いられる。図２１に示されるように、第３振動腕８８では表面１７ａおよび裏面１７ｂは第１段差８９および第２段差９１でそれぞれ第１側面５２に接続される。同様に、第３振動腕８８では表面１７ａおよび裏面１７ｂは第３段差９２および第４段差９３でそれぞれ第２側面５３に接続される。第１〜第４段差８９〜９３は第３振動腕８８の根元から自由端に向かって例えば第３振動腕８８の全長にわたって延びる。
第１段差８９は、第１側面５２との間に稜線を規定する段差面８９ａと、段差面８９ａに交差しつつ表面１７ａとの間に稜線を規定する垂直面８９ｂとを備える。第２段差９１は、第１側面５２との間に稜線を規定する段差面９１ａと、段差面９１ａに交差しつつ裏面１７ｂとの間に稜線を規定する垂直面９１ｂとを備える。第３段差９２は、第２側面５３との間に稜線を規定する段差面９２ａと、段差面９２ａに交差しつつ表面１７ａとの間に稜線を規定する垂直面９２ｂとを備える。第４段差９３は、第２側面５３との間に稜線を規定する段差面９３ａと、段差面９３ａに交差しつつ裏面１７ｂとの間に稜線を規定する垂直面９３ｂとを備える。垂直面８９ｂ、９２ｂ同士の間に第３振動腕８８の圧電体が挟まれる。同様に、垂直面９１ｂ、９３ｂ同士の間に第３振動腕８８の圧電体は挟まれる。第１段差８９の垂直面８９ｂおよび第３段差９２の垂直面９２ｂにそれぞれ第１調整用電極８２の第２電極片８２ｂが固定される。第２段差９１の垂直面９１ｂおよび第４段差９３の垂直面９３ｂにそれぞれ第２調整用電極８３の第４電極片８３ｂが固定される。
（８）第６実施形態に係るジャイロセンサー
第６実施形態に係るジャイロセンサー１１では振動片１５に前述の第３振動腕８８に代えて第３振動腕９４が用いられる。この第３振動腕９４では、図２２に示されるように、前述の第３振動腕８８で表面１７ａおよび裏面１７ｂに第１溝９５および第２溝９６がそれぞれ形成される。第１溝９５および第２溝９６は第３振動腕９４の根元から自由端に向かって第３振動腕９４の長手方向に延びる。第１溝９５および第２溝９６は第３振動腕９４の全長にわたって延びる長溝に形成されることができる。
第１溝９５は第１壁面９５ａおよび第２壁面９５ｂを有する。第１壁面９５ａおよび第２壁面９５ｂは相互に向き合う。第１壁面９５ａは第１段差８９の垂直面８９ｂとの間に第３振動腕９４の圧電体を挟む。第２壁面９５ｂは第３段差９２の垂直面９２ｂとの間に第３振動腕９４の圧電体を挟む。第１壁面９５ａおよび第２壁面９５ｂは対称面２９に平行に広がればよい。
第２溝９６は第３壁面９６ａおよび第４壁面９６ｂを有する。第３壁面９６ａおよび第４壁面９６ｂは相互に向き合う。第３壁面９６ａは第２段差９１の垂直面９１ｂとの間に第３振動腕９４の圧電体を挟む。第４壁面９６ｂは第４段差９３の垂直面９３ｂとの間に第３振動腕９４の圧電体を挟む。第３壁面９６ａおよび第４壁面９６ｂは対称面２９に平行に広がればよい。
第１溝９５の第１壁面９５ａおよび第２壁面９５ｂには第１調整用電極対８２の第１電極片８２ａが固定される。したがって、第１電極片８２ａと第２電極片８２ｂとの間に第３振動腕９４の圧電体は挟まれる。第２溝９６の第３壁面９６ａおよび第４壁面９６ｂには第２調整用電極対８３の第３電極片８３ａが固定される。したがって、第１電極片８３ａと第２電極片８３ｂとの間に第３振動腕９４の圧電体は挟まれる。その他の構成は前述の第１実施形態の構成と同一に構成されることができる。前述の第１実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付され、その詳細な説明は割愛される。
コリオリ力で励起される振動が第３振動腕９４に伝わると、表面１７ａの収縮時に裏面１７ｂは伸張し、表面１７ａの伸張時に裏面１７ｂは収縮する。その結果、第２調整用電極対８３は第１調整用電極対８２の逆位相の電気信号を出力することができる。この第６実施形態では、第１電極片８２ａと第２電極片８２ｂとの間に圧電体が挟まれ、第３電極片８３ａと第４電極片８３ｂとの間に圧電体が挟まれることから、第１調整用電極対８２および第２調整用電極対８３で前述の第１調整用電極対８２および第２調整用電極対８３よりも大きな出力信号が得られる。漏れ振動の調整範囲は広がることができる。歩留まりは向上することができる。
（９）第７実施形態に係るジャイロセンサー
第７実施形態に係るジャイロセンサー１１では前述の振動片１５に代えて振動片１５ｃが用いられる。図２３に示されるように、振動片１５ｃは音叉形の本体１０１を備える。本体１０１は本体１０１の重心を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面２９に関して面対称に形作られる。本体１０１は非圧電体で形成される。ここでは、本体１０１は例えばシリコン（Ｓｉ）から形成される。本体１０１は基部１０２と第１振動腕１０３ａ、１０３ｂとを有する。第１振動腕１０３ａ、１０３ｂは基部１０２から同方向に並列に延びる。第１振動腕１０３ａ、１０３ｂは基部１０２に片持ち支持される。片持ち支持にあたって本体１０１の一端には固定部１０１ａが区画される。
第１振動腕１０３ａ、１０３ｂの表面には１対の駆動用圧電体１０４ａ、１０４ｂおよび１つの検出用圧電体１０５がそれぞれ積層される。駆動用圧電体１０４ａ、１０４ｂおよび検出用圧電体１０５は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）から形成されることができる。駆動用圧電体１０４ａ、１０４ｂおよび検出用圧電体１０５の積層にあたって本体１０１の表面には導電材の下地膜１０６が形成される。この下地膜１０６は共通のグラウンド電極として機能することができる。駆動用圧電体１０４ａ、１０４ｂおよび検出用圧電体１０５の表面には駆動電極１０７ａ、１０７ｂおよび検出電極１０８がそれぞれ固定される。こうして駆動用圧電体１０４ａ、１０４ｂは駆動電極１０７ａ、１０７ｂおよび下地膜１０６に挟まれる。検出用圧電体１０５は検出電極１０８および下地膜１０６に挟まれる。
固定部１０１ａには１対の駆動端子１０９ａ、１０９ｂ、１対の検出端子１１１およびグラウンド端子１１２が配置される。一方の駆動端子１０９ａは振動腕１０３ａ、１０３ｂごとに一方の駆動電極１０７ａに接続される。他方の駆動端子１０９ｂは第１振動腕１０３ａ、１０３ｂごとに他方の駆動電極１０７ｂに接続される。検出端子１１１は検出電極１０８に接続される。グラウンド端子１１２は下地膜１０６に接続される。したがって、相互に逆位相で第１振動腕１０３ａ、１０３ｂ上の駆動電極１０７ａ、１０７ｂに駆動信号が供給されると、第１振動腕１０３ａ、１０３ｂは第１基準平面ＲＰ１および第２基準平面ＲＰ２の間で屈曲運動する。相互に離れたり近づいたりを繰り返す。
本体１０１は１対の第２振動腕１１３をさらに備える。第２振動腕１１３は第１振動腕１０３ａ、１０３ｂに並列に延びる。第２振動腕１１３の表面には１対の調整用圧電体１１４が積層される。調整用圧電体１１４は相互に並列に対称面２９に平行に延びる。調整用圧電体１１４は対称面２９に平行な第２振動腕１１３の中心線１１５で線対称に形成されることができる。調整用圧電体１１４は例えばＰＺＴから形成されることができる。調整用圧電体１１４の積層にあたって第２振動腕１１３では本体１０１の表面に下地膜１０６が広がる。下地膜１０６はグラウンド電極として機能する。個々の調整用圧電体１１４の表面には個別に電極片１１７、１１８が配置される。電極片１１７、１１８同士は中心線１１５で線対称に形成されることができる。電極片１１７、１１８は下地膜１０６から離れた位置で調整用圧電体１１４にそれぞれ接触する。ここでは、電極片１１７、１１８および下地膜１０６の間に調整用圧電体１１４は挟まれる。
駆動信号で励起される振動が第２振動腕１１３に伝わると、電極片１１７および下地膜１０６の間で調整用圧電体１１４は第２振動腕１１３の長手方向に収縮する一方で、電極片１１８および下地膜１０６の間で調整用圧電体１１４は第２振動腕１１３の長手方向に伸張する。反対に、電極片１１７および下地膜１０６の間で調整用圧電体１１４が第２振動腕１１３の長手方向に伸張すると、電極片１１８および下地膜１０６の間で調整用圧電体１１４は第２振動腕１１３の長手方向に収縮する。その結果、電極片１１７と電極片１１８とは相互に逆位相の電気信号を出力することができる。
前述と同様に、第１振動腕１０３ａ、１０３ｂの出力信号に含まれる漏れ振動の成分は電極片１１７、１１８の電気信号で少なくとも部分的に打ち消されることができる。電極片１１７、１１８の電気信号が第１振動腕１０３ａ、１０３ｂの出力信号に重畳されると、出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。しかも、電極片１１７の電気信号および電極片１１８の電気信号は互いに逆位相であることから、電極片１１７、１１８の相対関係に基づき電気信号の大きさは調整されることができる。したがって、漏れ振動の位相が第１振動腕１０３ａ、１０３ｂの出力信号に同位相でも逆位相でも漏れ振動の成分は打ち消されることができる。電極片１１７の電気信号と電極片１１８の電気信号とが釣り合えば、それら電気信号から検出用振動腕１０３ａ、１０３ｂの出力信号に加えられる影響は排除されることができる。導電片１１７、１１８が例えば部分的に削除されれば、電気信号の大きさは調整されることができる。電気信号の調整にあたって電極片１１７、１１８の形状が制御されればよく、第１振動腕１０３ａ、１０３ｂや第２振動腕１１３に切り込みの形成は回避されることができる。機械強度の低下は回避されることができる。切り込みは形成されないことから、加工精度の向上は必ずしも要求されない。
（１０）電子機器その他
図２４は電子機器の一具体例としてのスマートフォン２０１を概略的に示す。スマートフォン２０１には振動片１５、１５ａ〜１５ｃを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１はスマートフォン２０１の姿勢を検出することができる。いわゆるモーションセンシングが実施される。ジャイロセンサー１１の検出信号は例えばマイクロコンピューターチップ（ＭＰＵ）２０２に供給されることができる。ＭＰＵ２０２はモーションセンシングに応じて様々な処理を実行することができる。その他、こういったモーションセンシングは、携帯電話機、携帯型ゲーム機、ゲームコントローラー、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイス、ヘッドマウンティングディスプレイ、タブレットパソコン等の電子機器で利用されることができる。モーションセンシングの実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
図２５は電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラ（以下「カメラ」という）２０３を概略的に示す。カメラ２０３には振動片１５、１５ａ〜１５ｃを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１はカメラ２０３の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１１の検出信号は手ぶれ補正装置２０４に供給されることができる。手ぶれ補正装置２０４はジャイロセンサー１１の検出信号に応じて例えばレンズセット２０５内の特定のレンズを移動させることができる。こうして手ぶれは補正されることができる。その他、手ぶれ補正はデジタルビデオカメラで利用されることができる。手ぶれ補正の実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
図２６は移動体の一具体例としての自動車２０６を概略的に示す。自動車２０６には振動片１５、１５ａ〜１５ｃを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１は車体２０７の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１１の検出信号は車体姿勢制御装置２０８に供給されることができる。車体姿勢制御装置２０８は例えば車体２０７の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御したり個々の車輪２０９のブレーキを制御したりすることができる。その他、こういった姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種移動体で利用されることができる。姿勢制御の実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、上記実施形態では、振動片としての形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。また、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。また、振動片１５、１５ａ〜１５ｃやジャイロセンサー１１、電子機器、移動体等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。
１１ ジャイロセンサー、１５ 振動片、１５ａ 振動片、１５ｂ 振動片、１５ｃ 振動片、１７ａ 第１面（表面）、１７ｂ 第２面（裏面）、２５ 基部、２６ａ 検出用振動腕（第１振動腕）、２６ｂ 検出用振動腕（第１振動腕）、２７ａ 駆動用振動腕（第２振動腕）、２７ｂ 駆動用振動腕（第２振動腕）、４７ａ 検出電極（信号電極）、４７ｂ 検出電極（グラウンド電極）、４８ａ 検出電極（信号電極）、４８ｂ 検出電極（グラウンド電極）、５２ 第１側面、５３ 第２側面、６３ 調整用振動腕（第３振動腕）、６４ 第１溝、６５ 第２溝、６６ａ 第１壁面、６６ｂ 第２壁面、６７ａ 第３壁面、６７ｂ 第４壁面、６８ 第１調整用電極、６８ａ 第１電極片、６８ｂ 第２電極片、６９ 第２調整用電極、６９ａ 第３電極片、６９ｂ 第４電極片、１０２ 基部、１０３ａ 駆動用振動腕兼検出用振動腕（第１振動腕）、１０３ｂ 駆動用振動腕兼検出用振動腕（第１振動腕）、１０６ 第１調整用電極兼第２調整用電極（下地膜）、１０８ 検出電極、１１３ 調整用振動腕（第２振動腕）、１１４ 圧電体（調整用圧電体）、１１７ 第１調整用電極（電極片）、１１８ 第２調整用電極（電極片）、２０１ 電子機器（スマートフォン）、２０３ 電子機器（デジタルスチルカメラ）、２０６ 移動体（自動車）。

Claims (5)

  1. 基部と、
    前記基部から延びる駆動用振動腕および検出用振動腕と、
    前記基部から延びる調整用振動腕と、
    前記検出用振動腕に設けられ、前記駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて電気信号を生成する検出電極と、
    前記調整用振動腕に設けられ、第１位相の電気信号を生成する第１調整用電極と、
    前記調整用振動腕に設けられ、前記第１位相とは逆位相である第２位相の電気信号を生成する第２調整用電極と、を備え、
    前記第１調整用電極と前記検出電極とが電気的に接続され、
    前記第２調整用電極と前記検出電極とが電気的に接続され、
    前記調整用振動腕は、
    第１面と、
    前記第１面とは反対側の第２面と、
    前記第１面および第２面を接続する第１側面および第２側面と、
    前記第１面に形成され、前記調整用振動腕の長手方向に延びる溝であって、前記第１側面側の第１壁面、および、前記第２側面側の第２壁面、を有する第１溝と、
    前記第２面に形成され、前記調整用振動腕の長手方向に延びる溝であって、前記第１側面側の第３壁面、および、前記第２側面側の第４壁面、を有する第２溝と、を備え、
    前記第１調整用電極は、
    前記第１側面に設けられている第１電極片と、
    前記第１壁面および前記第３壁面に設けられている第２電極片と、を備え、
    前記第２調整用電極は、
    前記第２側面に設けられている第３電極片と、
    前記第２壁面および前記第４壁面に設けられている第４電極片と、を備え、
    前記第１調整用電極または前記第２調整用電極の一部が切除されていて、前記第１調整用電極で生成される電気信号と前記第２調整用電極にて生成される電気信号とが重畳された前記調整用振動腕の電気信号は、前記検出用振動腕の漏れ振動の電気信号に対して逆位相であることを特徴とする振動片。
  2. 基部と、
    前記基部から延びる駆動用振動腕および検出用振動腕と、
    前記基部から延びる調整用振動腕と、
    前記検出用振動腕に設けられ、前記駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて電気信号を生成する検出電極と、
    前記調整用振動腕に設けられた圧電体に相互に離れた位置で接触し、第１位相の電気信号を生成する第１調整用電極と、
    前記調整用振動腕に設けられた圧電体に相互に離れた位置で接触し、前記第１位相とは逆位相である第２位相の電気信号を生成する第２調整用電極と、
    を備え、
    前記第１調整用電極と前記検出電極とが電気的に接続され、
    前記第２調整用電極と前記検出電極とが電気的に接続され、
    前記第１調整用電極または前記第２調整用電極の一部が切除されていて、前記第１調整用電極で生成される電気信号と前記第２調整用電極にて生成される電気信号とが重畳された前記調整用振動腕の電気信号は、前記検出用振動腕の漏れ振動の電気信号に対して逆位相であることを特徴とする振動片。
  3. 請求項１または２に記載の振動片を有することを特徴とするジャイロセンサー。
  4. 請求項１または２に記載の振動片を有することを特徴とする電子機器。
  5. 請求項１または２に記載の振動片を有することを特徴とする移動体。
JP2012102896A 2012-04-27 2012-04-27 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体 Active JP6160027B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012102896A JP6160027B2 (ja) 2012-04-27 2012-04-27 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体
US13/868,472 US9130147B2 (en) 2012-04-27 2013-04-23 Vibrating reed, gyro sensor, electronic apparatus, and mobile unit
CN201310146091.5A CN103376100B (zh) 2012-04-27 2013-04-24 振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012102896A JP6160027B2 (ja) 2012-04-27 2012-04-27 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013231635A JP2013231635A (ja) 2013-11-14
JP6160027B2 true JP6160027B2 (ja) 2017-07-12

Family

ID=49461573

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012102896A Active JP6160027B2 (ja) 2012-04-27 2012-04-27 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9130147B2 (ja)
JP (1) JP6160027B2 (ja)
CN (1) CN103376100B (ja)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5838689B2 (ja) 2011-09-26 2016-01-06 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、センサー素子の製造方法、センサーデバイスおよび電子機器
JP5838696B2 (ja) * 2011-09-29 2016-01-06 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、センサー素子の製造方法、センサーデバイスおよび電子機器
US8933614B2 (en) * 2012-01-09 2015-01-13 Micro Crystal Ag Small-sized piezoelectric tuning-fork resonator
JP6007541B2 (ja) * 2012-03-28 2016-10-12 セイコーエプソン株式会社 振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体
JP5974629B2 (ja) * 2012-05-23 2016-08-23 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動片の製造方法、角速度センサー、電子機器、移動体
JP6094672B2 (ja) 2013-05-13 2017-03-15 株式会社村田製作所 振動装置
CN105379115B (zh) * 2013-05-13 2017-10-13 株式会社村田制作所 振动装置
JP6399283B2 (ja) 2014-03-24 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP2016085190A (ja) * 2014-10-29 2016-05-19 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動素子の製造方法、電子デバイス、電子機器、および移動体
JP6569257B2 (ja) * 2015-03-23 2019-09-04 セイコーエプソン株式会社 振動素子、電子デバイス、電子機器、および移動体
WO2016175161A1 (ja) 2015-04-27 2016-11-03 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置
JP6468350B2 (ja) 2015-04-27 2019-02-13 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置
CN107534432B (zh) * 2015-04-28 2020-06-05 株式会社村田制作所 谐振子以及谐振装置
US20170059393A1 (en) 2015-08-26 2017-03-02 Seiko Epson Corporation Physical Quantity Detection Device, Manufacturing Method For Physical Quantity Detection Device, Electronic Apparatus, And Moving Object
JP6623682B2 (ja) 2015-10-28 2019-12-25 セイコーエプソン株式会社 物理量検出振動片、物理量検出装置、電子機器および移動体
WO2017195416A1 (ja) * 2016-05-10 2017-11-16 株式会社村田製作所 共振子及び共振装置
US10812046B2 (en) 2018-02-07 2020-10-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Micromechanical resonator having reduced size
JP2019178994A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体
EP3812704A4 (en) * 2018-06-13 2021-07-21 Kyocera Corporation SENSOR ELEMENT AND ANGULAR SPEED SENSOR
US12556292B2 (en) * 2023-05-11 2026-02-17 Viavi Solutions, Inc. Tracking extra-vehicular technician progress in a network monitoring system

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0503807B1 (en) 1991-03-12 1996-09-25 New Sd, Inc. Single ended tuning fork inertial sensor and method
GB2301669B (en) * 1995-05-30 1999-11-10 Allied Signal Inc Angular rate sensor misalignment correction
JPH08327366A (ja) 1995-06-05 1996-12-13 Alps Electric Co Ltd 振動型ジャイロスコープ
JP3215038B2 (ja) * 1995-12-27 2001-10-02 京セラ株式会社 圧電振動体の製造方法
JPH1078326A (ja) 1996-09-04 1998-03-24 Toyota Motor Corp 角速度検出装置
JPH10325728A (ja) * 1997-03-24 1998-12-08 Denso Corp 角速度センサの調整方法
JPH1163999A (ja) * 1997-08-21 1999-03-05 Nippon Soken Inc 角速度検出装置
JP4449128B2 (ja) * 1999-12-14 2010-04-14 パナソニック株式会社 角速度センサ
JP2006054602A (ja) 2004-08-10 2006-02-23 Daishinku Corp 電子部品用パッケージ及び当該電子部品用パッケージを用いた圧電振動デバイス
JP4179279B2 (ja) * 2004-12-28 2008-11-12 セイコーエプソン株式会社 撮像装置並びにこれを備えた携帯機器及び携帯電話機
JP2006201118A (ja) * 2005-01-24 2006-08-03 Seiko Epson Corp 圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ
JP4830681B2 (ja) 2006-07-10 2011-12-07 パナソニック株式会社 角速度センサ
JP2008209215A (ja) 2007-02-26 2008-09-11 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 角速度センサ素子
JP4934125B2 (ja) * 2008-12-02 2012-05-16 日本電波工業株式会社 圧電フレームおよび圧電デバイス
JP2010226639A (ja) * 2009-03-25 2010-10-07 Citizen Holdings Co Ltd 水晶振動子およびその水晶振動子の製造方法
JP5786303B2 (ja) 2009-12-10 2015-09-30 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、物理量センサー、及び電子機器
JP2011193399A (ja) * 2010-03-16 2011-09-29 Seiko Epson Corp 振動片、振動子および圧電デバイス
US8692632B2 (en) * 2010-03-17 2014-04-08 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device
US20110227451A1 (en) * 2010-03-18 2011-09-22 Seiko Epson Corporation Resonator body, resonator device, and electronic device
US20110227450A1 (en) * 2010-03-18 2011-09-22 Seiko Epson Corporation Resonator body, resonator device, and electronic device
JP5499852B2 (ja) * 2010-04-08 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子
JP5652155B2 (ja) 2010-11-24 2015-01-14 セイコーエプソン株式会社 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法
CN103245339B (zh) * 2012-02-14 2017-05-24 精工爱普生株式会社 振动片、传感器单元以及电子设备

Also Published As

Publication number Publication date
US20130283910A1 (en) 2013-10-31
CN103376100A (zh) 2013-10-30
JP2013231635A (ja) 2013-11-14
US9130147B2 (en) 2015-09-08
CN103376100B (zh) 2018-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6160027B2 (ja) 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体
JP6007541B2 (ja) 振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体
JP6171475B2 (ja) 振動片の製造方法
CN103424109B (zh) 振动片、振动片的制造方法、角速度传感器、电子设备、移动体
JP6003150B2 (ja) 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体
JP5987426B2 (ja) 振動片、振動片の製造方法、センサーユニット、電子機器
US9121707B2 (en) Bending vibration piece and electronic device
JP5970690B2 (ja) センサー素子、センサーユニット、電子機器及びセンサーユニットの製造方法
JP2013186029A (ja) 振動片、センサーユニットおよび電子機器
US8453503B2 (en) Vibrating reed, vibrator, physical quantity sensor, and electronic apparatus
JP6477101B2 (ja) 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
JP2013234873A (ja) 振動片およびその製造方法並びにジャイロセンサーおよび電子機器および移動体
JP6210345B2 (ja) ジャイロセンサー素子、ジャイロセンサーユニット、電子機器及びジャイロセンサーユニットの製造方法
JP6205953B2 (ja) 電子デバイス、電子機器および移動体
JP2015014517A (ja) 振動子、電子デバイス、電子機器および移動体
JP2014119369A (ja) 物理量検出センサー、物理量検出装置、電子機器および移動体
JP2014199194A (ja) 振動片およびその製造方法
JP2015105856A (ja) 振動素子、角速度センサー、電子機器および移動体

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150415

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160309

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160315

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160516

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161025

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170516

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170529

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6160027

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150